CN201530858U - 一种磁控溅射设备的阴极冷却装置 - Google Patents

一种磁控溅射设备的阴极冷却装置 Download PDF

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杨继泽
刘万学
张兵
王巍
程明辉
左腾
徐柏章
曲爽
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Abstract

本实用新型涉及一种冷却装置，具体的说是一种磁控溅射设备中对阴极靶材进行冷却的装置。该冷却装置包括仓体上壁、靶材、降温板，所述的降温板设置在仓体上壁和靶材之间，其中在降温板的内部设置由冷却水管道。所述的降温板内部设置的冷却水管道包括两条管道，其中两条管道分别带有进水口和出水口，冷却水管道在降温板的内部为“M”型排列。本实用新型由于采用上述结构，从而能有效的对靶材进行降温，使控溅射设备内太阳能电池的溅镀效果得到很大程度的提高。

Description

一种磁控溅射设备的阴极冷却装置
技术领域
本实用新型涉及一种冷却装置，具体的说是一种磁控溅射设备中对阴极靶材进行冷却的装置。
背景技术
在现有的太阳能电池生产过程中，通过磁控溅射设备对太阳能电池溅镀Al层，磁控溅射原理简要表述如下：在被溅射的阴极与阳极之间加一个正交磁场和电场，在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为氩气)，永久磁铁在靶材料表面形成250～350高斯的磁场，同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下，氩气电离成正离子和电子，靶上加有一定的负高压，从阴极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大，在阴极附近形成高密度的等离子体，氩离子在洛伦兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶材上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。
如上所述，阴极靶材在工作过程中温度很高，对其生产的影响很大，所以必须寻找一种方法，能有效的对靶材进行降温，使靶材的温度不至于太高，影响设备的正常运行。
发明内容
本实用新型的目的是要提供一种结构简单合理，能够有效的在磁控溅射设备中对阴极靶材进行冷却的装置。
本实用新型的目的是这样实现的：该冷却装置包括仓体上壁、靶材、降温板，所述的降温板设置在仓体上壁和靶材之间，其中在降温板的内部设置由冷却水管道。
所述的降温板内部设置的冷却水管道包括两条管道，其中两条管道分别带有进水口和出水口，冷却水管道在降温板的内部为“M”型排列。
本实用新型由于采用上述结构，从而能有效的对靶材进行降温，使控溅射设备内太阳能电池的溅镀效果得到很大程度的提高。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图
图2为本实用新型俯视图。
图3为本实用新型图2中A部分的剖面图。
具体实施方式
由附图所示：该冷却装置包括仓体上壁1、靶材2、降温板3，所述的降温板3设置在仓体上壁1和靶材2之间，其中在降温板3的内部设置由冷却水管道4。
所述的降温板3内部设置的冷却水管道4包括两条管道，其中两条管道分别带有进水口5和6、出水口7和8，冷却水管道4在降温板3的内部为“M”型排列，冷却水从进水口5和6进入后，沿M型冷却水管道流动，最后从出水口7和8流出，在流动的时候带走靶材2工作时产生的热量，实现对靶材2的降温作用。

Claims (2)

1.一种磁控溅射设备的阴极冷却装置，其特征在于：该冷却装置包括仓体上壁(1)、靶材(2)、降温板(3)，所述的降温板(3)设置在仓体上壁(1)和靶材(2)之间，其中在降温板(3)的内部设置由冷却水管道(4)。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备的阴极冷却装置，其特征在于：所述的降温板(3)内部设置的冷却水管道(4)包括两条管道，其中两条管道分别带有进水口(5)和(6)、出水口(7)和(8)，冷却水管道(4)在降温板(3)的内部为“M”型排列。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102808157A (zh) * 2011-05-31 2012-12-05 无锡华润上华半导体有限公司 溅射靶材维护用管道系统
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CN104465283A (zh) * 2014-12-11 2015-03-25 中国科学院电工研究所 一种超导强磁场磁控溅射阴极的低温冷却系统

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