JP2005191199A - ウエハ搬送アーム及びウエハの搬送方法 - Google Patents
ウエハ搬送アーム及びウエハの搬送方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】
本発明は、所定間隔をもって複数のウエハ5を上下方向に収容し得るウエハラック11に、矩形状ウエハを搬入・搬出するためのウエハ搬送アームであって、
前記矩形状ウエハ5の前後方向に延びる両端部を支持し、且つウエハを保持する保持手段1を具備するとともに、前後方向及び上下方向に可動し得る一対の支持アーム3、3と、前記一対の支持アーム3、3、間に位置し、矩形状ウエハ5の中央領域と接触し得る突起部21を具備するとともに、前記支持アーム3、3と連動して前後方向及び上下方向に可動し、且つ単独で上下方向に可動し得るセンターアーム2とから成るウエハ搬送アームである。また、センターアームの単独の上下駆動によりウエハ5の形状に応じて調整する。
【選択図】 図3
Description
前記矩形状ウエハの前後方向に延びる両端部を支持し、且つウエハを保持する保持手段を具備するとともに、前後方向及び上下方向に可動し得る一対の支持アームと、
前記一対の支持アーム間に位置し、矩形状ウエハの中央領域と接触し得る突起部を具備するとともに、前記支持アームと連動して前後方向及び上下方向に可動し、且つ単独で上下方向に可動し得るセンターアームとから成ることを特徴とするウエハ搬送アームである。
前記支持アームの保持手段を所定矩形状ウエハの前後方向に延びる両端に位置させるとともに、前記センターアームの突起部を該ウエハの中央領域に位置させるように、該一対の支持アーム及びセンターアームを、該ウエハの下面の所定間隔内で前後方向に稼動させる第1の工程、
前記支持アーム及びセンターアームを上方向に第1の稼動させて、支持アームの保持部がウエハの両端に接触した時点で支持アームの上方への稼動を停止し、且つセンターアームの突起部がウエハの中央領域に接触した時点でセンターアームの上方への稼動を停止する第2の工程、
前記支持アーム及びセンターアームの上下方向の位置関係をロックして、前記支持アーム及びセンターアームを上下方向に第2の稼動させ、前記ウエハを前記ウエハラックのウエハ載置部から浮かせた状態で停止し、前記ウエハを一対の支持アーム及びセンターアームで保持する第3の工程、
前記支持アーム及びセンターアームを前後方向に移動して前記ウエハを前記ウエハラックから搬出する第4の工程とからなる
搬送アームによってウエハの搬送方法である。
前記一対の支持アーム間に位置し、矩形状ウエハの中央領域と接触し得る突起部を具備するとともに、前記支持アームと連動して前後方向及び上下方向に可動し、且つ単独で上下方向に可動し得るセンターアームとから成っている。すなわち、支持アームと単独に上下方向に稼働するセンターアームを有している。
前記支持アーム及びセンターアームを上方向に第1の稼動させて、支持アームの保持部がウエハの両端に接触した時点で支持アームの上方への稼動を停止し、且つセンターアームの突起部がウエハの中央領域に接触した時点でセンターアームの上方への稼動を停止する第2の工程、
前記支持アーム及びセンターアームの上下方向の位置関係をロックして、前記支持アーム及びセンターアームを上下方向に第2の稼動させ、前記ウエハを前記ウエハラックのウエハ載置部から浮かせた状態で停止し、前記ウエハを一対の支持アーム及びセンターアームで保持する第3の工程、
前記支持アーム及びセンターアームを前後方向に移動して前記ウエハを前記ウエハラックから搬出する第4の工程とからなる搬送アームによってウエハの搬送する方法である。すなわち、第2の工程で、ウエハラック内でウエハでどのような状態、即ち、平行または撓んだ状態であろうとも、その収容の状態で、ウエハの両端部及びウエハの中央領域で保持できるため、ウエハに多大な負荷をかけることなく、ウエハ搬送アームで搬出することができる。上述のようにセンターアームの上下方向の稼働、特に、その上下方向の停止が、支持アーム上下方向の停止は別制御でおこなわれることから、上述のようにウエハラックに収容されたウエハの状態で、ウエハを持ち上げることが可能となる。
2‥センターアーム
21 突起部
3‥支持アーム
14‥センター支持部
5‥ウエハ
10・・支持具
11‥ウエハラック
12・・ウエハ載置部
Claims (2)
- 所定間隔をもって複数のウエハを上下方向に収容し得るウエハラックに、矩形状ウエハを搬入・搬出するためのウエハ搬送アームであって、
前記矩形状ウエハの前後方向に延びる両端部を支持し、且つウエハを保持する保持手段を具備するとともに、前後方向及び上下方向に可動し得る一対の支持アームと、
前記一対の支持アーム間に位置し、矩形状ウエハの中央領域と接触し得る突起部を具備するとともに、前記支持アームと連動して前後方向及び上下方向に可動し、且つ単独で上下方向に可動し得るセンターアームとから成ることを特徴とするウエハ搬送アーム。 - 所定間隔をもって複数のウエハを上下方向に収容されたウエハラックから所定矩形状ウエハを、該矩形状ウエハの前後方向に延びる両端部を支持し、且つウエハを保持する保持手段を具備するとともに、前後方向及び上下方向に可動し得る一対の支持アームと、前記一対の支持アーム間に位置し、矩形状ウエハの中央領域と接触し得る突起部を具備するとともに、前記支持アームと連動して前後方向及び上下方向に可動し、且つ単独で上下方向に可動し得るセンターアームとから成る搬送アームを用いて搬送する方法であって、
前記支持アームの保持手段を所定矩形状ウエハの前後方向に延びる両端に位置させるとともに、前記センターアームの突起部を該ウエハの中央領域に位置させるように、該一対の支持アーム及びセンターアームを、該ウエハの下面の所定間隔内で前後方向に稼動させる第1の工程、
前記支持アーム及びセンターアームを上方向に第1の稼動させて、支持アームの保持部がウエハの両端に接触した時点で支持アームの上方への稼動を停止し、且つセンターアームの突起部がウエハの中央領域に接触した時点でセンターアームの上方への稼動を停止する第2の工程、
前記支持アーム及びセンターアームの上下方向の位置関係をロックして、前記支持アーム及びセンターアームを上下方向に第2の稼動させ、前記ウエハを前記ウエハラックのウエハ載置部から浮かせた状態で停止し、前記ウエハを一対の支持アーム及びセンターアームで保持する第3の工程、
前記支持アーム及びセンターアームを前後方向に移動して前記ウエハを前記ウエハラックから搬出する第4の工程とからなる
搬送アームによってウエハの搬送方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003429386A JP2005191199A (ja) | 2003-12-25 | 2003-12-25 | ウエハ搬送アーム及びウエハの搬送方法 |
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JP2003429386A JP2005191199A (ja) | 2003-12-25 | 2003-12-25 | ウエハ搬送アーム及びウエハの搬送方法 |
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JP2005191199A true JP2005191199A (ja) | 2005-07-14 |
Family
ID=34788072
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003429386A Pending JP2005191199A (ja) | 2003-12-25 | 2003-12-25 | ウエハ搬送アーム及びウエハの搬送方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2005191199A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102774652A (zh) * | 2012-07-31 | 2012-11-14 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种液晶面板搬运装置及其支撑臂结构 |
KR101205416B1 (ko) * | 2009-03-03 | 2012-11-27 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 |
JP2014099447A (ja) * | 2012-11-13 | 2014-05-29 | Asahi Glass Co Ltd | 基板搬送用ハンド及び基板搬送方法 |
-
2003
- 2003-12-25 JP JP2003429386A patent/JP2005191199A/ja active Pending
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CN102774652A (zh) * | 2012-07-31 | 2012-11-14 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种液晶面板搬运装置及其支撑臂结构 |
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