KR20080101627A - 광학 검사 장치 - Google Patents

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KR20080101627A
KR20080101627A KR1020070095868A KR20070095868A KR20080101627A KR 20080101627 A KR20080101627 A KR 20080101627A KR 1020070095868 A KR1020070095868 A KR 1020070095868A KR 20070095868 A KR20070095868 A KR 20070095868A KR 20080101627 A KR20080101627 A KR 20080101627A
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Abstract

본 발명은 검사대상물의 휨, 쳐짐 등으로 인한 왜곡 현상을 방지할 수 있는 광학 검사 장치에 관한 것이다. 본 발명의 광학 검사 장치는 검사대상물이 놓여지는 스테이지; 상기 스테이지에 놓여진 검사대상물을 촬영하는 촬영유닛; 상기 검사대상물로 광을 조사하는 조명유닛; 및 상기 촬영영역의 평탄도 유지를 위해 상기 촬영유닛에 의해 촬영되는 영역의 가장자리를 지지하는 구름부재(rolling member)들을 포함한다.
인쇄회로기판, 구름부재

Description

광학 검사 장치{APPARATUS FOR OPTICAL INSPECTION}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 광학 검사 장치의 구성을 설명하기 위한 정면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 광학 검사 장치의 구성을 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 한 쌍의 구름부재가 촬상영역(w)의 양단을 지지하고 있는 상태를 보여주는 도면이다.
도 4는 에어리어 스캔 카메라를 사용하는 경우 구름부재의 설치 예를 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 광학 검사 장치의 구성을 설명하기 위한 정면도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 광학 검사 장치의 구성을 설명하기 위한 측면도이다.
도 7은 12개의 볼들이 촬상영역(w)의 양단을 지지하고 있는 상태를 보여주는 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 스테이지
200 : 직선이동유닛
300 : 촬영유닛
400 : 조명유닛
500 : 구름부재
본 발명은 인쇄회로기판의 광학적 검사 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 검사대상물(인쇄회로기판)에 형성된 패턴을 촬상하고 촬상된 영상정보를 처리하여, 검사대상물에 형성된 패턴의 결함 유무를 검사하는 광학 검사 장치에 관한 것이다.
각종 인쇄회로기판은 기존의 강성 인쇄회로 기판에서 최근에는 각종 전자제품의 슬림(Slim)화 및 경박화로 인하여 보다 회로 기판의 선폭이 얇아지고 다양한 형태의 제품에 적용이 가능하도록 연성 인쇄회로 기판으로 급속도로 변화하고 있다. 따라서, 선폭이 얇아짐에 따라 사람의 눈에 의한 검사가 점점 어려워지고, 사람의 눈으로 인한 생산성 저하의 문제가 대두되어 이를 극복하기 위하여 자동 광학 검사 시스템의 도입이 필수적이 된다.
즉, 인쇄회로기판의 생산업체에서는 제품 출사전 검사에 있어서, 제품의 도금영역, 솔더 레지스터(solder resist)영역, 반도체 웨이퍼 등이 실장되는 영역(inner lead부)등의 외관 검사 항목들의 효과적이고 신속한 검사가 생산성 및 품 질 관리에 관건이 되고 있으며, 특히 대형 유리기판(회로기판)을 검사할 경우에는 안정적인 검사를 위한 평탄도 유지가 관건이 되고 있다.
본 발명은 회로기판의 안정적인 검사가 가능한 광학적 검사 장치를 제공하는데 있다.
본 발명은 회로기판의 평탄도를 유지하면서 검사할 수 있는 광학적 검사 장치를 제공하는데 있다.
본 발명은 투과광과 반사광을 이용하여 회로기판을 검사할 수 있는 광학적 검사 장치를 제공하는데 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광학 검사 장치는 검사대상물이 놓여지는 스테이지; 상기 스테이지에 놓여진 검사대상물을 촬영하는 촬영유닛; 상기 검사대상물로 광을 조사하는 조명유닛; 및 상기 촬영영역의 평탄도 유지를 위해 상기 촬영유닛에 의해 촬영되는 영역의 가장자리를 지지하는 구름부재(rolling member)들을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 구름부재는 상기 검사대상물과 구름 접촉하는 볼을 갖는 볼 캐스터이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 광학 검사 장치는 상기 촬영유닛이 상기 검사대상물을 연속 촬영할 수 있도록 상기 스테이지를 전후 방향으로 이동시키는 직선이동유닛을 더 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 촬영유닛은 라인 스캔(line scan) 방식으로 촬영하는 라인스캔 카메라를 포함하며, 상기 구름부재는 상기 라인스캔 카메라에 의해 촬영되는 상기 촬영영역의 양단을 지지한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 촬영유닛은 에어리어 스캔(area scan) 방식으로 촬영하는 에어리어 카메라를 포함하며, 상기 구름부재는 상기 에어리어 카메라에 의해 촬영되는 상기 촬영영역의 모서리들을 지지한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 조명 유닛은 상기 검사대상물에 투과광을 조사하는 투과조명과, 상기 검사대상물에 반사광을 조사하는 반사조명 중 적어도 하나를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 스테이지는 상기 검사대상물의 좌우측 가장자리를 지지하며, 상기 구름부재가 상기 검사대상물 아래에 위치되도록 전후 이동방향으로 개방된 공간을 갖는다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 스테이지는 상기 구름부재가 상기 검사대상물 아래에 위치되도록 전후 이동방향으로 개방된 공간을 갖는 몸체; 상기 몸체의 상단에 제공되며 상기 검사대상물의 좌우측 가장자리를 지지하는 서포터를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 스테이지는 상기 서포터에 놓여진 상기 검사대상물의 위치를 정렬해주는 위치결정부재를 더 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 광학 검사 장치는 상기 스테이지의 전후 이동방향으로 수평하게 설치되며, 상기 스테이지의 개방된 공간을 통과하는 그리고 상기 구름부재가 설치되는 수평 지지대를 더 포함한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광학 검사 장치는 검사대상물이 놓여지는 스테이지; 상기 스테이지에 놓여진 검사대상물을 촬영하는 촬영유닛; 상기 검사대상물로 광을 조사하는 조명유닛을 포함하되; 상기 스테이지는 검사대상물의 평탄도 유지를 위해 검사 대상물과 구름 접촉하는 구름부재를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 구름부재는 상기 촬영유닛에 의해 촬영되는 검사 대상물의 촬영영역 가장자리를 일정 간격마다 지지하는 복수의 볼들을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 광학 검사 장치는 상기 촬영유닛이 검사대상물을 연속 촬영할 수 있도록 상기 구름부재와 함께 상기 스테이지를 상기 촬영유닛의 촬영영역으로 이동시키는 직선이동유닛을 더 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 조명 유닛은 상기 검사대상물에 투과광을 조사하는 투과조명과, 상기 검사대상물에 반사광을 조사하는 반사조명을 포함한다.
예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 7에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.
본 발명의 검사 장치는 대형 회로기판을 검사하는데 매우 적합하다. 특히, 자중에 의해 휨이 발생되어 평탄도 유지가 어려운 대형 회로기판을 검사하는데 매우 적합하다. 여기서, 검사대상물은 저면에 글라스가 부착 보강된 회로기판, 회로패턴이 형성된 유리기판, 광폭의 회로기판일 수 있다.
(제1실시예)
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 광학 검사 장치의 구성을 설명하기 위한 정면도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 광학 검사 장치의 구성을 설명하기 위한 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 광학 검사 장치(10)는 스테이지(100), 직선이동유닛(200), 촬영유닛(300), 조명유닛(400), 구름부재(500)들을 포함한다.
(스테이지)
스테이지(100)는 바닥면(112)과 제1측면(114) 그리고 제2측면(116)을 포함하는 몸체(110)를 포함한다. 몸체(110)의 상단, 즉 제1,2측면(114,116) 상단에는 서포터(120)와 위치결정부재(130)가 설치된다. 검사대상물(s)은 양측 가장자리가 서포터에 지지된 상태로 놓여지게 된다. 위치결정부재(130)는 서포터(120)에 놓여진 검사대상물(s)의 양측 정렬을 위한 실린더로써, 검사대상물의 양측면을 가압하여 좌우 위치를 보정(정렬)시킨다. 한편, 몸체(110)는 제1,2측면(114,116) 사이에 공간이 제공되며, 이 공간은 상부와, 전후 방향으로 개방된다.
스테이지(100)는 직선이동유닛(200)에 의해 베이스 플레이트(20)상에서 전후 방향으로 이동된다. 직선이동유닛(200)은 LM가이드(210)와 리니어 모터(220)를 포함한다. 스테이지(100)는 베이스 플레이트(20)에 설치된 LM 가이드(210)의 안내를 받아 리니어 모터(220)의 구동에 의해 전후 방향으로 이동된다. 본 실시예에서는 직선이동유닛(200)이 LM가이드와 리니어 모터로 도시하고 설명하였으나, 모터의 회전력을 체인이나 벨트 또는 볼스크류 등을 이용하여 직선 이동하는 다양한 메커니즘이 적용될 수 있다.
(촬영유닛)
촬영유닛(300)은 CCD 라인센서와 같은 이미지 센서와 렌즈(미도시됨)를 갖는 CCD 카메라로써, 검사대상물(s)의 표면(패턴 등)을 촬영하여 검사대상물(s)에 대한 영상 데이터를 획득하게 된다. 이렇게 획득된 영상 데이터는 영상 처리부(미도시됨)로 제공된다. 도시하지 않았지만, 광학 검사 장치는 촬영유닛으로부터 촬영된 이미지를 제공받는 영상처리부를 갖는 것은 당연하며, 영상처리부는 전형적인 컴퓨터 시스템(일명, 마이컴)으로 구비되어, 자동 광학 검사에 따른 제반 동작을 제어, 처리하게 된다. 예컨대, 촬영유닛(300)은 라인스캔 카메라가 사용될 수 있으며, 추후 검사 대상물의 검사 조건 및 사용자의 요구사항에 따라 라인스캔 카메라 또는 에어리어 카메라가 추가로 설치될 수 있다. 촬영유닛(300)은 수직 프레임(30)에 좌우 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 수직 프레임(30)에 설치된 가이드 레일(32)에는 이동판(34)이 설치되며, 이동판(34)에는 촬영유닛(300)인 라인스캔 카메라가 설치된다. 즉, 촬영유닛(300)은 촬영하고자 하는 영역에 따라 좌우 위치 조정이 가능하다.
(조명유닛)
조명유닛(400)은 검사대상물(s)에 투과광을 조사하는 투과조명(410)과, 검사대상물(s)에 반사광을 조사하는 반사조명(420)을 포함한다. 반사조명(420)은 검사대상물(s)의 상부에 배치되고, 투과조명(410)은 검사대상물(s)의 촬영영역 아래에 배치된다. 반사조명(420)과 투과조명(410)은 검사대상물(s)의 촬영영역에 대한 영상 데이터를 획득하기 위한 광을 출력하게 된다. 반사조명(420)과 투과조명(410)의 광원으로는 선형 배열된 다수의 발광다이오드, 선형튜브 형광램프, 할로겐, 메탈할라이드 등이 사용될 수 있으며, 이러한 광원 상부에는 광의 균일도를 높이기 위한 확산판 등이 설치될 수 있다. 반사조명(420)은 이동판(34)에 설치되며, 투과조명(410)은 수평 지지대(600)에 고정 설치된다. 투과조명(410)과 반사조명(420)은 높낮이를 조절할 수 있다.
(구름부재)
본 발명에서 가장 중요한 구성요소인 구름부재(500)는 검사대상물(s)의 촬영영역이 굴곡, 휨(처짐)으로 인한 왜곡 현상을 최소화하기 위한 것으로, 검사대상물(s)의 촬영영역(w) 가장자리와 직접적으로 접촉이 이루어지는 볼(510)을 갖는 볼 캐스터를 포함한다. 구름부재(500)는 촬영유닛(300)의 아래에 위치되도록 수평 지지대(600)에 설치된다. 구름부재(500)는 스테이지(100)가 검사를 위해 촬영유닛(300) 아래에 위치되었을 때 검사대상물(s)의 저면을 구름 접촉할 수 있는 높이에 위치하도록 수직한 한 쌍의 받침대(520) 상부에 위치된다. 참고로, 한 쌍의 받침대(520)는 구름부재(500)의 높이 조절을 위해 수평 지지대(600)에 높낮이 조절이 가능하도록 설치되는 것이 바람직하다. 도 2에서와 같이, 한 쌍의 받침대(520) 사이에는 투과조명(410)이 위치되고, 그 투과조명(410) 아래에는 수평 지지대(600)가 위치된다.
(수평지지대)
수평 지지대(600)는 전후 방향으로 이동되는 스테이지(100)의 개방된 공간에 구름부재(500)와 투과조명(410)이 위치될 수 있도록 이들이 고정되는 구조물이다. 수평 지지대(600)는 스테이지(100)의 전후 이동 방향으로 수평하게 그리고 스테이지의 개방된 공간을 가로지르도록 위치되며, 양단이 베이스 플레이트(20)에 설치된 고정대(610)에 설치된다. 수평 지지대에는 구름부재와 투과조명이 설치된다.
도 3은 한 쌍의 구름부재(500)가 촬상영역(w)의 양단을 지지하고 있는 상태를 보여주는 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 촬영유닛이 라인 스캔 방식으로 촬영하는 카메라이기 때문에, 2개의 구름부재(500)가 촬상하는 영역(w)의 양단에 해당되는 검사대상물(s)의 저면을 구름 접촉으로 지지하게 되며, 촬영유닛은 화살표 방향(전후방향)으로 이동하는 검사대상물(s)을 연속 촬영하게 된다. 이때, 촬영유닛에 의한 촬영은 한 쌍의 구름부재(500)에 의해 평탄도를 유지한 상태에서 이루어지게 된다. 본 실시예에서는 한 쌍의 구름부재만을 도시하였으나, 필요에 따라 복수의 구름부재가 설치될 수 있다.
도 4는 에어리어 스캔 카메라를 사용하는 경우 구름부재의 설치예를 보여주는 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 촬영유닛이 에어리어 스캔 방식으로 촬영하는 카 메라인 경우, 도 4에 도시된 바와 같이 4개의 구름부재(500)가 사각의 촬영 영역(w)의 모서리 4곳에 각각 배치되어 검사대상물(s)의 저면을 구름 접촉으로 지지하게 되며, 이렇게 촬영영역의 평탄도가 유지된 상태에서 촬영이 이루어지기 때문에 신뢰성 있는 검사가 가능하게 된다.
본 실시예에서는 스테이지가 스캔 이동하면서 촬영되는 것으로 도시하였으나, 또 다른 예로서, 검사대상물이 놓여지는 스테이지는 고정된 상태에서 촬영유닛, 조명유닛 그리고 구름부재가 스캔 이동하면서 고정되어 있는 검사대상물을 촬영하는 것도 가능하다. 예컨대, 촬영유닛 및 조명유닛 그리고 구름부재는 추후 검사 대상물의 검사 조건 및 사용자의 요구사항에 따라 추가로 설치될 수 있다.
(제2실시예)
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 광학 검사 장치의 구성을 설명하기 위한 정면도이고, 도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 광학 검사 장치의 구성을 설명하기 위한 측면도이다.
제2실시예에서 중요한 특징은, 촬영유닛과 조명유닛 그리고 구름부재가 고정된 상태에서 스테이지만 이동하면서 검사대상물을 검사하는 제1실시예의 방식과는 다르게, 제2실예에서는 촬영유닛과 조명유닛이 고정된 상태에서 구름부재와 스테이지가 함께 이동하면서 검사대상물을 검사하는 방식으로 변경되었다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 광학 검사 장치(10a)는 스테이지(100a), 직선이동유닛(200a), 촬영유닛(300a), 조명유닛(400a) 그리고 구름부 재(500a)를 포함한다.
스테이지(100a)는 바닥면(112)과 제1측면(114) 그리고 제2측면(116)을 포함하는 몸체(110)를 포함한다. 몸체(110)의 상단, 즉 제1,2측면(114,116) 상단에는 서포터(120)와 위치결정부재(130)가 설치된다. 검사대상물(s)은 양측 가장자리가 서포터(120)에 지지된 상태로 놓여지게 된다. 위치결정부재(130)는 서포터(120)에 놓여진 검사대상물(s)의 양측 정렬을 위한 실린더로써, 검사대상물의 양측면을 가압하여 좌우 위치를 보정(정렬)시킨다. 한편, 몸체(110)는 제1,2측면(114,116) 사이에 공간이 제공되며, 이 공간은 상부와, 전후 방향으로 개방된다.
한편, 구름부재(500a)는 스테이지(100a)에 설치된다. 구름부재(500a)는 스테이지(100a)에 놓여진 검사대상물(s)의 저면을 지지할 수 있도록 검사대상물(s)이 위치되는 선상 바로 아래에 배치되며, 구름부재는 제1,2측면(114,116)으로부터 연장되어 형성된 브라켓(190)에 설치된다.
구름부재(500a)는 스테이지(100a)에 놓여지는 검사대상물(s)의 촬영영역이 굴곡, 휨(처짐)으로 인한 왜곡 현상을 최소화하기 위한 것으로, 검사대상물(s)의 촬영영역(w) 가장자리와 직접적으로 접촉이 이루어지는 볼(510)들을 갖는 볼 캐스터를 포함한다. 구름부재(500a)는 검사대상물 아래에 위치되도록 스테이지에 설치됨으로써 스테이지와 함께 이동된다. 따라서, 구름부재의 볼들은 일정간격으로 검사대상물과 점 접촉된 상태를 유지하게 되며, 제1실시예처럼 볼과 검사대상물의 상대 이동으로 인하 마찰 등이 발생되지 않는다. 구름부재(500a)는 검사대상물이 스테이지에 놓여졌을 때 검사대상물(s)의 저면을 구름 접촉할 수 있는 높이에 위치하 도록 브라켓(190)에 설치된다. 도시하지 않았지만, 브라켓(190)은 구름부재(500a)의 높이 조절을 위해 스테이지(100a)의 제1,2측면(114,116)에 높낮이 조절이 가능하도록 설치되는 것이 바람직하다.
도 7에서와 같이, 구름부재(500a)의 볼들은 일정간격 마다 설치되어 검사대상물(s)을 전체적으로 지지하게 된다. 예컨대, 사방에 배치되는 볼 4개가 평탄도를 유지할 수 있는 영역이 100mm라고 한다면, 이미지를 촬상하는 영역(검사대상물의 길이)이 예를 들어 500mm라고 할 때에 100mm 간격으로 6개의 볼이 2열로 배치되므로 총 12개의 볼(510)들이 필요하게 된다.
다시 도 7을 참조하면, 양측에 2열로 6개의 볼들이 촬상하는 영역(w)의 양단에 해당되는 검사대상물(s)의 저면을 구름 접촉으로 지지하게 되며, 촬영유닛은 화살표 방향(전후방향)으로 이동하는 검사대상물(s)을 연속 촬영하게 된다. 이때, 촬영유닛에 의한 촬영은 12개의 볼들에 의해 평탄도를 유지한 상태에서 이루어지게 된다.
구름부재(500a)와 스테이지(100a)는 직선이동유닛(200a)에 의해 베이스 플레이트(20)상에서 전후 방향으로 이동된다. 직선이동유닛(200a)은 LM가이드(210)와 리니어 모터(220)를 포함한다. 스테이지(100a)는 베이스 플레이트(20)에 설치된 LM 가이드(210)의 안내를 받아 리니어 모터(220)의 구동에 의해 전후 방향으로 이동된다. 본 실시예에서는 직선이동유닛(200a)이 LM가이드와 리니어 모터로 도시하고 설명하였으나, 모터의 회전력을 체인이나 벨트 또는 볼스크류 등을 이용하여 직선 이동하는 다양한 메커니즘이 적용될 수 있다.
촬영유닛(300a)은 CCD 라인센서와 같은 이미지 센서와 렌즈(미도시됨)를 갖는 CCD 카메라로써, 검사대상물(s)의 표면(패턴 등)을 촬영하여 검사대상물(s)에 대한 영상 데이터를 획득하게 된다. 이렇게 획득된 영상 데이터는 영상 처리부(미도시됨)로 제공된다. 도시하지 않았지만, 광학 검사 장치는 촬영유닛으로부터 촬영된 이미지를 제공받는 영상처리부를 갖는 것은 당연하며, 영상처리부는 전형적인 컴퓨터 시스템(일명, 마이컴)으로 구비되어, 자동 광학 검사에 따른 제반 동작을 제어, 처리하게 된다. 예컨대, 촬영유닛(300a)은 라인스캔 카메라가 사용될 수 있으며, 추후 검사 대상물의 검사 조건 및 사용자의 요구사항에 따라 라인스캔 카메라 또는 에어리어 카메라가 추가로 설치될 수 있다. 촬영유닛(300a)은 수직 프레임(30)에 좌우 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 수직 프레임(30)에 설치된 가이드 레일(32)에는 이동판(34)이 설치되며, 이동판(34)에는 촬영유닛(300a)인 라인스캔 카메라가 설치된다. 즉, 촬영유닛(300a)은 촬영하고자 하는 영역에 따라 좌우 위치 조정이 가능하다.
조명유닛(400a)은 검사대상물(s)에 투과광을 조사하는 투과조명(410)과, 검사대상물(s)에 반사광을 조사하는 반사조명(420)을 포함한다. 반사조명(420)은 검사대상물(s)의 상부에 배치되고, 투과조명(410)은 검사대상물(s)의 촬영영역 아래에 배치된다. 반사조명(420)과 투과조명(410)은 검사대상물(s)의 촬영영역에 대한 영상 데이터를 획득하기 위한 광을 출력하게 된다. 반사조명(420)과 투과조명(410)의 광원으로는 선형 배열된 다수의 발광다이오드, 선형튜브 형광램프, 할로겐, 메탈할라이드 등이 사용될 수 있으며, 이러한 광원 상부에는 광의 균일도를 높 이기 위한 확산판 등이 설치될 수 있다. 반사조명(420)은 이동판(34)에 설치되며, 투과조명(410)은 수평 지지대(600a)에 고정 설치된다. 투과조명(410)과 반사조명(420)은 높낮이를 조절할 수 있다.
수평 지지대(600a)는 전후 방향으로 이동되는 스테이지(100a)의 개방된 공간에 투과조명(410)이 위치될 수 있도록 이들이 고정되는 구조물이다. 수평 지지대(600a)는 스테이지(100a)의 전후 이동 방향으로 수평하게 그리고 스테이지의 개방된 공간을 가로지르도록 위치되며, 양단이 베이스 플레이트(20)에 설치된 고정대(610)에 설치된다. 수평 지지대(600a)에는 투과조명(410)이 설치된다.
이상에서, 본 발명에 따른 광학 검사 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 검사대상물의 촬영영역에 대한 굴곡, 휨(처짐)으로 인한 왜곡 현상을 방지할 수 있다.
본 발명은 안정된 초첨을 가지는 이미지를 얻을 수 있다.
본 발명은 검사대상물의 평탄도를 유지하면서 검사할 수 있다.
본 발명은 검사대상물에 대해 보다 높은 검사 품질을 얻을 수 있다.

Claims (14)

  1. 광학 검사 장치에 있어서:
    검사대상물이 놓여지는 스테이지;
    상기 스테이지에 놓여진 검사대상물을 촬영하는 촬영유닛;
    상기 검사대상물로 광을 조사하는 조명유닛; 및
    상기 촬영영역의 평탄도 유지를 위해 상기 촬영유닛에 의해 촬영되는 영역의 가장자리를 지지하는 구름부재(rolling member)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구름부재는 상기 검사대상물과 구름 접촉하는 볼을 갖는 볼 캐스터인 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 광학 검사 장치는
    상기 촬영유닛이 상기 검사대상물을 연속 촬영할 수 있도록 상기 스테이지를 전후 방향으로 이동시키는 직선이동유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 촬영유닛은
    라인 스캔(line scan) 방식으로 촬영하는 라인스캔 카메라를 포함하며,
    상기 구름부재는
    상기 라인스캔 카메라에 의해 촬영되는 상기 촬영영역의 양단을 지지하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 촬영유닛은
    에어리어 스캔(area scan) 방식으로 촬영하는 에어리어 카메라를 포함하며,
    상기 구름부재는
    상기 에어리어 카메라에 의해 촬영되는 상기 촬영영역의 모서리들을 지지하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 조명 유닛은 상기 검사대상물에 투과광을 조사하는 투과조명과, 상기 검사대상물에 반사광을 조사하는 반사조명 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지는
    상기 검사대상물의 좌우측 가장자리를 지지하며, 상기 구름부재가 상기 검사대상물 아래에 위치되도록 전후 이동방향으로 개방된 공간을 갖는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지는
    상기 구름부재가 상기 검사대상물 아래에 위치되도록 전후 이동방향으로 개방된 공간을 갖는 몸체;
    상기 몸체의 상단에 제공되며 상기 검사대상물의 좌우측 가장자리를 지지하는 서포터를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지는
    상기 서포터에 놓여진 상기 검사대상물의 위치를 정렬해주는 위치결정부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 광학 검사 장치는
    상기 스테이지의 전후 이동방향으로 수평하게 설치되며, 상기 스테이지의 개 방된 공간을 통과하는 그리고 상기 구름부재가 설치되는 수평 지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
  11. 광학 검사 장치에 있어서:
    검사대상물이 놓여지는 스테이지;
    상기 스테이지에 놓여진 검사대상물을 촬영하는 촬영유닛;
    상기 검사대상물로 광을 조사하는 조명유닛을 포함하되;
    상기 스테이지는
    검사대상물의 평탄도 유지를 위해 검사 대상물과 구름 접촉하는 구름부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 구름부재는
    상기 촬영유닛에 의해 촬영되는 검사 대상물의 촬영영역 가장자리를 일정 간격마다 지지하는 복수의 볼들을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 광학 검사 장치는
    상기 촬영유닛이 검사대상물을 연속 촬영할 수 있도록 상기 구름부재와 함께 상기 스테이지를 상기 촬영유닛의 촬영영역으로 이동시키는 직선이동유닛을 더 포 함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 조명 유닛은
    상기 검사대상물에 투과광을 조사하는 투과조명과, 상기 검사대상물에 반사광을 조사하는 반사조명을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
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