CN109690729B - 接地夹紧装置及包括其的基板支撑组件 - Google Patents

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Abstract

所述使形成有中空的中空构件及加装于所述中空内的接地杆接地的接地夹紧装置包括：夹具主体，其具备贯通槽，以便包围所述接地杆的外壳部；弹性连接部，其在所述中空内部弹性接触所述中空构件的内侧，连接于所述夹具主体；及紧固部，其使所述弹性连接部紧固于所述夹具主体。由此，接地夹紧装置可以使接地杆及中空构件之间坚固地电气连接。

Description

接地夹紧装置及包括其的基板支撑组件
技术领域
本发明涉及接地夹紧装置及包括其的基板支撑组件。更详细而言，本发明涉及一种使在等离子体反应腔内配备的形成有中空的中空构件及在所述中空内加装的接地杆相互连接并电气接地的接地夹紧装置及包括所述接地夹紧装置的基板支撑组件。
背景技术
在电子电路及显示装置制造方面，在基板上形成有利用了半导体、电介质及导电性材料的薄膜。形成这种薄膜的薄膜形成工序可以借助于化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、离子注入、氧化及氮化工艺而形成。然后，使所述薄膜暴露于等离子体，执行使所述薄膜进行图案化的图案化工序。
为了执行所述薄膜沉积工序或图案化工序，利用使所述基板暴露于基板处理腔室内的等离子体并在基板上形成薄膜或将在基板上形成的薄膜部分地蚀刻的等离子体处理装置。
所述等离子体可以通过工序气体使微波穿过而形成，或向工序气体进行电感耦合或电容耦合(inductively or capacitively coupling)能量而形成。
所述等离子体处理装置包括：工序腔室；基板支撑部，其配置于所述工序腔室内部，加热并支撑所述基板，具有接地端子；接地杆，其与所述接地端子连接，向其下部延长；安装构件，其将所述基板支撑部安装于所述工序腔室；及夹紧装置，其使所述接地杆及安装构件相互连接。
在所述工序腔室内部形成等离子体状态。此时，所述加热支撑部可以通过所述接地杆、夹紧装置及连接于接地状态的工序腔室的安装构件而保持电气接地状态。
特别是为了增大所述薄膜形成工序的效率，最近取代原有13.56MHz，使用具有27.2MHz频率的等离子体电源，执行增大等离子体密度的工序。由此，所述夹紧装置发生起弧现象，存在所述夹紧装置发生破损的问题。
发明内容
技术问题
因此，本发明鉴于如上所述的问题，本发明一个目的是提供一种能够抑制起弧现象导致的接地杆破损的接地夹紧装置。
本发明另一目的是提供一种具备能够抑制起弧现象导致的破损的接地夹紧装置的基板支撑组件。
技术方案
为了达成上述本发明的目的，根据本发明的实施例，使形成有中空的中空构件及加装于所述中空内的接地杆接地的接地夹紧装置包括：夹具主体，其具备贯通槽，以便包围所述接地杆的外壳部；弹性连接部，其在所述中空内部弹性接触所述中空构件的内侧，连接于所述夹具主体；及紧固部，其使所述弹性连接部紧固于所述夹具主体。
在本发明一个实施例中，所述夹具主体可以包括：第一箝位器，其在第一内面具备向第一方向延长的第一凹处；及第二箝位器，其与所述第一箝位器隔开地相向配备，具备在与所述第一内面相向的第二内面形成并与所述第一凹处一同形成所述贯通槽的第二凹处。其中，可以在所述第一箝位器及第二箝位器各自相互相向的边角部形成有倒角。
在本发明一个实施例中，所述夹具主体可以包括在其表面形成的防氧化涂层。
在本发明一个实施例中，所述中空可以以圆柱形状形成，所述弹性连接部可以与所述中空构件的内侧面实现面接触。
在本发明一个实施例中，在所述弹性连接部及所述中空构件之间进行面接触的接触面积，按所述中空的平面面积为基准，可以具有0.2至3.2％范围。
在本发明一个实施例中，所述弹性连接部可以具有U字形状。
在本发明一个实施例中，所述弹性连接部可以包括：第一接触部及第二接触部，其接触所述夹具主体的外面；及起弧部，其与所述第一接触部及第二接触部连接，弹性接触所述中空构件，具有弧形形状。其中，所述第一、第二接触部及起弧部可以一体形成。另外，所述弹性连接部可以具有0.1至1.0mm范围的厚度。
发明实施例的基板支撑组件可以包括：基板支撑部，其支撑基板，具备用于形成等离子体的接地电极；安装部，其配备用于安装所述基板支撑部，在其内部沿上下方向形成有中空；接地杆，其与所述接地电极电气连接，配置于所述中空内部；及第一接地夹紧装置，其位于在所述安装部形成的所述中空内，部分地夹紧所述接地杆的外周面，使所述安装部及所述接地杆之间电气连接，使所述接地杆电气接地；
所述第一接地夹紧装置可以包括：夹具主体，其具备贯通槽，以便包围所述接地杆的外壳部；弹性连接部，其弹性接触所述安装部的内侧，与所述夹具主体连接；及第一紧固部，其使所述弹性连接部紧固于所述夹具主体。
在本发明一个实施例中，所述夹具主体可以包括：第一箝位器，其在第一内面具备向第一方向延长的第一凹处；及第二箝位器，其与所述第一箝位器隔开地相向配备，具备在与所述第一内面相向的第二内面形成并与所述第一凹处一同形成所述贯通槽的第二凹处。
在本发明一个实施例中，所述弹性连接部可以与定义所述中空的所述安装部的内侧面实现面接触。
在本发明一个实施例中，所述弹性连接部可以包括：第一接触部及第二接触部，其接触所述夹具主体的外面；及起弧部，其与所述第一接触部及第二接触部连接，与所述安装部弹性接触，具有弧形形状。
在本发明一个实施例中，所述基板支撑部可以包括：支撑板，其在内部形成有加热器，与基板接触；加热管，其支撑所述支撑板的下部，配备得部分地包围所述接地杆；
在所述加热管内可以追加具备：第二接地夹紧装置，其部分地夹紧所述接地杆的外周面，与所述第一接地夹紧装置电气连接；及夹具连接部，其使所述第一接地夹紧装置及第二接地夹紧装置相互电气连接。
其中，所述第二接地夹紧装置可以包括：第二夹具主体，其具备倾斜的贯通槽，以便包围所述接地杆外壳部；楔子构件，其在所述倾斜的贯通槽内介于所述接地杆之间，使所述第二夹具主体固定于所述接地杆之间；及第二紧固部，其使所述楔子构件紧固于所述第二夹具主体。
有益效果
根据这种接地夹紧装置，配备有接地夹紧装置，其与在中空构件内部形成的中空的内侧接触并夹具接地杆，因而能够使所述接地杆与中空构件之间更坚固地电气接地。另外，接地夹紧装置与在所述中空构件形成的中空的内侧壁实现面接触，因而所述接地夹紧装置及中空构件之间的接触面积会增大。
另一方面，当在所述中空构件的外部与接地夹紧装置比较时，由于接地夹紧装置配备于所述中空内部，因而可以抑制接地夹具配置而导致的组件设计自由度受限。
附图说明
图1是用于说明本发明一个实施例的接地夹紧装置的剖面图。
图2是显示图1的接地夹紧装置夹紧接地杆而与中空构件接触的状态的剖面图。
图3是沿图1的I-I线截断的剖面图。
图4是用于说明本发明一个实施例的基板支撑组件的剖面图。
图5是用于说明图4所示的第二接地夹紧装置的剖面图。
图6是显示图4所示的第一接地夹紧装置及第二接地夹紧装置相互连接的状态的图。
最佳实施方式
为了达成上述本发明的目的，根据本发明的实施例，使形成有中空的中空构件及加装于所述中空内的接地杆接地的接地夹紧装置包括：夹具主体，其具备贯通槽，以便包围所述接地杆的外壳部；弹性连接部，其在所述中空内部弹性接触所述中空构件的内侧，连接于所述夹具主体；及紧固部，其使所述弹性连接部紧固于所述夹具主体。
具体实施方式
参照附图，对本发明实施例的接地夹紧装置及基板支撑组件进行详细说明。本发明可以施加多样的变更，可以具有多种形态，将在附图中示例性列举特定实施例并在正文中详细说明。但是，这并非要将本发明限定于特定的公开形态，应理解为包括本发明的思想及技术范围内包含的所有变更、等同物以及替代物。在说明各附图的同时，针对类似的构成要素，使用了类似的附图标记。在附图中，为了本发明的明确性，结构物的尺寸可以比实际放大图示，为了理解概略性构成，结构物的尺寸可以比实际缩小图示。
另外，第一及第二等术语可以用于说明多样的构成要素，但所述构成要素不得由所述术语所限定。所述术语只用于将一个构成要素区别于其他构成要素之目的。例如，在不超出本发明的权利范围的同时，第一构成要素可以命名为第二构成要素，类似地，第二构成要素也可以命名为第一构成要素。
另一方面，只要未不同地定义，包括技术或科学术语在内，在此使用的所有术语具有与本发明所属技术领域的技术人员一般理解的内容相同的意义。诸如一般使用的字典定义的术语，应解释为具有与相关技术的文理上具有的意义一致的意义，只要在本申请中未明确定义，不得过于地或过度地解释为形式上的意义。
图1是用于说明本发明一个实施例的接地夹紧装置的剖面图。图2是显示图1的接地夹紧装置夹紧接地杆并与中空构件接触的状态的剖面图。图3是沿图1的I-I线截断的剖面图。
如果参照图1至图3，本发明一个实施例的接地夹紧装置140包括夹具主体143、弹性连接部145及紧固部149。所述接地夹紧装置140配备于沿第一方向延长的形成有中空的中空构件120(参照图4)的中空内，可以使沿第一方向延长的接地杆130之间电气连接。其中，所述第一方向可以相当于贯通图1的方向。由此，当所述中空构件120电气接地时，所述接地杆130可以通过所述接地夹紧装置140接地。其中，所述接地杆130可以与支撑基板的基板支撑部(图上未示出)电气连接，在形成等离子体时，使基板支撑部接地。
所述夹具主体143具备贯通槽144，以便包围所述接地杆130的外壳部。另外，所述夹具主体143具有导电性，因而可以使所述接地杆130及中空构件120之间电气连接。
当所述接地杆130具有圆柱形状时，所述贯通槽144可以具有与所述接地杆130对应的圆柱形状。由此，所述夹具主体143与所述接地杆130面接触，因而所述夹具主体143可以更坚固地夹紧所述接地杆130。
所述弹性连接部145连接于所述夹具主体143。另外，所述弹性连接部145弹性接触所述中空构件120的内侧面125。由此，所述弹性连接部145可以使所述夹具主体143及所述中空构件120相互电气连接。由此，所述中空构件120可以经由所述弹性连接部145及所述夹具主体143而与所述接地杆130电气连接。结果，所述接地夹紧装置140配备于所述中空构件120的内部并相互电气连接，因而使所述接地杆130电气接地。
所述弹性连接部145可以具有薄板形状。另外，所述弹性连接部145可以具有弧形形状。由此，所述弹性连接部145与所述接地杆130面接触，从而能够增大所述接地杆130的接触面积。
另一方面，当在所述中空构件120的外部具备用于使所述接地杆130接地的另外的接地夹紧装置(图上未示出)时，用于所述接地夹紧装置的紧固空间会不足。如本发明所示，使得接地夹紧装置140可以配备于在中空构件120内部形成的中空内，因而可以改善所述接地杆130及中空构件120的设计自由度。
所述紧固部149使所述弹性连接部145紧固于所述夹具主体143。所述紧固部149例如可以以螺栓紧固方式，使所述弹性连接部145紧固于所述夹具主体143。
本发明一个实施例的夹具主体143可以包括彼此隔开、分离的第一箝位器141及第二箝位器142。所述第一箝位器141及第二箝位器142可以具有约0.3mm左右的隔开距离。
所述第一箝位器141在第一内面具备沿第一方向延长的第一凹处。另外，所述第二箝位器142与所述第一箝位器141隔开地相向配备。所述第二箝位器142具备在与所述第一内面相向的第二内面形成并与所述第一凹处一同形成所述贯通槽144的第二凹处。此时，所述紧固部149可以使具备所述第一箝位器141及第二箝位器142的夹具主体143及弹性连接部145相互紧固。
与在一体型夹具本体形成的贯通槽邻接并具有相对较薄厚度的贯通槽邻接部，可能暴露于等离子体而受到损伤，与此相比，所述夹具主体143以分离成所述第一箝位器141及第二箝位器142的分离型配备，从而可以抑制因暴露于所述等离子体而造成的损伤。
另外，所述第一箝位器141及第二箝位器142彼此相向的边角部位，可以形成得具有圆形形状。由此，可以抑制所述等离子体在所述边角部位的集中现象。
在本发明一个实施例中，所述弹性连接部145可以与所述中空构件120的内侧面125实现面接触，即，可以与定义所述中空的中空区域的内侧面125实现面接触。由此，随着所述弹性连接部145及所述中空构件120的内侧面125之间的接触面积增大，可以改善所述接地夹紧装置140接地特性。例如，所述接触面积相比在所述中空构件120形成的中空的平面面积，可以调节为约2.0至3.2％范围的面积比率。
例如，可以根据所述弹性连接部145沿所述第一方向的长度，调节所述面积比率。不同于此，可以通过调节所述弹性连接部145构成的弧的长度或所述弹性连接部145的弹力而调节所述面积比率。
在本发明一个实施例中，所述弹性连接部145可以包括第一、第二接触部146、147及起弧部148。由此，所述弹性连接部145可以具有U字形状。
所述第一接触部146及第二接触部147接触所述夹具主体143的外面。即，所述第一接触部146接触所述第一箝位器141的外面，相反，所述第二接触部147接触所述第二箝位器142的外面。
所述起弧部148与所述第一接触部146及第二接触部147连接。所述起弧部148可以分别从所述第一接触部146及第二接触部147的端部延长。
所述起弧部148可以与所述中空构件120的内侧面弹性接触并具有弧形形状。由此，所述弹性连接部145可以稳定地与所述中空构件120的内侧面125进行面接触。
其中，所述第一、第二接触部146、147及起弧部148可以一体形成。另外，所述弹性连接部145可以具有0.1至1.0mm范围的厚度。由此，所述弹性连接部145在具有不足0.1mm的厚度时，本身的耐久性恶化，另一方面，当具有超过1.0mm的厚度时，所述弹性连接部145的复原力过高，所述接地夹紧装置140会针对所述接地杆130施加过高的压力。
在本发明一个实施例中，所述夹具主体143在其表面包括防氧化涂层。例如，所述第一箝位器141可以包括主体部141a及在所述主体部141a的表面形成的防氧化涂层141b。由此，可以在所述夹具主体143的表面抑制氧化反应，改善所述夹具主体143的耐久性。即，当所述夹具主体的主体部141a由铍、铜等构成时，所述防氧化涂层141b可以由金、银或他们的合金等构成。
图4是用于说明本发明一个实施例的基板支撑组件的剖面图。
如果参照图4，本发明一个实施例的基板支撑组件100包括基板支撑部110、安装部120、接地杆130及第一接地夹紧装置140。所述基板支撑组件100配置于提供等离子体工序所需的处理区域的工序腔室(图上未示出)内。所述基板支撑组件100可以在其上部支撑基板的状态下，利用在所述处理区域内形成的等离子体，在基板上形成薄膜，或部分地蚀刻所述薄膜而形成薄膜图案。
所述基板支撑部110支撑基板。例如，所述基板支撑部110在其上部具备平坦面，从而可以在所述平坦面上支撑基板。所述基板支撑部110包括为了形成所述等离子体状态而具备接地电极113的支撑板111。
另外，所述支撑板111在其内部具备诸如发热线圈的发热体115。由此，所述基板支撑部110可以调节在其上部配置的基板的温度。
另外，所述基板支撑部110可以还包括支撑所述支撑板111的下部的加热管117。所述加热管117由陶瓷材质构成，因而可以具有耐热性及耐等离子体性。所述加热管117可以具有管形状。
所述安装部120配备得可以安装所述基板支撑部110。另外，所述安装部120可以相当于用于将基板支撑组件100加装于半导体制造装置，例如加装于工序腔室的一部分。
例如，所述安装部120可以与所述加热管117紧固。所述安装部120在其内部沿上下方向形成有中空125。所述安装部120与所述工序腔室连接。由此，所述安装部120与所述工序腔室电气连接，因而当所述工序腔室具有基准电位时，所述安装部120也可以具有基准电位(接地电位)。
所述接地杆130配置于在所述安装部120形成的中空125内部。即，所述接地杆130沿上下方向延长。另外，所述接地杆130与所述接地电极113电气连接。所述接地杆130与所述基板支撑部110，即与接地电极113电气连接。所述接地杆130可以具有圆柱形状。
所述第一接地夹紧装置140在所述中空125内配置。所述第一接地夹紧装置140部分地夹紧所述接地杆130的外周面。另外，所述第一接地夹紧装置140使所述安装部120及所述接地杆130之间电气连接。由此，经由所述第一接地夹紧装置140，所述安装部120及所述接地杆130可以电气接地。
如果参照图1及图4，所述第一接地夹紧装置140包括夹具主体143、弹性连接部145及第一紧固部149。所述第一接地夹紧装置140配备于安装部120的中空125内。所述第一接地夹紧装置140可以使所述接地杆130及安装部120之间电气连接。由此，当所述安装部120电气接地时，所述接地杆130可以通过所述第一接地夹紧装置140而接地。结果，所述接地杆130与电气连接的基板支撑部110，特别是与接地电极113电气连接，当形成等离子体时，基板支撑部110可以接地。
所述夹具主体143具备贯通槽，以便包围所述接地杆130的外壳部。
当所述接地杆130具有圆柱形状时，所述贯通槽可以具有与所述接地杆130对应的圆柱形状。由此，所述夹具主体143与所述接地杆130面接触，因而所述夹具主体143可以更坚固地夹紧所述接地杆130。
所述弹性连接部145连接于所述夹具主体143。另外，所述弹性连接部145弹性接触在所述安装部120形成的中空125的内侧面。由此，所述弹性连接部145可以使所述夹具主体143及所述安装部120彼此电气连接。因此，所述安装部120可以经由所述弹性连接部145及所述夹具主体143而与所述接地杆130电气连接。结果，所述第一接地夹紧装置140配备于所述安装部120的内部并彼此电气连接，因而可以使所述接地杆130电气接地。
所述弹性连接部145可以具有薄板形状。另外，所述弹性连接部145可以具有弧形形状。由此，所述弹性连接部145与所述接地杆130面接触，从而能够增大所述接地杆130的接触面积。
另一方面，当在所述安装部120的中空之外的外部具备用于使所述接地杆130接地的另外的接地夹紧装置(图上未示出)时，用于所述接地夹紧装置的紧固空间会不足。如本发明所示，使得第一接地夹紧装置140可以配备于在安装部120内部形成的中空125内，因而可以改善所述接地杆130及安装部120的设计自由度。
所述第一紧固部149使所述弹性连接部145紧固于所述夹具主体143。所述第一紧固部149例如可以以螺栓紧固方式，使所述弹性连接部145紧固于所述夹具主体143。
本发明一个实施例的夹具主体143可以包括彼此隔开、分离的第一箝位器141及第二箝位器142。所述第一箝位器141及第二箝位器142可以具有约0.3mm左右的隔开距离。
所述第一箝位器141在第一内面具备沿第一方向延长的第一凹处。所述第一凹处在朝向所述第二箝位器的所述第一内面上形成。所述第一凹处可以具有与所述接地杆130外周面形状部分地对应的形状。例如，当所述接地杆130具有圆柱形状时，所述第一凹处可以具有半圆柱形状。由此，所述第一凹处可以部分地包围所述接地杆130。
另外，所述第二箝位器142与所述第一箝位器141隔开地相向配备。所述第二箝位器142具备在与所述第一内面相向的第二内面形成的第二凹处。所述第二凹处与所述第一凹处一同形成所述贯通槽。由此，所述接地杆130可以在所述贯通槽贯通。
此时，所述第一紧固部149可以相互紧固所述第一、第二箝位器141、142及弹性连接部145。
由此，所述夹具主体143以分离为所述第一箝位器141及第二箝位器142的分离型配备，从而可以抑制与在一体型夹具本体形成的贯通槽邻接并具备相对较薄厚度的部位暴露于等离子体而损伤。
另外，所述第一箝位器141及第二箝位器142彼此相向的边角部位可以形成得具有圆形形状。由此，可以抑制所述等离子体在所述边角部位的集中现象。
在本发明一个实施例中，所述弹性连接部145可以与所述安装部120的内侧面，即与定义所述中空125的中空区域的内侧面实现面接触。由此，所述弹性连接部145及所述安装部120的内侧面之间的接触面积增大，因而可以改善所述第一接地夹紧装置140的接地特性。例如，所述接触面积相比在所述安装部120形成的中空125的平面面积，可以调节为约2.0至3.2％范围的面积比率。
例如，所述面积比率可以根据所述弹性连接部145沿所述第一方向的长度而调节。不同于此，可以通过调节所述弹性连接部145构成的弧的长度或所述弹性连接部145的弹力而调节所述面积比率。
在本发明一个实施例中，所述弹性连接部145可以包括第一、第二接触部146、147及起弧部148。由此，所述弹性连接部145可以具有U字形状。
所述第一接触部146及第二接触部147接触所述夹具主体143的外面，例如接触第一箝位器141及第二箝位器142的外面。所述起弧部148可以与所述第一接触部146及第二接触部147连接，与所述安装部120的内侧面弹性接触而具有弧形形状。由此，所述弹性连接部145可以与所述安装部120的内侧面稳定地实现面接触。
其中，所述第一、第二接触部146、147及起弧部148可以一体形成。另外，所述弹性连接部145可以具有0.1至1.0mm范围的厚度。由此，所述弹性连接部145在具有不足0.1mm的厚度时，本身的耐久性恶化，另一方面，当具有超过1.0mm的厚度时，所述弹性连接部145的复原力过高，所述接地夹紧装置140会针对所述接地杆130施加过高的压力。
图5是用于说明图4所示的第二接地夹紧装置的剖面图。图6是显示图4所示的第一接地夹紧装置及第二接地夹紧装置相互连接的状态的图。
如果参照图5及图6，所述基板支撑组件100可以还包括第二接地夹紧装置180及夹具连接部190。
所述第二接地夹紧装置180配置于所述加热管117内。所述第二接地夹紧装置180可以部分地夹紧所述接地杆130的外周面。
所述夹具连接部190使所述第一接地夹紧装置140及第二接地夹紧装置180相互电气连接。所述夹具连接部190可以具有板形状。所述接地杆130利用第一接地夹紧装置140及第二接地夹紧装置180，在多个位置夹紧。因此，可以改善所述接地杆的强度。
另外，所述夹具连接部190将所述第一接地夹紧装置140及第二接地夹紧装置180相互电气连接。因此，在接地杆130上，在多个位置形成有接地节点(nodes)。结果，接地杆130可以更稳定地接地。
如果参照图5，所述第二接地夹紧装置180可以包括第二夹具主体183、楔子构件185及第二紧固部189。
在所述夹具主体183具备倾斜的内壁，所述内壁构成倾斜的贯通槽，以便包围所述接地杆130的外壳部。所述楔子构件185在所述倾斜的贯通槽内，介于所述接地杆130之间，使所述第二夹具主体183固定于所述接地杆130之间。
另外，所述第二紧固构件189使所述楔子构件185紧固于所述第二夹具主体183。所述第二紧固构件189例如可以为螺栓。
所述第二接地夹紧装置180在加热管117内部紧固于所述接地杆130。因此，所述第二接地夹紧装置180在加热管117内沿上下方向移动的同时紧固于所述接地杆130。因此，当所述紧固构件189及所述楔子构件185沿相互垂直方向紧固时，所述楔子构件185进入所述接地杆130的外壁及所述夹具主体183的倾斜的内壁之间而进行面接触。因此，紧固构件189沿上下方向紧固于所述楔子构件185，对所述楔子构件185加压，因而所述第二接地夹紧装置180可以更坚固地固定所述接地杆130。
如果再次参照图4，基板支撑组件100可以还包括第三接地夹紧装置160。所述第三接地夹紧装置160可以配备得夹紧所述接地杆130的下端部。另外，所述第三接地夹紧装置160可以在所述安装部120的外廓与所述安装部120电气连接。
以往，利用13.56MHz频率的电源的等离子体装置，具有只存在第三接地夹紧装置160的结构，因而为了在原有等离子体装置中加装第三接地夹紧装置160，存在空间受限的问题。相反，在本发明实施例中，第一接地夹紧装置140位于在安装部120内形成的中空内，因而可以解决所述空间制约的问题。另外，随着等离子体装置的电源频率的升高，当追加要求第三接地夹紧装置160时，可以选择性地配备第三接地夹紧装置160，以便在所述安装部120的外廓夹紧所述接地杆130的下端部。
产业上的可利用性
本发明一个实施例的接地夹紧装置可以应用于利用等离子体的蚀刻装置或利用等离子体的沉积装置等。另外，基板支撑组件可以应用于利用等离子体在基板上形成薄膜或部分地蚀刻所述薄膜而实现图案化的等离子体处理装置。
在前面说明的本发明的详细说明中，参照本发明的优选实施例进行了说明，但相应技术领域的熟练从业人员或相应技术领域的普通技术人员能够理解，可以在不超出后述权利要求书记载的本发明思想及技术领域的范围内，多样地修改及变更本发明。

Claims (16)

1.一种接地夹紧装置，所述接地夹紧装置使形成有中空的中空构件及加装在所述中空内的接地杆接地，其中，包括：
夹具主体，其具备贯通槽，以便包围所述接地杆的外壳部，并且包括第一箝位器及第二箝位器，所述第一箝位器与所述第二箝位器彼此隔开、分离地相向配备；
弹性连接部，其在所述中空内部弹性接触所述中空构件的内侧，连接于所述夹具主体，且包括接触于所述第一箝位器的外面的第一接触部和接触于所述第二箝位器的外面的第二接触部；及
紧固部，其使所述弹性连接部紧固于所述夹具主体。
2.根据权利要求1所述的接地夹紧装置，其中，
所述第一箝位器在第一内面具备向第一方向延长的第一凹处，
所述第二箝位器具备在与所述第一内面相向的第二内面形成并与所述第一凹处一同形成所述贯通槽的第二凹处。
3.根据权利要求2所述的接地夹紧装置，其中，
在所述第一箝位器及第二箝位器各自相互相向的边角部形成有倒角。
4.根据权利要求1所述的接地夹紧装置，其中，
所述夹具主体包括在其表面形成的防氧化涂层。
5.根据权利要求1所述的接地夹紧装置，其中，
所述中空以圆柱形状形成，所述弹性连接部与所述中空构件的内侧面实现面接触。
6.根据权利要求1所述的接地夹紧装置，其中，
在所述弹性连接部及所述中空构件之间进行面接触的接触面积，按所述中空的平面面积为基准，具有2.0至3.2％范围。
7.根据权利要求1所述的接地夹紧装置，其中，
所述弹性连接部具有U字形状。
8.根据权利要求1所述的接地夹紧装置，其中，
所述弹性连接部还包括：起弧部，其与所述第一接触部及第二接触部连接，弹性接触所述中空构件，具有弧形形状。
9.根据权利要求8所述的接地夹紧装置，其中，
所述第一接触部、第二接触部及起弧部一体形成。
10.根据权利要求9所述的接地夹紧装置，其中，
所述弹性连接部具有0.1至1.0mm范围的厚度。
11.一种基板支撑组件，其中，包括：
基板支撑部，其支撑基板，具备用于形成等离子体的接地电极；
安装部，其配备用于安装所述基板支撑部，在其内部沿上下方向形成有中空；
接地杆，其与所述接地电极电气连接，配置于所述中空内部；及
第一接地夹紧装置，其位于在所述安装部形成的所述中空内，部分地夹紧所述接地杆的外周面，使所述安装部及所述接地杆之间电气连接，使所述接地杆电气接地；
所述第一接地夹紧装置包括：夹具主体，其具备贯通槽，以便包围所述接地杆的外壳部，并且包括第一箝位器及第二箝位器，所述第一箝位器与所述第二箝位器彼此隔开、分离地相向配备；
弹性连接部，其弹性接触所述安装部的内侧，与所述夹具主体连接，且包括接触于所述第一箝位器的外面的第一接触部和接触于所述第二箝位器的外面的第二接触部；及
第一紧固部，其使所述弹性连接部紧固于所述夹具主体。
12.根据权利要求11所述的基板支撑组件，其中，
所述第一箝位器在第一内面具备向第一方向延长的第一凹处，
所述第二箝位器具备在与所述第一内面相向的第二内面形成并与所述第一凹处一同形成所述贯通槽的第二凹处。
13.根据权利要求11所述的基板支撑组件，其中，
所述弹性连接部与定义所述中空的所述安装部的内侧面实现面接触。
14.根据权利要求11所述的基板支撑组件，其中，
所述弹性连接部还包括：起弧部，其与所述第一接触部及第二接触部连接，与所述安装部弹性接触，具有弧形形状。
15.根据权利要求11所述的基板支撑组件，其中，
所述基板支撑部包括：支撑板，其在内部形成有加热器，与基板接触；及
加热管，其支撑所述支撑板的下部，配备得部分地包围所述接地杆；
在所述加热管内还包括：第二接地夹紧装置，其部分地夹紧所述接地杆的外周面，与所述第一接地夹紧装置电气连接；及
夹具连接部，其使所述第一接地夹紧装置及第二接地夹紧装置相互电气连接。
16.根据权利要求15所述的基板支撑组件，其中，
所述第二接地夹紧装置包括：第二夹具主体，其具备倾斜的贯通槽，以便包围所述接地杆外壳部；
楔子构件，其在所述倾斜的贯通槽内介于所述接地杆之间，使所述第二夹具主体固定于所述接地杆之间；及
第二紧固部，其使所述楔子构件紧固于所述第二夹具主体。
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