KR20060113724A

KR20060113724A - 전기기계 모터 및 이의 조립 방법

Info

Publication number: KR20060113724A
Application number: KR1020067011306A
Authority: KR
Inventors: 스테판 요한슨; 매츠 벡셀; 크리스터 매트슨; 올로브 요한슨; 조나스 에릭슨; 쇨르뵈 린드마크
Original assignee: 피에조모터 웁살라 에이비
Priority date: 2003-12-18
Filing date: 2004-10-13
Publication date: 2006-11-02
Also published as: US20050134146A1; KR101058304B1; WO2005060015A1; EP1698001B1; US7053527B2; EP1698001A1; JP2007515148A; JP4767174B2

Abstract

전기기계 모터(10)에서, 연장된 전기기계 구동 소자(30)는 캐리어(150)에 기계적으로 그리고 바람직하게는 또한 전기적으로 부착된다. 스프링(54)은 피벗 포인트(152)에서 캐리어(150)의 배면측을 가압함으로써 전기기계 구동 소자(30) 상에 힘을 인가하도록 배열된다. 캐리어(150)는 소자 연장부에 평행한 축을 중심으로 하여 피벗 포인트를 중심으로 피벗하게 된다. 전기기계 구동 소자(30)는 이로써, 플로팅 방식으로 서스펜딩된다. 전기기계 구동 소자(30)는 연장부에 수직인 스트로크를 갖는 벤딩 모션을 제공하도록 배열된다. 피벗 포인트(152), 캐리어(150) 및 전기기계 구동 소자(30) 사이의 기계적 조인트(151), 및 바람직하게는 또한 전기기계 소자(30)의 벤딩 모션의 노달 포인트(155)는 소자 연장부에 수직인 공통 플레인에 위치된다. 하나의 실시예에서, 전기기계 구동 소자는 캐리어(150)가 솔더링되는 금속화부(32)를 가지고 있다. 이러한 금속화부(32)는 전기기계 구동 소자(30)의 종방향 측에 제공된다. 금속화된 에어리어는 다른 수단에 의해, 예를 들어, 글루잉에 의해, 바람직하게는 표면 장착 기술을 사용함으로써 가요성 인쇄 회로 기판의 부착 패드에 솔더링되거나 고정된다.

전기기계 모터, 전기기계 구동 소자, 캐리어, 피벗 포인트, 노달 포인트.

Description

전기기계 모터 및 이의 조립 방법{ELECTROMECHANICAL MOTOR AND ASSEMBLING METHOD THEREFORE}

본 발명은 일반적으로 소형 모터 및 이의 조립 방법에 관한 것이며, 특히 전기기계 모터에 관한 것이다.

제어되는 미세한 포지셔닝(positioning)을 행할 수 있는 매우 소형화된 모터가 다양한 애플리케이션에서 필요로 된다. 예를 들어, 소비자 제품에서, 매우 작고, 중량이 낮으며, 전력 소모가 낮고 저렴한 모터가 통상적으로 요구된다. 이동 범위는 종종 수밀리미터 정도이고 마이크로미터의 정확도를 갖는다.

공개된 국제 특허 출원 US6,437,485B1에서, 이중 전기기계 소자에 기초한 전기기계 액추에이터가 게시되어 있다. 전기기계 소자는 외단면에서 전기 접속부를 가지고, 각각의 외단에서 고정자에 대한 기계적인 지지부를 가지며, 구동부가 부착되는 전기기계적 비활성부에 의해 상호접속된다. 양호하게-규정된 전압 신호를 각 전기기계 소자의 멀티모프(multimorphs), 바이모프(bimorphs) 또는 모노모프(monomorphs)에 제공함으로써, 구동부는 이차원으로 이동되어 모션(motion)을 몸체에 전달한다. 기본적인 개념은 매우 유용한 것으로 판명되었다. 그러나, 상이한 애플리케이션에 대하여 전기기계 소자의 동적 동작을 최적화하기 위하여, 매우 높 은 조립 정밀도, 시간을-소모하는 실험적인 테스트, 외부 조건에 대한 높은 감도 및/또는 피로(fatigue)를 방지하기 위한 예방조치(precaution)가 필요로 될 수 있다. 특히, 전기 및 기계적 접속은 제어된 방식으로 성취하기 어렵다. 솔더링 공정 동안, 예를 들어, 자동화된 공정을 성취하기 어려운 양호하게 제어되어야 하는 몇 가지 기하학적 파라미터들이 존재한다. 진동 구동 소자가 단부면에서 실질적인 진동 진폭을 가지기 때문에, 전기 및 기계적 접속부는 또한 큰 기계적 응력에 노출될 것이며, 이는 매우 바람직하지 않다. 단부면에 부착된 가요성 인쇄 회로 기판으로 인하여, 진동의 댐핑이 또한 증가하므로, 효율이 감소될 것이다. 일반적인 경우에, 다소 제어 가능한 파라미터들 간의 관계는 매우 복잡하다.

이 유형의 전기기계 모터를 위해 계획된 많은 제품은 매우 가격에 민감하며, 제조시의 허용오차(tolerance)가 너무 좁은 경우, 수율이 감소되므로, 비용이 더 높아진다. 종래 기술의 전기기계 모터는 일반적으로 비용-효율적인 대량 생산에 특히 적합하지 않다.

볼륨이 작고, 정확도가 높은 종래 기술의 전기기계 모터에 의한 일반적인 문제점은 동적 동작이 예측하여 제어하기 어렵다는 것이다. 종래 기술의 전기기계 모터의 다른 문제점은 디자인이 효율적인 고-정확도 조립에 최적화되지 않는다는 것이다. 종래 기술의 전기기계 모터에 의한 또 다른 문제점은 기계 및 전기적 접속부에서의 피로 파괴(fatigue fracture)가 상대적으로 빈번하고 제어하기 어렵다는 것이다.

본 발명의 목적은 동적 동작의 예측도(predicability)가 증가한 전기기계 모터를 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 파괴에 대한 위험이 감소한 전기기계 모터를 제공하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 조립이 쉽고 정확하도록 하는 디자인을 갖는 전기기계 모터 뿐만 아니라, 이의 조립 방법을 제공하는 것이다.

상기 목적은 첨부된 특허 청구항에 따른 장치 및 방법에 의해 성취된다. 일반적으로 말하면, 연장된 전기기계 구동 소자는 캐리어에 기계적으로 그리고 바람직하게는 전기적으로 부착된다. 스프링은 피벗 포인트에서 캐리어의 배면을 가압함으로써 전기기계 구동 소자에 힘을 인가하도록 배열된다. 캐리어는 소자 연장부(element elongation)에 평행한 축을 중심으로 하여 피벗 포인트를 중심으로 피벗하게 된다. 전기기계 구동 요소는 이로써 플로팅(floating) 방식으로 서스펜딩(suspending)된다. 전기기계 구동 소자는 연장부에 수직인 스트로크를 갖는 벤딩 모션(bending motion)을 제공하도록 배열된다. 캐리어 및 전기기계 구동 소자 사이의 기계적 조인트 및 피벗 포인트는 소자 연장부에 수직인 공통 플레인에 위치된다. 바람직하게는, 전기기계 소자의 벤딩 모션의 노달 포인트(nodal point)는 또한 실질적으로 이 공통 플레인에 위치된다. 하나의 실시예에서, 전기기계 구동 소자는 캐리어가 솔더링되는 금속화부(metallisation)를 가지고 있다. 이러한 금속화부는 전기기계 구동 소자의 종방향 측면에서 제공된다. 금속화된 에어리어는 다른 수단에 의하여, 예를 들어, 글루잉(gluing)에 의하여, 바람직하게는 표면 장착 기술을 사용함으로써, 가요성 인쇄 회로 기판의 부착 패드에 솔더링되거나 고정된다.

바람직한 실시예에서, 모터는 이동될 몸체의 대향 측에 배열된 두 개의 전기기계 구동 소자를 포함한다. 각각의 구동 소자는 두 개의 상호접속된 전기기계적 활성 볼륨 및 실질적으로 상기 활성 볼륨들 사이에 부착된 구동 패드를 포함한다. 구동 소자는 전기기계 구동 소자의 각 단부로부터 적은 거리를 두고 제공되는 두 쌍의 금속화된 에어리어에 의해 가요성 인쇄 회로 기판에 부착된다. 스프링은 두 개의 전기기계 구동 소자를 서로를 향해 가압하여, 몸체를 그들 사이에 클램핑한다. 스프링은 바람직하게는 자신의 힘을 금속화된 에어리어 부근에서 전기기계 구동 소자의 대칭 라인에 인가한다.

더 부가적인 실시예가 이하에 더 설명된다.

진동 진폭이 낮은 위치에서의 기계적인 그리고 바람직하게는, 전기적인 접속부의 배치는 접속부가 진동으로 인한 응력에 덜 민감하도록 한다. 본 발명에 따른 전기기계 장치는 대부분으로 종래 기술의 해결책에 비하여 더 간단한 진동 특성을 성취하는데, 그 이유는 전기기계 구동 소자가 작은 스트로크를 나타내는 위치 부근에 제공된 포인트를 중심으로 피벗하기 때문이다. 더구나, 상기 디자인은 전기기계 구동 소자 및 회로 기판의 상대적인 위치가 바람직하게는, 금속화된 에어리어 및 부착 패드에 의해 정렬되기 때문에, 적절한 장착 정확도를 여전히 유지하면서, 조립이 용이하도록 한다. 더구나, 본 발명에 따른 장치는 파괴에 더 로버스트하다.

본 발명의 부가적인 목적 및 장점과 함께, 본 발명은 첨부 도면과 함께 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 양호하게 이해될 수 있다.

도1은 본 발명에 따른 전기기계 모터의 실시예의 개략도.

도2a 및 2b는 자유 진동 빔의 벤딩 모드를 도시한 도면.

도2c는 전기기계 모터에서 이용되는 진동 빔의 개략적인 표시도.

도3은 본 발명에 따른 전기기계 모터의 실시예의 일부의 사시도.

도4a-e는 본 발명에 따른 전기기계 구동 소자의 실시예의 사시도.

도5a는 본 발명에 따른 가요성 인쇄 회로 기판에 장착되는 전기기계 구동 소자의 실시예의 사시도.

도5b는 도5a의 단면도.

도6은 장착된 스프링을 갖는 본 발명에 따른 전기기계 모터의 실시예의 일부의 사시도.

도7은 장착된 스프링을 갖는 본 발명에 따른 전기기계 모터의 다른 실시예의 일부의 사시도.

도8은 본 발명에 따른 방법 실시예의 주요 단계의 흐름도.

이하에 설명된 본 발명의 예시적인 실시예는 US6,437,485B1에 제공된 일반적인 소자 디자인과 연관된다. 그러나, 본 발명의 아이디어는 또한 다른 유형의 전기기계 액추에이터 및 모터에 적용될 수 있고, 특허 보호의 범위는 이하에서 제공되는 실시예에 국한되는 것이 아니라, 특허 청구항의 사항에 의해서만 규정되어야 한다.

도1에서, 이중 멀티모프 벤딩 진동 액추에이터 장치(10), 이 경우에는 모터의 실시예의 간소화된 블럭도가 도시되어 있다. 전기기계 모터는 이동될 몸체를 구 동시키는 전기기계 액추에이터로서 간주될 수 있다. 고정자(20)는 구동 패드(40)에 의해 이동될 몸체(1)에 대해 작동하는 전기기계 구동 소자(30)를 포함한다. 전기기계 구동 소자(30)는 가용성 인쇄 회로 기판(50)의 제1(상부) 측(153)에 부착되며, 상기 상부 측에 의해 지지된다. 피벗 지지부(52)가 가요성 인쇄 회로 기판(50)의 대향 측(154) 상에 부착된다. 피벗 지지부(52)는 예를 들어, 글루잉에 의해 부착된 별도의 볼륨 또는 가요성 인쇄 회로 기판(50) 내에 통합된 두껍게 된 부분으로서 디자인될 수 있다. 피벗 지지부(52) 및 가요성 인쇄 회로 기판은 함께 전기기계 구동 소자(30)의 캐리어(150)를 구성한다. 스프링(54)은 화살표(58)로 도시된 수직항력(normal force)에 의해 몸체(1)에 대해 전기기계 구동 소자(30)를 가압한다. 스프링(54)은 피벗 포인트(152)에서 힘을 팁(56)에 의해 피벗 지지부(52)로 전달한다. 전기기계 구동 소자(30)는 이중 화살표(42)로 도시된 바와 같은, 도면에서의 위아래의 스트로크로 벤딩 모션에서 독립적으로 구동 가능한 두 개의 활성 섹션(34 및 36)을 각각 포함한다. 활성 섹션(34 및 36)의 벤딩 동작은 방향(42) 뿐만 아니라, 상기 방향(42)에 대한 횡단 방향에서의 패드(40)의 모션을 생성한다. 몸체(1)는 결국 구동 패드(40)와의 상호작용에 의해 이동된다.

스프링(54) 팁(56) 및 피벗 지지부(52) 간의 접촉은 전기기계 구동 소자(30)를 플로팅 방식으로 서스펜딩되게 한다. 즉, 캐리어(150)는 전기기계 구동 소자(30)에 평행한, 즉, 화살표(157)에 평행한 축을 중심으로 하여 피벗 포인트(152)를 중심으로 스프링(54)에 대해 피벗될 수 있다.

몸체(1)의 실제 모션은 일반적으로 전기기계 구동 소자(30)의 진동 모션에 따른다. 이 진동은 한편으로는 전기기계 재료와 전극 및 상기 재료를 여기시키는 전압 신호의 구조에 따르며, 다른 한편으로는 인쇄 회로 기판(50), 구동 패드(40), 몸체(1) 그 자신, 피벗 지지부(52) 및 스프링(54)과 같은 주변 파트와의 상호작용에 따른다. 마찰, 탄성도 특성, 질량 등과 같은 파라미터는 전기기계 구동 소자(30)에 대한 실제 진동 조건을 을 결정하는데 중요하다. 그러므로, 일반적인 경우에, 양호한 예측도 및 재현성(reproducibility)을 제공하는 정확도로 모든 이와 같은 파라미터를 제어하는 것은 실제로 매우 어렵다. 많은 실제적인 경우에, 디자인은 양호한 동작을 성취하기 위하여 실험적으로 테스트되어 조정되어야 한다. 이와 같은 상황은 일반적으로 매우 만족스럽지 않고, 더 양호한 전체 동작 제어가 필요로 된다.

기계 공학에서, 자유 진동 빔의 조건은 상당히 널리 이해되고 있다. 도2a는 이와 같은 빔(100)을 개략적으로 도시한다. 파선 곡선(102 및 104)은 어떤 진동 모든 동안 빔의 상이한 스트로크를 도시한다. 노달 포인트는 155로 표시된다. 도2b는 파선 곡선(106 및 108)으로 표시된 다른 진동 모드에서의 빔(100)을 도시한다. 주파수, 스트로크 진폭, 에너지 내용 등이 상대적으로 결정하기 쉽다. 그러나, 도2c에 도시된 바와 같이, 이와 같은 빔(100)이 예를 들어, 지지 레버(support lever)(112)를 통하여 구동 패드(110) 및 피벗 포인트(152)에 연결될 때, 상황은 급속하게 더 복잡해진다. 도2c에서, 구동 패드(110)는 자신의 질량, 스프링 상수, 길이, 마찰 계수, 댐핑 특성 등에 따라서 진동에 영향을 줄 것이다. 피벗 포인트(152)의 병진 및 회전 스프링 및 댐핑 특성, 지지 레버(112)의 높이, 스프링 및 댐핑 특성이 또한 중요할 것이다. 상기 이유로부터, 당업자는 가능한 한 적은 파라미터를 이용하는 것이 중요하고 바람직한 상황을 구현할 수 있다.

본 발명에 따르면, 전기기계 구동 소자는 자신을 가요성 인쇄 회로 기판에 부착시킴으로써 플로팅 방식으로 서스펜딩되며, 이 기판은 차례로 피벗 포인트(152)에서 피벗 가능하다. 가요성 인쇄 회로 기판 또는 스프링은 전기기계 구동 소자의 병진 가동성(translational movability)을 제한하는 반면, 전기기계 구동 소자의 진동 동작은 최소로 영향을 받는다. 가장 중요한 세부항목(detail)은 가요성 인쇄 회로 기판의 전기기계 구동 소자로의 부착이다. 가요성 인쇄 회로 기판은 주로 벤딩 동작을 위한 일정한 가요성을 제공하지만, 더 긴 병진 모션을 제한한다. 동시에, 탄성 특성은 전기기계 구동 소자의 탄성 특성과 상당히 상이하고, 이것은 임의의 모션 또는 형태 변화가 전기기계 구동 소자 및 캐리어 간의 기계적인 접속부에서 응력을 초래할 것이라는 것을 의미한다.

구동 소자를 서스펜딩하기 위하여 가요성 인쇄 회로 기판을 사용하는 종래 기술에서, 기계적인 접속 또는 부착은 구동 소자의 구동 패드에 대하여, 단부 또는 대향 측에서, 즉, 도1의 하부 측에서 제공된다. 가요성 인쇄 회로 기판으로의 조인트는 공진 부근의 높은 동작 전압에서 상당히 높을 수 있는 벤딩 응력을 겪게 될 것이다. 전형적인 조인트를 구성하는 솔더링 재료 또는 구동 소자 및 금속화부 간의 경계면에서의 대응하는 응력은 결국 파괴를 초래할 수 있다. 더구나, 이와 같은 벤딩력(bending force)은 특히 전기기계 구동 소자의 짧은 단부가 조인트에 힘을 가하는데 이용되는 경우 바람직하지 않게 된다.

본 발명에 따르면, 전기기계 구동 소자의 가요성 인쇄 회로 기판으로의 부착은 상기 수단의 응력이 작은 포인트 또는 플레인에서 수행되어야 한다. 바람직하게는, 조인트의 적어도 일부는 전기기계 구동 소자의 벤딩 모션의 스트로크에 실질적으로 평행하다. 도1로 리턴하여, 전기기계 구동 소자(30)가 점선(35)으로 도시된 축을 중심으로 실질적으로 대칭이라고 가정하면, 포인트(155)는 형태 변화가 매우 적은 거의 노달 포인트이다. 본 발명에 따르면, 전기기계 구동 소자(30)에서의 에어리어(32)는 가요성 인쇄 회로 기판(50)과 함께 조인트(151)를 위한 견고한 베이스를 구성하기 위하여 바람직하게는 은으로 금속화된다. 이 금속화부(32)는 동시에 전기기계 구동 소자(30)에서 전극의 전기 접속부로서 사용될 수 있다. 에어리어(32)는 전기기계 구동 소자의 벤딩 모션의 스트로크(42)에 실질적으로 평행하고, 전기기계 구동 소자(30)의 주요 확장부에 실질적으로 평행한 표면을 갖는다. 즉, 전기기계 구동 소자(30)가 연장된 직사각형 평행육면체인 경우, 에어리어(32)는 이 실시예에서 연장된 직사각형 평행육면체의 종방향 측에 위치된다. 조인트(151), 전형적으로는 솔더링 재료는 에어리어(32)를 가요성 인쇄 회로 기판(50)과 접속시킨다. 이와 같은 조인트(151)는 두 개의 접속된 표면, 즉 가요성 인쇄 회로 기판(50) 및 에어리어(32)가 서로 실질적으로 수직이라는 사실에도 불구하고, 더 로버스트하다는 것이 판명되었다.

조인트(151) 상에서의 응력은 전기기계 소자가 부착되는 구동 소자의 단부로부터의 거리에 따라 변화한다는 것이 실험적인 테스트를 통해 나타났다. 본 발명에 따르면, 조인트(151)는 노달 포인트(155) 부근에 제공된다. 이상적으로는, 소자 확 장부(157)에 수직인 플레인(156)은 노달 포인트 및 조인트(151)를 접속시킨다. 즉, 노달 포인트(155) 및 조인트(151)는 전기기계 구동 소자(30)의 단부로부터 동일하고 무시 불가능한 거리로 위치된다. 정확한 위치는 장치의 상세한 디자인에 따라 변화한다.

피벗 포인트(152)의 위치가 또한 중요하다. 본 발명에 따르면, 피벗 포인트(152)는 또한 실질적으로 장소(156)에서 포지셔닝된다. 캐리어(150)의 이 지지부는 많은 중요한 파라미터에 거의 무관한 진동 동작을 전기기계 소자(30)에 제공하며, 이는 진동 모드를 제어하고 예측하기 더 용이하도록 한다.

도3은 본 발명에 따른 장치의 실시예의 일부의 다소 더 실제적인 도면을 도시한다. 스프링은 전기기계 모터(10)의 중심에서 세부항목을 드러내기 위하여 제거되었다. 이 실시예에서, 전기기계 모터(10)는 전기기계 구동 소자(30A, 30B)를 각각 가지는 두 개의 구동 세트를 포함한다. 두 개의 전기기계 구동 소자(30A, 30B)는 이동될 몸체(1)의 대향 측 상에 포지셔닝된다. 도1의 부분과 유사한 부분에는 양측 사이를 구별하기 위하여 "A" 또는 "B"로 확장되는 동일한 참조 번호가 병기되어 있다.

가요성 인쇄 회로 기판(50A 및 50B)은 적절한 형태로 절단된다. 가요성 인쇄 회로 기판(50A 및 50B)이 전기기계 구동 소자(30A, 30B)와 함께 측면 조인트(38A, 38B)를 지지하기 위하여, 전기기계 구동 소자(30A, 30B)의 폭 외부로 확장하는 탭을 가지고 있다는 것을 알 수 있다. 피벗 지지부(52A, 52B)가 또한 원하는 기계적인 동작을 제공하기 위하여 확장된다. 피벗 지지부(52A, 52B)는 전기기계 구동 소 자의 수직 대칭 라인에 위치된 자신의 배면에서 홀(53)을 제공하며, 이 홀(53)은 이하에 더 상세히 후술되는 바와 같이 스프링의 포지셔닝에 사용된다. 홀(53)은 피벗 포인트의 위치를 규정한다.

고정자(20)는 모터에 대한 전체의 구조적인 지지를 제공하는 백본 파트(backbone part)(21)을 포함한다. 가요성 인쇄 회로 기판(50A, 50B)은 백본 파트(21)에서 제공되는 바브(barb)(22)에 의해 적절하게 유지된다. 방향에서의 위치 정확도는 이 특정 실시예에서, 백본 파트(21)의 내부면 상에서 지지하는 러그(57A, 57B)에 의해 보장된다.

도3의 모터는 예를 들어, 장치가 플로어(floor)에서 떨어지는 경우, 갑작스런 외부 초크(chock)에 민감하지 않도록 디자인된다. 전기기계 구동 소자(30A, 30B)는 후술되는 바와 같이, 몸체(1)에 대해 가압되지만, 백본(21)과의 본질적으로 강성의 기계적 접속이 존재하지는 않는다. 위치는 러그(57A, 57B)와 같은 기계적인 엔드 스톱(end stop)에 의해 결정된다. 모터에서 민감한 파트, 즉, 전기기계 구동 소자 상에서의 힘은 본질적으로 고정자 자신에서의 관성력에 의해 결정될 것이다. 고정자의 크기가 작기 때문에, 이러한 힘은 매우 적고, 이로 인해, 고장에 대한 위험 없이 매우 높은 리타데이션(retardation)이 수용될 수 있다.

도4a는 도3의 장치에서 사용될 수 있는 별도의 전기기계 구동 소자(30)의 사시도이다. 본 발명에 따른 전기기계 구동 소자(30)의 긴 측(37)은 가요성 인쇄 회로 기판과의 접속이 설정될 금속화된 에어리어(32)를 가지고 있다. 금속화된 에어리어(32)는 또한 전기기계 구동 소자 내에서 전극들(29)을 접속하는데 사용된다. 금속화된 에어리어(32)는 바람직하게는, 임의의 종래의 인쇄 기술에 의해 제공되지만, 증류(evaporation) 또는 다른 박막 증착 기술과 같은 다른 방법에 의해 제공될 수 있다. 여기서, 금속화된 에어리어(32)가 피벗 포인트 위치에 대응하는 전기기계 구동 소자(30)의 짧은 측(39)으로부터 거리(D)를 두고 위치된다는 것이 매우 명백하게 인식된다. 전기기계 구동 소자(30)는 또한 자신의 상부면(27)에 리세스(44)를 가지고 있다. 이 리세스(44)는 이하에 더 상세히 설명되는 구동 패드에 대한 조립 보조기(assembling aid)의 역할을 한다. 높은 정밀도를 성취하기 위하여, 전기기계 구동 소자(30)의 주요 치수의 절단, 리세스(44)의 제공 및 금속화된 에어리어(32)의 제공이 동일한 제조 단계에서 제공된다. 그러므로, 동일한 머시닝 패스닝(machining fastening)이 사용될 수 있는데, 이는 금속화된 에어리어, 리세스(44) 및 전기기계 구동 소자(30)의 외부 측정치 사이의 상대적인 기하학적 정확도가 높게 되도록 한다. 전기기계 구동 소자(30)는 도시되지 않은 배면측 상에서 대응하는 대칭적인 금속화된 에어리어를 갖는다.

도4b는 아래에서 본 도4의 전기기계 구동 소자(30)의 사시도이다. 이 실시예에서, 금속화된 에어리어(32)는 단지 전기기계 구동 소자(30)의 측면에만 제공된다. 전기기계 구동 소자(30)의 최하부 측(26)은 본질적으로 금속화부가 없다.

도4c는 도3의 장치에서 사용될 수 있는 전기기계 구동 소자(30)의 다른 실시예의 사시도이다. 여기서, 금속화부는 최하부 측(26) 주위로 계속되어, 최하부의 금속화된 에어리어(62)가 측면 에어리어(32)와 전기 접속되도록 한다. 이와 같은 최하부의 금속화된 에어리어(62)는 이하에 더 설명되는 바와 같이, 어떤 애플리케 이션에서 자동 조립을 용이하게 한다.

도4d는 도3의 장치에서 사용될 수 있는 전기기계 구동 소자(30)의 또 다른 실시예의 사시도이다. 여기서, 금속화부는 단지 최하부 에어리어(62)에서만 제공된다. 상기와 같이, 이와 같은 최하부의 금속화된 에어리어(62)는 이하에 더 설명되는 바와 같이, 어떤 애플리케이션에서 자동 조립을 용이하게 할 수 있다. 금속화된 에어리어(62)는 예를 들어, 나중에 도전 재료로 충전되는, 전기기계 층의 스택을 통한 비아 홀(via hole)을 제공함으로써 전기기계 구동 소자(30)에서 상이한 전극들을 접촉하는데 여전히 사용될 수 있다. 전극의 내부 접촉은 또한 솔더 패드 및 구동 소자 간의 바인딩 강도가 전형적으로 증가된다는 장점을 갖는다.

도4e에서, 이 실시예에서 원통 형태인 구동 패드(40)가 전기기계 구동 소자(30) 상에 장착된다. 전기기계 구동 소자(30) 내의 리세스(44)는 구동 패드(40)가 리세스의 에지(46) 상에서 지지될 만큼 충분히 깊다. 이와 같은 방식으로, 구동 패드(40)는 전기기계 구동 소자(30)에 글루잉될 때, 정확하게 셀프-센터링(self-centring)한다.

도5a는 가요성 인쇄 회로 기판(50)에 부착될 때의 전기기계 구동 소자(30)의 사시도이다. 가요성 인쇄 회로 기판(50)의 탭(55) 및 피벗 지지부(52)가 여기서 용이하게 도시되어 있다. 측면 조인트(38)는 가요성 인쇄 회로 기판(50)의 탭(55) 및 전기기계 구동 소자(30)의 금속화된 에어리어(32)를 기계 및 전기적으로 접속하는 것으로 도시되어 있다. 지지 러그(57)가 또한 용이하게 도시되어 있다.

조인트(38)가 또한 가요성 인쇄 회로 기판(50) 및 전기기계 구동 소자(30) 간의 전기 접속부인 것이 바람직하기 때문에, 전기기계 구동 소자(30)를 작동시키는 전압 신호가 가요성 인쇄 회로 기판(50)을 통하여 제공된다. 우측에서, 전압 접속(58)이 측면으로부터, 즉, 주요 모션 방향에 평행하게 공급된다. 그 대신에, 좌측에서, 전압 접속(58)은 접선 방향으로 공급된다. 당업자는 전압원(90)으로부터의 전압이 실제 디자인에 따라서 임의의 방향으로부터 전기기계 구동 소자(30)로 공급될 수 있다는 것을 인식한다.

도3 및 도5a에서, 가요성 인쇄 회로 기판(50)은 전기기계 구동 소자(30)의 주요 부분 아래에서 탭의 위치들 사이에 재료가 존재하지 않도록 하는 방식으로 절단된다. 그러나, 다른 실시예에서, 가요성 인쇄 회로 기판은 전기기계 구동 소자(30)의 전체 최하부, 또는 이의 일부를 커버하는 연속적으로 보드일 수 있다.

도5b는 가요성 인쇄 회로 기판의 전기기계 구동 소자(30)의 부착을 보다 상세히 도시한 도5a의 라인(A-A)을 따른 단면도이다. 이 실시예에서, 가요성 인쇄 회로 기판(50)은 전기기계 구동 소자(30)의 폭보다 다소 적은 거리만큼 분리된 인쇄 컨덕터 패드(59)를 가지고 있다. 이러한 패드(59) 상에 액체 솔더링 재료를 제공하고 나서, 전기기계 구동 소자(30)를 정확한 위치에 적절하게 포지셔닝시킴으로써, 솔더링 재료의 표면 장력은 전기기계 구동 소자(30) 상에서 금속화된 에어리어(32)를 자동적으로 적시며, 전기기계 구동 소자(30)를 또한 패드(59)에 대해 자동적으로 센터링할 것이다. 이와 같은 방법에서, 매우 높은 조립 정확도가 성취될 수 있다. 도5b에서 알 수 있는 바와 같이, 이 실시예는 전제 측면 에어리어(32) 및 패드(59)를 접촉시키고, 전기기계 구동 소자(30) 하에서 짧은 거리가 또한 존재하는 조인트(38)를 제공한다. 그러나, 전기기계 구동 소자(30)의 하부 측면의 대부분은 가요성 인쇄 회로 기판(50)의 표면 위에서 매우 짧은 거리를 두고 조립되며, 이는 조인트(38)가 스프링(54)으로부터 인가된 힘을 전달할 것이라는 것을 의미한다.

그러나, 스프링(54)(이하에 설명됨)에 의해 인가된 힘이 높을 때, 전기기계 구동 소자(30)와 직접 기계적으로 접촉하는 캐리어, 즉, 가요성 인쇄 회로 기판(50) 및 피벗 지지부(52)를 갖는 것이 유용할 것이다. 그 후, 접속부(38)에서의 응력은 실질적으로 감소되며, 피로 또는 파괴에 대한 위험은 최소화될 것이다. 피벗 지지부(52) 및 전기기계 구동 소자(30) 사이에 직접적인 접촉을 달성하는 몇 가지 방법이 존재한다. 피벗 지지부(52)가 가요성 인쇄 회로 기판(50)에 부착되거나 상기 기판 내에 통합되는 것을 고려하면, 가요성 인쇄 회로 기판(50) 및 전기기계 구동 소자(30) 사이에 접촉부를 갖는 것이 바람직하다. 하나의 기술은 가요성 인쇄 회고 기판(50) 및 전기기계 구동 소자(30) 사이에서 가요성 인쇄 회로 기판상에 메사 구조(mesa structure)를 갖는 것이다. 그 후, 솔더의 표면 장력은 전기기계 구동 소자(30)를 이 메사에 대하여 끌어당긴다.

이를 성취하는 다른 기술은 전기기계 구동 소자(30)의 폭보다 더 큰 간격으로 가요성 인쇄 회로 기판(50) 상에 솔더 패드를 갖는 것이다. 전기기계 구동 소자를 가요성 인쇄 회로 기판상에 위치시킬 때, 솔더의 표면 장력은 전기기계 구동 소자(30)를 평활한 가요성 인쇄 회로 기판(50)에 대해 끌어당길 것이다.

제3 기술은 솔더링 또는 컨덕팅 글루잉 공정 동안 구동 소자를 가요성 인쇄 회로 보드(50)에 대해 가압하는 것이다. 또 다른 기술은 전기기계 구동 소자(30) 및 가요성 인쇄 회로 기판(50) 사이에 공간을 채우기 위하여 솔더링 이후에 글루(glue)를 도포하는 것이다.

상술된 조립 원리는 종래의 전자장치 제조에 사용된 표면 장착 기술에 매우 적합하다. 이것은 전기기계 모터의 전기기계 파트의 조립은 고도로 자동화되고 저렴한 방식으로 수행될 수 있다. 이와 같은 전기기계 소자의 표면 장착은 신규성이 없고, 예를 들어, 공개된 국제 특허 출원 WO00/44208호에 게시되어 있다.

도6은 스프링(54)이 장착된 전기기계 모터(10)의 실시예를 도시한다. 스프링(54)은 이 실시예에서, 이동될 몸체 및 두 개의 전기기계 구동 소자(30) 사이의 수직항력을 제공하는데 적절한 탄성 특성을 갖는 폴딩된 금속 플레이트이다. 스프링(54)은 조립시에, 피벗 지지부(52)의 배면 홀(53) 내로 피팅(fitting)되는 네 개의 팁(56)을 가지고 있다. 그 후, 이러한 팁(56)은 전기기계 구동 소자 조립체로의 단지 힘 전달 접촉부를 구성한다. 홀(53)이 전기기계 구동 소자(30)의 수평 대칭 라인(35)에 위치되도록 함으로써, 스프링(54)에 의해 전달된 수직 항력이 또한 이 대칭 라인(35)에서 인가된다. 이렇게 함으로써, 전기기계 구동 소자들(30)은 서로 그리고 이동될 몸체에 자기-정렬될 것이다. 주요 이슈 중 하나는 구동 패드(40)의 접촉 에어리어를 따라 균일한 압력을 성취하는 것이다. 홀(53) 및 스프링 팁(56)은 또한 구동 패드(40)가 이동될 몸체(1)의 양측 상에 대칭적으로 포지셔닝되도록 할 것이다. 대칭 라인(35)에 대하여 홀(53)을 변위시키는 것은 또한 고정자(20)의 어떤 다른 파트, 예를 들어, 가요성 인쇄 회로 기판(50)으로부터 부가적인 토크가 존재하는 경우에 유용할 수 있다. 그 후, 대칭 라인에 직각의 방향으로 홀(53)을 다 소 변위시키면 구동 패드(40) 상에서 압력 분포가 더 균일해질 것이다. 팁(56) 및 홀(53)은 또한 스프링(54)이 우연히 떨어지지 않도록 한다.

스프링(54)은 이 실시예에서, 횡단 방향으로 평행한 에지(66)를 가지고 있다. 이러한 에지(66)는 이 실시예에서, 전기기계 구동 소자(30)의 확장부에 평행한 임의의 활동을 금지하는데 사용될 수 있다. 따라서, 이와 같은 배열은 도5에 도시된 가요성 인쇄 회로 기판상의 러그에 대한 대안으로서 사용될 수 있다. 스프링(54)이 종방향 힘을 지지하는데 사용되면, 어떤 경우에, 스프링(54)의 부착 포인트, 즉, 대칭 라인(35)을 따른 팁(56)을 갖는 것이 유용할 것이다.

스프링(54)은 가요성 인쇄 회로 기판(50)의 확장 탭(55)을 통하여 피팅하도록 의도되는 네 개의 개구(61)를 제공한다. 이것은 스프링(54)이 전기기계 구동 소자(30)에 매우 가깝게 포지셔닝되도록 하며, 이는 매우 슬림한 전체 디자인을 제공한다. 스프링(54)을 장착할 때, 개구(61) 및 탭(55)은 또한 스프링(54)이 자신의 정확한 위치를 찾는 것을 돕는 가이딩 도구(guiding tool)의 역할을 할 것이다. 두 개의 부가적인 홀(63)이 이 실시예에서, 그립(grip)할 장착 도구를 위하여 스프링(54)에 제공된다.

도7에서, 스프링(54)의 다른 실시예가 도시되어 있다. 고정자 백본(21)은 여기서 돌출 플랜지(65)를 가지고 있고, 스프링은 돌출부(64)를 가지고 있다. 조립시에, 스프링은 위로부터 적당하게 힘을 받음으로써, 돌출부(64)는 돌출 플랜지(65)를 통하여 힘을 받을 것이다. 그 후, 플랜지(65) 및 돌출부(64)의 상호작용으로 인하여, 스프링(54)이 떨어지지 않게 된다.

동일한 기본적인 원리를 토대로 한 상이한 실시예가 위에서 제공되었다. 그러나, 보호 범위는 이에 의해 국한되는 것이 아니라, 첨부된 청구항에 의해서만 규정되어야 한다. 특히, 실시예의 상이한 세부항목은 조작 상의 임의의 조합으로 결합될 수 있다.

당업자들은 또한 본 발명의 원리가 상술된 것 이외의 다른 기본적인 디자인의 전기기계 모터에 적용될 수 있다는 것을 이해해야 한다. 그러므로, 상세한 설명의 실시예는 단지 당업자들이 본 발명을 사용하도록 하는 예시적인 실시예로서 간주되어야 한다.

본 발명에 따른 모터는 대량 제조를 위해 디자인된다. 그러므로, 로버스트한 성능 및 로버스트한 제조 공정 둘 모두가 필요로 된다. 제조하는 동안의 허용오차가 너무 좁으면, 수율이 감소되므로, 비용이 더 높아질 것이다. 처리 단계가 너무 많으면 또한 비용이 증가될 것이다. 본 발명에 따른 모터의 실시예에서의 고정자 파트는 표면 장착을 사용하는 제조 공적에 적응되며, 여기서 전기기계 구동 소자는 전기 기판의 최상부 상에 위치된다. 전형적으로, 솔더는 기판에 소자를 접속하는데 사용된다. 대안적인 기술은 컨덕팅 접착제를 사용하는 것이다.

제조 공정은 전기 및 기계적 접속부가 통합되기 때문에 매우 간소화된다. 전기 및 기계적 접속부는 상술된 바와 같이, 진동 구동 소자의 노달 위치 부근에 위치되어야 한다. 전기적 접속부가 또한 진동 구동 소자로의 기계적 접속부로서 사용되는 것이 바람직하기 때문에, 이러한 위치들 상의 압력이 존재할 것이며, 이는 이러한 전기 지지부의 로버스트니스(robustness)를 개선시킨다. 이것은 주로, 세라믹 구동 소자 상의 솔더 가능한 금속화부의 금속 특성에 기인한다. 압축 응력은 통상적으로 고장을 초래하지 않으면서, 신장 응력은 항상 파괴 한도보다 훨씬 아래로 감소되어야 한다. 솔더 위치상에서 압력 없다면, 고정자가 조립될 때 또는 구성요소가 높은 가속도에 노출될 때, 예를 들어, 장치가 플로어에 떨어질 때, 신장 응력에 대한 위험성이 존재할 것이다.

진동 진폭이 낮은 위치에 전기 접속부를 위치시키면 전기 접속부가 진동으로 인한 응력에 덜 민감하다. 전기 접속부가 구동 소자의 측면에 있는 경우에, 기계적 지지부는 부분적으로는 구동 소자 및 기판 간의 솔더 조인트로 이루어지며, 부분적으로는 기판 및 구동 소자 간의 기계적 접촉으로 이루어질 것이다. 기계적 지지부, 및 특히 구동 소자 중심에 대한 피벗 위치는 모터의 로버스트 성능을 성취하는데 중요하다. 피벗 포인트, 즉, 스프링으로의 기계적 접속부가 기판상의 전기 접속을 위한 솔더링 패드 및 캐리어에 의해 규정되고, 구동 소자가 적절한 배치를 성취하는데 사용되는 경우, 성능 및 제조 로버스트니스 둘 모두가 개선된다. 기판 및 구동 소자 상의 솔더 패드는 솔더링 공정 동안 솔더의 표면 장력으로 인해 자기-정렬을 성취하는데 사용될 수 있다.

상술된 바와 같이, 본 발명의 목적 중 하나는 전기기계 모터를 정확하고 저렴하게 조립하도록 하는 것이다. 도8은 본 발명에 따른 조립 방법의 실시예의 주요 단계의 흐름도를 도시한다. 절차는 단계(200)에서 시작한다. 단계(202)에서, 전기기계적 구동 소자가 제공된다. 전기기계 구동 소자는 일반적으로 제1 방향으로 연장되고, 작동될 때, 제1 방향에 실질적으로 수직인 제2 방향으로 스트로크를 제공 하는 벤딩 모션을 제공하도록 더 배열된다. 단계(204)에서, 전기기계 구동 소자의 에어리어가 금속화된다. 금속화된 에어리어는 제1 방향에 실질적으로 평행한 표면에 제공된다. 단계(206)에서, 전기기계 구동 소자는 캐리어에 부착된다. 바람직하게는, 이것은 표면 장착 기술을 사용하여 전기기계 구동 소자의 금속화된 부분을 캐리어로 솔더링함으로써 수행된다. 단계(208)에서, 피벗 포인트에서 캐리어 상으로 힘을 가하는 스프링이 장착된다. 캐리어는 실질적으로 전기기계 구동 소자의 확장부의 방향으로 지향된 축을 중심으로 한 피벗 모션을 위해 피벗 포인트에서 피벗 가능하게 배열된다. 피벗 포인트는 기계적인 조인트 및 바람직하게는, 전기기계 구동 소자의 노달 포인트와 정렬되도록 포지셔닝된다. 절차는 단계(299)에서 종료된다.

참조문헌

US6,437,485B1

WO00/44208

Claims

전기기계 액추에이터로서,

캐리어(150);

일반적으로 제1 방향으로 연장되며, 조인트(38;38A,38B;151)에 의해 상기 캐리어(150)의 제1 측(153)에 기계적으로 부착되는 전기기계 구동 소자(30;30A;30B);

스프링(54); 및

상기 제1 방향에 실질적으로 수직인 제2 방향(42)으로 스트로크를 제공하는 전기기계 구동 소자(30;30A;30B)의 벤딩 모션을 생성하는 전압을 공급하기 위한 제어 수단(90)을 포함하는, 전기기계 액추에이터(10)에 있어서:

상기 스프링(54)은 상기 제1 측(153)에 대향하는 상기 캐리어(150)의 제2 측(154) 상의 피벗 포인트(152)에서 힘을 인가하도록 배열되며;

상기 캐리어(150)는 상기 스프링(54)에 관련되는 피벗 포인트(152)에서 실질적으로 상기 제1 방향(157)으로 지향된 축을 중심으로 피벗 가능하며;

상기 피벗 포인트(152) 및 상기 조인트(38;38A,38B;151)는 상기 제1 방향에 수직인 실질적으로 동일한 플레인(156)에 위치되는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 1 항에 있어서,

상기 피벗 포인트(152) 및 상기 조인트(38;38A,38B;151)는 상기 조인 트(38;38A,38B;151)의 생성된 벤딩 모션에서 전기기계 구동 소자(30;30A;30B)의 노달 포인트(155)로서 상기 제1 방향에 수직인 실질적으로 동일한 플레인(156)에 위치되는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 1 항 또는 2 항에 있어서,

상기 조인트(38;38A,38B;151)는 또한 상기 캐리어(150) 및 상기 전기기계 구동 소자(30;30A;30B) 사이의 전기 접속부를 구성하는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제1 항 내지 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 플레인(156)은 상기 전기기계 구동 소자(30;30A;30B)의 단부로부터 제1 방향(157)에 위치되는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 1 항 내지 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 조인트(38;38A,38B;151)는 솔더링을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 5 항에 있어서,

상기 전기기계 구동 소자(30;30A;30B)는 상기 솔더링이 부착되는 제1 방향에 실질적으로 평행한 표면에서 금속화된 부분(32;62;32A,32B)을 갖는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 6 항에 있어서,

상기 표면은 또한 상기 제2 방향(42)에 평행한 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 7 항에 있어서,

상기 금속화된 부분(32;62;32A,32B)은 상기 전기기계 구동 소자(30;30A;30B)에서 전극(29)으로의 전기 접속부를 제공하는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 6 항에 있어서,

상기 표면은 상기 제2 방향(42)에 수직인 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 5 항 내지 9 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 전기기계 구동 소자(30;30A;30B)는 상기 금속화된 부분(32;62;32A,32B)에 의해 상기 캐리어(150)에 센터링되는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제1 항 내지 10 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 조인트(38;38A,38B;151)는 글루를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 1 항 내지 11 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 캐리어(150)는 적어도 가요성 인쇄 회로 기판(50;50A,50B)을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 12 항에 있어서,

상기 캐리어(150)는 상기 피벗 포인트(152)가 위치되는 피벗 지지부(52)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 1 항 내지 13 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 전기기계 구동 소자(30;30A;30B)는 두 개의 상호접속된 활성 섹션(34, 36) 및 실질적으로 상기 활성 섹션들(34, 36) 사이의 상호접속부에 부착되는 구동 패드(40;40A.40B) 포함함으로써, 상기 각 활성 섹션(34, 36)이 두 개의 조인트(38;38A,38B;151)에 의해 상기 캐리어(150)에 부착되는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 14 항에 있어서,

상기 각 활성 섹션(34, 36)에서의 두 개의 조인트(38;38A,38B;151)는 상기 전기기계 구동 소자(30;30A;30B)의 대향 측 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 14 항에 있어서,

상기 각 활성 섹션(34, 36)에서의 두 개의 조인트(38;38A,38B;151)는 상기 전기기계 구동 소자(30;30A;30B)의 동일한 측 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 1 항 내지 16항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 캐리어(150)는 주요 모션 방향에서 힘을 지지하는 엔드 스톱(66)을 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 1 항 내지 16 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 스프링(54)은 고정자 백본(21)에 대해 지지하여 주요 모션 방향에서 힘을 지지하는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 1 항 내지 18 항 중 어느 한 항에 있어서,

이동될 몸체(1)의 대향 측에 배열되는 두 개의 전기기계 구동 소자(30A,30B)를 포함함으로써, 상기 각 전기기계 구동 소자(30A,30B)는 두 개의 상호접속된 활성 섹션(34, 36) 및 실질적으로 상기 활성 섹션(34, 36) 사이의 상호접속부에 부착 된 구동 패드(40A,40B)를 포함하며, 상기 몸체(1)는 상기 두 개의 구동 패드(40A,40B) 사이에 위치됨으로써, 상기 스프링(54)은 이동될 몸체(1)에 대하여 함께 전기기계 구동 소자(30A,30B)를 가압하는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 19 항에 있어서,

상기 스프링(54)은 각 노달 포인트(155) 부근에서, 상기 캐리어(150)를 통하여 두 개의 피벗 포인트(152)에서 각 전기기계 구동 소자(30A,30B)를 가압하는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 20 항에 있어서,

상기 피벗 포인트(152)는 상기 전기기계 구동 소자(30A,30B)의 대칭면(35)에 위치되는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 14 항 내지 21 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 구동 패드(40;40A,40B)는 상기 전기기계 구동 소자(30;30A,30B)에 형성된 리세스(44)에서 부착되는 원통을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
제 1 항 내지 22 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 캐리어(150)는 적어도 조 인트(38;38A,38B;151) 부근에서, 상기 전기기계 구동 소자(30;30A,30B)의 외부 측으로 돌출하는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터.
전기기계 액추에이터(10)를 제조하는 방법으로서,

일반적으로 제1 방향으로 연장되며, 작동될 때 상기 제1 방향에 실질적으로 수직인 제2 방향(42)으로 스트로크를 제공하는 벤딩 모션을 제공하도록 배열되는 전기기계 구동 소자(30;30A;30B)를 제공하는 단계;

상기 전기기계 구동 소자를 캐리어(150)의 제1 측(153)에 기계적으로 부착하는 단계; 및

스프링(54)을 장착하는 단계를 포함하는, 전기기계 액추에이터 제조 방법에 있어서:

상기 장착 단계는 상기 제1 측(153)에 대향하는 상기 캐리어(150)의 제2 측(154) 상의 피벗 포인트(152)에서 힘을 인가하도록 상기 스프링(54)을 장착하는 단계를 포함하며;

상기 스프링(54)에 관련되는 피벗 포인트(152)에서 실질적으로 상기 제1 방향으로 지향된 축을 중심으로 피벗 가능하게 상기 캐리어(150)를 배열하는 단계; 및

상기 제1 방향에 수직인 실질적으로 동일한 플레인(156)에 상기 피벗 포인트(152) 및 상기 조인트(38;38A,38B;151)를 포지셔닝하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터 제조 방법.
제 24 항에 있어서,

상기 포지셔닝 단계는 생성된 벤딩 모션에서의 상기 전기기계 구동 소자(30;30A,30B)의 노달 포인트(155)로서 상기 제1 방향에 수직인 실질적으로 동일한 플레인(156)에 상기 피벗 포인트(152) 및 조인트(38;38A,38B;151)를 포지셔닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터 제조 방법.
제 24 항 또는 25 항에 있어서,

상기 부착 단계는 상기 캐리어(150)를 상기 전기기계 구동 소자(30;30A,30B) 상의 금속화된 부분(32;62;32A,32B)으로 솔더링하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터 제조 방법.
제 26 항에 있어서,

상기 부착 단계는 상기 금속화된 부분(32;62;32A,32B)에 의하여 상기 전기기계 구동 소자(30;30A,30B)를 상기 캐리어(150)에 대해 센터링하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터 제조 방법.
제 24 항 내지 27 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 부착 단계는 적어도 표면 장착 기술에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 전기기계 액추에이터 제조 방법.