KR20080045606A

KR20080045606A - 패널의 제조 방법 및 제조 장치

Info

Publication number: KR20080045606A
Application number: KR1020070093570A
Authority: KR
Inventors: 가즈히사 미시마; 마사하루 스즈키; 준지 도미타; 요시히사 구로사키
Original assignee: 후지쯔 가부시끼가이샤
Priority date: 2006-11-20
Filing date: 2007-09-14
Publication date: 2008-05-23
Also published as: TW200823577A; EP1923736B1; KR100892911B1; US20080115883A1; CN101187763B; JP2008129270A; EP1923736A1; CN101187763A; DE602007001225D1

Abstract

본 발명은 한 쌍의 기판을 균일한 압력으로 가압하여 양호하게 접합할 수 있으면서 복수조의 기판을 한번에 접합할 수 있는 패널의 제조 방법 및 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

한 쌍의 기판(1a, 1b)의 한 쪽에 제1 시일재(4)를 설치하면서, 제1 시일재(4)를 완전히 둘러싸도록 제2 시일재(11)를 설치한다. 기판(1a, 1b)을 접합하여 제1 시일재(4)에 의해 셀 공간을 형성한다. 제1 시일재(4)의 외측이면서 제2 시일재(11)의 내측에 마련된 개구(12)를 통해, 셀 공간을 포함하는 제2 시일재의 내측 공간을 탈기하면서, 제1 시일재(4)를 경화시킨다. 셀 공간을 남기고, 제2 시일재(11)가 설치된 부분을 제거한다.

Description

패널의 제조 방법 및 제조 장치{MANUFACTURING METHOD AND MANUFACTURING APPARATUS OF A PANEL}

본 발명은 액정 표시 패널과 같이, 한 쌍의 기판을 접합시켜 형성되는 패널의 제조 방법 및 제조 장치에 관한 것이다. 본 발명은 특히, 한 쌍의 투명 기판 사이에 형성된 셀 공간에 액정이 주입되어 형성되는 액정 표시 패널의 제조 방법 및 제조 장치에 관한 것이다. 이하, 액정 표시 패널을 일례로서 설명을 행한다.

최근, 액정 재료를 이용하여 화면 표시를 행하는 액정 표시 장치로 대표되는 표시 장치가 전자기기의 표시부로서 널리 이용되고 있다. 액정 표시 장치는, 일반적으로 한 쌍의 투명 기판 사이에 형성된 셀 공간에 액정이 주입되어 형성되는 액정 표시 패널을 갖고 있고, 액정 표시 패널의 전극에 구동 전압을 인가하여 액정을 구동함으로써 표시를 행한다.

액정 표시 패널의 투명 기판은, 예컨대 유리 기판이고, 한 쌍의 유리 기판 사이에 시일 접착제를 사이에 두어 유리 기판을 서로 부착시킴으로써, 유리 기판 사이에 액정을 봉입하는 셀 공간이 형성된다. 유리 기판을 접합할 때에, 시일 부재를 유리 기판에 밀착시키기 위해, 유리 기판에 압력을 가해야 한다. 종래의 액정 표시 패널의 제조 방법으로는, 유리 기판에 물리적으로 압박력을 가하면서 접착하는 것이 일반적으로 행해지고 있다.

유리 기판에 물리적으로 압박력을 가하는 방법에서는, 유리 기판 전체에 균일하게 압력을 인가하는 것이 어렵고, 유리 기판 사이의 셀 공간을 형성하는 간극이 불균해진다고 하는 문제가 있다. 또한, 유리 기판 사이에 이물이 껴있는 경우 등은, 유리 기판에 국소적으로 큰 압박력이 가해지고, 유리 기판이 파손하는 등의 문제가 발생하는 경우가 있다.

파손되기 쉬운 유리 기판 대신에 투명한 플라스틱 기판을 이용하는 경우도 있지만, 한 쌍의 플라스틱 기판을 양측으로부터 가압할 때에, 플라스틱 기판 사이에 이물이 있으면, 플라스틱 기판은 파손되지 않더라도, 이물에 의해 플라스틱 기판이 변형되어 버리고, 셀 공간을 형성하는 간극이 불균해진다고 하는 문제가 있다.

한편, 기판을 서로 접합할 때에, 유리 또는 플라스틱 기판의 면적이 크면 가압력의 불균일이 생기기 쉽다. 또한, 큰 가압력을 발생시키기 때문에 감압 장치도 커져 버린다.

종래는, 하나의 액정 표시 패널이 되는 한 쌍의 기판을 1조씩 접합하여 액정 표시 패널을 제조하고 있다. 그런데, 기판의 접합에는 시일재를 경화시키기 위한 경화 시간이 필요하고, 다수의 액정 표시 패널을 제조하는 데 시간이 걸리며, 결과로서 액정 표시 장치의 제조 비용이 상승한다고 하는 문제가 있었다.

액정 표시 장치의 제조 비용을 삭감하는 기술로서, 접합한 기판에 개구를 마 련해두고, 이 개구를 통해 셀 공간을 탈기하는 동시에, 동일한 개구로부터 액정을 주입하는 방법이 제안되고 있다(예컨대, 특허 문헌 1 참조). 이 방법으로는, 진공 흡인용 매니폴드(manifold)를 기판의 개구부에 시일재를 통해 압박하고, 매니폴드와 개구부를 통해 셀 공간을 탈기한다. 이 탈기는, 패널에의 액정 주입을 목적으로서 행하는 것이다.

또한, 간단한 기구로 기판에 압력을 가하는 기술로서, 한 쌍의 기판을 양측으로부터 자석 시트에 의해 끼워 넣고, 자기력으로 기판을 가압하는 방법이 제안되고 있다(예컨대, 특허 문헌 2 참조).

또한, 진공 용기 내에서 대형 기판을 접합하여 액정을 주입하는 방법이 제안되고 있다(예컨대, 특허 문헌 3 참조.). 이 방법에서는, 진공 용기에 진공 펌프를 접속하는 부분에 자성 유체 시일이 이용되고 있다.

[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 제2000-155325호 공보

[특허 문헌 2] 일본 특허 공개 제2001-33791호 공보

[특허 문헌 3] 일본 특허 공개 2002-318378 공보

액정 표시 패널을 제조하기 위한 종래의 제조 방법에서는, 액정 표시 패널을 1장씩 제조함으로써, 가압력을 균일화하는 것에 주안을 두고 있다. 이 때문에 다수의 액정 표시 패널을 제조하는 데 시간이 걸리고, 결과로서 액정 표시 장치의 제조비용이 상승한다고 하는 문제가 있었다.

또한, 기판을 접합할 때에 기판에 가하는 압력이 불균일하게 된다고 하는 문제도 생기고 있었다.

본 발명은 전술한 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 한 쌍의 기판을 균일한 압력으로 감압하여 양호하게 접합할 수 있는 패널의 제조 방법 및 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 복수조의 기판을 한번에 접합할 수 있는 패널의 제조 방법 및 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 의하면, 한 쌍의 기판이 접합되어 형성되는 패널의 제조 방법으로서, 이 한 쌍의 기판 한 쪽에 제1 시일재를 설치하면서, 이 제1 시일재를 완전히 둘러싸도록 제2 시일재를 설치하는 시일 형성 단계와; 상기 한 쌍의 기판을, 상기 제1 및 제2 시일재를 사이에 두고 소정의 간격으로 대향시켜 셀 공간이 형성된 상태로 접합하는 접합 단계와; 상기 제1 시일재의 외측이면서 상기 제2 시일재의 내측에 마련된 개구를 통해, 상기 셀 공간을 포함하는 상기 제2 시일재의 내측 공간을 감압하는 감압 단계와; 상기 제1 시일재에 의해 형성된 셀 공간을 남겨, 상기 제2 시일재가 설치된 부분을 제거하는 제거 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법이 제공된다.

또한, 본 발명에 의하면, 한 쌍의 기판을 접합시켜 형성된 패널의 제조 장치로서, 이 한 쌍의 기판이 접합되고 임시 고정된 기판 접합 조립체를 지지하는 지지 기구와, 이 기판 접합 조립체의 한 쌍의 기판에 형성된 개구를 통해 상기 기판 접 합 조립체에 형성된 셀 공간을 감압하는 감압 기구를 포함하고, 상기 지지 기구는, 상기 기판의 개구 주위를 한 쌍의 탄성체에 의해 끼워 넣어 지지함으로써, 상기 기판 접합 조립체의 지지와 기판 사이 공간의 감압을 위한 접속을 동시에 행하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 장치가 제공된다.

본 발명에 의하면, 기판을 접합하여 내부에 셀 공간이 형성된 기판 접합 조립체의 개구를 통해 셀 공간을 탈기함으로써 셀 공간이 감압되고, 기판을 균일하게 가압할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의한 액정 표시 패널을 구성하는 기판의 접합에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다. 본 실시예에 의한 액정 표시 패널은, 2장의 투명 기판이 접합되고, 기판 사이에 형성된 셀 공간에 액정이 주입된 것이다.

우선, 한 쌍의 투명 기판을 접합하여, 액정을 주입하는 셀 공간을 형성하는 방법에 대해서 도 1을 참조하면서 설명한다. 도 1은 한 쌍의 투명 기판을 접합하여 액정을 주입하는 셀 공간을 형성하는 처리 단계를 도시하는 도면이다.

도 1에 도시하는 처리 단계에서는, 우선 한 쌍의 투명 기판(1a, 1b)을 준비한다. 투명 기판(1a, 1b)으로서는, 예컨대 두께 0.2 mm의 유리 기판, 또는 두께 0.125 mm의 폴리카보네이트 필름, 폴리에티렌 필름 등의 플라스틱 기판이 이용된다. 또한, 기판의 재질, 또는 그 두께는 상기한 것에는 한정되지 않는다.

우선, 기판(1a)의 준비 단계에 대해서 설명한다. 도 1(a)에 도시하는 바와 같이, 기판(1a) 표면에 투명 전극(2)을 형성한다. 투명 전극(2)은 액정을 구동하는 전압을 가하기 위한 전극이다. 투명 전극(2)은 투명한 도전 재료에 의해 형성되지만, 도 1(a)에서는 편의상 도시하는 종방향으로 연장되는 점선으로 도시되어 있다. 투명 전극(2)은, 포토리소그래피를 이용하여 기판(1a)상에 형성된다. 우선, 도전 재료로 이루어지는 레지스트가 기판(1a)상에 인쇄되고, 노광·현상·에칭·박리 단계를 경유하여 선형의 투명 전극(2)이 형성된다. 그 후, 기판(1a)은 헹굼·건조 단계를 경유하여, 격벽 형성 단계로 이동한다.

격벽 형성 단계에서는, 도 1(b)에 도시하는 바와 같이, 기판(1a) 표면에 격벽(3)이 형성된다. 격벽(3)은 액정이 주입되는 셀 공간을 하나 하나의 셀로 분할하기 위한 주상물이며, 격벽(3)으로 둘러싸인 부분이 하나의 셀이 된다. 셀은 액정 표시 장치의 하나의 화소에 상당한다. 격벽 형성 단계에서는, 우선 UV 경화 수지(UV curable resin)로 이루어지는 레지스트가 기판(1a) 표면에 인쇄된다. 레지스트는 프리베이크 처리된 후, 노광·현상 단계를 경유하여 레지스트중에 격벽(3)이 형성된다. 그리고 격벽(3)이 된 부분 이외의 레지스트가 제거되고, 헹굼·건조 단계를 경유하여 격벽(3)만이 기판(1a) 표면상에 남는다. 그 후, 격벽(3)은 UV 경화되고, 진공 가열 탈포 처리에 의해 격벽(3) 내의 기포가 제거된다.

다음에, 도 1(c)에 도시하는 시일 형성 단계에 있어서, 격벽(3)이 형성된 영역을 둘러싸도록, 시일재(4)가 디스펜서에 의해 도포된다. 시일재(4)는 기판(1a)과 후술하는 기판(1b)을 접합할 때에, 기판(1a, 1b) 사이에 셀 공간이 형성되도록 시일하는 부재이고, 본 실시예에서는 시일 기능과 함께 기판(1a, 1b)을 접착하는 접 착 기능도 갖는다. 도 1(c)의 예에서는, 격벽(3)과 시일재(4)는 기판(1a)의 동일면에 형성된다. 도포된 시일재(4)는, UV(자외선) 조사에 의해 프리베이크(pre-baked)된다. 이 상태에서는, 격벽(3) 및 시일재(4)는 반경화 상태이고, 점착성을 갖고 있다. 또한, 시일재(4)를 설치하는 방법은, 디스펜서에 의해 도포하는 것에 한정되지 않고, 예컨대 미리 소정의 형상으로 형성된 접착성 시일재 시트를 기판(1a)에 접착하는 것으로 하여도 좋다. 또한, 도 1(c)에 도시되는 바와 같이, 도시하는 위쪽에 시일재(4)가 도포되지 않는 영역이 있다. 이 영역은, 접합된 기판 사이에 액정을 주입하기 위한 액정 주입구(4a)[도 1(h) 도시]로서 작용한다.

도 1(a) 내지 (c)까지는, 한 쪽 기판(1a)을 준비하는 단계지만, 이것과 병행하여 다른쪽 기판(1b)도 준비한다. 기판(1b)의 준비는, 도 1(d) 내지 (f)에 도시하는 단계로 행해진다. 우선, 도 1(d)에 도시하는 바와 같이, 기판(1b) 표면에 투명 전극(5)을 형성한다. 투명 전극(5)은 도 1에 도시하는 투명 전극(2)과 유사한 처리에 의해 형성되지만, 도 1(d)에 도시하는 횡방향으로 연장되는 점선으로 도시되어 있는 바와 같이, 기판(1b)에 형성되는 투명 전극(5)은 투명 전극(2)과 직교하는 방향으로 연장하도록 형성된다. 또한 기판(1a와 1b)을 접합하였을 때에, 투명 전극(2)과 투명 전극(5)은 직교하여 대향하도록 배치되고, 셀 공간에 충전된 액정에 구동 전압을 인가하는 전극으로서 기능한다.

다음에, 도 1(e)에 도시하는 바와 같이, 투명 전극(5)을 덮도록 절연막(6)이 형성된다. 절연막(6)은, 액상의 절연재를 투명 전극(5)이 형성된 기판(1b)의 표면 전체에 인쇄·도포하고, 절연재를 프리베이크함으로써 형성한다. 또한 절연막(6)도 투명하지만, 도 1(e)에서는 편의상 크로스 해칭(cross-hatching)을 실시하여 도시되어 있다.

다음에, 도 1(f)에 도시하는 바와 같이 스페이서(7)를, 프리베이크한 절연막(6) 위에 산포한다. 스페이서(7)는 매우 미세하고 투명한 입자이고, 기판(1a와 1b)이 접합되었을 때에 이들 사이에 개재되며, 셀 공간을 형성하는 간극을 형성하기 위해 설치된다. 따라서 기판(1a)에 형성된 격벽(3)과, 기판(1b)에 설치된 스페이서(7)에 의해, 기판(1a)과 기판(1b)을 소정 거리 이격하여 대향시킬 수 있다.

전술한 바와 같이 기판(1a, 1b)의 준비가 종료하였다면, 접합 단계로 진행한다. 접합 단계에서는, 도 1(g)에 도시하는 바와 같이, 기판(1a)의 격벽(3)이 형성되어 시일재(4)가 도포된 면과, 기판(1b)의 스페이서(7)가 산포된 면을 마주 대하여 위치 결정하고, 낮은 가중으로 가압하면서, 시일재(4) 및 격벽(3)에 UV 조사하여 경화시키며, 기판(1a)과 기판(1b)을 임시 고정한다.

다음에, 도 1(h)에 도시하는 단계에 있어서, 시일재(4)로 둘러싸여 형성된 셀 공간을 탈기하면서, 예컨대 180℃로 90분간 접합 기판을 가열하여, 시일재(4) 및 격벽(3)을 소성하여 경화시킨다. 시일재(4)가 설치되어 있지 않는 부분인 액정 주입구(4a)를 통해 셀 공간을 탈기함으로써, 기판(1a, 1b)에는 외측으로부터 대기압이 가해지며, 기판(1a, 1b)은 대기압에 의해 가압된 상태가 된다. 대기압에 의해 가압되기 때문에, 접합 기판에는 균등하게 압력이 가해진다. 이에 따라, 스페이서(7)로 소정 거리(예컨대 0.015 mm) 이격하여 대향한 상태로 기판(1a)과 기판(1b)이 접합되고, 이들 사이에 시일재(4)로 둘러싸인 셀 공간이 형성된다. 또한 시일 재(4) 및 격벽(3)이 가열 경화형 수지로 이루어지는 경우는, 전술한 바와 같이 가열하여, 시일재(4) 및 격벽(3)을 소성하지만, 예컨대 상온 경화형 수지나 UV 경화형 수지의 수지인 경우는, 탈기되어 있는 접합 기판을 가열할 필요는 없고 수지의 경화 특성에 적합한 처리에 의해 경화시키면 좋다.

그 후, 도 1(i)에 도시하는 액정 주입 단계에 있어서 액정 주입구(4a)로부터 셀 공간에 액정이 주입된 후, 셀 공간이 밀봉되고, 액정 표시 패널이 완성된다.

도 2는 셀 공간을 구획하는 시일재(4)의 외측을 둘러싸도록 시일재(11)가 설치된 기판 접합 조립체(10)의 평면도이다. 본 실시예에서는, 전술한 바와 같이 액정 표시 패널을 형성할 때에, 도 1(h)에 도시하는 경화 단계에 있어서 셀 공간의 탈기를 용이하게 하기 위해 셀 공간을 구획하는 시일재(4)의 외측을 둘러싸도록 시일재(11)가 설치된다.

도 2에 도시하는 기판 접합 조립체(10)는, 도 1(h)에 도시하는 기판 접합 조립체와 유사한 구성의 기판 접합 조립체에 있어서, 시일재(4) 주위에 시일재(11)가 설치된 구성이다. 시일재(11)는 시일재(4)와 동일한 재료를 디스펜서에 의해 도포함으로써 기판(1a)에 설치할 수 있다. 또한, 셀 공간에 액정을 주입하기 위한 액정 주입구(4a)의 근방에서, 시일재(11)로 둘러싸인 영역 내에 있어서, 기판(1a, 1b)에 개구(12)가 마련된다.

도 1(h)에 도시하는 단계에서는, 셀 공간을 탈기하기 위한 진공 흡인 장치를 액정 주입구(4a)에 접속하지만, 도 2에 도시하는 기판 접합 조립체(10)에서는, 개구(12)가 형성된 부분에 진공 흡인 장치를 접속하여 탈기함으로써, 셀 공간을 포함 하는 시일재(11)로 둘러싸인 영역 전체를 탈기한다.

여기서, 개구(12)가 형성된 부분에 진공 흡인 장치를 접속하는 방법에 대해서, 도 3을 참조하면서 설명한다. 도 3은, 기판 접합 조립체(10)의 개구(12)에 진공 흡인 장치의 흡인관(20)을 접속한 상태를 도시하는 단면도이다.

도시하지 않는 진공 흡인 장치(예컨대 진공 펌프)의 흡인관(20)의 선단에, 부착 블록(21)이 부착된다. 부착 블록(21)에는, 제1 탄성체인 접속 고무(22)가 내장된다. 접속 고무(22) 중앙에 환형의 자석(23)이 끼워 넣어져 있다.

접속 고무(22)의 관통 구멍에, 예컨대 기판(1a)의 개구(12)가 맞도록 기판 접착 조립체(10)를 배치하고, 기판(1b)의 개구(12)를 막도록 제2 탄성체인 밀봉 고무(24)를 배치한다. 밀봉 고무(24)에는, 접속 고무(22)에 부착된 자석(23)과 같은 환형의 자석(25)이 내장되어 있고, 기판(1b)의 개구(12)를 막도록 밀봉 고무(24)를 배치하면, 자석(23)과 자석(25)이 서로 끌어당기도록 구성되어 있다. 이 자석(23)과 자석(25)이 서로 당기는 힘에 의해, 기판 접합 조립체(10)는 부착 블록(21)에 고정되고, 지지된 상태가 된다. 이 때, 기판(1a)의 개구(12) 주위 부분에는 접속 고무(22)가 접촉하여 밀봉되고, 기판(1b)의 개구(12) 주위 부분에는 밀봉 고무(24)가 접촉하여 밀봉된다. 접속 고무(22) 및 밀봉 고무(24)에 의해 개구(12) 부근의 기밀성이 확보되고, 기반 접합 조립체(10) 내부의 탈기를 보다 효율적으로 행할 수 있다.

또한, 접속 고무(22) 및 밀봉 고무(24)는, 고무와 같이 시일성을 갖는 탄성체이면 고무에 한정되지 않고, 유연한 플라스틱 등에 의해 형성된 시일 부재에 의 해 대체되어도 좋다. 다만 시일재가 가열 경화형인 경우 등에는 도 3에 표시된 상태에서 소성 단계가 행해지기 때문에, 실리콘 고무나 불소 고무와 같이 내열성을 갖는 재료를 이용하는 것이 바람직하다.

이상과 같이, 도 2에 도시하는 기판 접합 조립체(10)를 이용하면, 진공 흡인 장치의 흡인관(20)의 흡인구에 개구(12)를 맞춰 자석으로 고정하는 것뿐인 간단한 구성으로, 단계에 있어서의 탈기를 위한 접속을 행할 수 있고, 셀 공간의 탈기에 의해, 균일한 가압력 하에서 기판(1a, 1b)을 접합시킬 수 있다. 따라서 균일한 간극으로 양호하게 접합된 기판 접합 조립체를 얻을 수 있다.

또한, 도 2에 도시하는 기판 접합 조립체(10)는, 액정 표시 패널로서는 불필요한 시일재(11)가 시일재(4) 주위에 설치되어 있기 때문에, 기판을 접합하는 단계가 종료한 후, 제거 단계에 있어서, 도 2에 1점 쇄선으로 도시하는 선을 따라 시일재(11)가 도포된 영역을 절단하여 제거한다.

여기서, 도 2에 도시하는 기판 접합 조립체(10)를, 복수매 동일한 흡인관(20)에 부착하는 구성에 대해서, 도 4 및 도 5를 참조하면서 설명한다. 도 4는 복수의 기판 접합 조립체(10)를, 동일한 흡인관(20)에 부착하는 도중의 상태를 도시하는 단면도이다. 도 5는 복수의 기판 접합 조립체(10)가 동일한 흡인관(20)에 부착된 상태를 도시하는 단면도인 복수의 기판 접합 조립체(10)를 동일한 흡인관(20)에 부착하기 위해서는, 우선 도 4에 도시하는 바와 같이, 위치 결정핀(30)을 부착 블록(21)의 흡인 구멍에 삽입한 상태로, 첫째장의 기판 접합 조립체(10)의 개구(12)를 위치 결정핀(30)에 삽입 관통한다. 그리고 밀봉 고무(24)와 동일한 구성 이지만 개구(12)에 대응하여 관통 구멍이 형성된 중계 고무(31a)를, 위치 결정핀(30)에 삽입 관통한다. 제3 탄성체인 중계 고무(31a)에는 환형의 자석(32a)이 내장되어 있고, 중계 고무(31a)에 내장된 자석(32a)과 접속 고무(21)의 자석(23)에 의해, 첫째장의 기판 접합 조립체(10)는 부착 블록(21)에 지지된다.

다음에, 두번째장의 기판 접합 조립체(10)의 개구(12)를 위치 결정핀(30)에 삽입 관통하고, 계속해서 중계 고무(31b)를 위치 결정핀(30)에 삽입 관통한다. 이에 따라, 중계 고무(31a)에 내장된 자석(32a)과 중계 고무(31b)에 내장된 자석(32b)이 서로 당기기 때문에, 두번째장의 기판 접합 조립체(10)도, 첫째장의 기판 접합 조립체(10)[중계 고무(31a)-접속 고무(23)]를 통해 부착 블록(21)에 지지된다. 이와 같이 하여, 원하는 매수의 기판 접합 조립체(10)를 위치 결정핀(30)에 삽입 관통하였다면, 위치 결정핀(30)을 추출한다. 이 때, 마지막으로 삽입 관통한 기판 접합 조립체(10) 이외의 기판 접합 조립체(10)는, 기판 접합 조립체를 사이에 두고 배치되는 자석에 의해 고정되어 지지되어 있기 때문에, 마지막으로 위치 결정핀(30)에 삽입 관통한 기판 접합 조립체(10)만을 떨어지지 않도록 지지하면 좋다.

그리고, 마지막으로 위치 결정핀(30)에 삽입 관통한 기판 접합 조립체(10)를 지지하면서, 도 5에 도시하는 바와 같이 밀봉 고무(24)를 마지막으로 삽입 관통한 기판 접합 조립체(10)의 개구(12) 부분에 부착함으로써, 마지막으로 삽입 관통한 기판 접합 조립체(10)도 자석의 흡인력에 의해 부착 블록(21)에 지지된다. 이와 같이, 모든 기판 접합 조립체(10)는, 개구(12)를 통해 흡인관(20)에 연결되어 있기 때문에, 흡인관(20)으로부터 탈기함으로써, 모든 기판 접합 조립체(10)의 셀 공간 을 동시에 탈기할 수 있다.

이상과 같이, 도 2에 도시하는 기판 접합 조립체(10)를 이용함으로써, 복수의 기판 접합 조립체(10)를 용이하게 진공 흡인 장치에 접속할 수 있고, 복수의 기판 접합 조립체(10)를 동시에 탈기할 수 있다. 이 때문에, 복수의 기판 접합 조립체(10)에 대하여, 도 1(h)에 있어서의 단계를 동시에 행할 수 있고, 결과로서 복수의 기판 접합 조립체(10)를 모두 처리하는 데 요구되는 제조 공정 시간을 단축할 수 있으며, 액정 표시 패널 1장당 제조 비용을 저감할 수 있다.

탈기를 행하는 단계가 종료하였다면, 탈기를 해제하고, 밀봉 고무(24) 및 중계 고무(31)를 손으로 제거하는 것만으로, 기판 접합 조립체(10)를 용이하게 제거할 수 있다.

또한, 접속 고무(21), 중계 고무(31), 밀봉 고무(24)에 의해 끼워 넣는 기판 접합 조립체의 부분은, 셀 공간이 형성된 부분의 외측 부분이고, 자석에 의한 기판 접합 조립체를 끼워 넣는 힘이 셀 공간을 형성하는 기판 부분에 걸리지 않기 때문에, 국소적인 힘이 셀 공간이 형성되는 부분에는 가해지지 않고, 균일한 간극의 셀 공간을 형성할 수 있다.

또한, 기판 접합 조립체의 1지점에 개구를 마련하고, 이 부분을 지지하여 중력에 의해 기판 접합 조립체를 아래쪽으로 달아 맨 상태로 기판 접합 처리를 하기 때문에, 탈기에 의한 대기압 이외의 외력이 기판 접합 조립체에 작용하지 않고, 균일한 간극의 셀 공간을 형성할 수 있다.

여기서, 도 2에 도시하는 기판 접합 조립체(10)의 구성을 응용하여, 1장의 기판 접합 조립체 내에 복수의 셀 공간을 형성할 수 있다. 도 6은 복수의 셀 공간이 형성된 기판 접합 조립체(40)의 평면도이다.

도 6에 도시하는 기판 접합 조립체(40)로는, 4장의 액정 표시 패널에 상당하는 셀 공간이 시일재(4)에 의해 형성되고, 4개의 셀 공간 모두를 둘러싸도록 시일재(11)가 설치되어 있다. 탈기용 개구(12)는, 시일재(11)로 둘러싸인 영역 내에 1지점만 설치하면 좋다.

기판 접합 조립체(40)는, 도 2에 도시하는 기판 접착 조립체(10)와 마찬가지로, 도 3 내지 도 5에 도시하는 방법으로 진공 흡인 장치에 접속할 수 있다. 탈기 단계 후에, 도 6의 1점 쇄선으로 기판 접합 조립체(40)를 절단함으로써, 개개의 액정 표시 패널을 형성하는 셀 공간으로 분리할 수 있다. 또한, 1장의 기판 접합 조립체(40)에 형성하는 셀 공간의 수는 4개로 한정하지 않고, 개개의 셀 공간의 크기나 기판 접합 조립체(40)의 크기를 고려하여 임의의 수의 셀 공간을 형성할 수 있다. 또한 셀 공간의 배열도, 일렬 배열이나 매트릭스형의 배열로 할 수 있다.

이와 같이, 1장의 기판 접합 조립체에 복수의 셀 공간을 형성함으로써, 1장의 기판 접합 조립체에 진공 흡인 장치를 접속하는 것만으로, 복수의 액정 표시 패널에 상당하는 복수의 셀 공간을 동시에 탈기할 수 있다. 이 때문에, 복수의 셀 공간을 형성하는 시일재의 경화 단계를 동시에 행할 수 있고, 결과로서 셀 공간을 모두 처리하는 데 요구되는 제조 공정 시간을 단축할 수 있으며, 액정 표시 패널 1장당 제조 비용을 저감할 수 있다. 또한 복수의 셀 공간이 형성된 기판 접착 조립체를, 도 5에 도시하는 방법으로 복수매 접속함으로써, 보다 많은 매수의 기판 접착 조립체를 한번에 처리할 수 있고, 액정 표시 패널 1장당 제조 비용을 한층 더 저감할 수 있다.

다음에, 도 2 및 도 6에 도시하는 기판 접합 조립체에, 도 1(h)에 있어서의 단계를 실시하는 제조 장치에 대해서, 도 7을 참조하면서 설명한다. 도 7은 기판 접합 조립체를 탈기하면서 접합시키기 위한 소성 장치의 개략도이다. 또한 열경화형 접착제를 이용할 필요가 없으면, 기판의 접합에 있어서는 소성을 행할 필요는 없다.

도 7에 도시하는 액정 표시 패널의 제조 장치로서의 소성 장치는, 고온로(50)와 진공 흡인 장치(51)를 갖는다. 고온로(50)는 내부 온도를 고온(예컨대, 기판 접합에 이용하는 시일재의 경화 온도)으로 유지할 수 있는 장치이다. 진공 흡인 장치(51)는, 예컨대 진공원으로서 진공 펌프와 밸브 등으로 이루어지는 장치이고, 80 Pa 정도의 진공도로 탈기 가능하면 좋다.

고온로(50) 내에는, 기판 접합 조립체(60)를 지지하기 위한 지지 기구가 설치된다. 지지 기구는, 도 3 내지 도 5에 도시하는 부착 블록(21), 접속 고무(22), 중계 고무(31a, 31b), 밀봉 고무(24) 및 이들에 부착된 자석(23, 32a, 32b, 25)을 포함한다. 고온로(50) 내에 복수의 기판 접합 조립체(60)를 부착 블록(21)에 지지된 상태에서 수용할 수 있다. 여기서 기판 접합 조립체(60)는, 도 6에 도시하는 기판 접합 조립체(40)와 유사한 구성이지만, 세로 일렬로 3개의 셀 공간이 형성되어 있다. 예컨대 기판(1a, 1b)으로서 플라스틱 기판이 이용되는 경우, 폭이 넓으면 플라스틱 기판이 크게 휠 우려가 있고, 세로 일렬의 배열로서 세로로 길게 하는 편이 폭 방향으로의 휘어짐을 작게 할 수 있다.

도 7에 도시하는 예에서는, 부착 블록(21)에는, 2개의 접속 고무(22)가 설치되어 있고, 2지점에 기판 접합 조립체(60)를 부착할 수 있다. 부착 블록(21)으로부터 연장되는 흡인관(20)은, 고온로(50) 외부의 진공 흡인 장치(51)에 접속된다. 복수의 기판 접합 조립체(60)를 중첩한 상태로 부착 블록(21)에 부착할 수 있고, 동시에 탈기를 행하기 위한 접속도 행해진다. 따라서 탈기하기 위한 접속을 매우 단시간에 행할 수 있고, 탈기하기 위한 접속 기구로서 고온로 내에서 큰 스페이스를 차지하지 않으며, 다수의 기판 접합 조립체(60)를 고온로(50) 내의 한정된 스페이스에 효율적으로 수용할 수 있다.

도 1(g)에 도시하는 접합 단계에서 기판끼리 임시 고정된 복수의 기판 접합 조립체(60)를, 고온로(50) 내의 부착 블록(21)에 부착한 후, 진공 흡인 장치(51)를 작동하여 기판 접합 조립체(60)를 탈기하는 동시에, 고온로(50)의 온도를 올려 시일재(4)의 경화 온도(예컨대 180℃)로 하고, 소정 시간(예컨대 90분간) 유지한다. 이에 따라, 시일재(4)는 완전히 경화되어 액정 표시 패널의 셀 공간이 완성된다.

시일재(4)가 완전히 경화된 후, 기판 접합 조립체(60)는 고온로(50)로부터 추출되고, 절단되어 개개의 셀 공간에 분할된다. 그 후, 개개의 셀 공간에 액정이 주입되고, 액정 표시 패널이 완성된다.

이상과 같이, 도 7에 도시하는 소성 장치에 의하면, 복수의 기판 접합 조립체를 동시에 탈기하면서 소성할 수 있고, 다수의 액정 표시 패널을 제조할 때의 제조 공정 시간을 단축할 수 있으며, 액정 표시 장치의 제조비용을 저감할 수 있다.

이상과 같이, 본 명세서는 이하의 발명을 개시한다.

(부기 1)

한 쌍의 기판이 접합되어 형성되는 패널의 제조 방법으로서,

이 한 쌍의 기판 한 쪽에 제1 시일재를 설치하면서, 이 제1 시일재를 완전히 둘러싸도록 제2 시일재를 설치하는 시일 형성 단계와,

상기 한 쌍의 기판을, 상기 제1 및 제2 시일재를 사이에 두고 소정의 간격으로 대향시켜 셀 공간이 형성된 상태로 접합하는 접합 단계와,

상기 제1 시일재의 외측이면서 상기 제2 시일재의 내측에 마련된 개구를 통해, 상기 셀 공간을 포함하는 상기 제2 시일재의 내측 공간을 감압하는 감압 단계와,

상기 제1 시일재에 의해 형성된 셀 공간을 남겨, 상기 제2 시일재가 설치된 부분을 제거하는 제거 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 2)

부기 1 기재의 패널의 제조 방법으로서,

상기 시일 형성 단계는, 상기 제1 및 제2 시일재를 디스펜서에 의해 도포하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 3)

부기 3 기재의 패널의 제조 방법으로서,

상기 시일 형성 단계에 있어서, 형성되는 상기 셀 공간에 접속된 개구가 형성되도록 상기 제1 시일재를 설치하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 4)

부기 1 기재의 패널의 제조 방법으로서,

상기 제1 및 제2 시일재로서 자외선 경화 수지를 이용하고, 상기 시일 형성 단계에 있어서, 상기 제1 및 제2 시일재에 자외선을 조사하여 반경화 상태로 하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 5)

부기 4 기재의 패널의 제조 방법으로서,

상기 접합 단계에 있어서 상기 제1 및 제2 시일재에 자외선을 조사하여 상기 제1 및 제2 시일재를 경화시키고, 상기 기판끼리 임시 고정하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 6)

부기 1 기재의 패널의 제조 방법으로서,

상기 감압 단계에 있어서, 접합된 상기 한 쌍의 기판을 가열하여 상기 제1 및 제2 시일재를 경화시키는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 7)

부기 1 기재의 패널의 제조 방법으로서,

상기 감압 단계에 있어서, 상기 한 쌍의 기판에 마련된 개구 주위를, 탄성체를 통해 한 쌍의 자석 사이에 끼워 넣어 상기 한 쌍의 기판을 지지하는 동시에, 이 탄성체를 통해 상기 개구에 감압용 흡인관을 접속하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 8)

부기 7 기재의 패널의 제조 방법으로서,

상기 감압 단계를, 고온로 내에 복수의 상기 한 쌍의 기판을 수용한 상태로 행하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 9)

부기 1 기재의 패널의 제조 방법으로서,

상기 시일 형성 단계에 있어서, 상기 제2 시일재의 내측에 복수의 상기 셀 공간이 형성되도록 상기 제1 시일재를 설치하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 10)

부기 1 기재의 패널의 제조 방법으로서,

상기 제1 시일재의 셀 공간을 형성하는 영역에, 상기 셀 공간을 작은 영역으로 분할하기 위한 격벽을 형성하는 격벽 형성 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 11)

한 쌍의 기판을 접합하여 형성된 패널의 제조 장치로서,

이 한 쌍의 기판이 접합되어 임시 고정된 기판 접합 조립체를 지지하는 지지 기구와,

이 기판 접합 조립체의 한 쌍의 기판에 형성된 개구를 통해 상기 기판 접합 조립체에 형성된 셀 공간을 감압하는 감압 기구를 포함하고,

이 지지 기구는, 상기 기판의 개구 주위를 한 쌍의 탄성체에 의해 끼워 넣어 지지함으로써, 상기 기판 접합 조립체의 지지와 기판 사이 공간의 감압을 위한 접속을 동시에 행하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 장치.

(부기 12)

부기 11 기재의 패널의 제조 장치로서,

상기 지지 기구는, 상기 한 쌍의 탄성체와 상기 탄성체 각각에 부착된 자석을 포함하고,

이 자석끼리의 흡인력에 의해 상기 기판 접합 조립체를 끼워 넣어 지지하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 장치.

(부기 13)

부기 12 기재의 패널의 제조 장치로서,

상기 한 쌍의 탄성체는, 관통 구멍을 갖는 제1 탄성체와 관통 구멍을 갖지 않는 제2 탄성체로 이루어지고,

이 제1 탄성체의 이 관통 구멍을 상기 기판 접합 조립체의 상기 개구에 일치하도록 상기 기판 접합 조립체를 위치 결정하여 상기 지지 기구에 고정함으로써, 감압을 위한 접속을 행하고, 상기 제1 탄성체측의 상기 개구와는 반대측 개구를 상기 제2 탄성체에 의해 밀봉하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 장치.

(부기 14)

부기 13 기재의 패널의 제조 장치로서,

상기 지지 기구는, 관통 구멍을 갖는 제3 탄성체와 이 제3 탄성체에 부착된 자석을 더 포함하고,

상기 지지 기구는, 상기 제1 및 제2 탄성체 및 상기 제3 탄성체를 통해, 복수의 상기 기판 접합 조립체를 감압 가능한 상태로 지지하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 장치.

(부기 15)

부기 11 기재의 패널의 제조 장치로서,

상기 지지 기구를 수용하는 고온로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 장치.

(부기 16)

부기 15 기재의 패널의 제조 장치로서,

상기 고온로의 외부에 흡인 장치를 더 포함하고, 이 흡인 장치를 흡인원으로서 상기 고온로 내에 수용된 상기 기판 접합 조립체를 감압하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 장치.

(부기 17)

이 한 쌍의 기판 중 적어도 한 쪽에, 상기 한 쌍의 기판 사이에 개재하는 시일부를 설치하는 단계와,

이 시일부를 사이에 두도록 하여, 상기 한 쌍의 기판을 맞추는 단계와,

상기 맞춰진 기판 사이의 공간을 감압하여, 상기 한 쌍의 기판을 접합하는 감압 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 18)

부기 17 기재의 패널의 제조 방법으로서,

상기 시일부는, 소정의 영역을 둘러싸면서, 개구를 구성하도록 그 일부가 없게 상기 한 쌍의 기판 중 적어도 한 쪽에 설치되는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 19)

부기 17 기재의 패널의 제조 방법으로서,

상기 시일부로서, 상기 한 쌍의 기판을 접합하는 접착 작용을 포함하는 부재가 이용되고 있는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 20)

부기 17 기재의 패널의 제조 방법으로서,

상기 시일부가 형성된 영역 외측에, 상기 시일부를 둘러싸는 제2 시일부를 형성하는 단계를 더 포함하고,

상기 감압 단계에서는, 상기 제2 시일부에 둘러싸인 영역 내를 감압하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 21)

부기 20 기재의 패널의 제조 방법으로서,

상기 제2 시일부의 내측 영역에, 상기 한 쌍의 기판 한 쪽에 제1 개구를, 상기 한 쌍의 기판 다른 쪽으로서, 상기 제1 개구와 대향하는 위치에 제2 개구를, 각각 형성하는 단계를 더 포함한 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 22)

부기 21 기재의 패널의 제조 방법으로서,

상기 감압 단계에 앞서서, 상기 제1 개구에 감압을 행하는 감압 기구를 접속하는 동시에, 상기 제2 개구에, 상기 제2 개구를 밀봉하는 밀봉 부재, 또는 다른 한 쌍의 기판에 형성된 제1 개구를 접속하는 접속 단계를 더 포함한 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

(부기 23)

부기 22 기재의 패널의 제조 방법으로서,

상기 접속 단계에서는, 상기 감압 기구에 복수의 한 쌍의 기판이 직렬로 접속되고,

상기 감압 단계에서는, 상기 감압 기구에 접속된 복수의 한 쌍의 기판 사이 공간을 일괄하여 감압하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.

도 1은 한 쌍의 투명 기판을 접합하여 액정을 주입하는 셀 공간을 형성하는 처리 단계를 도시하는 도면.

도 2는 셀 공간을 구획하는 시일재의 외측을 둘러싸도록 시일재가 설치된 기판 접합 조립체의 평면도.

도 3은 기판 접합 조립체의 개구에 진공 흡인 장치의 흡인관을 접속한 상태를 도시하는 단면도.

도 4는 복수의 기판 접합 조립체를 동일한 흡인관에 부착하는 도중의 상태를 도시하는 단면도.

도 5는 복수의 기판 접합 조립체가 동일한 흡인관에 부착된 상태를 도시하는 단면도.

도 6은 복수의 셀 공간이 형성된 기판 접합 조립체의 평면도.

도 7은 기판 접합 조립체를 탈기하면서 소성하기 위한 소성 장치의 개략도.

부호의 설명

1a, 1b: 기판

2, 5: 투명 전극

3: 격벽

4, 11: 시일재

4a: 액정 주입구

6: 절연막

7: 스페이서

10, 40, 60: 기판 접합 조립체

12: 개구

21: 부착 블록

22: 접속 고무

23, 25, 32a, 32b: 자석

24: 밀봉 고무

30: 위치 결정핀

31a, 31b: 중계 고무

50: 고온로

51: 진공 흡인 장치

Claims

한 쌍의 기판이 접합되어 형성되는 패널의 제조 방법으로서,

상기 한 쌍의 기판 한 쪽에 제1 시일재를 설치하고, 또한 상기 제1 시일재를 완전히 둘러싸도록 제2 시일재를 설치하는 시일 형성 단계와;

상기 한 쌍의 기판을, 상기 제1 및 제2 시일재를 사이에 두고 소정의 간격으로 대향시켜 셀 공간이 형성된 상태로 접합하는 접합 단계와;

상기 제1 시일재의 외측에 또한 상기 제2 시일재의 내측에 마련된 개구를 통해, 상기 셀 공간을 포함하는 상기 제2 시일재의 내측 공간을 감압하는 감압 단계와;

상기 제1 시일재에 의해 형성된 셀 공간을 남기고, 상기 제2 시일재가 설치된 부분을 제거하는 제거 단계

를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 시일 형성 단계는 상기 제1 및 제2 시일재를 디스펜서에 의해 도포하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 시일 형성 단계에서, 형성되는 상기 셀 공간에 접속된 개구가 형성되도 록 상기 제1 시일재를 설치하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 제1 및 제2 시일재로서 자외선 경화 수지를 이용하고, 상기 시일 형성 단계에서, 상기 제1 및 제2 시일재에 자외선을 조사하여 반경화 상태로 하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.
제4항에 있어서,

상기 접합 단계에서 상기 제1 및 제2 시일재에 자외선을 조사하여 상기 제1 및 제2 시일재를 경화시키고, 상기 기판끼리를 임시 고정하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 감압 단계에서, 접합된 상기 한 쌍의 기판을 가열하여 상기 제1 및 제2 시일재를 경화시키는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 감압 단계에서, 상기 한 쌍의 기판에 마련된 개구 주위를, 탄성체를 통해 한 쌍의 자석 사이에 끼워 넣어 상기 한 쌍의 기판을 지지하는 동시에, 상기 탄성체를 통해 상기 개구에 감압용 흡인관을 접속하는 것을 특징으로 하는 패널의 제 조 방법.
제7항에 있어서,

상기 감압 단계를 고온로 내에 복수의 상기 한 쌍의 기판을 수용한 상태로 행하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 시일 형성 단계에서, 상기 제2 시일재의 내측에 복수의 상기 셀 공간이 형성되도록 상기 제1 시일재를 설치하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 제1 시일재의 셀 공간을 형성하는 영역에, 상기 셀 공간을 작은 영역으로 분할하기 위한 격벽(隔璧)을 형성하는 격벽 형성 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.
한 쌍의 기판을 접합하여 형성된 패널의 제조 장치로서,

상기 한 쌍의 기판이 접합되어 임시 고정된 기판 접합 조립체를 지지하는 지지 기구와;

상기 기판 접합 조립체의 한 쌍의 기판에 형성된 개구를 통해 상기 기판 접합 조립체에 형성된 셀 공간을 감압하는 감압 기구

를 포함하고,

상기 지지 기구는 상기 기판의 개구 주위를 한 쌍의 탄성체에 의해 끼워 넣어 지지함으로써, 상기 기판 접합 조립체의 지지와 기판 사이 공간의 감압을 위한 접속을 동시에 행하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 장치.
제11항에 있어서,

상기 지지 기구는 상기 한 쌍의 탄성체와 상기 탄성체의 각각에 부착된 자석을 포함하고,

상기 자석끼리의 흡인력에 의해 상기 기판 접합 조립체를 끼워 넣어 지지하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 장치.
제12항에 있어서,

상기 한 쌍의 탄성체는 관통 구멍을 갖는 제1 탄성체와 관통 구멍을 갖지 않는 제2 탄성체로 이루어지고,

상기 제1 탄성체의 상기 관통 구멍을 상기 기판 접합 조립체의 상기 개구에 일치하도록 상기 기판 접합 조립체를 위치 결정하여 상기 지지 기구에 고정함으로써, 감압을 위한 접속을 행하며, 상기 제1 탄성체측의 상기 개구와는 반대측의 개구를 상기 제2 탄성체에 의해 밀봉하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 장치.
제13항에 있어서,

상기 지지 기구는 관통 구멍을 갖는 제3 탄성체와 상기 제3 탄성체에 부착된 자석을 더 포함하고,

상기 지지 기구는 상기 제1 및 제2 탄성체 및 상기 제3 탄성체를 통해, 복수의 상기 기판 접합 조립체를 감압 가능한 상태로 지지하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 장치.
제11항에 있어서,

상기 지지 기구를 수용하는 고온로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 장치.
제15항에 있어서,

상기 고온로의 외부에 흡인 장치를 더 포함하고, 상기 흡인 장치를 흡인원으로하여 상기 고온로 내에 수용된 상기 기판 접합 조립체를 감압하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 장치.