CN103132027A - 真空镀膜设备 - Google Patents

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黄登聪
徐华勇
刘振章
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Hongfujin Precision Industry Shenzhen Co Ltd
Hon Hai Precision Industry Co Ltd
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Hongfujin Precision Industry Shenzhen Co Ltd
Hon Hai Precision Industry Co Ltd
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases

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Abstract

一种真空镀膜设备，包括镀膜室，该镀膜室包括腔壁，该真空镀膜设备还包括设有冷却液流道，该冷却液流道设置于腔壁内，以便用于装设冷却液体镀膜室进行冷却。本发明克服传统真空镀膜设备镀膜室冷却效果不好的问题，且加工成本低。

Description

真空镀膜设备
【技术领域】
本发明涉及一种真空镀膜设备，尤其涉及一种镀膜设备的镀膜室腔壁内带有冷却装置的真空镀膜设备。
【背景技术】
在真空溅射镀膜技术中为了提高镀膜室内的真空度及提高膜层与基材的结合力，一般的真空镀膜镀膜室的温度须保持200℃～300℃，这就要求真空溅射镀膜设备镀膜室必须有一个非常良好的冷却系统。冷却效果不好，将会影响镀膜性能，真空溅射镀膜的腔体使用寿命也将大幅度缩短。目前被采用比较多的冷却方式有冷板式﹑蜂槽式，两种冷却方式都是在腔体外壁焊接冷板及蜂槽。进行镀膜时，镀膜室内温度须加热到200℃～300℃，使传统的冷却方式，冷却水温度一般要低至9℃左右。当腔体长时间没加热但冷却水却长时间在腔体顶壁循环时，腔体顶壁外部会出现冷凝水。由于真空溅射镀膜要求靶座与腔体之间必须绝缘，如果腔体顶壁冷凝水出现过多会导致它们导通，严重影响镀膜的正常进行。另外如果冷凝水长期大面积出现，容易导致腔体外壁生锈，使之在生产应用领域受到了限制。
【发明内容】
有鉴于此，本发明提供了一种工艺简单，对镀膜室冷却效果好的真空镀膜设备。
一种真空镀膜设备，包括镀膜室，该镀膜室包括腔壁，该真空镀膜设备还包括设有冷却液流道，该冷却液流道设置于腔壁内，以便用于装设冷却液体镀膜室进行冷却。与现有技术相比，本发明的真空镀膜设备相对于现有冷却方式在冷却水等条件相同的条件下能极大地提升冷却效果，这样镀膜室顶壁或底壁外部出现的冷凝水将大幅度减少，从而有效地解决真空镀膜设备顶壁出现冷凝水过多所导致的真空溅射镀膜靶座与镀膜室之间导通，严重影响镀膜的正常进行问题。同时也解决了腔体外壁生锈所带来的减少真空镀膜设备使用寿命的问题。
附图说明
图1是本发明真空镀膜设备的整体示意图。
图2是安装在真空镀膜设备底壁内的冷却装置平面示意图。
主要元件符号说明
真空镀膜设备 10
镀膜室 11
镀膜室顶壁 13
镀膜室底壁 15
冷却装置 20
冷却液流道 23
进液口 25
出液口 27
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
【具体实施方式】
参见图1-2，本发明较佳实施方式的真空镀膜设备10，包括一镀膜室11，及设置在该镀膜室11的镀膜室顶壁13或镀膜室底壁15内的冷却装置20。
该冷却装置20包括冷却用冷却液流道23、进液口25、一出液口25。
参见图2，该冷却装置20通过在真空镀膜设备10的镀膜室顶壁13或镀膜室底壁15外表面车削或激光开槽的方式，形成冷却液流道23，该冷却液流道23的深度可为10mm-15mm，在通过上述的方式形成冷却液流道23后，在流道上方可焊接2mm-5mm厚的不锈钢钢板（未图示）把冷却液流道23完全密封，只留下一个进液口25，一个出液口27，用于形成一个对镀膜室11冷却的液体循环冷却冷却液流道23。
可以理解，该冷却装置20中的冷却液流道23的排布方式和形状可为不规则的排布，由图2可知，在本优选的实施例中，其冷却液流道23为对称弯曲设计，其也可根据冷却效果的不同，通过增加弯曲次数来增加冷却液流道23的总长度，使得其有效的冷却的冷却液流道23面积增加，提供冷却效果。
可以理解，该冷却装置20也可通过将预先水管埋置在真空镀膜设备10的镀膜室顶壁13或镀膜室底壁15内，留有两个进液口和出液口，即不需要在其真空镀膜装置10的镀膜室顶壁13或镀膜室底壁15开设冷却液流道23。
可以理解，该冷却液可以采用水或冰水。
参见图1及2，在真空镀膜设备10的冷却装置20工作时，在本优选的实施例中，对该冷却装置20通入循环冷水，将冷水从冷却装置20进液口13流进流道，从该出液口15流出，使得该冷却液流道23中一直保持有冷却水的交换。从而，完成冷却过程。
与现有技术相比，本发明的真空镀膜设备10为一种新型的冷却方式，即是在真空镀膜设备10的镀膜室顶壁13或镀膜室底壁15的外侧挖流道，与传统的冷却方式都是在腔体外壁焊接冷板﹑蜂槽的方式相比，此方法使冷却水深入到需冷却的镀膜室11上下壁的钢板的内部，在冷却水等条件相同地条件下能极大地提升冷却效果。进行镀膜作业时，在保证冷却效果的条件下，可以适当提高冷却水温度5℃～10℃，这样镀膜室顶壁13或镀膜室底壁15外部出现的冷凝水将大幅度减少，从而有效解决真空镀膜设备10的镀膜室11外壁冷凝水出现过多导致靶座与腔体短路及真空镀膜设备10外壁生锈的问题。

Claims (4)

1.一种真空镀膜设备，包括镀膜室，该镀膜室包括腔壁，其特征在于：该真空镀膜设备还包括设有冷却液流道，该冷却液流道设置于腔壁内，以便用于装设冷却液体镀膜室进行冷却。
2.如权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：该腔壁包括顶壁及底壁，所述冷却液流道为设置于顶壁及底壁内，且通过对该顶壁及底壁外表面车削或激光开槽的方式形成，然后在该冷却液流道上方焊接有不锈钢板，把冷却液流道完全密封，形成一个进液口，一个出液口用于对镀膜室冷却的水循环。
3.如权利要求2所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述冷却液流道开设的深度为10mm-15mm，所述覆盖在冷却液流道不锈钢板的厚度为2mm-5mm。
4.如权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述冷却液流道为一水管，该水管设置于腔壁中的顶壁或底壁，该水管包括两个进液口和出液口。
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