KR20080069108A - 전기도금 처리시스템에 이용되는 가이드장치 - Google Patents

전기도금 처리시스템에 이용되는 가이드장치 Download PDF

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KR20080069108A
KR20080069108A KR1020070038790A KR20070038790A KR20080069108A KR 20080069108 A KR20080069108 A KR 20080069108A KR 1020070038790 A KR1020070038790 A KR 1020070038790A KR 20070038790 A KR20070038790 A KR 20070038790A KR 20080069108 A KR20080069108 A KR 20080069108A
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KR1020070038790A
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이사오 와다
야스시 하타노
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가부시키가이샤 아이프란트
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Abstract

도금처리용 탱크에 반송된 워크를 적합하게 도금처리하는 것이다.
도금처리용액이 들어간 탱크(902)와, 탱크내에 레지스터필름 부착 패턴 도금 워크(904)를 아래로 늘어뜨리는 매달기도구와, 미끄럼운동 가능한 매달기도구를 갖는 음극 바(903)와, 워크(904)에 대해서 평행한 한 쌍의 양극(906)과, 이 양극의 안쪽에 배치되어, 워크를 안내하는 패널형상의 한 쌍의 가이드장치(1)를 갖고, 워크에 급전하면서 매달기도구를 음극 바 상에서 미끄럼운동시켜 워크를 처리액(A) 속에서 이동시키는 것에 의해, 워크에 전기도금을 실시하는 전기도금 처리시스템이다. 각 가이드장치(1)는, 새로운 처리액(A)이 순환하는 틀 형상의 주관(2)과, 주관에 대해서 경사지게 복수개 병렬되어, 주관에 대해서 양단부에서 연결되어 있는 부관(3)을 갖는다. 부관은 길이방향으로 연장된 슬릿형상 분출구멍(31)을 갖고, 슬릿형상 분출구멍을 경유하여, 주관에 공급된 새로운 처리액을, 워크를 향하여 토출한다.

Description

전기도금 처리시스템에 이용되는 가이드장치{A GUIDE EQUIPMENT USED FOR AN ELECTROPLATING PROCESSING SYSTEM}
도 1은 전기도금 처리시스템의 가이드장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 횡단면도이다.
도 3은 도 1의 평면도이다.
도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ선 단면도이다.
도 5는 부관(副管)의 사시도이다.
도 6은 (a)도는 부관의 횡단면도이며, (b)도는 (a)도의 주요부 확대도이다.
도 7은 도 5의 측면도이다.
도 8은 도 5의 평면도이다.
도 9는 삼각판의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 10은 틈새 조정을 실시하고 있는 상태를 설명하기 위한 도면이고, (a)도는 삼각판의 위치조절을 실시하고 있는 상태를 나타내는 도면이고, (b)도는 조정상태를 나타내는 사시도이다.
도 11은 부관의 슬릿형상 분출구멍으로부터 처리액이 분출하고 있는 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 종래의 전기도금 처리시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 13은 도 12의 ⅩⅢ-ⅩⅢ선 단면도이다.
도 14는 종래기술의 문제점을 설명하기 위한 사시도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 가이드장치 2 : 주관(主管)
21 : 수평관 21D : 하부 수평관
21U : 상부 수평관 211 : 도입관부
211a : 위쪽 돌출 갈래관부 211b : 수평 갈래관부
211c : 수평 갈래관부 212 : 주관의 접속관부
212a : 워크측 돌출 갈래관부 212b : 수평 갈래관부
212c : 갈래관부 213 : 수평관의 간관(間管)
22 : 수직관 22L : 하류측 수직관
22U : 상류측 수직관 222 : 접속관부
223 : 수직관의 간관(間管) 23 : 주관의 90° 엘보관
3 : 부관(경사관) 31 : 슬릿형상 분출구멍(분출구멍)
32 : 파이프체 32a : 파이프체의 외표면
321 : 파이프체의 배출구멍 33 : 챔버 형성체
331 : 맞춤판 331h : 통과구멍
332 : 삼각판 332a : 곡변부(曲邊部)
332h : 나사구멍 332b : 정점
332s, 332s : 삼각판의 2변 333 : 나사
34 : 부관의 90° 엘보관 901 : 가이드장치
902 : 도금처리용 탱크 903 : 음극 바
904 : 레지스터필름 부착 패턴 도금워크(시트형상 단책제품)
905 : 매달기도구 906 : 양극
907 : 주관 908 : 지관(枝管)
981 : 분출구멍 A : 도금처리액(처리액)
C : 챔버 S : 전기도금 처리시스템
S1 : 전기도금 처리시스템 α : 부관의 주관에 대한 경사각도
[특허문헌 1] 일본특허공보 제 2943070호
[특허문헌 2] 일본특허공보 제 3065970호
[특허문헌 3] 일본특허공개공보 2005-213641호
본 발명은, 전기도금 처리시스템에 이용되는 가이드장치, 상세하게는, 도금처리액이 충전된 도금처리용의 탱크내에서 프린트기판 등의 피도금물을 이동시키면서 도금하는 전기도금 처리시스템에 이용되는 가이드장치에 관한 것이다.
프린트기판 등의 시트형상 단책(短冊)제품(이하, 워크)을 도금하는 도금처리시스템으로서 도금처리용의 탱크에 저류된 처리액속에 탱크 위쪽으로부터 워크를 아래로 늘어뜨리고, 이 워크에 급전하면서 상기 워크를 이동함으로써, 워크의 표면에 전기도금을 실시하는 전기도금 처리시스템이 알려져있다.
상세하게는, 도 12, 13에 나타내는 바와 같이, 전기도금 처리시스템 S는, 탱크(902)의 위쪽에 배치한 긴 자 형상의 바(903)에 도금대상이 되는 워크(904)를 매달기도구(905)로 아래로 늘어뜨리고, 워크(904)를 처리액(A)에 침지한 상태로 바 (903)를 따라서 매달기도구(905)를 이동한다. 그리고, 그 사이에 바(903)로부터 워크(904)에 급전함으로써 워크(904)에 도금처리를 한다.
바(903)는, 워크(904)가 이동하는 탱크(902)의 길이방향에 따라서 수평으로 연장되며 또한 음극으로서 기능한다. 따라서, 바(903)를 이후, 음극 바(903)라 한다.
또한, 처리액(A)속에는, 음극 바(903)와 같은 방향으로 연장되는 한 쌍의 양극(906)이, 탱크(902)의 폭방향으로 소정의 간격을 두고 탱크(902)의 벽면에 대향하도록 설치되며, 이러한 한 쌍의 양극(906,906)의 사이에 워크(904)가 평행하게 배치되게 되어 있다(도 12 참조).
그리고, 이 상태에서 복수의 워크(904)가 직렬상태로 도금액 속을 이동함으로써, 워크(904)에 순차적으로 도금이 실시된다(도 13 참조). 또한, 한 쌍의 양극 (906,906)의 사이에 배치되는 워크(904)의 양쪽에는, 워크(904)가 탱크(902)내를 이동하는 사이, 음극과 양극과의 사이의 거리, 구체적으로는, 상기 양극(906)과, 음극 바(903)에 도통되고 있는 워크(904)와의 사이의 거리인 극간(極間)거리를 일정하게 유지하기 위한 한 쌍의 가이드장치(901)가 탱크(902)의 길이방향과 평행하 게 설치되어 있다(도 12 참조).
가이드장치(901)에 의해 극간거리를 일정하게 유지함으로써 도금두께가 균일하게 된다. 환언하면, 가이드장치(901)는, 탱크(902)내에 있어서 워크(904)를 똑바로 진행시키기 위한 것이지만, 실제로, 워크(904)는, 가이드장치(901)에 접촉하거나 떨어지거나 하면서, 가이드장치(901)에 안내되어 처리액(A)속을 진행한다.
그리고 진행중에 워크(904)가 가이드장치(901)에 접촉하면, 워크(904)에 부착되어 있던 도금(구리)이 벗겨져 가이드장치(901)에 부착하여, 그 결과, 분자의 일부가 다른 원자(원자단)로 치환되는 치환반응을 일으켜 가이드장치(901)에 도금이 석출되어, 단락을 형성해 버리는 경우가 있다. 가이드장치(901)가 설치되지 않으면, 단락을 형성할 일은 없지만, 도금두께를 균일하게 하는 필요상, 극간거리를 일정하게 유지하는 가이드장치(901)의 설치는 불가결하다.
한편, 도금처리의 진행에 수반하여 소비되는 처리액(A)속의 금속인 예를 들면 구리의 함유량을 일정하게 유지하기 위해, 구리가 많이 포함되는 액체인 새로운 처리액(A)을 보충할 필요가 있다. 따라서, 처리액(A)을 워크(904)의 양쪽으로부터 분출하여 워크의 자세를 제어하고, 처리액(A)의 보충과 더불어 극간거리를 일정하게 유지하도록 하는 방법을 생각할 수 있다.
따라서, 본 발명자는, 도 14에 나타내는 바와 같이 워크(904)의 양쪽에 설치되고, 또한 워크(904)의 진행방향으로 연장된 한 쌍의 도금처리액 보충용의 주관(主管)(907,907)에, 그 축방향에 대해서 아래로 늘어뜨리는 방향으로 연장되는 복수의 지관(908)을 등간격으로 배열하고, 지관(908)의 길이방향으로 다수 형성한 분 출구멍(981)으로부터 도금처리액(A)을 펌프압으로 워크(904)를 목표로 하여 제트 분사시키는 것에 의해, 워크(904)를 비접촉의 상태로 가이드하는 것이 가능한지를 검토하였다.
워크(904)를 비접촉의 상태로 가이드하기 위해서는, 지관(908)의 말단에 있는 분출구멍(981)∼기단에 있는 분출구멍(981)까지 도금처리액(A)을 똑같이 토출하는 것, 및 주관(907)에 배열되어 있는 지관(908)의 전부에 대해서 동일한 압력으로 도금처리액(A)을 균등하게 토출할 필요가 있는 것을 알 수 있었다.
그런데, 펌프압은, 주관(907)에 있어서의 지관(908)의 배열위치에 의해서 상이할 뿐만 아니라, 탱크(902)내에 저류되어 있는 처리액(A)의 액압이 지관(908)에 있어서의 분출구멍(981)의 형성위치에 따라서 상이하기 때문에, 균등한 도금처리액 (A)의 토출은 어렵고, 비접촉의 상태로 워크(904)를 가이드하는 것은, 극히 곤란하다.
이 경우, 펌프압을 조금 높게 설정하고, 분출구멍(981)으로부터 토출되는 처리액(A)의 양을 Max로 하면, 어느 분출구멍(981)으로부터도 일률적으로 도금처리액 (A)을 분출하는 것은 가능하다. 그러나, 워크(904)는, 그 두께가 예를 들면 30미크론에서 50미크론 정도로 극히 얇고 또한 플렉시블한 프린트기판도 있다.
따라서, 처리액(A)의 토출압이 너무 강하면, 워크(904)에 작용하는 토출력에 워크(904)가 못이겨서, 탱크(902)내를 워크(904)가 이동중에 불규칙하게 움직여 버린다. 또한, 지관(908)과 지관(908)과의 사이에서 처리액(A)이 토출되지 않는 부위에서는 워크(904)는 처리액(A)의 토출압의 영향을 받지 않기 때문에, 상기 부위 를 워크(904)가 통과할 때에, 상기 부위가 존재하는 측에 워크(904)가 치우쳐 진행하거나 한다. 이러한 일이 있으면 워크(904)가 구부러지거나 또는 상처가 날 우려가 있다.
따라서, 워크(904)의 주위를 틀부재로 테두리를 달아 워크(904)가 가이드장치(901)에 접촉하더라도 워크(904)에 악영향이 나오지 않도록 테두리 달기 지그(도시하지 않음)를 이용하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 얇은 두께의 워크(904)의 경우에는, 테두리 달기 지그를 붙이는 것 자체가 어렵다. 덧붙여, 상기 지그에 구리가 부착되어, 여분으로 구리가 소비되어 버린다. 더구나, 전기나 열의 소비도 증대하는 문제가 있다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 발명된 것으로, 그 해결하고자 하는 과제는, 테두리 달기 지그를 요하지 않고도 워크에 실시되는 도금처리의 균일성을 향상시킬 수 있는 비접촉 가이드를 갖는 전기도금 처리시스템을 제공하는 것에 있다.
(1) 상기 과제를 달성하기 위해서, 본 발명의 전기도금 처리시스템에 이용되는 가이드장치는, 도금처리용의 처리액이 저류되어 있는 탱크와, 이 탱크내에서 도금처리가 실시되는 시트형상 단책(短冊)제품을 아래로 늘어뜨리는 매달기도구와, 상기 탱크를 따라서 설치되어, 상기 매달기도구가 미끄럼운동 가능하게 장착되어 음극으로서의 기능을 갖는 음극 바와, 상기 처리액속에 설치되어, 상기 음극 바로부터 전자(電子)가 이동하여, 상기 시트형상 단책제품을 사이에 끼우고 상기 시트 형상 단책제품에 대해서 평행하게 배치되는 한 쌍의 양극과, 상기 한 쌍의 양극의 안쪽에 배치되어, 상기 시트형상 단책제품을 사이에 끼운 상태로 상기 시트형상 단책제품을 그 진행 방향으로 안내하는 패널형상을 한 한 쌍의 가이드장치를 갖고, 상기 시트형상 단책제품에 급전(給電)하면서 상기 매달기도구를 상기 음극 바 상에서 미끄럼운동시켜 상기 매달기도구에 아래로 늘어뜨려져 있는 상기 시트형상 단책제품을 상기 처리액속에서 이동시키는 것에 의해, 상기 시트형상 단책제품에 전기도금을 실시하는 전기도금 처리시스템에 있어서, 상기 한 쌍의 가이드장치의 각각은, 상기 시트형상 단책제품의 진행방향에 대해서 경사지게 복수개가 병렬되어 있음과 동시에 상기 탱크의 외부로부터 새로운 처리액이 공급되도록 되어 있는 경사관을 갖고, 이 경사관은 그 길이방향으로 연장되는 슬릿형상의 분출구멍을 갖고, 상기 분출구멍을 경유하여, 상기 새로운 처리액을, 상기 시트형상 단책제품을 향하여 토출하도록 하였다.
본 발명의 가이드장치는, 전기도금 처리시스템의 탱크에 설치된다. 가이드장치는, 도금처리용의 처리액에 침지된다.
그리고, 경사관에 형성되어 있는 분출구멍은, 경사관의 길이방향으로 연장된 슬릿형상의 분출구멍이므로, 분출구멍으로부터 배출되는 처리액은, 슬릿형상을 한 분출구멍이 형성되어 있는 길이치수와 같은 치수를 갖는 띠형상을 한 형태가 된다.
따라서, 경사관의 분출구멍으로부터 배출되는 처리액에는 경사관의 길이방향에 있어서 도중에 끊어짐이 없다. 환언하면, 경사관에 있어서 그 길이방향으로 연장되고, 상기 처리액이 나오는 슬릿형상의 분출구멍이 형성되어 있는 영역에서는, 처리액이 나오는 개소와 나오지 않는 개소가 없고, 전부 처리액이 나온다. 이 때문에, 종래 기술의 설명에서 서술한 바와 같이, 처리액이 토출되지 않는 부위를 워크가 통과할 때에, 워크가 가이드장치에 접촉하거나, 워크가 상기 부위가 있는 측에 치우쳐 진행해 버린다라고 하는 경우가 없다.
또한, 한 쌍의 가이드장치의 각각은 시트형상 단책제품의 진행방향에 대해서 경사지게 복수개 병렬되어 있는 경사관을 갖기 때문에, 경사관중 인접하는 경사관끼리로 상하방향에 있어서 교차하는 범위를 가진다. 이 때문에, 한 쌍의 가이드장치의 사이에서 그것들과 평행하게 배치되는 워크는 그 진행방향에 있어서 양쪽의 경사관으로부터 토출하는 처리액이 닿지 않는 개소가 없다.
따라서, 워크는, 그 진행중, 경사관으로부터 분출되는 처리액에 의해, 항상 양쪽이 밀어 붙여져 한 쌍의 가이드장치의 중앙에 위치하게 된다. 한편, 경사관으로부터 분출되는 처리액의 토출압은, 경사관이 설치되는 가이드장치에 따라서, 또한 가이드장치에 있어서의 경사관의 설치위치에 따라서 차이가 없도록 설정하는 것은 물론이다.
이 결과, 워크는, 비접촉상태로 가이드되면서 탱크 내를 진행한다. 환언하면 극간거리를 일정하게 유지하면서 가이드장치에 비접촉의 상태로 워크에는 도금처리가 이루어진다. 따라서, 극히 얇은 워크에 도금처리를 가하는데 있어서 필요한 테두리 달기 지그를 요하지 않고도 워크에 실시되는 도금처리의 균일성을 향상시킬 수 있다.
(2) 또한, 본 발명의 전기도금 처리시스템에 이용되는 가이드장치는, 도금처 리용의 처리액이 저류되어 있는 탱크와, 이 탱크내에서 도금처리가 실시되는 시트형상 단책제품을 아래로 늘어뜨리는 매달기도구와, 상기 탱크를 따라서 설치되어,상기 매달기도구가 미끄럼운동 가능하게 장착되어 음극으로서의 기능을 갖는 음극 바와, 상기 처리액속에 설치되어 상기 음극 바로부터 전자가 이동하고, 상기 시트형상 단책제품을 사이에 끼우고 상기 시트형상 단책제품에 대해서 평행하게 배치되는 한 쌍의 양극과, 상기 한 쌍의 양극의 안쪽에 배치되어, 상기 시트형상 단책제품을 사이에 끼운 상태로 상기 시트형상 단책제품을 그 진행방향으로 안내하는 패널형상을 한 한 쌍의 가이드장치를 갖고, 상기 시트형상 단책제품에 급전하면서 상기 매달기도구를 상기 음극 바상에서 미끄럼운동시켜 상기 매달기도구에 아래로 늘어뜨려져 있는 상기 시트형상 단책제품을 상기 처리액속에서 이동시키는 것에 의해, 상기 시트형상 단책제품에 전기도금을 실시하는 전기도금 처리시스템에 있어서, 상기 한 쌍의 가이드장치의 각각은, 상기 탱크의 외부로부터 공급되는 새로운 처리액이 내부를 순환하는 틀형상을 한 주관(主管)과, 이 주관의 틀 내에 위치하고, 주관에 대해서 경사지게 복수개 병렬되고, 또한 주관에 대해서 양단부에서 연결되어 있는 부관(副管)을 갖고, 이 부관은 길이방향으로 연장되는 슬릿형상의 분출구멍을 갖고, 상기 주관에 공급된 새로운 처리액을, 상기 분출구멍을 경유하여, 상기 시트형상 단책제품을 향하여 토출하는 것을 특징으로 해도 좋다.
본 발명의 가이드장치는, 전기도금 처리시스템의 탱크에 설치된다. 가이드장치는, 도금처리용의 처리액에 침지된다.
부관은 그 양단이 주관에 연결되어 있기 때문에, 부관내에 있어서의 압력 밸 런스가 잡혀져 있고, 부관내를 흐르는 처리액의 압력은 균일하다. 또한, 부관에 형성되어 있는 분출구멍은, 부관의 길이방향으로 연장되는 슬릿형상의 분출구멍이므로, 분출구멍으로부터 배출되는 처리액은, 슬릿형상을 한 분출구멍이 형성되어 있는 길이 치수와 같은 치수를 갖는 띠형상을 한 형태가 된다.
따라서, 부관의 분출구멍으로부터 배출되는 처리액에는 부관의 길이방향에 있어서 도중에 끊어짐이 없다. 환언하면, 부관에서 그 길이방향으로 연장되어, 상기 처리액이 나오는 슬릿형상의 분출구멍이 형성되어 있는 영역에서는, 처리액이 나오는 개소와 나오지 않는 개소가 없이, 전부 처리액이 나온다. 이 때문에, 종래기술의 설명에서 서술한 바와 같이, 처리액이 토출되지 않는 부위를 워크가 통과할 때에, 워크가 가이드장치에 접촉하거나 워크가 상기 부위가 있는 측으로 치우쳐 진행해 버린다고 하는 경우가 없다.
또한, 한 쌍의 가이드장치의 각각은, 틀형상을 한 주관의 틀 내에 위치하고, 주관에 대해서 경사지게 복수개 병렬되어 있는 부관을 갖기 때문에, 부관중 인접하는 부관끼리로 상하방향에 있어서 교차하는 범위를 가진다. 이 때문에, 한 쌍의 가이드장치 사이에서 그것들과 평행하게 배치되는 워크는 그 진행방향에 대해서 양쪽의 부관으로부터 토출하는 처리액이 닿지 않는 개소가 없다.
따라서, 워크는, 그 진행중, 부관으로부터 분출되는 처리액에 의해, 항상 양쪽이 눌려져서, 한 쌍의 가이드장치의 중앙에 위치하게 된다. 한편, 부관으로부터 분출되는 처리액의 토출압은, 부관이 설치되는 가이드장치에 의해서, 또한 가이드장치에 있어서의 부관의 설치위치에 따라서 차이가 없다.
이 결과, 워크는, 비접촉상태로 가이드되면서 탱크내를 진행한다. 환언하면 극간거리를 일정하게 유지하면서 가이드장치에 비접촉의 상태로 워크에는 도금처리가 이루어진다. 따라서, 극히 얇은 워크에 도금처리를 가하는데 있어서 필요한 테두리 달기 지그를 요하지 않고도 워크에 실시되는 도금처리의 균일성을 향상시킬 수 있다.
(3) 상기 부관은, 상기 주관에 연결되는 파이프체와, 이 파이프체의 길이방향으로 형성되어 상기 주관에 공급된 상기 처리액을 내보내는 배출구멍과, 상기 배출구멍을 피복하도록 상기 파이프체에 부착되고, 상기 배출구멍으로부터 배출된 상기 처리액을 일단 저장해 두는 챔버를 형성하기 위한 챔버 형성체를 갖고, 이 챔버 형성체에 상기 슬릿형상의 분출구멍이 형성되고, 상기 분출구멍은, 상기 챔버와 통하도록 한다.
챔버에 배출구멍으로부터 배출되는 처리액을 일단 저장해 두는 것에 의해, 챔버내의 처리액의 압력은 균일화된다. 따라서, 챔버와 통하는 슬릿상태의 분출구멍으로부터 처리액은 똑같이 토출된다.
(4) 상기 챔버 형성체는, 상기 파이프체에 부착되고, 상기 슬릿형상을 한 분출구멍을 형성하기 위해서, 일단끼리가 마주하도록 맞배지붕형상으로 조합된 한 쌍의 맞춤판과, 이 한 쌍의 맞춤판의 사이에 설치되어 상기 한 쌍의 맞춤판과 함께 상기 챔버를 형성하는 적어도 한 쌍의 삼각판과, 상기 삼각판의 정점의 양 이웃에 있는 2변에 상기 한 쌍의 맞춤판을 부착하기 위한 나사와, 상기 한 쌍의 맞춤판에 형성되고, 상기 나사지름보다 큰 지름으로 상기 나사가 통과되는 통과구멍을 갖는 것을 특징으로 해도 좋다.
여기서 맞배지붕이란, 책을 열어 엎어 놓은 것과 같은 산(山)형상의 지붕을 말한다.
한 쌍의 맞춤판의 각 통과구멍에 나사를 통과시켜 한 쌍의 삼각판의 2변에 각각 한 쌍의 맞춤판의 임시멈춤을 행한다. 통과구멍은 나사보다 큰 지름이기 때문에, 나사는 통과구멍에 느슨하게 끼워지는 형상으로 부착된다. 그리고, 한 쌍의 맞춤판이 상기 임시멈춤상태로 부착되어 있는 삼각판의 상기 2변 상에서 상기 2변의 길이방향을 따라서 각 맞춤판을 각각 슬라이드함으로써, 상기 슬릿형상을 한 분출구멍의 틈새조정을 실시한다. 이와 같이 맞춤판의 슬라이드 조작만으로 틈새조정을 간단하게 할 수 있기 때문에 바람직하다.
(5) 상기 주관에 대해서 경사지게 부착되는 부관은, 그 경사각도가, 상기 시트형상 단책제품의 탱크내에 있어서의 반송속도가 빠를수록, 수평면으로부터 가까운 지점(地點)측의 각도가 작아지도록 부착되도록 해도 좋다.
이와 같이 함으로써, 반송속도가 빨라도 가이드장치의 부관에 의한 비접촉 가이드성을 높일 수 있다. 따라서 본 발명에 관한 가이드장치는 비접촉 가이드장치라고 할 수 있다.
(6) 또한 본 발명은, 상기의 가이드장치를 이용한 전기도금 처리시스템에 관한 것이다.
상기 전기도금 처리시스템을 이용하는 것에 의해, 워크는, 비접촉상태로 가이드 되면서 탱크내를 진행한다.
[발명의 실시형태]
본 발명의 실시형태에 따른 전기도금 처리시스템(S1)에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다. 한편, 본 발명이 종래기술과 상이한 점은, 가이드장치의 구조 만으로, 가이드장치에 대한 워크의 위치나 움직임 그 외의 사항은, 종래기술에서 설명한 것과 동일하다. 따라서 가이드장치의 설명을 주로 하는 것으로 하며, 종래 기술에서 설명한 것과 동일한 부분에는, 동일한 부호를 붙이는 것만으로 설명을 생략하거나, 또는 도시 그 자체를 생략한다.
한 쌍의 가이드장치(1)의 각각은, 틀형상(장방형 형상)을 한 주관(2)과, 이 주관의 틀 내에 경사지게 위치하는 부관(3)을 갖는다(도 1∼4 참조). 이러한 가이드장치(1)는, 탱크(902)의 길이방향과 평행하게 설치되어 있다. 한편, 부관(3)은 경사진 관이기 때문에 이것을 경사관으로 바꾸어 말해도 좋다. 부관(3)은, 워크 (904)의 진행방향에 대해서 경사지게 각도 α로 경사져 있다.
주관(2)은, 탱크(902)의 외부로부터 구리가 많이 포함되어 있는 새로운 처리액(A)이 공급되어, 상기 새로운 처리액(A)이 주관(2)의 내부를 순환하도록 되어 있다. 그리고, 주관(2)은, 가이드장치(1)를 탱크내에 설치했을 때에 탱크의 상부 가까이의 개소와 하부 가까이의 개소에 위치하고 또한 수평방향으로 각각 연장되는 한 쌍의 수평관(21,21)과, 수평관(21)의 양단에 배치되어 수직방향으로 연장되는 좌우 한 쌍의 수직관(22)과, 주관(2)의 모서리부에 위치하고, 수평관(21) 및 수직관(22)을 연결하는 이음새로서의 4개의 90° 엘보관(23)을 갖는다. 4개의 90° 엘보관(23)을 주관(2)의 모서리부에 설치하는 것에 의해서, 주관(2)의 틀형상이 유지 된다.
수평관(21)은, 탱크(902)의 상부 가까이의 개소에 위치하는 상부 수평관(21U)과 하부 가까이의 개소에 위치하는 하부 수평관(21D)을 갖는다. 부호 21은 이러한 수평관(21U,21D)의 총칭으로서 명세서중에서 사용된다.
상부 수평관(21U)은, 탱크(902)의 외부로부터 공급되는 새로운 처리액(A)을 가이드장치(1)내에 도입하는 1개의 도입관부(211)와, 부관(3)을 주관(2)에 접속하기 위한 복수의 접속관부(212)와, 도입관부(211) 및 접속관부(212)의 사이에 위치하는 간관(間管)(213)이 연결되어 일체가 된 관이다. 도입관부(211)도 접속관부 (212)도 함께 세 갈래로 갈라진 형상(T형상)을 하고 있다(도 1, 3, 4 참조).
도입관부(211)는, 세 갈래로 갈라진 형상 중 하나의 갈래이며, 설치했을 때에 위쪽으로 돌출하는 위쪽 돌출 갈래관부(211a)가 도시하지 않은 처리액 도입파이프와 연결되어 있다. 그리고, 이 처리액 도입파이프를 경유하여, 탱크(902)의 외부로부터 새로운 처리액(A)이 도입관부(211)를 경유하여, 주관(2)에 도입된다.
한편, 이 실시형태에서는, 상기 처리액 도입파이프와 연결되는 위쪽 돌출 갈래관부(211a)는 위쪽을 향하고 있지만, 이것에 한정되는 것이 아니라 하부 그 외의 방향을 향하고 있어도 좋다. 한편, 세 갈래로 갈라진 형상 중 나머지의 갈래로서, 도입관부(211)를 설치했을 때에 수평방향으로 연장되는 수평 갈래관부(211b 및 211c)는, 간관(213)과 연결되어 있다.
접속관부(212)는, 세 갈래로 갈라진 형상 중 하나의 갈래가 되어 설치했을 때에 워크(904)측으로 돌출하는 워크측 돌출 갈래관부(212a)가 부관(3)과 연결되어 있다. 그리고, 접속관부(212)를 경유하여 주관(2)으로부터 부관(3)으로 새로운 처리액(A)이 순환된다. 워크측 돌출 갈래관부(212a)는, 워크(904)측을 향하고 있다(도 3 참조). 한편, 세 갈래로 갈라진 형상 중 나머지의 갈래로서, 접속관부(212)를 설치했을 때에 수평방향으로 연장되는 수평 갈래관부(212b 및 212c)는, 접속관부(212)끼리를 연결하는 간관(213)과 연결되어 있다(도 1, 3 참조). 상부 수평관 (21U)에 있어서 접속관부(212)는 4개 있다.
간관(213)은, 주관(2)에 있어서의 부관(3)의 부착개소에 따라서 접속관부 (212)의 주관(2)에 있어서의 위치가 다르기 때문에, 치수가 동일하지 않다(도 1, 3, 4 참조). 또한, 상부 수평관(21U)에 있어서 간관(213)은 6개 있다.
상부 수평관(21U)에 대향하는 하부 수평관(21D)은, 이 실시형태에서는 3개의 접속관부(212) 및 4개의 간관(213)을 가질 뿐이고, 도입관부(211)는 갖지 않는다. 그러나, 가져도 좋다.
수직관(22)은, 워크(904)의 진행방향에 있어서의 상류(도 1, 4의 오른쪽)에 위치하는 상류측 수직관(22U) 및 워크(904)의 진행방향에 있어서의 하류(도 1, 4의 왼쪽)에 위치하는 하류측 수직관(22L)을 갖는다. 모두 복수의 접속관부(222) 및 간관(223)을 가질 뿐이고, 주관(2)의 도입관부(211)에 상당하는 관을 가지지 않지만, 가져도 좋다. 수직관(22)의 접속관부(222) 및 간관(223)과, 수평관(21)의 접속관부(212) 및 간관(213)은, 부호가 다를 뿐이고 동일한 형체(形體)를 하고 있다. 부호 22는, 이러한 수직관(22U,22L)의 총칭으로서 명세서중에서 사용된다.
한편, 본 실시예에서는, 상류측 수직관(22U)에 5개의 접속관부(222)가 설치 되고, 하류측 수직관(22L)에 4개의 접속관부(222)가 설치되고 있다(도 4 참조). 그리고, 이러한 접속관부(222)의 사이 또는 90° 엘보관(23)과 접속관부(222)와의 사이에 간관(223)이, 상류측 수직관(22U)에 있어서는 합계 6개 배치되고, 하류측 수직관(22L)에 있어서는 합계 5개 배치되어 있다.
부관(3)은, 주관(2)에 대해서 경사지게 복수개(이 실시형태에서는 7개)가 병렬상태로, 또한 주관(2)에 대해서 양단부에서 연결되고 있다. 상세하게는, 배열했을 때에 상류측보다 하류측이 위쪽에 위치하도록 부관(3)은 경사지게 부착되어 있다. 또한, 부관(3)의 각각은 그것들이 주관(2)과 접속되는 개소에 따라서 길이가 다르다.
또한, 부관(3)은, 그 길이방향으로 연장되는 슬릿형상의 분출구멍(이하, 슬릿형상 분출구멍)(31)을 갖고, 상기 분출구멍(31)을 경유하여, 주관(2)에 공급된 새로운 처리액(A)을 워크(904)를 향하여 토출한다(도 11 참조).
그것을 위한 구성요소로서 부관(3)은, 주관(2)에 연결되는 파이프체(32)와, 이 파이프체(32)의 외표면에 챔버(C)를 형성하기 위한 챔버 형성체(33)와, 부관(3)을 주관(2)에 부착하기 위해 파이프체(32)의 양단에 연결되는 90° 엘보관(34,34)을 갖는다(도 1, 5 참조).
파이프체(32)는, 주관(2)에 공급된 상기 처리액(A)을 배출하기 위한 다수의 배출구멍(321)이 길이방향으로 형성되어 있다(도 5∼11 참조).
챔버 형성체(33)는, 파이프체(32)에 형성된 이들 다수의 배출구멍(321)을 피복하도록 파이프체(32)에 그 길이방향으로 연장되도록 부착된다. 그리고, 챔버 형 성체(33)에 의해서 형성된 챔버(C)에 배출구멍(321)으로부터 배출된 처리액(A)을 일단 저장해 둔다{도 11에 인출선을 파선으로 나타내는 처리액(A) 참조}. 그리고, 이 챔버 형성체(33)에 슬릿형상 분출구멍(31)이 형성되고, 상기 슬릿형상 분출구멍 (31)은, 챔버(C)와 통하도록 되어 있다.
그 때문에 챔버 형성체(33)는, 일단끼리가 마주하도록 맞배지붕형상으로 조합된 한 쌍의 맞춤판(331,331)과, 이들 한 쌍의 맞춤판(331,331)의 사이에 설치되는 다수의 삼각판(332)과, 상기 삼각판(332)에 맞춤판(331)을 부착하기 위한 나사 (333)를 갖는다. 챔버 형성체(33)에 의해서 형성되는 챔버(C)는, 거의 삼각기둥형상을 한 중공이다.
맞춤판(331)은, 그 길이치수가 파이프체(32)와 거의 같고, 삼각판(332)의 수와 같은 수의 통과구멍(331h)을 동일축선상에 갖는다(도 6∼8 참조). 또한 통과구멍(331h)은, 삼각판(332)의 설치간격과 같은 간격으로 맞춤판(331)의 길이방향으로 형성되어 있다. 또한, 통과구멍(331h)은, 상기 나사(333)의 직경보다 큰 지름이어서 나사(333)가 통과되도록 되어 있다. 한편, 통과구멍(331h)은, 원형에 한정하지 않고 경기(競技)용의 트럭형상을 하고 있어도 좋다. 그 경우, 장축이 맞춤판 (331)의 길이방향과 직행하는 방향으로 연장되도록 형성된다.
삼각판(332)은, 파이프체(32)의 외표면(32a)에 세워 설치되어 있고(도 6 참조), 그 때문에 삼각판(332)의 바닥변에 닿는 부분(332a)은, 파이프체(32)의 곡률에 맞추어 만곡되어 있다. 상기 부분(332a)을 곡변부(曲邊部)라 부르기로 한다. 또한 삼각판(332)의 정점(332b)의 양 이웃에 있는 2변(332s,332s)에는, 나사(333) 가 나사맞춤하는 나사구멍(332h)이, 정점(332b)으로부터 같은 거리에 형성되어 있다(도 6, 7 참조).
한편, 삼각판(332)은, 이 실시형태에서는 이등변 삼각형형상이지만, 도 9와 같이 직각 삼각형형상체라도 좋다.
나사(333)는, 시판되는 나사이다.
이러한 구성으로 이루어지는 부관(3)을 이용하여 그 한 쌍의 맞춤판(331)의 각 통과구멍(331h)에 나사(333)를 통과하여 삼각판(332)의 2변에 각각 한 쌍의 맞춤판(331)의 임시멈춤을 실시한다. 통과구멍(331h)은 나사(333)보다 큰 지름이기 때문에, 나사(333)는 통과구멍(331h)에 느슨하게 끼워지는 형상으로 부착된다.
그리고, 한 쌍의 맞춤판(331)이 상기 임시멈춤상태로 부착되어 있는 삼각판 (332)의 2변(332s,332s) 상에서 2변(332s,332s)의 길이방향을 따라서 각 맞춤판 (331)을 각각 슬라이드하는 것에 의해(도 10의 양 화살표 참조), 슬릿형상 분출구멍(31)의 틈새조정(슬릿조정)을 실시한다. 이와 같이 맞춤판(331)의 슬라이드조작을 실시하는 것만의 간단한 조작으로 틈새조정을 할 수 있기 때문에 바람직하다.
한편, 한 쌍의 맞춤판(331,331)과, 삼각판(332)과, 맞춤판(331)의 통과구멍(331h)과, 나사(333)를 슬릿형상 분출구멍(31)의 틈새조정을 실시하기 위한 틈새조정수단이라고 할 수 있다.
한편, 부관(3)의 양단에 부착되는 90° 엘보관(34)은, 부관(3)을 주관(2)에 연결하는 이음새로서 사용된다. 또한 부관(3)의 주관(2)에 있어서의 설치개소에 따라서, 90° 엘보관(34)은 부관(3)의 각 단에 단수(單數) 또는 쌍수(雙數) 사용된 다. 이 실시형태에서는, 상부 수평관(21U)과 상류측 수직관(22U)을 연결하는 부관 (3)중의 가장 긴 부관(3)의 상부 수평관(21U)과 부관(3)을 연결하는 경우에만, 90° 엘보관(34)이 간관(341)을 이음새로 하여 쌍수 사용되고 있다(도 1 참조).
이러한 구성요소로 이루어지는 부관(3)의 주관(2)에 대한 경사각도 α는(도 1참조), 워크(904)의 탱크(902)내에 있어서의 반송속도가 빠를수록, 작아지도록 부착된다. 한편, 경사각도 α는 수평면으로부터 가까운 지점(地點) 측의 각도를 말한다.
다음에 이러한 가이드장치(1)를 구비한 전기도금 처리시스템(S1)의 작용효과에 대해서 서술한다.
부관(3)은 그 양단이 주관(2)에 연결되어 있기 때문에, 부관(3)내에 있어서의 압력 밸런스가 잡혀져 있다. 이 때문에, 부관(3)내를 흐르는 처리액의 압력은 균일하다. 따라서, 부관(3)으로부터 분출되는 처리액(A)의 토출압은, 부관(3)이 설치되는 가이드장치(1)에 따라서, 또한 가이드장치(1)에 있어서의 부관(3)의 설치위치에 따라서 차이가 없다.
부관(3)에 형성되어 있는 분출구멍(31)은, 부관(3)의 길이방향으로 연장되는 슬릿형상의 분출구멍(31)이므로, 상기 슬릿형상 분출구멍(31)으로부터 배출되는 처리액(A)은, 슬릿형상 분출구멍(31)이 형성되어 있는 길이치수와 같은 치수를 갖는 띠형상을 한 형태가 된다{도 11에 인출선을 실선으로 나타내는 처리액(A) 참조}.
따라서, 부관(3)의 슬릿형상 분출구멍(31)으로부터 배출되는 처리액(A)에는 부관(3)의 길이방향에 있어서 도중에 끊어짐이 없다. 환언하면, 부관(3)에 있어서 그 길이방향으로 연장되고, 처리액(A)이 나오는 슬릿형상 분출구멍(31)이 형성되어 있는 영역에서는, 처리액(A)이 나오는 개소와 나오지 않는 개소가 없이, 모두 처리액(A)이 나온다.
이 때문에, 워크(904)가 한 쌍의 가이드장치(1)의 사이를 진행중에 있어서, 종래기술의 설명에서 서술한 바와 같이 처리액(A)이 토출되지 않는 부위를 워크 (904)가 통과할 때에, 워크(904)가 가이드장치에 접촉하거나, 워크(904)가 상기 부위가 있는 측에 치우쳐 진행해 버리거나 한다는 문제는, 전기도금 처리시스템(S1)에 있어서는 생기지 않게 된다.
또한, 패널형상을 한 한 쌍의 가이드장치(1)의 각각은, 주관(2)의 틀 내에 위치하여, 주관(2)에 대해서 경사지게 복수개 병렬되어 있는 부관(3)을 가지므로, 부관(3)중 인접하는 부관(3)끼리 상하방향에 있어서 교차하는 범위를 가진다. 이 때문에, 한 쌍의 가이드장치(1)의 사이에서 그것들과 평행하게 배치되는 워크(904)는 그 진행방향에 있어서 양쪽의 부관(3)으로부터 토출하는 처리액(A)이 닿지 않는 개소가 없다.
따라서, 워크(904)는, 그 진행중, 부관(3)으로부터 분출되는 처리액(A)에 의해, 항상 양쪽이 밀어붙여져 한 쌍의 가이드장치(1)의 중앙에 위치하게 된다.
이 결과, 워크(904)는, 한 쌍의 가이드장치(1)로 가이드되면서도 한 쌍의 가이드장치(1)에 비접촉의 상태로 탱크(902)내를 진행한다. 환언하면 극간거리를 일정하게 유지하면서 가이드장치(1)에 비접촉의 상태로 워크(904)에는 도금처리가 이루어진다. 따라서, 극히 얇은 워크(904)에 도금처리를 가하는데 있어서 필요한 테 두리 달기 지그를 요하지 않고도 워크(904)에 실시되는 도금처리의 균일성을 향상시킬 수 있다.
부관(3)은, 챔버(C)에 배출구멍으로부터 배출되는 처리액(A)을 일단 저장해 두는 것에 의해, 챔버(C)내의 처리액(A)의 압력은 균일화된다. 따라서, 챔버(C)와 통하는 슬릿형상 분출구멍(31)으로부터 처리액(A)은 똑같이 토출된다. 이 때문에 워크(904)에 실시되는 도금처리를 한층 균일하게 할 수 있다.
상기 주관(2)에 대해서 경사지게 부착되는 부관(3)은, 그 경사각도가, 상기 시트형상 단책제품의 탱크(902)내에 있어서의 반송속도가 빠를수록, 수평면으로부터 가까운 지점측의 각도가 작아지도록 부착함으로써, 반송속도가 빨라도 가이드장치(1) 의 부관(3)에 의한 비접촉 가이드성을 높일 수 있다. 따라서 가이드장치(1)는 비접촉 가이드장치(1)라고 할 수 있다.
가이드장치(1)를 이용하는 것에 의해, 워크(904)는, 비접촉상태로 가이드되면서 탱크(902)내를 진행한다. 환언하면 극간거리를 일정하게 유지하면서 가이드장치(1)에 비접촉의 상태로 워크(904)는 도금처리가 이루어진다. 따라서, 극히 얇은 워크(904)에 도금처리를 가하는데 있어서 필요한 테두리 달기 지그를 요하지 않고도 워크(904)에 실시되는 도금처리의 균일성을 향상시킬 수 있다. 이 결과, 도금된 워크(904)의 품질이 향상한다.
한편, 본 발명은, 상술의 도시예에만 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위내에 있어서 여러 가지 변경을 가할 수 있는 것은 물론이다.
본 발명에 의하면, 워크는, 비접촉가이드장치에 의해서, 비접촉상태로 가이드 되면서 탱크내를 진행한다. 환언하면 극간거리를 일정하게 유지하면서 가이드장치에 비접촉의 상태로 워크는 도금처리가 이루어진다. 따라서, 극히 얇은 워크에 도금처리를 가하는데 있어서 필요한 테두리 달기 지그를 요하지 않고도 워크에 실시되는 도금처리의 균일성을 향상시킬 수 있다. 이 결과, 도금된 워크의 품질이 향상된다.

Claims (6)

  1. 도금처리용의 처리액이 저류되어 있는 탱크와,
    이 탱크내에서 도금처리가 실시되는 시트형상 단책(短冊)제품을 아래로 늘어뜨리는 매달기도구와,
    상기 탱크를 따라서 설치되어, 상기 매달기도구가 미끄럼운동 가능하게 장착되어 음극으로서의 기능을 갖는 음극 바와,
    상기 처리액속에 설치되어, 상기 음극 바로부터 전자(電子)가 이동하고, 상기 시트상 단책제품을 사이에 끼우고 상기 시트형상 단책제품에 대해서 평행하게 배치되는 한 쌍의 양극과,
    상기 한 쌍의 양극의 안쪽에 배치되어, 상기 시트형상 단책제품을 사이에 끼운 상태로 상기 시트형상 단책제품을 그 진행방향으로 안내하는 패널형상을 한 한 쌍의 가이드장치를 갖고,
    상기 시트형상 단책제품에 급전(給電)하면서 상기 매달기도구를 상기 음극 바 상에서 미끄럼운동시켜 상기 매달기도구에 아래로 늘어뜨려져 있는 상기 시트형상 단책제품을 상기 처리액속에서 이동시키는 것에 의해, 상기 시트형상 단책제품에 전기도금을 실시하는 전기도금 처리시스템에 있어서,
    상기 한 쌍의 가이드장치의 각각은, 상기 시트형상 단책제품의 진행방향에 대해서 경사지게 복수개가 병렬되어 있음과 동시에 상기 탱크의 외부로부터 새로운 처리액이 공급되도록 되어있는 경사관을 갖고, 이 경사관은 그 길이방향으로 연장 되는 슬릿형상의 분출구멍을 갖고, 상기 분출구멍을 경유하여, 상기 새로운 처리액을, 상기 시트형상 단책제품을 향하여 토출하는 것을 특징으로 하는 전기도금 처리시스템에 이용되는 가이드장치.
  2. 도금처리용의 처리액이 저류되어 있는 탱크와,
    이 탱크내에서 도금처리가 실시되는 시트형상 단책제품을 아래로 늘어뜨리는 매달기도구와,
    상기 탱크를 따라서 설치되어, 상기 매달기도구가 미끄럼운동 가능하게 장착되어 음극으로서의 기능을 갖는 음극 바와,
    상기 처리액속에 설치되어, 상기 음극 바로부터 전자가 이동하고, 상기 시트형상 단책제품을 사이에 끼우고 상기 시트형상 단책제품에 대해서 평행하게 배치되는 한 쌍의 양극과,
    상기 한 쌍의 양극의 안쪽에 배치되어, 상기 시트형상 단책제품을 사이에 끼운 상태로 상기 시트형상 단책제품을 그 진행방향으로 안내하는 패널형상을 한 한 쌍의 가이드장치를 갖고,
    상기 시트형상 단책제품에 급전하면서 상기 매달기도구를 상기 음극 바 상에서 미끄럼운동시켜 상기 매달기도구에 아래로 늘어뜨려져 있는 상기 시트형상 단책제품을 상기 처리액속에서 이동시키는 것에 의해, 상기 시트형상 단책제품에 전기도금을 실시하는 전기도금 처리시스템에 있어서,
    상기 한 쌍의 가이드장치의 각각은,
    상기 탱크의 외부로부터 공급되는 새로운 처리액이 내부를 순환하는 틀형상을 한 주관(主管)과,
    이 주관의 틀 내에 위치하고, 주관에 대해서 경사지게 복수개가 병렬되고, 또한 주관에 대해서 양단부에서 연결되어 있는 부관(副管)을 갖고,
    이 부관은 길이방향으로 연장되는 슬릿형상의 분출구멍을 갖고, 상기 주관에 공급된 새로운 처리액을, 상기 분출구멍을 경유하여, 상기 시트형상 단책제품을 향하여 토출하는 것을 특징으로 하는 전기도금 처리시스템에 이용되는 가이드장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 부관은,
    상기 주관에 연결되는 파이프체와,
    이 파이프체의 길이방향으로 형성되어 상기 주관에 공급된 상기 처리액을 내보내는 배출구멍과,
    상기 배출구멍을 피복하도록 상기 파이프체에 부착되고, 상기 배출구멍으로부터 배출된 상기 처리액을 일단 저장해 두는 챔버를 형성하기 위한 챔버 형성체를 갖고,
    이 챔버 형성체에 상기 슬릿형상의 분출구멍이 형성되고, 상기 분출구멍은,
    상기 챔버와 통하고 있는 것을 특징으로 하는 전기도금 처리시스템에 이용되는 가이드장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 챔버 형성체는,
    상기 파이프체에 부착되고, 상기 슬릿형상을 한 분출구멍을 형성하기 위해서, 일단끼리가 마주하도록 맞배지붕형상으로 조합된 한 쌍의 맞춤판과,
    이 한 쌍의 맞춤판의 사이에 설치되는 적어도 한 쌍의 삼각판과,
    상기 삼각판의 정점의 양 이웃에 있는 2변에 상기 한 쌍의 맞춤판을 부착하기 위한 나사와,
    상기 한 쌍의 맞춤판에 형성되고, 상기 나사지름보다 큰 지름으로 상기 나사가 통과되는 통과구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 전기도금 처리시스템에 이용되는 가이드장치.
  5. 제 2 항에 있어서, 상기 주관에 대해서 경사지게 부착되는 부관은, 그 경사각도가, 상기 시트형상 단책제품의 탱크내에 있어서의 반송속도가 빠를수록, 수평면으로부터 가까운 지점(地點)측의 각도가 작아지도록 부착되는 것을 특징으로 하는 전기도금 처리시스템에 이용되는 가이드장치.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 가이드장치를 이용한 전기도금 처리시스템.
KR1020070038790A 2007-01-22 2007-04-20 전기도금 처리시스템에 이용되는 가이드장치 KR20080069108A (ko)

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