KR20060046139A - 가요성 프린트기판의 피막형성방법 및 그 시스템 - Google Patents

가요성 프린트기판의 피막형성방법 및 그 시스템 Download PDF

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KR20060046139A
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사쯔마 쓰우싱 코우교우 가부시끼가이샤
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Abstract

롤에 감겨진 가요성 프린트기판의 표면에 연속, 고속 및 고품질로 레지스트막을 형성한다. 권출롤(6)에 감겨진 가요성 프린트기판(7)은 일정한 속도로 권출 유닛(3)에서 송출되고, 장력 유닛(5)에 의하여 일정한 장력을 받는다. 도포 유닛(7)에 의하여 가요성 프린트기판이 레지스트액에 침지되어 도포된다. 가요성 프린트기판에 열풍을 가하여 레지스트액이 예비건조 유닛(11)으로 예비건조된 후, 건조 및 냉각 유닛(13)으로 보내어 열풍으로 본 건조된다. 본 건조후에 냉각 유닛(15)에서 상온으로 냉각된다. 건조되어 피막이 형성된 가요성 프린트기판(7)은 일정한 장력하에서 권취 유닛(17)의 롤(125)에 권취된다.
프린트기판, 권취, 레지스트, 도포, 인쇄기판

Description

가요성 프린트기판의 피막형성방법 및 그 시스템 {Method and system for forming a film on flexible print-substrate}
도 1은 본 발명의 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성 시스템의 실시예를 나타낸 정면도,
도 2는 권출 유닛을 상세하게 나타낸 정면도,
도 3은 이송 유닛의 좌측면도,
도 4는 장력조절 유닛의 우측면도,
도 5는 장력조절 유닛측 도포 유닛 커버의 외관을 나타낸 측면도,
도 6은 커버를 분리한 도포 유닛의 정면도,
도 7은 도 6의 좌측면도,
도 8은 침지 유닛의 정면도,
도 9는 도 8의 평면도,
도 10은 DIP 탱크의 DIP 탱크커버 외관을 나타낸 정면도,
도 11은 DIP 탱크에 공급되는 레지스트액의 순환 시스템 배관을 나타낸 도면,
도 12는 건조 및 냉각 유닛의 정면도,
도 13은 도 12의 좌측면도,
도 14는 권취 유닛의 정면도이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
1 : 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성 시스템
2 : 지지대 3 : 권출(卷出) 유닛
4 : 이송 유닛 5 : 장력조절 유닛
6 : 롤 7 : 가요성 프린트기판
8 : 지지대 9 : 도포 유닛
10 : 침지(浸漬) 유닛 11 : 예비건조 유닛
12 : 지지대 13 : 건조 및 냉각 유닛
14 : 건조 유닛 15 : 냉각 유닛
16 : 지지대 17 : 권취(卷取) 유닛
18 : 장력조절 유닛 19 : 회수 유닛
29 : 액츄에이터 46 : 전후단센서
76 : DIP 탱크
(특허문헌1)
일본국 특허공개공보 특개평 08-323260 호
(특허문헌2)
일본국 특허공개공보 특개평 08-051268 호
(특허문헌3)
일본국 특허공개공보 특개평 11-307908 호
본 발명은 가요성(flexible) 프린트기판의 피막(被膜)형성 방법 및 그 시스템에 관한 것이다. 보다 구체적으로는 롤에 감겨진 띠모양으로 길게 연속하는 가요성 프린트 기판에 레지스트막 등의 피막을 형성하는 방법 및 그 시스템에 관한 것이다.
프린트기판의 제조공정에는, 그 표면에 전자회로용의 배선을 형성할 때 감광레지스트 등의 액체를 도포하여 박막(薄膜)을 형성하는 공정이 있다. 이러한 프린트기판의 제조시에는 비용절감을 위하여 원료에 대한 제품의 비율이나 생산효율을 향상시키는 것이 필요하다. 또한, IC 등의 전자부품 제조시에는 고밀도화가 요청되기 때문에 고품질로 제조하지 않으면 안된다. 이와 같은 필요 및 품질안정을 위하여 박막을 균일한 두께로 하는 것이 요청된다. 본 출원인은 한 장의 프린트기판 소재를 레지스트액에 침지(浸漬)한 후 들어 올린 후 레지스트액을 건조시켜 균일한 피막이 형성되도록 하는 것을 제안하였다 (예를 들면, 특허문헌 1, 2 및 3).
그러나, 대량생산품의 경우 프린트기판도 비용절감을 위해서 연속처리하는 것이 바람직하다. 특히, 롤에 감겨진 띠모양으로 긴 가요성 프린트기판(소재)을 연 속처리하여 사용할 때, 연속처리된 후 이를 재단(裁斷)하는 방법이 효율적으로 비용을 절감할 수 있다. 그러나, 롤에 감겨진 띠모양의 긴 가요성 프린트기판의 표면에 고품질의 레지스트막을 형성하는 것이 어렵다. 특히, 고속 및 연속으로 균일하게 레지스트액을 도포하여 레지스트막을 형성하는 것이 어렵다.
염색분야에서는 롤에 감겨진 띠모양으로 긴 직물을 염료에 침지하여 연속적으로 염색하는 등의 기술은 오래전부터 알려져 있지만, 가요성 프린트기판과 같이 엄밀한 피막처리가 요구되는 분야에서는 알려져 있지 않다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로서 다음과 같은 목적을 달성한다.
본 발명의 목적은 롤에 감겨진 가요성 프린트기판의 표면에 연속적으로 피막(被漠)을 형성할 수 있는 가요성 프린트기판의 피막형성방법 및 그 시스템을 제공하는 것에 있다.
본 발명의 다른 목적은 롤에 감겨진 가요성 프린트기판의 표면에 고속으로 피막을 형성할 수 있는 가요성 프린트기판의 피막형성방법 및 그 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 롤에 감겨진 가요성 프린트기판의 표면에 균일한 두께로 피막을 형성할 수 있는 가요성 프린트기판의 피막형성방법 및 그 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 롤에 감겨진 가요성 프린트기판의 표면에 고품질 의 피막을 형성할 수 있는 가요성 프린트기판의 피막형성방법 및 그 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명은 상기한 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 수단을 가진다.
본 발명 1의 가요성(flexible) 프린트기판의 레지스트막 형성방법은, 롤에 감겨진 가요성 프린트기판의 표면에 피막을 형성하기 위한 가요성 프린트기판의 피막형성방법에 있어서, 상기 롤에 감겨진 가요성 프린트기판을 일정한 장력으로 권출(卷出)하여 송출(送出)하는 송출단계와, 권출된 상기 표면에 상기 피막 성분을 함유하는 피막액에 침지(浸漬)하여 도포하는 도포단계와, 상기 피막액이 도포된 상기 가요성 프린트기판에 열풍(熱風)을 가하여 상기 피막액을 건조하여 상기 피막을 형성하는 건조단계와, 상기 피막이 형성된 상기 가요성 프린트기판을 일정한 장력으로 롤에 권취(卷取)하는 권취단계를 포함한다.
본 발명 2의 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성방법은, 본 발명 1에 있어서 상기 도포단계는, 상기 침지후에 상기 피막액을 예비건조하는 예비건조단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명 3의 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성방법은, 본 발명 1 또는 2에 있어서, 상기 건조단계는, 상기 건조후에 공기에 의하여 상온으로 냉각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명 4의 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성방법은 본 발명 3에 있어서, 상기 피막은, 레지스트막인 것을 특징으로 한다.
본 발명 5의 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성 시스템은, 권출(卷出) 롤(6)에 감겨진 가요성 프린트기판(7)의 표면에 피막을 형성하는 가요성 프린트기판의 피막형성 시스템에 있어서, 상기 권출롤(6)에 감겨진 상기 가요성 프린트기판(7)을 일정한 장력으로 송출하는 권출수단(3)과, 권출된 상기 가요성 프린트기판(7)을 상기 피막 성분을 함유하는 피막액에 침지하여 도포하는 도포수단(9)과, 상기 피막액이 도포된 상기 가요성 프린트기판(7)에 열풍을 가하여 상기 피막액을 건조하는 건조수단(13)과, 상기 건조에 의해 피막이 형성된 상기 가요성 프린트기판(7)을 일정한 장력으로 권취롤(125)에 권취하는 권취수단(17)을 포함한다.
본 발명 6의 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성 시스템은, 본 발명 5에 있어서, 상기 도포수단(9)은, 상기 침지후에 상기 피막액을 예비건조하는 예비건조수단(11)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명 7의 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성 시스템은, 본 발명 5 또는 6에 있어서, 상기 건조수단(13)는, 상기 건조후에 상기 가요성 프린트기판(7)에 공기를 가하여 상온으로 되도록 냉각하는 냉각유닛(15)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명 8의 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성 시스템은, 본 발명 5에 있어서, 상기 권출수단(3)은, 상기 롤에 감겨진 상기 가요성 프린트기판(7)을 권출하여 송출하는 이송유닛(4)과, 상기 이송유닛(4)에서 송출되는 상기 가요성 프린트기판(7)에 일정한 장력을 가하는 제1 장력조절유닛(5)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명 9의 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성 시스템은 본 발명 8에 있어서, 상기 제1 장력조절유닛(5)은, 일정압력의 유체가 공급되는 유체압 실린더(56)의 피스톤로드(55)에 회전가능하게 설치되는 상하 이동롤러(51)와, 상기 상하 이동롤러(51)를 사이에 두고 배치되는 두 개의 고정롤러(50)(52)를 포함하며, 상기 상하이동롤러(51)와 상기 고정롤러(50)(52)간에 상기 가요성 프린트기판(7)이 걸쳐 넘어가고,
상기 이송 유닛(4)은 상기 가요성 프린트기판(7)의 길이방향의 전후단을 검지하는 전후단센서(46)와, 상기 전후단센서(46)의 출력에 의해 상기 가요성 프린트기판(7)을 고정하는 스토퍼(45)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명 10의 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성 시스템은, 본 발명 8에 있어서, 상기 제1 장력조절 유닛(5)에 설치되어 상기 가요성 프린트기판(7)의 폭방향의 측단 위치를 검지하는 측단위치 검지센서(58)와, 상기 측단위치 검지센서(58)의 검출치에 의하여 상기 이송유닛(4)을 구동하여 이동시키는 구동수단(29)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명 11의 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성 시스템은, 본 발명 5에 있어서, 상기 권취수단(19)은 상기 건조수단(13)에서 이송되는 상기 가요성 프린트기판(7)에 일정한 장력을 가하는 제2 장력조절 유닛(18)과, 상기 제2 장력조절 유닛(18)에서 이송되는 상기 가요성 프린트기판(7)을 권취하는 권취 유닛(19)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명 12의 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성 시스템은, 본 발명 8에 있어서, 상기 권취 유닛(19)에 설치되며, 상기 가요성 프린트기판(7)의 길이방향의 전후단 위치를 검지하는 전후단센서(124)와, 상기 전후단센서(124)의 출력에 의하여 상기 가요성 프린트기판(7)을 고정하는 스토퍼(126)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명 13의 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성 시스템은, 본 발명 11에 있어서, 상기 제2 장력조절 유닛(18)은, 일정압력의 유체가 공급되는 유체압 실린더(123)의 피스톤로드에 회전가능하게 설치되는 상하 이동롤러(122)와, 상기 상하 이동롤러(122)를 사이에 두고 배치되는 두 개의 고정롤러(127)을 포함하며, 상기 상하 동롤러(122)와 상기 고정롤러(127) 간에 상기 가요성 프린트기판(7)이 걸쳐 넘어가는 것을 특징으로 한다.
[가요성 프린트기판의 레지스트막 형성시스템의(1) 의 개요]
이하, 본 발명의 실시예를 설명한다. 도 1은 본 발명의 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성 시스템(1)의 실시예를 나타낸 정면도이다. 지지대(2)에는 권출(卷出) 유닛(3)이 탑재된다. 권출 유닛(3)은 롤(6)에 감겨진 띠형상의 길고 얇은 필름모양의 가요성 프린트기판(7)을 일정한 장력 및 속도로 송출(送出)하는 기계 유닛이다. 권출 유닛(3)은 이송 유닛(4) 및 장력조절 유닛(5)로 이루어진다. 권출 유닛(3)은 가요성 프린트기판(7)이 적층되어 감겨진 롤(6)로부터 가요성 프린트기판(7)을 일정 속도로 권출하여 송출하는 기계 유닛이다.
본 실시예에서 사용될 수 있는 가요성 프린트기판(7)은 주지의 에폭시 수지 나 폴리아미드계수지제와 같이 유연성이 있는 필름모양의 인공고분자재료에 한정되지 않고, 종이 등의 천연소재나 이들을 혼합한 복합재료 등과 같이 프린트 기판으로 사용될 수 있고 유연성이 있는 소재라면 어떠한 재질이라도 무방하다. 장력조절 유닛(5)은 롤(6)로부터 권출되는 가요성 프린트기판(7)의 장력을 조절하여 일정하게 유지하는 유닛이다. 권출 유닛(3)의 옆에는 후공정을 담당하는 도포 유닛(9)이 지지대(8)상에 배치되어 탑재된다. 도포 유닛(9)은 장력조절 유닛(5)으로부터 권출되는 가요성 프린트기판(7)을 레지스트액에 침지(浸漬)하여 도포하는 기계 유닛이다. 도포 유닛(9)은 침지 유닛(10) 및 예비건조 유닛(11)으로 이루어진다.
침지 유닛(10)은 장력조절 유닛(5)으로부터 송출되어 오는 가요성 프린트기판(7)을 레지스트액에 연속적으로 침지시켜 도포하는 유닛이다. 침지 유닛(10)에서 레지스트액이 도포된 가요성 프린트기판(7)은 예비건조 유닛(11)으로 이송된다. 예비건조 유닛(11)은 60 ~ 90℃의 열풍을 가하여 가요성 프린트기판(7)의 표면에 도포된 레지스트액을 건조시키는 유닛이다. 이 예비건조 유닛(11)에 의한 건조는 후공정으로 가요성 프린트기판(7)을 이송할 때, 그 표면에 도포된 레지스트액이 이송 롤러의 마찰력에 의하여 박리(剝離)되지 않을 정도의 예비적인 건조이며 경화(硬化)하기 위한 본 건조는 아니다.
예비건조된 가요성 프린트기판(7)은 지지대(12)상의 건조 및 냉각 유닛(13)으로 송출된다. 건조 및 냉각 유닛(13)은 예비건조된 가요성 프린트 기판(7)에 도포된 레지스트액에 열풍을 가하여 그 레지스트액을 본 건조하는 유닛이다. 건조 및 냉각 유닛(13)은 건조 유닛(14) 및 냉각 유닛(15)으로 이루어진다. 건조 유닛(14) 은, 본 실시예에서는 60 ~ 90℃의 열풍을 약 8분간 가하여 예비건조된 가요성 프린트기판(7)에 도포되고 반경화(半硬化)된 레지스트액을 경화시키는 유닛이다.
냉각 유닛(15)은 가요성 프린트기판(7)에 도포 및 건조되어 경화된 레지스트막을 실온까지 냉각하는 유닛이다. 이러한 냉각은 다음 공정에서 가요성 프린트 기판(7)을 권취하여 롤(125)에 적층할 때, 잔존하고 있는 레지스트액의 용제(溶劑)성분에 의하여 가요성 프린트기판(7)이 상호 부착되는 현상을 방지하기 위한 공정이다. 레지스트막이 형성된 냉각 유닛(15)으로부터 송출된 가요성 프린트기판(7)은 지지대(16)상의 권취 유닛(17)으로 보내진다.
권취 유닛(17)은 가요성 프린트기판(7)을 일정한 장력으로 권취하는 기계 유닛이다. 권취 유닛(17)은 장력조절 유닛(18) 및 회수 유닛(19)으로 이루어진다. 장력조절 유닛(18)은 냉각 유닛(15)에서 송출되는 가요성 프린트기판(7)의 장력을 일정하게 조절하는 유닛이다. 회수 유닛(19)은 장력조절 유닛(18)에서 송출되며 표면에 레지스트막이 형성된 가요성 프린트기판(7)을 롤(125)에 적층하여 권취하는 기계 유닛이다.
이들 유닛의 옆에는, 이들 각 유닛을 제어하는 제어장치가 탑재된 제어반(20)이 배치된다. 제어반(20)의 배면측에는 건조 히터박스 유닛(21)이 배치된다. 건조 히터박스 유닛(21)은 상술한 예비건조 유닛(11) 및 건조 유닛(14)으로 건조에 필요한 열풍을 파이프를 통하여 보내는 유닛이다. 이들 유닛 이외에도 침지 유닛(10)에서 사용하는 레지스트액의 농도를 일정하게 하기 위한 농도관리장치(미도시) 및 레지스트액의 온도를 일정하게 하기 위한 냉각기(미도시) 등이 배치된다.
[권출 유닛(3)]
이송 유닛(4)
도 2는 권출 유닛(3)을 자세하게 나타낸 정면도, 도 3은 이송 유닛(4)의 좌측면도, 도 4는 장력조절 유닛(5)의 좌측면도이다. 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 금속제의 판금재로 제조된 송출 유닛(4)의 본체(25)는 지지대(2)상에 이동가능하게 탑재되고, 이 방향은 가요성 프린트기판(7)의 송출방향과 직교하는 방향으로 이동가능하다. 이를 위해 지지대(2)의 상면에는 2개의 레일(26)이 평행하게 배치되어 고정된다. 2개의 레일(26)에는 각각 4개의 리니어 베어링(27)이 이동가능하게 설치되고, 이 리니어 베어링(27)의 상측에는 이송 유닛(4)의 본체(25)가 탑재된다.
권출 유닛(3)의 지지대(2)에는 직선구동하는 액츄에이터(29)가 배치된다. 한편, 이송 유닛(4)의 본체(25) 하면에는 플랜지(28)의 상단이 고정된다. 플랜지(28)의 하단은 액츄에이터(29)의 로드(30) 선단에 슬라이딩 가능하게 연결된다. 액츄에이터(29)는 DC 모터의 회전운동이 볼나사로 전달되고, 이에 나사결합되는 볼너트에 의하여 직선운동으로 변환하는 구조이고, 이들의 구조는 공지의 직선구동수단이다. 액츄에이터(29)의 본체는 슬라이딩 브래킷(31)에 의해 슬라이딩 이동가능하게 지지대(2)에 연결된다. 즉, 액츄에이터(29)를 기동함으로써 이송 유닛(4)의 본체(25)는 두 개의 레일(26) 위에서 이동하게 된다.
본체(25)에 설치되는 베어링(36)에는 구동축(35)의 일단이 지지됨으로써 회전가능하게 지지된다. 구동축(35)의 타단에는 가요성 프린트기판(7)이 감겨진 롤(6)이 맨드릴(mandril : 34)로 처킹(chucking)된다. 맨드릴(34)은 에어척(air chuck) 방식의 에어 샤프트(air shaft)이다. 에어 샤프트는 권취봉의 원주상에 돌기부를 배치한 것으로, 돌기부는 고무튜브에 고압의 공기를 공급함으로써 반경방향으로 원주면상으로부터 돌출되어 롤(6)을 지지하는 구조이다. 구동축(35)의 타단에는 DC서보모터(38)의 출력축이 커플링(37)에 의하여 연결된다.
가요성 프린트기판(7)이 풀려 나오는 방향으로, 본체(25)의 베어링(40)에는 편중 지지되는 보조롤러(39)가 회전가능하게 지지된다. 가요성 프린트기판(7)은 롤러(6)에서 권출된 후에 이 보조롤러(39)에 원호접촉하여 감긴 후에 풀려나온다. 보조롤러(39)의 상부에는 스토퍼(45)가 배치된다. 도 3에 도시된 바와 같이 스토퍼(45)는 보조롤러(39)의 폭방향으로 배치되고 이 스토퍼(45)에는 2개의 안내봉(44)의 하단이 고정된다. 2개의 안내봉(44)은 각각 직선베어링인 가이드(43)에 안내된다. 가이드(43)는 보조롤러(39)를 따라 배치된 스토퍼 본체(41)에 고정된다. 스토퍼 본체(41)의 일단은 본체(25)에 볼트로 고정된다. 스토퍼 본체(41)에는 액츄에이터(42)가 설치된다.
액츄에이터(42)는 솔레노이드로 구동되는 타입이고, 이 구동로드는 스토퍼(45)에 고정된다. 따라서, 액츄에이터(42)의 구동에 의해 2개의 안내봉(44)은 2개의 가이드(43)에 안내되면서 상하이동되기 때문에, 스토퍼(45)는 보조롤러(39)측으로 구동된다. 스토퍼(45)는 보조롤러(39)와의 사이에서 가요성 프린트기판(7)의 전후단을 고정하기 위한 것이다. 가요성 프린트기판(7)의 선두와 후단은 본 실시예에서는 폴리에스테르제의 유연성이 있는 투명한 필름을 이용한다. 가요성 프린트기판(7)의 종단(終端)이 폴리에스테르 필름부분으로 될 때 이 부분을 가압하여 고정한 다. 이와 같이 고정될 때 다음의 새로운 가요성 프린트기판(7)의 선단과 연결작업이 행해진다. 롤(6)과 보조롤러(39)의 사이에는 전후단 센서(46)가 배치된다.
전후단 센서(46)는 가요성 프린트기판(7)의 종단 또는 취출부의 투명부분인 폴리에스테르필름부분을 검지하는 것이다. 전후단 센서(46)가 가요성 프린트기판(7)의 종단을 검지하면, 액츄에이터(42)가 작동하여 스토퍼(45)가 가요성 프린트기판(7)의 종단을 보조롤러(39)측으로 가압하여 고정한다. 그리고, 이 상태에서 새로운 롤(6)로 교환하고 새로운 롤(6)의 선단과 가요성 프린트기판(7)의 후단을 접착테이프로 접속한다. 그 후에 스토퍼(45)를 해제하는 조작을 하여 운전을 계속한다.
장력조절 유닛(5)
도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 장력조절 유닛(5)은 가요성 프린트기판(7)에 항상 일정한 장력을 가하는 것이다. 본 실시예의 침지에 의한 도포방법의 경우에 중요한 것으로, 가요성 프린트기판(7)에 항상 일정한 장력을 가하는 것이 필요하다. 장력이 변하면 도포부에서 끌어 올리는 속도가 변하여 레지스트막의 두께에 영향을 미친다. 장력조절 유닛(5)의 본체(49) 하부에는 상호 중심선이 평행하게 배치된 제1 고정롤러(50) 및 제2 고정롤러(52)가 회전가능하게 지지된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 이송 유닛(4)에 의하여 송출된 가요성 프린트기판(7)은 제1 고정롤러(50)에 감겨진 후 이동롤러(상하 이동롤러)(51)에 감겨지고, 이후 제2 고정롤러(52)에 감겨진다. 또한, 제2 고정롤러(52)에 감겨진 가요성 프린트기판(7)은 본체(49)에 회전가능하게 지지된 제3 고정롤러(53)에 감겨진 후, 다음 공정을 위해 도포 유닛(9)의 침지 유닛(10)으로 보내진다. 이동롤러(51)는 롤러지지 프레임(54)에 회전가능하게 베어링으로 지지된다.
이 롤러 지지 프레임(54)의 일단은 본체(49)에 상하방향으로 이동될 수 있도록 가이드부재(57)로 지지된다. 롤러 지지 프레임(54)의 중간부는 에어실린더(56)의 로드(55) 하단에 연결된다. 에어실린더(56)는 본체(49)의 상단에 고정된다. 롤러 지지 프레임(54)의 상하 이동위치는 상한 센서(59) 등에서 검지된다. 에어실린더(56)는 정밀 공기압조절기(미도시)를 조합하여 장력을 조정한다. 즉, 정밀 공기압 조절기는 에어실린더(56)에 공급하는 압력을 일정하게 하는 압력조절기구이다. 본 실시예에서는 장력의 기준으로 가요성 프린트기판(7)의 폭 1㎝에 대하여 1N(100gf)으로 한 경우는 300mm 폭은 29N(3Kgf)으로, 500mm 폭은 49N(5Kgf)으로 한다.
에어실린더(56)로 구동되는 이동롤러(51)의 상하위치는 4개의 센서로 검지된다. 최상부에서 부터 상한 센서(59), 제어 상위치 센서(62), 제어 하위치 센서(63), 및 최하부에 배치된 하한위치 센서(64)로 이루어진다. 상한 센서(59)는 이동롤러(51)의 상단위치의 한도를 검지하는 센서이고, 하한위치 센서(64)는 하단위치를 검지하는 센서이다. 제어 상위치 센서(62)와 제어하위치센서(63)는 이 사이에서 이동롤러(51)의 위치를 제어하는 구간을 결정하는 센서이다.
가요성 프린트기판(7)의 장력을 제어하기 위해, 에어실린더(56)는 통상적인 운전시 이동롤러(51)의 위치를 제어 상위치 센서(62)와 제어 하위치 센서(63)로 검 지하여 이 사이의 위치범위내에서 이동롤러(51)가 위치하도록 제어한다. 정확하게는 제어 상위치 센서(62)와 제어 하위치 센서(63)로 검지하여 상술한 DC 서보모터(38)의 속도를 저속과 고속으로 변환하는 제어를 한다. 또한, 장력조절 유닛(5)의 다른 기능로서 버퍼(buffer)로서의 동작을 한다. 롤(6)의 교환을 위해 스토퍼(45)로 가요성 프린트기판(7)을 고정하면, 이동롤러(51)는 상위치에서 하위치로 이동한다. 이동시키는 시간동안, 운전을 정지하지 않고 상술한 롤(6)을 교환하는 작업을 하는 것이 가능하며, 그 시간은 본 실시예에서는 설계상 약 1분간으로 이 시간에 롤(6)을 교환할 수 있다.
가요성 프린트기판(7)은 통상은 300mm 폭과 500mm폭으로 50m 감긴 것이 사용된다. 이 두께는 95㎛ 에서 50㎛가 사용된다. 이 때문에 쉽게 절곡(切曲)되거나주름이 발생하기 쉽ㄴ다. 특히 본 시스템과 같이 롤러가 많이 사용되는 경우 비뚤어져 이송될 때 주름이 발생하는 경향이 많다. 이와 같이 비뚤어져 이송되는 것이 가능한한 적은 것이 바람직하다. 이러한 비뚤어져 이송되는 것을 검지하기 위해 제3 고정롤러(53)의 출구에는 가요성 프린트기판(7)의 측단을 검지하는 측단 위치센서(58)가 배치된다.
이 측단 위치센서(58)로 검지되는 가요성 프린트기판(7)의 위치가 기설정된 위치에서 벗어날 때 이송 유닛(4)의 액츄에이터(29)가 구동되어 이송 유닛(4)의 본체(25)는 두 개의 레일(26)위에서 이동한다. 이 결과, 소정 시간후 가요성 프린트기판(7)이 도포 유닛(9)으로 송출되기전에 폭방향의 위치가 보정된다. 이러한 보정에 의하여, 가요성 프린트기판(7)의 비뚤어짐에 의한 주름 등이 발생하는 것을 방 지할 수 있다.
도포 유닛(9)
도포 유닛(9)은 가요성 프린트기판(7)에 레지스트액을 도포하는 유닛이다. 도 5는 도포 유닛(9)의 커버(60) 외관이고, 장력조절 유닛(5)에서 이송되어 오는 가요성 프린트기판(7)을 수취하는 측의 외관이다. 커버(60)에는 가요성 프린트기판(7)이 통과하는 슬릿이 형성된다. 슬릿에는 가요성 프린트기판(7)의 표리면(表裏面)에 그 선단이 접하도록 서전(徐電) 브러시(61)가 배치된다. 서전 브러시(61)는 가요성 프린트기판(7)의 표리면에 그 선단이 접하는 선재인 도전재(導電材)로 이루어진다.
서전 브러시(61)는 가요성 프린트기판(7)의 정전기를 제거하는 것이다. 레지스트액에 함유된 용제가 정전기에 의한 불꽃에 의하여 인화 및 연소되어 화재나 폭발 등이 발생되는 것을 방지하는 것이다. 이러한 안전대책으로서 용제농도를 감시하는 가스검출기를 사용한다(미도시). 이를 위해 가스농도가 위험농도 레벨에 도달하면 경보를 발생한다. 또한, 정전기방지 및 부식대책을 위해 레지스트액의 배관계는 모두 스테인리스제의 관 또는 스테인리스제의 가요성 호스를 사용한다.
침지 유닛(10)
도 6은 커버(60)를 분리한 도포 유닛(9)의 정면도이고, 도 7은 도 6의 좌측면도이다. 도 8은 침지 유닛(10)의 정면도이고, 도 9는 도 8의 평면도이다. 지지대 (8)에는 암 지지 컬럼(65)의 하단이 고정되어 배치된다(도 6 및 도 8 참조). 암 지지 컬럼(65)의 전면(66)에는 2개의 레일(67)이 배치고정된다. 레일(67) 위에 4개의 볼방식의 리니어베어링(68)이 이동가능하게 설치된다. 네 개의 리니어베어링(68)에는 상하이동대(69)의 이면이 고정배치된다.
상하이동대(69)에는 두 개의 연결판(70)을 통하여 선단이 2단으로 열린 암(71)이 고정배치된다. 암(71)의 선단에는 DIP용 롤라(72)가 회전가능하게 지지된다. 한편, 상하이동대(69)의 이면에는 플랜지(73)의 일단이 고정되고 플랜지(73)의 타단에는 에어실린더(75)의 피스톤로드(74) 선단이 연결된다. 에어실린더(75)는 암 지지 컬럼(65)의 이면에 고정배치된다. 결국, 에어실린더(75)를 구동하면 암(71)이 상하로 이동하고 그 선단의 DIP용 롤러(72)가 상하로 이동하게 된다.
가요성 프린트기판(7)을 도포할 때는, 이 암(71)이 DIP 탱크(76)내에서 하강하여 DIP용 롤러(72)를 액내에 담근상태에서 가요성 프린트기판(7)을 액에서 감아올림으로써 도포가 행해진다. DIP용 롤러(72)의 하방의 지지대(8) 위에는 상자모양으로 상측이 개구된 DIP 탱크(76)가 재치된다. DIP 탱크(76)의 바닥판과 간극을 두고 분출상(噴出箱)(77)이 배치되고 분출상(77)은 장방체 모양으로 내부가 비어 있는 상자이다.
이러한 상자의 상면에는 복수의 관통공인 레지스트액 분출공(직경 1 ~ 5mm)(78)이 형성된다. 레지스트액 분출공(78)에 의하여 펌프(80)에서 보내져 온 액이 확산되기 때문에, 액면전체를 끌어올리듯이 흐르게 함으로써, 레지스트액 분출공(78)은 액면이 출렁이지 않고 균일한 도포를 하는 데에 중요하고 유효한 수단이 다. 이 레지스트액 분출공(78)에서는 펌프(80)에서 가압된 레지스트액이 상시순환하고 이 레지스트액이 분출된다. 다만, 액면이 출렁이지 않도록 펌프(80)의 회전수를 낮춰 펌프작용을 한다.
즉, 가요성 프린트기판(7)의 이동방향으로 레지스트액 분출공(78)에서 레지스트액이 공급되어, 그 직각방향으로 장변인 세변의 가장자리(79)에서 넘치는 구조이다. 액면이 출렁이지 않도록 않도록 펌프의 회전수를 낮춘다. 세변의 가장자리(79)에서 넘치는 구조인 오버플로우(overflow)의 목적은 DIP 탱크(76)내에 혼입된 이물질을 신속하게 DIP 탱크 밖으로 배출하기 위한 것이다. 따라서, 다시 한번 중요한 목적은 액면을 일정하게 유지하는 것이다. 이와 같이 오버플로우된 액은 오버플로우 탱크(86)에 모여서 펌프(80)에 의하여 후술하는 열교환기를 경유하여 필터로 보내져 이물질이 제거된다. 이물질이 제거된 후 액은 후술하는 수단에 의해 다시 탱크측으로 회수된다.
도 10은 DIP 탱크(76)의 DIP 탱크 커버(76a) 외관을 나타낸 도면이다. DIP 탱크(76)내의 레지스트액에는 용매 등과 같은 기화하기 쉬운 것이 포함되어 있기 때문에 사용하지 않을 때에는 뚜껑을 닫아 놓을 필요가 있다. DIP 탱크 커버(76a)의 위에는 수동으로 슬라이딩되는 이동뚜껑(81)이 닫혀진다. 이동뚜껑(81)은 DIP 탱크 커버(76a) 상에 고정된 레일위를 베어링에 의하여 이동가능하게 설치된다. 이동뚜껑(81)의 위에 개폐할 수 있는 손잡이(82)가 구비된다.
근접센서(83)로 검지하여 이동뚜껑(81)이 개방된 것을 확인한다. 이동뚜껑(81)이 닫혀져 있는 경우에는 DIP 롤러(72)가 하강하여 이동뚜껑(81)에 출동하지 않도록 인터로크(interlock)를 구비한다.
레지스트액의 순환 시스템(85)
도 11은 DIP 탱크(76)로 공급되는 레지스트액의 순환 시스템(85) 배관을 나타낸다. 레지스트액은 분출상(77)의 레지스트액 분출공(78)에서 분출된다. DIP 탱크(76)의 두변의 가장자리(79)에서 넘치는 레지스트액은 오버플로우 탱크(86)로 모아지고, 순환 펌프(이하 펌프라 함)(80)으로 보내진다. 또한, 오버플로우 탱크(86)의 액면은 액면센서(88)로 상시 검지된다. 펌프(80)에 의해 순환되는 레지스트액은 DIP 탱크(76)에서 열교환기(87)로 보내진다. 열교환기(87)로 보내진 레지스트액은 열교환기(87)로 보내지는 냉각수(89)와 동일한 온도가 되도록 열교환되어 냉각된다.
소정 온도로 냉각된 레지스트액은 필터(90)로 보내진다. 필터(90)는 레지스트액중의 미세한 이물질을 제거한다. 필터(90)를 통과한 레지스트액은 분출상(77)의 레지스트액 분출공(78)에서 분출된다. 필터(90)를 통과한 일부의 레지스트액은 비중측정용 전자비중계(92)에서 그 비중이 측정된다. 또한, 레지스트액은 온도 센서(91)에서 상시 그 온도가 측정된다. 온도 센서(91)의 측정온도로 시퀀서(sequencer)인 제어장치(미도시)에 의하여 그 내동기(미도시)가 제어되어, 플레이트식의 열교환기(87)로 보내진 냉각수(89)의 온도가 소정의 온도로 된다.
또한, 전자비중계(92)의 측정치에 의해 희석액 공급구(94)로부터 희석액이 공급되거나 비중이 낮으면 레지스트액 공급구(93)로부터 레지스트액이 공급된다. 레지스트액의 온도 제어는 펌프(80)의 발열과 그 외 다른 요인으로 상승하는 것을 방지하기 위한 것이며, 이 레지스트액의 온도가 변화하면 액점도가 변화여 도포하는 막 두께에 영향을 미치기 때문이다.
레지스트액은 원액잉크와 용제를 혼합하여 사용하지만, 원액 잉크와 용제는 그 비중값에 차이가 있으며, 전자비중계(92)는 이를 이용하여 액점도를 비중으로 관리한다. 구체적으로는 별도 설치된 농도관리장치에 레지스트액 탱크와 용제 탱크를 마련한다. 그리고, 이들에 에어 펌프가 각각 준비되어 각각의 액이 보내지는 구조로 된다. 따라서, DIP 탱크(76)의 레지스트액의 비중치를 상술한 방법으로 측정하여 본체를 제어하는 시퀀서가 에어 펌프를 구동하여 잉크 또는 용제를 공급함으로써 농도를 일정하게 제어한다.
예비건조 유닛(11)
도 6에 도시된 바와 같이, 예비건조 유닛(11)은 가요성 프린트기판(7)의 표면에 도포된 레지스트액을 바로 건조한다. 가요성 프린트기판(7)에 도포된 레지스트액은 다음 공정으로 보내기 위한 롤러(103)에 감겨지기 전에 건조하는 것이 필요하다. 침지처리된 후 건조되지 않은 상태로 이 롤러(103)의 마찰 등에 의하여 감겨지면, 레지스트액이 박리되기 때문이다. 이러한 이유로 도포후의 가요성 프린트기판(7)을 신속하게 짧은 시간(약 1분) 동안 예비 건조시킬 필요가 있기 때문에 이러한 예비건조 유닛(11)은 이를 위한 것이다.
예비건조 유닛(11)은 상자모양인 두개의 히터박스(100)를 구비한다. 이 히터 박스(100)는 상호 대향되게 간격을 두고 배치된다. 이 간격으로 침지처리된 가요성 프린트기판(7)이 통과된다. 히터박스(100)에는 별도로 설치된 히터박스(미도시)로 부터 60 ~ 90℃의 열풍이 유입된다. 대향하는 히터박스(100)의 대향면에는 상방향으로 경사를 가진 폭이 3mm 정도인 슬릿모양의 열풍취출판(熱風吹出板)(101)이 형성된다.
이 열풍취출판(101)에서 열풍이 공급됨으로써 효율적으로 건조할 수 있다. 또한, 열풍을 상측으로 경사지게 공급함으로써 탱크측으로 열풍이 도달하지 못하게 한다. 공급된 열풍을 회수하기 위해 상하로 흡기구(102)를 배치하고 별도로 설치된 히터박스내의 송풍기에 의해 열풍이 흡기된다. 레지스트액이 도포된 후 예비건조된 가요성 프린트기판(7)은 예비건조 유닛(11)의 상부에 배치된 롤러(103)에 의하여 90°로 방향이 변화되어 건조 및 냉각 유닛(13)의 건조 유닛(14)으로 보내진다.
[건조 및 냉각 유닛(13)]
건조 유닛(14)
도 12는 건조 및 냉각 유닛(13)의 정면도이고, 도 13은 좌측면도이다. 건조 및 냉각 유닛(13)은 건조 유닛(14) 및 냉각 유닛(15)으로 이루어진다. 건조 유닛(14)의 본체(104) 하부위치에는 3개의 하부롤러(105)가 상호 중심축선이 평행하며 회전가능하게 배치된다. 동일하게 본체(104)의 상부위치에는 이 하부롤러(105)와 평행하게 3개의 상부 롤러(106)가 상호 중심축선이 평행하게 회전가능하게 배치된다. 예비건조 유닛(11)측 롤러(103)의 축에는 DC 서보모터(107)가 연결부(108)에 의하여 연결된다.
따라서, 이 구동롤러(103)는 구동하는 롤러이고, 가요성 프린트기판(7)을 일정속도로 이송한다. 이러한 회전속도는 본체의 제어부에 의해 반송속도로 바뀌어 정확하게 제어된다. 즉, 이 DC 서보모터(107)에 의해 DIP 탱트(76)에서 끌어 올리는 속도가 결정된다. 따라서, 가요성 프린트기판(7)에 형성된 레지스트액의 막 두께는 이 속도와 레지스트액의 점도로 결정된다.
예비건조된 가요성 프린트기판(7)은 상부롤러(106)에서 하부롤러(105)로 상호 걸쳐 넘어가는 것이 반복된다. 이와 같이 함으로써 건조 유닛(14)내에서 가요성 프린트기판(7)의 노출면적을 증가시킨다. 노출면적을 증가시켜서 레지스트액의 건조를 효율적으로 수행하기 위한 것이다. 가요성 프린트기판(7)의 사이에는 6개의 열풍박스(110)가 삽입되어 배치된다. 열풍박스(110)는 내부가 공동인 평평한 상자모양이다. 열풍박스(110)의 내부는 상하 방향으로 3실(室)로 분리되어 구획된다.
이 3실의 중앙이 열풍취출구(111)이고, 이 상하의 실이 흡기부(112)로서 배치된다. 열풍취출구(111)의 가요성 프린트기판(7)측에는 열풍을 취출하기 위한 복수의 열풍취출구(111)가 개구된다. 각 열풍취출구(111)는 배면에서 열풍챔버(113)에서 동일관으로 합쳐져 연결되기 때문에, 열풍은 건조 히터박스 유닛(미도시)으로부터 송풍챔버(113)에서 분기되어 열풍취출구(111)로 공급된다.
상하 흡기부(112)의 가요성 프린트기판(7)측에는 건조후의 열풍을 빨아 들이기 위한 복수의 열풍흡입구(114)가 개구된다. 각 열풍흡입구(114)는 배면에서 흡기챔버(115)에서 동일관으로 합쳐지기 때문에 흡입된 열풍은 흡기챔버(115)에서 흡입 되어서 건조히터박스 유닛으로 보내진 후, 새로운 공기로 열풍을 만들어 공급한다. 본 실시예에서는 60 ~ 90℃의 열풍을 공급하는 합계시간으로 약 8분정도 가해서 건조한다.
냉각 유닛(15)
냉각 유닛(15)은 열풍 유닛(14)에서 건조된 가요성 프린트기판(7)을 실온까지 냉각하는 것이다. 가요성 프린트기판(7)을 온도가 높은 상태로 권취하면, 도포한 레지스트막에 잔존하는 용제성분에 의하여 상호 부착되는 문제가 있기 때문에, 냉각 유닛(15)은 이를 방지하기 위한 것이다. 냉각 유닛(15)의 본체(120) 최상부에는 반도체의 클린룸 등에서 사용되는 HEPA(high efficiency particulate air filter) 필터(121)가 배치된다.
냉풍은 클린룸내의 공기를 HEPA 필터(121)를 통과하여 건조 히터박스 유닛내의 송풍기에서 흡인함으로써 행해진다. 그리고, 이 흡인된 공기를 건조 히터박스 유닛내의 전열 휀히터로 가열하여 상술한 예비건조 및 본건조의 열풍으로 이용하여 전체의 열효율을 향상시킨다.
[권취 유닛(17)]
도 14는 권취 유닛(17)의 정면도이다. 상술한 바와 같이 권취 유닛(17)은 가요성 프린트기판(7)을 일정한 장력으로 권취하기 위한 유닛이다. 권취 유닛(17)은 장력조절 유닛(18) 및 회수 유닛(19)로 구성된다. 장력조절 유닛(18)은 상술한 권 출 유닛(3)의 장력조절 유닛(5)과 실질적으로 동일한 구조이기 때문에 그 상세한 구조에 대해서는 설명을 생략한다.
냉각 유닛(15)에서 냉각된 가요성 프린트기판(7)은 회수 유닛(19)에서 권취된다. 권취 유닛(17)은 권취 직전에 권취장력을 주는 기능과 레지스트막이 형성된 가요성 프린트기판(7)이 감겨진 롤(125)을 취출하여 새로운 롤을 장착할 때 운전을 정지하지 않고 교환할 수 있는 기능도 가진다.
에어실린더(123)에 의하여 구동되는 이동로러(상하 이동롤러)(122)의 상하위치는 네개의 센서에서 검지된다. 최상부부터 상한센서(131), 제어 상위치 센서(132), 제어 하위치 센서(133) 및 최하부에 배치되는 하한 위치센서(134)로 이루어진다. 상한센서(131)는 이동롤러(122)의 상단위치 한도를 검지하는 센서이며, 하한 위치센서(134)는 하단위치를 검지하는 센서이다. 제어 상위치 센서(132)와 제어 하위치 센서(133)는 이 사이에서 이동롤러(122)의 위치를 제어하기 위한 구간을 결정하는 센서이다.
권출 유닛(3)과 다른 점은 통상 운전시 이동롤러(122)의 위치가 제어 상위치 센서(132)와 제어 하위치 센서(133)의 범위에서 유지되게 권취모터(미도시)를 제어한다는 점이다. 또한, 후술할 롤(125) 교환시에 이동롤러(122)가 상위치로 이동하여 상한에 도달할때 까지 교환을 완료하면 본 시스템의 운전을 정지하지 않아도 된다. 이동롤러의 양측에는 두개의 고정롤러(127)가 설치되고 이동롤러(122)와 고정롤러(127) 간에 가요성 프린트기판(7)이 걸쳐 넘어간다.
동일하게 회수 유닛(19)은 이송 유닛(4)과 실질적으로 동일한 구조와 기능을 가지며, 그 상세한 설명은 생략한다. 회수 유닛(19)에도 동일하게 가요성 프린트기판(7)의 선단 접속부를 검지하기 위해 전후단 검지센서(124)를 구비한다. 이 전후단 검지센서(124)가 선단을 검지하면 부저 등으로 운전자에게 알린다.
운전자가 확인하여 조작 스위치를 누르면, 롤(125)의 상방에 배치된 역전방지 클러치의 롤러(126)(이하, 역전방지롤러라 한다)가 하강한다. 권취된 롤(125)이 에어실린더(123)에 연결된 이동롤러(122)에 의하여 인장력을 받으며, 역전방지롤러(126)는 가요성 프린트기판(7)을 고정한다. 이러한 상태에서 권취모터(미도시)를 정지시킨다. 그리고, 권취된 롤(125)을 빈 권취봉으로 교환하여 다시 권취동작을 개시힌다. 이후에 역전방지롤러(126)를 원위치로 복귀시켜 통상운전을 행한다.
(작동 실시예)
이상 상술한 실시예의 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성시스템(1)의 개략적인 작동을 설명한다. 권출 유닛(3)의 이송 유닛(4)은 롤(6)에 감겨진 가요성 프린트기판(7)을 일정한 속도로 송출한다. 장력조절 유닛(5)은 일정한 장력을 받도록 이동롤러(51)의 위치를 제어 상위치 센서(62) 등에서 검지하여 그 위치를 상하이동시켜 장력이 일정하게 되도록 제어한다. 또한, 장력조절 유닛(5)은 롤(6)을 교환할 때 운전을 정지하지 않도록 하는 기능도 한다.
즉, 전후단센서(46)는 가요성 프린트기판(7)의 종단 또는 취출부의 투명부분에 있는 폴리에스테르필름부분을 검지한다. 전후단센서(46)가 가요성 프린트기판의 종단을 검지하면 액츄에이터(42)가 작동하여 스토퍼(45)가 가요성 프린트기판(7)의 종단을 보조롤러(39)로 가압하여 고정한다(도 2 참조). 이 상태에서 새로운 롤(6)로 교환하여 새로운 롤(6)의 선단과 가요성 프린트기판(7)의 후단을 접착 테이프로 접속한다. 그 후에 스토퍼(45)를 해제하는 조작을 하여 운전을 계속한다.
즉, 롤(6)의 교환을 위하여 스토퍼(45)로 가요성 프린트기판(7)을 고정하면 가요성 프린트기판(7)의 장력이 커지기 때문에, 이동롤러(51)는 상한위치에서 하한위치로 이동한다. 이 이동롤러(51)를 하방향으로 이동시키는 시간에 시스템 전체의 운전이 정지되지 않은 상태에서 롤(6)이 교환된다.
장력조절 유닛(5)의 출구에 배치된 측단 위치센서(58)에서 가요성 프린트기판(7)의 폭방향의 측단을 검지하고 이 위치가 기설정된 위치에서 벗어날 때, 이송 유닛(4)의 액츄에이터(29)가 구동되어 이송 유닛(4)의 본체(25)는 두개의 레일(26) 위에서 이동한다(도 3 참조). 이 결과, 소정시간후에 가요성 프린트기판(7)이 도포 유닛(9)으로 이송되기 전에 폭방향의 위치가 보정된다. 이러한 보정에 의하여 가요성 프린트기판(7)이 비뚤어져 이송되어 주름 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
장력조절 유닛(5)에서 나온 가요성 프린트기판(7)은 도포 유닛(9)으로 이송된다. 침지 유닛(10)은 DIP용 롤러(72)를 에어실린더(75)의 구동에 의해 하방으로 이동시켜 장력조절 유닛(5)에서 이송되어 오는 가요성 프린트기판(7)을 레지스트액에 침지하여 도포한다. 레지스트액이 도포된 가요성 프린트기판(7)은 예비건조 유닛(11)으로 보내진다. 예비건조 유닛(11)은 60 ~ 90℃의 열풍을 가요성 프린트기판(7)의 표면에 도포된 레지스트액에 가하여 예비건조 시킨다. 예비건조된 가요성 프린트 기판(7)은 지지대(12)상의 건조 및 냉각 유닛(13)으로 보내진다. 건조 및 냉 각 유닛(13)의 건조 유닛(14)은 예비건조된 가요성 프린트기판(7)에 도포된 반경화된 레지스트액을 본실시예에서는 60 ~ 90℃의 열풍을 약 8분 정도 가하여 경화시킨다.
건조 및 냉각 유닛(13)의 냉각 유닛(15)은 가요성 프린트기판(7)에 도포 및 건조되어 경화된 레지스트막을 실온까지 냉각한다. 냉각 유닛(15)에서 나온 레지스트막이 형성된 가요성 프린트기판(7)은 지지대(16)상의 권취 유닛(17)의 장력조절 유닛(18)으로 보내진다. 장력조절 유닛(18)은 가요성 프린트기판(7)을 일정한 장력으로 제어한다. 일정한 장력이 걸리는 가요성 프린트기판(7)은 장력조절 유닛(18)에서 회수 유닛(19)으로 이송되어 롤(125)에 권취된다.
장력조절 유닛(18)의 이동롤러(122)의 위치는 그 하한위치보다 3 ~ 8cm 위의 범위에서 유지되도록 권취모터(미도시)를 제어한다. 롤(125)의 교환시기에 상하 이동롤러(122)가 상위치로 이동하여 상한에 도달할 때 까지 교환을 완료하면 본 시스템의 운전을 정지하는 일은 없다.
본 발명에 의한 가요성 프린트 기판의 피막형성 방법과 그 시스템에 의하면, 롤에 감겨진 가요성 프린트기판의 표면에 연속, 고속 및 고품질로 피막처리를 할 수 있다.

Claims (13)

  1. 롤에 감겨진 가요성 프린트기판의 표면에 피막(被膜)을 형성하는 가요성 프린트기판의 피막형성방법에 있어서,
    상기 롤에 감겨진 가요성 프린트기판을 일정한 장력으로 권출(卷出)하여 송출(送出)하는 이송단계;
    상기 피막 성분을 함유하는 피막액에 침지(浸漬)하여 권출된 상기 가요성 프린트기판의 표면을 도포하는 도포단계;
    상기 피막액이 도포된 가요성 프린트기판에 열풍(熱風)을 가하여 상기 피막액을 건조하여 상기 피막을 형성하는 건조단계;
    상기 피막이 형성된 가요성 프린트기판을 일정한 장력으로 롤에 권취(卷取)하는 권취단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 도포단계는,
    상기 침지후에 상기 피막액을 예비건조하는 예비건조단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 건조단계는,
    상기 건조후에 공기에 의해 상온으로 냉각하는 단계;를 포함하는 것을 특징 으로 하는 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 피막은,
    레지스트막인 것을 특징으로 하는 가요성 프린트기판의 레지스트막 형성방법.
  5. 권출롤(6)에 감겨진 가요성 프린트기판(7)의 표면에 피막을 형성하는 가요성 프린트기판의 피막형성 시스템에 있어서,
    상기 권출롤(6)에 감겨진 상기 가요성 프린트기판(7)을 일정한 장력으로 송출하는 권출수단(3);
    권출된 상기 가요성 프린트기판(7)을 상기 피막성분을 함유하는 피막액에 침지하여 도포하는 도포수단;
    상기 피막액이 도포된 상기 가요성 프린트기판(7)에 열풍을 가하여 상기 피막액을 건조하는 건조수단(13); 및
    상기 건조에 의하여 피막이 형성된 상기 가요성 프린트기판(7)을 일정한 장력으로 권취롤(125)에 권취하는 권취수단(17);을 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 프린트기판의 피막형성 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 도포수단(9)은,
    상기 침지후에 상기 피막액을 예비건조하는 예비건조수단(11)을 포함하는 것 을 특징으로 하는 가요성 프린트기판의 피막형성 시스템.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 건조수단(13)은,
    상기 건조후에 상기 가요성 프린트기판(7)에 공기를 가하여 상온으로 되도록 냉각하는 냉각유닛(15)을 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 프린트기판의 피막형성 시스템.
  8. 제5항에 있어서, 상기 권출수단(3)은,
    상기 롤에 감겨진 상기 가요성 프린트기판(7)을 권출하여 송출하는 이송 유닛(4); 및
    상기 이송 유닛(4)에서 송출된 상기 가요성 프린트기판(7)에 일정한 장력을 가하는 제1 장력조절 유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 프린트기판의 피막형성 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 장력조절 유닛(5)은,
    일정압력의 유체가 공급되는 유체압 실린더(56)의 피스톤로드(55)에 회전가능하게 설치되는 상하 이동롤러(51); 및 상기 상하 이동롤러(51)를 사이에 두고 배치되는 2개의 고정롤러(50)(52)를 포함하며, 상기 상하 이동롤러(51)와 고정롤러(50)(52) 간에 상기 가요성 프린트기판(7)이 걸쳐 넘어가며,
    상기 이송 유닛(7)은,
    상기 가요성 프린트기판(7)의 길이방향의 전후단을 검지하는 전후단 센서(46); 및 상기 전후단 센서(46)의 출력에 의하여 상기 가요성 프린트기판(7)을 고정하는 스토퍼(45);를 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 프린트기판의 피막형성 시스템.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 제1 장력조절 유닛(5)에 설치되며, 상기 가요성 프린트기판(7)의 폭방향의 측단 위치를 검지하는 측단위치 검지센서(58); 및
    상기 측단위치 검지센서(58)의 검출치에 의하여 상기 이송 유닛(4)을 구동하여 이동시키는 구동수단(29)을 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 프린트기판의 피막형성 시스템.
  11. 제5항에 있어서, 상기 권취수단(19)은,
    상기 건조수단(13)에서 이송되는 상기 가요성 프린트기판(7)에 일정한 장력을 가하는 제2 장력조절 유닛(18); 및
    상기 제2 장력조절 유닛(18)에서 이송되는 상기 가요성 프린트기판(7)을 권취하는 권취 유닛(19);을 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 프린트기판의 피막형성 시스템.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 권취 유닛(19)에 설치되며, 상기 가요성 프린트기판(7)의 길이방향 전후단의 위치를 검지하는 전후단 검지센서(124); 및
    상기 전후단 검지센서(124)의 출력에 의하여 상기 가요성 프린트기판(7)을 고정하는 스토퍼(126);를 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 프린트기판의 피막형성 시스템.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 제2 장력조절 유닛(18)은, 일정압력의 유체가 공급되는 유체압 실린더(123)의 피스톤 로드에 회전가능하게 설치된 상하 이동롤러(122); 및 상기 상하 이동롤러(122)를 사이에 두고 배치되는 2개의 고정롤러(127);를 포함하며,
    상기 상하 이동롤러(122)와 고정롤러(127) 간에 상기 가요성 프린트기판(7)이 걸쳐 넘어가는 것을 특징으로 하는 가요성 프린트기판의 피막형성 시스템.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101647272B1 (ko) * 2015-05-27 2016-08-09 센주긴조쿠고교 가부시키가이샤 액체 도포 장치
KR20190034844A (ko) * 2017-09-25 2019-04-03 (주)펨트론 소자실장형 fpcb 검사시스템

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100771422B1 (ko) 2007-07-13 2007-10-30 주식회사 코엠에스 인쇄회로기판용 테이핑 및 롤링 장치
KR101210617B1 (ko) 2010-12-31 2012-12-11 주식회사 디엠에스 유연성 기판 이송장치 및 이를 이용한 유연성 기판 처리장치
KR101501423B1 (ko) * 2013-06-18 2015-03-10 전검배 전해 금속박의 권취 장치 및 이를 이용한 권취 방법
KR101510193B1 (ko) 2013-12-12 2015-04-10 주식회사 아르케 플렉서블 기판의 처리 장치
JP6258133B2 (ja) * 2014-06-13 2018-01-10 新日鉄住金エンジニアリング株式会社 薄膜静電塗装装置
JP6542071B2 (ja) 2015-08-25 2019-07-10 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 塗工装置および塗工方法
CN113183450B (zh) * 2021-05-08 2023-07-11 史丹龙胶粘制品(常州)有限公司 覆膜流水线

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2627103A1 (de) * 1976-06-16 1977-12-22 Bhs Bayerische Berg Verfahren und vorrichtung zum automatischen erfassen des endes einer bahn oder eines abrisses und verbinden mit dem anfang einer neuen bahn, insbesondere in wellenpappenanlagen
JPS6137652A (ja) * 1984-07-31 1986-02-22 Kataoka Kikai Seisakusho:Kk 巻取張力制御装置
JPS6137653A (ja) * 1984-07-31 1986-02-22 Kataoka Kikai Seisakusho:Kk 走行シ−トの張力制御装置
JPH0764463B2 (ja) * 1990-04-04 1995-07-12 住友金属工業株式会社 巻取機の位置制御装置
JP2609351B2 (ja) * 1990-09-14 1997-05-14 株式会社 丸仲鉄工所 単板のコ−ティング方法及び単板コ−ティング装置の単板案内方法
JPH04162733A (ja) * 1990-10-26 1992-06-08 Hitachi Cable Ltd Ｔａｂ用テープキャリア製造装置
JPH05317772A (ja) * 1992-05-22 1993-12-03 Sumitomo Metal Mining Co Ltd レジスト塗布方法及び塗布装置
JPH08309250A (ja) * 1995-03-13 1996-11-26 Fujitsu Ltd 塗布剤の両面塗布方法及び両面塗布装置並びに両面乾燥方法及び両面乾燥装置
KR0146610B1 (ko) * 1995-03-15 1998-10-01 원우연 플렉시블 프린트 배선판의 회로패턴 연속노광장치
KR0144522B1 (ko) * 1995-03-15 1998-10-01 원우연 플렉시블 프린트 배선판의 제조방법
JP3954753B2 (ja) * 1999-05-06 2007-08-08 三井金属鉱業株式会社 Ｔａｂテープの製造方法およびそのためのｔａｂテープのソルダーレジストの塗布装置
KR100602103B1 (ko) * 2004-10-05 2006-07-19 주식회사 노벨시스템 플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101647272B1 (ko) * 2015-05-27 2016-08-09 센주긴조쿠고교 가부시키가이샤 액체 도포 장치
KR20190034844A (ko) * 2017-09-25 2019-04-03 (주)펨트론 소자실장형 fpcb 검사시스템

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