KR20080106020A - Method and apparatus for testing liquid crystal panel - Google Patents

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Abstract

A method and an apparatus for inspecting an LCD device are provided to inspect fault of the liquid crystal panel using photographing device, by discriminating the fault image and dust using a lightening dot information on dark screen. A location of lightening dot on the dark screen is obtained(S1). A liquid crystal panel is transferred from a first inspecting part to a second inspecting part(S2). The liquid crystal panel is arranged at the second inspecting part. Gas is sprayed on the surface of the liquid crystal panel(S3). A second image of lightening dot on the dark screen from a different direction is obtained(S4). If the lightening location is detected at the same position of two different image, it is determined that there exists a fault on the liquid crystal panel(S5).

Description

액정패널 검사방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR TESTING LIQUID CRYSTAL PANEL}Liquid crystal panel inspection method and apparatus {METHOD AND APPARATUS FOR TESTING LIQUID CRYSTAL PANEL}

본 발명은 액정패널을 백라이트(back light)로 빛을 비추어서 액정패널의 내부의 결함을 촬상장치(撮像裝置)로 관찰하는 타입의 액정패널검사방법 및 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal panel inspection method and apparatus of a type for illuminating a liquid crystal panel with a back light to observe defects inside the liquid crystal panel with an imaging device.

액정패널을 백라이트로 빛을 비추어서 액정패널의 내부의 먼지 등의 결함을 촬상장치로 관찰하는 타입의 액정패널검사장치가 알려져 있다. 이와 같은 검사장치에서 문제로 되는 것이, 액정패널의 표면에 부착한 먼지를 액정패널의 내부 결함이라고 오인해서, 우량품의 액정패널을 불량품으로 판정해 버리는 것이다. 액정패널의 부품에 관해서는 이와 같은 오인을 방지하는 연구를 개시한 것으로서, 다음의 특허문헌 1 및 특허문헌 2가 알려져 있다.BACKGROUND ART A liquid crystal panel inspection device of a type is known in which a liquid crystal panel is illuminated with a backlight to observe defects such as dust inside the liquid crystal panel with an imaging device. The problem with such an inspection apparatus is that the dust adhering to the surface of the liquid crystal panel is mistaken for an internal defect of the liquid crystal panel, and the liquid crystal panel of the superior product is judged as a defective product. As for the component of the liquid crystal panel, as a study for preventing such misunderstanding, Patent Document 1 and Patent Document 2 described below are known.

[특허문헌1] 일본 특개평10-246705호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-246705

[특허문헌2] 일본 특개평10-176995호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-176995

특허문헌1은 액정패널의 컬러필터(color filter)의 검사방법에 관한 것이며, 컬러필터의 결함과 표면에 부착한 먼지를 구별할 수 있다. 이 검사방법에서는, 컬 러필터의 한 측면에 조명장치를 배치하고, 이 조명장치로 컬러필터의 한 측면에 조사하고, 컬러필터의 다른 쪽에서 CCD 카메라로 투과광의 화상을 촬영하고 있다. 이 촬영화상을 근거로 하여, 컬러필터의 돌기결함(突起缺陷)과 흑 결함(黑 缺陷)의 위치정보를 취득한다.(즉, 밝은 화상 중의 그림자(影)의 위치를 취득한다). 그와 같은 결함이 발견되면 그 결함이 존재하는 위치에 공기의 분출구를 가지고 와서 압축공기를 뿜어낸다.{에어 블로우(air blow)}.이것에 의하여, 컬러필터에 견고하게 부착해 있지 않은 이물질을 불어 날려 보내고 있다. 에어 블로우 후에 재차, 화상을 촬영한다. 에어 블로우의 전후의 화상 간에 차분처리(差分處理)를 행하고, 적당한 역치(반응이나 기타의 현상을 일으키게 하기 위하여 계(系)에 가하는 물리량의 최소치)에서 2치화(2値化)처리를 행하면, 불어 날려 없어진 이물질을 추출할 수 있다. 이것에 의해 간단히 제거할 수 있는 이물질까지도 불량품으로 판정하는 문제를 해결할 수 있다.Patent document 1 relates to the inspection method of the color filter of a liquid crystal panel, and can distinguish the defect of a color filter from the dust adhering to the surface. In this inspection method, an illumination device is arranged on one side of the color filter, the illumination device is irradiated on one side of the color filter, and the image of transmitted light is taken by a CCD camera on the other side of the color filter. On the basis of this photographed image, the positional information of the projection defect and the black defect of the color filter is acquired (that is, the position of the shadow in the bright image is obtained). If such a defect is found, the air is blown out at the location where the defect is present and blown out with compressed air. {Air blow} .This removes foreign matter that is not firmly attached to the color filter. I'm blowing. The image is taken again after the air blow. If the differential processing is performed between the images before and after the air blow, and the binarization processing is performed at an appropriate threshold value (minimum value of the physical quantity applied to the system to cause a reaction or other phenomenon), Blown out foreign matter can be extracted. This solves the problem of determining even a foreign matter that can be easily removed as a defective product.

특허문헌2는 액정패널의 투명유리기판의 검사방법에 관한 것으로, 유리기판의 결함과 표면에 부착한 먼지를 구별할 수 있다. 이 검사방법은 4종류의 검사부를 사용하는 것으로, 유리기판이 4종류의 검사부를 순서대로 통과하도록 되어 있다. 각각의 검사부에서는 유리기판의 한 쪽에 조명장치가 배치되어 있고, 다른 쪽에 촬상장치가 배치되어 있다. 제1검사부와 제4검사부는 직접 투과법을 사용하여 투과화상을 촬영하는 것이고, 제2검사부와 제3검사부는 간접 투과법을 사용하여 투과화상을 촬영하는 것이다. 제3검사부와 제4검사부의 사이에는 이온식의 제진기(除塵機)가 배치되어 있고, 유리기판이 이 제진기를 통과하면, 유리기판의 표리면(表裏面) 에 부착한 먼지가 제거된다. 본건 출원에 관계되는 부분은 제1검사부의 촬영화상과 제4검사부의 촬영화상을 비교하는 데에 있다. 제1검사부의 화상에는 유리기판의 「표면 흠(表傷)」과 「이면 흠(裏傷)」과 「거품(泡)」 이외에 표면에 부착한「먼지」가 모두 암(暗) 정보로서 나타난다. 제4검사부의 화상에서는 먼지는 제진(除塵)되어 있으므로, 유리기판의 「표면 흠」과 「이면 흠」과 「거품」만 나타난다. 따라서, 제1검사부의 화상과 제4검사부의 화상을 비교하는 것에 의해, 유리기판의 「표면 흠」과「이면 흠」과 「거품」의 위치나 상태를 바로 인식할 수 있다. 이 특허문헌2에서는 표면의 먼지를 제거하는 데에, 공기를 내뿜는 것은 아니고, 제진기를 사용하고 있다. 공기에서 먼지를 불어 날려 보내면 먼지가 액정유리에 재부착할 우려가 있다고 하고 있다.Patent document 2 relates to the inspection method of the transparent glass substrate of a liquid crystal panel, and can distinguish the defect of a glass substrate from the dust adhering to the surface. This inspection method uses four types of inspection parts, and the glass substrate passes through the four types of inspection parts in order. In each inspection part, an illumination device is arranged on one side of the glass substrate, and an imaging device is arranged on the other side. The first inspection section and the fourth inspection section photograph the transmission images using the direct transmission method, and the second inspection section and the third inspection section photograph the transmission images using the indirect transmission method. An ion type vibration damper is disposed between the third inspection portion and the fourth inspection portion, and when the glass substrate passes through the vibration damper, dust adhering to the front and back surfaces of the glass substrate is removed. The part which concerns on this application is in comparing the imaging image of a 1st inspection part and the imaging image of a 4th inspection part. In the image of the first inspection unit, all the "dust" on the surface of the glass substrate, and the "dust" on the surface other than the "surface flaw" and "foam" appear as dark information. . In the image of the fourth inspection unit, dust is damped, so that only "surface flaws", "surface flaws" and "foam" appear on the glass substrate. Therefore, by comparing the image of the 1st inspection part and the image of the 4th inspection part, the position and state of "surface flaw", "rear flaw", and "foam" of a glass substrate can be recognized immediately. In this patent document 2, in order to remove the dust of a surface, it does not blow air but uses a damper. Blowing dust out of the air may cause dust to reattach to the liquid crystal glass.

상술의 2건의 공지기술은, 액정패널을 구성하는 부품(컬러필터 또는 유리기판)에 대해서의 검사방법에 관한 것이다. 이것에 대해서, 액정을 사이에 둔 상태에서의 액정패널에 대하여 그 내부결함과 표면의 먼지를 구별할 수 있는 검사방법을 개시하는 것으로서, 다음의 특허문헌3이 알려져 있다.The two known technologies described above relate to an inspection method for a component (color filter or glass substrate) constituting a liquid crystal panel. On the other hand, the following patent document 3 is known as disclosing the inspection method which can distinguish the internal defect and the surface dust with respect to the liquid crystal panel in the state which sandwiched the liquid crystal.

[특허문헌3] 특개2007-86563호 공보[Patent Document 3] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-86563

이 특허문헌3은 편광판이 없는 상태의 액정패널에 관하여, 검사장치에 설치한 한 쌍의 편광판으로 액정패널을 협지(挾持)하여 액정패널을 검사하는 것이다. 이 검사장치는 백라이트로 조명한 때의 투과화상과 경사조명으로 조명한 때의 투과화상을 비교하는 점에서 액정패널의 내부먼지와 외부먼지를 구별할 수가 있다. This patent document 3 clamps a liquid crystal panel with a pair of polarizing plates provided in the inspection apparatus about the liquid crystal panel without a polarizing plate, and test | inspects a liquid crystal panel. This inspection apparatus can distinguish internal dust and external dust of the liquid crystal panel in comparing the transmission image when illuminated with a backlight and the transmission image when illuminated with an inclined light.

상술한 특허문헌 1과 특허문헌 2는 컬러필터 또는 유리기판에 대하여 그 자 체의 결함과 그 표면에 달라붙은 먼지를 구별하는 것이 가능하다.Patent Literature 1 and Patent Literature 2 described above can distinguish the defects of the self from the color filter or the glass substrate and the dust adhering to the surface thereof.

그러나, 이와 같은 기술을, 한 쌍의 투명기판 사이에 액정을 협지한 액정패널이면서 편광판이 없는 상태의 액정패널의 검사에 적용하면 다음의 문제가 있다. 특허문헌1과 특허문헌2는 모두 컬러필터 또는 유리기판의 표면에 부착한 먼지를 밝은 화면중의 암(暗)정보로서 검출하고 있다. 그러나 밝은 화면중의 암 정보는 어두운 화면(흑(黑)화면)중의 휘점(輝點)정보와 비교해서 확인하기 어려운 것이다. However, when such a technique is applied to the inspection of a liquid crystal panel in which a liquid crystal panel sandwiches liquid crystal between a pair of transparent substrates and does not have a polarizing plate, there are the following problems. Both patent documents 1 and patent document 2 detect dust attached to the surface of a color filter or a glass substrate as dark information in a bright screen. However, the dark information on the bright screen is difficult to confirm compared to the bright spot information on the dark screen (black screen).

또한 특허문헌1에서는 화상 중에 결함을 발견하면 그 결함의 위치에 공기의 분출구를 가지고 와서, 결함의 위치를 겨냥해서 압축공기를 집중적으로 불어넣고 있다. 이렇게 하는 것으로, 표면에 부착한 먼지를 불어 날려 보내고 있다. 따라서, 특허문헌1은 공기의 분출구를 결함위치까지 가져오기 위한 기술적 수단이 필요하게 된다. 한편, 특허문헌2는 이온(ion)식의 제진기를 사용하여 표면에 부착한 먼지를 제거하고 있다. 특허문헌2에 의하면 기류식으로는 먼지를 재 부착시킬 우려가 있다고 하고 있다. 이 특허문헌2의 기술을 실시하는 데에는 이온식의 제진기를 필요로 한다.In Patent Document 1, when a defect is found in an image, air is blown out at the position of the defect, and compressed air is concentrated at the position of the defect. In this way, the dust adhering to the surface is blown away. Therefore, patent document 1 requires the technical means for bringing the air blower outlet to a defect position. On the other hand, patent document 2 removes the dust adhering to the surface using the ion type vibration damper. According to Patent Literature 2, there is a risk of reattaching dust in the airflow type. To implement the technique of Patent Document 2, an ion damper is required.

상술한 특허문헌3은 액정패널의 내부먼지와 외부먼지를 구별하기 위해, 백라이트 외에 경사(傾斜)조명을 필요로 하고 있다. 따라서 더욱 간편한 구조인 것이 요구되고 있다.The above-mentioned Patent Document 3 requires oblique illumination in addition to the backlight in order to distinguish between internal dust and external dust of the liquid crystal panel. Therefore, a simpler structure is required.

본 발명의 목적은 액정패널의 결함을 촬상장치를 사용하여 검사하는 경우에, 간단한 수단을 사용하고 또한 흑화면 중의 휘점정보로서 먼지의 영상을 확인할 수 있도록 하여, 액정패널의 표면에 부착한 먼지의 영상과 액정패널의 결함의 영상을 구별할 수 있도록 한 액정패널검사방법 및 장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to use a simple means and to check an image of dust as bright spot information in a black screen when inspecting a defect of a liquid crystal panel by using an imaging device. An object of the present invention is to provide a liquid crystal panel inspection method and apparatus for distinguishing an image from a defect of a liquid crystal panel.

본 발명의 액정패널검사방법은 다음의 (a)에서 (e)까지의 단계를 구비하고 있다. (a) 한 쌍의 투명기판의 사이에 액정층을 협지한 액정패널로서 편광판이 없는 상태의 액정패널을 제1검사부에 배치하고, 액정패널의 한쪽에서 제1조명측편광판을 개재시켜서 조명광을 조사하고, 액정패널의 다른 쪽에서 제1촬상측 편광판을 개재시켜서 액정패널의 제1화상을 촬영하고, 흑 화면에 있어서의 휘점의 위치를 취득하는 제1화상취득단계. (b) 전기 제1검사부에서 제2검사부로 액정패널을 반송하는 반송단계. (c) 전기 제2검사부에 액정패널을 배치하고 액정패널의 표면에 기체를 분사시키는 기체분사단계. (d) 전기 제2검사부에 배치된 액정패널의 한쪽에서 제2조명측 편광판을 개재시켜서 조명광을 조사하고, 액정패널의 다른 쪽에서 제2촬상측 편광판을 개재시켜서 액정패널의 제2화상을 촬영하여 흑 화면에 있어서의 휘점의 위치를 취득하는 제2화상취득단계. (e) 전기 제1화상에 있어서의 휘점의 위치와 전기 제2화상에 있어서의 휘점의 위치를 비교하여, 2개의 화상의 휘점위치가 공통이 되는 휘점이 존재한 때에 액정패널에 결함이 존재한다고 판정하는 판정단계. The liquid crystal panel inspection method of the present invention includes the following steps (a) to (e). (a) A liquid crystal panel in which a liquid crystal layer is sandwiched between a pair of transparent substrates, and a liquid crystal panel without a polarizing plate is disposed in the first inspection unit, and the illumination light is irradiated by interposing a first illumination side polarizing plate on one side of the liquid crystal panel. And a first image acquisition step of capturing the first image of the liquid crystal panel by interposing the first imaging side polarizing plate on the other side of the liquid crystal panel and acquiring the position of the bright spot on the black screen. (b) a conveyance step of conveying the liquid crystal panel from the first inspection section to the second inspection section. (c) a gas injection step of disposing a liquid crystal panel on the second electrical inspection unit and injecting gas onto the surface of the liquid crystal panel; (d) One side of the liquid crystal panel disposed in the second inspection unit is irradiated with illumination light through the second illumination side polarizing plate, and the second image of the liquid crystal panel is photographed by interposing the second imaging side polarizing plate on the other side of the liquid crystal panel. A second image acquisition step of acquiring the position of the bright point on the black screen. (e) A defect is present in the liquid crystal panel when the positions of the bright spots in the first electric image and the positions of the bright spots in the second electric image are compared, and when there are bright spots where the spot positions of the two images are common. Judgment step for judging.

제1검사부와 제2검사부 사이의 반송도중에 있어서, 반송에 따른 진동 등의 영향에 의해 액정패널의 표면에 부착한 먼지가 낙하할 가능성이 있다. 또한 제2검사부에 있어서 액정패널의 표면에 기체를 분사시키는 것으로, 액정패널의 표면에 부착한 먼지가 낙하할 가능성이 있다. 따라서 제1화상과 제2화상을 비교하는 것으로서, 흑화면 중에 나타나는 휘점이 먼지에 기인하는 휘점인가, 액정패널의 결함에 기인하는 휘점인가를 구별할 수가 있다. 즉, 2개의 화상의 휘점위치가 공통되지 않는 휘점에 대해서는 먼지에 기인하는 휘점인 것으로 판정하고, 공통되어 있는 때에는 액정패널에 결함이 존재한다고 판정한다. 이와 같은 검사방법을 사용하는 것으로 우량품을 불량품인 것으로 오인하는 것을 방지할 수 있다. 또한 기체분사단계에 있어서 액정패널을 경사지게 하면 먼지가 낙하할 확률이 높아진다. 또한 오인율이 다소 증가하는 것을 각오한다면 기체분사단계를 생략할 수도 있다. During conveyance between the 1st inspection part and the 2nd inspection part, there exists a possibility that the dust adhering to the surface of a liquid crystal panel may fall under the influence of a vibration etc. resulting from conveyance. In addition, when gas is blown onto the surface of the liquid crystal panel in the second inspection unit, dust adhering to the surface of the liquid crystal panel may fall. Therefore, by comparing the first image and the second image, it is possible to distinguish whether the bright point appearing in the black screen is caused by dust or the bright point caused by a defect in the liquid crystal panel. That is, it is determined that the bright spots in which the bright spot positions of the two images are not common are bright spots caused by dust, and when they are common, it is determined that a defect exists in the liquid crystal panel. By using such an inspection method, it is possible to prevent the mistake of a good product as being a defective product. In addition, when the liquid crystal panel is tilted in the gas injection step, the probability of dust falling increases. In addition, the gas injection step may be omitted if the false recognition rate increases slightly.

반송단계에 있어서는 액정패널을 반송경로의 적어도 어딘가에 수평면에 대해서 경사지게 할 수도 있다. 이렇게 하면 반송에 따른 진동 등으로 액정패널의 표면에 부착한 먼지가 낙하할 가능성이 높아진다.In the conveyance step, the liquid crystal panel may be inclined with respect to the horizontal plane at least somewhere in the conveyance path. This increases the likelihood that the dust adhering to the surface of the liquid crystal panel may fall due to vibration caused by the conveyance.

또한, 본 발명의 액정패널 검사장치는 한 쌍의 투명기판 사이에 액정 층을 협지한 액정패널이고 편광판이 없는 상태의 액정패널을 검사하는 검사장치이며 다음의 (a)에서 (e)까지를 구비하고 있다. (a) 액정패널을 실은 제1검사 스테이지(stage)와 액정패널의 한쪽에 배치된 제1조명장치와, 액정패널과 전기 제1조명장치의 사이에 배치된 제1조명측 편광판과, 액정패널의 다른 쪽에 배치된 제1촬상장치와, 액정패널과 전기 제1촬상장치의 사이에 배치된 제1촬상측 편광판과, 전기 제1촬상장치로 촬영된 제1화상 중에서 흑화면 중의 휘점의 위치를 인식하는 제1위치인식수단을 구비하는 제1검사부. (b) 액정패널을 실은 제2검사스테이지와, 액정패널의 한쪽에 배치된 제2조명장치와, 액정패널과 전기 제2조명장치의 사이에 배치된 제2조명측 편광판과, 액정패널의 다른 쪽에 배치된 제2촬상장치와, 액정패널과 전기 제2촬상장치의 사이에 배치된 제2 촬상측 편광판과, 전기 제2촬상장치로 촬영된 제2화상 중에서 흑화면 중의 휘점의 위치를 인식하는 제2위치인식수단을 구비한 제2검사부. (c) 전기 제1검사부에서 전기 제2검사부로 액정패널을 반송하는 반송장치. (d) 전기 제2검사부에 배치된 액정패널의 표면에 기체를 분사하는 기체분사장치. (e) 전기 제1화상에 있어서의 휘점의 위치와 전기 제2화상에 있어서의 휘점의 위치를 비교하여 2개의 화상의 휘점위치가 공통되는 휘점이 존재한 때에 액정패널에 결함이 존재한다고 판정하는 판정수단.In addition, the liquid crystal panel inspection device of the present invention is a liquid crystal panel sandwiching a liquid crystal layer between a pair of transparent substrates and an inspection device for inspecting a liquid crystal panel without a polarizing plate and having the following (a) to (e). Doing. (a) a first inspection stage on which a liquid crystal panel is mounted, a first illumination device disposed on one side of the liquid crystal panel, a first illumination side polarizing plate disposed between the liquid crystal panel and the first illumination device, and a liquid crystal panel Position of the bright spot on the black screen among the first image pickup device disposed on the other side of the image pickup device, the first image pickup side polarizer plate disposed between the liquid crystal panel and the first image pickup device, and the first image captured by the first image pickup device. A first inspection unit having a first position recognition means for recognizing. (b) a second inspection stage carrying a liquid crystal panel, a second lighting device disposed on one side of the liquid crystal panel, a second illumination side polarizing plate disposed between the liquid crystal panel and the second electric lighting device, and the other of the liquid crystal panel. A second image pickup device disposed on the side, a second image pickup side polarizer plate disposed between the liquid crystal panel and the second image pickup device, and a second image picked up by the second image pickup device to recognize the position of the bright spot in the black screen. A second inspection unit having a second position recognition means. (c) The conveying apparatus which conveys a liquid crystal panel from an electrical 1st inspection part to an electrical 2nd inspection part. (d) A gas injection device for injecting gas to the surface of the liquid crystal panel disposed in the second electrical inspection unit. (e) Comparing the position of the bright spot in the first electric image and the position of the bright spot in the second electric image to determine that a defect exists in the liquid crystal panel when the bright spot in which the bright spot positions of the two images are common exists. Determination means.

이 액정패널검사장치에 있어서도, 검사방법의 발명과 마찬가지로, 다음과 같은 일이 생긴다. (가) 기체분사단계에 있어서 액정패널을 경사지게 하면 먼지가 낙하할 확률이 높아진다. (나) 오인률이 다소 증가하는 것을 각오하면 기체분사단계를 생략할 수가 있다. (다) 액정패널을 반송경로의 적어도 어딘가에서 수평면에 대해서 경사지게 할 수가 있다. Also in this liquid crystal panel inspection apparatus, similarly to the invention of the inspection method, the following occurs. (A) Inclining the liquid crystal panel in the gas injection step increases the probability of dust falling. (B) The gas injection step can be omitted if the false positive rate increases somewhat. (C) The liquid crystal panel can be inclined with respect to the horizontal plane at least somewhere in the conveyance path.

본 발명은 다음의 효과를 나타낸다. (1) 2개의 화상취득단계의 사이에 반송단계를 두고 2개의 화상을 취득하여 이것들을 비교한다고 하는 간단한 방법을 이용하는 것만으로, 액정패널의 표면에 부착한 먼지의 영상과, 액정패널의 내부의 결함을 구별할 수 있다. (2) 흑화면 중의 휘점을 관측하고 있기 때문에 밝은 화면중의 암 정보를 관측하는 것에 비해서 결함정보 또는 먼지정보를 확인하기 쉽다. (3) 제2검사부에 있어서 액정패널의 표면에 기체를 분사시키면 먼지가 낙하할 가능성이 높아진다. (4) 액정패널을 반송경로의 적어도 어딘가에서 수평면에 대하여 경사지게 하면 반송도중에 먼지가 낙하할 가능성이 높아진다. The present invention has the following effects. (1) An image of dust adhering to the surface of the liquid crystal panel and the inside of the liquid crystal panel can be obtained simply by using a simple method of acquiring two images and comparing them with a conveyance step between the two image acquisition steps. Defects can be distinguished. (2) Since bright spots are observed in a black screen, defect information or dust information is easier to confirm than dark information in a bright screen. (3) When gas is sprayed onto the surface of the liquid crystal panel in the second inspection unit, the possibility of dust falling increases. (4) If the liquid crystal panel is inclined with respect to the horizontal plane at least somewhere in the conveyance path, the possibility of dust falling during conveyance increases.

이하 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 도1은 본 발명의 액정패널검사장치의 일 실시예의 전체형상의 개략을 나타낸 사시도이다. 이 검사장치는 한 쌍의 투명한 유리기판 사이에 액정층을 협지한 액정패널의 결함을 검사하기 위한 것이다. 검사대상의 액정패널은 편광판을 구비하지 않은 것이다. 이 검사장치는 제1검사부(10)와 제2검사부(12)와 그들 사이의 반송계를 구비하고 있다. 이 검사장치에 있어서의 액정패널(14)의 움직임을 설명한다. 제1검사부(10)에 있어서 제1촬상장치(32)에서 제1화상이 촬영된 액정패널(14)은 반송동작(16)에 의해 제1회전테이블(18)로 반송된다. 제1회전테이블(18)에서 액정패널(14)은 수평면내에서 90°회전 시켜진 후, 반송동작(20)에 의해 로봇 반송부(도시하지 않음)로 넘거진다. 로봇 반송부는 반송계와 수용카세트{收容cassette (23)}의 사이에 액정패널(14)을 주고받는 동작을 하는 것이다. 액정패널(14)은 로봇반송부의 반송동작(22)에 의해 제2회전테이블(24)에 반송된다. 제2회전테이블(24)에 넘겨진 액정패널(14)은 롤러컨베이어(도시하지 않음)에 의한 반송동작(26)과 이 반송동작(26)에 수직인 방향으로의 반송동작(28)에 의해 경사장치(그 경사 동작을 부호 29로 나타낸다)의 곳까지 온다. 액정패널 (14)은 경사장치에 의해 수평면에 대해서 경사시켜진다. 경사자세로 된 액정패널 (14)은 반송동작(30)에 의해 제2검사부(12)에 반송된다. 제2검사부(12)에서는 제2촬상장치(34)에 의해 액정패널(14)의 제2화상이 촬 영된다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 is a perspective view showing an outline of an overall shape of an embodiment of a liquid crystal panel inspection device of the present invention. This inspection apparatus is for inspecting defects in a liquid crystal panel in which a liquid crystal layer is sandwiched between a pair of transparent glass substrates. The liquid crystal panel to be inspected does not have a polarizing plate. This inspection apparatus is equipped with the 1st inspection part 10, the 2nd inspection part 12, and the conveyance system between them. The movement of the liquid crystal panel 14 in this inspection apparatus is demonstrated. The liquid crystal panel 14 in which the first image is picked up by the first imaging device 32 in the first inspection unit 10 is conveyed to the first rotation table 18 by the conveyance operation 16. After the liquid crystal panel 14 is rotated 90 degrees in the horizontal plane in the first rotating table 18, the liquid crystal panel 14 is turned over to the robot conveying unit (not shown) by the conveying operation 20. The robot conveying unit performs an operation of exchanging the liquid crystal panel 14 between the conveying system and the accommodating cassette 23. The liquid crystal panel 14 is conveyed to the 2nd rotation table 24 by the conveyance operation 22 of the robot conveyance part. The liquid crystal panel 14 handed over to the second rotating table 24 is inclined by a conveying operation 26 by a roller conveyor (not shown) and a conveying operation 28 in a direction perpendicular to the conveying operation 26. It comes to the place of the apparatus (it shows the inclination operation | symbol 29). The liquid crystal panel 14 is inclined with respect to the horizontal plane by the inclination device. The liquid crystal panel 14 in an inclined posture is conveyed to the second inspection unit 12 by the conveyance operation 30. In the second inspection unit 12, the second image of the liquid crystal panel 14 is captured by the second imaging device 34.

도2는 제1검사부의 개략을 나타낸 정면단면도이다. 이 제1검사부는 제1검사스테이지(36)를 구비하고 있고, 이 제1검사스테이지(36)에 액정패널(14)을 실을 수가 있다. 액정패널(14)의 하방에는 제1조명장치(38)가 배치되어 있다. 액정패널(14)과 제1조명장치(38)사이에는 제1확산판(40)과 제1조명측편광판(42)이 배치되어 있다. 제1조명측편광판(42)은 제1확산판(40)의 위에 있다. 액정패널(14)의 상방에는 제1촬상장치(32)가 배치되어 있다. 액정패널(14)과 제1촬상장치(32)의 사이에는 제1촬상측 편광판(44)이 배치되어 있다. 이 실시 예에서는 액정패널(14)을 2개의 편광판(42)(44)으로 협지한 구조에 의해서 액정패널에 전압을 인가하지 않은 상태(비 점등상태)에 있어서 흑화면의 상태로 된다. 이 「흑화면의 상태」라 함은 배면 측의 조명장치에서의 빛이 액정패널을 2개의 편광판으로 협지한 구조에 의해서 차단되고, 촬상장치에 검은화면으로 비치는 상태를 말한다. 이와 같은 흑화면의 상태가 되도록 액정패널의 액정층과 2개의 편광판과의 사이에서 소정의 광학적인 관계가 설정되어 있다. 액정패널을 비 점등상태로 하여 제1조명장치(38)를 사용하여 액정패널(14)을 하방에서 조명하여, 제1촬상장치(32)로 액정패널(14)을 촬영하면 그 어두운 화면상에 액정패널의 결함 또는 액정패널에 부착한 먼지가 휘점으로 나타난다. 만약 액정패널에 결함이 없고, 또한 표면에 먼지가 부착되어 있지 않으면 화면상에는 휘점이 나타나지 않는다.2 is a front sectional view showing an outline of a first inspection unit. The first inspection section is provided with a first inspection stage 36, and the liquid crystal panel 14 can be mounted on the first inspection stage 36. The first lighting device 38 is disposed below the liquid crystal panel 14. The first diffusion plate 40 and the first illumination side polarizing plate 42 are disposed between the liquid crystal panel 14 and the first illumination device 38. The first illumination side polarizing plate 42 is above the first diffusion plate 40. The first imaging device 32 is disposed above the liquid crystal panel 14. The first imaging side polarizing plate 44 is disposed between the liquid crystal panel 14 and the first imaging device 32. In this embodiment, the structure in which the liquid crystal panel 14 is sandwiched by two polarizing plates 42 and 44 results in a black screen in a state in which no voltage is applied to the liquid crystal panel (non-lit state). This " black screen state " refers to a state in which light from the illuminating device on the rear side is blocked by a structure in which the liquid crystal panel is sandwiched by two polarizing plates, and the black screen is reflected on the imaging device. A predetermined optical relationship is set between the liquid crystal layer of the liquid crystal panel and the two polarizing plates so as to be in such a black screen state. When the liquid crystal panel is turned off, the liquid crystal panel 14 is illuminated from below using the first lighting device 38, and the liquid crystal panel 14 is photographed by the first imaging device 32. Defects in the liquid crystal panel or dust adhering to the liquid crystal panel appear as bright spots. If there is no defect in the liquid crystal panel and no dust is attached to the surface, no bright spots appear on the screen.

제1촬상장치(32)의 출력은 화상처리부(46)에서 소정의 역치로 2치화 처리되고, 휘점의 유무와 휘점의 위치가 기록된다. 제1화상처리부(46)의 처리결과는 제1 표시부(48)에서 표시할 수가 있다.The output of the first imaging device 32 is binarized by the image processing unit 46 to a predetermined threshold value, and the presence or absence of the bright spot and the position of the bright spot are recorded. The result of the processing of the first image processing section 46 can be displayed on the first display section 48.

도3은 제2검사부의 개략을 나타낸 측면단면도이다. 이 제2검사부는 제2검사스테이지(50)를 구비하고 있고, 이 제2검사스테이지(50)에 액정패널(14)을 실을 수가 있다. 제2검사스테이지(50)의 액정패널탑재면(52)은 수평면에 대해서 각도 θ를 이루도록 경사되어 있다. 각도 θ는 예를 들면 약 70°이다. 이 제2검사부는 액정패널을 비 점등상태로 한 결함검사 이외에 액정패널을 점등상태로 한 화질검사가 가능하다. 제2검사스테이지(50)가 경사지게 되어 있기 때문에 작업자는 액정패널을 눈으로 보는 것이 쉽게 된다. 이 제2검사부는 화질검사를 위하여, 액정패널에 전압을 인가하기 위한 프로브(probe) 장치(66)도 구비하고 있다.3 is a side sectional view showing an outline of a second inspection unit. The second inspection section is provided with a second inspection stage 50, and the liquid crystal panel 14 can be mounted on the second inspection stage 50. The liquid crystal panel mounting surface 52 of the second inspection stage 50 is inclined to form an angle θ with respect to the horizontal plane. The angle θ is, for example, about 70 degrees. The second inspection unit is capable of inspecting image quality with the liquid crystal panel turned on in addition to defect inspection with the liquid crystal panel turned off. Since the second inspection stage 50 is inclined, the operator can easily see the liquid crystal panel with his / her eyes. The second inspection section also includes a probe device 66 for applying a voltage to the liquid crystal panel for quality inspection.

액정패널(14)의 우측하방에는 제2조명장치(54)가 배치되어 있다. 액정패널(14)과 제2조명장치(54) 사이에는 제2확산판(56)과 제2조명측편광판(58)이 배치되어 있다. 제2조명측편광판(58)은 제2확산판(56)의 위에 있다. 액정패널(14)의 좌측상방에는 제2촬상장치(34)가 배치되어 있다. 액정패널(14)과 제2촬상장치(34)사이에는 제2촬상측 편광판(60)이 배치되어 있다. 제1검사부와 마찬가지로 액정패널(14)을 2개의 편광판(58)(60)으로 협지한 구조에 의해 액정패널에 전압을 인가하지 않은 상태(비 점등상태)에서는 흑화면의 상태가 된다. 즉 그와 같은 흑화면의 상태가 되도록 액정패널의 액정층과 2개의 편광판의 사이에서 소정의 광학적인 관계가 설정되어 있다. 액정패널(14)을 비 점등상태로 하여 제2조명장치(34)를 사용하여 액정패널(14)을 우측하방에서 조명하고, 제2촬상장치(34)로 액정패널(14)을 촬영하면 그 화면상에 액정패널의 결함 또는 액정패널에 부착한 먼지가 휘점으로 나타난다. 제2촬상장치(34)는 제1검사부에서의 제1화상장치와 마찬가지로 제2 화상처리부(68)에 접속되고 제2화상처리부(68)는 제2표시부(70)에 접속되어 있다.The second lighting device 54 is disposed below the right side of the liquid crystal panel 14. A second diffusion plate 56 and a second illumination side polarizer 58 are disposed between the liquid crystal panel 14 and the second illumination device 54. The second illumination side polarizer 58 is above the second diffuser plate 56. The second imaging device 34 is disposed above the left side of the liquid crystal panel 14. The second imaging side polarizing plate 60 is disposed between the liquid crystal panel 14 and the second imaging device 34. Similarly to the first inspection unit, the liquid crystal panel 14 is sandwiched by two polarizing plates 58 and 60 so as to be in a black screen state when no voltage is applied to the liquid crystal panel (non-lit state). That is, a predetermined optical relationship is set between the liquid crystal layer of the liquid crystal panel and the two polarizing plates so as to be in such a black screen state. When the liquid crystal panel 14 is set to the non-lit state, the liquid crystal panel 14 is illuminated from the lower right side by using the second illumination device 34, and the liquid crystal panel 14 is photographed by the second imaging device 34. Defects in the liquid crystal panel or dust adhering to the liquid crystal panel appear on the screen as bright spots. The second image pickup device 34 is connected to the second image processing unit 68 and the second image processing unit 68 is connected to the second display unit 70 similarly to the first image device in the first inspection unit.

도4는 공기분사장치를 설치한 상태의 제2검사부의 요부의 사시도이다. 상술한 도3에서는 공기분사장치의 도시는 생략하고 있는 것이다. 도4에 있어서 액정패널(14)의 2개의 장(長)변을 따라서 그 경사 상방에 2개의 공기분사기구(72)가 배치되어 있다. 경사하방에도 같은 모양의 2개의 공기분사기구(도시하지 않음)가 배치되어 있다. 이것들의 공기분사기구(72)가 본 발명에 있어서의 기체분사장치에 상당한다. 도4에 있어서, 프로브 장치에 부속하는 복수의 프로브 유닛(82)이 간략적으로 나타내고 있다. 이것들의 프로브 유닛(82)은 액정패널(14)의 1개의 장변(84)과 1개의 단(短)변(86)을 따라 배치되어 있다.4 is a perspective view of a main portion of the second inspection unit in the state where the air injection unit is installed. In FIG. 3, the illustration of the air injector is omitted. In FIG. 4, two air injection mechanisms 72 are disposed above the inclinations along two long sides of the liquid crystal panel 14. Two air blowing mechanisms (not shown) of the same shape are arranged below the slope. These air injection mechanisms 72 correspond to the gas injection device in the present invention. In FIG. 4, the some probe unit 82 attached to a probe apparatus is shown in brief. These probe units 82 are arranged along one long side 84 and one short side 86 of the liquid crystal panel 14.

도6은 공기분사기구(72)의 사시도이다. 이 공기분사기구(72)는 길고 가느다란 본체(74)를 구비하고 있다. 본체(74)의 길이는 액정패널의 장변보다도 길게 되어 있다. 이 본체(74)의 한 면에 다수의 개구(76)가 형성되어 있다. 본체(74)의 끝단면에는 공기도입 파이프(78)가 접속되어 있고, 이 공기 도입파이프에 고압공기를 도입하면 개구(76)에서 공기가 분출하도록 되어 있다. 또한, 도시는 하고 있지 않지만, 이 공기분사기구에는 이오나이저가 부속되어 있고, 이온화된 공기를 액정패널에 내뿜을 수가 있다.6 is a perspective view of the air injection mechanism 72. The air injection mechanism 72 is provided with a long and thin body 74. The length of the main body 74 is longer than the long side of the liquid crystal panel. A plurality of openings 76 are formed in one surface of the main body 74. An air introduction pipe 78 is connected to the end face of the main body 74, and when high pressure air is introduced into the air introduction pipe, air is blown out of the opening 76. Although not shown, an ionizer is attached to this air injection mechanism, and ionized air can be blown out onto the liquid crystal panel.

도4로 되돌아가서, 수평면에 대해서 각도 θ에서 경사지게 한 자세로 있는 액정패널(14)에 대하여 합계 4개의 공기분사기구(72)에서 공기(80)를 액정패널(14)의 겉 표면과 뒤 표면에 분사시킬 수가 있다. 이것에 의해 액정패널(14)의 표면에 부착하여 있는 먼지를 불어 날려 보낼 수가 있다. 액정패널(14)이 경사져 있기 때문에 공기의 흐름에 의해서 먼지가 액정패널에서 이탈되면 그 먼지는 액정패널에 재부착하기 어렵다. Returning to Fig. 4, with respect to the liquid crystal panel 14 which is inclined at an angle θ with respect to the horizontal plane, the air 80 is discharged from the four surfaces of the liquid crystal panel 14 by the four air injecting mechanisms 72 in total. Can be sprayed on. Thereby, the dust adhering to the surface of the liquid crystal panel 14 can be blown out. Since the liquid crystal panel 14 is inclined, when dust is separated from the liquid crystal panel by the flow of air, the dust is hardly reattached to the liquid crystal panel.

도5는 제2검사부에 있어서의 공기분사장치를 옆에서 본 측면도이다. 4개의 공기분사기구(72)에서 공기(80)가 경사자세의 액정패널(14)에 분사되는 모양을 나타내고 있다. Fig. 5 is a side view of the air injection value in the second inspection portion as seen from the side. The air 80 is ejected to the liquid crystal panel 14 in the oblique posture by the four air injection mechanisms 72.

다음에 이 검사장치의 동작을 설명한다. 도2의 제1검사부에 있어서, 제1촬상장치(32)에 의해 액정패널(14)의 제1화상을 취득한다. 그 제1화상은 예를 들면, 도7(A)에 나타낸 것과 같이, 검은 화면[도면중의 해칭{hatching(87)}에서 검은 화면을 대표하고 있다] 중에 3개의 휘점(88,90,92)이 나타난다. 2치화(2値化)처리한 화상에 있어서는 휘점을「1」로 하고, 휘점이 없는 곳을 「0」으로 하고 있다. 휘점은 액정패널의 결함(예를 들면 2매의 유리기판에 끼인 이물질)에 기인하는 것이든가 또는 액정패널의 표면에 부착한 먼지에 기인하는 것이다. 도1에 있어서, 이 액정패널(14)은 반송동작(16,20,22,26,28)을 경유하여 경사장치의 부분까지 다가온다. 액정패널(14)은 경사장치에 의해 수평면에 대해 각도 θ만큼 경사시켜져있다. 이 각도 θ는 제2검사부(12)의 제2검사스테이지의 경사각도와 동일하다. 이와 같이 경사자세로 된 액정패널(14)은 반송동작(30)에 의해 제2검사부(12)의 제2검사스테이지에 세트된다. 이것들의 일련의 반송동작에 수반하여 진동 등에 의하여 액정패널의 표면에 부착해 있던 먼지가 낙하할 가능성이 있다. 또한 반송도중에 액정패널이 경사자세로 되므로 먼지는 더욱더 낙하하기 쉽게 된다. 그래서 제2검사부(12)에 있어서, 공기분사장치를 사용하여 경사자세의 액정패널의 표면에 공기를 분사하는 것으로, 액정패널의 표면에서 미끄러워 떨어지지 않고 남아 있던 먼지도 불어 날려 보내게 된다.Next, the operation of this inspection apparatus will be described. In the first inspection unit of FIG. 2, the first image pickup device 32 acquires the first image of the liquid crystal panel 14. For example, as shown in Fig. 7A, the first image has three bright spots 88,90,92 in a black screen (representing a black screen in hatching in the drawing). ) Appears. In the binarized image, the bright point is set to "1", and the spot without the bright point is set to "0". The bright point is caused by defects in the liquid crystal panel (for example, foreign matter stuck to two glass substrates) or by dust adhering to the surface of the liquid crystal panel. In Fig. 1, the liquid crystal panel 14 comes to the portion of the inclination apparatus via the conveying operations 16, 20, 22, 26 and 28. The liquid crystal panel 14 is inclined by the angle device with respect to the horizontal plane by an angle θ. This angle θ is equal to the inclination angle of the second inspection stage of the second inspection unit 12. The liquid crystal panel 14 inclined attitude in this manner is set to the second inspection stage of the second inspection unit 12 by the conveyance operation 30. There is a possibility that dust adhering to the surface of the liquid crystal panel may fall due to vibration or the like with these series of conveying operations. In addition, since the liquid crystal panel is inclined during transportation, dust is more likely to fall. Therefore, in the second inspection unit 12, by spraying air on the surface of the inclined posture liquid crystal panel using the air spraying device, the remaining dust is blown off without slipping off the surface of the liquid crystal panel.

그 후 제2검사부(12)에서 제2화상을 취득하면, 예를 들면 도7b에 나타난 것과 같이 검은 화면 중에 2개의 휘점(92,94)이 나타난다. 휘점(92)은 도7a의 제1화상에도 나타나있던 것이다. 도7a의 제1화상 중에 나타나 있던 휘점(88,90)은 도7b의 제2화상으로부터는 사라져있다. 휘점(88,90)은 액정패널의 표면에 부착하고 있던 먼지에 기인하는 것으로 생각되고 이들의 먼지는 액정패널의 반송에 의해 또는 액정패널로의 공기분사에 의해 액정패널의 표면에서 없어진 것이다. 도7b의 제2화상 중에는 새로운 휘점(94)이 나타나고 있지만, 그것은 도7a의 제1화상 중에는 없었던 것이고, 새롭게 액정패널의 표면에 먼지가 부착한 것을 예상하고 있다. 다만, 본 발명의 검사장치에서는 새로운 먼지가 부착할 가능성은 상당히 낮은 것이다.Thereafter, when the second inspection unit 12 acquires the second image, two bright spots 92 and 94 appear in the black screen, for example, as shown in Fig. 7B. The bright point 92 was also shown in the first image of Fig. 7A. The bright spots 88 and 90 shown in the first image of FIG. 7A disappear from the second image of FIG. 7B. The bright spots 88 and 90 are considered to be due to the dust adhering to the surface of the liquid crystal panel, and these dusts are removed from the surface of the liquid crystal panel by conveyance of the liquid crystal panel or by air spraying to the liquid crystal panel. Although a new bright spot 94 appears in the second image of FIG. 7B, it is not present in the first image of FIG. 7A, and it is expected that dust has newly adhered to the surface of the liquid crystal panel. However, in the inspection apparatus of the present invention, the probability that new dust is attached is quite low.

도7b의 제2화상을 취득했다면, 도7a의 제1화상과 도7b의 제2화상을 비교한다. 구체적으로는 제1화상과 제2화상 사이에서 각 화소(畵素)마다 (즉, 액정패널의 같은 지점마다), 2값 데이터의 AND연산을 행한다. 이것에 의해 도7c에 나타나는 것과 같이, 제1화상과 제2화상의 양쪽에서 휘점으로 되어 있는 지점(휘점위치를 공통으로 하는 지점)만이 휘점(92)으로 남는다. 제1화상과 제2화상 중 어느 한쪽의 화상만이 나타나고 있는 휘점(88,90,94)은 액정패널의 표면에 부착한 먼지에 기인하는 것이고, AND연산에 의해 제거된다.If the second image of Fig. 7B is obtained, the first image of Fig. 7A and the second image of Fig. 7B are compared. Specifically, the AND operation of binary data is performed for each pixel (that is, at the same point in the liquid crystal panel) between the first image and the second image. As a result, as shown in Fig. 7C, only the point (the point where the point of the point of the point in common) which becomes the point of brightness in both the first image and the second image remains as the point 92. The bright spots 88, 90 and 94 in which only one of the first and second images appear are caused by dust adhering to the surface of the liquid crystal panel and are removed by AND operation.

이상의 처리에 의해 액정패널의 결함만을 추출할 수가 있다. 이와 같이하여 발견된 「결함이 있는 액정패널」은 실제로는 완전히 배제하지 않은 표면 먼지에 기인하고 있는 것(이것은 정상품이다)도 섞여 있을 가능성이 있지만 그러나 본 발명의 검사장치를 사용하는 것으로 본래는 양품(良品)인 것을 불량품이라고 판단하는 확률은 현격하게 저하된다.Only the defect of a liquid crystal panel can be extracted by the above process. The "defective liquid crystal panel" found in this manner may also be mixed with the dust (which is a genuine product) due to the surface dust which is not completely excluded. However, the inspection apparatus of the present invention is inherently used. The probability of determining that a good product is a defective product is greatly reduced.

도8은 액정패널에 결함이 없는 경우의 화상 예이다. 도8a는 제1화상이고, 휘점(88,90)이 나타나고 있다. 도8b는 제2화상이고, 휘점(94)이 나타나고 있다. 도8c는 제1화상과 제2화상을 AND연산한 화상이다. 휘점은 눈에 띄지 않는다. 이 경우에는 액정패널에 결함은 존재하지 않는다고 판정한다.8 is an example of an image when there is no defect in the liquid crystal panel. 8A is a first image, and bright spots 88 and 90 are shown. 8B is a second image, and a bright spot 94 is shown. 8C is an image obtained by AND-operating the first image and the second image. The bright spot is inconspicuous. In this case, it is determined that a defect does not exist in the liquid crystal panel.

도9는 본 발명의 실시예에 있어서의 액정패널검사방법의 순서를 나타내는 플로차트이다. 여기 까지 설명해 온 동작을 간결하게 정리하고 있다. 이것을 설명하면 액정패널의 제1화상을 취득하고[스텝 S1], 액정패널이 반송경로가 적어도 어딘가에서 수평면에 대하여 경사지게 하도록 액정패널을 반송하고(스텝 S2), 경사자세의 액정패널에 공기를 분사하여(스텝 S3), 액정패널의 제2화상을 취득하고(스텝 S4), 제1화상과 제2화상을 비교하는(스텝 S5) 것이다. 제1화상의 취득동작은 도2에 나타난 제1검사부에서 실시한다. 경사자세를 포함하는 상태에서의 반송동작은 도1의 반송동작(16,20,22,26,28,30)에 의해서 실시한다. 이 중, 경사장치에서 제2검사부로의 반송동작(30)에서는 액정패널이 경사진 상태로 반송된다. 경사자세로의 공기분사동작은 도4에 나타낸 공기분사기구(72)를 사용하여 실시한다. 제2화상의 취득동작은 도3에 나타난 제2검사부에서 실시한다. 제1화상과 제2화상의 비교동작 (화상간의 AND연산)은 검사장치에 부속되는 컴퓨터가 실시한다.Fig. 9 is a flowchart showing the procedure of the liquid crystal panel inspection method in the embodiment of the present invention. Here is a concise summary of the operations we have described so far. To explain this, the first image of the liquid crystal panel is acquired [step S1], the liquid crystal panel is conveyed so that the liquid crystal panel is inclined with respect to the horizontal plane at least somewhere (step S2), and the air is injected into the liquid crystal panel having the inclined posture. In step S3, the second image of the liquid crystal panel is obtained (step S4), and the first image and the second image are compared (step S5). The acquisition operation of the first image is performed by the first inspection unit shown in FIG. The conveying operation in the state including the inclined posture is carried out by the conveying operations 16, 20, 22, 26, 28, and 30 of FIG. Among these, in the conveyance operation | movement 30 from a tilting apparatus to a 2nd inspection part, a liquid crystal panel is conveyed in inclined state. The air injection operation in the inclined posture is performed using the air injection mechanism 72 shown in FIG. The acquisition operation of the second image is performed by the second inspection unit shown in FIG. The comparison operation (AND operation between the images) of the first image and the second image is performed by a computer attached to the inspection apparatus.

본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않고 다음과 같은 변경이 가능하다. The present invention is not limited to the above-described embodiment, and the following modifications are possible.

(1) 상술의 실시예는 제2검사부가 경사지게 되어 있고, 제2검사부에서는 액정패널이 수평면에 대해서 경사지게 되어 있으나, 제2검사부를 제1검사부와 마찬가지로 수평으로 할 수도 있다. 이 경우 액정패널은 제1검사부에서 제2검사부로의 반송단계에 있어서 수평상태를 보전한 그대로이다. 이와 같이 반송형태에서도 반송에 따른 진동 등에 의해서 액정패널의 표면(특히, 아래쪽을 향한 이면(裏面)측의 표면)에 부착해있던 먼지가 낙하할 가능성이 있고, 본 발명의 효과를 나타낼 수가 있다.(1) In the above-described embodiment, the second inspection unit is inclined, and in the second inspection unit, the liquid crystal panel is inclined with respect to the horizontal plane, but the second inspection unit may be horizontally similar to the first inspection unit. In this case, the liquid crystal panel remains intact in the horizontal state in the conveyance step from the first inspection unit to the second inspection unit. As described above, even in the conveyance mode, dust adhering to the surface of the liquid crystal panel (particularly, the back surface side facing downward) may fall due to vibration or the like due to conveyance, and the effect of the present invention can be exhibited.

(2) 불량의 오인율이 다소 증가하는 것을 각오한다면 공기분사 기구를 생략할 수가 있다. 그 경우는 액정패널을 반송하는 것에 의해 액정패널의 표면에 부착한 먼지가 낙하한다고 하는 효과만을 기대할 수 있다.(2) The air injection mechanism can be omitted if the error rate of failure is somewhat increased. In that case, only the effect that the dust adhering to the surface of a liquid crystal panel falls by conveying a liquid crystal panel can be expected.

(3) 상술의 실시예에서는 「흑화면의 상태」를 얻는 데에 액정패널을 비 점등상태로 하고 있지만, 제1검사부 또는 제2검사부에 있어서, 혹은 그 양쪽의 검사부에 있어서, 액정패널을 점등상태로 하여 흑 화면을 얻어도 좋다. 흑 화면이 얻어지면 액정패널과 편광판으로부터 이루어지는 광학계가 어떠한 것이라도 상관없고, 또한, 액정패널에 어떠한 전기신호를 인가하여도 상관없다.(3) In the above-described embodiment, the liquid crystal panel is set to a non-lit state to obtain a "state of a black screen", but the liquid crystal panel is turned on in the first inspection section, the second inspection section, or both inspection sections. A black screen may be obtained in a state. Whatever the optical system which consists of a liquid crystal panel and a polarizing plate may be sufficient as a black screen is obtained, and what electric signal may be applied to a liquid crystal panel.

(4) 상술의 실시예에서는 액정패널에 분사하는 기체로서 공기를 사용하고 있지만, 건조 질소가스 등 그 외의 기체를 사용할 수도 있다.(4) Although air is used as the gas injected into the liquid crystal panel in the above embodiment, other gases such as dry nitrogen gas may be used.

도1은 본 발명의 액정패널검사장치의 일실시예의 전체 구조의 개략을 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing an outline of the entire structure of an embodiment of a liquid crystal panel inspection device of the present invention.

도2는 제1검사부의 개략을 나타낸 정면단면도이다.2 is a front sectional view showing an outline of a first inspection unit.

도3은 제2검사부의 개략을 나타낸 측면단면도이다.3 is a side sectional view showing an outline of a second inspection unit.

도4는 공기분사장치를 설치한 상태의 제2검사부의 요부의 사시도이다.4 is a perspective view of a main portion of the second inspection unit in the state where the air injection unit is installed.

도5는 제2검사부에 있어서의 공기분사장치를 옆에서 본 측면도이다.Fig. 5 is a side view of the air injection value in the second inspection portion as seen from the side.

도6은 공기분사기구의 사시도이다.6 is a perspective view of the air jet mechanism;

도7a∼도7c는 화상 예이다. 7A to 7C are examples of images.

도8a∼도8c는 다른 화상 예이다. 8A to 8C are other image examples.

도9는 본 발명의 액정패널검사방법의 순서를 나타낸 플로 차트이다.9 is a flowchart showing the procedure of the liquid crystal panel inspection method of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>      <Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 ; 제1검사부 12 : 제2검사부 10; 1st inspection part 12: 2nd inspection part

14 : 액정패널 16, 20, 22, 26, 28, 30 : 반송동작14: liquid crystal panel 16, 20, 22, 26, 28, 30: conveying operation

32 : 제1촬상장치 34 : 제2촬상장치32: first imaging device 34: second imaging device

36 : 제1검사스테이지 38 : 제1조명장치36: first inspection stage 38: first lighting device

40 : 제1확산판 42 : 제1조명측편광판40: first diffusion plate 42: first illumination side polarizing plate

44 : 제1촬상측 편광판 46 : 제1화상처리부44: first image-side polarizing plate 46: first image processing unit

48 : 제1표시부 50 : 제2검사스테이지48: first display unit 50: second inspection stage

52 : 액정패널탑재면 54 : 제2조명장치52: liquid crystal panel mounting surface 54: the second lighting device

56 : 제2확산판 58 : 제2조명측편광판56 diffused diffusion plate 58 second illumination side polarizing plate

60 : 제2촬상측 편광판 62 : 제2화상처리부60: second image-side polarizing plate 62: second image processing unit

64 : 제2표시부 68 : 제2화상처리부64: second display unit 68: second image processing unit

70 : 제2표시부 72 : 공기분사기구70: second display unit 72: air injection mechanism

80 : 공기 88, 90 : 먼지에 의한 휘점80: air 88, 90: bright spot caused by dust

92 : (결함에 의한) 휘점 94 : (새로운 먼지에 의한) 휘점92: Light point (by defect) 94: Light point (by new dust)

Claims (8)

다음의 (a)부터 (e)까지의 단계를 구비하는 액정패널검사방법.A liquid crystal panel inspection method comprising the following steps (a) to (e). (a) 한 쌍의 투명기판의 사이에 액정 층을 둔 액정패널이고 편광판이 없는 상태의 액정패널을 제1검사부에 배치하고, 액정패널의 한쪽에서 제1조명 측 편광판을 개재시켜서 조명광을 조사하고, 액정패널의 다른 쪽에서 제1촬상측 편광판을 개재시켜서 액정패널의 제1화상을 촬영하고, 흑 화면에 있어서의 휘점의 위치를 취득하는 제1화상취득단계.(a) A liquid crystal panel having a liquid crystal layer interposed between a pair of transparent substrates, and a liquid crystal panel without a polarizing plate is disposed in the first inspection unit, and the illumination light is irradiated by interposing a first illumination side polarizing plate on one side of the liquid crystal panel. And a first image acquisition step of capturing the first image of the liquid crystal panel by interposing the first imaging side polarizing plate on the other side of the liquid crystal panel and acquiring the position of the bright spot on the black screen. (b) 전기 제1검사부에서 제2검사부로 액정패널을 반송하는 반송단계.(b) a conveyance step of conveying the liquid crystal panel from the first inspection section to the second inspection section. (c)전기 제2검사부에 액정패널을 배치하고, 액정패널의 표면에 기체를 분사하는 기체분사단계.(c) a gas injection step of disposing a liquid crystal panel on the second electrical inspection unit and injecting gas onto the surface of the liquid crystal panel; (d) 전기 제2검사부에 배치된 액정패널의 한쪽에서 제2조명 측 편광판을 개재시켜서 조명광을 조사하고, 액정패널의 다른 쪽에서 제2촬상측 편광판을 개재시켜서 액정패널의 제2화상을 촬영하여 흑화면에 있어서의 휘점의 위치를 취득하는 제2화상취득단계.(d) One side of the liquid crystal panel disposed in the second inspection unit is irradiated with illumination light through the second illumination side polarizing plate, and the second image of the liquid crystal panel is photographed by interposing the second imaging side polarizing plate on the other side of the liquid crystal panel. A second image acquisition step of acquiring the position of the bright point on the black screen. (e) 전기 제1화상에 있어서의 휘점의 위치와 전기 제2화상에 있어서의 휘점의 위치를 비교하여 두개의 화상의 휘점의 위치가 공통이 되는 휘점이 존재한 때에 액정패널에 결함이 존재한다고 판정하는 판정단계.(e) A defect is present in the liquid crystal panel when the position of the bright spot in the first electric image and the position of the bright spot in the second electric image are compared, and when there is a bright spot where the positions of the bright spots of the two images are common. Judgment step for judging. 청구항1 기재의 액정패널검사방법에 있어서, 전기 기체분사단계에서는 액정패널을 수평면에 대하여 경사지게 한 상태에서 액정패널의 표면에 기체를 분사하는 것을 특징으로 하는 액정패널검사방법.The liquid crystal panel inspection method according to claim 1, wherein in the electric gas injection step, gas is sprayed onto the surface of the liquid crystal panel while the liquid crystal panel is inclined with respect to the horizontal plane. 다음의 (a)부터 (d)까지의 단계를 구비하는 액정패널검사방법.A liquid crystal panel inspection method comprising the following steps (a) to (d). (a)한 쌍의 투명기판의 사이에 액정 층을 둔 액정패널로서 편광판이 없는 상태의 액정패널을 제1검사부에 배치하고, 액정패널의 한쪽에서 제1조명측 편광판을 개재시켜서 조명광을 조사하고, 액정패널의 다른 쪽에서 제1촬상측 편광판을 개재시켜서 액정패널의 제1화상을 촬영하여 흑 화면에 있어서의 휘점의 위치를 취득하는 제1화상취득단계. (a) A liquid crystal panel in which a liquid crystal layer is provided between a pair of transparent substrates, and a liquid crystal panel without a polarizing plate is disposed in the first inspection unit, and the illumination light is irradiated by interposing a first illumination side polarizing plate on one side of the liquid crystal panel. And a first image acquisition step of taking a first image of the liquid crystal panel and acquiring the position of the bright spot on the black screen through the first image side polarizing plate on the other side of the liquid crystal panel. (b) 전기 제1검사부에서 제2검사부로 액정패널을 반송하는 반송단계.(b) a conveyance step of conveying the liquid crystal panel from the first inspection section to the second inspection section. (c) 전기 제2검사부에 배치된 액정패널의 한쪽에서 제2조명측 편광판을 개재시켜서 조명광을 조사하고, 액정패널의 다른 쪽에서 제2촬상측 편광판을 개재시켜서 액정패널의 제2화상을 촬영하여 흑화면에 있어서의 휘점의 위치를 취득하는 제2화상취득단계.(c) One side of the liquid crystal panel disposed in the second inspection unit is irradiated with illumination light through the second illumination side polarizing plate, and the second image of the liquid crystal panel is photographed by interposing the second imaging side polarizing plate on the other side of the liquid crystal panel. A second image acquisition step of acquiring the position of the bright point on the black screen. (d) 전기 제1화상에 있어서의 휘점의 위치와 전기 제2화상에 있어서의 휘점의 위치를 비교하여 두개의 화상의 위치가 공통인 것과 같은 휘점이 존재한 때에 액정패널에 결함이 존재한다고 판정하는 판정단계.(d) The position of the bright spot in the first electric image and the position of the bright spot in the second electric image are compared to determine that a defect exists in the liquid crystal panel when there are bright spots in which the positions of the two images are common. Judgment step. 청구항 1에서 3까지의 어느 1항에 기재한 액정패널검사방법에 있어서, 전기 반송단계에서는 액정패널이 반송경로의 적어도 어딘가에서 수평면에 대하여 경사진 자세를 취하는 것을 특징으로 하는 액정패널검사방법.The liquid crystal panel inspection method according to any one of claims 1 to 3, wherein in the electrical conveyance step, the liquid crystal panel is inclined with respect to the horizontal plane at least somewhere in the conveyance path. 한 쌍의 투명기판의 사이에 액정 층을 협지한 액정패널로서 편광판이 없는 상태의 액정패널을 검사하는 검사 장치이고, 다음의 (a)에서 (e)까지를 구비하는 검사장치.An inspection apparatus for inspecting a liquid crystal panel without a polarizing plate as a liquid crystal panel in which a liquid crystal layer is sandwiched between a pair of transparent substrates, the inspection apparatus comprising (a) to (e) below. (a)액정패널을 싣는 제1검사스테이지와, 액정패널의 한쪽에 배치된 제1조명장치와, 액정패널과 전기 제1조명장치의 사이에 배치된 제1조명 측 편광판과, 액정패널의 다른 쪽에 배치된 제1촬상장치와, 액정패널과 전기 제1촬상장치의 사이에 배치된 제1촬상측 편광판과, 전기 제1촬상장치에서 촬영된 제1화상 중에서 흑화면 중의 휘점의 위치를 인식하는 제1위치인식수단을 구비하는 제1검사부,(a) a first inspection stage for mounting a liquid crystal panel, a first illumination device disposed on one side of the liquid crystal panel, a first illumination side polarizer disposed between the liquid crystal panel and the first illumination device, and another A first image pickup device disposed on the side, a first image pickup polarizer disposed between the liquid crystal panel and the first image pickup device, and a first image captured by the first image pickup device to recognize the position of the bright spot on the black screen. A first inspection unit having a first position recognition means, (b) 액정패널을 싣는 제2검사스테이지와, 액정패널의 한쪽에 배치된 제2조명장치와, 액정패널과 전기 제2조명장치의 사이에 배치된 제2조명측 편광판과, 액정패널의 다른 쪽에 배치된 제2촬상장치와, 액정패널과 전기 제2촬상장치의 사이에 배치된 제2촬상측 편광판과, 전기 제2촬상장치로 촬영된 제2화상 중에서 흑화면 중의 휘점의 위치를 인식하는 제2의 위치인식수단을 구비하는 제2검사부.(b) a second inspection stage for mounting the liquid crystal panel, a second illumination device disposed on one side of the liquid crystal panel, a second illumination side polarizing plate disposed between the liquid crystal panel and the electric second illumination device, and the other of the liquid crystal panel. A second image pickup device disposed on the side, a second image pickup polarizer disposed between the liquid crystal panel and the second image pickup device, and a second image captured by the second image pickup device for recognizing the position of the bright spot in the black screen. A second inspection unit having a second position recognition means. (c) 전기 제1검사부에서 전기 제2검사부로 액정패널을 반송하는 반송장치.(c) The conveying apparatus which conveys a liquid crystal panel from an electrical 1st inspection part to an electrical 2nd inspection part. (d) 전기 제2검사부에 배치된 액정패널의 표면에 기체를 분사시키는 기체분사장치.(d) A gas injection device for injecting gas to the surface of the liquid crystal panel disposed in the second electrical inspection unit. (e) 전기 제1화상에 있어서의 휘점의 위치와 전기 제2화상에 있어서의 휘점 의 위치를 비교하여 두개의 화상의 휘점의 위치가 공통이 되는 휘점이 존재한 때에 액정패널에 결함이 존재한다고 판정하는 판정수단.(e) A defect is present in the liquid crystal panel when the position of the bright point in the first electric image and the position of the bright point in the second electric image are compared, and when there is a bright point where the positions of the bright points of the two images are common. Judging means for judging. 청구항 5에 기재한 액정패널검사장치에 있어서, 전기 기체분사장치는 액정패널을 수평면에 대하여 경사지게 한 상태로 액정패널의 표면에 기체를 분사하는 것을 특징으로 하는 액정패널 검사장치.The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 5, wherein the electric gas spraying device injects gas onto the surface of the liquid crystal panel while the liquid crystal panel is inclined with respect to the horizontal plane. 한 쌍의 투명기판의 사이에 액정 층을 협지한 액정패널로서 편광판이 없는 상태의 액정패널을 검사하는 검사장치이며, 다음의 (a)에서 (d)까지를 구비하는 검사장치.An inspection apparatus for inspecting a liquid crystal panel without a polarizing plate as a liquid crystal panel having a liquid crystal layer sandwiched between a pair of transparent substrates, the inspection apparatus comprising (a) to (d) below. (a) 액정패널을 싣는 제1검사스테이지와, 액정패널의 한쪽에 배치된 제1조명장치와, 액정패널과 전기 제1조명장치의 사이에 배치된 제1 조명측 편광판과, 액정패널의 다른 쪽에 배치된 제1촬상장치와, 액정패널과 전기 제1촬상장치의 사이에 배치된 제1촬상측 편광판과, 전기 제1촬상장치로 촬영된 제1화상 중에서 흑화면 중의 휘점의 위치를 인식하는 제1위치인식수단을 구비하는 제1검사부,(a) a first inspection stage for mounting a liquid crystal panel, a first illumination device disposed on one side of the liquid crystal panel, a first illumination-side polarizing plate disposed between the liquid crystal panel and the electrical first illumination device, and the other of the liquid crystal panel. A first image pickup device disposed between the first image pickup device, a first image pickup polarizer disposed between the liquid crystal panel and the first image pickup device, and a first image captured by the first image pickup device. A first inspection unit having a first position recognition means, (b) 액정패널을 싣는 제2검사스테이지와, 액정패널의 한쪽에 배치된 제2조명장치와, 액정패널과 전기 제2조명장치의 사이에 배치된 제2조명측편광판과, 액정패널의 다른 쪽에 배치된 제2촬상장치와, 액정패널과 전기 제2촬상장치의 사이에 배치된 제2촬상측 편광판과, 전기 제2촬상장치로 촬영된 제2화상 중에서 흑화면 중의 휘점의 위치를 인식하는 제2위치인식수단을 구비하는 제2검사부.(b) a second inspection stage for mounting the liquid crystal panel, a second illumination device disposed on one side of the liquid crystal panel, a second illumination side polarizing plate disposed between the liquid crystal panel and the electric second illumination device, and the other of the liquid crystal panel. A second image pickup device disposed on the side, a second image pickup polarizer disposed between the liquid crystal panel and the second image pickup device, and a second image captured by the second image pickup device for recognizing the position of the bright spot in the black screen. A second inspection unit having a second position recognition means. (c) 전기 제1검사부에서 전기 제2검사부로 액정패널을 반송하는 반송장치.(c) The conveying apparatus which conveys a liquid crystal panel from an electrical 1st inspection part to an electrical 2nd inspection part. (d) 전기 제1화상에 있어서의 휘점의 위치와 전기 제2화상에 있어서의 휘점의 위치를 비교하여 두개의 화상의 휘점의 위치가 공통이 되는 휘점이 존재한 때에 액정패널에 결함이 존재한다고 판정하는 판정수단.(d) A defect is present in the liquid crystal panel when the positions of the bright spots in the first electric image and the positions of the bright spots in the second electric image are compared, and when there are bright spots where the positions of the bright spots of the two images are common. Judging means for judging. 청구항 5에서 7까지의 어느 1항에 기재한 액정패널검사장치에 있어서, 전기 반송장치에서는 액정패널이 반송경로의 적어도 어딘가에서 수평면에 대하여 경사진 자세를 취하는 것을 특징으로 하는 액정패널검사장치.The liquid crystal panel inspection apparatus according to any one of claims 5 to 7, wherein in the electric transport apparatus, the liquid crystal panel is inclined with respect to the horizontal plane at least somewhere in the transport path.
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