JP2642282B2 - 液体供給装置 - Google Patents
液体供給装置Info
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Description
ら酸液、メッキ液などの液体を供給する液体供給装置に
関するものである。
キ液などの液体を供給するなど種々の産業分野で使用さ
れている。即ち、板状の被処理表面に均一な流速の酸
液、メッキ液などの液体を供給する給液ノズルは、例え
ば特開昭61−90860号公報は、図5に示すよう
な、また、特開昭61−64897号公報は図6に示す
ような給液ノズルが知られている。
被メッキ材が0.1mm程度の非常に薄いストリップにメ
ッキを高効率で行うためには、大流量の液体を供給しな
ければならない。また、液の脈動や振動が非常に小さい
整流状態の液流れとしなければならない。さらに、スト
リップの幅方向に対する流速分布も均一でなければなら
ない。しかしながら、従来の給液ノズルでは整流効果及
び流速分布均一効果は、不充分であった。本発明は、以
上のような課題を解決するためになされたものであり、
大流量の液体を脈動や振動が非常に小さい整流状態の液
流れとし、かつ、ストリップの幅方向に対する流速分布
を均一とする液体供給装置を提供することにある。
ップの表裏面に液体を供給するための給液ノズルを、ス
トリップを挟んで相対向して設けた液体供給装置におい
て、それぞれの給液ノズルを内側ノズル室と外側ノズル
室とに二重筒で分割し、内側ノズル室の一端側に給液口
を設け他端を液の衝突面とし、内側ノズル室と外側ノズ
ル室との仕切り壁の少なくとも1ケ所に、給液口側から
反給液口側へ漸減するテーパー状のスリットを設け、外
側ノズル室から通板部へ給液する噴流口をストリップ全
幅方向にわたってスリット状に形成して外側ノズル室に
併設し、該噴流口がストリップに対して15〜45度の
角度を有する如く形成したことを特徴とする液体供給装
置である。また、前記外側ノズル室の流路中に整流板を
設けたことを特徴とする。
は図1のA−A断面図、図3は図1のB−B断面図であ
る。図1に示すように、給液ノズル2,2′はストリッ
プ1の表裏に配置している。液は図3に示すように、2
カ所の給液管6,6′から供給される。給液口から供給
される液は内側ノズル室3,3′へ流入する。内側ノズ
ル室3,3′へ流入した液は、内側ノズル室3,3′の
給液管6,6′とは反対位置の端部C,C′に衝突する
ため、内側ノズル室3,3′内の静圧分布を考えると必
然的に端部C,C′側の静圧力が給液側より高くなって
いる。
5,5′には外側ノズル室4,4′に向けてスリット
7,7′が設けられ、液が外側ノズル室4,4′に向か
って流出する。この時、スリット7,7′は端部Aから
端部Bに向かってテーパー状に広くなっている。即ち、
端部Aからは液が出易く、他端Bからは逆に液が出難い
ため、テーパー状の形状にして幅方向の液流れを均一に
する。
側ノズル室の流路を通じて噴流口10,10′からスト
リップ1に向かって吹き出る。この時、外側ノズル室の
流路中に、多孔性の整流板8を設け液流れを整流化させ
る。
って角度θを設け、液流れを良くすると同時に、ストリ
ップ1に対する振動やバタツキを抑制する。このよう
に、ノズルの構造的な配慮とノズル室内の静圧力分布の
バランスによって、ノズルの幅方向に対して均一な流速
分布が得られるのである。
リットのテーパー形状によって、幅方向の静圧力分布を
均一とし、外側ノズル室の流路を通過する間にさらに静
圧力分布を均一とすると共に、整流状態の液流れにする
ことができるのである。ここで付言すれば、液の供給方
向を片方のみ一方向としたのは、液配管の数量を減少さ
せるための手段である。図4に従来ノズルと本発明ノズ
ルの流速分布を示すが、従来ノズルは均一になっていな
い。これに対し、本発明ノズルを使用した場合は殆ど均
一であることが、テスト結果から立証された。
配置している。即ち、この実施例はストリップ1の表裏
両方に給液する場合のものである。ここで、説明を分か
りやすくするために、給液ノズル2を主体として説明す
る。給液ノズル2′も同様な機能を有している。
を通じて接続している。液は図2に示すように、1ケ所
の給液管6から供給される。給液ノズル2に対して1ケ
所の給液口から供給された液は、内側ノズル室3に流入
する。
とほぼ同等でよい。内側ノズル室3へ流入した液は、内
側ノズル室3の給液管6とは反対勝手位置の端部Cに衝
突するため、内側ノズル室3内の静圧力分布を考えると
必然的に端部C側の静圧力が給液側より高くなってい
る。
は、外側ノズル室4に向けてスリット7が設けられ、液
が外側ノズル室4に向かって流出する。この時、スリッ
ト7には端部Aから端部Bに向かって、テーパー状に広
くなっている。即ち、端部Aからは液が出易く、他端B
からは逆に液が出難いため、テーパー状の形状にして幅
方向の液流れを均一にする。この時、テーパー状の形状
(幅寸法)はスリットのA部で約10mm、B部で約30
mmが適当である。
板8を複数個設け、液の整流効果を付与させる。また、
保持板9は、内側ノズル室3と外側ノズル室4とを定位
置に保持する。実施例では保持板を多孔性にして液流れ
をよくしている。
じて噴流口10からストリップ1に向かって吹き出る。
なお、内側ノズル室3と外側ノズル室4との面積の大き
さ割合は1.0〜1.5:1.0が適当である。噴流口
の向きは、ストリップ1に対してできるだけ平行になる
ほうが、ストリップ1に対して振動を与えないが、構造
の制約上限界がある。
って角度θを設け、液流れをよくすると同時にストリッ
プ1に対する振動を抑制する。この時、角度θは15°
〜45°が適当である。
装置はストリップ1に対して上向きに吹き出すのに限定
されるものではなく、ストリップ1に対して下向きに吹
き出したり、水平に吹き出したりできる。そして、本発
明の液体供給装置は、メッキに限らず酸洗、脱脂などの
作業を行う装置においても十分適用可能である。
が、本発明はこれに限定されるものではなく、給液ノズ
ルの目的に従い設計変更が可能であり、勿論本発明の範
囲を逸脱するものではない。
0.1mm程度の非常に薄いストリップに液を供給した
時、ストリップに皺や折れを発生させない、脈動や振動
が非常に小さい整流状態の液流とすることができる。第
2に、メッキ厚さを厳格な管理基準の中で行うような場
合に必要な、ストリップの幅方向に対する流速分布を均
一にすることができる。
ある。
説明図で(a)は側面図、(b)はC−C断面図であ
る。
Claims (2)
- 【請求項1】 ストリップの表裏面に液体を供給するた
めの給液ノズルを、ストリップを挟んで相対向して設け
た液体供給装置において、それぞれの給液ノズルを内側
ノズル室と外側ノズル室とに二重筒で分割し、内側ノズ
ル室の一端側に給液口を設け他端を液の衝突面とし、内
側ノズル室と外側ノズル室との仕切り壁の少なくとも1
ケ所に、給液口側から反給液口側へ漸減するテーパー状
のスリットを設け、外側ノズル室から通板部へ給液する
噴流口をストリップ全幅方向にわたってスリット状に形
成して外側ノズル室に併設し、該噴流口がストリップに
対して15〜45度の角度を有する如く形成したことを
特徴とする液体供給装置。 - 【請求項2】 外側ノズル室の流路中に整流板を設けた
ことを特徴とする請求項1記載の液体供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4214284A JP2642282B2 (ja) | 1992-08-11 | 1992-08-11 | 液体供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4214284A JP2642282B2 (ja) | 1992-08-11 | 1992-08-11 | 液体供給装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0663456A JPH0663456A (ja) | 1994-03-08 |
JP2642282B2 true JP2642282B2 (ja) | 1997-08-20 |
Family
ID=16653189
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4214284A Expired - Fee Related JP2642282B2 (ja) | 1992-08-11 | 1992-08-11 | 液体供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2642282B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN103726099B (zh) * | 2013-12-13 | 2016-06-15 | 华纳国际(铜陵)电子材料有限公司 | 一种电解铜箔设备精密配液装置 |
JP7488982B1 (ja) * | 2022-10-06 | 2024-05-22 | 株式会社Jcu | 金属皮膜の成膜装置及び金属皮膜の成膜方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4413723Y1 (ja) * | 1965-12-03 | 1969-06-09 | ||
JPS5382821A (en) * | 1976-12-29 | 1978-07-21 | Matsushita Electric Works Ltd | Process for making inorganic molding materials |
JPS56141860A (en) * | 1980-04-07 | 1981-11-05 | Nippon Steel Corp | Liquid injector |
-
1992
- 1992-08-11 JP JP4214284A patent/JP2642282B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0663456A (ja) | 1994-03-08 |
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