KR101132020B1 - 기판 세정 장치와 이에 마련되는 반송로봇 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 세정 장치와 이에 마련되는 반송로봇에 관한 것으로서, 세정 장치 내에 이동가능하게 설치되는 이송유닛과, 상부에 롤러가 회전가능하게 설치되고 상기 이송유닛에 탄성지지 되는 다수개의 롤러지지부와, 상기 이송유닛을 둘러싸도록 상기 롤러를 따라 걸려 배치된 와이어와, 상기 롤러지지부의 가압 여부를 감지하는 롤러센서부와, 상기 롤러센서부에서 가압 여부를 감지하면 상기 이송유닛의 이동을 정지시키는 제어기를 포함하는 반송로봇과, 상기 반송로봇이 마련되는 기판 세정 장치로 구성된다. 이에 따라, 반송로봇의 이동중에 작업자의 실수로 롤러에 부딪히는 경우 롤러를 지지하는 롤러지지부의 탄성 지지에 의해 작업자의 상해를 방지하여 안전사고를 예방할 수 있는 특징이 있다.
와이어, 장력센서, 탄성부재

Description

기판 세정 장치와 이에 마련되는 반송로봇{WAFER TRANSFER ROBOT AND WAFER CLEANING APPARATUS HAVING THE SAME }
도 1a 및 도 1b는 종래기술에 따른 반송로봇을 도시한 부분 사시도 및 측면도.
도 2는 본 발명에 따른 반송로봇이 마련된 기판 세정 장치를 도시한 평면도.
도 3a 및 3b는 본 발명의 따른 반송로봇의 측면도 및 작동 상태도.
도 4a 및 도 4b는 도 3a의 "A" 부분을 롤러지지부를 도시한 분해 사시도 및 측면도.
도 5는 본 발명의 따른 반송로봇의 작동 정지 블록도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호설명>
100...반송로봇 110...헤드부
120...지지대 130...롤러
140...롤러지지부 150...와이어
200...기판이송부 300...로딩부
400...언로딩부 500...처리실
본 발명은 기판 세정 장치와 이에 마련되는 반송로봇에 관한 것으로서, 접촉 감지 와이어를 지지하는 롤러를 롤러지지부가 탄성 지지하여 롤러에 작업자가 충돌시 발생되는 상해를 방지하는 기판 세정 장치와 이에 마련되는 반송로봇에 관한 것이다.
최근에 이르러 반도체 칩 상에 형성되는 패턴의 크기가 작아지고, 패턴들 간의 간격도 점점 좁아지는 추세에 있다. 따라서 반도체 기판의 증착 및 식각 공정시 미세한 파티클 또는 오염 물질들이 발생하기만 하여도 기판에 심각한 불량이 발생함은 물론, 이로 인해 제품 신뢰성이 저하될 수 있다. 제품 특성에 영향을 줄 수 있는 오염 물질로는 파티클, 유기 오염물, 금속 오염물 그리고 자연 산화막 등을 들 수 있다. 이러한 오염 물질을 제거하기 위해 기판은 각각의 오염 물질에 효과적인 세정 용액을 이용하여 세정 처리된다.
반도체 기판을 세정하는 공정으로는 기체를 이용하는 건식 세정(dry cleaning)과 세정액을 사용하는 습식 세정(wet cleaning)으로 나눌 수 있으나, 현재 가장 신뢰성이 있으면서도 주로 사용하는 공정은 습식 세정 공정이다.
습식 세정은 전해수 또는 불산 등의 용액을 사용하여 기판상에 잔존하는 다양한 오염 물질 중에서 구리와 같은 금속오염물질 또는 자연산화막과 같은 오염물질을 제거하기 위한 화학 용액 처리 공정, 탈이온수로 세척하는 린스공정, 그리고 린스 공정후 건조하는 건조공정으로 나눌 수 있다.
이를 위한 종래의 습식 세정 장치는 반도체 기판의 제조공정에서 고순도, 고농도의 화공약품이 담긴 다수개의 조내에 기판을 침지시켜 세정한다. 상기 기판을 다수개의 처리조에 차례로 침지시키기 위해서는 상기 기판을 처리조 사이에서 이송시켜야 하고 이를 위하여 반송로봇이 사용된다. 상기 반송로봇에는 이송시 외부의 물리적인 힘이 가해지는 경우 이를 감지하여 반송로봇의 이송이 정지되는 구성을 갖는다. 즉, 반송로봇의 이동 경로상에 작업자의 신체 일부가 위치하게 되는 경우, 이동중인 반송로봇은 이를 감지하여 정지하여야 한다.
도 1a 및 도 1b에서 도시된 바와 같이, 종래의 반송로봇(10)에는 기판 세정 장치 내에 이송시 외부의 물리적인 힘이 가해지는 경우 이를 감지하여 반송로봇(10)의 이송을 정지시키는 와이어(15)가 마련된다.
예컨데, 반송로봇(10)은 기판 세정 장치 내의 이송 가능한 지지대(12)와 그의 상부에 마련된 헤드부(11)를 포함하고, 상기 헤드부(11)의 일측에는 기판을 파지하기 위한 (도시되지 않은) 로봇암이 연결된다. 상기 헤드부(11)에는 다수의 롤러(13)가 상기 헤드부(11)의 둘레를 소정 간격 이격되어 일체로 형성된다. 또한, 상기 헤드부(11)에는 일단 또는 양단이 장력센서와 연결되어 외부로부터의 물리적인 힘을 감지하는 와이어(15)가 상기 롤러(13)를 따라 그에 의해 지지되도록 설치된다. 즉, 기판 세정 장치 내에서 이동시, 작업자의 조작 미숙이나 예기치 못한 상황의 발생으로 와이어(15)에 신체의 일부가 접촉되거나 물리적인 힘이 가해질 수 있는데, 이 경우 와이어(15)에 인장력이 감지되면, 제어기는 반송로봇(10)을 정지 시킨다.
그러나, 이와 같은 구성의 반송로봇(10)에서, 상기 와이어(15)를 지지하는 롤러(13) 부위에 신체의 일부가 접촉하거나 물리적인 힘이 가해지면 반송로봇(10)이 정지하지 않고 계속적으로 동작한다. 이로 인해 롤러(13) 부위가 머리나 기타 신체 일부를 밀게되면 대형 안전사고로 이어질 수 있는 문제가 있었다.
본 발명의 목적은 전술된 종래기술의 문제점을 해결 하기 위한 것으로서, 반송로봇의 이동중에 작업자가 와이어를 지지하는 롤러에 충돌시 발생되는 상해를 방지하는 기판 세정 장치와 이에 마련되는 반송로봇을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 기판 세정 장치의 기판을 이송하는 반송로봇으로서, 세정 장치 내에 이동가능하게 설치되고 일측에 로봇암이 연결되는 이송유닛과, 상부에 롤러가 회전가능하게 설치되고 상기 이송유닛에 탄성지지 되는 다수개의 롤러지지부와, 상기 이송유닛을 둘러싸도록 상기 롤러를 따라 걸려 배치된 와이어와, 상기 롤러지지부의 가압 여부를 감지하는 롤러센서부와, 상기 롤러센서부에서 가압 여부를 감지하면 상기 이송유닛의 이동을 정지시키는 제어기를 포함한다.
이때, 상기 롤러지지부는 상기 이송유닛에 일측이 고정되고 타측으로 연결바 가 연장형성되는 고정바디와, 상부에 상기 롤러가 자유구동가능하게 설치되고, 그 내측으로 상기 연결바가 삽입되는 안착홈이 형성되는 이동바디와, 상기 연결바에 끼워져 안착홈 내에 위치되어 고정바디와 이동바디 사이에 탄성력을 제공하는 탄성부재가 마련될 수 있다.
또한, 상기 이동바디의 내측에는 상기 연결바의 직경과 대응되는 연결바삽입홈이 안착홈의 연장선상에 형성될 수 있다. 상기 롤러센서부는 광센서 또는 접촉센서로 구성될 수 있다. 상기 와이어의 적어도 일단에는 와이어 장력을 감지하는 장력센서를 더 포함하고, 상기 제어기는 상기 장력센서가 소정 장력을 받으면 상기 이송유닛의 이동을 정지시키도록 구성될 수 있다.
본 발명은 기판을 세정하는 기판 세정 장치에 있어서, 카세트로 기판을 로딩 및 언로딩하는 로딩부 및 언로딩부와, 기판을 이송하기 위해 롤러지지부를 통하여 이송유닛에 탄발가능하게 설치되는 다수개의 롤러를 포함하는 반송로봇이 마련되는 기판이송부와, 기판을 세정하기 위한 다수개의 세정조가 마련된 처리실을 포함한다.
이때, 상기 와이어의 적어도 일단에는 와이어 장력을 감지하는 장력센서를 더 포함하고, 상기 제어기는 상기 장력센서가 소정 장력을 받으면 상기 이송유닛의 이동을 정지시킬 수 있다.
첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 세정 장치의 평면도를 나타낸 도면이다.
도 2에서 도시된 바와 같이, 본 발명은 로딩부(300)와, 반송로봇을 포함하는 기판이송부(200)와, 상기 기판을 세정하기 위한 처리실(500)과, 기판을 건조하기 위한 건조실(600)과, 상기 처리실(500)에서 세정된 기판을 카세트(700)에 이동시키는 언로딩부(400)로 구성된다.
구체적으로, 상기 로딩부(300)는 기판 세정 장치의 일측에 배치된다. 상기 로딩부(300)에는 기판 카세트(700)가 놓여지는 로더(310)가 설치된다. 상기 로더(310)는 도시되지 않은 구동수단에 의해 승강이 가능한 구성으로 카세트(700)를 세정 장치의 선반 상에 위치시킨다.
상기 기판이송부(200)는 상기 카세트(700)로부터 기판을 파지하여 기판 이송 장치 내에 마련된 이송레일(210)을 따라 이동가능하게 설치된다. 상기 이송레일(210)은 처리실(500), 건조실(600), 언로딩부(400)에 인접하게 설치된다. 상기 기판이송부(200)는 상기 이송레일(210)을 따라 소정 거리 이동 가능한 다수개의 반송로봇(100)을 포함한다. 상기 반송로봇(100)에는 기판을 파지하는 로봇암(190)이 구비되고, 이동중 외부의 충격을 감지하는 와이어(150)가 롤러(130)에 의해 지지되어 설치된다. 이때, 상기 롤러(130)는 롤러지지부(140)를 통해 탄성 지지가능하게 설치되어 작업자의 접촉시 발생되는 상해를 방지한다. 이에 대한 세부적 내용에 대해서는 후술한다.
상기 기판이송부(200)는 기판을 세정하기 위한 처리실(500)에 인접하게 설치된다. 상기 처리실(500)은 기판을 수직한 상태로 수납가능한 세정조(510)와 린스조 (520)가 마련된다. 각각의 세정조(510)와 린스조(520)는 상기 기판이송부(200)의 진행방향으로 교대로 배치된다. 세정액이 충진되는 상기 세정조(510)는 침지되는 기판의 오염 물질을 세정하고, 상기 린스조(520)는 상기 세정조(510)에 의해 세정된 기판을 순수로 린스한다. 상기 세정조(510)에 충진되는 세정액으로는 황산-과산화수소의 혼합액, 과산화수소의 세정액, 황산 세정액 등의 등이 사용될 수 있다. 상기 처리실(500)에서는 이러한 세정과 린스 공정을 하나의 사이클로 하여 반복될 수 있고, 각각의 세정과 린스에 필요한 세정조(510)와 린스조(520) 또한 다수개 설치될 수 있다.
상기 처리실(500)을 거쳐 세정과 린스가 이루어진 기판은 건조실(600)을 통해 건조된다. 상기 건조실(600)에는 상기 처리실(500)에서 세정 및 린스 공정을 마친 기판을 건조하기 위한 건조장치(610)가 설치된다.
기판 세정 장치의 타측에는 상기 처리실(500) 및 건조실(600)에서 세정된 기판이 카세트(700)에 얹어지도록 언로딩부(400)가 설치된다. 상기 언로딩부(400)에는 승강이 가능한 언로더(410)가 설치된다. 상기 언로더(410)는 카세트(700)에 세정 처리된 기판이 삽입될 수 있게 한다.
이하, 상기 기판 세정 장치에 마련되는 반송로봇에 대해 자세히 설명한다.
도 3a 및 3b는 반송로봇의 측면도 및 작동 상태도를 나타낸 도면이고, 도 4a 및 도 4b는 도 3a의 "A" 부분에 대한 결합 사시도 및 측면도를 나타낸 도면이고, 도 5는 반송로봇의 제어기에 의한 작동 정지 블록도를 나타낸 도면이다.
도 3a 내지 도5에서 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반송로봇(100)은
세정 장치 내에 이동가능하게 설치되고, 일측에 로봇암이 연결되는 이송유닛(160)과, 상기 이송유닛(160)에 탄성 지지되도록 연결되는 다수개의 롤러(130)와, 상기 다수개의 롤러(130)에 감겨 배치되는 와이어(150)와, 상기 롤러(130)의 가압여부를 감지하는 롤러센서부(180)와, 상기 롤러센서부에 의해 지지대(120)의 이동을 정지시키는 제어기(170)로 구성된다.
상기 이송유닛(160)은 지지대(120)세정 장치 내에 이동가능하게 설치되는 지지대(120)와, 상기 지지대(120)에 지지되고 일측에 로봇암이 연결되는 헤드부(110)로 구성되는데, 상기 헤드부(110)는 저부에 마련된 지지대(120)에 의해 지지되고, 상기 지지대(120)는 기판 세정 장치에 마련된 이송레일(210)을 따라 이동가능하게 설치된다. 상기 헤드부(110)의 일측에는 기판을 파지하여 이동가능한 로봇암(190)이 회동가능하게 마련된다. 상기 헤드부(110)의 외주연에는 와이어(150)가 감겨 배치되는 롤러(130)가 다수개 설치된다.
이때, 상기 와이어(150)는 지지대(120)와 헤드부(110)를 둘러싸도록 양단부가 지지대(120)의 하부에 연결되고, 롤러(130)에 의해 팽팽하게 인장된 상태로 유지된다. 상기 와이어(150)의 단부 중에서 적어도 어느 하나에는 외부로부터의 와이어(150) 접촉여부를 감지할 수 있는 센서가 설치된다. 예를 들어 상기 센서로는 상기 와이어(150)의 장력을 감지할 수 있는 장력센서(190)가 사용될 수 있다. 상기 장력센서(190)는 제어기(170)와 전기적으로 연결된다. 상기 제어기(170)는 상기 장력센서(190)로부터 와이어(150)에 대한 소정 압력의 장력 변화가 인지되면 상기 반 송로봇(100)의 이동이 정지되도록 설계된다.
상기 롤러지지부(140)는 상기 헤드부(110)에 탄성 지지되도록 설치되는데, 그의 상부에는 롤러(130)가 회전가능하게 설치된다. 이러한 롤러지지부(140) 및 롤러(130)는 상기 헤드부(110)의 둘레에 일정 간격을 유지하며 다수개 배치된다. 상기 롤러(130)는 와이어(150)를 통한 외부 접촉을 방해하지 않을 정도의 최소한의 개수로 구성되는 것이 바람직하다.
상기 롤러지지부(140)는 상기 헤드부(110)에 고정되는 고정바디(142)와 상기 고정바디(142)에 안착 가능하게 연결되는 이동바디(147) 및 상기 고정바디(142)와 이동바디(147) 사이에 마련되는 탄성부재(145)를 포함한다.
상기 고정바디(142)는 일측이 상기 헤드부(110)에 고정되고, 타측으로 상기 이동바디(147)에 안착되는 연결바(141)가 연장형성된다. 상기 연결바(141)에는 탄성부재(145)가 끼워 고정된다.
상기 이동바디(147)는 상부에 와이어(150)를 지지하는 롤러(130)가 자유회전가능하게 설치되고, 상기 연결바(141)가 삽입되어 안착가능한 안착홈(143)이 내측에 마련된다. 상기 이동바디(147)의 내측에는 상기 안착홈(143)의 연장선상에 상기 연결바(141)의 직경과 대응되는 연결바삽입홈(144)이 형성될 수 있다. 이는 상기 이동바디(147)의 탄발시 탄성부재(145)가 상기 안착홈(143)의 바닥면에 걸려 지지되고, 연결바(141)의 단부는 상기 연결바삽입홈(144)에 진입함으로써 탄발이 용이하게 이루어지도록 하기 위함이다. 이에 반해, 상기 연결바(141)는 해당 연장길이를 짧게 구성하여 탄성부재(145)의 내측으로 형성된 여유공간을 통해 탄발이 가능 하도록 구성함으로써 상기 연결바삽입홈(144)의 생략이 가능하다.
삭제
상기 이동바디(147)의 일측과 이에 대응되는 상기 헤드부(110)에는 상기 이동바디(147)의 이동을 감지하기 위한 광센서 또는 접촉센서와 같은 롤러센서부(180)가 마련된다. 예를 들어 상기 이동바디(147)에는 돌기(148)가 측면에 형성되고, 상기 헤드부(110)에는 발광부 및 수광부로 이루어진 광센서가 상기 돌기(148)의 아래에 인접하게 마련될 수 있다.
상기 롤러(130)의 가압에 의해 이동바디(147)가 하향 이동하면 상기 이동바디(147)의 돌기가 광센서의 광경로를 차단하게되어 광센서는 이동바디(147)의 이동을 감지하게 되고 제어기(170)에 감지신호를 전송한다. 상기 제어기(170)에서는 상기 롤러센서부(180)로부터 감지신호를 수신하여 지지대(120)의 이동을 정지시킨다.
이와 달리, 상기 광센서 대신 접촉센서가 마련되어 상기 돌기와 접촉센서의 접촉 유무에 따라 제어기(170)에 상기 감지신호를 전송할 수도 있다.
여기서, 상기 롤러지지부(140)는 해당 단부가 상기 헤드부(110)에서 탄발가능하게 소정 부분 돌출되도록 설치된다. 즉, 고정바디(142)가 상기 헤드부(110)의 내측에 삽입되어 고정설치되되, 이동바디(147)가 탄성부재(145)를 개재하여 상기 고정바디(142)에 안착됨으로써, 이동바디(147)의 단부가 상기 헤드부(110)에서 소정부분 돌출되도록 구성된다.
이하, 상기 반송로봇(100)이 마련된 기판 이송 장치의 작동 과정을 설명한다.
기판 세정 장치 내로 로딩부(300)에 의해 카세트(700)가 로딩되면, 제1반송로봇(100a)은 상기 로딩부(300)에 인접하게 이송레일(210)을 따라 수평이동한다.
상기 제1반송로봇(100a)은 로봇암(190)을 이용하여 상기 카세트(700)로부터 기판을 파지한 후 빼낸다. 상기 제1반송로봇(100a)은 상기 기판을 파지한 상태로 상기 처리실(500)의 첫번째 세정조(510a)의 상부 위치까지 이송레일(210)을 통해 이동한다. 상기 제1반송로봇(100)은 하강하여 이송된 기판을 처리실(500) 내의 세정조(510a)에 침지시킨 후 기판을 놓고 상승한다. 상기 세정조(510)에 침지된 기판은 세정후 상기 제1반송로봇에 의해 린스조(520a)에서 순수에 의한 린스공정을 거치게 된다. 상기 제1반송로봇(100a)은 다시 로딩부(300)와 인접한 위치로 이동하여 상기의 과정을 반복한다.
상기 제1반송로봇(100a)과 소정간격 이격되어 나란하게 배치된 제2반송로봇(100b)은 이송레일(210)을 통해 첫번째 린스조(520a)와 인접하게 이동한다. 상기 제2반송로봇(100b)은 첫번째 린스조(520a)에 침지된 기판을 로봇암(190)을 통해 두번째 세정조(510b)가 마련된 위치로 이동한다. 상기 제2반송로봇(100)에 의해 두번째 세정조(510b)에 침지된 기판은 세정조(510b)에서 세정후 린스조(520b)에서 린스공정을 거치게 된다. 상기 제2반송로봇(100)은 다시 첫번째 세정조(510b)와 린스조(520b)가 마련된 위치로 이동하여 앞서 설명한 과정을 반복한다.
이와 같이 상기 기판은 세정조(510a~510c)와 린스조(520a~520c)에서 세정과 린스 과정을 반복하며 반송로봇(100a~100e)에 의해 기판 세정 장치내에서 이송된다.
이와 같은 반송로봇(100)의 이동 중에 작업자 또는 외부의 물리적인 힘에 의해 와이어(150)에 인장력이 발생되면, 상기 와이어(150)에 연결된 장력센서(190)가 이를 감지한다. 상기 장력센서(190)에 의해 감지된 감지신호는 제어기(170)에 전달되고, 상기 제어기(170)에 의해 상기 반송로봇(100)의 이동은 정지된다. 뿐만 아니라, 상기 와이어(150)를 지지하는 롤러(130)에 물리적인 힘이 발생한 경우에도 상기 롤러(130)를 지지하는 롤러지지부(140)의 탄발에 의해 그 충격이 완충되면서 롤러센서부(180)에 의해 감지된 감지신호가 제어기(170)에 전달되고, 상기 제어기(170)에 의해 반송로봇(100)의 이동은 정지된다. 이를 통해 반송로봇(100)의 이송중에 발생될 수 있는 안전사고를 방지하여 작업자의 작업 안전성 확보가 가능하다.
상기의 세정과 린스 과정을 마친 기판은 건조실(600)로 이동된다. 상기 건조실(600)에서는 건조장치(610)에 의해 세정을 마친 기판은 건조된다. 건조된 기판은 카세트(700)에 옮겨 지고, 언로딩부(400)에 의해 외부로 반출된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 작업자의 신체 일부가 반송로봇(100)의 롤러(130)에 접촉시, 롤러(130)에 마련된 탄성부재(145)의 탄성압축에 의해 충격이 완충되면서 동작중인 반송로봇(100)은 인터록이 걸려 정지하게 된다. 이를 통해 작업중 작업자와 반송로봇의 충돌시 발생되는 상해를 방지할 수 있다.
본 발명은 특정한 실시예에 관련하여 도시하고 설명 하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 제공되는 본 발명의 정신이나 분야를 벗어나지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개량 및 변화 될 수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진자는 용이하게 알 수 있음을 밝혀 두고자 한다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 의하면, 기판의 이송을 위해 반송로봇의 작동중 작업자가 와이어를 지지하는 롤러에 충돌하는 경우 롤러가 충격을 완충하고, 반송로봇은 정지되는 안전시스템을 구축하여 작업자의 상해를 방지하고 안전사고를 미연에 방지할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 반송로봇의 이송시 외부로부터 가해지는 물리적인 힘의 감지시 반송로봇 작동의 중지를 통해 제품 안전성과 신뢰성을 확보할 수 있다.

Claims (8)

  1. 기판 세정 장치의 기판을 이송하는 반송로봇으로서,
    세정 장치 내에 이동가능하게 설치되고, 일측에 로봇암이 연결되는 이송유닛과,
    상부에 롤러가 회전가능하게 설치되고 상기 이송유닛에 탄성지지 되는 다수개의 롤러지지부와,
    상기 이송유닛을 둘러싸도록 상기 롤러를 따라 걸려 배치된 와이어와,
    상기 롤러지지부의 가압 여부를 감지하는 롤러센서부와,
    상기 롤러센서부에서 가압 여부를 감지하면 상기 이송유닛의 이동을 정지시키는 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 롤러지지부는,
    상기 이송유닛에 일측이 고정되고 타측으로 연결바가 연장형성되는 고정바디와,
    상부에 상기 롤러가 자유구동가능하게 설치되고, 그 내측으로 상기 연결바가 삽입되는 안착홈이 형성되는 이동바디와,
    상기 연결바에 끼워져 안착홈 내에 위치되어 고정바디와 이동바디 사이에 탄성력을 제공하는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 이동바디의 내측에는 상기 연결바의 직경과 대응되는 연결바삽입홈이 안착홈의 연장선상에 형성되는 것을 특징으로 하는 반송로봇.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 롤러센서부는 광센서 또는 접촉센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 와이어의 적어도 일단에는 와이어 장력을 감지하는 장력센서를 더 포함하고,
    상기 제어기는 상기 장력센서가 소정 장력을 받으면 상기 이송유닛의 이동을 정지시키는 것을 특징으로 하는 반송로봇.
  7. 기판을 세정하는 기판 세정 장치에 있어서,
    카세트로 기판을 로딩 및 언로딩하는 로딩부 및 언로딩부와,
    기판을 이송하기 위해 제1항에 따른 반송로봇이 마련되는 기판이송부와,
    기판을 세정하기 위한 다수개의 세정조가 마련된 처리실을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 와이어의 적어도 일단에는 와이어 장력을 감지하는 장력센서를 더 포함하고,
    상기 제어기는 상기 장력센서가 소정 장력을 받으면 상기 이송유닛의 이동을 정지시키는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
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