KR20070012424A - 냉각 수단을 구비한 장치 및 냉각 방법 - Google Patents

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Abstract

진공증착등의 성막에 이용하는 진공조의 냉매 경로의 구성에 있어서, 냉각용 튜브의 사용량 삭감에 의해 공사 기간 단축하고, 냉매 경로의 단축에 의해 냉매 유량 저하를 억제한다. 조벽으로 덮여진 조, 조 내부에 배치된 내기구 또는 조 외부에 배치된 외기구, 내기구 또는 외기구를 냉각하기 위한 적어도 1개 이상의 냉매 경로로 이루어지는 장치에 있어서, 냉매 경로의 적어도 일부분이 조벽의 일부분을 형성하는 구성으로 하였다.
냉각 장치, 냉매

Description

냉각 수단을 구비한 장치 및 냉각 방법{DEVICE EQUIPPED WITH COOLING MEANS AND COOLING METHOD}
본 발명은 냉매 경로 구성, 특히 진공증착 등의 성막을 행할 때에 이용하는 진공조의 냉매 경로의 구조에 관한 것이다.
일반적으로 진공증착 등의 성막을 행할 때에 이용하는 진공조는 조(槽) 내의 가열 기구나 증발원의 온도 상승에 수반하여, 진공조의 표면 온도가 70 내지 80℃ 정도까지 상승한다. 이 온도 상승에 의한 주변 설비나 배선 등의 파손을 방지하기 위해 진공조 벽면에 동(銅)파이프나 스테인리스 관 등을 은납이나 용접에 의해 직접 부착하고, 이 속에 냉각수나 액화가스 등의 냉매를 순환시킴으로써 진공조 벽면의 냉각을 행한다. 또한, 진공조 내외의 회전 기구나 증발원 기구 등에 있어서도 온도 상승에 의한 이상이 발생하기 때문에, 냉각의 필요가 있는 내외 기구에는 튜브 등에 의해 냉매를 보내고, 이것에 의해 냉각을 행한다. 이와 같이 진공증착 등에 의한 성막 장치에는 냉각의 필요한 부위가 다수 존재하기 때문에 냉각용 튜브가 대량으로 필요하게 되고, 또한, 이것을 시공하는데 막대한 공사 시간을 필요로 하고 있다,
도 3은 진공증착 장치로서, 이하와 같이 박막 형성의 개요를 설명한다.
진공조 본체(20)에는 진공 배기를 위해 진공조 개구(21)가 마련되고, 여기에 메인 펌프(22), 메인 밸브(24), 예비배기(粗引) 펌프(23), 예비배기 밸브(25)나 보조 밸브(26) 등으로 구성되는 배기계가 부착된다. 진공조 본체(20) 내의 하부에는 증착 재료(29)를 넣는 도가니(28)나 증착 재료(29)를 증발 온도까지 가열하는 전자총(30), 증착 완료시에 닫아서, 증착 재료(29)를 차폐하는 셔터(27) 등이 배치된다. 이들은 진공조 본체(20)의 밖으로부터 도가니 기구 도입부(46)나 전자총 도입부(47) 등에 의해 진공조 내로 도입된다. 또한, 도 3에서는 기판(32)을 가열할 때에 승온 시간을 단축시키기 위한 할로겐 히터(31)가 배치되어 있다. 진공조 본체(20) 내의 상부에는 기판(32)을 탑재하는 기판 돔(33)이나 기판(32)을 가열하기 위한 기판 가열용 히터(34)가 배치된다. 진공조 본체(20)의 밖에는 기판 돔 회전 기구(35)나 기판 가열용 히터 도입부(36) 등이 배치된다.
동 도면에 도시하는 장치는, 진공조 본체 및 냉각의 필요가 있는 내외 기구에 냉매를 순환시키고, 본체 및 각 기구의 승온을 막는 수단을 갖는다. 냉매로는 냉각수를 이용하여, 냉각수는 칠러(37) 등의 냉각수 순환기로부터 냉매 입측 매니폴드(38)에 유입 튜브(42)를 통과하여, 각 냉각이 필요한 부위에 보내진다. 각 냉각이 필요한 부위에서 온도 상승한 냉각수는 튜브(42)를 통과하여, 냉매 출측 매니폴드(39)로부터 칠러(37)로 되돌린다. 또한, 냉각수의 분기점에는 메인티넌스시에 냉각수를 각 부분마다 정지시키도록 밸브(40)가 설치되고, 냉각수 경로의 막힘 등으로 냉각수 유량이 감소 또는 정지한 때에 경보 신호를 취할 수 있도록 냉매 출측 매니폴드(39)에는 플로우 미터(41) 등이 설치된다. 진공조 본체(20)의 냉각은 진공 조 본체(20)에 직접 은납 솔더링이나 용접에 의해 마련된 구리제나 스테인리스제의 진공조 본체 냉각관(43) 내를 흐르는 냉각수에 의해 행하여진다.
도 4에, 진공조 본체(20)의 벽면의 냉각용으로 마련하는 진공조 본체 냉각관(43) 및 각 부분의 냉각부의 개략을 도시한다. 진공조 본체(20)에는 진공조 본체 냉각관(43)이 진공조 본체 냉각관 입구측 조인트부(44)로부터 인회(引廻)되어, 진공조 측면, 진공조 윗면, 진공증 저면, 배기계 접속부를 경유하여 진공조 본체 냉각관 출구측 조인트부(45)로 되돌아온다. 이 냉각관 내를 냉각수가 흐름에 의해, 진공조 본체(20)의 냉각을 행하고 있다. 냉각관의 경유 순서 등은 장치마다 다르지만, 기본 구조는 어떤 진공 장치에서도 같다. 또한, 그 밖에 기판 돔 회전 기구(35)나 기판 가열용 히터 도입부(36), 도가니 기구 도입부(46) 및 전자총 도입부(47)에는 튜브(42)를 이용하여 냉각수가 흘려진다. 진공조 본체 냉각관 입구측 조인트(44) 및 진공조 본체 냉각관 출구측 조인트(45)에 는 상기한 각 부분 기구와 마찬가지의 튜브(42)에 의해 냉각수가 흘려진다. 이들의 튜브(42)는 냉매 매니폴드에 접속된다.
도 5의 (a) 및 도 5의 (b)는 진공조 본체 냉각관(43)의 마련부의 단면도이다. 도 5의 (a)는 진공조 벽면(48)에 동파이프(49)를 은납 솔더링(50)으로 부착한 예이고, 도 5의 (b)는 진공조 벽면(48)에 스테인리스제 각(角)파이프(51)를 용접(52)으로 부착한 예이다. 이와 같이 관을 진공조 벽면(48)에 밀착하여 설비함으로써 진공조 본체(20)의 냉각을 행하고 있다. 여기서 거론한 관의 재질이나 형상, 부착 방법은 어디까하 예이고, 그 밖에 다양한 방법에 의해 설비하는 것이 가능하 지만 기본적 개념은 같기 때문에 설명은 생략한다.
도 6은 진공조 본체 냉각관 입구부 조인트(44) 및 진공조 본체 냉각관 출구부 조인트(45)의 개략도이다. 진공조 벽면(48)에 소켓(53)를 은납 솔더링(50) 또는 용접(52)하고, 해당 소켓(53)과 동파이프(49)와의 접속부에 구멍을 뚫어 둔다. 이 구멍에 동파이프(49)를 접속하고, 은납 솔더링(50) 등을 행한다. 소켓(53)에 튜브(42)의 조인트 등을 부착함으로써 튜브(42)가 접속된다.
도 3 내지 도 6에 도시하는 장치에 의해 증착을 행하는 경우는, 우선 기판 돔(33)에 증착을 행하는 기판(32)을 설치한다. 그리고 증착 재료(29)를 도가니(28)에 넣는다. 그리고 예비배기 펌프(23) 및 예비배기 밸브(25)을 이용하여 진공조 내를 수Pa 정도의 압력까지 진공배기한 후 메인 펌프(22)나 메인 밸브(24) 및 보조 밸브(26) 등을 이용하여, 고진공까지 진공 배기를 행한다. 진공조 내가 진공 상태가 되는 대로 기판 돔 회전 기구(35)에 의해 기판 돔(33)를 회전시키면서 기판용 히터(34)나 할로겐 히터(31)를 이용하여 기판(32)을 가열한다. 진공도 및 기판 온도가 목표치에 도달하면 전자총(30)으로부터 전자 빔을 증착 재료(29)에 조사하고, 증착 재료(29)를 증발 온도까지 승온시킨다. 셔터(27)를 열으면 증착 재료(29)는 진공조 내를 비산하고, 이것이 기판(32)상에 퇴적함으로써 박막을 형성한다. 막두께가 목표치에 도달하면 셔터(27)를 닫고, 전자총(30)이나 할로겐 히터(31) 및 기판 가열용 히터(34) 등을 정지시키고, 냉각 후 진공조 내에 대기를 도입한 후 박막이 형성된 기판(32)을 취출한다.
상기한 바와 같이 진공증착을 행하는 데에는 기판 가열용 히터(34)나 전자 총(30) 등의 증발원에 의해 진공조 내외 기구의 온도는 상승하고, 이에 수반하여 진공조 본체(20)의 온도도 상승하여 버린다. 따라서 도 3에서 도시하는 바와 같이 냉매를 이용하여 각 기구 및 진공조 본체(20)를 냉각할 필요가 있다.
진공조 본체의 크기는 다양하지만, 생산성을 향상시키기 위해서는 기판을 한번에 많이 넣을 것이 필요하게 되기 때문에 진공조 본체는 크게 되어 가는 경향에 있다. 진공조 본체가 커지면 각 부분에 배치시키는 기구와 냉매 매니폴드와의 거리는 길어저 가기 때문에 튜브의 사용량은 증가하고, 배관작업 시간도 길어져 버린다. 또한, 일반적으로 냉매용의 튜브는 각 부분의 메인티넌스시에 방해가 되지 않도록 극력 단으로 묶여저서 배관되기 때문에 더욱 튜브의 사용량은 증가하여 버린다.
현재, 진공 장치는 보다 더한층의 메인티넌스성의 향상 및 냉각 효율의 향상이 요구되고 있다. 또한, 비용 절감을 위해 공사시간의 삭감이 추궁되고, 자원 보호의 관점에서도 튜브의 대량 사용은 바람직하지 않다. 이와 같은 문제에 대처하기 위해, 2차원 배관을 이용하는 것이 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 또는 2). 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2는, 냉장고나 공기 청정기 등의 냉동 사이클에 조립되는 배대 유닛에 있어서, 오목부를 갖는 성형판을 푸레스 가공하여 구성되는 집적 배관을 2차원 배관의 예로서 개시하고 있다.
특허 문헌 1 : 특개소60-141365호 공보
특허 문헌 2 : 특개평11-759호 공보
그러나 상기한 바와 같은 2차원 배관은, 장치 자체의 형상이 복잡하고, 냉각이 필요한 부위가 많은 가지로 걸치는 진공 장치에는 적합하지 않고, 활용하려고 하면 장치를 둘러싸도록 해당 2차원 배관 패널을 배치하여야 하기 때문에 사용하는 수량도 증가하고 비용 절감에는 이어지지 않는다.
상기에서 설명한 바와 같이, 진공조 본체 및 냉각이 필요해지는 각 부위에서 이용하는 냉매는 튜브를 대량으로 이용하여 배관되기 때문에, 막대한 작업시간이 걸리는데다가, 튜브를 단으로 묶어서 배관하기 때문에 냉매의 경로가 길어저 버린다. 이로 인해 냉매의 유량 저하로도 연결되어 버린다. 유량의 저하는 냉매에 포함되는 불순물이 냉매 경로 내에서 퇴적되는 것을 촉진하여 버린다. 불순물이 퇴적되면 더욱 유량은 저하하고, 경로의 막힘에 이른다. 또한, 성능면 이외에 있어서도, 튜브가 다량으로 인회(引廻)되기 때문에 외관을 해쳐 버린다는 문제가 있다.
과제를 해결하기 위한 수단
본 발명은, 종래의 튜브를 대량으로 사용한 냉매의 인회(引廻)에 의한, 메인티넌스성의 저하, 배관공사 시간의 증대화, 냉매 경로가 길어짐에 의한 냉매 유량 저하, 나아가서는 외관의 악화라는 문제를 조벽(槽壁)에 마련한 냉각관을 응용 이용함에 의해 해결하는 것이다.
본 발명의 제 1의 측면은, 조벽으로 덮여진 조, 조 내부에 배치된 내기구(內機構) 또는 조 외부에 배치된 외기구(外機構), 내기구 또는 외기구를 냉각하기 위한 적어도 1개 이상의 냉매 경로로 이루어지는 장치에 있어서, 냉매 경로의 적어도 일부분이 조벽의 일부분을 형성하는 구성으로 하였다. 또한, 조벽만을 냉각하는 적어도 1개 이상의 냉매 경로를 마련하는 구성으로 하였다. 또한, 각 냉매 경로에 독립하여 냉매를 순환시키는 냉매 순환기를 마련하도록 하였다. 또한, 냉매 순환기로부터 각 냉매 경로에 냉매를 도입하는 냉매 입측 매니폴드, 및, 각 냉매 경로로부터 해당 냉매 순환기에 냉매를 도입하는 냉매 출측 매니폴드를 마련하도록 하였다.
상기 본 발명의 제 1의 측면에 있어서, 각 냉매 경로의 개별적인 시단(始端)을 이루고, 냉매 입측 매니폴드로부터 튜브를 통하여 각 냉매 경로에 냉매를 도입하는 냉매 도입부, 및, 각 냉매 경로의 종단(終端)을 이루고, 각 냉매 경로로부터 튜브를 통하여 냉매 출측 매니폴드에 냉매를 도출하는 냉매 도출부를 조벽의 일부에 마련하는 구성으로 하였다. 또한, 냉매 도입부에 있어서, 각 냉매 경로가 독립한 상태이며, 또한, 총괄하여 배치되고, 냉매 도출부에 있어서, 각 냉매 경로가 독립한 상태이며, 또한, 총괄하여 배치되도록 구성하였다. 또한, 냉매 도입부 및 냉매 도출부가 조벽의 동일 측면에 배치되는 구성으로 하였다.
상기본 발명의 제 1의 측면에 있어서, 내기구 또는 외기구를 냉각하기 위한 냉매 경로는, 조벽의 일부를 형성하는 배관, 및, 배관과 내기구 또는 외기구를 접속하는 튜브로 이루어지는 구성으로 하였다. 또한, 냉매 경로의 적어도 일부분이 조벽의 표면 또는 내면에 배치되는 구성으로 하였다. 또한, 냉매를 냉각수로 하였다.
본 발명의 제 2의 측면은, 상기 제 1의 측면의 어느 하나를 가지며, 조 내부에 성막 기판 및 증발원을 구비하고, 증발원으로부터 증발하는 증발 물질을 성막 기판에 퇴적시키는 박막 형성용 진공조이다.
본 발명의 제 3의 측면은, 내기구 또는 외기고를 가지는 조로 이루어지는 장치의 냉각 방법에 있어서, 적어도 1개 이상의 냉매 경로를 이용하여 내기구 또는 외기구를 냉각하고, 해당 냉매 경로를 이용하여 조벽을 냉각하는 방법이다. 또한, 조벽만을 냉각하는 적어도 1개 이상의 냉매 경로를 이용하여 조벽을 냉각하는 방법이다.
발명의 효과
본 발명에 의해 진공 장치의 각 부분 냉매용 배관의 작업시간은 단축되고, 튜브의 사용량도 대폭적으로 삭감된다. 또한, 경로를 최단 거리로 하는 것이 가능하게 되기 때문에 냉매의 유량 저하도 방지하는 것이 가능하게 된다. 또한 진공 장치의 외관을 향상시키고, 작업자마다의 개인차도 방지하는 것이 가능하게 된다.
도 1은 본 발명의 냉매 경로용 냉각관의 개략도
도 2는 본 발명의 냉매 경로용 냉각관의 응용 이용을 설명하는 도면
도 3은 진공 장치의 개략도
도 4는 종래의 냉매 배관의 경로의 개략도
도 5는 진공조 본체 냉각관의 마련 방법의 개략도
도 6은 진공조 본체 냉각관의 조인트부의 개략도
<부호의 설명>
1 : 본 발명의 냉매 경로용 냉각관 2 : 집중 접속부
20 : 진공조 본체 21 : 진공조 개구
22 : 메인 펌프 23 : 예비배기 펌프
24 : 메인 밸브 25 : 예비배기 밸브
26 : 보조 밸브 27 : 셔터
28 : 도가니 29 : 증착 재료
30 : 전자총 31 : 할로겐 히터
32 : 기판 33 : 기판 돔
34 : 기판 가열용 히터 35 : 기판 돔 회전 기구
36 : 기판 가열용 히터 도입부 37 : 칠러
38 : 냉매 입측 매니폴드 39 : 냉매 출측 매니폴드
40 : 밸브 41 : 플로우 미터
42 : 튜브 43 : 진공조 본체 냉각관
44 : 진공조 본체 냉각관 입구측 조인트
45 : 진공조 본체 냉각관 출구측 조인트
46 : 도가니 기구 도입부 47 : 전자총 도입부
48 : 진공조 벽면 49 : 동파이프
50 : 은납 솔더링 51 : 스테인리스제 각파이프
52 : 용접 53 : 소켓
54 : 열전도율이 낮은 재료
도 1에 본 발명 실시예를 설명하는 개략도를 도시한다. 이하, 본 발명에 관 한 냉각 수단은, 도 3 및 도 4에 도시되는 장치와 같은 진공 장치에 탑재되는 것으로 하지만, 본 발명을 실시 가능한 장치는 이것으로 한정되는 것은 아니다.
도면중 1은 냉매 경로용 냉각관으로서, 냉각해야 할 내부 기구 및 냉각하여야 할 외부 기구에 냉매를 순환시키기 위한 경로가 된다. 2는 집중 접속부로서, 냉매 입측 매니폴드(38)로부터 도출하는 복수의 튜브(42)에 접속하는 냉매 도입부와, 냉매 출측 매니폴드(39)로부터 도출하는 복수의 튜브(42)에 접속하는 냉매 도출부에 의해 구성된다. 냉매 도입부 및 냉매 도출부에서는, 각각의 냉매 경로를 독립으로 유지한 채로 냉매가 유입 및 유출되는 것으로 하고, 냉매 입측 매니폴드(38) 및 냉매 출측 매니폴드(39)에는 집중 접속부(2)만을 이용하여 배관되는 것으로 한다. 또한, 도 1에서, 집중 접속부(2)의 냉매 도입부 및 냉매 도출부는 1개소에 통합되어 있는 것을 나타냈지만, 냉매 도입부와 냉매 도출부를 별개로 배치하도록 하여도 좋고, 필요에 응하여 일부의 냉매 경로의 시점 또는 종점을 집중 접속부(2)로부터 별개로 배치하도록 하여도 좋다.
본 실시예에서는, 기판 가열용 히터(34), 기판 돔 회전 기구(35), 도가니(28), 전자총(30) 등의 기구에 냉매를 순환시키기 위해, 냉매 경로용 냉각관(1)은 기판 가열용 히터 도입부(36), 기판 돔 회전 기구(35), 도가니 기구 도입부(46), 전자총 도입부(47)에 접속된다. 냉매 경로용 냉각관(1)에는 냉각수를 순환시키는 것으로 하지만, 냉매는 액체, 기체를 불문하고 냉각 가능한 물질이라면 좋다. 진공조 상부에 배치되는 기판 돔 회전 기구(35) 및 기판 가열용 히터(34) 등에의 냉각수는 집중 접속부(2)로부터 상부까지 설치된 냉매 경로용 냉각관(1)을 통과 한다. 진공조 상부로부터 기판 돔회전 기구(35) 및 기판 가열용 히터 도입부(36)에는 짧은 튜브(42)를 이용하여 접속된다. 마찬가지로 도가니(28), 전자총(30) 등 진공조 하부의 기구에도 냉매 경로용 냉각관(1)은 설치되고, 도시하지 않은 짧은 튜브(42)를 이용하여 도가니 기구 도입부(46), 전자총 도입부(47)에 접속된다.
냉매 경로용 냉각관(1)은 진공조 벽 외부의 표면에 부착된 것을 도시하였지만, 그 설치는, 진공조 벽 내부의 표면에서도 벽의 내면에 매입되는 것이라도 상관없다. 또한, 냉매 경로용 냉각관(1)은, 그 밖에 진공조 본체 냉각관(43)과 재질이나 구조가 같아도 달라도 상관없다. 본 실시예에 의해 냉매 경로용 냉각관(1)에 냉매를 순환시킴에 의해, 내외 기구를 냉각하는 동시에 진공조 벽의 냉각 효율을 향상시키는 것이 가능해진다.
도 1과 같이 본 발명의 냉매 경로용 냉각관(1)을 사용한 경우, 도 4와 같은 종래의 배관 방법과 비교하여 튜브(42)의 사용량의 대폭 삭감이 가능해진다. 또한, 냉매의 경로 길이가 최단 거리로 되기 때문에, 냉매 유량의 감소를 억제할 수가 있다. 또한, 2차원 배관과 같은 특별한 설비를 부착할 필요가 없기 때문에, 장치 구성의 복잡화라는 문제나 장치 점유 면적의 확대라는 문제도 발생하지 않는다.
도 4와 같은 종래의 방법과 비교하면 도 1의 냉매 경로용 냉각관(1)를 부착하는 분은 진공조의 제작만으로 생각하면 약간의 비용 상승이 되어 버린다. 그러나 진공 장치는 통상, 조립 후에 동작 확인이나 성능 시험을 행하고 나서 해체하고, 납입 장소에 반송되고, 그곳에서 재차 조립이 행하여지기 때문에, 전술한 비용 상승은 튜브가 인회(引廻)의 공사 시간에 비하여극히 근소하다. 즉 도 4에 도시하는 바와 같은 종래 방법에서는, 조립·해체·설치시 조립과 같은 장면에서 그때마다 길다란 튜브의 인회(引廻)를 행하여야 하게 된다. 이에 비하여 도 1의 본 발명의 냉매 경로용 냉각관(1)을 사용하는 경우, 각 부분에의 냉각용 배관은 불과 수센치 내지 10여센치 정도이기 때문에 공사가 용이한데다가 해체·설치시의 튜브의 인회(引廻) 작업은 집중 접속부(2)의 탈착만이면 좋아서, 현저하게 작업시간을 단축할 수 있다. 도 4와 같은 종래의 방법에서도 해체·설치용에 튜브의 집중 중계부를 설치하면 해체·설치의 작업시간은 단축할 수가 있지만, 진공조 본체(20)의 주변에는 다수의 측정기나 제어기가 배치되기 때문에 배치 장소가 적고, 또한 이들의 기기의 메인티넌스의 방해가 되지 않도록 이들을 피하도록 튜브를 레이아웃하여야 한다. 따라서 각 부분으로부터 집중 중계부까지의 튜브의 배관 작업은 작업시간이 걸리는데다가, 튜브의 사용량의 삭감이나 최단 거리에서의 접속은 불가능하다. 또한, 튜브의 길이가 길어지면 공사 작업자마다의 개인차 등이 생기기 쉽다는 문제도 있다.
본 발명의 냉매 경로용 냉각관(1)은 진공조 본체(20)에 도 5의 (a) 또는 도 5의 (b)와 같이 부착한 때, 각 기구부에 냉매가 도달하기 전에, 이 냉매는 약간의 온도 상승을 하여 버린다. 진공조 본체(20)의 벽면 온도 70 내지 80℃에 대해 기타 기구부의 온도는 매우 높기 때문에, 약간의 온도 상승은 문제가 되지 않고, 오히려 진공조 벽의 냉각 효율 향상에 의한 효과 쪽이 훨씬 크지만, 만에 하나 수℃의 온도 상승이 문제가 되는 경우는, 본 발명의 냉매 경로용 냉각관(1)의 재질을 열전도율이 낮은 재료를 이용하던지, 도 2의 (a)의 진공조 본체 냉각관(49)과 같이 길다란 거리를 은납 솔더링 또는 용접(50)하는 것이 아니라, 도 2의 (b)와 같이 은납 솔더링 또는 용접의 개소를 감소하여도 좋다. 또는, 도 2의 (c)와 같이 진공조 본체(20)와 본 발명의 냉매 경로용 냉각관(1) 사이에 열전도율이 낮은 재료(54)를 끼워서 부착하는 등의 방법을 이용하여도 좋다.
도 4와 같은 종래의 방법에서는 튜브(42)가 대량으로, 또한, 도처에 배치되기 때문에 외관을 해쳐 버리고 있지만, 본 발명의 냉매 경로용 냉각관(1)을 이용하는 경우, 장치의 외관이 현저하게 향상한다.
상기 실시예에서는 증착법을 이용한 성막에 관해 설명하였지만, 본 발명 장치 및 방법을 실시 가능한 성막 방법은 증착법으로 한정되는 것이 아니라, 스퍼터링법, 이온 플레이팅법 등 다수 들 수 있다.

Claims (13)

  1. 조벽으로 덮여진 조, 상기 조 내부에 배치된 내기구 또는 상기 조 외부에 배치된 외기구, 상기 내기구 또는 상기 외기구를 냉각하기 위한 적어도 1개 이상의 냉매 경로로 이루어지는 장치로서,
    상기 냉매 경로의 적어도 일부분이 상기 조벽의 일부분을 형성하는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    또한, 상기 조벽만을 냉각하는 적어도 1개 이상의 냉매 경로로 이루어지는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 냉매 경로의 각각에 독립하여 냉매를 순환시키는 냉매 순환기를 마련한 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    해당 냉매 순환기로부터 상기 각 냉매 경로에 냉매를 도입하는 냉매 입측 매니폴드 및, 상기 각 냉매 경로로부터 해당 냉매 순환기에 냉매를 도입하는 냉매 출측 매니폴드를 마련한 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 각 냉매 경로의 개별의 시단을 이루고, 해당 냉매 입측 매니폴드로부터 튜브를 통하여 상기 각 냉매 경로에 냉매를 도입하는 냉매 도입부, 및, 상기 각 냉매 경로의 종단을 이루고, 상기 각 냉매 경로로부터 튜브를 통하여 해당 냉매 출측 매니폴드에 냉매를 도출하는 냉매 도출부를 상기 조벽의 일부에 마련한 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    해당 냉매 도입부에 있어서, 상기 각 냉매 경로가 독립한 상태이며, 또한, 총괄하여 배치되고,
    해당 냉매 도출부에 있어서, 상기 각 냉매 경로가 독립한 상태이며, 또한, 총괄하여 배치되도록 구성된 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,
    해당 냉매 도입부 및 해당 냉매 도출부가 상기 조벽의 동일 측면에 배치된 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제 1항 내지 제 7항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 내기구 또는 상기 외기구를 냉각하기 위한 상기 냉매 경로는, 상기 조 벽의 일부를 형성하는 배관, 및, 해당 배관과 상기 내기구 또는 상기 외기구를 접속하는 튜브로 이루어지는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제 1항 내지 제 8항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 냉매 경로의 적어도 일부분이 상기 조벽의 표면 또는 내면에 배치된 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제 1항 내지 제 9항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 냉매는 냉각수로 이루어지는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제 1항 내지 제 10항중 어느 한 항에 있어서,
    해당 장치는 상기재 내부에 성막 기판 및 증발원을 구비하고, 해당 증발원으로부터 증발하는 증발 물질을 해당 성막 기판에 퇴적시키는 박막 형성용 진공조인 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 내기구 또는 외기구를 갖는 조로 이루어지는 장치의 냉각 방법으로서,
    적어도 1개 이상의 냉매 경로를 이용하여 상기 내기구 또는 상기 외기구를 냉각하고,
    상기 냉매 경로를 이용하여 상기 조의 조벽을 냉각하는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제 12항에 있어서,
    또한, 상기 조벽만을 냉각하는 적어도 1개 이상의 냉매 경로를 이용하여 상기 조벽을 냉각하는 것을 특징으로 하는 방법.
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