KR20070042022A - 기판 세정 장치와 이에 마련되는 반송로봇 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 기판 세정 장치의 기판을 이송하는 반송로봇으로서,세정 장치 내에 이동가능하게 설치되고, 일측에 로봇암이 연결되는 이송유닛과,상부에 롤러가 회전가능하게 설치되고 상기 이송유닛에 탄성지지 되는 다수개의 롤러지지부와,상기 이송유닛을 둘러싸도록 상기 롤러를 따라 걸려 배치된 와이어와,상기 롤러지지부의 가압 여부를 감지하는 롤러센서부와,상기 롤러센서부에서 가압 여부를 감지하면 상기 이송유닛의 이동을 정지시키는 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇.
- 청구항 1에 있어서,상기 롤러지지부는상기 이송유닛에 일측이 고정되고 타측으로 연결바가 연장형성되는 고정바디와,상부에 상기 롤러가 자유구동가능하게 설치되고, 그 내측으로 상기 연결바가 삽입되는 안착홈이 형성되는 이동바디와,상기 연결바에 끼워져 안착홈 내에 위치되어 고정바디와 이동바디 사이에 탄성력을 제공하는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇.
- 청구항 2에 있어서,상기 이동바디의 내측에는 상기 연결바의 직경과 대응되는 연결바삽입홈이 안착홈의 연장선상에 형성되는 것을 특징으로 하는 반송로봇.
- 청구항 2에 있어서,상기 이동바디의 일측에는 가이드홈이 연장 형성되고,상기 이송유닛에는 상기 가이드홈을 안내하는 안내돌기가 상기 가이드홈에 대응되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 반송로봇.
- 청구항 1에 있어서,상기 롤러센서부는 광센서 또는 접촉센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇.
- 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 청구항에 있어서,상기 와이어의 적어도 일단에는 와이어 장력을 감지하는 장력센서를 더 포함하고,상기 제어기는 상기 장력센서가 소정 장력을 받으면 상기 이송유닛의 이동을 정지시키는 것을 특징으로 하는 반송로봇.
- 기판을 세정하는 기판 세정 장치에 있어서,카세트로 기판을 로딩 및 언로딩하는 로딩부 및 언로딩부와,기판을 이송하기 위해 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 청구항에 따른 반송로봇이 마련되는 기판이송부와,기판을 세정하기 위한 다수개의 세정조가 마련된 처리실을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
- 청구항 7에 있어서,상기 와이어의 적어도 일단에는 와이어 장력을 감지하는 장력센서를 더 포함하고,상기 제어기는 상기 장력센서가 소정 장력을 받으면 상기 이송유닛의 이동을 정지시키는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
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ID=38177060
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Cited By (2)
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KR101315865B1 (ko) * | 2012-01-20 | 2013-10-10 | 주식회사 이코니 | 에칭 대상물의 이동장치 |
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JPH11309408A (ja) | 1998-04-30 | 1999-11-09 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理システム |
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2005
- 2005-10-17 KR KR1020050097767A patent/KR101132020B1/ko active IP Right Grant
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Publication number | Publication date |
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KR101132020B1 (ko) | 2012-04-02 |
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