KR20060018745A - Vertical moving type apparatus for depositing organic material - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 대략 수직으로 세운 상태에서 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하여 대형 기판에 적용 가능하고 균일한 두께의 유기 박막을 형성할 수 있으며, 유기물 저장부와 유기물 분사 노즐을 분리하여 기판 및 마스크 패턴의 변형을 최소화한 수직 이동형 유기물 증착 장치에 관한 것으로, 몸체를 이루며, 기판을 지면에 70° 내지 110°의 각도를 유지하도록 하는 챔버와; The present invention may form the organic thin film as possible, uniform thickness applied to a large substrate to form the organic thin films by depositing organic material on the upright in a substantially vertical substrate, to remove the organic material storage section and the organic substance injection nozzle substrate, and It relates to a vertically movable organic material deposition apparatus that minimizes the deformation of the mask pattern, the chamber which forms the body, so that the substrate holding an angle of 70 ° to 110 ° with the ground; 유기물 저장부, 유기물 유도로, 가열 히터, 내부 열 반사판, 외부 냉각판 및 유기물 분사 노즐부로 이루어지며, 상기 기판 상에 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하기 위한 유기물 증착원과; An organic material storage unit, an organic substance derived, the heater, is made inside the heat reflection plate, outside the cooling plate and the organic material jetting nozzle portion, the organic material deposition for forming the organic thin film by depositing an organic material on the substrate and the source; 상기 유기물 증착원을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이동 기구를 구비하는 수직 이동형 유기물 증착 장치를 제공하는 것을 특징으로 한다. It characterized in that it provides a vertically movable organic material deposition apparatus having the organic material evaporation source moving mechanism capable of moving the said organic material evaporation source in the vertical direction.
유기물 증착 장치, 수직 이동 An organic material deposition apparatus, the vertical

Description

수직 이동형 유기물 증착 장치{Vertical Moving Type Apparatus for Depositing Organic Material} Vertical portable organic vapor deposition apparatus {Vertical Moving Type Apparatus for Depositing Organic Material}

도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치를 설명하기 위한 개략도. Figure 1a is a schematic diagram for explaining a vertical mobile organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치의 유기물 증착원을 설명하기 위한 사시도. Figure 1b is a perspective view for illustrating an organic material deposition source in the vertical removable organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치의 유기물 증착원을 설명하기 위한 평면도. 2 is a plane view illustrating an organic material deposition source in the vertical removable organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치를 설명하기 위한 개략도. Figure 3 is a schematic diagram for explaining a vertical mobile organic material deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.

(도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명) (Description of the Related portion of the drawing)

100; 100; 수직 이동형 유기물 증착 장치 Vertical portable organic vapor deposition apparatus

200; 200; 챔버 300, 500, 600; Chamber 300, 500, 600; 유기물 증착원 Organic material deposition source

310; 310; 유기물 저장소 320; Organic store 320; 유기물 유도로 An organic material derived

330; 330; 가열 히터 340; A heater 340; 내부 열 반사판 Internal heat reflector

350; 350; 외부 냉각판 360; External cooling plate 360; 유기물 분사 노즐 Organic injection nozzle

370; 370; 측정 장치 400; Measuring device 400; 이동 기구 Moving mechanism

S; S; 기판 M; Substrate M; 마스크 패턴 The mask pattern

본 발명은 유기 반도체 소자 등의 유기 박막 형성을 위한 수직 이동형 유기물 증착 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 대략 수직으로 세운 상태에서 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하여 대형 기판에 적용 가능하고 균일한 두께의 유기 박막을 형성할 수 있으며, 유기물 저장부와 유기물 분사 노즐을 분리하여 기판 및 마스크 패턴의 변형을 최소화한 수직 이동형 유기물 증착 장치에 관한 것이다. The invention is applicable to a large-sized substrate by depositing an organic material in that, more particularly to built the substrate in a substantially vertical position on the vertical movable organic material deposition apparatus for organic thin films formed of an organic semiconductor element forming the organic thin film, uniform to form an organic thin film of a thickness, and relates to organic material storage section and the vertical removable organic material deposition apparatus to separate the organic material injection nozzle with minimal deformation of the substrate and a mask pattern.

일반적으로, 유기 전계 발광 소자(OLED, Organic light Emitting Device) 등을 포함하는 유기 반도체 소자의 유기 박막은 크게, 저분자 유기 물질을 진공 중에서 증발시켜 유기 박막을 형성하는 방법과, 고분자 유기 물질을 용제에 용해한 후, 스핀 코팅(spin coating), 딥 코팅(dip coating), 닥터 블레이팅, 잉크젯 프린팅 등을 이용하여 유기 박막을 형성하는 방법이 있다. In general, an organic electroluminescent element method for an organic thin film of an organic semiconductor element, or the like (OLED, Organic light Emitting Device) is large, and evaporated to a low molecular weight organic material in a vacuum to form an organic thin film and a high molecular organic material in a solvent It was dissolved, a method using a spin coating (spin coating), dip coating (dip coating), Dr. bloom rating, ink jet printing, etc. to form an organic thin film.

상기한 방법 중에서, 진공에서 저분자 유기 물질로 이루어지는 박막을 제작하는 경우에는 형성하고자 하는 형상의 개구부를 가지는 쉐도우 마스크 패턴(shadow mask pattern)을 기판의 앞에 정렬하여, 상기 기판에 유기 물질을 증착함으로써, 상기 기판 상에 유기 박막을 제작하게 된다. By among methods described above, to arrange the case of manufacturing a thin film made of a low-molecular organic material in a vacuum, the shadow mask pattern (shadow mask pattern) with openings of the shape to be formed in front of the substrate, depositing an organic material on the substrate; an organic thin film on the substrate is produced.

상기한 바와 같은 저분자 유기 물질로 이루어지는 유기 박막의 제조 방법으 로는 점형 유기물 증착원을 이용하는 방법과, 선형 유기물 증착원을 이용하는 방법 등이 있다. Roneun method of manufacturing an organic thin film made of a lead low-molecular organic materials as described above, there is a method using a preemptive organic material evaporation source and a method of using a linear organic material evaporation source and the like.

그러나, 상기한 바와 같은 점형 또는 선형의 유기물 증착원을 이용하여 대형 기판 상에 유기 박막을 형성하는 경우에는, 상기 기판과 증발원 사이의 거리가 함께 증가하게 되며, 상기 기판과 증발원 사이의 거리의 증가는 상기 기판 상에 형성되는 유기 박막의 균일성이 저하되는 원인이 된다. However, in the case of forming the organic thin film on a large substrate using a preemptive or linear organic material evaporation source as described above has, and that the distance between the substrate and the evaporation source increases with increase of the distance between the substrate and the evaporation source It will cause the uniformity of the organic thin film formed on the substrate decrease.

또한, 상기 기판과 증발원 사이의 거리가 증가하게 되면, 상기 증발원에서 증발된 유기물이 상기 기판 이외의 진공 챔버에 증착되어 유기물의 손실이 증가하게 되며, 상기 유기물이 고가인 것을 감안하면, 제조 단가가 증가하는 문제점이 있다. Also, when the increase in the distance between the substrate and the evaporation source, the organic material evaporated from the evaporation source are deposited in a vacuum chamber other than the substrate and the loss of organic matter increases, given that the said organic material is expensive, the manufacturing cost is there is a problem in that increase.

또한, 유기 박막의 균일성 확보를 위하여 상기 쉐도우 마스크 패턴과 증발원이 소정의 각도를 이루도록 하여 유기 박막을 형성할 수 있다. Further, it is possible to secure to the uniformity of the organic thin film wherein the shadow mask pattern and the evaporation source to form an organic thin film to achieve a predetermined angle. 이때, 상기 쉐도우 마스크 패턴과 증발원이 소정의 각도를 이루는 경우, 상기 쉐도우 마스크 패턴에 의한 그림자 효과가 발생하여 원하는 형상의 유기 박막을 얻기 어려운 문제점이 있다. At this time, when the shadow mask pattern and an evaporation source at a predetermined angle of, by the shadow effect of the shadow mask pattern is generated to obtain an organic thin film of the desired shape it is difficult.

또한, 증발원과 분사 노즐이 일체화되어 있어, 열에 의한 기판 및 마스크 패턴의 열에 의한 변형이 발생할 수 있는 문제점이 있다. Further, in the evaporation source and the injection nozzle are integrated, there is a problem that may occur due to heat deformation of the substrate and a mask pattern caused by heat.

또한, 대형 기판의 경우 기판의 쳐짐 현상으로 인하여, 기판의 중앙부와 에지부의 박막의 균일성이 다른 문제점이 있다. In the case of a large-size substrate due to the sagging phenomenon of the substrate, there is another problem the uniformity of the central portion and the edge portion of the thin film substrate.

또한, 종래의 유기물 증착 장치는 유기물의 균일한 증착을 위하여 기판이 이 동하는 방식을 채택하는데, 이러한 기판이 이동하는 경우 챔버의 크기가 매우 커지는 문제점이 있다. Furthermore, the conventional organic material deposition apparatus has a problem in that the size of the chamber is very large if adopting a method in which the substrate is the same, moving this substrate to a uniform deposition of the organic material.

본 발명의 목적은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 기판을 대략 수직으로 세운 상태에서 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하여 대형 기판에 적용 가능하고 균일한 두께의 유기 박막을 형성할 수 있으며, 유기물 저장부와 유기물 분사 노즐을 분리하여 기판 및 마스크 패턴의 변형을 최소화한 수직 이동형 유기물 증착 장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다. That for solving the problems of the prior art object is the one of this invention, the organic thin film of the possible and uniform thickness applied to a large substrate to form the organic thin films by depositing organic material on the upright in a substantially vertical substrate It can be formed, and to provide an organic material storage section and the organic substance spray nozzle to the substrate to remove the organic material deposition and vertically movable with minimal deformation of the mask pattern has a device that purpose.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 몸체를 이루며, 기판을 지면에 70° 내지 110°의 각도를 유지하도록 하는 챔버와; And the chamber to maintain the angle of the present invention for achieving the above object is 70 ° to 110 ° to the substrate forms a body, on the floor; 유기물 저장부, 유기물 유도로, 가열 히터, 내부 열 반사판, 외부 냉각판 및 유기물 분사 노즐부로 이루어지며, 상기 기판 상에 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하기 위한 유기물 증착원과; An organic material storage unit, an organic substance derived, the heater, is made inside the heat reflection plate, outside the cooling plate and the organic material jetting nozzle portion, the organic material deposition for forming the organic thin film by depositing an organic material on the substrate and the source; 상기 유기물 증착원을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이동 기구를 구비하는 수직 이동형 유기물 증착 장치를 제공하는 것을 특징으로 한다. It characterized in that it provides a vertically movable organic material deposition apparatus having the organic material evaporation source moving mechanism capable of moving the said organic material evaporation source in the vertical direction.

상기 유기물 저장부는 다수의 셀로 구분되는 것이 바람직하다. It said organic material storage unit is preferably separated plurality of cells.

상기 유기물 유도로는 상기 유기물 저장부에서 증발된 유기물 입자의 이동 경로인 것이 바람직하다. To the organic material derived is preferably in the movement of the organic material particles evaporated from the organic material storage section path.

상기 유기물 유도로는 유기물 입자의 최종 이동 방향을 지면에 -20° 내지 20°의 각도를 유지하도록 하는 것이 바람직하다. It is preferable that the organic substance is induced by maintaining the angle of -20 ° to 20 ° to the ground to the final direction of movement of the organic particles.

상기 가열 히터는 유기물 저장부 및 유기물 유도로 외부에 설치되어 상기 유기물 저장부 및 유기물 유도로를 가열하는 것이 바람직하다. The heater is installed in the external storage unit, and an organic substance derived organic material is preferable to heat the organic material in the organic material storage section and induction.

상기 내부 열 반사판은 상기 가열 히터보다 외부에 설치되는 것이 바람직하다. The internal heat reflecting plate is preferably installed at the outside than that of the heating heater.

상기 외부 냉각판은 상기 내부 열 반사판의 외부에 위치하여, 상기 유기물 증발부 내부의 열이 외부로 전도되는 것을 방지하는 것이 바람직하며, 상기 외부 냉각판은 냉매를 이용하여 외부 열 반사판을 냉각시키는 것이 바람직하다. The external cooling plate is preferably that located on the outside of the internal heat reflecting plate, preventing the organic evaporator heat inside is conducted to the outside, the external cooling plate is to use the refrigerant to cool the outer heat reflector desirable.

상기 유기물 증착원은 상기 유기물 분사 노즐부의 유기물 분사 방향의 선단에 위치하여 상기 기판 상에 증착되는 유기물의 증착률 및 증착 두께를 측정하는 측정 센서를 더 구비하는 것이 바람직하다. It said organic material evaporation source preferably further includes a measuring sensor for the position at the tip of the organic material of said organic material injection nozzle injection direction measure the deposition rate and the deposition thickness of the organic material to be deposited on the substrate.

상기 유기물에 불순물을 도핑하기 위한 수단을 더 구비할 수도 있다. Means for doping an impurity into said organic material may be further provided.

또한, 본 발명은 몸체를 이루며, 기판을 지면에 70° 내지 110°의 각도를 유지하도록 하는 챔버와; In addition, the chamber of the present invention constitutes the body, so that the substrate holding an angle of 70 ° to 110 ° to the floor; 상기 기판 상에 물질을 증착하여 박막을 형성하며, 증착 물질 저장부, 증착 물질 유도로, 상기 증착 물질 저장부 및 증착 물질 유도로를 가열하는 가열 히터, 상기 증착 물질 저장부 및 증착 물질 유도로의 외부에 형성되어 열을 반사시켜주기 위한 내부 열 반사판, 상기 내부 열반사판 외부에 설치되어 상기 내부열 반사판을 냉각시켜 주는 외부 냉각판, 증착 물질 분사 노즐부로 이루어지는 다수의 증착원과; In the forming the substrate the thin film by depositing a material on, and deposition material reservoir, induced deposition material, of the deposition material storage unit and the heater, the deposition material storage unit and a deposition material derived for heating a vapor deposition material derived It is formed on the outside to the outside, which is installed inside the heat reflection plate, wherein the inner heat reflector external to give to reflect heat to cool the heat reflecting plate cooling plate, a plurality of evaporation parts made of a deposition material source and the spray nozzle; 상기 증착원을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이동 기구를 구비하는 수직 이동형 유기물 증착 장치를 제공하는 것을 특징으로 한다. It characterized in that it provides a vertically movable organic material deposition apparatus having the organic material evaporation source moving mechanism capable of moving the evaporation source in the vertical direction.

상기 다수의 증착원은 서로 동일한 유기물을 내포하여, 기판, 특히 대형 기판 상에 균일한 유기 박막을 형성할 수 있다. And the plurality of evaporation sources is fraught with the same organic materials to each other, the substrate, in particular to form a uniform organic thin film on a large substrate.

또한, 상기 다수의 증착원은 제 1 증착원 및 제 2 증착원으로 이루어지는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 상기 제 1 증착원은 기판 상의 박막의 원재료 증착원이며, 상기 제 2 증착원은 상기 박막의 특성 개선을 위한 불순물을 상기 박막에 포함시키기 위한 불순물 증착원인 것이 바람직하다. Further, the plurality of evaporation sources are a first evaporation source and a is preferably formed of a second evaporation source, and more preferably from the first evaporation source is the raw material deposition source of the thin film on the substrate, and the second deposition source is a thin film that the characteristics of the impurity for improving the deposition of impurities cause for inclusion in the thin film it is preferable.

상기 다수의 서로 다른 증착원은 분사 각도가 조절 가능한 것이 바람직하다. It said plurality of different vapor sources are preferably available spraying angle.

이하 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예를 설명한다. Reference to the accompanying drawings, a description will be given of an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치는 기판을 대략 수직으로 세운 상태에서 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하여 대형 기판에 적용 가능하고 균일한 두께의 유기 박막을 형성할 수 있으며, 유기물 저장부와 유기물 분사 노즐을 분리하여 기판 및 마스크 패턴의 변형을 최소화할 수 있다. Vertical mobile organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention may form the organic thin film of the possible and uniform thickness applied to a large substrate to form the organic thin films by depositing organic material on the upright in a substantially vertical substrate, organic substance stored separating the organic portion and the injection nozzle can minimize the deformation of the substrate and a mask pattern.

도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치를 설명하기 위한 개략도이다. Figure 1a is a schematic diagram illustrating a vertical mobile organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention. 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치의 유기물 증착원을 설명하기 위한 사시도이다. Figure 1b is a perspective view for illustrating an organic material deposition source in the vertical removable organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치(100)는 상기 수직 이동형 유기물 증착 장치(100)의 몸체를 이루는 챔버(200)와, 기판(S) 상으로 유기물 입자를 분사시키기 위한 유기물 증착원(300)과, 상기 유기물 층착원(300)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이동 기구(400)를 구비하는 구조로 이루어진다. When Fig. 1a and FIG. 1b, to the vertical movable organic material deposition apparatus 100 includes a chamber 200 forming the body of the vertically movable organic material deposition apparatus 100, the substrate (S) in accordance with an embodiment of the present invention It made of organic material evaporation source 300 and the structure comprising the organic layer chakwon 300, an organic material evaporation source movement capable of moving in the vertical direction mechanism 400 for injecting the organic material particles.

상기 챔버(200)는 유기물을 증착하고자 하는 기판(S)을 대략 수직, 바람직하게는 지면과 70° 내지 110°의 각도를 유지하도록 한다. The chamber 200 to a substrate (S) to deposit the organic material maintains the angle of the substantially vertical, preferably ground and 70 ° to 110 °. 또한, 상기 챔버(200)는 진공 챔버인 것이 바람직하다. In addition, the chamber 200 is preferably in the vacuum chamber.

상기 유기물 증착원(300)은 유기물 저장부(310), 유기물 유도로(320), 가열 히터(330), 내부 열 반사판(340), 외부 냉각판(350), 유기물 분사 노즐부(360) 및 측정 장치(370)로 이루어진다. It said organic material evaporation source 300 is organic material storage part 310, an organic material derived 320, heater 330, inside the heat reflection plate 340, the external cooling plate 350, the organic material jetting nozzles 360, and It comprises a measurement device 370.

상기 유기물 저장부(310)는 상기 기판(S) 상에 형성되는 유기 박막의 원재료인 유기물을 저장하는 부분으로써, 적어도 하나의 셀로 구분되어 지는 도가니로 이루어지는 것이 바람직하다. Said organic material storage part 310 is preferably made of a crucible which is stored as part of the raw material organic matter of the organic thin film formed on the substrate (S), it is divided at least one cell.

상기 유기물 유도로(320)는 상기 유기물 저장부(310)에서 증발된 유기물 입자를 상기 유기물 분사 노즐부(360)로 이송하는 역할을 수행하며, 상기 유기물 입자의 이동 경로를 결정하는 역할을 수행한다. To the organic material derived 320 is responsible for, and serves to transfer an organic substance injection nozzle 360, wherein the organic material particles evaporated from the organic material storage unit 310, determines the movement track of the said organic particles . 보다 상세히 설명하면, 상기 유기물 저장부(310)에서 상기 유기물 입자가 상향으로 증발되며, 상기 대략 수직으로 세워진 기판(S) 상에 유기물을 증착하기 위해서는 상기 유기물 입자의 최종 이동 경로가 대략 수평 방향이어야 하므로, 상기 유기물 유도로(320)의 말단은 지면과 -20° 내지 20°의 각도를 유지하여야 한다. To be more specific, and the said organic material particles evaporated upwardly from said organic material storage section 310, in order to deposit the organic material in a substantially vertically erected substrate (S) The final movement path of the organic particles should be substantially in the horizontal direction therefore, the terminal 320 in the organic matter derived should maintain an angle of the ground and the -20 ° to 20 °. 즉, 상기 유기물 입자의 최종 이동 경로를 지면과 -20° 내지 20°의 각도를 유지하도록 유도한다. That is, the induction to maintain the angle of the ground surface and -20 ° to 20 ° for the final movement path of the organic material particle. 또한, 상기 유기물 유도로(320)의 중간 부분은 소정 각도로 경사지도록 형성하여, 상기 유기물 저장부(310)에서 증발되는 유기물 중 일부 클러스터(cluster) 형태의 유기물이 유도로 내벽과 충돌하여 유기물 입자 상태로 부서지도록 함으로써, 상기 클러스터 형태의 유기물 이 자연스럽게 상기 유기물 유도로(320) 내부에서 고르게 혼합되며, 상기 기판(S) 상에 유기물이 뭉쳐서 증착되는 것을 방지하는 역할을 수행한다. Further, the intermediate portion is formed to be inclined at a predetermined angle, and organic particles collide with the inner wall to said organic material storage unit 310 is part of the cluster (cluster) in the form of organic matter derived from organic matter evaporated from the 320 to the organic material derived by ensuring a division status, and the organic matter of the cluster form naturally mixed evenly in the interior of the organic material by inducing 320, it serves to prevent the organic material on the substrate (S) deposition united.

상기 가열 히터(330)는 상기 유기물 저장부(310) 및 유기물 유도로(320) 외부에 설치되어 상기 유기물 저장부(310) 및 유기물 유도로(320)를 가열하는 역할을 수행한다. The heater 330 serves to heat the 320 to the organic material storage part 310 and the organic induction installed on the outside 320, to the organic material storage section 310 and the organic material derived. 즉, 상기 유기물 저장부(310)를 가열하여, 상기 유기물이 유기물의 입자 상태로 증발시키며, 증발된 유기물 입자를 상기 유기물 유도로(320) 내부에서 응축되지 않도록 가열하는 것이다. In other words, by heating the organic material storage part 310, so as to heat the organic material is in particulate evaporating of the organic substance, being condensed in the interior of the evaporated organic material particles in the organic material derived 320.

상기 내부 열 반사판(340)은 상기 가열 히터(330)보다 외부에 설치되어 상기 유기물 증착원(300)의 열 효율을 증가시키기 위한 것으로, 상기 유기물 증착원(300) 내부의 열용량을 흡수할 수 있도록 다단으로 구성되어 있다. The inner heat reflector 340 is installed on the outside than the heater 330 to absorb as to increase the thermal efficiency of said organic material evaporation source 300, a heat capacity of the inside of the organic material evaporation source (300) It is configured in multiple stages.

상기 외부 냉각판(350)은 상기 내부 열 반사판(340)의 외부에 위치하여, 상기 유기물 증착원(300) 내부의 열이 외부로 전도되는 것을 방지한다. The external cooling plate 350 is located external to the internal heat reflecting plate 340, thereby preventing the heat of the inside of the organic material evaporation source 300 is conducted to the outside. 상기 외부 냉각판(350)은 냉매를 이용하여 내부 열 반사판(340)을 냉각시킨다. The external cooling plate 350 to cool the inner heat reflector 340 by using a refrigerant.

상기 유기물 분사 노즐부(360)는 상기 유기물 저장부(310)에서 증발되어 상기 유기물 유도로(320)를 통하여 유입되는 유기물 입자를 대략 수직으로 세원진 기판(S) 상으로 분사하며, 상기 유기물 입자가 상기 기판(S) 상에 증착, 분포되는 형태를 결정하는 역할을 수행한다. Said organic material jetting nozzles 360, is sprayed onto a substrate (S) binary three won the organic particles are evaporated in the organic material storage part 310 is introduced through the 320 in the organic matter derived substantially vertically, and said organic particles that serves to determine the substrate type to be deposited, distributed over the (S). 또한, 상기 유기물 분사 노즐부(360)는 유기물 입자를 분사시에 분사 각도가 조절 가능한 형태로 이루어지는 것이 바람직하다. It said organic material jetting nozzles 360, also, is preferably made of an organic resin particles as possible Spray angle adjustment at the time of injection type. 상기 유기물 분사 노즐부(360)의 개구된 형태에 따라 유기물 입자가 분사되는 형태가 조절 가능하므로, 상기 유기물 저장소(310) 내의 유기물의 균일한 증발이 가능하도록 제어할 수 있다. Since the organic material in the form which the organic particles according to the form ejection opening of the injection nozzle portion 360 can be adjusted, a uniform evaporation of the organic matter in the organic material storage 310 can be controlled to be.

상기 측정 장치(370)는 지면에 70° 내지 110°의 각으로 세워진 기판(S) 상에 증착되는 유기물의 증착률 및 두께를 측정하는 역할을 수행한다. The measurement apparatus 370 serves to measure the deposition rate and the thickness of the organic material deposited on the substrate (S) erected at an angle of 70 ° to 110 ° with the ground. 또한, 상기 측정 장치(370)는 상기 유기물 분사 노즐부(360)의 유기물 분사 방향의 선단부에 위치하며, 상기 유기물 분사 노즐부(360)와 일체화되어 있다. In addition, the measurement device 370 is located in the distal end portion of the organic material spraying direction of the organic material jetting nozzles 360, and is integrated with the organic material jetting nozzles 360,.

상기 유기물 증착원 이동 기구(400)는 상기 유기물 증착원(300)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치이다. It said organic material evaporation source transfer mechanism 400 is a device for moving the organic material evaporation source 300 in a vertical direction. 이때, 상기 유기물 증착원 이동 기구(400)는 진공으로 유지되는 상기 챔버(200) 내에서 사용이 적합한 수직 이동 기구로써, 상기 유기물 증착원(300) 중 적어도 상기 유기물 분사 노즐(360)의 이동 속도를 조절할 수 있도록 이송 속도 조절 기구(도면 상에는 미도시)를 더 구비할 수 있다. At this time, the organic material evaporation source moving mechanism 400 includes a moving speed of at least said organic material jetting nozzles 360, of as a vertical movement mechanism suitable for use in the chamber 200 is maintained at a vacuum, said organic material evaporation source (300) to the feed rate adjusted so as to adjust mechanism (not shown formed on the drawing) it may be further provided.

도면의 참조 부호 M은 상기 기판(S) 상에 증착되는 유기물의 형상을 결정하는 마스크 패턴이다. Refer to the drawing of marks M is the mask pattern for determining the shape of the organic material to be deposited on the substrate (S).

상기한 바와 같은 수직 이동형 유기물 증착 장치(100)를 이용하는 유기 박막의 형성 방법은 하기와 같다. The method of forming the organic thin film using a vertically movable organic material deposition apparatus 100 as described above is as follows.

우선, 상기 수직 이동형 유기물 증착 장치(100)의 챔버 내에 기판(S)을 지면에 대략 수직, 바람직하게는 지면과 70° 내지 110의 각도를 유지하도록 장착한다. First, it mounted to be substantially vertical, and preferably maintaining the angle of 70 ° and ground to 110 to the substrate (S) in the chamber of the vertically movable organic material deposition apparatus 100 to the ground.

그런 다음, 상기 유기물 증착원(300)의 유기물을 수용하고 있는 상기 유기물 저장부(310)를 상기 가열 히터(330)를 통하여 가열한다. Then, the heating of the organic material storage part 310, which accommodates the organic material of the organic material evaporation source 300 through the heater 330.

이때, 상기 가열 히터(330)를 통하여 상기 유기물 저장부(310) 도가니 내의 각 셀에 수용되어 있는 유기물이 유기물 입자 상태로 증발하게 된다. At this time, the organic matter which is received in the respective cells in the organic material storage part 310 through the crucible heater 330 is evaporated to organic particulate.

상기 증발된 유기물 입자는 상기 유기물 유도로(320)를 통하여 상기 유기물 분사 노즐부(360)로 유입된다. The vaporized organic material particles are introduced into said organic material jetting nozzles 360, through 320, to the organic matter derived. 이때, 상기 유기물 입자의 이동 경로는 상기 유기물 유도로(320)의 형상에 의하여 결정된다. In this case, the moving path of the organic material particles are determined by the shape of the (320) induced by said organic material. 상기 유기물 유도로(320)의 말단이 지면과 -20° 내지 20°의 각도를 유지하므로, 상기 유기물 증착원(300) 내에서의 상기 유기물 입자의 최종 이동 경로는 지면과 -20° 내지 20°의 각도를 유지한다. Since the end of the 320 to the organic material derived keep the angle of the ground and the -20 ° to 20 °, the final movement path of the organic material particles in the organic material evaporation source 300 is ground and -20 ° to 20 ° It maintains the angle. 또한, 상기 유기물 유도로(320)는 상기 유기물 저장부(310)에서 증발되는 유기물 중 완전히 입자 상태로 증발되지 않고, 다수의 유기물 입자가 뭉친 클러스터 형태를 유지하는 유기물이 상기 유기물 유도로(310)의 내벽과 충돌하여 유기물 입자 상태로 부서지도록 함으로써, 상기 기판(S) 상으로 분사되는 유기물 입자의 크기를 균일하게 한다. Further, as the organic material converted to 320 the organic material which is not evaporated to completely particle state of the organic material evaporated from the organic material storage part 310, maintaining the cluster form a plurality of organic particles agglomerated said organic material derived 310 by the inner wall and the impact of division so that an organic material particulate, and a uniform particle size of the organic material is injected onto the substrate (S). 또한, 상기 유기물 유도로(320) 외부의 가열 히터(330)는 상기 유기물 유도로(320) 내에서 상기 증발된 유기물 입자가 응축되지 않도록 한다. Further, as the organic substance derived 320 heater 330 of the external is not an organic material the particles evaporated in the 320 to the organic material derived not condense.

상기 유기물 분사 노즐부(360)로 유입된 유기물 입자는 상기 유기물 분사 노즐부(360)를 통하여 상기 기판(S) 상으로 증착되어 유기 박막을 형성한다. The organic material particles flowing into the organic material jetting nozzles 360, it is deposited onto the substrate (S) through said organic material jetting nozzles 360, thereby forming an organic thin film. 이때, 상기 유기물 증착원 이동 기구(400)를 통하여 상기 유기물 증착원(300)이 수직 방향으로 이동하며, 상기 지면과 70° 내지 110의 각도를 유지하는 기판(S) 상에 유기물 입자가 증착되어 유기 박막을 형성한다. At this time, the said organic material evaporation source 300 and the movement in the vertical direction, the organic particles on the substrate (S) for holding the angle of the ground and 70 ° to 110 deposited over the organic material evaporation source movement mechanism (400) to form an organic thin film. 또한, 상기 유기물 입자는 그 최종 이동 경로가 지면과 -20° 내지 20°의 각도를 유지하므로, 상기 유기물 입자가 상기 유기물 분사 노즐부(360)을 통하여 상기 기판(S)으로 분사될 때, 상기 유기물 입자는 지면과 -20° 내지 20°의 각도로 분사된다. Further, when the organic material particles, so maintaining the angle of the end surface and the movement route is -20 ° to 20 °, to be the organic material particles are injected into the substrate (S) through said organic material injection nozzle portion 360, the organic particles are injected into the ground and the angle of -20 ° to 20 °. 또한, 상기 유기물 입자가 상기 기판(S) 상으로 증착시에 상기 유기물 분사 노즐부(360)의 개구된 형태에 따라 상기 기판(S) 상에 증착되는 유기물 입자의 형태가 조절된다. In addition, the type of the organic particles The organic particles are deposited on the substrate (S) in accordance with the aperture shape of the organic material jetting nozzles 360, at the time of deposition onto the substrate (S) is adjusted.

한편, 상기 유기물 분사 노즐부(360)의 유기물 분사 방향으로 선단부에 설치되어 있는 상기 측정 장치(370)는 상기 유기물을 상기 기판(S) 상에 증착하는 동안, 상기 기판(S) 상에 증착되는 유기물의 증착률 및 유기물의 증착 두께를 측정한다. On the other hand, the organic material injected into the organic material ejecting direction is installed on the distal end of the measuring device 370 in the nozzle unit 360 during the deposition on the substrate (S) for said organic material, is deposited on the substrate (S) It measures the deposition thickness of the deposition rate of the organic material and organic material. 따라서, 상기 측정 장치(370)를 이용하여, 유기 박막을 형성하는 동안 유기물 입자의 증착률 및 유기물 증착 두께를 제어함으로써, 균일한 유기 박막의 두께의 재현성을 실현할 수 있다. Thus, by using the measuring device 370, by controlling the deposition rate and the organic material deposition thickness of the organic particles during the formation of the organic thin film, it is possible to achieve the reproducibility of the thickness of a uniform organic thin film.

한편, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치의 유기물 증착원을 설명하기 위한 평면도로써, 유기물 저장부 및 상기 유기물 저장부 주변의 가열 히터에 한정하여 도시한 것이다. On the other hand, Figure 2 illustrates in plan view as limited to, organic material storage unit and a heater surrounding the organic material storage unit for illustrating an organic material deposition source in the vertical removable organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 유기물 저장부(310)는 적어도 하나의 셀(310a)로 구분되며, 각각의 셀(310a)에 유기물을 저장하게 된다. 2, the organic material storage part 310 is divided into at least one cell (310a), and stores an organic material for each cell (310a). 또한, 가열 히터(330)는 상기 유기물 저장부(310) 주변에 고르게 분포한다. Further, the heating heater 330 is evenly distributed around said organic material storage part 310.

이것은 유기물 저장부(310)의 상기 유기물을 증발시키는 경우, 상기 유기물 저장부(310)가 하나의 셀로 이루어지면, 상기 유기물 저장부(310) 내부의 온도 분포 차이로 인하여 위치에 따른 유기물 증발률의 차이가 발생하게 된다. This is the organic material evaporation rate according to the case, the organic material storage unit 310 is a single cell is made,, due to a temperature distribution difference in the inside of the organic material storage section 310 located to evaporate the organic material of the organic material storage part 310 the difference is generated. 이러한 위치에 따른 증발률의 차이는 균일한 불순물의 주입 및 유기 박막의 균일성을 저하하게 되는데, 상기 유기물 저장부(310)를 다수의 셀(310a)로 구분함으로써, 상기 유기물 저장부(310) 내의 유기물 증발률을 균일하게 할 수 있다. Difference in evaporation rate according to such a position there is deteriorated the uniformity of the injection, and an organic thin film having uniform impurities, by separating the organic material storage part 310 into a plurality of cells (310a), wherein the organic material storage part 310 the organic material in the evaporation rate can be made uniform.

한편, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치 를 설명하기 위한 개략도이다. On the other hand, Figure 3 is a schematic diagram for explaining a vertical mobile organic material deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기물 증착 장치는 도 1에 도시된 바와 같은 유기물 증착원을 다수개 구비하며, 상기 각 유기물 증착원을 수직으로 이동시키기 위한 유기물 증착원 이동 기구를 구비하는 구조로 이루어진다. 3, the organic material deposition in accordance with another embodiment of the present invention apparatus is a, and a plurality of offers the same organic material evaporation source described, each of the organic material deposited organic material deposition source moves for the original moving in the vertical mechanism shown in Figure 1 It made of a structure comprising a.

일 예로, 상기 서로 다른 다수의 증착원은 제 1 유기물 증착원(500) 및 제 2 유기물 증착원(600)으로 이루어지며, 상기 제 1 유기물 증착원(500) 및 제 2 유기물 증착원(600)은 동일한 유기물을 내포하고, 서로 소정 간격 이격되어, 이동하며, 균일한 유기 박막을 기판 상에 증착할 수 있다. In one embodiment, the different number of evaporation source is first made of a organic material evaporation source 500 and the second organic material evaporation source 600, the first organic material evaporation source 500 and the second organic material evaporation source (600) is fraught with the same organic material, and a predetermined distance away from each other, move, and it is possible to deposit a uniform organic thin film on a substrate. 특히, 대형 기판을 적용하여 유기 박막을 증착하는 경우에 보다 유리하다. In particular, it is more advantageous when applied to a large substrate for depositing an organic thin film.

또는, 상기 서로 다른 다수의 유기물 증착원은 제 1 유기물 증착원(500) 및 제 2 유기물 증착원(600)으로 이루어지며, 상기 제 1 유기물 증착원(500) 및 제 2 유기물 증착원(600) 중 어느 하나의 유기물 증착원 예를 들면, 제 1 유기물 증착원(500)은 유기 박막의 원재료인 유기물을 상기 기판(S) 상으로 분사하는 유기물 증착원이며, 제 2 유기물 증착원(600)은 상기 유기 박막의 특성 개선을 위한 불순물을 상기 유기 박막에 포함시키기 위한 유기물 증착원이다. Alternatively, the different number of the organic material evaporation source is first made of a organic material evaporation source 500 and the second organic material evaporation source 600, the first organic material evaporation source 500 and the second organic material evaporation source (600) for example any of the organic material deposition source, a first organic material deposition source 500 is the organic material deposition source to spray onto the raw material organic substance the substrate (S) of the organic thin film, and a second organic material deposition source (600) of the an organic material evaporation source to include an impurity for improving the characteristics of the organic thin film on the organic thin film.

이때, 상기 제 1 유기물 증착원(500) 및 제 2 유기물 증착원(600)은 유기 박막에 유기물을 포함시키기 위하여, 상기 기판(S) 상에 물질을 증착시키기 전에 일정한 영역 내에서 혼합이 되도록 분사 각도의 조절이 가능하다. At this time, the first organic material evaporation source 500 and the second organic material evaporation source 600 is injected to be mixed in the predetermined region prior to depositing the material on the substrate (S) so as to include the organic substance in the organic thin film it is possible to adjust the angle.

또한, 상기 제 1 유기물 증착원(500) 및 제 2 유기물 증착원(600) 분사 노즐의 분사 방향 선단에 각각 유기물의 증착률 및 증착 두께를 측정할 수 있는 측정 장치를 설치함으로써, 상기 기판(S) 상에 불순물을 포함하는 유기 박막을 형성하는 동안 증착률 및 유기물의 두께 제어를 가능하게 하며, 유기 박막에 포함되는 불순물 함량의 제어를 가능하게 한다. In addition, since the first organic material evaporation source 500 and the second organic material evaporation source 600 is measured, each of which is capable of measuring the deposition rate of the organic substance and the deposition thickness of the jet direction front end of the spray nozzle device, the substrate (S ) and the thickness control of the deposition rate and the organic possible during the formation of the organic thin film containing the impurity on, thereby enabling control of the impurity content contained in the organic thin film.

상기한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기물 증착 장치(100)는 상기 기판(S)을 대략 수직을 세운 상태에서 유기물 입자를 분사하여 유기 박막을 형성함으로써, 대형 기판의 경우 기판의 쳐짐 형상을 방지하므로, 대형 기판에 적용이 가능하다. For, by the organic material deposition apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes forming an organic thin film by spraying the organic particles in a state erected substantially perpendicular to said substrate (S), a large-sized substrate as described above, sagging shape of the substrate it prevents, the application is possible to a large substrate.

또한, 상기 유기물 저장부(310)와 유기물 분사 노즐부(360)를 분리하여, 상기 기판(S) 및 마스크 패턴(M)의 열에 의한 변형을 방지하며, 상기 기판(S) 상에 유기물의 입자 분포가 균일한 유기 박막을 형성할 수 있다. In addition, the organic material storage section 310 and the organic material to remove the spray nozzle unit 360, the substrate (S) and the mask and prevent deformation due to heat of the pattern (M), the particles of the organic material on the substrate (S) It is distributed to form a uniform organic thin film.

또한, 상기 내부 열 반사판(340) 및 외부 냉각판(350)을 통하여 상기 유기물 분사 노즐부(360)를 제외한 외부로 열이 방출되는 것을 방지함으로써, 상기 기판(S) 및 마스크 패턴(M)에 미치는 열 영향을 최소화할 수 있다. In addition, the by preventing through the internal heat reflecting plate 340 and the external cooling plate 350, heat is released to the outside, except for the organic material injection nozzle 360, the substrate (S) and the mask pattern (M) effects can be minimized heat affected. 즉, 열에 의한 상기 기판(S) 및 마스크 패턴(M)의 변형을 방지할 수 있다. That is, it is possible to prevent deformation of the substrate (S) and the mask pattern (M) by heat.

또한, 다수의 서로 다른 유기물 증착원을 이용하는 경우에는 상기 유기 박막의 특성을 개선하기 위한 불순물의 주입이 가능하다. In addition, in the case of using a number of different organic material evaporation source, it is possible to injection of the impurities to improve the properties of the organic thin film.

또한, 상기 유기물 증착원 이동 기구(400)를 통하여 상기 유기물 증착원(300, 500, 600)이 이동하며 상기 기판(S) 상에 유기물을 증착하므로, 종래의 유기물 증착원 이동 기구가 없이, 기판을 이동시키는 유기물 증착 장치를 이용하여 유기물을 증착하는 경우에 비하여, 챔버의 크기를 약 75% 이내로 축소하는 것이 가능 하다. In addition, the organic material evaporation source (300, 500, 600) is moved, and so depositing the organic material on the substrate (S), without a conventional organic material deposition source movement mechanism, the substrate through the organic material evaporation source movement mechanism (400) as compared to the case of depositing an organic material using an organic material deposition apparatus to move, it is possible to reduce the size of the chamber to within about 75%.

상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 본 발명은 기판을 대략 수직으로 세운 상태에서 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하여 대형 기판에 적용 가능하고 균일한 두께의 유기 박막을 형성할 수 있으며, 유기물 저장부와 유기물 분사 노즐을 분리하여 기판 및 마스크 패턴의 변형을 최소화한 수직 이동형 유기물 증착 장치를 제공할 수 있다. According to the invention as described above, the present invention can form an organic thin film of the possible and uniform thickness applied to a large substrate to form the organic thin films by depositing organic material on the upright in a substantially vertical substrate, the organic material storage unit and by separating the organic substance spray nozzle can provide a vertical mobile organic material deposition apparatus that minimizes the deformation of the substrate and a mask pattern.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. The In has been described with reference to a preferred embodiment of the invention, to vary the invention within the scope not departing from the spirit and scope of the invention defined in the claims of the skilled in the art is to in the art modify and alter that will be able to understand.

Claims (16)

  1. 몸체를 이루며, 기판을 지면에 70° 내지 110°의 각도를 유지하도록 하는 챔버와; Chamber which constitutes the body, so that the substrate holding an angle of 70 ° to 110 ° with the ground;
    유기물 저장부, 유기물 유도로, 가열 히터, 내부 열 반사판, 외부 냉각판 및 유기물 분사 노즐부로 이루어지며, 상기 기판 상에 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하기 위한 유기물 증착원과; An organic material storage unit, an organic substance derived, the heater, is made inside the heat reflection plate, outside the cooling plate and the organic material jetting nozzle portion, the organic material deposition for forming the organic thin film by depositing an organic material on the substrate and the source;
    상기 유기물 증착원을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이동 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. Vertical mobile organic material deposition apparatus comprising the organic material evaporation source moving mechanism capable of moving the said organic material evaporation source in the vertical direction.
  2. 제 1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 유기물 저장부는 다수의 셀로 구분되어지는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. It said organic material storage unit vertically movable organic material deposition apparatus, characterized in that, separated a large number of cells.
  3. 제 1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 유기물 유도로는 상기 유기물 저장부에서 증발된 유기물 입자의 이동 경로인 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. It said organic material is converted to the vertically movable organic material deposition apparatus, characterized in that the movement of the organic material particles evaporated from the organic material storage section path.
  4. 제 3항에 있어서, 4. The method of claim 3,
    상기 유기물 유도로는 유기물 입자의 최종 이동 방향을 지면에 -20° 내지 20°의 각도를 유지하도록 하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. Vertical mobile organic material deposition apparatus is characterized in that said organic material is guided to maintain the angle of -20 ° to 20 ° to the ground to the final direction of movement of the organic particles.
  5. 제 1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 가열 히터는 유기물 저장부 및 유기물 유도로 외부에 설치되어 상기 유기물 저장부 및 유기물 유도로를 가열하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. The heater is installed in the external storage unit, and an organic substance induced organic vertically movable organic material deposition apparatus, characterized in that for heating the organic material in the organic material storage section and induction.
  6. 제 1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 내부 열 반사판은 상기 가열 히터보다 외부에 설치되는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. The inner heat reflector vertically movable organic material deposition apparatus, characterized in that provided on the outside than the heater.
  7. 제 1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 외부 냉각판은 상기 내부 열 반사판의 외부에 위치하여, 상기 유기물 증발부 내부의 열이 외부로 전도되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. The external cooling plate is vertically movable organic material deposition apparatus is characterized in that located on the outside of the column internal reflector, preventing the organic material inside the evaporation portion of the heat from conducting to the outside.
  8. 제 7항에 있어서, The method of claim 7,
    상기 외부 냉각판은 냉매를 이용하여 외부 열 반사판을 냉각시키는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. The external cooling plate is vertically movable organic material deposition apparatus, comprising a step of using a refrigerant to cool the outer heat reflector.
  9. 제 1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 유기물 증착원은 It said organic material evaporation source is
    상기 유기물 분사 노즐부의 유기물 분사 방향의 선단에 위치하여 상기 기판 상에 증착되는 유기물의 증착률 및 증착 두께를 측정하는 측정 센서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. Vertical mobile organic material deposition apparatus is characterized in that located in the front end of the injection nozzle portion organic organic ejecting direction further comprising a measuring sensor for measuring the deposition rate and the deposition thickness of the organic material to be deposited on the substrate.
  10. 제 1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 유기물에 불순물을 도핑하기 위한 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. Vertical mobile organic material deposition apparatus according to claim 1, further comprising a means for doping an impurity into said organic material.
  11. 몸체를 이루며, 기판을 지면에 70° 내지 110°의 각도를 유지하도록 하는 챔버와; Chamber which constitutes the body, so that the substrate holding an angle of 70 ° to 110 ° with the ground;
    상기 기판 상에 물질을 증착하여 박막을 형성하며, 증착 물질 저장부, 증착 물질 유도로, 상기 증착 물질 저장부 및 증착 물질 유도로를 가열하는 가열 히터, 상기 증착 물질 저장부 및 증착 물질 유도로의 외부에 형성되어 열을 반사시켜주기 위한 내부 열 반사판, 상기 내부 열반사판 외부에 설치되어 상기 내부열 반사판을 냉각시켜 주는 외부 냉각판, 증착 물질 분사 노즐부로 이루어지는 다수의 유기물 증착원과; In the forming the substrate the thin film by depositing a material on, and deposition material reservoir, induced deposition material, of the deposition material storage unit and the heater, the deposition material storage unit and a deposition material derived for heating a vapor deposition material derived are formed outside a plurality of organic material deposition is installed inside the heat reflection plate, wherein the inner heat reflector external to give to reflect heat formed parts outside the cold plate, the deposition material to the injection nozzle is cooled to the heat source and the reflector;
    상기 증착원을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이동 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. Vertical mobile organic material deposition apparatus comprising the organic material evaporation source moving mechanism capable of moving the evaporation source in the vertical direction.
  12. 제 11항에 있어서, 12. The method of claim 11,
    상기 다수의 유기물 증착원은 동일한 유기물을 증착하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. Vertical mobile organic material deposition apparatus of the plurality of organic material evaporation source is characterized in that the deposition of the same organic material.
  13. 제 11항에 있어서, 12. The method of claim 11,
    상기 다수의 유기물 증착원은 제 1 유기물 증착원 및 제 2 유기물 증착원으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. Vertical mobile organic material deposition apparatus of the plurality of organic material evaporation source is characterized by comprising a first organic material deposition source and the second organic material evaporation source.
  14. 제 13항에 있어서, 14. The method of claim 13,
    상기 제 1 유기물 증착원은 기판 상의 박막의 원재료 증착원이며, The first organic material deposition source is a raw material deposition source of the thin film on the substrate,
    상기 제 2 유기물 증착원은 상기 박막의 특성 개선을 위한 불순물을 상기 박막에 포함시키기 위한 불순물 증착원인 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. Wherein the second organic material evaporation source is vertically movable, it characterized in that the organic material deposition apparatus causes the impurity deposited to include an impurity for improving characteristics of the thin film in the thin film.
  15. 제 11항에 있어서, 12. The method of claim 11,
    상기 다수의 서로 다른 유기물 증착원은 분사 각도가 조절 가능한 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. Vertical mobile organic material deposition apparatus, characterized in that the number of different organic material evaporation source is available the injection angle.
  16. 제 11항에 있어서, 12. The method of claim 11,
    상기 유기물 증착원은 It said organic material evaporation source is
    상기 유기물 분사 노즐부의 유기물 분사 방향의 선단에 위치하여 상기 기판 상에 증착되는 유기물의 증착률 및 증착 두께를 측정하는 측정 센서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치. Vertical mobile organic material deposition apparatus is characterized in that located in the front end of the injection nozzle portion organic organic ejecting direction further comprising a measuring sensor for measuring the deposition rate and the deposition thickness of the organic material to be deposited on the substrate.
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CN (1) CN1743495B (en)

Cited By (66)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100600357B1 (en) * 2005-01-05 2006-07-18 삼성에스디아이 주식회사 Apparatus for sealing the driving shaft for the effusion cell in the deposition system and deposition system having it
KR100964224B1 (en) * 2008-02-28 2010-06-17 삼성모바일디스플레이주식회사 Evaporating apparatus and method for forming thin film
KR20110062604A (en) * 2009-12-03 2011-06-10 엘지디스플레이 주식회사 Source for vacuum thermal evaporation of organic thin film
US8137466B2 (en) 2009-08-24 2012-03-20 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
KR101254931B1 (en) * 2010-09-29 2013-04-16 에스엔유 프리시젼 주식회사 Transportation Apparatus
US8486737B2 (en) 2009-08-25 2013-07-16 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8536057B2 (en) 2009-06-25 2013-09-17 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light emitting device by using the same
US8709161B2 (en) 2009-08-05 2014-04-29 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8707889B2 (en) 2011-05-25 2014-04-29 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US8802200B2 (en) 2009-06-09 2014-08-12 Samsung Display Co., Ltd. Method and apparatus for cleaning organic deposition materials
US8833294B2 (en) 2010-07-30 2014-09-16 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including patterning slit sheet and method of manufacturing organic light-emitting display device with the same
US8846547B2 (en) 2010-09-16 2014-09-30 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the thin film deposition apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8852687B2 (en) 2010-12-13 2014-10-07 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8859325B2 (en) 2010-01-14 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8859043B2 (en) 2011-05-25 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8865252B2 (en) 2010-04-06 2014-10-21 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8871542B2 (en) 2010-10-22 2014-10-28 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method
US8876975B2 (en) 2009-10-19 2014-11-04 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882922B2 (en) 2010-11-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8882921B2 (en) 2009-06-08 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882920B2 (en) 2009-06-05 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882556B2 (en) 2010-02-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8894458B2 (en) 2010-04-28 2014-11-25 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8907326B2 (en) 2009-06-24 2014-12-09 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device and thin film deposition apparatus for manufacturing the same
US8906731B2 (en) 2011-05-27 2014-12-09 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US8916237B2 (en) 2009-05-22 2014-12-23 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of depositing thin film
US8921831B2 (en) 2009-08-24 2014-12-30 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8945979B2 (en) 2012-11-09 2015-02-03 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method
US8945974B2 (en) 2012-09-20 2015-02-03 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display device using an organic layer deposition apparatus
US8951610B2 (en) 2011-07-04 2015-02-10 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8951349B2 (en) 2009-11-20 2015-02-10 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8956697B2 (en) 2012-07-10 2015-02-17 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus and organic light-emitting display apparatus manufactured by using the method
US8962360B2 (en) 2013-06-17 2015-02-24 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the organic layer deposition apparatus
US8968829B2 (en) 2009-08-25 2015-03-03 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
KR101499228B1 (en) * 2008-12-08 2015-03-05 삼성디스플레이 주식회사 Deposition apparatus and a deposition method
US8973525B2 (en) 2010-03-11 2015-03-10 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8974858B2 (en) 2009-05-04 2015-03-10 Samsung Display Co., Ltd. Method of depositing organic material
US8993360B2 (en) 2013-03-29 2015-03-31 Samsung Display Co., Ltd. Deposition apparatus, method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus
US9012258B2 (en) 2012-09-24 2015-04-21 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing an organic light-emitting display apparatus using at least two deposition units
US9018647B2 (en) 2010-09-16 2015-04-28 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US9040330B2 (en) 2013-04-18 2015-05-26 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus
US9051636B2 (en) 2011-12-16 2015-06-09 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus
US9121095B2 (en) 2009-05-22 2015-09-01 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9136476B2 (en) 2013-03-20 2015-09-15 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method
US9150952B2 (en) 2011-07-19 2015-10-06 Samsung Display Co., Ltd. Deposition source and deposition apparatus including the same
US9174250B2 (en) 2009-06-09 2015-11-03 Samsung Display Co., Ltd. Method and apparatus for cleaning organic deposition materials
US9206501B2 (en) 2011-08-02 2015-12-08 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using an organic layer deposition apparatus having stacked deposition sources
US9234270B2 (en) 2011-05-11 2016-01-12 Samsung Display Co., Ltd. Electrostatic chuck, thin film deposition apparatus including the electrostatic chuck, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus by using the thin film deposition apparatus
US9249493B2 (en) 2011-05-25 2016-02-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same
US9257649B2 (en) 2012-07-10 2016-02-09 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic layer on a substrate while fixed to electrostatic chuck and charging carrier using contactless power supply module
US9260778B2 (en) 2012-06-22 2016-02-16 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method
US9279177B2 (en) 2010-07-07 2016-03-08 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US9306191B2 (en) 2012-10-22 2016-04-05 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting display apparatus and method of manufacturing the same
US9347886B2 (en) 2013-06-24 2016-05-24 Samsung Display Co., Ltd. Apparatus for monitoring deposition rate, apparatus provided with the same for depositing organic layer, method of monitoring deposition rate, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus using the same
US9388488B2 (en) 2010-10-22 2016-07-12 Samsung Display Co., Ltd. Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9450140B2 (en) 2009-08-27 2016-09-20 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same
US9461277B2 (en) 2012-07-10 2016-10-04 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting display apparatus
US9466647B2 (en) 2012-07-16 2016-10-11 Samsung Display Co., Ltd. Flat panel display device and method of manufacturing the same
US9496524B2 (en) 2012-07-10 2016-11-15 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method
US9496317B2 (en) 2013-12-23 2016-11-15 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light emitting display apparatus
US9512515B2 (en) 2011-07-04 2016-12-06 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9534288B2 (en) 2013-04-18 2017-01-03 Samsung Display Co., Ltd. Deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using same, and organic light-emitting display apparatus manufactured by using deposition apparatus
US9593408B2 (en) 2009-08-10 2017-03-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including deposition blade
US9624580B2 (en) 2009-09-01 2017-04-18 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9748483B2 (en) 2011-01-12 2017-08-29 Samsung Display Co., Ltd. Deposition source and organic layer deposition apparatus including the same
US10246769B2 (en) 2010-01-11 2019-04-02 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101155905B1 (en) 2009-03-04 2012-07-03 삼성모바일디스플레이주식회사 Atomic Layer Deposition device and fabricating method of atomic layer using the same
JP5452178B2 (en) * 2009-11-12 2014-03-26 株式会社日立ハイテクノロジーズ Vacuum deposition apparatus, a method vacuum deposition, and a method of manufacturing an organic el display device
KR101765249B1 (en) 2011-07-13 2017-08-08 주식회사 원익아이피에스 Deposition apparatus
CN104004995A (en) * 2014-06-05 2014-08-27 上海和辉光电有限公司 Vapor plating device, vapor plating equipment and vapor plating method
CN107761056A (en) * 2016-08-19 2018-03-06 合肥欣奕华智能机器有限公司 Point source, evaporation equipment, and control method of point source

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003347047A (en) 2002-05-28 2003-12-05 Sony Corp Organic film forming device
CN1210435C (en) 2003-06-04 2005-07-13 深圳市创欧科技有限公司 Evaporating and coating apparatus for making organic electroluminescent display

Cited By (76)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100600357B1 (en) * 2005-01-05 2006-07-18 삼성에스디아이 주식회사 Apparatus for sealing the driving shaft for the effusion cell in the deposition system and deposition system having it
KR100964224B1 (en) * 2008-02-28 2010-06-17 삼성모바일디스플레이주식회사 Evaporating apparatus and method for forming thin film
US8186299B2 (en) 2008-02-28 2012-05-29 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Evaporation apparatus and thin film forming method using the same
KR101499228B1 (en) * 2008-12-08 2015-03-05 삼성디스플레이 주식회사 Deposition apparatus and a deposition method
US8974858B2 (en) 2009-05-04 2015-03-10 Samsung Display Co., Ltd. Method of depositing organic material
US9873937B2 (en) 2009-05-22 2018-01-23 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8916237B2 (en) 2009-05-22 2014-12-23 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of depositing thin film
US9121095B2 (en) 2009-05-22 2015-09-01 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882920B2 (en) 2009-06-05 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882921B2 (en) 2009-06-08 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8802200B2 (en) 2009-06-09 2014-08-12 Samsung Display Co., Ltd. Method and apparatus for cleaning organic deposition materials
US9174250B2 (en) 2009-06-09 2015-11-03 Samsung Display Co., Ltd. Method and apparatus for cleaning organic deposition materials
US8907326B2 (en) 2009-06-24 2014-12-09 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device and thin film deposition apparatus for manufacturing the same
US8536057B2 (en) 2009-06-25 2013-09-17 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light emitting device by using the same
US8709161B2 (en) 2009-08-05 2014-04-29 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9593408B2 (en) 2009-08-10 2017-03-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including deposition blade
US8137466B2 (en) 2009-08-24 2012-03-20 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8193011B2 (en) 2009-08-24 2012-06-05 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8921831B2 (en) 2009-08-24 2014-12-30 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8486737B2 (en) 2009-08-25 2013-07-16 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8968829B2 (en) 2009-08-25 2015-03-03 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9450140B2 (en) 2009-08-27 2016-09-20 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same
US9624580B2 (en) 2009-09-01 2017-04-18 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9224591B2 (en) 2009-10-19 2015-12-29 Samsung Display Co., Ltd. Method of depositing a thin film
US8876975B2 (en) 2009-10-19 2014-11-04 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9660191B2 (en) 2009-11-20 2017-05-23 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8951349B2 (en) 2009-11-20 2015-02-10 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
KR20110062604A (en) * 2009-12-03 2011-06-10 엘지디스플레이 주식회사 Source for vacuum thermal evaporation of organic thin film
US10246769B2 (en) 2010-01-11 2019-04-02 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US10287671B2 (en) 2010-01-11 2019-05-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8859325B2 (en) 2010-01-14 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8882556B2 (en) 2010-02-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8973525B2 (en) 2010-03-11 2015-03-10 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9453282B2 (en) 2010-03-11 2016-09-27 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8865252B2 (en) 2010-04-06 2014-10-21 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9136310B2 (en) 2010-04-28 2015-09-15 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8894458B2 (en) 2010-04-28 2014-11-25 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US9279177B2 (en) 2010-07-07 2016-03-08 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8833294B2 (en) 2010-07-30 2014-09-16 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including patterning slit sheet and method of manufacturing organic light-emitting display device with the same
US9018647B2 (en) 2010-09-16 2015-04-28 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8846547B2 (en) 2010-09-16 2014-09-30 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the thin film deposition apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
KR101254931B1 (en) * 2010-09-29 2013-04-16 에스엔유 프리시젼 주식회사 Transportation Apparatus
US8871542B2 (en) 2010-10-22 2014-10-28 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method
US9388488B2 (en) 2010-10-22 2016-07-12 Samsung Display Co., Ltd. Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8882922B2 (en) 2010-11-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8852687B2 (en) 2010-12-13 2014-10-07 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US9748483B2 (en) 2011-01-12 2017-08-29 Samsung Display Co., Ltd. Deposition source and organic layer deposition apparatus including the same
US9234270B2 (en) 2011-05-11 2016-01-12 Samsung Display Co., Ltd. Electrostatic chuck, thin film deposition apparatus including the electrostatic chuck, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus by using the thin film deposition apparatus
US9076982B2 (en) 2011-05-25 2015-07-07 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US8859043B2 (en) 2011-05-25 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8707889B2 (en) 2011-05-25 2014-04-29 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US9249493B2 (en) 2011-05-25 2016-02-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same
US8906731B2 (en) 2011-05-27 2014-12-09 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US8951610B2 (en) 2011-07-04 2015-02-10 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US9777364B2 (en) 2011-07-04 2017-10-03 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9512515B2 (en) 2011-07-04 2016-12-06 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9150952B2 (en) 2011-07-19 2015-10-06 Samsung Display Co., Ltd. Deposition source and deposition apparatus including the same
US9206501B2 (en) 2011-08-02 2015-12-08 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using an organic layer deposition apparatus having stacked deposition sources
US9051636B2 (en) 2011-12-16 2015-06-09 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus
US9260778B2 (en) 2012-06-22 2016-02-16 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method
US9496524B2 (en) 2012-07-10 2016-11-15 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method
US9257649B2 (en) 2012-07-10 2016-02-09 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic layer on a substrate while fixed to electrostatic chuck and charging carrier using contactless power supply module
US9461277B2 (en) 2012-07-10 2016-10-04 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting display apparatus
US8956697B2 (en) 2012-07-10 2015-02-17 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus and organic light-emitting display apparatus manufactured by using the method
US9466647B2 (en) 2012-07-16 2016-10-11 Samsung Display Co., Ltd. Flat panel display device and method of manufacturing the same
US8945974B2 (en) 2012-09-20 2015-02-03 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display device using an organic layer deposition apparatus
US9012258B2 (en) 2012-09-24 2015-04-21 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing an organic light-emitting display apparatus using at least two deposition units
US9306191B2 (en) 2012-10-22 2016-04-05 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting display apparatus and method of manufacturing the same
US8945979B2 (en) 2012-11-09 2015-02-03 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method
US9136476B2 (en) 2013-03-20 2015-09-15 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method
US8993360B2 (en) 2013-03-29 2015-03-31 Samsung Display Co., Ltd. Deposition apparatus, method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus
US9534288B2 (en) 2013-04-18 2017-01-03 Samsung Display Co., Ltd. Deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using same, and organic light-emitting display apparatus manufactured by using deposition apparatus
US9040330B2 (en) 2013-04-18 2015-05-26 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus
US8962360B2 (en) 2013-06-17 2015-02-24 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the organic layer deposition apparatus
US9347886B2 (en) 2013-06-24 2016-05-24 Samsung Display Co., Ltd. Apparatus for monitoring deposition rate, apparatus provided with the same for depositing organic layer, method of monitoring deposition rate, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus using the same
US9496317B2 (en) 2013-12-23 2016-11-15 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light emitting display apparatus

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