KR20060111931A - 반도체 제조장치의 기판 로딩용 홀더 제조방법 및 이홀더가 장착된 배치식보트 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 본 발명은 원판상의 지지패널(8)을 포함하여 이 지지패널(8)에 반도체 기판(100)의 저부가 안착되는 링형상의 지지링(9)을 일체로 성형하는 홀더 제조방법에 있어서,상기 반도체 기판(100)의 저부가 안착되는 외주와 내주 크기를 갖는 파이프 형상의 홀더기재(10)를 성형하고, 이 홀더기재(10)를 반도체 기판 로딩용 보트에서 반도체 기판의 배치간격에 마추어 링형상으로 절단시켜 홀더링(12)으로 제작된 반도체 제조장치의 기판 로딩용 홀더 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 홀더링(12)은 실리콘 카바이드 분말을 통해 파이프 형상의 홀더기재(10)를 분말성형하고, 절단된 홀더링(12)에 실리콘 카바이드를 코팅하여 제조한 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 기판 로딩용 홀더 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 홀더링(12)은 파이프 형상의 흑연 성형봉(14)에 실리콘 카바이드를 코팅하여 파이프 형상의 홀더기재(10)를 성형하고, 상기 흑연 성형봉(14)을 소거시켜 제거한 다음 절단하여 제조되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 기판 로딩용 홀더 제조방법.
- 반도체 기판(100)을 로딩/언로딩 하기 위한 보트의 지지기둥(4)에 반도체 기 판(100)의 저부를 지지하기 위하여 지지로드(16)가 형성되고, 이 지지로드(16)에 상기 제 1 항에 의해 제조된 홀더링(12)이 장착된 것을 특징으로 하는 배치형 반도체 제조장치의 기판 로딩용 보트.
- 제 4 항에 있어서, 지지로드(16)에는 안착홈(18)이 형성되고, 이 안착홈(18)에 홀더링(12)이 삽입되어 설치된 것을 특징으로 하는 배치형 반도체 제조장치의 기판 로딩용 보트.
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