KR101005888B1 - 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법 - Google Patents

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Abstract

작업자의 안전을 확보하는 기판 처리 장치를 개시한다. 기판 처리 장치는 복수의 층으로 이루어져 기판을 세정, 린스 및 건조하고, 하층에 배치되어 투입되는 기판을 이송하는 제1 롤러 컨베이어, 기판에 대한 세정 공정을 수행하는 세정 처리부, 세정된 기판에 대한 린스 공정을 수행하는 린스 처리부, 린스된 기판에 대한 건조 공정을 수행하는 건조 처리부, 상층에 배치되어 건조된 기판을 배출하는 제2 롤러 컨베이어 및 하층과 상층을 연결하고, 건조 처리부로부터 건조된 기판을 공급받아 제2 컨베이어로 전달하는 인터페이스부를 구비한다. 인터페이스부는 기판을 이송하는 제3 롤러 컨베이어, 제3 롤러 컨베이어가 설치되는 스테이션, 스테이션을 상하로 이동시키는 승강 부재, 스테이션과 승강 부재가 수납하며, 스테이션의 이동 공간을 제공하는 하우징 및 인터페이스부에 설치되어 하우징 내부의 사물을 감지하는 포토 센서부를 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법{APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE AND METHOD OF TRANSFERRING SUBSTRATE USING THE SAME}
본 발명은 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 작업자의 안전을 확보하는 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼를 집적 회로로 제조할 때 제조 공정 중에 발생하는 잔류 물질, 파티클, 오염물 등을 제거하기 위하여 반도체 웨이퍼를 세정하는 세정 공정이 필요하다. 특히, 고집적화된 집적 회로를 제조할 때는 반도체 웨이퍼의 표면에 부착된 미세한 오염물을 제거하는 세정 공정이 더욱 중요시된다.
반도체 웨이퍼의 세정 공정은 화학 용액 처리 공정(약액 처리 공정), 린스 공정, 그리고 건조 공정으로 나눌 수 있다. 화학 용액 처리 공정은 반도체 웨이퍼 상의 오염 물질을 화학적 반응에 의해 식각 또는 박리시키는 공정이며, 린스 공정은 화학 용액 처리된 반도체 웨이퍼를 순수로 세척하는 공정이며, 건조 공정은 린스 처리된 반도체 웨이퍼를 건조하는 공정이다. 상술한 공정을 진행하기 위하여 다양한 처리부들이 사용된다. 예컨대, 웨이퍼 상의 유기물과 무기물 및 기타 오염 물 질을 제거하기 위한 혼합 용액으로 세정 공정이 수행되는 처리부, 린스 공정이 수행되는 처리부, 건조 공정이 수행되는 처리부 등이 있다.
종래의 세정 장치는 복층 구조로 이루어지며, 상층과 하층에 각각 컨베이어가 설치되어 기판을 이송한다. 하층에서는 상술한 처리부들이 일렬로 배열되어 로딩 후 이송되는 기판에 세정 공정, 린스 공정 및 건조 공정을 차례대로 수행한다. 상층에서는 건조 공정을 마친 기판을 이송하여 언로딩한다. 상층과 하층의 일측에는 상하로 이동하는 리프트 컨베이어가 설치되어 하층에서 건조된 기판을 상층으로 이송한다. 여기서, 리프트 컨베이어가 설치된 인터페이스부에는 리프트 컨베이어를 점검할 수 있도록 출입이 가능한 도어가 설치된다.
도어에는 리프트 컨베이어의 작동 중 작업자가 출입하는 것을 방지하기 위해 개폐 센서가 설치된다. 개폐 센서는 리프트 컨베이어의 작동시 도어 열림 인터락(inter-lock)을 작동시킨다. 세정 작업 중 리프트 컨베이어에서 작동 이상이 발생하여 도어 열림 인터락을 해제하고 작업자가 작업을 진행할 경우, 다른 작업자의 실수로 인해 리프트 컨베이어가 내려와 작업자가 다치는 사고가 발생할 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 장치 내부에 작업자가 있을 때 작업자의 안정을 확보할 수 있는 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법를 제공하는 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는 복층 구조로 이루어져 기판을 세정, 린스 및 건조하고, 하층에 배치되어 투입되는 기판을 이송하는 제1 롤러 컨베이어, 상기 기판에 대한 세정 공정을 수행하는 세정 처리부, 상기 세정된 기판에 대한 린스 공정을 수행하는 린스 처리부, 상기 린스된 기판에 대한 건조 공정을 수행하는 건조 처리부, 상층에 배치되어 상기 건조된 기판을 배출하는 제2 롤러 컨베이어 및 상기 하층과 상층을 연결하고, 상기 건조 처리부로부터 상기 건조된 기판을 공급받아 상기 제2 컨베이어로 전달하는 인터페이스부를 구비한다. 상기 인터페이스부는 상기 기판을 이송하는 제3 롤러 컨베이어, 상기 제3 롤러 컨베이어가 설치되는 스테이션, 상기 스테이션을 상하로 이동시키는 승강 부재, 상기 스테이션과 상기 승강 부재가 수납하며, 상기 스테이션의 이동 공간을 제공하는 하우징 및 상기 인터페이스부에 설치되어 상기 하우징 내부의 사물을 감지하는 포토 센서부를 포함한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 포토 센서부는, 상기 스테이션의 하면에 설치되어 시그널을 방출하는 발광부 및 상기 스테이션의 하면과 마주하는 상기 하우징의 일면에 설치되어 상기 시그널을 수신하는 수광부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 인터페이스부는 상기 하우징에 설치되어 상기 하우징의 내부로 출입이 가능하도록 개폐되는 도어를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 인터페이스부는 상기 도어에 설치되어 상기 도어의 걔페를 감지하는 도어 센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 인터페이스부는 상기 포토 센서부와 상기 도어 센서로부터 신호를 수신하고, 상기 스테이션 및 상기 승강 부재의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 기판 이송 방법은 다음과 같다. 여기서, 기판 처리 장치는 기판을 이송하는 스테이션과, 상기 스테이션을 상하로 이동시키는 승강 부재와, 상기 스테이션과 상기 승강 부재를 수납하고 상기 스테이션의 이동 공간을 제공하는 하우징과, 상기 하우징의 내부에 설치되어 사물을 감지하는 포토 센서부 및 상기 하우징에 설치된 도어의 개폐를 감지하는 도어 센서를 포함하는 인터페이스부를 구비한다. 우선, 상기 인터페이스부의 작동 상태를 확인하고, 상기 도어 센서를 이용하여 도어의 개폐 상태를 확인하며, 상기 포토 센서부를 이용하여 상기 스테이션의 이동 공간에 사물의 존재를 확인한 후 상기 기판을 상하로 이동하여 이송시킨다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 포토 센서부는, 상기 스테이션의 하면에 설치되어 시그널을 방출하는 발광부 및 상기 스테이션의 하면과 마주하는 상기 하우징의 일면에 설치되어 상기 시그널을 수신하는 수광부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 인터페이스부는 상기 포토 센서부와 상기 도어 센서로부터 신호를 수신하고, 상기 스테이션 및 상기 승강 부재의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
상술한 기판 처리 장치에 따르면 기판을 상하로 이송하는 인터페이스부에 도어 센서와 포토 센서부를 구비함으로써, 실수로 인한 장치 작동으로부터 내부에 출입하는 작업자의 안전을 확보할 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다. 상술한 본 발명이 해결하고자 하는 과제, 과제 해결 수단, 및 효과는 첨부된 도면과 관련된 실시 예들을 통해서 용이하게 이해될 것이다. 각 도면은 명확한 설명을 위해 일부가 간략하거나 과장되게 표현되었다. 각 도면의 구성 요소들에 참조 번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 도시되었음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 나타내는 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 인터페이스부를 자세하게 나타내는 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(100)는 투입된 기판(50)을 이송하는 제1 롤러 컨베이어(105), 세정 공정을 수행하는 세정 처리부(110), 린스 공정을 수행하는 린스 처리부(120), 건조 공정을 수행하는 건조 처리부(130), 기판(50)을 배출하기 위해 제2 롤러 컨베이어(165)가 설치된 배출부(160) 및 상하로 이동하여 기판(50)을 이송하는 인터페이스부(140)를 포함한다. 여기서, 기판 처리 장치(100)는 기판(50)을 로딩/언로딩하는 인덱서(미도시)가 일측에 위치하고, 기판(50)을 세정 후 배출하기 위해 복층 구조로 이루어진다.
제1 롤러 컨베이어(105)는 복층 구조로 이루어진 기판 처리 장치(100)에서 하층에 설치된다. 제1 롤러 컨베이어(105)는 세정 처리부(110), 린스 처리부(120) 및 건조 처리부(130)에 걸쳐 설치되는 복수의 롤러로 이루어진다. 제1 롤러 컨베이어(105)는 일측에서 투입된 기판(50)이 세정 처리부(110), 린스 처리부(120) 및 건조 처리부(130)를 거치도록 이송한다.
세정 처리부(110)는 세정 처리액을 분사하는 세정 노즐(115)과, 세정 노즐(115)에 세정 처리액을 공급하는 제1 처리액 공급 라인(117)을 구비한다. 세정 처리부(110)는 제1 롤러 컨베이어(105)에 의해 이송되는 기판(50)에 세정 처리액을 분사하여 세정 공정을 수행한다.
린스 처리부(120)는 린스 처리액을 분사하는 린스 노즐(125)과, 린스 노즐(125)에 린스 처리액을 공급하는 제2 처리액 공급 라인(127)을 구비한다. 린스 처리부(120)는 세정 처리부(110)를 거쳐 세정된 기판(50)에 린스 처리액을 분사하여 린스 공정을 수행한다.
건조 처리부(130)는 건조 가스를 분사하는 에어 나이프(135)와, 에어 나이프(135)에 건조 가스를 공급하는 가스 공급 라인(137)를 구비한다. 건조 처리부(130)는 린스 처리부(120)를 거쳐 린스 처리된 기판(50)에 건조 가스를 분사하여 건조 공정을 수행한다.
배출부(160)는 복층 구조의 기판 처리 장치(100)에서 상층에 위치한다. 즉, 배출부(160)는 세정 처리부(110), 린스 처리부(120) 및 건조 처리부(130)의 상부에 위치한다. 배출부(160)는 건조된 기판(50)을 배출하기 위해 기판(50)을 이송하는 제2 롤러 컨베이어(165)를 구비한다. 제2 롤러 컨베이어(165)는 복수의 롤러로 이루어지며, 제1 롤러 컨베이어(105)와 반대 방향으로 기판(50)을 이송한다.
인터페이스부(140)는 기판 처리 장치(100)의 타측에 위치하며, 상층과 하층을 연결한다. 인터페이스부(140)는 건조 처리부(130)로부터 이송되는 기판(50)을 배출부(160)로 보내기 위해 상하로 이동하여 기판(50)을 이송한다. 인터페이스부(140)는 도 2에 도시된 바와 같이 기판(50)을 이송하는 제3 롤러 컨베이어(147)와, 제3 롤러 컨베이어(147)가 설치되는 스테이션(145)과, 스테이션(145)을 상하로 이동시키는 승강 부재(150), 스테이션(145)과 승강 부재(150)를 수납하여 스테이션(145)의 이동 공간을 제공하는 하우징(155), 사물을 감지하는 포토 센서부(180), 작업자의 출입을 위해 하우징(155)에 설치된 도어(170) 및 도어(170)에 설치되어 개폐를 감지하는 도어 센서(175)를 포함한다.
스테이션(145)은 제3 롤러 컨베이어(147)가 기판(50)을 안착시킨 상태에서 상하로 이동되어야 하므로, 제3 롤러 컨베이어(147)를 지지하고, 제3 롤러 컨베이 어(147)를 구동시킨다.
제3 롤러 컨베이어(147)는 스테이션(145)의 위치에 따라 제1 롤러 컨베이어(105) 및 제2 롤러 컨베이어(165) 중 어느 하나와 동일한 방향으로 회전한다. 예를 들어, 제3 롤러 컨베이어(147)는 스테이션(145)이 하층에 대응하여 위치할 때 건조 처리부(130)로부터 이송되는 기판(50)을 전달받기 위해 제1 롤러 컨베이어(105)와 동일한 방향으로 회전한다. 또한, 제3 롤러 컨베이어(147)는 스테이션(145)이 상층에 대응하여 위치할 때 배출부(160)로 기판(50)을 보내기 위해 제2 롤러 컨베이어(165)와 동일한 방향으로 회전한다.
승강 부재(150)는 제3 롤러 컨베이어(147)가 설치된 스테이션(145)을 상하로 이동시킨다. 이를 위해, 승강 부재(150)는 스테이션(145)을 지지하는 지지부(151)와, 지지부(151)를 상하로 이동시키는 구동부(153)를 포함한다.
하우징(155)은 스테이션(145)과 승강 부재(150)를 수납하여 스테이션(145)이 상하로 이동하는 공간을 제공한다. 하우징(155)은 일측에 기판(50)이 들어오는 투입구(80)와 기판(50)이 배출되는 배출구(85)가 형성된다.
포토 센서부(180)는 하우징(155) 내부에 설치되어 스테이션(145)의 하부를 감시한다. 포토 센서부(180)는 상하로 이동하는 스테이션(145)의 하부에 작업자 또는 물체가 위치할 경우 이를 감지한다. 이러한 포토 센서부(180)는 스테이션(145)의 하면에 설치되어 시그널(185)을 방출하는 발광부(181)와, 스테이션(145)의 하면과 마주하는 하우징(155)의 일면에 설치되어 시그널(185)을 수신하는 수광부(183)를 포함한다. 포토 센서부(180)는 시그널(185)에 의한 빛의 세기에 비례하는 광 전 류를 측정하여 스테이션(145)의 하부에 위치하는 사물을 감지할 수 있다. 그리고, 포토 센서부(180)는 스테이션(145)의 하부에 사물이 위치할 경우 스테이션(145)의 작동을 멈추고 알람이 발생하도록 인터락(inter-lock)을 작동시킬 수 있다.
도어(170)는 하우징(155) 내부로 작업자가 출입하기 위해 하우징(155)에 설치된다. 이러한 도어(170)에는 도어 센서(175)가 설치된다. 도어 센서(175)는 도어(170)의 개폐를 감지한다. 이러한, 도어 센서(175)는 인터페이스부(140)에서 공정이 이루어질 경우 도어(170)의 열림을 방지하는 도어 열림 인터락을 작동시킨다.
기판 처리 장치(100)는 포토 센서부(180)와 도어 센서(175)로부터 감지 신호를 수신하고, 제3 롤러 컨베이어(147) 및 승강 부재(150)의 작동을 제어하는 제어부(200)를 더 포함한다. 제어부(200)는 제3 롤러 컨베이어(147)가 설치된 스테이션(145), 구동부(153), 포토 센서부(180) 및 도어 센서(175)에 네트워크로 연결된다. 제어부(200)는 도어 센서(175)로부터 도어의 개폐를 감지하는 신호와, 포토 센서부(180)로부터 스테이션(145)의 하부의 감시 신호를 수신하여 이상 발생시 구동부(153)에 구동 정지를 명령하고, 스테이션(145)에 제3 롤러 컨베이어(147)의 구동 정리를 명령한다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치(100)는 기판을 상하로 이송하는 인터페이스부(140)에 도어 센서(175)와 포토 센서부(180)를 구비함으로써, 실수로 인한 장치 작동으로부터 내부에 출입하는 작업자의 안전을 확보할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 기판 이송 방법을 나타내는 흐름도이다. 여기서는, 기판 처리 장치의 인터페이스부에서 기판을 이송하 는 방법을 설명한다. 이를 위해, 도 2에 도시된 참조 번호를 차용하여 설명한다.
도 3을 참조하면, 우선 인터페이스부(140)의 작동 상태를 확인한다(S10). 구체적으로, 제3 롤러 컨베이어(147), 승강 부재(150), 포토 센서부(180) 및 도어 센서(175)가 정상적으로 구동이 가능한 상태인지 이들과 네트워크로 연결된 제어부(200)를 통해 상태를 확인한다.
다음, 작업자의 출입을 위해 하우징(155)에 설치된 도어(170)의 개폐를 감지하는 도어 센서(175)를 확인한다(S20). 도어 센서(175)와 네트워크로 연결된 제어부(200)는 도어 센서(175)로부터 개폐 감지 신호를 수신하여 도어(170)의 개폐 여부를 확인하고, 도어(170)가 열린 상태일 경우 알람을 발생시킨다. 제어부(200)는 도어(170)가 닫힌 상태일 경우 도어(170)의 열림을 방지하기 위해 도어 열림 인터락을 작동시킨다.
다음, 제3 롤러 컨베이어(147)가 설치된 스테이션(145)의 하부에 작업자가 위치하는지 포토 센서부(180)를 통해 확인한다(S30). 스테이션(145)이 기판 처리 장치(100)의 상층에 대응하여 위치한 상태에서 포토 센서부(180)는 감시 신호를 제어부(200)로 송신한다. 여기서, 스테이션(145)의 하부에 작업자가 위치할 경우 제어부(200)는 포토 센서부(180)로부터 감시 신호를 수신하여 승강 부재(150)의 작동을 정지시키고, 기판(50)이 안착된 제3 롤러 컨베이어(147)의 작동도 정지시킨다.
다음, 인터페이스부(140) 내에서 이상 발생이 감지되지 않으면, 제3 롤러 컨베이어(147)에 건조된 기판(50)을 안착시키고, 승강 부재(150)를 이용하여 기판(50)을 위로 이동시킨 후 기판(50)을 이송한다(S40).
본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 기판 이송 방법은 도어 센서(175)와 포토 센서부(180)의 감지 상태를 확인한 후 기판(50)의 이송을 진행하여 장치 내에 작업자가 있는 상태에서 기판(50)이 이송되는 작동 사고를 방지할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 인터페이스부를 자세하게 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 기판 이송 방법을 나타내는 흐름도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
50: 기판 100: 기판 처리 장치
105: 제1 롤러 컨베이어 110: 세정 처리부
120: 린스 처리부 130: 건조 처리부
140: 인터페이스부 145: 스테이션
150: 승강 부재 160: 배출부
170: 도어 175: 도어 센서
180: 포토 센서부 200: 제어부

Claims (8)

  1. 복층 구조로 이루어져 기판을 세정, 린스 및 건조하는 기판 처리 장치에 있어서,
    하층에 배치되어 투입되는 기판을 이송하는 제1 롤러 컨베이어;
    상기 기판에 대한 세정 공정을 수행하는 세정 처리부;
    상기 세정된 기판에 대한 린스 공정을 수행하는 린스 처리부;
    상기 린스된 기판에 대한 건조 공정을 수행하는 건조 처리부;
    상층에 배치되어 상기 건조된 기판을 배출하는 제2 롤러 컨베이어; 및
    상기 하층과 상층을 연결하고, 상기 건조 처리부로부터 상기 건조된 기판을 공급받아 상기 제2 롤러 컨베이어로 전달하는 인터페이스부를 구비하되,
    상기 인터페이스부는,
    상기 기판을 이송하는 제3 롤러 컨베이어;
    상기 제3 롤러 컨베이어가 설치되는 스테이션;
    상기 스테이션을 상하로 이동시키는 승강 부재;
    상기 스테이션과 상기 승강 부재가 수납하며, 상기 스테이션의 이동 공간을 제공하는 하우징; 및
    상기 스테이션의 아래에 위치한 사물을 감지하는 포토 센서부를 포함하되,
    상기 포토 센서부는,
    상기 스테이션의 하면에 설치되어 시그널을 방출하는 발광부; 및
    상기 스테이션의 하면과 마주하는 상기 하우징의 일면에 설치되어 상기 시그널을 수신하는 수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 인터페이스부는 상기 하우징에 설치되어 상기 하우징의 내부로 출입이 가능하도록 개폐되는 도어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 인터페이스부는 상기 도어에 설치되어 상기 도어의 걔페를 감지하는 도어 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 인터페이스부는 상기 포토 센서부와 상기 도어 센서로부터 신호를 수신하고, 상기 스테이션 및 상기 승강 부재의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 기판을 이송하는 스테이션과, 상기 스테이션을 상하로 이동시키는 승강 부재와, 상기 스테이션과 상기 승강 부재를 수납하고 상기 스테이션의 이동 공간을 제 공하는 하우징과, 상기 하우징의 내부에 설치되어 사물을 감지하는 포토 센서부 및 상기 하우징에 설치된 도어의 개폐를 감지하는 도어 센서를 포함하는 인터페이스부를 구비하는 기판 처리 장치의 기판 이송 방법에 있어서,
    상기 인터페이스부의 작동 상태를 확인하는 단계;
    상기 도어 센서를 이용하여 도어의 개폐 상태를 확인하는 단계;
    상기 포토 센서부를 이용하여 상기 스테이션의 이동 공간에 사물의 존재를 확인하는 단계;
    상기 기판을 상하로 이동하여 이송시키는 단계를 포함하는 기판 처리 장치의 기판 이송 방법.
  7. 제6 항에 있어서, 상기 포토 센서부는,
    상기 스테이션의 하면에 설치되어 시그널을 방출하는 발광부; 및
    상기 스테이션의 하면과 마주하는 상기 하우징의 일면에 설치되어 상기 시그널을 수신하는 수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치의 기판 이송 방법.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 인터페이스부는 상기 포토 센서부와 상기 도어 센서로부터 신호를 수신하고, 상기 스테이션 및 상기 승강 부재의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치의 기판 이송 방법.
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