KR20080089188A

KR20080089188A - 도포 장치

Info

Publication number: KR20080089188A
Application number: KR1020080025853A
Authority: KR
Inventors: 마사타카 하세가와
Original assignee: 후지필름 가부시키가이샤
Priority date: 2007-03-30
Filing date: 2008-03-20
Publication date: 2008-10-06
Also published as: CN101274315A; JP2008253867A; JP4855993B2; TWI450768B; CN101274315B; TW200932371A

Abstract

[과제] 막의 두께 정밀도가 높고, 또한 표면이 평활해서 도포 얼룩이 없는 도포막을 얻을 수 있는 도포 장치를 제공한다.

[해결 수단] 길이 방향으로 주행하는 장척상의 웹(16)을 외주면에서 지지하는 백업 롤러(20)를 갖는 백업 롤러부(21)와, 백업 롤러(20)와 일정 간격의 클리어런스를 갖고서 대향 배치되어 도포액을 웹(16)에 공급하는 도포액 공급부(18)를 구비하고, 클리어런스에 형성되는 도포액의 비드를 통해서 도포하는 도포 장치로서, 도포액 공급부(18)와 백업 롤러부(21) 양쪽을 1개의 가대(30) 상에 지지하고, 가대(30)를 능동형 제진 장치(32) 상에 고정했다.

도포 장치

Description

도포 장치{COATING APPARATUS}

본 발명은 도포 장치에 관한 것으로서, 특히 연속해서 주행하는 웹(띠상 지지체) 상에 도포액을 도포해서 균일한 두께의 도포막면을 형성하는 도포 장치에 관한 것이다.

사진 감광 재료나 자기 기록 매체 등의 분야에 있어서, 연속 주행하는 띠상의 가요성 지지체(이하,「웹」이라고 한다) 상에 소정의 도포액을 도포해서 도포막을 형성하는 도포 공정이 채용되어 있다. 최근, 이들 분야에 있어서, 도포막의 두께 정밀도가 높고, 또한 표면이 평활해서 도포 얼룩이 없는 도포막을 얻을 수 있는 도포 기술이 요구되고 있다.

마찬가지로, 광학 보상 필름, 반사 방지 필름, 방현성 필름 등 각종 기능을 갖는 광학 필름의 제조에 적용되는 도포 공정에 있어서도 상기와 같은 도포기술이 요구되고 있다.

도포액을 웹면에 도포하는 도포 장치로서는, 예를 들면 롤 코터형, 그라비어 코트형, 롤 코트 플러스닥터형, 리버스롤 코터형, 익스트루젼형, 슬라이드 코트형 등이 있고, 용도에 따라서 구별되어 쓰여지고 있는 것이 현재의 상태이다.

이들 중 어느 도포 장치에 있어서나, 도포막의 두께 정밀도가 높고, 또한 표면이 평활해서 도포 얼룩이 없는 도포막을 얻기 위해서 도포시의 진동을 제거하는 것이 중요하다.

도포시의 진동을 제거하는 방법으로서 특허문헌 1에는, 능동형 제진 장치를 도포부에 적용하는 것이 개시되어 있다. 또한, 특허문헌 2에는 도포 헤드에 진동을 부여함으로써 웹과 도포 헤드의 거리를 일정하게 유지하는 도포 장치가 개시되어 있다.

[특허문헌 1] 일본 특허공개 2005-319385호 공보

[특허문헌 2] 일본 특허공개 2004-89896호 공보

그러나, 특허문헌 1 및 특허문헌 2에서는 웹과 도포 헤드의 거리를 일정하게 유지할 수 있지만, 도포액의 메니스커스 진동은 억제할 수 없으므로 도포 얼룩을 일으키는 진동을 없애는 데 충분하다고는 말할 수 없고, 도포 얼룩이 발생할 우려가 있었다. 또한, 익스트루젼형 도포 헤드(9)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 2개의 출구 립(상부 립)(3)과 입구 립(하부 립)(6)이 간격을 유지하도록 대치되어서 슬롯(7)을 형성하고, 이 슬롯(7)에 연결된 액체 저장소(8)를 내부에 갖는다. 그리고, 도포액은 연결된 슬롯(7)을 경유해서 슬롯 선단(5)으로부터 토출된다. 즉, 익스트루젼형 도포 헤드(9)는 웹(2)과 도포 헤드(9)의 거리를 일정 간격으로 유지하도록 립 선단(5)과 백업 롤러(1) 사이의 거리가 설정되어 있지만, 도포시에 도포액 비드(4)의 메니스커스(4a)에 진동이 일어나 도포 얼룩이 발생할 우려가 있었다.

본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로서 막의 두께 정밀도가 높고, 또한 표면이 평활해서 도포 얼룩이 없는 도포막을 얻을 수 있는 도포 장치를 실현하는 것을 목적으로 한다.

청구항 1에 기재된 발명은, 상기 목적을 달성하기 위하여 길이 방향으로 주행하는 장척상의 웹을 외주면에서 지지하는 백업 롤러를 갖는 백업 롤러부와, 상기 백업 롤러와 일정한 간격의 클리어런스를 갖고서 대향 배치되어 도포액을 웹에 공급하는 도포액 공급부를 구비하고, 상기 클리어런스에 형성되는 상기 도포액의 비드를 통해서 도포하는 도포 장치로서, 상기 도포액 공급부와 상기 백업 롤러부 양쪽을 1개의 가대 상에 지지시키고, 상기 가대를 능동형 제진 장치 상에 고정한 것 을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 도포액 공급부와 백업 롤러부가 지지된 가대가 능동 제진 장치 상에 고정되어 있으므로, 각종 진동이 억제되어 도포액의 메니스커스 진동을 억제할 수 있으므로 도포막에 악영향을 미치기 어렵다. 그 결과, 막의 두께 정밀도가 높고, 또한 표면이 평활해서 도포 얼룩이 없는 도포막을 얻을 수 있다.

또한, 능동 제진 장치라는 것은 액티브 제진 장치라고도 호칭되고 있고, 적층 고무, 공기 스프링 등을 사용한 보통의 제진 장치(소위, 패시브 제진 장치)와 달리, 공기압식, 기계식, 유압식 등의 액츄에이터를 사용해서 피드백 제어, 또는 피드백 제어 및 피드포워드 제어에 의해 능동적으로 제진을 행하는 장치이다.

또한, 피도포 물체인 장척상의 웹은 보통은 띠상의 가요성 지지체(웹)인 경우가 많지만, 띠상의 판상체, 예를 들면, 유리 기판, 실리콘 웨이퍼 등이라도 본 발명을 적용할 수 있고, 같은 효과가 얻어진다.

청구항 2에 기재된 발명은, 제 1 항에 있어서, 상기 능동 제진 장치가 센서에서 검지된 진동 성분에 의거해 피드백 제어해서 액츄에이터를 작동시켜 능동적으로 제진을 행하는 장치인 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 의하면, 센서에서 검지된 진동 성분을 피드백 제어해서 액츄에이터를 작동시켜 능동적으로 제진을 행하는 구성의 능동 제진 장치라면 각종 진동이 억제되어 도포막에 악영향을 미치기 어렵다.

청구항 3에 기재된 발명은, 제 1 항에 있어서, 상기 능동 제진 장치가 센서에서 검지된 진동 성분에 의거해 피드백 제어 및 피드포워드 제어해서 액츄에이터 를 작동시켜 능동적으로 제진을 행하는 장치인 것을 특징으로 한다.

청구항 3에 의하면, 센서에서 검지된 진동 성분을 피드백 제어 및 피드포워드 제어해서 액츄에이터를 작동시켜 능동적으로 제진을 행하는 구성의 능동 제진 장치라면 또한 각종 진동이 억제되어 도포막에 악영향을 미치기 어렵다.

청구항 4에 기재된 발명은, 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 가대의 1차 고유 진동수가 80Hz 이상으로 되어 있는 것을 특징으로 한다.

가대의 1차 고유 진동수를 80Hz 이상으로 했을 경우, 가진이 있었을 때에 도포 장치가 강하게 진동하는 것이 이 1차 고유 진동수의 주파수역이 된다. 그리고, 도포시에 발생하는 단 편차 등의 피치는 이 주파수에 대응한다. 그런데, 광학 필름(광학 보상 필름, 반사 방지 필름 등)의 도포막은 이 주파수라면 단 편차가 생기기 어려워 도포막에 악영향을 미치기 어렵다.

따라서, 청구항 4에 의하면, 표면이 평활해서 도포 얼룩이 없는 도포막을 얻을 수 있다.

또한, 공진을 회피하는 의미에서는, 가대의 1차 고유 진동수는 80Hz 이상으로 되어 있는 것이 바람직하고, 100Hz 이상으로 되어 있는 것이 보다 바람직하며, 120Hz 이상으로 되어 있는 것이 더욱 바람직하다.

청구항 5에 기재된 발명은, 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도포 장치를 설치하는 바닥면의 1차 고유 진동수가 10Hz 이상으로 되어 있는 것을 특징으로 한다.

능동 제진 장치를 사용했을 경우, 바닥면의 1차 고유 진동수가 10Hz 미만이 라면 거의 제진 효과가 얻어지지 않는다. 예를 들면, 진동 주파수가 100Hz인 진동이라면 약 1/100로 감쇠시킬 수 있지만, 진동 주파수가 10Hz 미만의 진동이 되면 조금 감쇠시키는 효과밖에 얻어지지 않는다. 그런 의미에서는, 도포 장치가 설치되는 바닥면의 1차 고유 진동수가 10Hz 이상으로 되어 있는 것이 바람직하고, 20Hz 이상으로 되어 있는 것이 보다 바람직하며, 30Hz 이상으로 되어 있는 것이 더욱 바람직하다.

따라서, 청구항 5에 의하면, 표면이 평활해서 도포 얼룩이 없는 도포막을 얻을 수 있다.

청구항 6에 기재된 발명은, 제 1 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 백업 롤러 전후의 패스 롤러의 1차 고유 진동수가 20Hz 이상으로 되어 있는 것을 특징으로 한다.

백업 롤러 전후의 패스 롤러의 1차 고유 진동수를 20Hz 이하로 했을 경우, 패스 롤러에 진동 입력이 있었을 때에 강하게 진동하는 것이 이 1차 고유 진동수의 주파수역이 된다. 이때, 상기 패스 롤러의 진동이 웹에 전해져 백업 롤러에 입력되면, 가대가 진동해 능동 제진 장치의 고유 진동수와 공진을 일으킨다. 그래서, 공진을 회피하는 의미에서는, 패스 롤러의 1차 고유 진동수는 20Hz 이상으로 되어 있는 것이 바람직하고, 30Hz 이상으로 되어 있는 것이 보다 바람직하며, 50Hz 이상으로 되어 있는 것이 더욱 바람직하다.

청구항 6에 의하면, 표면이 평활해서 도포 얼룩이 없는 도포막을 얻을 수 있다.

청구항 7에 기재된 발명은, 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가대의 저면으로부터 상기 백업 롤러의 중심까지의 높이(H)가 1500㎜ 이하인 것을 특징으로 한다.

가대의 저면으로부터 백업 롤러의 중심까지의 높이(H)가 길수록 웹의 텐션 변동에 대하여 모멘트가 발생하기 쉬워지기 때문에 도포 장치의 진동이 커진다. 이 진동을 억제하기 위해서는, 가대의 저면으로부터 백업 롤러의 중심까지의 높이(H)는 1500㎜ 이하인 것이 바람직하고, 1250㎜ 이하로 되어 있는 것이 보다 바람직하며, 1000㎜ 이하로 되어 있는 것이 더욱 바람직하다.

청구항 7에 의하면, 막의 두께 정밀도가 높고, 또한 표면이 평활해서 도포 얼룩 없는 도포막을 얻을 수 있다.

청구항 8에 기재된 발명은, 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가대의 상기 웹 반송 방향의 폭(L)이 750㎜ 이상인 것을 특징으로 한다.

웹의 텐션 변동에 대하여 도포 장치는 록킹 진동(웹 진행 방향 축과 중력 방향 축에 수직인 축 둘레의 진동)을 일으킨다. 이 진동을 억제하기 위해서는, 가대의 상기 웹 반송 방향의 폭(L)이 750㎜ 이상인 것이 바람직하고, 1000㎜ 이상으로 되어 있는 것이 보다 바람직하며, 1500㎜ 이상으로 되어 있는 것이 더욱 바람직하다.

청구항 8에 의하면, 막의 두께 정밀도가 높고, 또한 표면이 평활해서 도포 얼룩이 없는 도포막을 얻을 수 있다.

(발명의 효과)

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 웹에 기인하는 도포 장치의 진동을 없앨 수 있고, 막의 두께 정밀도가 높으며, 또한 표면이 평활해서 도포 얼룩이 없는 도포막을 얻을 수 있는 도포 장치를 실현할 수 있다.

이하 첨부 도면에 따라서 본 발명에 따른 도포 장치의 바람직한 실시형태를 설명한다.

도 1은, 본 발명에 따른 도포 장치를 적용하는 바람직한 일례인 광학 보상 시트의 제조 라인을 설명하는 설명도이다.

광학 보상 시트의 제조 라인은, 도 1에 나타내어지는 바와 같이, 송출기(66)로부터 미리 배향막 형성용의 폴리머층이 형성된 투명 지지체인 웹(16)이 송출되도록 구성되어 있다. 웹(16)은 가이드 롤러(68)에 의해 가이드되어서 러빙 처리 장치(70)에 보내진다. 러빙 롤러(72)는 폴리머층에 러빙 처리를 실시하기 위해서 설치되어 있다.

그 하류에는 능동형 제진 장치(32)에 설치된 도포 장치(l0)가 배치되어 있다. 디스코네마틱 액정을 함유하는 도포액이 웹(16)에 도포될 수 있도록 되어 있다. 이 하류에는 건조 존(76), 가열 존(78)이 순차적으로 설치되어 있어 웹(16) 상에 액정층을 형성할 수 있도록 되어 있다. 또한, 이 하류에는 자외선 램프(80)가 설치되어 있고, 자외선 조사에 의해 액정을 가교시켜 원하는 폴리머를 형성할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 이 하류에 설치된 권취기(82)에 의해 폴리머가 형성된 웹(16)이 권취되도록 되어 있다.

도 2에 나타내어지는 바와 같이, 도포 장치(10)는 도포액 탱크로부터 펌프 등에 의해 송액된 도포액을 웹(16)에 도포하는 도포액 공급부(이하, 도포 헤드라 한다.)(18)와, 도포 헤드(18)에 대향해서 배치되어 설치되어 도포시의 웹(16)을 외주면에서 지지하는 원통상의 백업 롤러(20)와, 백업 롤러(20)의 회전축을 베어링(19)을 통해서 회전 가능하게 유지하는 지주(15)와, 백업 롤러(20)에 주행 중의 웹(16)을 도입하기 위해서 도포 헤드(18) 및 백업 롤러(20)로부터 소정 간격을 두고 배치된 가이드 롤러(14)에 의해 구성되어 있다. 또한, 백업 롤러(20), 베어링(19), 및 지주(15)에 의해 백업 롤러부가 구성된다. 도포 장치(10)의 도포 헤드(18)와 백업 롤러(20)의 회전축을 유지하는 지주(15)가 후술하는 능동형 제진 장치(32)의 액츄에이터(33)로 지지되는 가대(30)에 고정되어 있다. 또한, 도 2에 있어서는, 도포 헤드(18)는 도포 헤드 가대(31)를 통해서 가대(30)에 고정되어 있다.

웹(16)에 도포하는 도포액의 종류, 또 도포액의 막 두께를 최적으로 조정할 수 있도록 하기 위해 백업 롤러(20)와 도포 헤드(18)는 양자의 간격을 조정할 수 있도록 이동 가능한 구성으로 되어 있다. 따라서, 가대(30)에 고정이라는 것은, 웹(16)으로의 도포 중에 있어서 백업 롤러(20)와 도포 헤드(18)가 소정 간격을 유지하도록 가대(30)에 설치되어 있는 것을 의미한다.

이어서 도포 장치(10)에 의한 도포 방법에 대하여 설명한다. 웹(16)은, 송출기로부터 송출된 가이드 롤러(14)를 통해서 백업 롤러(20)에 도입된다. 도입된 웹(16)은 백업 롤러(20)의 외주면 일부를 둘러싸고 있다. 웹(16)은 도면에 나타내는 화살표 방향으로 일정 속도로 연속적으로 주행된다. 이때 백업 롤러(20)는 회전 하면서 웹(16)의 비도막면을 지지한다.

백업 롤러(20)의 상류측에는 가이드 롤러(14)가 배치되어 있다. 가이드 롤러(14)는 그 회전축이 도면에 나타내지 않은 지주 등에 유지된다. 가이드 롤러(14)의 회전축을 유지하는 지주는 액츄에이터(33)로 지지되어 있는 가대(30)와는 다른 별도의 가대 상에 설치된다. 웹(16)의 주행 중, 가이드 롤러(14)는 회전하면서 웹(16)을 지지하고, 백업 롤러(20)에 웹(16)을 도입하도록 기능한다.

도포 헤드(18)는, 도포 헤드 선단이 연속 주행하는 웹(16)과 근접되어 비접촉 상태로 대향 배치된다. 상술한 바와 같이 도포 헤드(18)와 웹(16)의 간격을 조정할 수 있도록 구성되어 있다. 도포 헤드(18)는 도포액 탱크로부터 펌프에 의해 송액된다. 도면에는 나타내지 않았지만, 펌프로서는 도포액의 공급 유량 안정화라는 점에서 정량 펌프를 사용하는 것이 바람직하다. 정량 펌프로서는, 예를 들면 기어 펌프, 롤러 펌프 등, 각종 펌프를 사용할 수 있다.

도포 헤드(18) 내에는, 도 3에 나타내어지는 바와 같이, 통상의 포켓부(18B)가 웹(16)의 폭 방향으로 평행하게 형성된다. 그 도포용의 포켓부(18B)는 공급 라인(18A)에 접속된다. 또한, 도포 헤드(18) 내에는 도포 헤드 선단에 토출구를 갖는 도포용 슬릿(18C)이 형성된다. 도포용 슬릿(18C)이 도포용 포켓부(18B)에 연통된다.

도포용 슬릿(18C)은, 포켓부(18B)와 도포 헤드 선단을 연결하는 좁은 유로이고, 웹(16)의 폭 방향으로 연장된다. 그리고, 공급 라인(18A)으로부터 웹(16)에 도포하는 원하는 도포양의 도포액이 도포 헤드(18)의 도포용 포켓부(18B)에 공급되어 웹(16)에 도포막이 형성된다.

도포액이 도포된 웹(16)은 하류에 설치된 건조 존, 가열 존에 송출되어 웹(16) 상에 액정층이 형성된다. 또한, 도면에 나타내는 것은 생략했지만 웹(16)의 텐션을 콘트롤러하는 텐션 롤러나, 웹(16)의 반송을 제어하는 구동 롤러가 광학 보상 시트의 제조 라인에 설치된다.

이어서, 상술의 도포 장치(10) 및 백업 롤러부(21)를 지지하는 가대(30)가 설치되는 능동형 제진 장치(32)에 관한 구성에 대해서 도 2에 의해 설명한다. 이 구성에 있어서, 도포 헤드(18) 및 백업 롤러부(21)가 가대(30) 상에 고정된다. 상술한 바와 같이, 도포 헤드(18)는 도포 헤드 가대(31)를 통해서 가대(30)에 고정되어 있다. 또한, 백업 롤러부(21)도 가대(30)에 고정되어 있다.

이 가대(30)는, 웹(16)의 폭 등에 따라서는 대형 사이즈의 것으로 되고, 예를 들면, 총 중량으로 6.5톤이나 된다. 이러한 가대(30) 상에 고정된 도포 헤드(18) 및 지주(15)에 대하여 능동 제진 장치(32)의 액츄에이터(33,33…)가 배치됨으로써 각종 진동이 억제되어 도포막에 악영향을 미치기 어렵다.

도 4는, 능동 제진 장치(32)의 시스템 구성을 설명하는 개념도이다. 능동 제진 장치(32)의 베이스(40) 상에 에어 액츄에이터(42)를 통해서 하중 수용부(44)가 지지되어 있다. 또한, 본 발명에 있어서 액츄에이터는 진동을 없애는 것이라면 공기 스프링에 한정되지 않고, 유압식, 기계식 등의 액츄에이터라도 좋다. 이 하중 수용부(44) 상에는 가속도를 검출할 수 있는 가속도 센서(46)가 고정되어 있고, 또, 베이스(40)와 하중 수용부(44) 사이에는 하중 수용부(44)의 변위를 측정할 수 있는 변위 센서(48)가 설치되어 있으며, 또한 베이스(40) 상에도 가속도를 검출할 수 있는 가속도 센서(50)가 고정되어 있다.

하중 수용부(44)의 제어는, 공기원(52)으로부터 공급되는 압축 공기의 유량을 서보 밸브(54)에서 조정해서 에어 액츄에이터(42)에 공급함으로써 행해진다. 이 서보 밸브(54)에는, 가속도 센서(46)로부터의 신호가 진동 콘트롤러(56)를 통해서 피드백되고, 또한, 변위 센서(48)로부터의 신호가 위치 콘트롤러(58)를 통해서 피드백된다. 또한, 기술한 가속도 센서(50)는 피드포워드 제어에 사용된다.

이러한 계에 외란(F)이 가해졌을 경우, 질량(M), 감쇠(Z), 스프링(K)으로 대표되는 제어 대상이 에어 액츄에이터(42)에 의해 제어되어 바닥으로부터의 진동 제거와 동시에, 하중 수용부(44)에 가해지는 외란(F)에 대하여도 제진 효과를 갖는 액티브 제진계가 구성된다.

그 결과, 막의 두께 정밀도가 높고, 또한 표면이 평활해서 도포 얼룩이 없는 도포막을 얻을 수 있다.

다음에, 가대(30)의 1차 고유 진동수가 80Hz 이상으로 되어 있는 것이 바람직한 이유에 대하여 설명한다. 도포시에 진동이 억제되어 도포막에 악영향이 미치기 어렵게 하기 위해서는, 가대(30)의 진동 가속도를 최대한 억제하는 것이 바람직하다. 그때, 가대(30)의 1차 고유 진동수가 80Hz 미만이라도 진동 가속도를 작게 할 수는 있다. 다만, 가대(30)의 1차 고유 진동수를 80Hz 이상으로 했을 경우, 가진이 있었을 때에 도포 장치(10)가 강하게 진동하는 것이 이 1차 고유 진동수의 주파수역이 된다. 그리고, 도포시에 발생하는 단 편차 등의 피치는 이 주파수에 대응 한다. 그런데, 광학 필름(광학 보상 필름, 반사 방지 필름 등)의 도포막은 이 주파수라면 단 편차가 생기기 어려워 도포막에 악영향을 미치기 어렵다. 그런 의미에서는 가대(30)의 1차 고유 진동수가 100Hz 이상으로 되어 있는 것이 보다 바람직하고, 120Hz 이상으로 되어 있는 것이 더욱 바람직하다.

또한, 백업 롤러(20) 전후의 가이드 롤러(14,17)의 1차 고유 진동수가 20Hz 이상으로 되어 있는 것이 바람직하다(도 1 참조). 백업 롤러(20) 전후의 가이드 롤러(14,17)의 1차 고유 진동수가 20Hz 이상임으로써 표면이 평활해서 도포 얼룩이 없는 도포막을 얻을 수 있다. 또한, 공진을 회피하는 의미에서는 가이드 롤러의 1차 고유 진동수는 20Hz 이상으로 되어 있는 것이 바람직하고, 30Hz 이상으로 되어 있는 것이 보다 바람직하며, 50Hz 이상으로 되어 있는 것이 더욱 바람직하다.

또한, 본 발명에 있어서는 가대(30)의 저면으로부터 백업 롤러(20)의 중심까지의 높이(H)(도 1 참조)가 1500㎜ 이하인 것이 바람직하다. 가대의 저면으로부터 백업 롤러 중심까지의 높이(H)가 길수록 웹의 텐션 변동에 대하여 모멘트가 발생하기 쉬워지기 때문에 도포 장치의 진동이 커진다. 이 진동을 억제하기 위해서는, 가대의 저면으로부터 백업 롤러 중심까지의 높이(H)는 1500㎜ 이하인 것이 바람직하고, 1250㎜ 이하로 되어 있는 것이 보다 바람직하며, 1000㎜ 이하가 되어 있는 것이 더욱 바람직하다.

그리고, 본 발명에 있어서는 가대(30)의 웹 반송 방향의 폭(L)(도 1 참조)이 750㎜ 이상인 것이 바람직하다. 웹의 텐션 변동에서 대하여 도포 장치는 록킹 진동(웹 진행 방향 축과 중력 방향 축에 수직인 축 둘레의 진동)을 일으킨다. 이 진 동을 억제하기 위해서는, 가대의 상기 웹 반송 방향의 폭(L)이 750㎜ 이상인 것이 바람직하고, 1000㎜ 이상으로 되어 있는 것이 보다 바람직하며, 1500㎜ 이상으로 되어 있는 것이 더욱 바람직하다.

이러한 H 및/또는 L의 범위로 함으로써, 더욱 막의 두께 정밀도가 높고, 또한 표면이 평활해서 도포 얼룩이 없는 도포막을 얻을 수 있다.

도포 장치(10)를 사용한 도포막의 형성에 대하여 설명한다. 도포액으로서는, 예를 들면 점도가 10mPa·s이하이고, 유기용제가 함유된 것을 사용할 수 있다. 다만, 이것 이외의 점도인 것, 유기용제가 함유되지 않은 것도 사용할 수 있다.

웹(16)으로서는, 일반적으로 소정 폭, 소정 길이이고, 두께가 2~200㎛ 정도의 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌―2,6-나프탈레이트, 셀룰로오스디아세테이트, 셀룰로오스트리아세테이트, 셀룰로오스아세테이트프로피오네이트, 폴리염화비닐, 폴리염화비닐리덴, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리아미드 등의 플라스틱 필름, 종이, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 에틸렌부텐 공중합체 등의 탄소수가 2~10인 α-폴리올레핀류를 도포 또는 라미네이트한 종이, 금속판 등으로 이루어지는 가요성 띠상물 또는 상기 띠상물을 기재로 해서 그 표면에 가공층을 형성한 띠상물을 사용할 수 있다.

도 1의 광학 보상 시트의 제조 라인에 있어서, 송출기(66)로부터 웹(16)을 풀어내면서, 도포 장치(10)의 도포 헤드(18)의 슬릿(8C) 중에 있어서의 도포액의 평균 유속을 100~500㎜/초가 되도록 펌프의 유량을 제어하고, 또한 도포 직후의 도포막(28)의 막 두께가 소정 두께로 되도록 웹(16)의 반송 속도를 제어해서 도포를 행한다.

도포 후의 건조 등에 있어서, 도포막의 두께 정밀도가 높고, 또한 표면이 평활한 도포막(28)이 얻어지도록 건조 존(76), 가열 존(78), 자외선 램프(80) 등의 설정을 행한다. 도포, 건조 후의 웹(16)은 권취기(82)에 의해 권취한다.

상기 일련의 공정은, 양호한 무진도 및 최적의 온습도의 환경 하에서 실시되는 것이 바람직하다. 따라서, 클린룸 내에서 행하여지는 것이 바람직하고, 특히, 도포 장치(10)는 클래스 100 이하의 환경 하에 설치되는 것이 바람직하다.

이상, 본 발명에 따른 도포 장치의 실시형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 각종 형태가 채용될 수 있다.

예를 들면, 본 실시형태에서는 도포 장치(10)로서 익스트루젼형의 코터가 채용되어 있지만, 이것 이외의 코터, 예를 들면 바 코터(「로드 코터」라고도 칭하고, 메이어 바 코터도 포함한다), 그라비어 코터(다이렉트 그라비어 코터, 그라비어 키스 코터 등), 롤 코터(트랜스퍼롤 코터, 리버스롤 코터 등), 다이 코터, 파운틴 코터, 슬라이드 호퍼 등에도 적합하게 적용할 수 있다.

또한, 도포 장치(10)의 용도로서도 광학 보상 필름 등의 광학 필름뿐만아니라 각종 도포에 적용할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 도포 장치가 적용되는 광학 보상 시트의 제조 라인을 설명하는 설명도이다.

도 2는 도포 장치가 설치된 상태를 나타내는 사시도이다.

도 3은 도포 헤드의 일부를 잘라낸 사시도이다.

도 4는 능동형 제진 장치의 시스템 구성을 설명하는 개념도이다.

도 5는 익스트루젼형 도포 헤드를 설명하는 개념도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 도포 장치 14 : 가이드 롤러

15 : 지주 16 : 웹

17 : 가이드 롤러 18 : 도포 헤드(도포액 공급부)

20 : 백업 롤러 21 : 백업 롤러부

28 : 도포막 30 : 가대

31 : 도포 헤드 가대 32 : 능동 제진 장치

33,42 : 액츄에이터 66 : 송출기

68 : 가이드 롤러 76 : 건조 존

78 : 가열 존 80 : 자외선 램프

82 : 권취기

Claims

길이 방향으로 주행하는 장척상의 웹을 외주면에서 지지하는 백업 롤러를 갖는 백업 롤러부와, 상기 백업 롤러와 일정 간격의 클리어런스를 갖고서 대향 배치되어 도포액을 웹에 공급하는 도포액 공급부를 구비하고, 상기 클리어런스에 형성되는 상기 도포액의 비드를 통해서 도포하는 도포 장치로서:

상기 도포액 공급부와 상기 백업 롤러부 양쪽을 1개의 가대 상에 지지하고, 상기 가대를 능동형 제진 장치 상에 고정한 것을 특징으로 하는 도포 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 능동 제진 장치는 센서에서 검지된 진동 성분에 의거해 피드백제어해서 액츄에이터를 작동시켜 능동적으로 제진을 행하는 장치인 것을 특징으로 하는 도포 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 능동 제진 장치는 센서에서 검지된 진동 성분에 의거해 피드백제어 및 피드포워드 제어해서 액츄에이터를 작동시켜 능동적으로 제진을 행하는 장치인 것을 특징으로 하는 도포 장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가대의 1차 고유 진동수가 80Hz 이상으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도포 장치가 설치되는 바닥면의 1차 고유 진동수를 10Hz 이상으로 하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 백업 롤러 전후의 패스 롤러의 1차 고유 진동수가 20Hz 이상으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가대의 저면으로부터 상기 백업 롤러 중심까지의 높이(H)가 1500㎜ 이하인 것을 특징으로 하는 도포 장치.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가대의 상기 웹 반송 방향의 폭(L)이 750㎜ 이상인 것을 특징으로 하는 도포 장치.