KR20080046898A - 접지 구조물, 이를 갖는 히터 및 화학기상증착장치 - Google Patents

접지 구조물, 이를 갖는 히터 및 화학기상증착장치 Download PDF

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    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment

Abstract

히터의 접지 구조물은 접지 마운트, 접지 마운트에 이동 가능하게 삽입된 접지 터미널, 상기 접지 마운트 내에 배치되어 상기 접지 터미널을 파지하는 도전성 홀더, 및 상기 도전성 홀더와 상기 접지 마운트를 전기적으로 연결시키는 연결부재를 포함한다. 따라서, 탄성 홀더가 접지 터미널에 밀착된 상태가 계속적으로 유지될 수 있어서, 접지 터미널의 손상이 방지된다.

Description

접지 구조물, 이를 갖는 히터 및 화학기상증착장치{GROUND STRUCTURE, AND HEATER AND CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS INCLUDING THE SAME}
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 접지 구조물을 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 정면도이다.
도 3은 도 1의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 히터를 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 화학기상증착장치를 나타낸 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110 : 접지 마운트 120 : 접지 터미널
130 : 도전성 홀더 140 : 연결부재
본 발명은 접지 구조물, 및 이를 갖는 히터와 화학기상증착장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 기판을 가열하기 위해 사용되는 히터의 접지 구조물, 이러한 접지 구조물을 갖는 히터와 화학기상증착장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 장치는 반도체 기판 상에 전기적인 회로를 형성하는 팹(Fab) 공정과, 팹 공정에서 형성된 반도체 장치들의 전기적인 특성을 검사하는 EDS(electrical die sorting)공정과, 반도체 장치들을 각각 에폭시 수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키징 공정을 통해 제조된다.
팹 공정은 반도체 기판 상에 막을 형성하기 위한 증착 공정과, 막을 평탄화하기 위한 화학적 기계적 연마 공정과, 막 상에 포토레지스트 패턴을 형성하기 위한 포토리소그래피 공정과, 포토레지스트 패턴을 이용하여 막을 전기적인 특성을 갖는 패턴으로 형성하기 위한 식각 공정과, 반도체 기판의 소정 영역에 특정 이온을 주입하기 위한 이온 주입 공정과, 반도체 기판 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정과, 세정된 반도체 기판을 건조시키기 위한 건조 공정과, 상기 막 또는 패턴의 결함을 검사하기 위한 검사 공정 등을 포함한다.
최근, 팹 공정에서 공정 가스를 플라스마 상태로 여기시켜 기판 상에 막 또는 패턴을 형성하는 플라스마 처리 장치의 사용이 급증하고 있다. 플라스마 처리 장치의 한 예로서 한국공개특허공보 제2005-87405호에 개시된 플라즈마 강화 화학기상증착(Plasma-Enhanced Chemical vapor depositio:PE-CVD) 장치를 들 수 있다.
종래의 PE-CVD 장치는 반도체 기판을 가공하기 위한 공간을 갖는 가공 챔버와, 가공 챔버 내부에 배치되며 반도체 기판을 가열하기 위한 히터, 및 가공 챔버로 공급된 반응 가스를 플라스마 가스로 형성하기 위한 전극을 포함한다. 히터는 히팅 블럭, 히팅 블럭에 내장된 발열 전극, 및 히팅 블럭에 내장된 접지 구조물을 포함한다.
종래의 접지 구조물은 히팅 블럭에 내장된 전극, 전극과 연결된 접지 터미널, 히팅 블럭에 장착되고 접지 터미널이 삽입된 접지 마운트, 접지 터미널의 외주면을 둘러싸서 접지 터미널을 접지 마운트에 고정시키는 탄성 홀더를 포함한다. 한편, 접지 터미널은 히팅 블럭에 브레이징 공정을 통해서 고정되어 있다.
그런데, 종래의 접지 구조물에서, 히팅 블럭의 온도가 상승함에 따라 탄성 홀더의 탄성력이 점차 낮아지게 된다. 이로 인하여, 탄성 홀더가 접지 터미널에 밀착이 되지 못하여, 접지 터미널의 외주면에 아킹으로 인한 산화막이 발생되는 경우가 많다. 산화막은 접지 터미널의 접촉 저항을 증가시켜서, 접지 터미널을 손상시키게 된다.
또한, 종래의 접지 터미널은 접지 터미널의 길이 방향을 따라 이동이 불가능하다. 이로 인하여, 접지 터미널이 고온으로 인해서 열팽창될 경우에, 접지 터미널이 단선되는 경우가 자주 발생되었다.
본 발명은 접지 터미널의 손상을 억제할 수 있는 히터의 접지 구조물을 제공한다.
또한, 본 발명은 상기된 접지 구조물을 갖는 히터를 제공한다.
아울러, 본 발명은 상기된 히터를 갖는 화학기상증착장치를 제공한다.
본 발명의 일 견지에 따른 히터의 접지 구조물은 접지 마운트, 접지 마운트에 이동 가능하게 삽입된 접지 터미널, 상기 접지 마운트 내에 배치되어 상기 접지 터미널을 파지하는 도전성 홀더, 및 상기 도전성 홀더와 상기 접지 마운트를 전기적으로 연결시키는 연결부재를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 접지 마운트는 상기 도전성 홀더를 수용하는 수용홈을 가질 수 있다. 또한, 수용홈은 절연성 커버를 덮힐 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 도전성 홀더는 탄성 재질을 포함할 수 있다. 상기 탄성 재질의 도전성 홀더는 상기 접지 터미널을 수용하기 위한 ⊂자 형상을 갖고, 상기 ⊂자 형상의 도전성 홀더 양단들이 체결부재에 의해 고정될 수 있다. 또한, 상기 도전성 홀더는 접지 터미널의 직경과 동일한 직경을 가져서 접지 터미널을 파지하는 파지홈을 가질 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 연결부재는 상기 도전성 홀더를 상기 접지 터미널의 길이 방향을 따라 이동 가능하게 지지하는 신축성 케이블을 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 절연 부재가 상기 접지 마운트와 상기 도전성 홀더 사이에 개재될 수 있다. 상기 절연부재는 상기 접지 마운트의 저면과 상기 도전성 홀더 사이에 개재되고 상기 접지 터미널이 이동 가능하게 삽입된 구멍을 갖는 제 1 절연체, 및 상기 접지 마운트의 측면과 상기 도전성 홀더 사이에 개재된 제 2 절연체를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 견지에 따른 히터는 히팅 블럭, 상기 히팅 블럭에 내장된 발열체, 상기 히팅 블럭에 내장된 전극, 상기 히팅 블럭에 장착된 접지 마운트, 상기 접지 마운트에 이동 가능하게 삽입되고 상기 전극에 연결된 접지 터미널, 상기 접 지 마운트 내에 배치되어 상기 접지 터미널을 파지하는 도전성 홀더, 및 상기 도전성 홀더와 상기 접지 마운트를 전기적으로 연결시키는 연결부재를 포함한다.
본 발명의 또 다른 견지에 따른 화학기상증착장치는 기판이 반입되는 챔버, 상기 챔버 내의 하부에 배치되어 상기 기판을 가열하기 위한 히터, 상기 챔버 내의 상부에 배치되어 상기 기판 상으로 반응 가스를 제공하는 반응가스 제공부재, 및 상기 챔버 내에 배치되어, 상기 반응 가스로부터 플라즈마를 형성하기 위한 상부 전극을 포함한다. 상기 히터는 히팅 블럭, 상기 히팅 블럭에 내장된 발열체, 상기 히팅 블럭에 내장된 하부 전극, 상기 히팅 블럭에 장착된 접지 마운트, 상기 접지 마운트에 이동 가능하게 삽입되고 상기 하부 전극에 연결된 접지 터미널, 상기 접지 마운트 내에 배치되어 상기 접지 터미널을 파지하는 도전성 홀더, 및 상기 도전성 홀더와 상기 접지 마운트를 전기적으로 연결시키는 연결부재를 포함한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 접지 터미널을 둘러싼 탄성 홀더의 양단이 고정되므로, 탄성 홀더가 접지 터미널에 밀착된 상태가 계속적으로 유지될 수 있다. 따라서, 탄성 홀더와 접지 터미널 사이에서 아크가 발생되는 현상이 방지되어, 아크로 인한 접지 터미널의 손상이 방지된다. 또한, 신축성 케이블을 매개로 접지 마운트에 연결된 탄성 홀더는 접지 터미널의 길이 방향을 따라 이동될 수 있다. 그러므로, 열팽창으로 인한 접지 터미널의 단선이 방지될 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명한다.
본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능 적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예 1
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 히터의 접지 구조물을 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 정면도이며, 도 3은 도 1의 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 접지 구조물(100)은 접지 마운트(110), 접지 터미널(120), 도전성 홀더(130) 및 연결부재(140)를 포함한다.
접지 마운트(110)는 대략 원통 형상을 갖는다. 구멍(114)이 접지 마운 트(110)에 수직 방향을 따라 관통 형성된다. 히터(미도시)의 발열체가 구멍(114)에 수용된다. 또한, 수용홈(112)이 접지 마운트(110)의 측면에 형성된다. 특히, 수용홈(112)은 접지 마운트(110)의 상부면을 통해 노출되어 있다. 본 실시예에서, 수용홈(112)은 대략 1/4 원호 형상의 단면을 갖는다. 또한, 수용홈(112)으로 이어진 구멍(미도시)이 접지 마운트(110)에 수직 방향을 따라 형성된다. 부가적으로, 작업자의 안전을 고려하여, 절연성 커버(160)가 수용홈(112)을 덮을 수도 있다. 한편, 본 실시예에서, 접지 마운트(110)는 알루미늄과 같은 도전성 재질을 포함한다.
접지 터미널(120)이 구멍에 삽입되어 수용홈(112) 내로 돌출된다. 특히, 접지 터미널(120)의 직경보다 구멍의 직경이 길어서, 접지 터미널(120)은 구멍을 통해서 수직 방향을 따라 이동이 가능하다. 본 실시예에서, 접지 터미널(120)의 재질로는 니켈을 들 수 있다. 한편, 접지 터미널(120)은 히터의 전극에 브레이징 공정을 통해서 연결되어 있다.
도전성 홀더(130)는 수용홈(112) 내에 배치된다. 도전성 홀더(130)는 얇은 두께를 갖는 탄성판이다. 도전성 홀더(130)는 중간부가 절곡된 대략 ⊂자 형상을 갖는다. 도전성 홀더(130)의 양단이 볼트와 같은 체결부재(150)로 체결된다. 접지 터미널(120)은 절곡된 도전성 홀더(130) 내에 수용된다. 특히, 도전성 홀더(130)의 절곡된 부위에 접지 터미널(120)의 직경과 동일한 직경을 갖는 파지홈(132)이 형성되어서, 접지 터미널(120)은 파지홈(132)에 수용되어 도전성 홀더(130)의 내주면에 밀착된다. 즉, 도전성 홀더(130)는 접지 터미널(120)을 탄성적으로 파지하면서 접지 터미널(120)의 외주면 전체에 밀착된다. 특히, 접지 터미널(120)의 상단은 도전 성 홀더(130)의 내부 공간 폭보다 긴 직경을 가져서, 접지 터미널(120)은 체결부재(150)를 풀지 않는 이상 도전성 홀더(130)로부터 하부를 향해 이탈되지 않는다. 본 실시예에서, 도전성 홀더(130)의 재질로는 벨륨, 구리 또는 이들의 합금(Be-Cu)을 들 수 있다.
연결부재(140)는 도전성 홀더(130)를 접지 마운트(110)에 전기적으로 연결시킨다. 즉, 연결부재(140)는 도전성 홀더(130)에 고정된 일단부, 및 접지 마운트(110)에 고정된 타단부를 갖는다. 특히, 도전성 홀더(130)를 수직 방향으로 이동이 가능하도록 하기 위해서, 연결부재(140)로 신축성 케이블이 사용될 수 있다. 따라서, 도전성 홀더(130)가 수직 방향으로의 이동이 가능하므로, 히터의 고온으로 인한 접지 터미널(120)의 열팽창이 방해받지 않게 된다. 결과적으로, 히터에 브레이징된 접지 터미널(120)의 단부가 단선되는 사고가 방지된다.
또한, 절연부재(170)가 접지 마운트(110)와 도전성 홀더(130) 사이에 개재되어, 접지 마운트(110)와 도전성 홀더(130)를 전기적으로 절연시킨다. 절연부재(170)는 접지 마운트(110)의 측면과 도전성 홀더(130) 사이, 즉 수용홈(112)의 측면에 배치된 제 1 절연체(171), 및 접지 마운트(110)의 저면과 도전성 홀더(130) 사이, 즉 수용홈(112)의 저면에 배치된 제 2 절연체(172)를 포함한다.
본 실시예에 따르면, 도전성 홀더의 양단이 볼트로 체결되어 있으므로, 볼트가 풀리지 않는 이상 도전성 홀더가 접지 터미널에 밀착된 상태로 계속 유지된다. 따라서, 접지 터미널에 아크가 발생되는 현상이 방지되어, 접지 터미널이 손상되는 것을 억제시킬 수가 있다. 또한, 신축성 케이블에 의해서 수직 방향을 따라서 도전 성 홀더의 이동이 가능하므로, 접지 터미널의 열팽창도 자유롭게 이루어지게 된다. 결과적으로, 접지 터미널의 브레이징된 부분이 단선되는 사고가 방지된다.
실시예 2
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 히터를 나타낸 단면도이다.
도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 히터(200)는 히팅 블럭(210), 발열체(220), 전극(230) 및 접지 구조물(100)을 포함한다. 여기서, 접지 구조물(100)은 실시예 1에서 상세히 설명하였으므로, 반복 설명은 생략한다.
히팅 블럭(210)은 반도체 기판이 안치되는 원판, 및 원판의 밑면 중앙부에 연결된 수직축을 포함한다. 접지 구조물(100)의 접지 마운트(110)는 수직축의 하단에 장착된다. 본 실시예에서, 히팅 블럭(210)의 재질로는 세라믹을 들 수 있다.
전극(230)은 히팅 블럭(210)에 내장된다. 발열체(220)는 히팅 블럭(210)의 수직축에 내장된다. 발열체(220)는 히팅 블럭(210)의 원판 내에 소정의 패턴 형상으로 배열될 수 있다. 접지 구조물(100)의 접지 터미널(120)은 전극(230)과 전기적으로 연결된다.
실시예 3
도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 화학기상증착장치를 나타낸 단면도이다.
도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 화학기상증착장치(300)는 반도체 기판이 반입되는 챔버(310), 상부 전극(320), 반응가스 제공부재(330), 가스 라인(340) 및 히터(200)를 포함한다. 본 실시예에서, 화학기상증착장치(300)는 PE-CVD 장치이다. 여기서, 히터(200)는 실시예 2에서 상세히 기술하였으므로, 반복 설명은 생략한다.
반응 가스를 챔버(310) 내로 제공하기 위한 가스 라인(340)이 챔버(310)의 상부에 연결된다. 상부 전극(320)은 챔버(310) 내의 상부에 배치되어, 반응 가스로 고전압을 인가하여 플라즈마를 생성시킨다. 반응가스 제공부재(330)는 전극(320)의 하부에 배치되어, 플라즈마를 반도체 기판을 향해서 균일하게 분사한다. 본 실시예에서, 반응가스 제공부재(330)의 예로서는 샤워 헤드를 들 수 있다.
히터(200)는 챔버(310)의 저면 상에 배치된다. 반도체 기판은 히터(200)의 히팅 블럭(210) 상에 안치된다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 접지 터미널을 둘러싼 탄성 홀더의 양단이 고정되므로, 탄성 홀더가 접지 터미널에 밀착된 상태가 계속적으로 유지될 수 있다. 따라서, 탄성 홀더와 접지 터미널 사이에서 아크가 발생되는 현상이 방지되어, 아크로 인한 접지 터미널의 손상이 방지된다.
또한, 신축성 케이블을 매개로 접지 마운트에 연결된 탄성 홀더는 접지 터미널의 길이 방향을 따라 이동될 수 있다. 그러므로, 열팽창으로 인한 접지 터미널의 단선이 방지될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (19)

  1. 접지 마운트;
    상기 접지 마운트에 이동 가능하게 삽입된 접지 터미널;
    상기 접지 마운트 내에 배치되어 상기 접지 터미널을 파지하는 도전성 홀더; 및
    상기 도전성 홀더와 상기 접지 마운트를 전기적으로 연결시키는 연결부재를 포함하는 히터의 접지 구조물.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 접지 마운트는 상기 도전성 홀더를 수용하는 수용홈을 갖는 것을 특징으로 하는 히터의 접지 구조물.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 수용홈을 덮는 절연성 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히터의 접지 구조물.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 접지 마운트는 알루미늄을 포함하는 것을 특징으로 하는 히터의 접지 구조물.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 접지 터미널은 니켈을 포함하는 것을 특징으로 하는 히터의 접지 구조물.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 도전성 홀더는 탄성 재질을 포함하는 것을 특징으로 하는 히터의 접지 구조물.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 도전성 홀더는 상기 접지 터미널을 수용하기 위한 ⊂자 형상을 갖고, 상기 ⊂자 형상의 도전성 홀더 양단들이 체결부재에 의해 고정된 것을 특징으로 하는 히터의 접지 구조물.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 도전성 홀더는 상기 접지 터미널의 직경과 동일한 직경을 가져서 상기 접지 터미널을 파지하는 파지홈을 갖는 것을 특징으로 하는 히터의 접지 구조물.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 도전성 홀더는 벨륨, 구리 또는 이들의 합금을 포함하는 것을 특징으로 하는 히터의 접지 구조물.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 연결부재는 상기 도전성 홀더를 상기 접지 터미널의 길이 방향을 따라 이동 가능하게 지지하는 신축성 케이블을 포함하는 것을 특징으로 하는 히터의 접지 구조물.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 접지 마운트와 상기 도전성 홀더 사이에 개재된 절 연부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히터의 접지 구조물.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 절연부재는
    상기 접지 마운트의 저면과 상기 도전성 홀더 사이에 개재되고, 상기 접지 터미널이 이동 가능하게 삽입된 구멍을 갖는 제 1 절연체; 및
    상기 접지 마운트의 측면과 상기 도전성 홀더 사이에 개재된 제 2 절연체를 포함하는 것을 특징으로 하는 히터의 접지 구조물.
  13. 수용홈을 갖는 접지 마운트;
    상기 접지 마운트에 이동 가능하게 삽입되어, 상기 수용홈으로 노출된 접지 터미널;
    상기 수용홈 내에 배치되어 상기 접지 터미널을 탄성적으로 파지하고, 상기 접지 터미널을 수용하기 위한 ⊂자 형상을 가지면서 양단들이 분리 가능하게 연결된 도전성 홀더;
    상기 도전성 홀더와 상기 접지 마운트를 전기적으로 연결시키고, 상기 도전성 홀더를 상기 접지 터미널의 길이 방향을 따라 이동 가능하게 지지하는 신축성 케이블; 및
    상기 접지 마운트와 상기 도전성 홀더 사이에 개재된 절연부재를 포함하는 히터의 접지 구조물.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 수용홈을 덮는 절연성 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히터의 접지 구조물.
  15. 제 13 항에 있어서, 상기 도전성 홀더는 상기 접지 터미널의 직경과 동일한 직경을 가져서 상기 접지 터미널을 파지하는 파지홈을 갖는 것을 특징으로 하는 히터의 접지 구조물.
  16. 제 13 항에 있어서, 상기 절연부재는
    상기 접지 마운트의 저면과 상기 도전성 홀더 사이에 개재되고, 상기 접지 터미널이 이동 가능하게 삽입된 구멍을 갖는 제 1 절연체; 및
    상기 접지 마운트의 측면과 상기 도전성 홀더 사이에 개재된 제 2 절연체를 포함하는 것을 특징으로 하는 히터의 접지 구조물.
  17. 히팅 블럭;
    상기 히팅 블럭에 내장된 발열 전극;
    상기 히팅 블럭에 내장된 전극;
    상기 히팅 블럭에 장착된 접지 마운트;
    상기 접지 마운트에 이동 가능하게 삽입되고, 상기 전극에 연결된 접지 터미널;
    상기 접지 마운트 내에 배치되어 상기 접지 터미널을 파지하는 도전성 홀더; 및
    상기 도전성 홀더와 상기 접지 마운트를 전기적으로 연결시키는 연결부재를 포함하는 히터.
  18. 제 17 항에 있어서, 상기 히팅 블럭은 세라믹을 포함하는 것을 특징으로 하는 히터.
  19. 기판이 반입되는 챔버;
    상기 챔버 내의 하부에 배치되어 상기 기판을 가열하기 위한 히터;
    상기 챔버 내의 상부에 배치되어 상기 기판 상으로 반응 가스를 제공하는 반응가스 제공부재; 및
    상기 챔버 내에 배치되어, 상기 반응 가스로부터 플라즈마를 형성하기 위한 상부 전극을 포함하고,
    상기 히터는
    히팅 블럭;
    상기 히팅 블럭에 내장된 발열 전극;
    상기 히팅 블럭에 내장된 하부 전극;
    상기 히팅 블럭에 장착된 접지 마운트;
    상기 접지 마운트에 이동 가능하게 삽입되고, 상기 하부 전극에 연결된 접지 터미널;
    상기 접지 마운트 내에 배치되어 상기 접지 터미널을 파지하는 도전성 홀더; 및
    상기 도전성 홀더와 상기 접지 마운트를 전기적으로 연결시키는 연결부재를 포함하는 화학기상증착장치.
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