KR20070033908A - 기판반송 시스템, 기판반송 장치 및 기억 매체 - Google Patents

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KR20070033908A
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Abstract

기판의 반송효율을 향상시킬 수 있는 기판반송 시스템을 제공한다. 기판반송 시스템(E)는 웨이퍼를 보관하는 스토커(10)와, 복수의 검사 장치로서의 프로버(2)와, 스토커(10) 및 프로버(2)의 사이를 이동시켜 웨이퍼를 반송하는 RGV(3)를 구비하고, 스토커(10)는 웨이퍼의 인도를 실행하는 인도부로서의 버퍼(B)를 가지며, 프로버(2)는 웨이퍼의 인도를 실행하는 인도부로서의 어댑터유닛(25)을 갖고, RGV(3)는 웨이퍼를 탑재하고, 버퍼(B) 또는 어댑터유닛(25)으로부터 웨이퍼를 반출하며, 또한 버퍼(B) 또는 어댑터유닛(25)으로 웨이퍼를 반입하는 반송아암(341)을 갖고, RGV(3)는 반송아암(341)에 웨이퍼를 유지시킨 채 이동시킨다.

Description

기판반송 시스템, 기판반송 장치 및 기억 매체{SUBSTRATE TRANSFER SYSTEM, SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND STORAGE MEDIUM}
도 1은 본 실시형태에 관한 기판반송 시스템의 개략 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 2는 도 1에 있어서의 프로버, RGV 및 스토커의 배치관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 각 프로버 및 RGV의 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 프로버가 구비하는 어댑터유닛의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 5는 스토커가 구비하는 버퍼의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 6의 (a), (b) 및 (c)는 본 실시형태에 관한 기판반송 방법의 일예를 나타내는 공정도이다.
도 7은 단독 동작 모드의 각 반송 커맨드가 규정하는 반송 경로를 나타내는 도면이다.
도 8은 연속 동작 모드의 각 반송 커맨드가 규정하는 반송 경로를 나타내는 도면이다.
도 9는 교체 동작 모드의 각 반송 커맨드가 규정하는 반송 경로를 나타내는 도면이다.
도 10은 도 1의 기판반송 시스템에 있어서 실행되는 웨이퍼반송 처리의 플로챠트이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
B, BF…버퍼
E…기판반송 시스템
W…웨이퍼
2…프로버
10…스토커
12…레일
21…로더실
22…프로버실
24…로더실 반송 아암기구
25…어댑터유닛
3…RGV
34…RGV 아암기구
341…아암
4…RGV 콘트롤러
40…유닛본체
41…스테이지아암
(특허문헌1) 일본국 특허공개공보 제2005-93690호
본 발명은 기판반송 시스템, 기판반송 장치, 기판반송 방법 및 기억 매체에 관한 것으로서, 특히, 기판을 낱개로 반송하는 기판반송 시스템 및 기판반송 방법에 관한 것이다.
기판으로서의 웨이퍼에 복수의 공정으로 이루어지는 처리를 실시하는 기판 처리 시스템으로서의 기반반송 시스템은 미처리 또는 처리완료의 웨이퍼를 저장하는 스토커(stocker)와, 각 공정에 대응한 복수의 기판 처리 장치와, 스토커 및 각 기판 처리 장치의 사이에 있어서 웨이퍼를 반송하는 기판반송차로서의 RGV(Rail Guided Vehicle)를 구비한다.
종래는 웨이퍼의 구경이 작아, 1개의 웨이퍼에 대한 각 공정의 소요 시간이 짧았기 때문에, 반송효율 향상의 관점에서 RGV는 스토커 및 각 기판 처리 장치의 사이에 있어서 복수의 웨이퍼, 예를 들면 25개의 웨이퍼를 수용하는 캐리어(carrier)를 반송하고, 해당 캐리어를 각 기판 처리 장치에 반입하고 있었다.
그런데, 근래, 웨이퍼의 대구경화에 수반해서 1개의 웨이퍼에 대한 각 공정 의 소요 시간이 길어졌기 때문에, 각 기판 처리 장치에 웨이퍼를 1개씩 낱장으로 반입하는 기판반송 시스템(이하, 「낱장 반송 시스템」이라 함)이 주류로 되고 있다. 이 기판반송 시스템에 있어서의 RGV는 해당 RGV가 구비하는 반송아암기구(transfer arm device)에 의해서 웨이퍼를 낱장단위로 스토커로부터 수취하고, 해당 수취한 웨이퍼를 RGV가 구비하는 버퍼내에 수용해서 반송한다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 또한, RGV는 기판 처리 장치에 웨이퍼를 반입할 때, 버퍼내에 수용된 웨이퍼를 반송아암기구에 의해서 꺼내어 기판 처리 장치에 반입한다.
그러나, 상술한 낱장 반송 시스템에서는 소정의 시간을 요하는, RGV에 있어서의 웨이퍼의 버퍼로의 수용 및 버퍼로부터의 꺼냄의 회수가 많기 때문에, 낱장 반송 시스템에 있어서의 웨이퍼의 반송효율을 향상시킬 수 없다는 문제가 있다. 또한, 근래, 처리기술의 향상에 수반해서 각 공정의 소요 시간이 짧아져 있기 때문에, RGV에 있어서의 웨이퍼의 버퍼로의 수용 및 버퍼로부터의 꺼냄이 낱장 반송 시스템에 있어서의 웨이퍼의 반송효율 향상의 보틀넥(bottleneck)으로 되고 있다.
본 발명의 목적은 기판의 반송 효율을 향상시킬 수 있는 기판반송 시스템, 기판반송 장치 및 기억매체를 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 청구항 1에 기재된 기판반송 시스템은 기판을 보관하는 기판보관 장치와, 상기 기판에 소정의 처리를 실시하는 적어도 1개의 기판 처리 장치와, 상기 기판보관 장치 및 해당 기판처리 장치의 사이를 이동해서 상 기 기판을 반송하는 기판반송 장치를 구비하고, 해당 기판반송 장치는 상기 기판을 유지하고, 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로부터 상기 기판을 반출하고, 또한 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로 상기 기판을 반입하는, 적어도 1개의 기판반송 수단을 갖는 기판반송 시스템에 있어서, 상기 기판반송 장치는 상기 기판반송 수단에 상기 기판을 유지시킨 채 이동시키는 것을 특징으로 한다.
청구항 2에 기재된 기판반송 시스템은 청구항 1에 기재된 기판반송 시스템에 있어서, 상기 기판반송장치는 상기 기판반송수단을 구비하고, 상기 복수의 기판반송수단의 적어도 1개는 복수의 다른 기판을 유지하는 것을 특징으로 한다.
청구항 3에 기재된 기판반송 시스템은 청구항 1에 기재된 기판반송 시스템에 있어서, 상기 기판반송수단은 상기 기판을 탑재하는 반송아암인 것을 특징으로 한다.
청구항 4에 기재된 기판반송 시스템은 청구항 1에 기재된 기판반송 시스템에 있어서, 복수의 상기 기판처리 장치를 구비하고, 상기 기판반송 장치는 상기 복수의 기판처리 장치의 사이를 이동하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 청구항 5에 기재된 기판반송 장치는 기판을 보관하는 기판보관 장치, 및 상기 기판에 소정의 처리를 실시하는 적어도 1개의 기판처리 장치의 사이를 이동해서 상기 기판을 반송하는 기판반송 장치로서, 상기 기판을 유지하고, 또한 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판처리 장치로부터 상기 기판을 반출하고, 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판처리 장치로 상기 기판을 반입하 는 적어도 1개의 기판반송수단을 구비하는 기판반송 장치에 있어서, 상기 기판반송수단에 상기 기판을 유지시킨 채 이동시키는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 청구항 6에 기재된 기억매체는 기판을 보관하는 기판보관 장치와, 상기 기판에 소정의 처리를 실시하는 적어도 1개의 기판처리 장치와, 상기 기판보관 장치 및 상기 기판처리 장치의 사이를 이동해서 상기 기판을 반송하는 기판반송 장치를 구비하고, 해당 기판반송 장치는 상기 기판을 유지하고, 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판처리 장치로부터 상기 기판을 반출하고, 또한 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판처리 장치로 상기 기판을 반입하는 적어도 1개의 기판반송수단을 갖는 기판반송 시스템에 있어서의 기판반송 방법을 컴퓨터에 실행시키는 프로그램을 저장하는 컴퓨터 판독 가능한 기억매체로서, 상기 프로그램은 상기 기판반송 장치가 상기 기판반송수단에 상기 기판을 유지시킨 채 이동시키는 이동모듈을 갖는 것을 특징으로 한다.
청구항 7에 기재된 기판반송 시스템은 청구항 1에 기재된 기판반송 시스템에 있어서, 상기 기판반송수단이 상기 기판을 유지한 동작을 중단하는 동작중단위치가 설정되어 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 8에 기재된 기판반송 시스템은 상기 기판반송 장치는 복수의 상기 기판반송수단을 갖고, 청구항 7에 기재된 기판반송 시스템에 있어서, 적어도 1개의 상기 기판반송수단에 대해 상기 동작중단위치가 설정되어 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 9에 기재된 기억매체는 청구항 6에 기재된 기억매체에 있어서, 상기 프로그램은 상기 기판반송 수단이 상기 기판을 유지한 채 동작을 중단하는 기판유지 모듈을 갖는 것을 특징으로 한다.
청구항 10에 기재된 기판반송 시스템은 청구항 7에 기재된 기판반송 시스템에 있어서, 상기 기판반송수단에 의한 상기 기판의 반송경로를 규정하는 복수의 반송명령을 조합해서, 상기 기판의 반송 시퀀스를 설정하는 제어장치를 구비하고, 상기 복수의 반송명령 중 적어도 1개가 규정하는 반송경로에, 상기 기판반송수단이 상기 기판을 유지한 채 동작을 중단하는 동작중단위치가 설정되어 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 11에 기재된 기판반송 시스템은 청구항 10에 기재된 기판반송 시스템에 있어서, 상기 기판반송 장치는 복수의 상기 기판반송수단을 갖고, 상기 제어장치는 상기 복수의 기판반송수단에 의한 상기 기판의 반송경로가 서로 다른 상기 반송 시퀀스를 설정하는 것을 특징으로 한다.
청구항 12에 기재된 기판반송 시스템은 청구항 11에 기재된 기판반송 시스템에 있어서, 상기 반송 시퀀스에서는 상기 복수의 기판반송수단 중 적어도 1개가 상기 기판을 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판처리 장치로 반입함과 동시에, 다른 상기 기판반송수단 중 적어도 1개가 상기 기판을 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판처리 장치로부터 반출하는 것을 특징으로 한다.
청구항 13에 기재된 기판반송 시스템은 청구항 10에 기재된 기판반송 시스템에 있어서, 상기 기판반송장치는 복수의 상기 기판반송수단을 갖고, 상기 제어장치는 상기 복수의 기판반송수단에 의한 상기 기판의 반송을 연속적으로 실행하는 상 기 반송 시퀀스를 설정하는 것을 특징으로 한다.
청구항 14에 기재된 기판반송 시스템은 청구항 1에 기재된 기판반송 시스템에 있어서, 상기 기판처리 장치는 복수의 상기 기판을 인도하는 기판 인도부를 갖고, 상기 기판반송수단은 복수의 상기 기판을 유지하는 것을 특징으로 한다.
청구항 15에 기재된 기판반송 시스템은 청구항 14에 기재된 기판반송 시스템에 있어서, 상기 기판보관 장치는 복수의 상기 기판을 인도하는 다른 기판 인도부를 갖는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 청구항 16에 기재된 기판반송 시스템은 기판을 보관하는 기판보관 장치와, 상기 기판에 소정의 처리를 실시하는 적어도 1개의 기판 처리 장치와, 상기 기판보관 장치 및 상기 기판 처리 장치의 사이를 이동해서 상기 기판을 반송하는 기판반송 장치를 구비하는 기판반송 시스템에 있어서, 상기 기판 처리 장치는 복수의 상기 기판을 인도하는 기판 인도부를 갖고, 해당 기판 인도부는 상기 기판을 수용하는 복수의 기판수용 수단을 가지며, 각 상기 기판수용 수단은 1개의 상기 기판을 수용하고, 상기 기판반송 장치는 상기 기판을 유지하고, 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로부터 상기 기판을 반출하고, 또한 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로 상기 기판을 반입하는 복수의 기판반송 수단을 갖고, 상기 복수의 기판반송 수단의 적어도 1개는 복수의 상기 기판을 유지함과 동시에, 다른 상기 기판반송 수단 중 적어도 하나가 1개의 상기 기판을 유지하고, 상기 기판 인도부에 있어서의 상기 기판을 수용하고 있지 않은 상기 기판수용 수단의 수에 따라서, 상기 기판 인도부에 상기 기판을 인도하는 기판반송 수단이 상기 복수의 기판반송 수단으로부터 선택되는 것을 특징으로 한다.
청구항 17에 기재된 기판반송 시스템은 청구항 16에 기재된 기판반송 시스템에 있어서, 상기 기판 인도부에 있어서의 상기 기판을 수용하고 있지 않은 상기 기판수용 수단이 1개인 경우, 상기 1개의 상기 기판을 유지하는 기판반송 수단이 선택되는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 청구항 18에 기재된 기억 매체는 기판을 보관하는 기판보관 장치와, 상기 기판에 소정의 처리를 실시하는 적어도 1개의 기판 처리 장치와, 상기 기판보관 장치 및 상기 기판 처리 장치의 사이를 이동해서 상기 기판을 반송하는 기판반송 장치를 구비하고, 상기 기판 처리 장치는 복수의 상기 기판을 인도하는 기판 인도부를 갖고, 해당 기판 인도부는 상기 기판을 수용하는 복수의 기판수용 수단을 갖고, 각 상기 기판수용 수단은 1개의 상기 기판을 수용하며, 상기 기판반송 장치는 상기 기판을 유지하고, 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로부터 상기 기판을 반출하고, 또한 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로 상기 기판을 반입하는 복수의 기판반송 수단을 갖고, 상기 복수의 기판반송 수단의 적어도 1개는 복수의 상기 기판을 유지함과 동시에, 다른 상기 기판반송 수단 중 적어도 하나가 1개의 상기 기판을 유지하는 기판반송 시스템에 있어서의 기판반송 방법을 컴퓨터에 실행시키는 프로그램을 저장하는 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체로서, 상기 프로그램은 상기 기판 인도부에 있어서의 상기 기판을 수용하고 있지 않은 상기 기판수용 수단의 수에 따라서, 상기 기판 인도부에 상기 기판을 인도하는 기판반송 수단을 상기 복수의 기판반송 수단으로부터 선택하는 기판 반송 수단 선택 모듈을 갖는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 청구항 19에 기재된 기억 매체는 기판을 보관하는 기판보관 장치와, 상기 기판에 소정의 처리를 실시하는 적어도 1개의 기판 처리 장치와, 상기 기판보관 장치 및 상기 기판 처리 장치의 사이를 이동해서 상기 기판을 반송하는 기판반송 장치와, 상기 기판의 반송 시퀀스를 설정하는 제어 장치를 구비하는 기판반송 시스템에 있어서의 기판반송 방법을 컴퓨터에 실행시키는 프로그램을 저장하는 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체로서, 상기 프로그램은 상기 제어 장치가 반송되는 상기 기판의 제원을 상기 기판 처리 장치에 통지함과 동시에, 상기 기판 처리 장치의 상태를 문의하는 상태문의 모듈과, 상기 상태를 문의받은 기판 처리 장치가 상기 상태를 상기 제어 장치에 연락하는 상태연락 모듈과, 상기 제어 장치가 상기 연락된 상태에 의거해서 상기 반송 시퀀스를 설정하는 반송 시퀀스 설정 모듈과, 상기 제어 장치가 상기 설정된 반송 시퀀스를 상기 기판반송 장치에 통지하는 반송 시퀀스 통지 모듈을 갖는 것을 특징으로 한다.
청구항 20에 기재된 기억매체는 청구항 19에 기재된 기억매체에 있어서, 상기 기판반송 장치는 상기 기판을 유지하고, 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로부터 상기 기판을 반출하고, 또한 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로 상기 기판을 반입하는 적어도 1개의 기판반송 수단을 갖고, 상기 기판반송 장치가 상기 기판반송 수단에 상기 기판을 유지시킨 채 이동시키는 이동 스텝을 갖는 것을 특징으로 한다.
청구항 21에 기재된 기억매체는 청구항 20에 기재된 기억매체에 있어서, 상 기 기판 처리 장치는 복수의 상기 기판을 인도하는 기판 인도부, 또는 1개의 상기 기판을 인도하는 기판 인도부 중의 어느 하나를 갖고, 상기 기판반송 장치가 상기 기판 처리 장치에 상기 기판 인도부의 종류를 문의하는 기판 인도부 종류 문의 스텝과, 상기 기판 처리 장치가 상기 기판 인도부의 종류를 상기 기판반송 장치에 연락하는 기판 인도부 종류 연락 스텝을 갖는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1은 본 실시형태에 관한 기판반송 시스템의 개략 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 1에 있어서, 기판반송 시스템(E)는 반도체 장치가 표면에 형성된 기판으로서의 웨이퍼의 검사공정을 포함하는 공장 전체의 생산 공정을 관리하는 호스트 컴퓨터(1)(제어 장치)와, 해당 호스트 컴퓨터(1)의 관리하에서 웨이퍼의 전기적 특성검사를 실행하는 복수의 검사 장치로서의 프로버(2)(기판 처리 장치)와, 다른 직경의 복수 종의 웨이퍼를 혼재하고 또한 각 프로버(2)에 대해 각각의 요구에 따라서 웨이퍼를 자동 반송하는 적어도 1개의 자동반송 장치(이하, 「RGV」라 함)(3)(기판반송 장치)와, 해당 RGV(3)를 제어하는 반송 제어 장치(이하, 「RGV 콘트롤러」라 함)(4)를 구비하고 있다.
RGV(3) 및 프로버(2)는 예를 들면, SEMI 규격 E23이나 E84에 의거하는 광결합된 병렬 I/O(이하, 「PIO」라 함) 통신 인터페이스(11A, 11B)를 각각 갖고, 양자 간에서 광결합 PIO통신을 실행하면서 웨이퍼를, 예를 들면 1개씩 인도한다. 광결합 PIO 통신에서는 예를 들면, 후술하는 어댑터유닛의 종류가 프로버(2)로부터 RGV(3)로 연락된다. 여기서, 프로버(2)는 웨이퍼를 1개씩, 즉 낱장단위로 수취해서 검사를 하기 때문에, 낱장식 프로버(2)로서 구성되어 있다. 이하에서는 낱장식 프로버(2)를 단지 프로버(2)로 해서 설명한다.
또한, RGV 콘트롤러(4)는 호스트 컴퓨터(1)와 SECS(Semiconductor Equipment Co㎜unication Standard) 통신회선을 거쳐서 접속되며, 호스트 컴퓨터(1)의 관리하에서 RGV(3)를 무선통신을 거쳐서 제어함과 동시에, 웨이퍼를 로트단위로 관리한다.
또, 상술한 기판반송 시스템(E)에서는 자동반송 장치로서 RGV(3) 대신에 AGV(Automatic Guided Vehicle)를 이용할 수 있다. 또한, 기판반송 시스템(E)는 자동반송 장치로서 RGV(3), AGV 이외에, 천장궤도에 따라서 웨이퍼를 반송하는 OHT (Overhaead Hoist Transport Vehicle)등도 구비하고 있어도 좋다.
또한, 복수의 프로버(2)는 그룹 콘트롤러(5)를 거쳐서 호스트 컴퓨터(1)와 SECS 통신회선에 의해서 접속되며, 호스트 컴퓨터(1)는 그룹 콘트롤러(5)를 거쳐서 복수의 프로버(2)를 관리한다.
그룹 콘트롤러(5)는 프로버(2)의 레시피 데이터(recipe data)나 로그 데이터 등의 검사에 관한 정보를 관리하고 있다. 또한, 각 프로버(2)에는 대응하는 테스터(6)가 GPIB 통신 회로 또는 TTL 통신 회로를 거쳐서 접속되며, 각 프로버(2)는 대응하는 테스터(6)로부터의 지령에 따라서 소정의 검사, 예를 들면, DC 테스트 또 는 번인(burn-in)시험(스트레스 시험), 프리레이저(pre-laser)시험을 개별적으로 실행한다. 각 테스터(6)는 테스터 호스트 컴퓨터(이하, 「테스터 호스트」라 함)(7)를 거쳐서 호스트 컴퓨터(1)와 SECS 통신회선을 거쳐서 접속되며, 호스트 컴퓨터(1)는 테스터호스트(7)를 거쳐서 복수의 테스터(6)를 관리한다.
또한, 호스트 컴퓨터(1)에는 웨이퍼의 검사 결과에 의거해서 소정의 마킹을 실행하는 마킹 장치(8)가, 예를 들면, PC로 이루어지는 마킹 지시 장치(9)를 거쳐서 접속되어 있다. 마킹 지시 장치(9)는 테스터호스트(7)가 관리하는 데이터에 의거하여 마킹 장치(8)에 대해 마킹을 지시한다.
또한, 호스트 컴퓨터(1)에는 복수의 버퍼(B)를 보관하는 스토커(10)가 SECS 통신회선을 거쳐서 접속된다. 각 버퍼(B)는 복수개의 미검사 및/또는 검사필의 웨이퍼를 수용하고, 또한 후술하는 바와 같이, RGV(3)와의 사이에 있어서 웨이퍼의 인도를 실행한다. 스토커(10)는 호스트 컴퓨터(1)의 관리하에서 미검사·검사필의 웨이퍼를 낱장단위로 보관하고 또한 분류함과 동시에, RGV(3)과의 사이에 있어서 낱장단위로 버퍼(B)를 거쳐서 웨이퍼의 인도를 실행한다. 또한, 오퍼레이터는 스토커(10)에 대해 미검사의 복수개의 웨이퍼를 수용하는 버퍼(B)를 반입하는 것에 의해서 버퍼단위로 웨이퍼의 반입을 실행하고, 스토커(10)로부터 검사필의 복수개의 웨이퍼를 수용하는 버퍼(B)를 반출하는 것에 의해서 버퍼단위로 웨이퍼의 반출을 실행한다.
도 2는 프로버, RGV 및 스토커의 배치관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 2에 있어서, 각 프로버(2)는 RGV(3)와의 사이에 있어서 웨이퍼의 인도를 실행하는 인도부로서의 어댑터유닛(25)을 갖고, 스토커(10)는 RGV(3)와의 사이에 있어서 웨이퍼의 인도를 실행하는 인도부로서의 버퍼(B)를 갖는다. 또한, 레일(12)이 각 프로버(2)의 어댑터유닛(25)이 대향하는 장소, 및 스토커(10)의 버퍼(B)가 대향하는 장소를 연결하도록 배치된다. RGV(3)는 레일(12)을 따라서 이동하므로, RGV(3)는 각 프로버(2) 및 스토커(10)의 사이, 및 인접하는 프로버(2)의 사이를 자유롭게 이동할 수 있다. 또한, RGV(3)는 후에 상세하게 기술하는 RGV 아암기구(34)를 구비한다.
RGV(3)는 스토커(10)로부터 프로버(2)로의 웨이퍼의 반송, 및 프로버(2)로부터 스토커(10)로의 웨이퍼의 반송을 실행한다. 구체적으로는 스토커(10)로부터 프로버(2)로 웨이퍼를 반송할 때, RGV(3)가 스토커(10)의 버퍼(B)와 대향하도록 정지했을 때에 RGV 아암기구(34)는 버퍼(B)로부터 웨이퍼를 수취하고, 그 후, RGV(3)가 프로버(2)까지 이동하며, 또, RGV(3)가 프로버(2)의 어댑터유닛(25)과 대향하도록 정지했을 때에 RGV 아암기구(34)는 버퍼(B)로부터 수취한 웨이퍼를 어댑터유닛(25)에 인도한다. 또한, 프로버(2)로부터 스토커(10)로 웨이퍼를 반송할 때, RGV(3)가 프로버(2)의 어댑터유닛(25)과 대향하도록 정지했을 때에 RGV 아암기구(34)는 어댑터유닛(25)으로부터 웨이퍼를 수취하고, 그 후, RGV(3)가 스토커(10)까지 이동하며, 또 RGV(3)가 스토커(10)의 버퍼(B)와 대향하도록 정지했을 때에 RGV 아암기구(34)는 어댑터유닛(25)으로부터 수취한 웨이퍼를 버퍼(B)에 인도한다.
또, 도 2에 있어서 레일(12)은 직선형상으로 배치되어 있지만, 레일(12)의 배치형태는 프로버(2)나 스토커(10)의 위치관계에 따라서 변경되는 것은 물론이다.
도 3은 각 프로버 및 RGV의 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 3에 있어서, 프로버(2)는 로더실(21)과, 프로버실(22)과, 콘트롤러(도시하지 않음)를 구비하며, 해당 콘트롤러를 거쳐서 로더실(21) 및 프로버실(22)내의 각 구성요소를 구동 제어한다.
로더실(21)은 로더실 반송 아암기구(24)와, 어댑터유닛(25)을 구비한다. 로더실 반송 아암기구(24)는 신축이 자유로운 상하 2단으로 배치된 2개의 반송아암(241)과, 각 반송아암(241)을 지지하는 수평(水平)면내에 있어서 회전 가능한 기대(베이스대)(242)와, 기대(242)내에 수납된 구동 기구(도시하지 않음)를 갖는다. 해당 기대(242)는 구동 기구에 의해서 승강한다. 로더실 반송 아암기구(24)에서는 각 반송아암(241)이 웨이퍼를 진공흡착해서 유지하거나, 혹은 진공흡착을 해제하는 것에 의해서 프로버실(22) 및 어댑터유닛(25)의 사이에 있어서 웨이퍼를 반송한다. 또한, 각 반송아암(241)은 선단부가 2갈래형상, 더욱 구체적으로는 반원형상의 릴리이프부를 갖는 2갈래형상으로 성형되어 있다. 또, 로더실 반송 아암기구(24)는 웨이퍼의 위치를 미세조정하는 프리 얼라인먼트 기구(도시하지 않음)를 가지며, 웨이퍼를 반송하는 동안에 웨이퍼의 프리 얼라인먼트를 실행한다.
어댑터유닛(25)은 로더실(21)로부터 분리 가능하게 구성되며, 로더실(21)과 위치 결정 부재(도시하지 않음)를 거쳐서 걸어맞춤한다. 이것에 의해, 어댑터유닛(25) 및 로더실(21)의 상대위치관계가 규제된다.
프로버실(22)은 반입된 웨이퍼를 진공흡착하는 메인 척(26)과, 얼라인먼트기구(27)와, 프로브 카드(28)를 갖는다. 메인 척(26)은 X-Y 테이블(261)상을 X, Y 방향으로 이동함과 동시에, 승강기구 및 θ회전기구(모두 도시하지 않음)에 의해서 Z방향 및 θ방향으로 이동한다. 얼라인먼트기구(27)는 종래 공지와 같이 얼라인먼트 브리지(271) 및 CCD 카메라(272) 등을 갖고, 메인 척(26)과 협동해서 웨이퍼와 프로브 카드(28)의 얼라인먼트를 실행한다. 프로브 카드(28)는 복수의 프로브(281)를 갖는다. 각 프로브(281)와 메인 척(26)상의 웨이퍼가 전기적으로 접촉한다. 또, 프로브 카드(28)는 테스트헤드(도시하지 않음)를 거쳐서 테스터(6)와 접속된다.
또한, RGV(3)는 장치본체(31)와, 장치본체(31)의 일단부에 배치되고 또한 버퍼(BF)를 탑재하는 버퍼 탑재부(32)와, 버퍼(BF)내에 수용된 각 웨이퍼의 수납위치를 검출하는 맵핑센서(33)와, 버퍼(BF) 및 어댑터유닛(25)(또는 스토커(10)의 버퍼(B))의 사이에 있어서 웨이퍼를 반송하는 RGV 아암기구(34)와, 웨이퍼의 프리 얼라인먼트를 실행하는 서브척(35)과, 광학식의 프리 얼라인먼트 센서(도시하지 않음)와, 웨이퍼의 ID 코드(도시하지 않음)를 판독하는 광학식 문자 해독 장치(OCR)(36)를 구비한다. 버퍼 탑재부(32)에 탑재된 버퍼(BF)는 다른 직경의 웨이퍼를 복수개씩 수납하고 있다. 예를 들면, 버퍼(BF)는 상하 2단으로 구획되며, 상단에 200㎜의 웨이퍼를 복수개 수납하고, 하단에 300㎜의 웨이퍼를 복수개 수납한다.
RGV 아암기구(34)는 신축이 자유롭고 웨이퍼를 진공흡착하는 상하 2단에 배치된 2개의 반송아암(341)(기판반송 수단)과, 각 반송아암(341)을 지지하는 수평면내에 있어서 회전 가능한 기대(342)와, 기대(342)내에 수납된 구동 기구(도시하지 않음)를 구비한다. 또한, 기대(342)는 해당 구동 기구에 의해서 승강한다. 각 반송아암(341)은 웨이퍼를 탑재하는 선단부(이하, 핀셋이라 칭함)를 적어도 1개 구비하고, 각 핀셋은 반송아암(241)의 선단부와 마찬가지로, 2갈래형상, 더욱 구체적으로는 반원형상의 릴리이프부를 갖는 2갈래형상으로 성형되어 있다. 예를 들면, 본 실시형태에서는 상단의 반송아암(341)이 2개의 핀셋을 구비하고, 하단의 반송아암(341)이 1개의 핀셋을 구비하고 있다. 이것에 의해, 상단의 반송아암(341)은 2개의 웨이퍼를 동시에 탑재해서 반송할 수 있다. 여기서, 상단의 반송아암(341)에 있어서의 2개의 핀셋은 후술하는 어댑터유닛(25)에 있어서의 복수의 스테이지아암(41)의 배치 간격과 같은 간격만큼 이간되어 배치되는 것이 바람직하며, 본 실시형태에서는 2개의 핀셋은 예를 들면, 20㎜의 간격을 유지하고 상하 방향에 배치된다. 또한, 각 핀셋은 진공흡착기구(도시하지 않음)를 구비하며, 탑재한 웨이퍼를 진공흡착한다. 또, RGV 아암기구(34)가 구비하는 반송아암(341)의 수는 2개에 한정되지 않으며, 1개라도 좋고, 3개 이상이어도 좋다.
RGV 아암기구(34)에서는 어댑터유닛(25)과의 사이에 있어서 웨이퍼의 인도를 실행할 때, 각 반송아암(341)이 구동 기구에 의해서 기대(342)상에서 개별적으로 신축하고, 기대(342)가 웨이퍼를 인도하는 방향, 예를 들면, 어댑터유닛(25)을 향하는 방향으로 회전함과 동시에, 웨이퍼의 인도를 실행하는 높이, 예를 들면, 어댑터유닛(25)의 높이에 일치하도록 승강한다. 또한, RGV 아암기구(34)에서는 스토커(10)의 버퍼(B)와의 사이에 있어서 웨이퍼의 인도를 실행할 때에도 마찬가지의 동작을 실행한다.
기판반송 시스템(E)에서는 RGV(3)는 RGV 콘트롤러(4)와의 무선통신에 의해서 통지된 후술하는 반송 시퀀스에 따라서 스토커(10) 및 복수의 프로버(2)의 사이를 이동하여 웨이퍼를 반송한다. 예를 들면, 스토커(10)로부터 프로버(2)로 웨이퍼를 반송할 때에는 RGV(3)는 RGV 아암기구(34)에 의해서 웨이퍼를 복수의 프로버(2)에 대해 적어도 1장씩, 예를 들면 2장씩 공급한다. 이 때, RGV(3)가 RGV 콘트롤러(4)의 제어하에서 프로버(2)로의 웨이퍼의 인도 위치(어댑터유닛(25)과 대향하는 위치)에 도달하면, RGV(3)의 RGV 아암기구(34)가 구동하여 웨이퍼를 프로버(2)의 어댑터유닛(25)으로 반입한다. 웨이퍼의 어댑터유닛(25)으로의 반입시에는 상단의 반송아암(341)이 2개의 웨이퍼를 동시에 어댑터유닛(25)에 반입해도 좋고, 또한, 상단의 반송아암(341) 및 하단의 반송아암(341)이 각각 1개의 웨이퍼를 연속해서 어댑터유닛(25)에 반입해도 좋다. 또한, 이 때, RGV(3) 및 프로버(2)는 통신 인터페이스(11A, 11B)를 거쳐서 양자간에서 광결합 PIO 통신을 실행한다.
또한, 프로버(2)로부터 스토커(10)로 웨이퍼를 반송할 때에는 RGV(3)는 RGV 아암기구(34)에 의해서 웨이퍼를 복수의 버퍼(B)에 대해 적어도 1개씩, 예를 들면 2개씩 반입한다. 이 때, RGV(3)가 RGV 콘트롤러(4)의 제어하에서 스토커(10)로의 웨이퍼의 인도 위치(버퍼(B)와 대향하는 위치)에 도달하면, RGV(3)의 RGV 아암기구(34)가 구동하여 웨이퍼를 스토커(10)의 버퍼(B)에 반입한다.
도 4는 프로버가 구비하는 어댑터유닛의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 4에 있어서, 어댑터유닛(25)은 상자형상의 유닛본체(40)와, 해당 유닛본체(40)내에 배치되어 있는 복수의 스테이지아암(41)(기판수용 수단)과, 유닛본 체(40)내에 스테이지아암(41)의 수와 동일한 수만큼 배치되어 있는 웨이퍼 위치 맞춤 기구(42)와, 저면(48) 및 해당 저면(48)에 대향하는 천정면(도시하지 않음)에 배치되는 복수의 광학센서(43)를 구비한다.
유닛본체(40)에서는 측면 중 3면이 개구된다. 구체적으로는 유닛본체(40)는 도 3에 있어서 프로버(2)의 로더실 반송아암기구(24)에 대향하는 면, 프로버(2)에 대응해서 정지한 RGV(3)의 RGV 아암기구(34)에 대향하는 면, 및 해당 RGV 아암기구(34)에 대향하는 면은 반대의 면에 있어서 개구부를 갖는다. 각 개구부는 각 면의 대략 전역에 걸쳐서 개구된다. 로더실 반송아암기구(24)의 반송아암(241) 및 RGV 아암기구(34)의 반송아암(341)은 각 개구부를 거쳐서 유닛본체(40)내로 진입한다.
각 스테이지아암(41)은 저면(48)과 평행을 이루며, 반송아암(241) 또는 반송아암(341)에 의해서 유닛본체(40)내로 반입된 웨이퍼의 중심부를 지지하는 것에 의해, 웨이퍼를 탑재한다. 이것에 의해, 어댑터유닛(25)은 웨이퍼를 일시적으로 보관한다. 또한, 반송아암(241) 또는 반송아암(341)은 스테이지아암(41)에 의해서 지지된 웨이퍼를 반출한다. 웨이퍼는 스테이지아암(41)에 의한 일시적인 보관을 거쳐서 반송아암(241) 또는 반송아암(341)에 의해서 반출·반입되기 때문에, 결과적으로, 어댑터유닛(25)은 웨이퍼의 인도를 실행한다. 또한, 스테이지아암(41)은 진공흡착기구(도시하지 않음)를 구비하여, 탑재한 웨이퍼를 진공흡착한다. 또, 각 스테이지아암(41)은 웨이퍼를 1개씩 탑재한다.
어댑터유닛(25)에서는 복수 예를 들면, 8개의 스테이지아암(41)이 저면(48) 에서 천장면을 향해서(상하 방향에) 서로 소정의 간격, 예를 들면, 20㎜를 유지해서 배치된다. 또, 스테이지아암(41)의 수는 8개에 한정되지 않으며, 8개 내지 13개의 사이에 있어서의 임의의 개수만 배치 가능하다.
웨이퍼 위치 맞춤 기구(42)는 평면에서 보아 L자형상의 블럭부재인 로케이딩블록(421,422)으로 이루어진다. 로케이딩블록(421,422)은 로더실 반송아암기구(24)의 반송아암(241)이 반송하는 웨이퍼의 중심의 이동궤적, 즉 반송아암(241)에 의한 웨이퍼의 반송 방향에 관해 서로 대칭으로 배치된다. 반송아암(241)에 의해서 반송되는 웨이퍼의 외주부가 로케이딩블록(421,422)에 당접(접촉)하는 것에 의해서 웨이퍼의 위치 맞춤이 실행된다.
또한, 어댑터유닛(25)은 저면(48) 및 천장면에 있어서 각각 복수 예를 들면, 8개의 광학센서(43)를 갖는다. 이들 광학센서(43)에 의해서 스테이지아암(41)에 탑재되는 웨이퍼의 위치 어긋남이 검지된다. 각 광학센서(43)는 외부의 검지 결과 해석 장치(도시하지 않음)와 접속되기 위한 배선(도시하지 않음)을 갖기 때문에, 해당 배선이 유닛본체(40)내로 돌출해서, 반송아암(241)이나 반송아암(341)과 간섭할 우려가 있다. 본 실시형태에서는 이것에 대응해서, 반송아암(241)이나 반송아암(341)의 진입 경로의 아래에 배치되는 광학센서(43)의 배선을 덮는 배선커버(49, 50)가 저면(48)상에 마련된다. 이것에 의해, 각 배선과 반송아암(241) 또는 반송아암(341)과의 간섭을 미연에 방지할 수 있다.
어댑터유닛(25)이 구비하는 스테이지아암은 상술한 웨이퍼의 중심부를 지지하는 것에 한정되지 않고, 웨이퍼의 외주부를 지지하는 것이어도 좋다. 이 경우, 스테이지아암은 웨이퍼를 사이에 두고 대향하도록 배치된 2개의 지지부재로 이루어지는 것이 바람직하다.
어댑터유닛(25)에서는 상하 방향에 인접하는 2개의 스테이지아암(41)이 20㎜의 간격을 유지해서 배치되는 한편, RGV 아암기구(34)에 있어서의 상단의 반송아암(341)의 2개의 핀셋이 상하 방향으로 20㎜의 간격을 유지해서 배치되므로, 상단의 반송아암(341)은 2개의 웨이퍼를 동시에 어댑터유닛(25)에 반입하거나, 혹은 어댑터유닛(25)으로부터 반출할 수 있다.
또, 기판반송 시스템(E)에 있어서의 각 프로버(2)가 구비하는 어댑터유닛은 상술한 어댑터유닛(25)과 같이 복수의 웨이퍼를 수용할 수 있는 것에 한정되지 않으며, 예를 들면, 1개의 웨이퍼 탑재대만을 구비한 1개의 웨이퍼만을 수용할 수 있는 것이어도 좋다. 프로버(2)가 구비하는 어댑터유닛의 종류는 해당 프로버(2)에 있어서의 처리에 요하는 시간에 따라서 결정된다. 구체적으로는 처리에 요하는 시간이 짧은 경우에는 복수의 웨이퍼를 수용할 수 있는 어댑터유닛을 구비하고, 처리에 요하는 시간이 긴 경우에는 1개의 웨이퍼만을 수용할 수 있는 어댑터유닛을 구비하는 것이 바람직하다.
도 5는 스토커가 구비하는 버퍼의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 5에 있어서, 버퍼(B)는 상자형상의 유닛본체(51)와, 해당 유닛본체(51)내에 배치되어 있는 복수의 웨이퍼 탑재부(52)를 구비한다. 유닛본체(51)에서는 측면 중 1면이 개구된다. 구체적으로는 유닛본체(51)는 스토커(10)에 대응해서 정지한 RGV(3)의 RGV 아암기구(34)에 대향하는 면에 있어서 개구부(53)를 갖는다. 해 당 개구부는 면의 대략 전역에 걸쳐 개구되지만, 오퍼레이터에 의한 반출·반입시에는 덮개(도시하지 않음)에 의해서 폐쇄된다. RGV 아암기구(34)의 반송아암(341)은 개구부(53)를 거쳐서 유닛본체(51)내로 진입한다.
각 웨이퍼탑재부(52)는 개구부(53)를 갖는 측면에 인접하는 측면의 각각으로부터 저면(54)과 평행하게 돌출된 지지부재(52a, 52b)로 이루어지고, 반송아암(341)에 의해서 유닛본체(51)내로 반입된 웨이퍼의 외주부를 지지하는 것에 의해서, 웨이퍼를 탑재한다. 이것에 의해, 버퍼(B)는 웨이퍼를 일시적으로 보관한다. 또한, 반송아암(341)은 웨이퍼 탑재부(52)에 의해서 지지된 웨이퍼를 반출한다. 웨이퍼는 웨이퍼 탑재부(52)에 의한 일시적인 보관을 거쳐서 반송아암(341)에 의해서 반출·반입되기 때문에, 결과적으로, 버퍼(B)는 웨이퍼의 인도를 실행한다. 또, 각 웨이퍼 탑재부(52)는 웨이퍼를 1개씩 탑재한다.
버퍼(B)에서는 복수의 웨이퍼탑재부(52)가 저면(53)으로부터 천장면을 향해(상하 방향으로) 서로 소정의 간격, 예를 들면 20㎜를 유지해서 배치된다. 여기서, 상술한 바와 같이, RGV 아암기구(34)에 있어서의 상단의 반송아암(341)의 2개의 핀셋은 상하 방향으로 20㎜의 간격을 유지해서 배치된다. 따라서, 상단의 반송아암(341)은 2개의 웨이퍼를 동시에 버퍼(B)로 반입하거나, 혹은 버퍼(B)로부터 반출할 수 있다.
상술한 기판반송 시스템(E)에서는 RGV 아암기구(34)에 있어서의 상단의 반송아암(341)은 2개의 웨이퍼를 동시에 어댑터유닛(25)으로 반입하거나, 혹은 어댑터유닛(25)으로부터 반출할 수 있으며, 또, 2개의 웨이퍼를 동시에 버퍼(B)로 반입하 거나, 혹은 버퍼(B)로부터 반출할 수 있으므로, 웨이퍼의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
다음에, 본 실시형태에 관한 기판반송 방법에 대해서 설명한다.
종래의 기판반송 시스템에서는 RGV가 웨이퍼를 반송할 때, 스토커 또는 프로버로부터 수취한 웨이퍼를 일단 RGV의 버퍼내에 수용해서 반송하기 때문에, 스토커 또는 프로버와의 웨이퍼의 인도에 있어서, 웨이퍼의 버퍼로의 수용 및 버퍼로부터의 꺼냄이 발생하여, 웨이퍼의 반송효율의 향상을 방해하고 있었다.
본 실시형태에 관한 기판반송 방법은 이것에 대응해서, RGV(3)가 웨이퍼를 버퍼(BF)에 수용하는 일 없이 반송한다.
도 6의 (a), (b) 및 (c)는 본 실시형태에 관한 기판반송 방법의 일예를 나타내는 공정도이다.
도 6의 (a), (b) 및 (c)에 있어서, 스토커(10)의 버퍼(B)에 대향하도록 정지한 RGV(3)는 반송아암(341)을 연신(延伸)시키는 것에 의해서 해당 반송아암(341)을 버퍼(B)로 진입시켜, 웨이퍼(W)를 버퍼(B)로부터 반출한다(도 6의 (a)).
계속해서, 웨이퍼(W)를 반출한 반송아암(341)은 웨이퍼(W)를 탑재한 채 수축하지만, 해당 웨이퍼(W)를 버퍼(BF)에 수용하지 않는다. 다시 말하면, 웨이퍼(W)를 반출한 반송아암(341)은 웨이퍼(W)를 탑재한 채 동작을 중단한다. 그리고, RGV(3)는 반송아암(341)에 웨이퍼(W)를 탑재시킨 채 레일(12)을 따라서 소정의 프로버(2)까지 이동시킨다(도 6의 (b)).
계속해서, 소정의 프로버(2)까지 이동하여 어댑터유닛(25)에 대향하도록 정 지한 RGV(3)는 웨이퍼(W)를 탑재한 반송아암(341)을 연신시키는 것에 의해서 해당 반송아암(341)을 어댑터유닛(25)으로 진입시키고, 웨이퍼(W)를 어댑터유닛(25)에 반입한다(도 6의 (b)).
상술한 도 6의 기판반송 방법에 따르면, 웨이퍼(W)를 반출한 반송아암(341)이 웨이퍼(W)를 탑재한 채 동작을 중단하고, RGV(3)가 반송아암(341)에 웨이퍼(W)를 탑재시킨 채 이동시키므로, RGV(3)에 있어서 웨이퍼(W)를 버퍼(BF)에 수용할 필요 및 웨이퍼(W)를 버퍼(BF)로부터 꺼낼 필요를 없앨 수 있어, 웨이퍼(W)의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
RGV(3)가 이동할 때에 웨이퍼를 탑재하는 반송아암(341)은 RGV 아암기구(34)에 있어서의 상단 및 하단의 반송아암(341)의 어느 것이어도 좋지만, 상단의 반송아암(341)이면, 해당 상단의 반송아암(341)은 상술한 바와 같이, 2개의 웨이퍼를 동시에 버퍼(B)로부터 반출할 수 있다, 즉, 2개의 웨이퍼를 탑재할 수 있으므로, RGV(3)가 반송아암(341)에 2개의 웨이퍼(W)를 탑재시킨 채 이동시킬 수 있어, 더욱 웨이퍼(W)의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
또, 상단의 반송아암(341) 및 하단의 반송아암(341) 모두가 웨이퍼(W)를 버퍼(B)로부터 반출하고, RGV(3)가 상단의 반송아암(341) 및 하단의 반송아암(341)의 각각에 웨이퍼(W)를 탑재시킨 채 이동시켜도 좋으며, 이것에 의해, 더욱 웨이퍼(W)의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 상술한 도 6의 기판반송 방법에서는 RGV(3)가 반송아암(341)에 웨이퍼(W)를 탑재시킨 채 스토커(10)로부터 프로버(2)로 이동시켰지만, RGV(3)는 반송 아암(341)에 웨이퍼(W)를 탑재시킨 채 프로버(2)로부터 스토커(10), 혹은 1개의 프로버(2)로부터 다른 프로버(2)로 이동시켜도 좋으며, 이것에 의해, 프로버(2)로부터 스토커(10), 혹은 1개의 프로버(2)로부터 다른 프로버(2)로의 웨이퍼(W)의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
또, 상술한 도 6의 기판반송 방법에서는 자유로이 신축하는 반송아암(341)이 버퍼(B)로부터 웨이퍼(W)를 반출하고, 해당 웨이퍼(W)를 어댑터유닛(25)에 반입하므로, 웨이퍼(W)의 반출·반입(인도)을 원활하게 실행할 수 있어, 더욱 웨이퍼(W)의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
상술한 도 6의 기판반송 방법에서는 반송아암(341)이 웨이퍼(W)를 버퍼(BF)에 수용하지 않지만, 반송아암(341)이 버퍼(B)로부터 복수개의 웨이퍼(W)를 반출하는 경우, 반송아암(341)은 반출한 복수의 웨이퍼(W) 중 몇개는 버퍼(BF)에 저장하고, 마지막에 반출한 웨이퍼(W)만을 버퍼(BF)에 수용하지 않고 그대로 탑재해도 좋다.
그런데, 종래의 기판반송 시스템에 있어서의 RGV의 반송아암은 미리 설정된 웨이퍼의 반송지인 목표위치를 향해서 웨이퍼를 반송한다. 여기서, RGV의 반송아암은 목표위치 이외에 있어서 동작, 예를 들면, 신축을 중단하는 일이 없다.
한편, 본 실시형태에 관한 기판반송 방법에서는 웨이퍼(W)를 반출한 반송아암(341)이 웨이퍼(W)를 탑재한 채 동작을 중단시킬 필요가 있다. 그래서, 기판반송 시스템(E)에서는 반송아암(341)이 웨이퍼(W)를 탑재한 채 동작을 중단시키는 반송아암 동작 중단위치가 설정되어 있다. 반송아암 동작 중단위치는 웨이퍼(W)를 반출한 반송아암(341)이 수축한 위치로서, 반송아암(341)이 탑재하는 웨이퍼(W)가 RGV(3)의 대략 중앙에 위치하는 것과 같은 위치이다(도 6의 (b)참조.). 따라서, 기판반송 시스템(E)에서는 웨이퍼(W)의 반송지인 목표위치로서, 스토커(10)에 해당하는 「ST」, RGV(3)의 버퍼(BF)에 해당 하는 「BF」, 및 프로버(2)에 해당하는 「EQ」가 설정되고, 또 반송아암 동작 중단위치로서, 반송아암(341)이 수축된 위치에 해당하는 「PBF」가 설정되어 있다.
상술한 기판반송 시스템(E)에 의하면,「PBF」가 설정되어 있으므로, RGV(3)가 이동하는 동안에 반송아암(341)에 의해서 웨이퍼(W)를 PBF에 위치시키는 것에 의해, RGV(3)가 반송아암(341)에 웨이퍼(W)를 탑재시킨 채 이동시킬 수 있고, 이것에 의해, RGV(3)에 있어서 웨이퍼(W)를 버퍼(BF)에 수용할 필요 및 웨이퍼(W)를 버퍼(BF)로부터 꺼낼 필요를 없앨 수 있어, 웨이퍼(W)의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 「PBF」는 RGV 아암기구(34)에 있어서의 상단의 반송아암(341) 및 하단의 반송아암(341)의 양쪽, 또는 어느 한쪽에만 대해서 설정되어도 좋다. 이것에 의해, 웨이퍼의 반송형태의 선택지를 늘릴 수 있어, 더욱 웨이퍼(W)의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
종래, 기판반송 시스템에서는 반송아암에 의한 웨이퍼의 반송순서(이하, 「반송 시퀀스」라 함)가 호스트 컴퓨터에 의해서 설정되어 있다. 호스트 컴퓨터는 오퍼레이터로부터의 입력 등에 따라서 복수의 후술하는 반송 커맨드를 조합하는 것에 의해서 반송 시퀀스를 설정한다. 반송 커맨드는 반송아암에 의한 웨이퍼의 반 송 경로를 규정하는 커맨드로서, 기판반송 시스템에서는 웨이퍼의 반송지인 목표위치의 조합 가능한 수에 대응해서 복수의 커맨드가 미리 준비되어 있다. 구체적으로는 각 커맨드는 호스트 컴퓨터가 구비하는 HDD(도시하지 않음) 등에 저장되어 있다.
각 반송 커맨드에서는 웨이퍼의 반송원 및 반송지가 규정되어 있다. 설정된 반송 시퀀스는 RGV 콘트롤러로 송신되고, RGV 콘트롤러는 무선통신에 의해서 반송 시퀀스를 RGV에 통지하고, RGV는 통지된 반송 시퀀스에 따라서 스토커 및 복수의 프로버의 사이를 이동하여 웨이퍼를 반송한다.
여기서, 상술한 바와 같이, 본 실시형태에 관한 기판반송 시스템으로서의 기판반송 시스템(E)에서는 목표위치로서의「ST」,「BF」, 및「EQ」이외에 반송아암(341)이 수축된 위치에 해당하는 「PBF」가 설정되기 때문에, 웨이퍼의 반송원 또는 반송지로서「PBF」가 설정된 반송 커맨드가 미리 준비되어 있다. 즉, 미리 준비되어 있는 복수의 반송 커맨드 중, 몇개의 반송 커맨드가 규정하는 반송 경로에는 반송지, 반송원 혹은 경유개소로서「PBF」가 설정되어 있다.
이하, 기판반송 시스템(E)에 있어서의 반송 커맨드의 구체예에 대해서 설명한다.
기판반송 시스템(E)에 있어서의 반송 커맨드의 종류로서는 하나의 반송아암(341)이 단독으로 다른 반송아암(341)과 제휴하는 일 없이 웨이퍼를 반송하는 단독 동작 모드와, 상단 및 하단의 반송아암(341)이 연속해서 동일한 반송 경로로 웨이퍼를 반송하는 연속 동작 모드와, 하나의 반송아암(341)이 웨이퍼를 어댑터유 닛(25) 또는 버퍼(B)로부터 반출하고, 계속해서, 다른 반송아암(341)이 다른 웨이퍼를 어댑터유닛(25) 또는 버퍼(B)로 반입하는 교체 동작 모드가 있다.
아래의 표 1은 기판반송 시스템(E)에 있어서 미리 준비되어 있는 단독 동작 모드의 반송 커맨드의 리스트이고, 도 7은 단독 동작 모드의 각 반송 커맨드가 규정하는 반송 경로를 나타내는 도면이다.
CASE 반송
FROM TO
A ST BF
A-1 ST PBF
A-2 PBF BF
B BF EQ
B-1 BF PBF
B-2 PBF EQ
C EQ BF
C-1 EQ PBF
C-2 PBF BF
D BF ST
D-1 BF PBF
D-2 PBF ST
E ST EQ
ST PBF
PBF EQ
F EQ ST
EQ PBF
PBF ST
G EQ EQ
EQ PBF
PBF EQ
H ST ST
ST PBF
PBF ST
I BF BF
BF PBF
PBF BF
표 1에 있어서, 「CASE」는 각 반송 커맨드의 명칭이며, 「FROM」은 반송원을 나타내고, 「TO」는 반송지를 나타낸다. 또한, 음영처리되어 있는 반송원 및 반송지는 반송 커맨드에 있어서의 경유개소를 나타내고, 예를 들면, 반송 커맨드 E는「ST」부터「EQ」까지의 반송 경로를 규정하지만, 「ST」부터「EQ」까지의 사이에「PBF」를 경유한다. 구체적으로는 반송 커맨드 E에서는 웨이퍼를 우선「ST」부터「PBF」까지 반송하고, 또한「PBF」부터「EQ」까지 반송한다.
도 7에서는 각 반송 커맨드가 규정하는 반송 경로가 화살표로 나타내져 있지만, 「()」가 붙어져 표시되는 반송 커맨드는 해당 반송 커맨드가 붙여지는 화살표와는 반대 방향의 반송 경로를 규정한다.
기판반송 시스템(E)에서는 종래의 기판반송 시스템에 대해「PBF」가 추가되어 설정되어 있으므로, 단독 동작 모드에 있어서 반송 커맨드「A-1」,「A-2」,「B-1」,「B-2」,「C-1」,「C-2」,「D-1」,「D-2」,「E」,「F」,「G」,「H」,「I」가 추가되어 있다.
아래의 표 2는 기판반송 시스템(E)에 있어서 미리 준비되어 있는 연속 동작 모드의 반송 커맨드의 리스트이고, 도 8은 연속 동작 모드의 각 반송 커맨드가 규정하는 반송 경로를 나타내는 도면이다.
CASE 반송
상단 반송아암 하단 반송아암
FROM TO FROM TO
A ST BF ST BF
ST PBF ST PBF
PBF BF PBF BF
B BF ST BF ST
BF PBF BF PBF
PBF ST PBF ST
C BF EQ BF EQ
BF PBF BF PBF
PBF EQ PBF EQ
D ST EQ ST EQ
ST PBF ST PBF
PBF EQ PBF EQ
E EQ ST EQ ST
EQ PBF EQ PBF
PBF ST PBF ST
F EQ BF EQ BF
EQ PBF EQ PBF
PBF BF PBF BF
G ST BF ST PBF
H BF ST PBF ST
I PBF EQ BF EQ
표 2에 있어서의「CASE」,「FROM」,「TO」는 표 1의 것과 동일하며, 음영처리의 의미도 표 1과 동일하다.
도 8에서는 화살표로 표시되는 반송 경로 중, 실선으로 표시되는 화살표는 상단의 반송아암(341)의 반송 경로이며, 파선으로 표시되는 화살표는 하단의 반송아암(341)의 반송 경로이다. 또한, 「()」가 붙여져 표시되는 반송 커맨드는 해당 반송 커맨드가 붙여지는 화살표와는 반대 방향의 반송 경로를 규정한다.
연속 동작 모드의 반송 커맨드「A」,「B」,「C」,「D」,「E」,「F」,「G」,「H」,「I」에서는 경유개소, 반송지 혹은 반송원에「PBF」가 설정되어 있으므로, 이들 반송 커맨드는 종래의 기판반송 시스템에서는 준비되어 있지 않은 반송 커맨드이다.
아래의 표 3은 기판반송 시스템(E)에 있어서 미리 준비되어 있는 교체 동작 모드의 반송 커맨드의 리스트이고, 도 9는 교체 동작 모드의 각 반송 커맨드가 규정하는 반송 경로를 나타내는 도면이다.
CASE 반송
상단 반송아암 하단 반송아암
FROM TO FROM TO
A BF EQ EQ BF
B EQ BF BF EQ
C ST EQ EQ ST
D EQ ST ST EQ
E ST BF BF ST
F BF ST ST BF
G PBF EQ EQ PBF
H EQ PBF PBF EQ
I PBF ST ST PBF
J ST PBF PBF ST
K EQ BF PBF EQ
L EQ PBF BF EQ
표 3에 있어서의「CASE」,「FROM」,「TO」는 표 1의 것과 동일하다.
도 9에서는 화살표로 표시되는 반송 경로 중, 실선으로 표시되는 화살표는 상단의 반송아암(341)의 반송 경로이며, 파선으로 표시되는 화살표는 하단의 반송아암(341)의 반송 경로이다. 또한, 「()」가 붙여져 표시되는 반송 커맨드는 해당 반송 커맨드가 붙여지는 화살표와는 반대 방향의 반송 경로를 규정한다.
교체 동작 모드의 반송 커맨드 중, 반송 커맨드「C」,「D」,「G」,「H」,「I」,「J」,「K」,「L」에서는 경유개소, 반송지 혹은 반송원에 「PBF」가 설정되어 있으므로, 이들 반송 커맨드는 종래의 기판반송 시스템에서는 준비되어 있지 않은 반송 커맨드이다.
상술한 기판반송 시스템(E)에 의하면, 호스트 컴퓨터(1)는「PBF」가 설정되어 있는 반송 경로를 규정하는 반송 커맨드를 포함하는 복수의 반송 커맨드를 조합해서 웨이퍼의 반송 시퀀스를 설정하므로, 설정된 반송 시퀀스에 있어서, RGV(3)가「PBF」에 있어서 반송아암(341)에 웨이퍼를 탑재시킨 채 이동시킬 수 있고, 이것에 의해, RGV(3)에 있어서 웨이퍼를 버퍼(BF)에 수용할 필요 및 웨이퍼를 버퍼(BF)로부터 꺼낼 필요를 없앨 수 있어, 웨이퍼의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 상술한 기판반송 시스템(E)에 의하면, 반송 경로에 있어서의 경유개소, 반송지 혹은 반송원에「PBF」가 설정되어 있으므로, 반송 커맨드의 종류를 종래의 기판반송 시스템에 비해 대폭 늘릴 수 있고, 반송 시퀀스에 관한 설정의 자유도를 늘릴 수 있어, 예를 들면, 각 반송 커맨드를 최적으로 조합해서 반송 시퀀스를 설정하는 것에 의해, 웨이퍼의 반송 시간을 대폭 단축시킬 수 있어, 더욱 웨이퍼의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
상술한 기판반송 시스템(E)에서는 호스트 컴퓨터(1)가 연속 동작 모드의 반송 커맨드나 교체 동작 모드의 반송 커맨드를 이용해서 반송 시퀀스를 설정하는 경우에는 상단의 반송아암(341) 및 하단의 반송아암(341)에 공통의 반송 시퀀스만을 설정하지만, 호스트 컴퓨터(1)가 연속 동작 모드의 반송 커맨드나 교체 동작 모드의 반송 커맨드를 이용하지 않고 상단의 반송아암(341) 및 하단의 반송아암(341)의 각각에 대해 다른 반송 시퀀스를 설정해도 좋다. 이 때, 상단의 반송아암(341) 및 하단의 반송아암(341)의 반송 경로는 다르다. 이것에 의해, 반송 시퀀스에 관한 설정의 자유도를 더욱 늘릴 수 있다.
기판반송 시스템(E)에 있어서의 교체 동작 모드의 각 반송 커맨드에서는 하나의 반송아암(341)이 웨이퍼를 어댑터유닛(25) 또는 버퍼(B)로부터 반출하고, 계속해서 다른 반송아암(341)이 다른 웨이퍼를 어댑터유닛(25) 또는 버퍼(B)로 반입하므로, 웨이퍼의 교체를 신속하게 실행할 수 있다. 따라서, 교체 동작 모드의 각 반송 커맨드를 이용해서 반송 시퀀스를 설정하면, 더욱 웨이퍼의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 기판반송 시스템(E)에 있어서의 연속 동작 모드의 각 반송 커맨드에서는 상단 및 하단의 반송아암(341)이 연속해서 동일한 반송 경로로 웨이퍼를 반송하므로, 복수의 웨이퍼가 연속적으로 반송된다. 따라서, 연속 동작 모드의 각 반송 커맨드를 이용해서 반송 시퀀스를 설정하면, 더욱 웨이퍼의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
계속해서, 도 1의 기판반송 시스템에 있어서 실행되는 웨이퍼 반송 처리에 대해서 설명한다.
종래의 기판반송 시스템에서는 반송 시퀀스에 따라서 프로버까지 이동시킨 RGV가 해당 프로버와 광결합 PIO 통신을 실행한 후에, 프로버는 호스트 컴퓨터에 RGV가 도착한 사실 및 프로버의 상태, 예를 들면, 웨이퍼를 받아들임 가능한지의 여부를 연락하고, 해당 연락을 수신한 호스트 컴퓨터는 RGV가 반송하는 웨이퍼의 제원, 예를 들면, ID번호, 처리이력, 처리내용(레시피 데이터), 처리 시간, 처리우선도, 웨이퍼를 탑재해야 할 스테이지아암의 위치(슬롯번호)를 프로버에 연락한다. 그리고, 연락을 수신한 프로버는 광결합 PIO 통신에 의해서 웨이퍼의 반입을 허가하는 취지를 RGV에 연락하고, 해당 연락을 수신한 RGV는 웨이퍼를 어댑터유닛으로 반입한다.
그러나, 프로버는 RGV가 프로버까지 이동한 후에 해당 프로버의 상태를 호스트 컴퓨터에 연락하므로, 프로버가 웨이퍼를 받아들임 불가능한 상태에 있는 경우, RGV에 의한 스토커로부터 프로버까지의 이동공정이 낭비로 되는 경우가 있었다.
또한, 어댑터유닛에 있어서의 스테이지아암이 진공흡착 가능하게 될 때까지는 진공흡착기구를 기동하고 나서 소정의 시간을 요하기 때문에, RGV가 프로버까지 이동한 후에, 프로버가 호스트 컴퓨터로부터 슬롯번호의 연락을 수신하고, 수신한 슬롯번호에 대응하는 스테이지아암의 진공흡착기구를 기동하는 것에서는 웨이퍼의 어댑터유닛으로의 반입에 관해서 대기 시간이 발생하는 경우가 있었다.
이하에 상세하게 기술하는 본발명의 웨이퍼 반송 처리에서는 이것에 대응해서, RGV가 프로버로 이동하기 전에 호스트 컴퓨터가 프로버로 반송하는 웨이퍼의 제원을 연락하고, 또한, 프로버가 해당 프로버의 상태를 호스트 컴퓨터에 연락한다.
도 10은 도 1의 기판반송 시스템에 있어서 실행되는 웨이퍼 반송 처리의 플로챠트이다.
도 10에 있어서, 우선, 오퍼레이터에 의해서 소정의 검사 처리의 지시가 입력되면, 호스트 컴퓨터(1)는 해당 소정의 검사 처리에 있어서 웨이퍼의 전기적 특성검사를 실행하는 각 프로버(2)에 지금부터 반송할 웨이퍼의 제원, 예를 들면, ID번호, 처리이력, 처리내용(레시피 데이터), 처리 시간, 처리우선도, 슬롯번호를 통지함과 동시에, 각 프로버(2)의 상태를 문의한다 (스텝 S101)(상태문의 스텝).
계속해서, 각 프로버(2)는 수신한 웨이퍼의 제원에 의거해서 웨이퍼의 받아들임 준비, 예를 들면 수신한 슬롯번호에 대응하는 스테이지아암(41)의 진공흡착기구의 기동을 실행함과 동시에, 해당 프로버(2)의 상태, 예를 들면 웨이퍼를 받아들임 가능한지의 여부, 수신한 슬롯번호에 대응하는 스테이지아암(41)이 웨이퍼를 탑재하고 있는지의 여부(빈 슬롯인지의 여부), 및 웨이퍼를 탑재하고 있지 않은 스테이지아암(41)의 수(빈 슬롯의 수)를 호스트 컴퓨터(1)에 연락한다(스텝 S102)(상태연락 스텝).
계속해서, 각 프로버(2)의 상태의 연락을 수신한 호스트 컴퓨터(1)는 각 프로버(2)의 상태에 따라서 반송 시퀀스를 설정한다(스텝 S103)(반송 시퀀스 설정 스텝). 예를 들면, 웨이퍼를 받아들임 불가능한 상태에 있는 프로버(2)가 있으면, 해당 프로버(2)를 건너뛰도록 반송 시퀀스를 설정한다. 또한, 호스트 컴퓨터(1)는 수신한 빈 슬롯의 수에 따라서 어댑터유닛(25)으로 웨이퍼를 반입하는 반송아암(341)을 선택한다. 더욱 구체적으로는 빈 슬롯의 수가 복수이고, 적어도 2개의 빈 슬롯이 인접하는 경우에는 2개의 웨이퍼를 동시에 반입 가능한 상단의 반송아암(341)에 의해서 웨이퍼를 어댑터유닛(25)에 반입하도록 반송 시퀀스가 설정되고, 빈 슬롯의 수가 1인 경우나, 서로 인접하는 빈 슬롯이 존재하고 있지 않는 경우에는 1개의 웨이퍼만을 반입 가능한 하단의 반송아암(341)에 의해서 웨이퍼를 어댑터유닛(25)에 반입하도록 반송 시퀀스가 설정된다.
계속해서, 호스트 컴퓨터(1)는 설정한 반송 시퀀스를 RGV 콘트롤러(4)에 송신하고, RGV 콘트롤러(4)는 무선통신에 의해서 반송 시퀀스를 RGV(3)에 통지한다(스텝 S104)(반송 시퀀스 통지 스텝).
계속해서, RGV(3)는 입력된 반송 시퀀스에 따라서, 우선 스토커(10)까지 이동하고, 해당 스토커(10)로부터 소정 개수의 웨이퍼를 반출한다(스텝 S105). 그리고, RGV(3)는 소정 개수 중 몇 개를 버퍼(BF)에 저장하고, 나머지 웨이퍼를 반송아암(341)에 탑재시킨 채, 소정의 프로버(2)로 이동시킨다(스텝 S106)(이동 스텝).
계속해서, RGV(3)는 소정의 프로버(2)까지 이동하면, 해당 프로버와 광결합 PIO 통신을 실행한다(스텝 S107). 이 때, RGV(3)는 PIO 통신에 의해서 해당 RGV(3)이 도착한 사실을 프로버(2)에 연락함과 동시에, 프로버(2)가 구비하는 어댑터유닛의 종류를 문의하고(스텝 S108)(기판 인도부 종류 문의 스텝), 문의를 수신한 프로버(2)는 해당 프로버(2)가 구비하는 어댑터유닛의 종류를 RGV(3)에 연락한다(스텝 S109)(기판 인도부 종류 연락 스텝).
계속해서, RGV(3)는 수신한 어댑터유닛의 종류가 반송 시퀀스에 있어서 규정되어 있는 반송아암(341)이 반입 가능한 웨이퍼의 개수와 정합해 있는지의 여부를 판별하고(스텝 S110), 어댑터유닛의 종류가 반입 가능한 웨이퍼의 개수와 정합해 있는 경우, 예를 들면 어댑터유닛이 복수의 웨이퍼를 받아들임 가능한 어댑터유닛(25)이고, 반송 시퀀스에 있어서 규정되어 있는 반송아암(341)이 상단 또는 하단의 반송아암(341)인 경우에는 웨이퍼를 어댑터유닛으로 반입하고(스텝 S111), 어댑터유닛의 종류가 반입 가능한 웨이퍼의 개수와 정합하고 있지 않은 경우, 예를 들면, 어댑터유닛이 1개의 웨이퍼만을 받아들임 가능한 어댑터유닛이고, 반송 시퀀스에 있어서 규정되어 있는 반송아암(341)이 상단의 반송아암(341)인 경우에는 스텝 S111을 스킵해서(건너뛰고) 웨이퍼를 어댑터유닛으로 반입하지 않고 스텝 S112로 진행한다. 또, RGV(3)는 스텝 S108에 있어서 프로버(2)가 구비하는 어댑터유닛의 종류를 문의한 후, 소정 시간의 동안에 프로버(2)로부터 연락이 없는 경우에도 즉시 스텝 S112로 진행한다.
계속해서, RGV(3)는 반송 시퀀스에 있어서 규정된 웨이퍼의 반송지로서의 프로버(2)가 남아 있는지의 여부를 판별하고(스텝 S112), 반송지로서의 프로버(2)가 남아 있는 경우에는 스텝 S106으로 되돌아가고, 반송지로서의 프로버(2)가 남아 있지 않은 경우에는 해당 처리를 종료한다.
도 10의 웨이퍼 반송 처리에 의하면, 호스트 컴퓨터(1)가 반송되는 웨이퍼의 제원을 프로버(2)에 통지함과 동시에, 프로버(2)의 상태를 문의하고(스텝 S101), 상태를 문의받은 프로버(2)가 해당 프로버(2)의 상태를 호스트 컴퓨터(1)에 연락하고(스텝 S102), 호스트 컴퓨터(1)가 연락된 상태에 의거해서 반송 시퀀스를 설정하며(스텝 S103), 호스트 컴퓨터(1)가 설정된 반송 시퀀스를 RGV 콘트롤러(4)를 거쳐서 RGV(3)에 통지하므로(스텝 S104), 프로버(2)는 미리 반송되어 오는 웨이퍼의 제원을 알 수 있어, 웨이퍼가 반송된 후에 해당 웨이퍼의 제원을 호스트 컴퓨터(1)에 문의할 필요를 없앨 수 있고, 또 프로버(2)가 웨이퍼를 받아들임 불가능한 상태에 있는 경우에 RGV(3)는 해당 프로버(2)를 건너뛸 수 있다. 이것에 의해, 웨이퍼의 반송효율을 향상시킬 수 있다. 또한, RGV(3)가 이동을 개시한 후, 호스트 컴퓨터(1)와 프로버(2)의 사이에 있어서 통신장해가 발생해도, 프로버(2)는 반송되어 오는 웨이퍼의 제원을 이미 알고 있기 때문에, 이후의 검사 처리에 있어서 지장을 초래하는 일이 없다.
또한, 도 10의 웨이퍼반송 처리에서는 RGV(3)가 반송아암(341)에 웨이퍼를 탑재시킨 채 이동하므로(스텝 S106), RGV(3)에 있어서 웨이퍼를 버퍼(BF)에 수용할 필요 및 웨이퍼를 버퍼(BF)로부터 꺼낼 필요를 없앨 수 있어, 더욱 웨이퍼의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 도 10의 웨이퍼 반송 처리에서는 RGV(3)에 의한 웨이퍼를 반입하기 전에, 프로버(2)가 어댑터유닛의 종류를 RGV(3)에 연락하므로(스텝 S109), RGV(3)가 동시에 프로버(2)에 반입 가능한 웨이퍼의 개수와, 프로버(2)가 동시에 받아들임 가능한 웨이퍼의 개수의 정합을 확인할 수 있어, 웨이퍼의 인도를 확실하게 실행할 수 있다. 이것에 의해, RGV(3)가 이동하고 있는 도중에 오퍼레이터가 프로버(2)의 어댑터유닛을 교체해도 어댑터유닛으로의 웨이퍼의 반입에 지장을 초래하는 일이 없다.
또한, 도 10의 웨이퍼 반송 처리에 의하면, 반송 시퀀스의 설정시, 빈 슬롯의 수에 따라서, 어댑터유닛에 웨이퍼를 인도하는 반송아암(341)이 선택되므로, 빈 슬롯의 수와, 반송아암(341)을 반입할 수 있는 웨이퍼의 개수를 정합시킬 수 있어, 웨이퍼의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
또, 도 10의 웨이퍼 반송 처리에서는 빈 슬롯의 수가 1인 경우, 1개의 웨이퍼만을 반입할 수 있는 하단의 반송아암(341)이 선택되므로, 반송아암(341)이 어댑터유닛에 웨이퍼를 인도할 수 없는 사태의 발생을 방지할 수 있다.
상술한 기판 반송 시스템(E)는 기판 처리 장치로서 프로버를 구비하였지만, 기판 처리 장치의 종류는 이것에 한정되지 않으며, 웨이퍼에 소정의 처리를 실시하는 장치, 예를 들면, 플라즈마 처리 장치(에칭 처리 장치, CVD 처리 장치)이어도 좋다. 또한, 기판반송 시스템(E)가 구비하는 기판 처리 장치는 낱장으로 웨이퍼를 처리하는 장치에 한정되지 않으며, 복수개의 웨이퍼를 배치(batch) 처리하는 장치여도 좋다. 또한, 기판반송 시스템(E)가 구비하는 기판 처리 장치의 수도 복수에 한정되지 않고, 1개여도 좋다.
또한, 기판반송 시스템(E)시스템(E) 반송되는 기판은 반도체 디바이스용의 웨이퍼에 한정되지 않으며, LCD(Liquid Crystal Display)나 FPD(Flat Panel Display) 등에 이용하는 각종 기판이나, 포토 마스크, CD 기판, 프린트 기판 등이어도 좋다.
본 발명의 목적은 상술한 본 실시형태의 기능을 실현하는 소프트웨어의 프로그램 코드를 기록한 기억 매체를, 컴퓨터 예를 들면 호스트 컴퓨터(1)나 RGV 콘트롤러(4)에 공급하고, 컴퓨터의 CPU가 기억 매체에 수용된 프로그램 코드를 리드해서 실행하는 것에 의해서도 달성된다.
이 경우, 기억 매체로부터 리드된 프로그램 코드 자체가 상술한 본 실시형태의 기능을 실현하게 되어, 프로그램 코드 및 그 프로그램 코드를 기억한 기억 매체는 본 발명을 구성하게 된다.
또한, 프로그램 코드를 공급하기 위한 기억 매체로서는 예를 들면, RAM, NV-RAM, 플로피(등록상표)디스크, 하드디스크, 광디스크, 광자기디스크, CD-ROM, CD-R, CD-RW, DVD(DVD-ROM, DVD-RAM, DVD-RW, DVD+RW), 자기테이프, 비휘발성의 메모리 카드, 다른 ROM 등의 상기 프로그램 코드를 기억할 수 있는 것이면 좋다. 혹은, 상기 프로그램 코드는 인터넷, 상용 네트워크 혹은 로컬에리어 네트워크 등에 접속되는 도시하지 않은 다른 컴퓨터나 데이터베이스 등으로부터 다운로드하는 것에 의해 컴퓨터에 공급되어도 좋다.
또한, 컴퓨터가 리드한 프로그램 코드를 실행하는 것에 의해, 상기 본 실시형태의 기능이 실현될 뿐만 아니라, 그 프로그램 코드의 지시에 의거하여, CPU상에서 가동하고 있는 OS(오퍼레이팅 시스템) 등이 실제의 처리의 일부 또는 전부를 실행하고, 그 처리에 의해서 상술한 본 실시형태의 기능이 실현되는 경우도 포함된다.
또한, 기억 매체로부터 리드된 프로그램 코드가, 컴퓨터에 삽입된 기능확장 보드나 컴퓨터에 접속된 기능확장 유닛에 구비되는 메모리에 라이트된 후, 그 프로그램 코드의 지시에 의거하여, 그 기능확장 보드나 기능확장 유닛에 구비되는 CPU 등이 실제의 처리의 일부 또는 전부를 실행하고, 그 처리에 의해서 상술한 본 실시형태의 기능이 실현되는 경우도 포함된다.
상기 프로그램 코드의 형태는 오브젝트 코드, 인터프리터에 의해 실행되는 프로그램 코드, OS에 공급되는 스크립 데이터 등의 형태로 이루어져도 좋다.
청구항 1에 기재된 기판반송 시스템, 청구항 5에 기재된 기판반송 장치, 및 청구항 6에 기재된 기억 매체에 따르면, 기판반송 장치가 기판반송 수단에 기판을 유지시킨 채 이동시키므로, 기판반송 장치에 있어서 기판을 버퍼에 수용할 필요 및 기판을 버퍼로부터 꺼낼 필요를 없앨 수 있어, 기판의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
청구항 2에 기재된 기판반송 시스템에 따르면, 기판반송 장치는 복수의 기판반송 수단을 구비하고, 복수의 기판반송 수단의 적어도 1개는 복수의 기판을 유지하므로, 기판반송 장치가 기판반송 수단에 복수의 기판을 유지시킨 채 이동시킬 수 있어, 더욱 기판의 반송효율을 향상할 수 있다.
청구항 3에 기재된 기판반송 시스템에 따르면, 기판반송 수단은 기판을 탑재하는 반송아암이므로, 기판의 기판보관 장치 또는 기판 처리 장치로의 반입 및 기판보관 장치 또는 기판 처리 장치부터의 반출을 원활하게 실행할 수 있어, 더욱 기판의 반송효율을 향상할 수 있다.
청구항 4에 기재된 기판반송 시스템에 따르면, 기판반송 장치는 복수의 기판 처리 장치의 사이를 이동하므로, 복수의 기판 처리 장치의 사이에 있어서의 기판의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
청구항 7에 기재된 기판반송 시스템에 따르면, 기판반송 수단이 기판을 유지한 채 동작을 중단하는 동작중단위치가 설정되어 있으므로, 기판반송 장치가 기판 반송 수단에 기판을 유지시킨 채 이동시킬 수 있고, 이것에 의해, 기판반송 장치에 있어서 기판을 버퍼에 수용할 필요 및 기판을 버퍼로부터 꺼낼 필요를 없앨 수 있어, 기판의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
청구항 8에 기재된 기판반송 시스템에 따르면, 기판반송 장치는 복수의 기판반송 수단을 갖고, 적어도 1개의 기판반송 수단에 대해 동작중단위치가 설정되어 있으므로, 기판의 반송형태의 선택지를 늘릴 수 있어, 더욱 기판의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
청구항 9에 기재된 기억 매체에 따르면, 기판반송 수단이 기판을 유지한 채 동작을 중단하므로, 기판반송 장치가 기판반송 수단에 기판을 유지시킨 채 이동시킬 수 있고, 이것에 의해, 기판반송 장치에 있어서 기판을 버퍼에 수용할 필요 및 기판을 버퍼로부터 꺼낼 필요를 없앨 수 있어, 기판의 반송효율을 향상할 수 있다.
청구항 10에 기재된 기판반송 시스템에 따르면, 제어 장치는 기판반송 수단이 기판을 유지한 채 동작을 중단하는 동작중단위치가 설정되어 있는 반송 경로를 규정하는 반송명령을 포함하는 복수의 반송명령을 조합하여 기판의 반송 시퀀스를 설정하므로, 설정된 반송 시퀀스에 따라서 기판반송 장치가 기판반송 수단에 기판을 유지시킨 채 이동시킬 수 있고, 이것에 의해, 기판반송 장치에 있어서 기판을 버퍼에 수용할 필요 및 기판을 버퍼로부터 꺼낼 필요를 없앨 수 있어, 기판의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
청구항 11에 기재된 기판반송 시스템에 따르면, 제어 장치는 복수의 기판반송 수단에 의한 기판의 반송 경로가 서로 다른 반송 시퀀스를 설정하므로, 반송 시 퀀스에 관한 설정의 자유도를 늘릴 수 있어, 더욱 기판의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
청구항 12에 기재된 기판반송 시스템에 따르면, 반송 시퀀스에서는 복수의 기판반송 수단 중 적어도 1개가 기판을 기판보관 장치 또는 기판 처리 장치로 반입함과 동시에, 다른 기판반송 수단 중 적어도 1개가 기판을 기판보관 장치 또는 기판 처리 장치로부터 반출하므로, 기판의 인도를 신속하게 실행할 수 있어, 더욱 기판의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
청구항 13에 기재된 기판반송 시스템에 따르면, 제어 장치는 복수의 기판반송 수단에 의한 기판의 반송을 연속적으로 실행하는 반송 시퀀스를 설정하므로, 복수의 기판이 연속적으로 반송되어, 더욱 기판의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
청구항 14에 기재된 기판반송 시스템에 따르면, 기판 처리 장치는 복수의 기판을 인도하는 기판 인도부를 갖고, 기판 처리 장치로부터 기판을 반출하고 또한 기판 처리 장치에 기판을 반입하는 기판반송 수단은 복수의 기판을 유지하므로, 기판반송 수단은 복수의 기판을 기판 처리 장치에 동시에 인도할 수 있어, 기판의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
청구항 15에 기재된 기판반송 시스템에 따르면, 기판보관 장치는 복수의 기판을 인도하는 다른 기판 인도부를 가지므로, 기판반송 수단은 복수의 기판을 기판보관 장치에 동시에 인도할 수 있어, 더욱 기판의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
청구항 16에 기재된 기판반송 시스템, 및 청구항 18에 기재된 기억 매체에 따르면, 기판 인도부에 있어서의 기판을 수용하고 있지 않은 기판수용 수단의 수에 따라서, 기판 인도부에 기판을 인도하는 기판반송 수단이, 복수의 기판을 유지하는 기판반송 수단 및 1개의 기판을 유지하는 기판반송 수단으로부터 선택되므로, 기판을 수용하고 있지 않은 기판수용 수단의 수와, 기판반송 수단이 유지할 수 있는 기판의 개수를 정합시킬 수 있어, 기판의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
청구항 17에 기재된 기판반송 시스템에 따르면, 기판 인도부에 있어서의 기판을 수용하지 않는 기판수용 수단이 1개인 경우, 1개의 기판을 유지하는 기판반송 수단이 선택되므로, 기판반송 수단이 기판 인도부에 기판을 인도할 수 없는 사태의 발생을 방지할 수 있다.
청구항 19에 기재된 기억 매체에 따르면, 제어 장치가 반송되는 기판의 제원을 기판 처리 장치에 통지함과 동시에, 기판 처리 장치의 상태를 문의하고, 상태를 문의받은 기판 처리 장치가 상태를 제어 장치에 연락하고, 제어 장치가 연락된 상태에 의거해서 반송 시퀀스를 설정하고, 제어 장치가 설정된 반송 시퀀스를 기판반송 장치에 통지하므로, 기판 처리 장치는 미리 반송되어 오는 기판의 제원을 알 수 있어, 기판이 반송된 후에 해당 기판의 제원을 제어 장치에 문의할 필요를 없앨 수 있고, 또, 기판 처리 장치가 기판을 받아들일 수 없는 상태에 있는 경우에 기판반송 장치는 해당 기판 처리 장치를 통과할 수 있다. 이것에 의해, 기판의 반송효율을 향상시킬 수 있다.
청구항 20에 기재된 기억매체에 따르면, 기판반송 장치가 기판반송 수단에 기판을 유지시킨 채 이동하므로, 기판반송 장치에 있어서 기판을 버퍼에 수용할 필요 및 기판을 버퍼로부터 꺼낼 필요를 없앨 수 있어, 더욱 기판의 반송효율을 향상 시킬 수 있다.
청구항 21에 기재된 기억매체에 따르면, 복수의 기판을 인도하는 기판 인도부, 또는 1개의 기판을 인도하는 기판 인도부의 어느 하나를 갖는 기판 처리 장치가, 기판 인도부의 종류를 기판반송 장치에 연락하므로, 기판반송 장치가 동시에 기판 처리 장치에 인도하는 기판의 개수와, 기판 처리 장치가 동시에 수취 가능한 기판의 개수의 정합을 확인할 수 있어, 기판의 인도를 확실하게 실행할 수 있다.

Claims (21)

  1. 기판반송 시스템에 있어서,
    기판을 보관하는 기판보관 장치와,
    상기 기판에 소정의 처리를 실시하는 적어도 1개의 기판 처리 장치와,
    상기 기판보관 장치 및 해당 기판처리 장치의 사이를 이동해서 상기 기판을 반송하는 기판반송 장치를 구비하고, 해당 기판반송 장치는 상기 기판을 유지하고, 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로부터 상기 기판을 반출하고, 또한 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로 상기 기판을 반입하는, 적어도 1개의 기판반송 수단을 가지며,
    상기 기판반송 장치는 상기 기판반송 수단에 상기 기판을 유지시킨 채 이동시키는 것을 특징으로 하는
    기판반송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판반송장치는 상기 기판반송수단을 구비하고, 상기 복수의 기판반송수단의 적어도 1개는 복수의 다른 기판을 유지하는 것을 특징으로 하는
    기판반송 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판반송수단은 상기 기판을 탑재하는 반송아암인 것을 특징으로 하는
    기판반송 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판반송 시스템은 복수의 상기 기판처리 장치를 구비하고, 상기 기판반송 장치는 상기 복수의 기판처리 장치의 사이를 이동하는 것을 특징으로 하는
    기판반송 시스템.
  5. 기판을 보관하는 기판보관 장치, 및 상기 기판에 소정의 처리를 실시하는 적어도 1개의 기판처리 장치의 사이를 이동해서 상기 기판을 반송하는 기판반송 장치에 있어서,
    상기 기판을 유지하고, 또한 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판처리 장치로부터 상기 기판을 반출하고, 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판처리 장치로 상기 기판을 반입하는 적어도 1개의 기판반송수단을 구비하며, 상기 기판반송수단에 상기 기판을 유지시킨 채 이동시키는 것을 특징으로 하는
    기판반송 장치.
  6. 컴퓨터 판독 가능한 기억매체에 있어서,
    기판을 보관하는 기판보관 장치와, 상기 기판에 소정의 처리를 실시하는 적어도 1개의 기판처리 장치와, 상기 기판보관 장치 및 상기 기판처리 장치의 사이를 이동해서 상기 기판을 반송하는 기판반송 장치를 구비하고, 해당 기판반송 장치는 상기 기판을 유지하고, 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판처리 장치로부터 상기 기판을 반출하고, 또한 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판처리 장치로 상기 기판을 반입하는 적어도 1개의 기판반송수단을 갖는 기판반송 시스템에 있어서의 기판반송 방법을 컴퓨터에 실행시키는 프로그램을 저장하며,
    상기 프로그램은 상기 기판반송 장치가 상기 기판반송수단에 상기 기판을 유지시킨 채 이동시키는 이동모듈을 갖는 것을 특징으로 하는
    컴퓨터 판독 가능한 기억매체.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판반송수단이 상기 기판을 유지한 동작을 중단하는 동작중단위치가 설정되어 있는 것을 특징으로 하는
    기판반송 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 기판반송 장치는 복수의 상기 기판반송수단을 갖고, 적어도 1개의 상기 기판반송수단에 대해 상기 동작중단위치가 설정되어 있는 것을 특징으로 하는
    기판반송 시스템.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 프로그램은 상기 기판반송 수단이 상기 기판을 유지한 채 동작을 중단하는 기판유지 모듈을 갖는 것을 특징으로 하는
    컴퓨터 판독 가능한 기억매체.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 기판반송수단에 의한 상기 기판의 반송경로를 규정하는 복수의 반송명령을 조합해서, 상기 기판의 반송 시퀀스를 설정하는 제어장치를 더욱 구비하고,
    상기 복수의 반송명령 중 적어도 1개가 규정하는 반송경로에, 상기 기판반송수단이 상기 기판을 유지한 채 동작을 중단하는 동작중단위치가 설정되어 있는 것을 특징으로 하는
    기판반송 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 기판반송 장치는 복수의 상기 기판반송수단을 갖고, 상기 제어장치는 상기 복수의 기판반송수단에 의한 상기 기판의 반송경로가 서로 다른 상기 반송 시퀀스를 설정하는 것을 특징으로 하는
    기판반송 시스템.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 반송 시퀀스에서는 상기 복수의 기판반송수단 중 적어도 1개가 상기 기판을 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판처리 장치로 반입함과 동시에, 다른 상기 기판반송수단 중 적어도 1개가 상기 기판을 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판처리 장치로부터 반출하는 것을 특징으로 하는
    기판반송 시스템.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 기판반송장치는 복수의 상기 기판반송수단을 갖고, 상기 제어장치는 상기 복수의 기판반송수단에 의한 상기 기판의 반송을 연속적으로 실행하는 상기 반송 시퀀스를 설정하는 것을 특징하는
    기판반송 시스템.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판처리 장치는 복수의 상기 기판을 인도하는 기판 인도부를 갖고, 상기 기판반송수단은 복수의 상기 기판을 유지하는 것을 특징으로 하는
    기판반송 시스템.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 기판보관 장치는 복수의 상기 기판을 인도하는 다른 기판 인도부를 갖는 것을 특징으로 하는
    기판반송 시스템.
  16. 기판반송 시스템에 있어서,
    기판을 보관하는 기판보관 장치와,
    상기 기판에 소정의 처리를 실시하는 적어도 1개의 기판 처리 장치와,
    상기 기판보관 장치 및 상기 기판 처리 장치의 사이를 이동해서 상기 기판을 반송하는 기판반송 장치를 구비하며,
    상기 기판 처리 장치는 복수의 상기 기판을 인도하는 기판 인도부를 갖고, 해당 기판 인도부는 상기 기판을 수용하는 복수의 기판수용 수단을 가지며, 각 상기 기판수용 수단은 1개의 상기 기판을 수용하고,
    상기 기판반송 장치는 상기 기판을 유지하고, 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로부터 상기 기판을 반출하고, 또한 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로 상기 기판을 반입하는 복수의 기판반송 수단을 갖고, 상기 복수의 기판반송 수단의 적어도 1개는 복수의 상기 기판을 유지함과 동시에, 다른 상기 기판반송 수단 중 적어도 하나가 1개의 상기 기판을 유지하고,
    상기 복수의 기판반송 수단 중에서, 상기 기판 인도부에 상기 기판을 인도하는 기판반송 수단을 상기 기판 인도부에 있어서의 상기 기판을 수용하고 있지 않은 상기 기판수용 수단의 수에 따라 선택하는 것을 특징으로 하는
    기판반송 시스템.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 기판 인도부에 있어서의 상기 기판을 수용하고 있지 않은 상기 기판수용 수단이 1개인 경우, 상기 1개의 상기 기판을 유지하는 기판반송 수단이 선택되는 것을 특징으로 하는
    기판반송 시스템.
  18. 컴퓨터 판독 가능한 기억매체에 있어서,
    기판을 보관하는 기판보관 장치와, 상기 기판에 소정의 처리를 실시하는 적어도 1개의 기판 처리 장치와, 상기 기판보관 장치 및 상기 기판 처리 장치의 사이를 이동해서 상기 기판을 반송하는 기판반송 장치를 구비하고, 상기 기판 처리 장치는 복수의 상기 기판을 인도하는 기판 인도부를 갖고, 해당 기판 인도부는 상기 기판을 수용하는 복수의 기판수용 수단을 갖고, 각 상기 기판수용 수단은 1개의 상기 기판을 수용하며, 상기 기판반송 장치는 상기 기판을 유지하고, 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로부터 상기 기판을 반출하고, 또한 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로 상기 기판을 반입하는 복수의 기판반송 수단을 갖고, 상기 복수의 기판반송 수단의 적어도 1개는 복수의 상기 기판을 유지함과 동시에, 다른 상기 기판반송 수단 중 적어도 하나가 1개의 상기 기판을 유지하는 기판반송 시스템에 있어서의 기판반송 방법을 컴퓨터에 실행시키는 프로그램을 저장하며,
    상기 프로그램은 상기 기판 인도부에 있어서의 상기 기판을 수용하고 있지 않은 상기 기판수용 수단의 수에 따라서, 상기 기판 인도부에 상기 기판을 인도하는 기판반송 수단을 상기 복수의 기판반송 수단으로부터 선택하는 기판반송 수단 선택 모듈을 갖는 것을 특징으로 하는
    컴퓨터 판독 가능한 기억매체.
  19. 컴퓨터 판독 가능한 기억매체에 있어서,
    기판을 보관하는 기판보관 장치와, 상기 기판에 소정의 처리를 실시하는 적어도 1개의 기판 처리 장치와, 상기 기판보관 장치 및 상기 기판 처리 장치의 사이를 이동해서 상기 기판을 반송하는 기판반송 장치와, 상기 기판의 반송 시퀀스를 설정하는 제어 장치를 구비하는 기판반송 시스템에 있어서의 기판반송 방법을 컴퓨터에 실행시키는 프로그램을 저장하며,
    상기 프로그램은 상기 제어 장치가 반송되는 상기 기판의 제원을 상기 기판 처리 장치에 통지함과 동시에, 상기 기판 처리 장치의 상태를 문의하는 상태문의 모듈과,
    상기 상태를 문의받은 기판 처리 장치가 상기 상태를 상기 제어 장치에 연락하는 상태연락 모듈과,
    상기 제어 장치가 상기 연락된 상태에 의거해서 상기 반송 시퀀스를 설정하는 반송 시퀀스 설정 모듈과,
    상기 제어 장치가 상기 설정된 반송 시퀀스를 상기 기판반송 장치에 통지하는 반송 시퀀스 통지 모듈을 갖는 것을 특징으로 하는
    컴퓨터 판독 가능한 기억매체.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 기판반송 장치는 상기 기판을 유지하고, 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로부터 상기 기판을 반출하고, 또한 상기 기판보관 장치 또는 상기 기판 처리 장치로 상기 기판을 반입하는 적어도 1개의 기판반송 수단을 갖고, 상기 기판반송 장치가 상기 기판반송 수단에 상기 기판을 유지시킨 채 이동시키는 이동 스텝을 더욱 갖는 것을 특징으로 하는
    컴퓨터 판독 가능한 기억매체.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는 복수의 상기 기판을 인도하는 기판 인도부, 또는 1개의 상기 기판을 인도하는 기판 인도부 중의 어느 하나를 갖고,
    상기 기판반송 장치가 상기 기판 처리 장치에 상기 기판 인도부의 종류를 문의하는 기판 인도부 종류 문의 스텝과,
    상기 기판 처리 장치가 상기 기판 인도부의 종류를 상기 기판반송 장치에 연락하는 기판 인도부 종류 연락 스텝을 더욱 갖는 것을 특징으로 하는
    컴퓨터 판독 가능한 기억매체.
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