KR20090028192A

KR20090028192A - 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치

Info

Publication number: KR20090028192A
Application number: KR1020070093605A
Authority: KR
Inventors: 성경
Original assignee: (주)알티에스
Priority date: 2007-09-14
Filing date: 2007-09-14
Publication date: 2009-03-18
Also published as: KR100931327B1

Abstract

본 발명은 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 패키지를 다수 개 수납한 트레이를 이송시키며 빈 트레이를 이용하여 반도체 패키지의 상하면을 뒤집어 수납시키는 회전장치를 구비하여 반도체 패키지가 수납된 트레이와 빈 트레이를 정확하게 적층시킴과 동시에 잡을 수 있고, 적층된 트레이를 용이하게 회전시킴으로 반도체 패키지를 빈 트레이에 수납시킬 수 있으며, 반도체 패키지가 수납된 트레이를 빈 트레이에서 용이하게 분리시켜 이송시킴으로 작업 효율성을 향상시킬 수 있다.

반도체, 패키지, 검사, 회전장치

Description

반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치{The rotating device of tray of the test kit for semiconductor package}

본 발명은 회전장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다수의 반도체 패키지를 수납한 트레이를 이송시키며 패키지를 검사하는 검사장치의 회전장치를 상하방향으로 설치된 가이드프레임과 가이드프레임을 따라 이동되는 이동플레이트, 패키지가 수납된 트레이와 빈 트레이를 적층시켜 파지하는 클램프부가 설치된다.

그리고 클램프부를 이동플레이트에 설치하여 회전시키는 회전부 및 패키지를 수납한 트레이와 빈 트레이를 상하 이격시켜 거치시키는 거치부를 형성하여 반도체 패키지가 수납된 트레이와 빈 트레이를 정확하게 적층시킴과 동시에 잡을 수 있고, 적층된 트레이를 용이하게 회전시킴으로 반도체 패키지를 빈 트레이에 수납시킬 수 있다.

또한, 반도체 패키지가 수납된 트레이를 빈 트레이에서 용이하게 분리시켜 이송시킴으로 작업 효율성을 향상시킬 수 있는 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체는 다수의 웨이퍼공정을 거친 웨이퍼에서 칩을 분리하여 패키지공정을 거침으로 하나의 패키지가 완성되고, 상기 각 패키지는 각종의 고유 칩 일련번호 또는 상표 등을 마킹하여 품질검사를 받게 된다.

상기 반도체 패키지의 품질검사를 위해 별도의 검사장비를 구비하여 상기 패키지를 이송 중 검사를 실시하고, 정상 패키지와 불량 패키지를 선별하게 된다.

종래 검사장치를 살펴보면, 먼저, 상기 다수의 패키지를 트레이에 정렬하여 수납하고, 상기 트레이를 검사장비의 이송부에 거치시키면, 상기 이송부에 의해 센서 방향으로 이송되고, 이송된 패키지는 상기 센서를 거치며 일부면의 표면검사가 이루어진다.

상기 일부면의 표면검사가 끝난 패키지는 별도의 다른 트레이가 상측에서 적층되어 회전장치에 의해 상하가 바뀌게 됨으로, 패키지가 상기 빈 트레이로 옮겨지게 되어 상하면이 바뀐 상태로 트레이에 수납되게 된다.

상기 패키지가 다른 트레이로 옮겨진 후, 상측에 있는 트레이를 제거하여 이송부에 의해 이송되며 타부면의 표면검사가 이루어져 불량 유무를 판단하고, 각 적층부에 불량과 정상으로 선별되어 수납되는 것이다.

그러나, 상기 회전장치는 상기 적층되는 트레이를 상하방향에서 파지하도록 한 쌍으로 형성되어 상기 트레이를 적층시켜 파지하고, 상측으로 이동되어 회전된 후, 하측에 있는 클램프가 하강하여 패키지가 수납된 트레이를 별도의 다른 이송장치에 의해 이송시키게 된다.

상기 패키지가 수납된 트레이를 이송시키면 상기 하측으로 이동된 클램프는 다음 작업을 위해 상측으로 이동된 후, 전체가 회전되어 상하 클램프를 원상태로 위치시키게 되고, 다시 하측으로 이동시켜 작업 전의 상태로 위치시키게 된다.

이는 상기 회전장치의 각 클램프가 상하의 기능이 다르게 형성됨으로, 구조가 복잡하고 제작비용이 증가하며, 상기 회전장치는 다음작업을 위해 원위치시켜야 됨으로, 작업공정이 많아 운용비가 증가하는 문제점이 있다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로써, 다수의 반도체 패키지를 수납한 트레이를 이송시키며 패키지를 검사하는 검사장치의 회전장치를 상하방향으로 설치된 가이드프레임과 가이드프레임을 따라 이동되는 이동플레이트, 패키지가 수납된 트레이와 빈 트레이를 적층시켜 파지하는 클램프부가 설치된다.

또한, 반도체 패키지가 수납된 트레이를 빈 트레이에서 용이하게 분리시켜 이송시킴으로 작업 효율성을 향상시킬 수 있는 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치를 제공하는 것이 목적이다.

상기 목적을 이루기 위한 본 발명은, 트레이에 기 제작된 반도체 패키지를 다수 개 수납하고, 이송부에 의해 상기 트레이가 이송되며 상기 반도체 패키지의 상하면을 검사하도록 상기 트레이를 회전시키는 반도체 패키지 검사기의 트레이 회 전장치에 있어서, 상기 회전장치는 상하방향으로 설치되는 가이드프레임, 상기 가이드프레임을 따라 이동되는 이동플레이트, 상기 이동플레이트에 설치되어 상기 패키지가 수납된 트레이와 빈 트레이를 적층시켜 파지하는 클램프부, 상기 클램프부와 상기 이동플레이트 사이에 설치되어 상기 클램프부를 회전시키는 회전부, 및 상기 클램프부 하측에 설치되어 상기 패키지가 수납된 트레이와 빈 트레이를 상하방향으로 일정간격을 이격시켜 거치시키는 거치부를 포함하여 이루어진다.

바람직하게, 상기 회전부는, 상기 이동플레이트에 설치되는 제1회전판과 상기 제1회전판에 회전가능하도록 설치되어 구동모터에 의해 회전되어 상기 클램프부를 회전시키는 제2회전판을 포함하여 이루어진다.

그리고 상기 클램프부는, 상기 회전부에 설치되는 클램프몸체, 상기 클램프몸체 양 측면에 설치되어 상기 클램프몸체와 닿는 트레이의 측면을 잡는 다수의 제1클램프, 상기 제1클램프의 외측에 설치되어 상기 제1클램프에 의해 잡힌 트레이와 적층된 트레이의 측면을 잡는 다수의 제2클램프, 상기 클램프몸체에 설치되어 상기 제1클램프를 작동시키는 제1실린더, 및 상기 클램프몸체에 설치되어 상기 제2클램프를 작동시키는 제2실린더를 포함하여 이루어진다.

또한, 상기 거치부는, 상기 이송부의 일단부인 상기 클램프부 하측에 설치되는 다수의 거치블럭과 상기 다수의 거치블럭의 마주보는 내측에 거치돌기가 돌출되고, 상기 거치돌기는 인접한 다른 거치돌기를 향하여 돌출된 상태를 기준으로 상측 각으로만 회동되어 트레이가 상측으로만 이동시킨다.

상기한 바와 같이, 본 발명에 의한 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치에 의하면, 반도체 패키지가 수납된 트레이와 빈 트레이를 정확하게 적층시킴과 동시에 잡을 수 있고, 적층된 트레이를 용이하게 회전시킴으로 반도체 패키지를 빈 트레이에 수납시킬 수 있으며, 반도체 패키지가 수납된 트레이를 빈 트레이에서 용이하게 분리시켜 이송시킴으로 작업 효율성을 향상시킬 수 있게 하는 매우 유용하고 효과적인 발명이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.

또한, 본 실시 예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고 단지 예시로 제시된 것이며, 그 기술적 요지를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변경이 가능하다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치의 설치상태를 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치를 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치의 측면을 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치의 이동플레이트 작동상태를 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치의 클램프부의 클램프 작동상태를 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트 레이 회전장치의 클램프부 회전상태를 도시한 도면이며, 도 7은 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치의 거치부 작동상태를 도시한 도면이고, 도 8은 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치의 작동상태를 도시한 도면이다.

도면에서 도시한 바와 같이, 반조체 패키지를 검사하는 검사장치(10)는 베이스플레이트(20)와 상기 베이스플레이트(20)의 상측에 패키지(1)가 수납된 트레이(3)를 이송시키는 이송부(30)가 설치된다.

그리고, 상기 이송부(30)에 의해 이송되는 상기 트레이(3)의 각 패키지(1)를 검사하는 센서부(40)와 상기 이송부(30)에 의해 이송된 트레이(3)를 상하 회전시켜 패키지(1)를 뒤집어 다른 트레이(3)에 수납시키는 회전장치(100)가 설치된다.

또한, 상기 센서부(40)의 측정값에 의해 상기 패키지(1)를 각 트레이(3)에 선별하여 수납시키는 정렬부(50)가 설치되고, 상기 정렬부(50)와 센서부(40)가 설치되는 고정프레임(60)이 설치되고, 상기 정렬부(50)에 의해 선별된 각 트레이(3)가 각각 적층되는 적층부(70)로 구성된다.

상기 회전장치(100)는 가이드프레임(110)과 이동플레이트(120) 및 회전부(130)와 클램프부(140) 및 거치부(150)로 구성되는 것으로, 상기 가이드프레임(110)은 이송부(30)의 일단부인 베이스플레이트(20)에 상하방향으로 설치된다.

그리고 상기 이동플레이트(120)는 가이드프레임(110)을 따라 상하방향으로 이동하도록 설치되고, 상기 클램프부(140)는 이동플레이트(120)에 설치되어 이동플레이트(120)의 이동에 의해 상하방향으로 이동하게 된다.

이때, 상기 클램프부(140)는 회전부(130)에 의해 상기 이동플레이트(120)에 설치되는 것으로, 회전부(130)가 작동됨에 따라 클램프부(140)가 회전되게 되게 된다.

상기 회전부(130)는 제1회전판(132)과 제2회전판(134)으로 구성되는 것으로, 상기 제1회전판(132)은 이동플레이트(120)에 설치되고, 상기 제2회전판(134)은 클램프부(140)에 연결되며, 제2회전판(134)은 제1회전판(132)에 회전가능하도록 설치되어 회전모터에 의해 회전하게 된다.

상기 회전부(130)의 회전각은 180°로 회전됨이 바람직하며, 경우에 따라 달라질 수 있는 것이다.

그리고 상기 클램프부(140)에는 다수의 반도체 패키지(1)가 수납된 제1트레이(3)와 빈 제2트레이(3')가 적층되어 고정되는 것으로, 상기 반도체 패키지(1)가 수납된 제1트레이(3)가 이송부(30)에 의해 이송되면, 상기 빈 제2트레이(3')가 상측으로 적층된 후, 클램프부(140)에 의해 고정되게 된다.

상기 제1, 2트레이(3, 3')를 고정한 클램프부(140)는 이동플레이트(102)에 의해 상측으로 이동되고, 상기 회전부(130)에 의해 180°회전됨으로, 반도체 패키지(1)는 제1트레이(3)에서 비어있던 제2트레이(3')로 옮겨지게 되어 상하가 바뀌게 된다.

상기의 상태에서 이동플레이트(120)가 가이드프레임(110)을 따라 하측으로 이동하게 되어 반도체 패키지(1)가 수납된 제2트레이(3')를 상기 거치부(150)에 거치시킨 후, 비어있는 제1트레이(3)와 함께 클램프부(140)는 상측으로 이동하게 된 다.

상기 거치부(150)에 거치된 제2트레이(3')는 별도의 이송장치(미 도시)에 의해 다음 공정으로 이송된 후, 클램프부(140)가 회전부(130)에 의해 회전되어 원상태가 되어 하측으로 이동하게 된다.

이때, 상기 클램프부(140)에 고정된 비어있는 제1트레이(3)는 하측으로 이동 중 상기 거치부(150)에 거치되어 다음 작업을 대비하고, 클램프부(140)는 계속 하측으로 이동하여 작업 전 상태가 된다.

이와 같은 클램프부(140)는 클램프몸체(142)와 제1클램프(144) 및 제2클램프(146), 제1실린더(143) 및 제2실린더(145)로 구성되는 것으로, 상기 클램프몸체(142)는 상기 회전부(130)의 제2회전판(134)과 연결된다.

상기 제1클램프(144)는 클램프몸체(142)의 양 측면에 다수 개 설치되어 클램프몸체(142)와 닿는 제1트레이(3)의 측면을 고정시키고, 상기 제2클램프(146)는 클램프몸체(142)에 설치되어 제1클램프(144)가 파지한 트레이에 적층되는 제2트레이(3')의 측면을 고정시키는 것이다.

상기 제1클램프(144)는 제1실린더(143)에 의해 작동되고, 제2클램프(146)는 제2실린더(145)에 의해 작동되는 것으로, 각각 별도로 동작하게 된다.

상기 거치부(150)는 거치블럭(152)과 거치돌기(154)로 구성되며, 상기 거치블럭(152)은 상기 클램프부(140)의 하측에 다수 개 설치되고, 상기 다수의 거치블럭(152)이 마주보는 내측에 상기 거치돌기(154)가 회전가능하도록 설치된다.

이때, 거치돌기(154)는 평시에 인접한 다른 거치돌기(154)를 향하도록 돌출 되어 있는 것으로, 이를 기준으로 상측 각으로만 회전되어 상기 이송부(30)에 의해 이송된 제1트레이(3)가 클램프부(140)에 의해 상측으로 용이하게 이동될 수 있게 하며, 제1트레이(3)가 하측으로 이동되는 것을 방지하게 된다.

이는, 상기 클램프부(140)에 의해 회전되어 반도체 패키지(1)가 교체 수납된 제2트레이(3')를 상기 거치부(150)의 거치돌기(154)에 거치시킴으로, 별도의 이송장치(미 도시)에 의해 용이하게 파지되어 다음 공정으로 이동시키기 위함과 클랩프부(140)의 제1클램프(142)에 의해 고정된 빈 제1트레이(3)가 클램프부(140)를 따라 하측으로 이동 중 상기 거치돌기(154)에 용이하게 거치시키기 위한 것이다.

이하, 첨부도면에 의거하여 본 발명의 작용 및 효과를 살펴보도록 한다.

도면에서 도시한 바와 같이, 거치부(150)의 하측에 클램프부(140)가 위치되고, 상기 거치부(150)의 거치돌기(154)에 빈 제2트레이(3')가 거치된 상태에서 반도체 패키지(1)가 수납된 제1트레이(3)가 이송부(30)에 의해 이송된다.

상기 이송된 제1트레이(3)는 가이드프레임(110)을 따라 이동되는 이동플레이트(120)에 의해 클램프부(140)가 상측으로 이동되어 클램프몸체(142)와 제1트레이(3)가 닿게 되고, 제1클램프(144)에 의해 제1트레이(3)를 고정시키게 된다.

상기 제1트레이(3)를 고정시킨 클램프부(140)는 다시 이동플레이트(120)에 의해 상측으로 이동하여 상기 빈 제2트레이(3')와 적층시킨 후, 제2클램프(146)를 작동시켜 빈 제2트레이(3')를 고정시킴으로, 상기 반도체 패키지(1)가 수납된 제1트레이(3)와 빈 제2트레이(3')가 적층·고정되는 것이다.

상기 제1, 2트레이(3, 3')를 적층·고정시킨 클램프부(140)는 거치부(150)의 상측으로 완전이 이동하게 되고, 이동된 클램프부(140)는 회전부(130)에 의해 상하가 바뀌도록 회전되어 빈 제2트레이(3')에 반도체 패키지(1)가 뒤집혀 수납되는 것이다.

상기와 같이 클램프부(140)가 회전된 상태에서 이동플레이트(120)에 의해 하측으로 이동하게 되고, 반도체 패키지(1)가 수납된 제2트레이(3')가 상기 거치부(150)의 거치돌기(154)에 닿으면 제2클램프(146)를 작동시켜 제2트레이(3')를 거치돌기(154)에 거치시킨 후, 상측으로 이동하게 된다.

상기 클램프부(140)가 제2트레이(3')를 거치돌기(154)에 거치시키고, 상측으로 이동하면, 별도의 이송장치(미 도시)에 의해 상기 제2트레이(3')는 이동하게 되며, 상측으로 이동된 클램프부(140)는 회전부(130)에 의해 회전하여 제1트레이(3)가 상측을 향하게 된다.

제1트레이(3)가 상측을 향하도록 회전된 클램프부(140)는 이동플레이트(120)에 의해 거치부(150)의 하측으로 이동하게 되고, 이동 중 제1트레이(3)는 상기 거치부(150)의 거치돌기(154)에 거치됨으로 다음 작업을 준비하게 되는 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치의 설치상태를 도시한 도면이고,

도 2는 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치를 도시한 도면이며,

도 3은 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치의 측면을 도시한 도면이고,

도 4는 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치의 이동플레이트 작동상태를 도시한 도면이며,

도 5는 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치의 클램프부의 클램프 작동상태를 도시한 도면이고,

도 6은 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치의 클램프부 회전상태를 도시한 도면이며,

도 7은 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치의 거치부 작동상태를 도시한 도면이고,

도 8은 본 발명에 따른 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치의 작동상태를 도시한 도면이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

100 : 회전장치 110 : 가이드프레임

120 : 이동플레이트 130 : 회전부

132 : 제1회전판 134 : 제2회전판

140 : 클램프부 142 : 클램프몸체

143 : 제1실린더 144 : 제1클램프

145 : 제2실린더 146 : 제2클램프

150 : 거치부 152 : 거치블럭

154 : 거치돌기

Claims

트레이에 기 제작된 반도체 패키지를 다수 개 수납하고, 이송부에 의해 상기 트레이가 이송되며 상기 반도체 패키지의 상하면을 검사하도록 상기 트레이를 회전시키는 반도체 패키지 검사기의 트레이 회전장치에 있어서,

상기 회전장치는 상하방향으로 설치되는 가이드프레임;

상기 가이드프레임을 따라 이동되는 이동플레이트;

상기 이동플레이트에 설치되어 상기 패키지가 수납된 트레이와 빈 트레이를 적층시켜 파지하는 클램프부;

상기 클램프부와 상기 이동플레이트 사이에 설치되어 상기 클램프부를 회전시키는 회전부; 및

상기 클램프부 하측에 설치되어 상기 패키지가 수납된 트레이와 빈 트레이를 상하방향으로 일정간격을 이격시켜 거치시키는 거치부를 포함하여 이루어지는 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치.
제 1항에 있어서, 상기 회전부는,

상기 이동플레이트에 설치되는 제1회전판과 상기 제1회전판에 회전가능하도록 설치되어 구동모터에 의해 회전되어 상기 클램프부를 회전시키는 제2회전판을 포함하여 이루어지는 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치.
제 1항에 있어서, 상기 클램프부는,

상기 회전부에 설치되는 클램프몸체;

상기 클램프몸체 양 측면에 설치되어 상기 클램프몸체와 닿는 트레이의 측면을 잡는 다수의 제1클램프;

상기 제1클램프의 외측에 설치되어 상기 제1클램프에 의해 잡힌 트레이와 적층된 트레이의 측면을 잡는 다수의 제2클램프;

상기 클램프몸체에 설치되어 상기 제1클램프를 작동시키는 제1실린더; 및

상기 클램프몸체에 설치되어 상기 제2클램프를 작동시키는 제2실린더를 포함하여 이루어지는 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치.
제 1항에 있어서, 상기 거치부는,

상기 이송부의 일단부인 상기 클램프부 하측에 설치되는 다수의 거치블럭과 상기 다수의 거치블럭의 마주보는 내측에 거치돌기가 돌출되고, 상기 거치돌기는 인접한 다른 거치돌기를 향하여 돌출된 상태를 기준으로 상측 각으로만 회동되어 트레이가 상측으로만 이동시키는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 검사장치의 트레이 회전장치.