KR20070090790A

KR20070090790A - 자외선 조사 장치

Info

Publication number: KR20070090790A
Application number: KR1020070020687A
Authority: KR
Inventors: 히데오 이노우에; 고오이찌 다마이
Original assignee: 하리손 도시바 라이팅구 가부시키가이샤
Priority date: 2006-03-03
Filing date: 2007-03-02
Publication date: 2007-09-06
Also published as: JP2007229682A; TW200736536A; CN101030043A

Abstract

입사면의 중심부로의 손상이 없고, 조사 영역의 외곽이 명료해지는 로드 렌즈를 구비한 자외선 조사 장치를 제공하는 것이다.

자외선 조사 장치는 자외선을 방사하는 램프와, 타원 반사경과, 기둥형의 로드 렌즈를 구비하고 있다. 로드 렌즈는 제1 통체에 수용되어 있다. 로드 렌즈는, 그 긴 축 방향의 일단부가 입사면이고 타단부가 조사면으로 되어 있다. 로드 렌즈는 그 입사면이 타원 반사경의 제2 초점(F2)에 위치하도록 배치된다. 로드 렌즈의 입사면의 엣지에는 테이퍼부가 형성되어 있다. 로드 렌즈는 그 입사면측을 선단부로 하여 제1 통체로 삽입되어 고정된다. 로드 렌즈의 입사면에 있어서 테이퍼부를 제외하는 평면 영역에 타원 반사경에 의해 집광된 광을 입사시킨다.

자외선 조사 장치, 램프, 광원, 로드 렌즈, 테이퍼부

Description

자외선 조사 장치 {ULTRAVIOLET LIGHT IRRADIATION EQUIPMENT}

도1은 자외선 조사 장치의 개략적인 구성도.

도2는 로드 렌즈의 형상을 도시하는 정면도, 측면도 및 배면도.

도3a는 로드 렌즈로의 광의 입사 형태를 도시하는 도면.

도3b는 로드 렌즈로의 광의 다른 입사 형태를 도시하는 도면.

도3c는 로드 렌즈로의 광의 또 다른 입사 형태를 도시하는 도면.

도4a는 로드 렌즈에 형성하는 테이퍼부의 다른 형태를 도시하는 사시도.

도4b는 로드 렌즈에 형성하는 테이퍼부의 또 다른 형태를 도시하는 사시도.

도5는 종래의 로드 렌즈의 입사면에 이지러짐이 생겨 있는 형태를 도시하는 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 자외선 조사 장치

12 : 램프

12a : 광원

14 : 타원 반사경

16, 32, 34 : 로드 렌즈

16a , 32a, 34a : 테이퍼부

18 : 렌즈군

20a : 제1 통체

20b : 제2 통체

22 : 회전형 조리개

22a : 조광원판

22b, 24b : 스텝핑 모터

24 : 회전형 셔터

24b : 셔터 원판

28 : 피조사체

30 : 프레임

92 : 로드 렌즈

94 : 결함 부분

본 발명은 자외선 경화성 접착제를 경화시키는 등을 위해 피처리체의 일정 영역에 자외선을 조사하는 자외선 조사 장치에 관한 것이다.

종래부터, 기판에 인쇄된 자외선 경화성의 잉크(ink)나 레지스트(resist)를 소정의 패턴(pattern)으로 노광시키기 위하여, 자외선 조사 장치가 이용되고 있다.

예를 들어, 전자 부품이나 광학 부품의 정밀 접착, DVD 접착, 반도체ㆍ액정 패널 디스플레이(panel display)의 가공 등에 있어서는, 피조사체의 일정 영역에만 자외선을 균일하게 조사할 필요가 있다. 이와 같은 용도에 적합한 자외선 조사 장치로서, 인터넷의 URL : http://www.htl.co.jp/pro/uv/toscure251.html[자외선 스폿 조사 장치, 해리슨 도시바 라이팅 가부시끼가이샤, (2006년 2월 22일 검색)]에 공개되어 있는 바와 같이, 로드 렌즈(rod-lens)를 이용한 것이 알려져 있다. 이 로드 렌즈는 일반적으로 금속제의 통 부재 내에 고정되어 있다.

자외선 조사 장치는 자외선을 포함하는 광을 방사하는 램프(lamp)를 갖고 있다. 이 램프로부터 방사되는 광을, 리플렉터(refrector)에 의해, 그 제2 초점에 집광시킨다. 이와 같이 하여 집광한 광을 로드 렌즈의 긴 축 방향 단부의 한쪽 면에 입사된다. 로드 렌즈에 입사한 광은 로드 렌즈 내에서 전반사를 반복하면서 긴 축 방향으로 진행하고, 다른 쪽의 단부면으로부터 외부에 조사된다. 로드 렌즈로부터 방사되는 광이 조사되는 영역의 형상과, 로드 렌즈의 외주 형상은 같다. 입사면에서의 난반사의 발생을 억제하는 동시에 조사 영역의 외곽을 명료하게 하기 위해, 이상적으로는 로드 렌즈의 긴 축 방향 단부의 엣지(edge)는 각이 진 것이 바람직하다.

그러나, 엣지가 각이 진 로드 렌즈를 통 부재로 삽입할 경우, 그 작업 중에 로드 렌즈의 선단부가 통 부재의 내면과 접촉됨으로써, 그 엣지 부분이 이지러지는 경우가 있다. 이와 같이 하여, 로드 렌즈의 조사면의 엣지에 이지러짐이 생기면, 광의 조사 영역에도 이지러짐이 생겨 버린다. 이로 인해, 로드 렌즈의 통 부재로의 삽입 작업에서는 조사면을 선두측으로 하여 행하는 것은 바람직하지 않다.

이에 대해, 로드 렌즈의 조사면의 엣지에 곡률을 마련하고, 이 조사면을 선두로 하여 로드 렌즈를 통 부재로 삽입하는 방법이 사료된다. 그러나, 이 방법에서는 광의 조사 영역의 외곽이 희미해져 버린다. 또한, 로드 렌즈의 입사면을 선두로 하여 통 부재로 로드 렌즈를 삽입하는 방법이 사료된다. 그러나, 이 방법에서도 로드 렌즈의 입사면의 엣지에 이지러짐이나 금이 생길 우려가 있다. 이와 같은 로드 렌즈에 생긴 이지러짐이나 금이 입사면의 중심부에 도달하는 경우도 있다.

리플렉터의 형상 정밀도가 매우 높고, 또한 램프의 발광 광원이 점 광원일 경우에는 로드 렌즈의 입사면이 매우 좁은 영역에 집광할 수 있다. 그러나, 실제로는 집광 영역은 어느 정도의 확장을 갖고 있다. 그로 인해, 로드 렌즈의 입사면에 그 엣지 부분뿐만 아니라 그 중심부로 확장되는 큰 이지러짐이나 금이 생기면, 그 부분에서 입사광의 난반사가 생긴다. 이와 같이 하여 난반사한 광은 장치 내에서 이상한 반사를 반복한다. 이는 광의 조사면에 이상한 광선 흔적을 남긴다는 문제를 야기한다.

본 발명의 목적은 그 입사면의 중심부로의 손상이 없고, 게다가 조사 영역의 외곽이 명료해지는 로드 렌즈를 구비한 자외선 조사 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명은 자외선을 포함하는 광을 방사하는 램프와, 상기 램프로부터 방사되는 광을 집광하는 타원 반사경과, 기둥형 형상을 갖고 긴 축 방향의 일단부가 광의 입사면이고 타단부가 광의 조사면인 로드 렌즈와, 상기 로드 렌즈를 수용하는 통체를 갖고, 상기 램프의 광원은 상기 타원 반사경의 제1 초점에 위치하고, 상기 램프로부터 방사되는 광은 상기 타원 반사경의 제2 초점에 집광되고, 상기 로드 렌즈의 입사면은 상기 타원 반사경의 제2 초점에 위치하고 있는 자외선 조사 장치이며, 상기 로드 렌즈의 입사면의 엣지는 테이퍼부를 구비하고 있고, 이 테이퍼부를 제외하는 상기 입사면의 평면 영역에 상기 타원 반사경에 의해 집광된 광이 입사하는 것을 특징으로 하는 자외선 조사 장치를 제공한다.

이 자외선 조사 장치에서는, 로드 렌즈의 조사면측의 엣지는 각이 져 있는 것이 바람직하다. 램프로서는 점 광원형 방전 램프가 적합하게 이용된다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 도1에 자외선 조사 장치의 개략 구성을 도시한다.

이 자외선 조사 장치(10)는 자외선을 포함하는 광을 방사하는 램프(12)와, 램프(12)로부터 방사되는 광을 집광하는 타원 반사경(리플렉터)(14)과, 타원 반사경(14)에 의해 집광된 광을 피조사체(28)의 일정 영역에 조사하기 위한 로드 렌즈(16)와, 로드 렌즈(16)로부터 조사되는 광을 일정한 넓이로 확대하기 위한 렌즈군(18)과, 로드 렌즈(16)를 수용하기 위한 제1 통체(20a)와, 렌즈군(18)을 수용하는 제2 통체(20b)와, 로드 렌즈(16)로의 입사광의 광량을 조정하기 위한 회전형 조리개(22)와, 로드 렌즈(16)로부터 피조사체(28)로의 조사/차광을 행하기 위한 회전형 셔터(shutter)(24)를 구비하고 있다. 이들 램프(12), 타원 반사경(14), 제1 통체(20a), 회전형 조리개(22), 회전형 셔터(24)는 프레임(frame)(30)으로 보유 지지되어 있다.

램프(12)는 그 광원(12a)이 타원 반사경(14)의 제1 초점(F1)에 위치하도록 배치된다. 램프(12)로서는, 예를 들어 고압 수은 램프가 이용된다. 램프(12)는 점 광원형[소위, 쇼트 아크 타입(short-arc type)]인 것이 바람직하다. 그 경우, 타원 반사경(14)의 제2 초점(F2)의 좁은 영역에 집광을 행할 수 있으므로, 직경이 가는 로드 렌즈로의 대응이 용이해진다. 또한, 후술하는 바와 같이 램프(12)에 기인하여, 제2 초점(F2)에 있어서의 집광 면적이 확장되어 버린 경우라도, 그 확장을 최소한으로 억제할 수 있다.

타원 반사경(14)으로서는, 금속 또는 유리(glass) 등의 기재의 내면에 자외선 반사성이 많은 간섭막이 형성된 구조를 갖고 있는 것이 적합하게 이용된다.

로드 렌즈(16)에는 자외선 투과성이 우수한 합성 석영제인 것이 적합하게 이용된다. 로드 렌즈에는 원기둥형이나 사각 기둥형, 육각 기둥형 등의 다각형 기둥형인 것이 알려져 있다. 원하는 조사 영역의 형상에 맞추어 로드 렌즈의 형상이 선택된다.

여기서는 로드 렌즈(16)로서 사각 기둥형 렌즈를 예로 든다. 도2에 로드 렌즈의 형상을 도시하는 정면도, 측면도 및 배면도를 도시한다. 로드 렌즈(16)의 긴 축 방향의 일단부는 입사면이고, 타단부는 조사면이 된다. 도2의 좌측도(정면도)는 입사면을, 도2의 우측도(배면도)는 조사면을 도시하고 있다. 로드 렌즈(16)는 그 입사면이 타원 반사경(14)의 제2 초점(F2)에 위치하도록 배치된다.

도2에 도시한 바와 같이, 로드 렌즈(16)의 입사면의 엣지 부분에는 테이퍼 처리(taper machining)[모따기(chamfering)]가 실시되어, 테이퍼부(taper)(16a)가 형성되어 있다. 이에 의해, 후에 상세하게 설명한 바와 같이, 로드 렌즈(16)를 제1 통체(20a)에 삽입할 때에, 로드 렌즈(16)의 입사면의 평면 영역(S)[도2 좌측도의 사선 해칭(hatching) 영역] 내에 이지러짐이나 금이 발생되는 것을 방지할 수 있다.

이에 대해, 로드 렌즈(16)의 조사면의 엣지는 각이 져 있다. 로드 렌즈(16)의 조사면의 엣지에는 테이퍼 처리는 실시되어 있지 않다. 이에 의해, 피조사체(28)에 있어서의 조사 영역의 외곽이 명료해진다. 또한, 일정 영역에 균일한 강도의 광을 조사할 수 있다. 이 로드 렌즈(16)를 이용한 경우, 피조사체(28)에 있어서의 광의 조사 영역의 외형은 정방형이 된다. 이 정방형은 로드 렌즈(16)의 긴 축 방향으로 수직인 단면의 형상과 같다. 그 확대율은 렌즈군(18)의 구성에 의해 조절된다. 또한, 광의 조사 영역의 형상은 원기둥형 로드 렌즈에서는 원형이 되고, 육각 기둥형 로드 렌즈에서는 육각형이 된다.

로드 렌즈(16)를 제1 통체(20a)에 수용하였을 때에, 제1 통체(20a)의 길이 방향 단부면 중 로드 렌즈(16)의 입사면측에 위치하는 쪽의 단부면의 개구경은 로드 렌즈(16)의 외부 직경과 거의 같다.

도1에 도시된 바와 같이, 자외선 조사 장치(10)에서는 로드 렌즈(16)의 조사면을 제1 통체(20a)로부터 돌출시키고 있다. 제2 통체(20b)를 제1 통체(20a)에 부착된 상태에 있어서, 로드 렌즈(16)의 조사면의 엣지는 자유로운 상태로 유지된다. 이는 조사 영역의 외곽을 명료하게 하기 위해서이다. 제1 통체(20a)를 로드 렌즈(16)보다도 짧게 하고 싶을 경우에는, 제1 통체(20a)에 있어서 로드 렌즈(16)의 조사면측에 위치하는 쪽의 단부면의 개구경을, 로드 렌즈(16)의 외부 직경보다 길게 하면 된다.

제1 통체(20a)에 로드 렌즈(16)를 보유 지지시키는 기구의 일례는, 다음과 같다. 즉, 제1 통체(20a)의 측면에 고정용의 나사 구멍(screw hole)을 마련한다. 이 나사 구멍에 나사(screw)를 결합시켜 로드 렌즈(16)를 제1 통체(20a)의 내면에 압박한다. 이에 의해, 로드 렌즈(16)는 제1 통체(20a) 내에 보유 지지된다. 이 경우, 나사의 선단부가 로드 렌즈(16)를 손상시키지 않도록, 로드 렌즈(16)와 나사의 선단부 사이에 개재물을 설치하는 것이 바람직하다.

제1 통체(20a)와 제2 통체(20b)는 끼워 맞춤 가능한 구조를 갖고 있다. 로드 렌즈(16)를 보유 지지한 제1 통체(20a)에 렌즈군(18)을 보유 지지한 제2 통체(20b)를 끼워 맞춘다. 제1 통체(20a)와 제2 통체(20b)에는, 각각 이들을 끼워 맞춘 상태에서 연통하는 나사 구멍이 형성되어 있다. 제1 통체(20a)와 제2 통체(20b)는 이 나사 구멍에 의해 나사 고정되고, 연결 상태로 유지된다.

회전형 조리개(22)는 로드 렌즈(16)로의 입사 광량을 조정하기 위해, 주위 방향에서 개구율이 변화되는 복수의 구멍부가 형성된 조광원판(22a)을 구비하고 있다. 회전형 셔터(24)는 노광 시간의 조정을 행하기 위해 이용된다. 회전형 셔터(24)는, 예를 들어 45 ℃ 회전할 때마다 로드 렌즈(16)로의 입사/차광을 제어할 수 있도록, 소정 위치에 구멍부가 형성된 셔터 원판(24a)을 구비하고 있다. 또한, 도1에 있어서 부호 22b, 24b는 각각 스텝핑 모터(stepping motor)를 도시하고 있다.

상술한 바와 같이 구성된 자외선 조사 장치(10)에서는, 램프(12)로부터 방사되는 자외선을 포함하는 광을 타원 반사경(14)의 제2 초점(F2)에 집광시킨다. 집광된 광을 로드 렌즈(16)의 입사면에 일정 시간 입사시킨다. 이때, 필요에 따라 그 광량을 조정한다. 로드 렌즈(16)에 입사한 광은 로드 렌즈(16) 내에서 전반사를 반복하면서 긴 축 방향으로 진행하고, 조사면으로부터 조사된다. 조사된 광은 렌즈군(18)에 의해 원하는 크기로 확대하여 피조사체(28)의 일정 영역에 조사된다.

다음에, 로드 렌즈(16)의 제1 통체(20a)로의 수용 방법과, 로드 렌즈(16)로의 광의 입사 형태에 대해 설명한다. 도1에 도시한 제1 통체(20a)의 하단부 개구면[즉, 제2 통체(20b)와 끼워 맞추는 측의 개구면]으로부터, 로드 렌즈(16)의 입사면측을 선두로 하여 제1 통체(20a)에 로드 렌즈(16)를 삽입한다. 이에 의해, 로드 렌즈(16)는 제1 통체(20a)로 수용된다. 이 방법에서는, 로드 렌즈(16)의 입사면이 되는 선단부가, 제1 통체(20a)의 개구 단부면에 충돌하거나 내벽면에 접촉하거나 해도, 그 부분에 이지러짐이나 금이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 특히, 로드 렌즈(16)의 입사면의 중심부에 이르는 손상의 발생을 방지할 수 있다. 또한, 이 방법에 따르면, 로드 렌즈(16)의 조사면은 제1 통체(20a)에 접촉하는 일이 없으므로, 그 엣지는 보호된다.

도3a 내지 도3c에 로드 렌즈(16)로의 광의 입사 형태를 도시한다. 타원 반사경(14)의 형상에 따라 제2 초점(F2)은 정해진다. 자외선 조사 장치(10)의 제조 공정에 있어서는, 로드 렌즈(16)의 입사면이 이 제2 초점(F2)에 위치하도록 로드 렌즈(16)를 보유 지지한 제1 통체(20a)가 프레임(30)에 설치된다.

도3a는 로드 렌즈(16)로의 이상적인 입사 형태를 도시하고 있다. 제2 초점(F2)을 포함하는 매우 좁은 영역에 집광이 이루어져 있다. 이와 같은 형태는, (a)램프(12)의 광원이 실질적으로 점 광원인 것, (b) 그 점 광원이 타원 반사경(14)의 제1 초점(F1)에 정확하게 위치하고 있는 것, (c) 타원 반사경(14)의 형상에 왜곡이 없는 것, (d) 각 부재의 광학 설계상 매우 정확하게 배치되어 있는 것(광축에 어긋남이 없는 것)이 필요해진다. 그 실현은 반드시 용이하지는 않다.

이들 (a) 내지 (d)의 조건이 만족되지 않은 경우에는, 예를 들어 도3b에 도시한 바와 같이 로드 렌즈(16)의 입사면의 전방에서 초점이 맺혀지는 상태가 생길 수 있다. 이에 의해, 입사면에 있어서의 집광 직경이 길어진다. 또한, 타원 반사경(14)에 왜곡이 있으면, 도3c에 도시한 바와 같이 초점이 로드 렌즈(16)의 축 중심으로부터 어긋난 상태가 생길 수 있다.

종래의 자외선 조사 장치가 구비되는 로드 렌즈의 입사면에는 테이퍼부는 형성되어 있지 않다. 이와 같이 하여 로드 렌즈의 입사면에 있어서의 평면 영역을 널리 확보함으로써, 도3b 및 도3c에 도시한 입사광에 대응하고 있다. 그러나, 이러한 구성에서는 제1 통체로 로드 렌즈를 삽입할 때에 그 입사면의 엣지가 이지러지거나, 입사면의 중심부에 금이 신장되거나 하는 경우가 있다. 이 상태를 도5에 도시한다. 도5에 있어서, 부호 92는 로드 렌즈를, 부호 94는 결함 부분을 각각 나타내고 있다. 또한, 도5에서는 로드 렌즈(92)로의 광의 입사 형태로서, 도3b와 같은 형태가 도시되어 있다.

결함 부분(94)에 광이 입사되면, 거기서 난반사가 발생된다. 이 난반사는 피조사체로의 균일 조사에 악영향을 미치게 한다. 이와 같은 결함 부분(94)에 광이 입사되지 않도록 하기 위해서는 광학계를 조정함으로써, 입사 영역을 매우 좁게 할 필요가 있다. 이와 같은 조정은 곤란하다. 로드 렌즈가 가는 경우, 결과적으로 그 로드 렌즈는 사용할 수 없게 된다.

이에 대해, 로드 렌즈(16)에서는 테이퍼부(16a)에 입사광이 맞닿으면 그 부분에서 반사가 일어난다. 이 반사광이 자외선 조사 장치(10) 내에서 이상한 반사를 반복한 경우, 피조사체(28)의 조사면에 이상한 광선 흔적을 남기는 우려가 있다. 이 문제를 회피하기 위해, 테이퍼부(16a)의 내측의 영역 내, 즉 입사면에 있어서 테이퍼 처리가 실시되어 있지 않은 평면 영역(S) 내에, 타원 반사경(14)에 의해 집광된 광을 입사시킨다.

로드 렌즈(16)의 평면 영역(S)은 테이퍼부(16a)가 형성되어 있기 때문에, 로드 렌즈(16)의 긴 축에 수직인 단면의 면적보다도 좁다. 그러나, 로드 렌즈(16)를 제1 통체(20a)에 삽입할 때에 로드 렌즈(16)에 이지러짐이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 종래의 자외선 조사 장치의 제조 공정에 있어서 발생하는 리스크는 앞서 설명하였다. 로드 렌즈(16)를 이용함으로써, 이 리스크를 회피할 수 있다.

로드 렌즈(16)를 제1 통체(20a)에 삽입할 때에 로드 렌즈(16)의 입사면에 이지러짐이나 금이 발생하지 않는 한에 있어서, 평면 영역(S)이 가능한 한 넓게 확보되도록 테이퍼부(16a)를 마련하는 것이 바람직하다. 이 점은 상기 설명으로부터 명백하다.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명하였지만, 본 발명은 이와 같은 형태 로 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 램프(12)로서 롱 아크(Long-arc) 램프를 이용하였을 경우에는, 쇼트 아크 램프를 이용하였을 경우와 비교하면, 타원 반사경(14)의 제2 초점(F2)에서의 집광 영역은 넓어진다. 그러나, 상술한 바와 같이 로드 렌즈(16)의 입사면의 평면 영역(S)에 광을 입사시킬 수 있는 한에 있어서, 롱 아크 램프를 이용할 수 있다.

또한, 로드 렌즈(16)의 입사면에 형성되는 테이퍼부는, 도2에 도시한 바와 같이 곡률을 갖는 매끄러운 곡면인 것이 바람직하다. 그러나, 이와 같은 가공은 반드시 용이하지 않는 경우가 있다.

도4a 및 도4b에 로드 렌즈에 형성하는 테이퍼부의 다른 형태를 사시도로 도시한다. 도4a에 도시된 원기둥형의 로드 렌즈(32)에 형성된 테이퍼부(32a)는 긴 축 방향에 대해 일정 각도 경사져 있다. 각도가 다른 경사면을 조합함으로써, 테이퍼부(32a)를 도2에 도시한 바와 같은 일정한 곡률을 갖는 테이퍼부(16a)에 닮은 형태로 근접할 수 있다. 도4b에 도시된 육각 기둥형의 로드 렌즈(34)에는 입사면에 있어서의 평면 영역(S)의 형상이 원형으로 되도록 테이퍼부(34a)가 형성되어 있다. 이와 같이, 로드 렌즈의 입사면의 엣지에 실시하는 테이퍼 처리는 그 변에 따라 형성해야만 하는 것은 아니다. 도4a 및 도4b에 각각 도시한 테이퍼부(32a, 32b)는 원통 연삭 가공에 의해 용이하게 형성할 수 있다.

본 발명의 자외선 조사 장치에 있어서는 로드 렌즈의 입사면의 엣지 부분에 소정의 테이퍼가 마련되어 있다. 그리고, 이 테이퍼 부분의 내측의 평면 영역에 광을 입사시킨다. 이와 같은 구조에 의해, 로드 렌즈를 통체에 장착할 때에, 로드 렌즈의 입사면의 중심부에 이르는 손상의 발생을 회피할 수 있다. 이에 의해, 로드 렌즈의 입사면에 있어서의 입사광의 난반사를 방지할 수 있다. 그 결과, 광의 조사 영역에 이상한 광선 흔적이 발생되지 않도록 할 수 있다. 또한, 로드 렌즈의 조사면의 엣지에 손상을 부여하는 일 없이, 각이 진 형상을 유지할 수 있으므로, 조사 영역의 외곽이 명료해진다. 이와 같이 하여, 예를 들어 자외선 경화성 수지에 자외선 조사를 행한 경우에는 조사 영역에 있어서 균일한 경화 상태를 얻을 수 있다.

Claims

자외선을 포함하는 광을 방사하는 램프와,

상기 램프로부터 방사되는 광을 집광하는 타원 반사경과,

기둥형 형상을 갖고 긴 축 방향의 일단부가 광의 입사면이고 타단부가 광의 조사면인 로드 렌즈와,

상기 로드 렌즈를 수용하는 통체를 갖고,

상기 램프의 광원은 상기 타원 반사경의 제1 초점에 위치하고, 상기 램프로부터 방사되는 광은 상기 타원 반사경의 제2 초점에 집광되고, 상기 로드 렌즈의 입사면은 상기 타원 반사경의 제2 초점에 위치하고 있는 자외선 조사 장치이며,

상기 로드 렌즈의 입사면의 엣지는 테이퍼부를 구비하고 있고, 이 테이퍼부를 제외하는 상기 입사면의 평면 영역에 상기 타원 반사경에 의해 집광된 광이 입사하는 것을 특징으로 하는 자외선 조사 장치.
제1항에 있어서, 상기 로드 렌즈의 조사면의 엣지는 각이 진 것을 특징으로 하는 자외선 조사 장치.
제1항에 있어서, 상기 램프는 점 광원형 방전 램프인 것을 특징으로 하는 자외선 조사 장치.
제2항에 있어서, 상기 램프는 점 광원형 방전 램프인 것을 특징으로 하는 자외선 조사 장치.