KR102559456B1 - 기판 지지 어셈블리 - Google Patents

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Abstract

기판 지지 어셈블리는 기판을 지지하며, 플라즈마 형성을 위한 접지 전극을 구비하는 기판 지지부, 상기 기판 지지부를 마운팅하도록 구비되며 그 내부에 상하 방향으로 중공이 형성된 마운팅부, 상기 접지 전극과 전기적으로 연결되며, 상기 중공 내부에 배치된 접지 로드 및 상기 마운팅부에 형성된 상기 중공 내에서 위치하며, 상기 접지 로드의 외주면을 부분적으로 클램핑하며, 상기 마운팅부 및 상기 접지 로드 사이를 전기적으로 연결시켜 상기 접지 로드를 전기적으로 접지시키는 제1 접지 클랭핑 유닛을 포함한다. 이로써, 접지 로드의 안정적인 접지가 확보될 수 있다.

Description

기판 지지 어셈블리{ASSEMBLY FOR SUPPORTING A SUBSTRATE}
본 발명은 기판 지지 어셈블리에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 본 발명은 플라즈마를 이용하는 플라즈마 반응 챔버 내에 구비되어 기판을 지지하는 기판 지지 어셈블리에 관한 것이다.
전자 회로 및 디스플레이 제조에 있어서, 반도체, 유전체, 및 전기 전도성 재료를 이용한 박막이 기판 상에 형성된다. 이러한 박막을 형성하는 박막 형성 공정은 화학기상증착(CVD), 물리기상증착(PVD), 이온 주입, 산화 및 질화 프로세스에 의해 형성될 수 있다. 이후, 상기 박막을 플라즈마에 노출시켜 상기 박막을 패터닝하는 패터닝 공정이 수행된다.
상기 박막 증착 공정 또는 패터닝 공정에서, 상기 기판을 기판 프로세싱 챔버내의 플라즈마에 노출시켜 기판 상에 박막을 형성하거나, 기판상에 혀성된 박막을 에칭하는 플라즈마 처리 장치가 이용된다.
상기 플라즈마는 프로세스 가스를 통해 마이크로웨이브를 통과시킴으로써 또는 프로세스 가스에 에너지를 유도적으로 또는 용량적으로 커플링(inductively or capacitively coupling)함으로써 형성될 수 있다.
상기 플라즈마 처리 장치는 공정 챔버, 상기 공정 챔버 내부에 배치되며 상기 기판을 가열하면서 지지하며, 접지 단자를 갖는 히팅 지지부, 상기 접지 단자와 연결되며 그 하부로 연장된 접지 로드, 상기 히팅 지지부를 상기 공정 챔버에 마운팅하는 마운팅 부재 및 상기 접지 로드 및 마운팅 부재를 상호 연결시키는 접비 클램핑 유닛을 포함한다.
상기 공정 챔버 내부에 플라즈마 상태가 형성된다. 이때, 상기 히팅 지지부는, 상기 접지 로드, 접지 클램핑 유닛 및 접지 상태의 공정 챔버에 연결된 마운팅 부재를 통하여 전기적인 접지 상태를 유지할 수 있다.
특히, 상기 박막 형성 공정의 효율을 증대시키기 위하여, 기존으 13.56 MHz 대신에 27.2 MHz 주파수를 갖는 파워가 사용됨에 따라 플라즈마의 밀도를 증대시키는 공정이 최근에 수행되고 있다. 이로써, 상기 접지 클램핑 유닛에 아킹 현상이 발생하여 상기 클램핑 유닛의 파손이 발생하는 문제가 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 아킹 현상에 따른 파손을 억제할 수 있는 접지 클래핑 유닛을 구비한 기판 지지 어셈블리를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 어셈블리는 기판을 지지하며, 플라즈마 형성을 위한 접지 전극을 구비하는 기판 지지부, 상기 기판 지지부를 마운팅하도록 구비되며 그 내부에 상하 방향으로 중공이 형성된 마운팅부, 상기 접지 전극과 전기적으로 연결되며, 상기 중공 내부에 배치된 접지 로드 및 상기 마운팅부에 형성된 상기 중공 내에서 위치하며,서 상기 접지 로드의 외주면을 부분적으로 클램핑하며, 상기 마운팅부 및 상기 접지 로드 사이를 전기적으로 연결시켜 상기 접지 로드를 전기적으로 접지시키는 제1 접지 클랭핑 유닛을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 접지 클램핑 유닛은, 상기 접지 로드의 외각부를 감싸도록 관통홈이 구비된 클램핑 몸체, 상기 마운팅부의 내측에 탄성적으로 접촉하며, 상기 클램핑 몸체와 연결된 탄성 연결부 및 상기 클램핑 몸체에 상기 탄성 연결부를 체결시키는 제1 체결부를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 클램핑 몸체는, 제1 내면에 제1 방향으로 연장된 제1 리세스를 구비하는 제1 클램퍼 및 상기 제1 클램퍼와 이격되어 마주보도록 구비되며, 상기 제1 내면과 마주보는 제2 내면에 형성되어 상기 제1 리세스와 함께 상기 관통홈을 형성하는 제2 리세스를 구비하는 제2 클램퍼를 포함할 수 있다.
또한, 상기 탄성 연결부는 상기 중공을 정의하는 상기 마운팅부의 내측면에 면접촉할 수 있다.
여기서, 상기 탄성 연결부는 상기 클램핑 몸체의 외면에 컨택하는 제1 및 제2 컨택부들 및 상기 제1 및 제2 컨택부들과 연결되며 상기 마운팅부와 탄성적으로 컨택하며 아크 형상을 갖는 아킹부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판 지지부는, 내부에 히터가 형성되며 기판과 컨택하는 지지 플레이트 및 상기 지지 플레이트의 하부를 지지하며 상기 접지 로드를 부분적으로 둘러싸도록 구비된 히터 튜브를 포함하고,
기판 지지 어셈블리는 상기 히터 튜브 내에 상기 접지 로드의 외주면을 부분적으로 클램핑하며, 상기 제1 접지 클램핑 유닛과 전기적으로 연결된 제2 접지 클램핑 유닛 및 상기 제1 및 제2 접지 클램핑 유닛들을 상호 전기적으로 연결시키는 클램핑 연결부를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제2 접지 클램핑 유닛은, 상기 접지 로드의 외각부를 감싸도록 경사진 관통홈이 구비된 제2 클램핑 몸체, 상기 경사진 관통홈 내면과 상기 접지 로드 사이에 개재되어 상기 제2 클램핑 몸체를 상기 접지 로드 사이에 고정시키는 쇄기 부재 및 상기 쇄기 부재를 상기 제2 클램핑 몸체에 체결시키는 제2 체결부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 기판 지지 어셈블리는 마운팅부에 면접촉하면서 접지 로드를 클램핑하는 제1 접지 클램핑 유닛을 포함함으로써, 접지 로드를 안정적으로 접지할 수 있다.
또한, 접지 로드가 제1 및 제2 접지 클램핑 유닛들(140, 180)을 이용하여 복수의 위치에서 클램핑되어, 상기 접지 로드의 강도가 개선된다. 동시에 복수의 위치에서 접지 노드들(nodes)이 형성된다. 결과적으로, 접지 로드가 보다 안정적으로 접지될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 어셈블리를 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제1 접지 클램핑 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제1 접지 클램핑 유닛이 마운팅부에 접촉하는 상태를 도시한 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 제2 접지 클램핑 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 제1 및 제2 접지 클램핑 유닛들이 상호 연결된 상태를 나타내는 도면이다.
첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 어셈블리에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 이해하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다.
또한, 제1 및 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 어셈블리를 설명하기 위한 단면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 제1 접지 클램핑 유닛을 설명하기 위한 단면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 제1 접지 클램핑 유닛이 마운팅부에 접촉하는 상태를 도시한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 어셈블리(100)는 기판 지지부(110), 마운팅부(120), 접지 로드(130) 및 제1 접지 클램핑 유닛(140)을 포함한다. 상기 기판 지지 어셈블리(100)는 플라즈마 공정을 위한 처리 영역을 제공하는 공정 챔버(미도시) 내에 배치된다. 상기 기판 지지 어셈블리(100)는 그 상부에 기판을 지지한 상태에서, 상기 처리 영역 내에 형성된 플라즈마를 이용하여 기판에 박막을 형성하거나, 상기 박막을 부분적으로 식각하여 박막 패턴을 형성할 수 있다.
상기 기판 지지부(110)는 기판을 지지한다. 예를 들면, 상기 기판 지지부(110)는 그 상부에 평탄면을 구비함으로써 상기 평탄면 상에 기판을 지지할 수 있다. 상기 기판 지지부(110)는 상기 플라즈마 상태를 형성하기 위하여 접지 전극(113)을 구비하는 지지 플레이트(111)를 포함한다.
또한, 상기 지지 플레이트(111)는 그 내부에 발열 코일과 같은 발열체(115)를 구비한다. 이로써, 상기 기판 지지부(110)는 그 상부에 배치된 기판의 온도를 조절할 수 있다.
또한, 상기 기판 지지부(110)는 상기 지지 플레이트(111)의 하부를 지지하는 히터 튜브(117)를 더 포함할 수 있다. 상기 히터 튜브(117)는 세라믹 재질로 이루어짐에 따라 내열성 및 내플즈마성을 가질 수 있다. 상기 히터 튜브(117)는 튜브 형상을 가질 수 있다.
상기 마운팅부(120)는 상기 기판 지지부(110)를 마운팅할 수 있도록 구비된다. 또한, 상기 마운팅부(120)는, 반도체 제조 장치 예를 들면, 공정 챔버에 기판 지지 어셈블리(100)를 장착하기 위한 일 부분에 해당할 수 있다.
예를 들면, 상기 마운팅부(120)는 상기 히터 튜브(117)와 체결될 수 있다. 상기 마운팅부(120)는 그 내부에 상하 방향으로 중공(125)이 형성된다. 상기 마운팅부(120)는 상기 공정 챔버와 연결된다. 이로써, 상기 마운팅부(120)가 상기 공정 챔버와 전기적으로 연결됨에 따라 상기 공정 챔버가 기준 전위를 가질 경우, 상기 마운팅부(120) 또는 기준 전위(접지 전위)를 가질 수 있다.
상기 접지 로드(130)는 상기 마운팅부(120)에 형성된 중공(125) 내부에 배치된다. 즉, 상기 접지 로드(130)는 상하 방향으로 연장된다. 또한, 상기 접지 로드(130)는 상기 접지 전극(113)과 전기적으로 연결된다. 상기 접지 로드(130)는 상기 기판 지지부(110), 즉 접지 전극(113)과 전기적으로 연결된다. 상기 접지 로드(130)는 원기둥 형상을 가질 수 있다.
상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)은 상기 중공(125) 내에 배치된다. 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)은 상기 접지 로드(130)의 외주면을 부분적으로 클램핑한다. 또한, 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)은 상기 마운팅부(120) 및 상기 접지 로드(130) 사이를 전기적으로 연결시킨다. 이로써, 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)을 경유하여 상기 마운팅부(120) 및 상기 접지 로드(130)가 전기적으로 접지될 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)은 클램핑 몸체(143), 탄성 연결부(145) 및 제1 체결부(149)를 포함한다. 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)은 마운팅부(120)의 중공(125) 내에 구비된다. 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)은 상기 접지 로드(130) 및 마운팅부(120) 사이를 전기적으로 연결시킬 수 있다. 이로써, 상기 마운팅부(120)가 전기적으로 접지될 경우, 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)을 통하여 상기 접지 로드(130)가 접지될 수 있다. 결과적으로, 상기 접지 로드(130)가 전기적으로 연결된 기판 지지부(110), 특히 접지 전극(113)과 전기적으로 연결되어, 플라즈마 형성시 기판 지지부(110)가 접지될 수 있다.
상기 클램핑 몸체(143)는 상기 접지 로드(130)의 외각부를 감싸도록 관통홈이 구비된다.
상기 접지 로드(130)가 원기둥 형상을 가질 경우, 상기 관통홈은 상기 접지 로드(130)에 대응되는 원기둥 형상을 가질 수 있다. 이로써, 상기 클램핑 몸체(143)는 상기 접지 로드(130)를 면접촉함에 따라, 상기 클램핑 몸체(143)는 상기 접지 로드(130)를 보다 견고하게 클램핑할 수 있다.
상기 탄성 연결부(145)는 상기 클램핑 몸체(143)에 연결된다. 또한, 상기 탄성 연결부(145)는 상기 마운팅부(120)에 형성된 중공(125)의 내측면에 탄성적으로 접촉한다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145)가 상기 클램핑 몸체(143) 및 상기 마운팅부(120)를 상호 전기적으로 연결시킬 수 있다. 따라서, 상기 마운팅부(120)가 상기 탄성 연결부(145) 및 상기 클램핑 몸체(143)를 경유하여 상기 접지 로드(130)와 전기적으로 연결될 수 있다. 결과적으로 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)이 상기 마운팅부(120)의 내부에 구비되고 상호 전기적으로 연결됨으로, 상기 접지 로드(130)를 전기적으로 접지시킬 수 있다.
상기 탄성 연결부(145)는 박판 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 탄성 연결부(145)는 아크 형상을 가질 수 있다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145)는 상기 마운팅부(120)의 내면에 면접촉 함으로써, 상기 마운팅부(120)와의 접촉 면적을 증대시킬 수 있다.
한편, 상기 마운팅부(120)의 중공 이외의 위부에 상기 접지 로드(130)를 접지시키기 위한 별도의 접지 클램핑 유닛(미도시)이 구비될 경우, 상기 접지 클램핑 유닛을 위한 체결 공간이 부족할 수 있다. 본 발명과 같이 마운팅부(120)의 내부에 형성된 중공(125) 내에 제1 접지 클램핑 유닛(140)이 구비될 수 있도록 함에 따라 상기 접지 로드(130) 및 마운팅부(120)의 설계 자유도가 개선될 수 있다.
상기 제1 체결부(149)는 상기 탄성 연결부(145)를 상기 클램핑 몸체(143)에 체결시킨다. 상기 제1 체결부(149)는 예를 들면, 볼트 체결 방식으로 상기 탄성 연결부(145)를 상기 클램핑 몸체(143)에 체결시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 클램핑 몸체(143)는, 상호 이격되어 분리된 제1 클램퍼(141) 및 제2 클램퍼(142)를 포함할 수 있다. 상기 제1 클램퍼(141) 및 제2 클램퍼(142)는 약 0.3 mm 정도로 이격거리를 가질 수 있다.
상기 제1 클램퍼(141)는 제1 내면에 제1 방향으로 연장된 제1 리세스를 구비한다. 상기 제1 리세스는, 상기 제2 클램퍼를 향하는 상기 제1 내면 상에 형성된다. 상기 제1 리세스는 상기 접지 로드(130)의 외주면의 형상에 부분적으로 대응되는 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 접지 로드(130)가 원기둥 형상을 가질 경우, 상기 제1 리세스는 반원 기둥 형상을 가질 수 있다. 이로써, 상기 제1 리세스는 상기 접지 로드(130)을 부분적을 둘러쌀 수 있다.
또한, 상기 제2 클램퍼(142)는 상기 제1 클램퍼(141)와 이격되어 마주보도록 구비된다. 상기 제2 클램퍼(142)는 상기 제1 내면과 마주보는 제2 내면에 형성된 제2 리세스를 구비한다. 상기 제2 리세스는 상기 제1 리세스와 함께 상기 관통홈을 형성한다. 이로써, 상기 관통홈에는 상기 접지 로드(130)가 관통할 수 있다.
이때, 상기 제1 체결부(149)는 상기 제1 및 제2 클램퍼들(141, 142) 및 탄성 연결부(145)를 상호 체결할 수 있다.
이로써, 상기 클램핑 몸체(143)가 상기 제1 및 제2 클램퍼들(141, 142)로 분리된 분리형으로 구비됨으로써, 일체형의 클램핑 본체에 형성된 관통홈에 인접하여 상대적으로 얇은 두께를 갖는 부위가 플라즈마에 노출되어 손상되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 상기 제1 및 제2 클램퍼들(141, 142)이 상호 마주보는 모서리 부위가 라운드 형상을 갖도록 형성될 수 있다. 이로써, 상기 플라즈마가 상기 모서리 부위에 플라즈마의 집중 현상을 억제할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 탄성 연결부(145)는 상기 마운팅부(120)의 내측면, 즉 상기 중공(125)을 정의하는 중공 영역의 내측면과 면접촉할 수 있다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145) 및 상기 마운팅부(120)의 내측면 사이의 접촉 면적이 증대됨에 따라 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)이 접지 특성이 개선될 수 있다. 예를 들면, 상기 접촉 면적은 상기 마운팅부(120)에 형성된 중공(125)의 평면적 대비 약 2.0 내지 3.2 % 범위의 면적 비율로 조절될 수 있다.
예를 들면, 상기 탄성 연결부(145)의 상기 제1 방향에 따른 길이에 따라 상기 면적 비율은 조절될 수 있다. 이와 다르게, 상기 탄성 연결부(145)가 이루는 호의 길이 또는 상기 탄성 연결부(145)의 탄성력을 조절함에 따라 상기 면적 비율이 조절될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 탄성 연결부(145)는 제1 및 제2 컨택부들(146, 147) 및 아킹부(148)를 포함할 수 있다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145)는 U자 형상을 가질 수 있다.
상기 제1 및 제2 컨택부들(146, 147)은 상기 클램핑 몸체(143)의 외면, 예를 들면, 제1 및 제2 클램퍼(141, 142)의 외면에 컨택한다. 상기 아킹부(148)는 상기 제1 및 제2 컨택부들(146, 147)과 연결되며, 상기 마운팅부(120)의 내측면와 탄성적으로 컨택하며 아크 형상을 가질 수 있다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145)가 상기 마운팅부(120)의 내측면과 안정적으로 면접촉할 수 있다.
여기서, 상기 제1 및 제2 컨택부들(146, 147) 및 아킹부(148)는 일체로 형성될 수 있다. 또한, 상기 탄성 연결부(145)는 0.1 내지 1.0mm 범위의 두께를 가질 수 있다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145)는 0.1 mm 미만의 두께를 가질 경우, 자체의 내구성이 악화되는 한편, 1.0 mm 초과하는 두께를 가질 경우, 상기 탄성 연결부(145)의 복원력이 지나치게 높아 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)이 상기 접지 로드(130)에 대하여 지나치게 높은 압력을 가할 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 제2 접지 클램핑 유닛을 설명하기 위한 단면도이다. 도 5는 도 1에 도시된 제1 및 제2 접지 클램핑 유닛들이 상호 연결된 상태를 나타내는 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 기판 지지 어셈블리(100)는 제2 접지 클램핑 유닛(180) 및 클램핑 연결부(190)를 더 포함할 수 있다.
상기 제2 접지 클램핑 유닛(180)은 상기 히터 튜브(117) 내에 배치된다. 상기 제2 접지 클램핑 유닛(180)은 상기 접지 로드(130)의 외주면을 부분적으로 클램핑할 수 있다.
상기 클램핑 연결부(190)는 상기 제1 및 제2 접지 클램핑 유닛들(140, 180)을 상호 전기적으로 연결시킨다. 상기 클램핑 연결부(190)는 플레이트 형상을 가질 수 있다. 상기 접지 로드(130)는 제1 및 제2 접지 클램핑 유닛들(140, 180)을 이용하여 복수의 위치에서 클램핑된다. 따라서, 상기 접지 로드의 강도가 개선될 수 있다.
또한, 상기 클램핑 연결부(190)가 상기 제1 및 제2 접지 클램핑 유닛들(140, 180)을 상호 전기적으로 연결된다. 따라서, 접지 로드(130)에는, 복수의 위치에서 접지 노드들(nodes)이 형성된다. 결과적으로, 접지 로드(130)가 보다 안정적으로 접지될 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 제2 접지 클램핑 유닛(180)은, 제2 클램핑 몸체(183), 쇄기 부재(185) 및 제2 체결부(189)를 포함할 수 있다.
상기 클램핑 몸체(183)에는 상기 접지 로드(130)의 외각부를 감싸도록 경사진 관통홈을 이루는 경사진 내벽이 구비된다. 상기 쇄기 부재(185)는 상기 경사진 관통홈 내에 상기 접지 로드(130) 사이에 개재되어 상기 제2 클램프 몸체(183)를 상기 접지 로드(130) 사이에 고정시킨다.
또한, 상기 제2 체결 부재(189)는 상기 쇄기 부재(185)를 상기 제2 클램핑 몸체(183)에 체결시킨다. 상기 제2 체결 부재(189)의 예로는 볼트를 들 수 있다.
상기 제2 접지 클램핑 유닛(180)은 히트 튜브(117) 내부에서 상기 접지 로드(130)에 체결된다. 따라서, 상기 제2 접지 클램핑 유닛(180)은 히트 뷰브(117) 내에 상하 방향으로 이동하면서 상기 접지 로드(130)에 체결된다. 따라서, 상기 체결 부재(189) 및 상기 쇄기 부재(185)가 상호 수직 방향으로 체결될 때, 상기 쇄기 부재(185)가 상기 접지 로드(130)의 외벽 및 상기 클램핑 몸체(183)의 경사진 내벽 사이로 인입되어 면접촉하게 된다. 따라서, 체결 부재(189)가 상하 방향으로 상기 쇄기 부재(185)에 체결되어 상기 쇄기 부재(185)를 가압함에 따라 상기 제2 접지 클램핑 유닛(180)이 상기 접지 로드(130)를 보다 견고하게 고정할 수 있다
다시 도1을 참조하면, 기판 지지 어셈블리(100)는 제3 접지 클램핑 유닛(160)을 더 포함할 수 있다. 상기 제3 접지 클램핑 유닛(160)은 상기 접지 로드(130)의 하단부를 클램핑하도록 구비될 수 있다. 또한, 상기 제3 접지 클램핑 유닛(160)은 상기 마운팅부(120)의 외곽에서 상기 마운팅부(120)와 전기적으로 연결될 수 있다.
기존에는 13.56MHz 의 주파수의 전원을 이용하는 플라즈마 장치는 제3 접지 클램핑 유닛(160)만 존재하는 구조를 가짐에 따라, 기존 플라즈마 장치에 제3 접지 클램핑 유닛(160)을 장착하기 위하여 공간이 한정되는 문제가 있었다. 반면에, 본 발명의 실시예들에 있어서, 제1 접지 클램핑 유닛(140)이 마운팅부(120) 내에 형성된 중공 내에 위치함에 따라, 상기 공간 제약의 문제가 해결될 수 있다. 또한, 플라즈마 장치의 전원 주파수가 높아짐에 따라 제3 접지 클램핑 유닛(160)이 추가적으로 요구될 경우, 제3 접지 클램핑 유닛(160)이 상기 마운팅부(120)의 외곽에서 상기 접지 로드(130)의 하단부를 클램핑하도록 선택적으로 구비될 수 있다.
이와 같은 기판 지지 어셈블리는 플라즈마를 이용하여 기판 상에 박막을 형성하거나, 상기 박막을 부분적으로 식각하여 패터닝하는 플라즈마 처리 장치에 적용될 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 기판 지지 어셈블리 110 : 기판 지지부
120 : 마운팅부 130 : 접지 로드
140 : 제1 접지 클램핑 유닛 160 : 제3 접지 클램핑 유닛
180 : 제2 접지 클램핑 유닛 190 : 클램핑 연결부

Claims (7)

  1. 기판을 지지하며, 플라즈마 형성을 위한 접지 전극을 구비하는 기판 지지부;
    상기 기판 지지부를 마운팅하도록 구비되며 그 내부에 상하 방향으로 중공이 형성된 마운팅부;
    상기 접지 전극과 전기적으로 연결되며, 상기 중공 내부에 배치된 접지 로드; 및
    상기 마운팅부에 형성된 상기 중공 내에서 위치하며, 상기 접지 로드의 외주면을 부분적으로 클램핑하며, 상기 마운팅부 및 상기 접지 로드 사이를 전기적으로 연결시켜 상기 접지 로드를 전기적으로 접지시키는 제1 접지 클램핑 유닛을 포함하고,
    상기 제1 접지 클램핑 유닛은,
    상기 접지 로드의 외각부를 감싸도록 관통홈이 구비된 클램핑 몸체; 및
    상기 중공의 내부에, 일 측은 상기 마운팅부의 내측면에 면접촉하며, 타 측은 상기 클램핑 몸체의 양 측부들을 가압하여 상기 클램핑 몸체를 상기 접지 로드와 연결시킬 수 있도록 구비된 탄성 연결부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 접지 클램핑 유닛은,
    상기 클램핑 몸체에 상기 탄성 연결부를 체결시키는 제1 체결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 어셈블리.
  3. 제1항에 있어서, 상기 클램핑 몸체는,
    제1 내면에 제1 방향으로 연장된 제1 리세스를 구비하는 제1 클램퍼; 및
    상기 제1 클램퍼와 이격되어 마주보도록 구비되며, 상기 제1 내면과 마주보는 제2 내면에 형성되어 상기 제1 리세스와 함께 상기 관통홈을 형성하는 제2 리세스를 구비하는 제2 클램퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 어셈블리.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 탄성 연결부는 상기 클램핑 몸체의 외면에 컨택하는 제1 및 제2 컨택부들 및 상기 제1 및 제2 컨택부들과 연결되며 상기 마운팅부와 탄성적으로 컨택하며 아크 형상을 갖는 아킹부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 어셈블리.
  6. 제1항에 있어서, 상기 기판 지지부는, 내부에 히터가 형성되며 기판과 컨택하는 지지 플레이트 및 상기 지지 플레이트의 하부를 지지하며 상기 접지 로드를 부분적으로 둘러싸도록 구비된 히터 튜브를 포함하고
    상기 히터 튜브 내에 상기 접지 로드의 외주면을 부분적으로 클램핑하며, 상기 제1 접지 클램핑 유닛과 전기적으로 연결된 제2 접지 클램핑 유닛; 및
    상기 제1 및 제2 접지 클램핑 유닛들을 상호 전기적으로 연결시키는 클램핑 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 어셈블리.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2 접지 클램핑 유닛은,
    상기 접지 로드의 외각부를 감싸도록 경사진 관통홈이 구비된 제2 클램핑 몸체;
    상기 경사진 관통홈 내면과 상기 접지 로드 사이에 개재되어 상기 제2 클램핑 몸체를 상기 접지 로드 사이에 고정시키는 쇄기 부재 ; 및
    상기 쇄기 부재를 상기 제2 클램핑 몸체에 체결시키는 제2 체결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 어셈블리.
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