KR101196562B1 - Evaporation cell with high material usage for OLED manufacturing - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기 소자의 양산 제작에 있어, 유기물 증착 공정 중, 유기박막을 제작하기 위한 유기물 증발원의 사용에 있어서, 유기물의 소모량을 향상하기 위한 발명으로서, 일주일 이상 연속사용이 가능하도록 하는 대용량의 직육면체의 도가니 상부에 원통형의 유기물 분출구를 다수 개 설치하여, 각 분출구의 길이와 직경을 조절하여, 분출구에서 나오는 유기 가스의 분포를 조절한 후, 기판에 유기물이 쌓여 유기박막을 이룰 시, 유기물의 대부분이 기판상의 유기 박막 형성에 사용되도록 하여, 기존의 유기물 소모량이 5% 정도 되는 것을 40%이상 향상하도록 하는 유기물 소모량의 향상을 위한 유기소자의 양산제작 용 증발원에 관한 것이다.The present invention is an invention for improving the consumption of organic materials in the production of organic devices, in the use of an organic evaporation source for producing an organic thin film during the organic vapor deposition process, a large-capacity rectangular parallelepiped that allows continuous use for more than a week By installing a plurality of cylindrical organic matter outlets on the top of the crucible, by adjusting the length and diameter of each outlet, controlling the distribution of organic gas from the outlet, organic matter is accumulated on the substrate to form an organic thin film, most of the organic matter The present invention relates to an evaporation source for mass production of an organic device for improving organic consumption, which is used to form an organic thin film on the substrate, thereby improving the organic consumption by 40% or more.

유기소자, 대면적 기판, 유기물 소모량, 증발원 Organic element, large area substrate, organic material consumption, evaporation source      

Description

유기물 소모량 향상용 유기소자 양산 제작용 증발원{Evaporation cell with high material usage for OLED manufacturing} Evaporation source for mass production of organic devices to improve organic material consumption {Evaporation cell with high material usage for OLED manufacturing}

도1은 기존의 점증발원을 사용한 경우의 박막의 분포를 나타내는 실시도,1 is an embodiment showing the distribution of a thin film in the case of using a conventional evaporation source,

도2는 기존의 점증발원을 사용하고 기판을 회전한 경우의 박막의 분포를 나타내는 실시도,Figure 2 is an embodiment showing the distribution of a thin film in the case of rotating the substrate using a conventional evaporation source;

도3은 본 발명에 따른 유기소자 양산 제작용 증발원에 사용되는 제1실시예의 직육면체 도가니를 사용한 경우의 박막의 분포를 나타내는 실시도,Figure 3 is an embodiment showing the distribution of a thin film in the case of using the cuboid crucible of the first embodiment used in the evaporation source for producing organic devices mass production according to the present invention,

도4의 4-1), 4-2), 4-3)은 본 발명에 따른 유기소자 양산 제작용 증발원에 사용되는 직육면체 도가니 2종류의 모습과 시뮬레이션 그래프,4-1), 4-2), and 4-3) of FIG. 4 are views and simulation graphs of two types of cuboid crucibles used in the evaporation source for manufacturing an organic device according to the present invention;

도5는 본 발명에 따른 유기소자 양산 제작용 증발원의 직육면체 도가니에 사용되는 열선의 사시도,5 is a perspective view of a heating wire used in a cuboid crucible of an evaporation source for producing an organic device according to the present invention;

도6은 본 발명에 따른 유기소자 양산 제작용 증발원에 사용되는 제2실시예의 꺾어진 분출구를 가진 직육면체 도가니를 이용하여 수직으로 세워져 회전하는 기판에 박막을 형성하는 것을 나타내는 실시도,Figure 6 is an embodiment showing the formation of a thin film on a vertically erected substrate using a cuboid crucible having a bent spout of the second embodiment used in the evaporation source for producing an organic device mass production according to the present invention,

도7은 도6의 꺾어진 분출구를 가진 직육면체 도가니의 측면도,FIG. 7 is a side view of a cuboid crucible having a curved spout of FIG. 6;

도8은 본 발명에 따른 유기소자 양산 제작시 유기물 소모량을 향상시키기 위한 증발원 구성의 단면도,Figure 8 is a cross-sectional view of the configuration of the evaporation source for improving the organic consumption in the production of organic devices according to the present invention,

도9는 본 발명에 따른 유기소자 양산 제작용 증발원에 사용되는 직육면체 도가니의 제3실시예의 단면도.9 is a cross-sectional view of a third embodiment of a cuboid crucible used in an evaporation source for producing an organic device according to the present invention.

<도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

1: 기판 2: 유기물 박막1: substrate 2: organic thin film

3: 포인트 소스 4: 기판 회전장치3: point source 4: substrate rotator

5: 직육면체 도가니 6: 긴 원통형 분출구5: cuboid crucible 6: long cylindrical spout

7: 짧은 원통형 분출구 8: 가열선7: short cylindrical outlet 8: heating wire

9: 도가니 가열부 10: 원통형 분출구 가열부9: crucible heating part 10: cylindrical jet heating part

11: 기판 고정장치 12: 꺽어진 원통형 분출구11: substrate holder 12: angled cylindrical spout

13: 바닥판 14: 물관13: bottom plate 14: water pipe

15: 금속판 16: 스크류15: metal plate 16: screw

17: 도가니 덮개 18: 가스켓17: crucible cover 18: gasket

본 발명은 유기소자의 양산제작용 증발원에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유기박막을 제작하기 위한 유기물 증착공정 중 유기물의 소모량을 향상시켜 일주일 이상 연속사용이 가능하도록, 대용량의 직육면체의 도가니 상부에 원통형의 유기물 분출구를 다수 개 설치하고 각 분출구의 길이와 직경을 조절하여, 분출구에서 나오는 유기 가스의 분포를 조절하여, 기존의 유기물 소모량이 5% 정도 되는 것을 40%이상 향상하도록 하는 유기물 소모량의 향상을 위한 유기소자의 양산제작용 증발원에 관한 것이다.
통상적으로, 유기EL 소자를 제작하는데 있어서, 가장 많이 사용하는 방법이 유기물 증착 기술이다. 즉, 글라스와 같은 기판을 고진공 챔버에 설치하고, 유기물을 기판에 코팅하여 유기박막을 제작하기 위하여, 유기물이 담긴 도가니를 가열하여 유기물이 증발하게 함으로써, 증발된 유기물이 기판에 쌓이면서 유기소자의 유기박막을 제작하게 된다.The present invention relates to a mass-producing evaporation source of an organic device, and more particularly, to improve the consumption of organic materials during the organic material deposition process for manufacturing an organic thin film to enable continuous use for more than a week, the cylindrical upper portion of the crucible of a large rectangular parallelepiped To improve organic consumption, install a plurality of organic material outlets, and adjust the length and diameter of each outlet, and adjust the distribution of organic gas from the outlet to improve the organic consumption by 40% or more. The present invention relates to a mass production evaporation source of an organic device.
In general, in fabricating an organic EL device, the most commonly used method is an organic material deposition technique. That is, a substrate such as glass is installed in a high vacuum chamber, and in order to produce an organic thin film by coating an organic material on the substrate, the crucible containing the organic material is heated to allow the organic material to evaporate, whereby the evaporated organic material is accumulated on the substrate and the organic material of the organic device is accumulated. A thin film is produced.

도1은 기존의 점증발원을 사용한 경우의 박막의 분포를 나타내는 실시도이고, 도2는 기존의 점증발원을 사용하고 기판을 회전한 경우의 박막의 분포를 나타내는 실시도이다.
도1에 도시된 바와 같이, 기판(1)을 설치하고, 기판의 하부에 포인트소스 또는 점증발원(3)으로 알려진 증발원을 사용하면, 기판의 가운데 부분에 쌓이는 유기물의 양이 기판의 가장자리에 쌓이는 양보다 많아 전체적인 박막(2)의 두께 균일도가 나쁘다. 이를 개선하기 위하여, 일정한 길이의 TS(기판과 증발원사이의 거리)를 멀리 유지하면서 증착을 하기도 하는데, 이때, 유기박막의 두께 균일도는 향상되나, 기판에 실제로 쌓이는 유기물의 양이 5% 미만이고, 대부분의 유기물은 고진공 챔버의 벽에 쌓여 코팅되거나, 펌프로 빨려나가, 고가의 유기물의 소모량이 매우 나쁘므로, 유기소자의 원가상승에 영향을 미치고 있다.1 is an embodiment showing the distribution of a thin film when using a conventional evaporation source, Figure 2 is an embodiment showing the distribution of a thin film when rotating the substrate using a conventional evaporation source.
As shown in Fig. 1, when the substrate 1 is installed and an evaporation source known as a point source or evaporation source 3 is used at the bottom of the substrate, the amount of organic matter accumulated at the center of the substrate is accumulated at the edge of the substrate. It is larger than the quantity, and the thickness uniformity of the whole thin film 2 is bad. In order to improve this, deposition may be performed while keeping a certain length of TS (distance between the substrate and the evaporation source), where the thickness uniformity of the organic thin film is improved, but the amount of organic matter actually accumulated on the substrate is less than 5%, Most organic materials are stacked on the walls of the high vacuum chamber, coated or sucked by a pump, and the consumption of expensive organic materials is very bad, thus affecting the cost of organic devices.

또한, 도1의 문제점을 개선하기 위해 도2에 도시된 바와 같이, 일정 길이의 OFFSET(기판의 중심선에서부터 증발원 까지의 수평거리)을 멀리 유지하면서 기판의 회전장치(4)를 사용해, 기판(1)을 3~10 RPM의 저속으로 회전하면서, 유기물 증착을 시도하기도 하는데, 이때, 유기박막(2)의 균일도는 좋아지나, 여전히 유기물 소모량이 매우 나빠(약 5%), 이의 개선이 절실히 필요하다.In addition, in order to improve the problem of FIG. 1, as shown in FIG. 2, by using the rotating device 4 of the substrate while keeping a certain length of OFFSET (horizontal distance from the centerline of the substrate to the evaporation source), the substrate 1 ) Is attempted to deposit organic materials while rotating at a low speed of 3 to 10 RPM. At this time, the uniformity of the organic thin film 2 is improved, but the organic consumption is still very low (about 5%), and an improvement thereof is urgently needed. .

상기의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 제1목적은 직육면체의 도가니와 원통형 분출구를 조합하여 구성하는 증발원을 소개함으로써, 유기물 사용율을 증가시켜, 유기소자의 양산 제작 시 유기박막의 두께 균일도를 5% 미만으로 유지하면서도, 유기물 소모량을 획기적으로 증대시키는 신개념의 유기물 소모량 향상용 유기소자 양산 제작용 증발원을 제공하는 것이다.
또한 본 발명의 제2목적은 가스 상태의 유기물이 분출구 이외의 틈으로 분출되는 것을 방지하기 위한 가스켓을 적용한 유기소자 양산 제작용 증발원을 제공하는 것이다. In order to solve the above problems, the first object of the present invention is to introduce an evaporation source consisting of a combination of a crucible and a cylindrical spout of the rectangular parallelepiped, thereby increasing the use of organic matter, the thickness uniformity of the organic thin film during the mass production of organic devices 5 It is to provide an evaporation source for mass production of organic devices for improving organic consumption of a new concept that significantly increases organic consumption while maintaining less than%.
In addition, a second object of the present invention is to provide an evaporation source for manufacturing an organic device mass-produced by applying a gasket to prevent the gaseous organic matter from being ejected into a gap other than the ejection opening.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다.
도3은 본 발명에 따른 유기소자 양산 제작용 증발원에 사용되는 제1실시예의 직육면체 도가니를 사용한 경우의 박막의 분포를 나타내는 실시도, 도4의 4-1), 4-2), 4-3)은 본 발명에 따른 유기소자 양산 제작용 증발원에 사용되는 직육면체 도가니 2종류의 모습과 시뮬레이션 그래프, 도5는 본 발명에 따른 유기소자 양산 제작용 증발원의 직육면체 도가니에 사용되는 열선의 사시도, 도6은 본 발명에 따른 유기소자 양산 제작용 증발원에 사용되는 제2실시예의 꺾어진 분출구를 가진 직육면체 도가니를 이용하여 수직으로 세워져 회전하는 기판에 박막을 형성하는 것을 나타내는 실시도, 도7은 도6의 꺾어진 분출구를 가진 직육면체 도가니의 측면도, 도8은 본 발명에 따른 유기소자 양산 제작시 유기물 소모량을 향상시키기 위한 증발원 구성의 단면도, 도9는 본 발명에 따른 유기소자 양산 제작용 증발원에 사용되는 직육면체 도가니의 제3실시예의 단면도이다.
도3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유기물 소모량 향상용 유기소자 양산용 증발원은 유기물을 담는 직육면체의 도가니(5)가 있고, 그 상부에 다수개의 원형의 구멍을 내어, 그 다수개 구멍에 원통형의 유기물 분출부(6,7)가 각각 조립되게 하는 것을 특징으로 한다.
즉, 본 발명에 따른 유기물 소모량 향상용 유기소자 양산용 증발원은 도가니 상부 중앙부에 놓이는 원통형 분출부(7)만을 통하여 유기물 가스가 분출되어 기판에 주로 쌓이면, 박막의 두께 균일도가 떨어지나, 도가니 가장자리에 놓인 또 다른 원통형 분출부(6)를 통하여 유기물 가스가 분출되게 하여 박막의 두께 균일도가 향상되도록 보상하는 가스를 분출하는 것이다. 또한, 이와 같이 서로 다른 분출부를 통하여 기판에 쌓이게 되는 유기물의 가스양을 조절하기 위하여, 원통형 분출부(6,7)의 각 직경(d1, d2)과 길이(L1,L2)를 서로 다르게 제작하여 설치할 수도 있다.(도4-1 참조) Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
Figure 3 is an embodiment showing the distribution of a thin film in the case of using the cuboid crucible of the first embodiment used in the evaporation source for the production of organic device mass production according to the present invention, 4-1), 4-2), 4-3 of Figure 4 ) Is a state and simulation graph of two types of rectangular parallelepiped crucibles used in the mass production of organic devices according to the present invention, Figure 5 is a perspective view of a heating wire used in a rectangular parallelepiped crucible of the organic device mass production according to the present invention, Figure 6 Is an embodiment showing the formation of a thin film on a vertically standing and rotating substrate using a cuboid crucible having a bent spout of the second embodiment used in the evaporation source for producing an organic device according to the present invention, FIG. Figure 9 is a side view of a cuboid crucible having a spout, Figure 8 is a cross-sectional view of the configuration of the evaporation source for improving the organic consumption in the production of organic devices according to the present invention, Figure 9 A first cross-sectional view a third embodiment of a rectangular parallelepiped crucibles used in an evaporation source for the production of organic device fabricated in accordance with the invention.
As shown in Fig. 3, the evaporation source for mass production of organic elements for improving organic consumption according to the present invention has a crucible 5 of a rectangular parallelepiped containing organic matter, and has a plurality of circular holes formed thereon, It is characterized in that the cylindrical organic material ejecting parts (6, 7) are assembled respectively.
That is, in the evaporation source for mass production of organic elements for improving organic consumption according to the present invention, when organic gas is ejected mainly through the cylindrical ejection portion 7 placed in the upper center of the crucible and accumulated mainly on the substrate, the thickness uniformity of the thin film falls, but is placed at the edge of the crucible. The organic gas is blown out through the cylindrical blower 6 to blow off the gas to compensate for the uniformity of the thickness of the thin film. In addition, in order to control the gas amount of the organic matter accumulated on the substrate through the different ejection portion, each diameter (d1, d2) and the length (L1, L2) of the cylindrical ejection portion (6, 7) is manufactured and installed differently It may also be (see Figure 4-1).

참고로, 여러 기술 논문에 의하면, 유기물 가스는 분출구의 직경이 크고, 길이가 길수록 분출구의 중심축 방향으로 더욱 많은 가스가 분출되며, 분출구의 직경이 작고 길이가 짧을수록 분출되는 가스가 더욱 넓게 퍼져서 분출되는 경향이 있는 것으로 알려져 있다.For reference, according to several technical papers, the organic gas has a larger diameter of the outlet, and the longer the length, the more gas is ejected toward the central axis of the outlet, and the smaller the diameter and the shorter the length, the wider the gas is. It is known to be prone to ejection.

이렇게 분출되는 가스양을 조절하면, 도 4-3에 도시된 바와 같이, 서로 다른 분출구에서 나온 가스가 기판에 쌓일 때의 분포가 다르게 되어, 적당한 크기의 직경과 길이의 분출구를 사용하면, 전체기판에 쌓이는 유기물이 고르게 쌓이게 되어 전체적으로 균일한 박막의 두께를 얻게 되는 것이다. 또한, 이때 가운데 위치한 분출구(7)에서 나오는 유기물의 60% 정도는 기판에 쌓이고, 가장자리의 분출구에서 나오는 유기물의 약 20%가 기판에 쌓이므로, 전체적으로 약 80%의 절반인 40%정도가 기판의 유기박막을 구성하므로 현재의 방법에서 알려진 기판에 실제로 쌓이는 유기물의 양인 5%의 유기물 소모량을 획기적으로 개선하게 되는 것이다.(도 4-3 참조) By adjusting the amount of gas to be ejected in this way, as shown in Figure 4-3, when the gas from the different ejection outlets are stacked on the substrate is different, using an ejection outlet of a suitable diameter and length, the entire substrate The stacked organic material is evenly stacked, so that the overall uniform film thickness is obtained. In this case, about 60% of the organics coming out of the central jetting hole 7 are piled up on the substrate, and about 20% of the organics coming out of the edge jetting is piled up on the substrate. By constructing the organic thin film, the organic material consumption of 5%, which is the amount of organic matter actually accumulated on the substrate known in the present method, is remarkably improved (see FIG. 4-3).

이와 같이 유기물의 사용량을 더욱 개선하기 위한 증발원 구성은, 도4-2와 같이 도가니 상부에 3개의 원통형 분출구를 구성할 수도 있다. 즉, 원통형 분출구는 양 가장자리의 원통형 분출구와 중앙의 원통형 분출구 3개로 구성되며, 이 3개의 원통형 분출구가 대칭성을 갖도록, 양 가장자리의 원통형 분출구는 가급적 동일한 크기의 직경(d2)과 동일한 크기의 길이(L2)로 구성하고, 중앙의 원통형 분출구는 직경과 길이의 크기가 양 가장자리의 원통형 분출구의 직경과 길이보다 작고 짧게, 즉 직경(d1)과 길이(L1)으로 구성한다. 즉, d1<d2, L1<L2.In this way, the evaporation source configuration for further improving the amount of organic matter used may comprise three cylindrical spouts at the top of the crucible as shown in Fig. 4-2. That is, the cylindrical spout consists of a cylindrical spout at both edges and three cylindrical spouts in the center, so that the three cylindrical spouts are symmetrical, the cylindrical spouts at both edges are preferably the same size (diameter d2) and the same length ( L2), and the central cylindrical spout has a diameter and a length smaller and shorter than the diameter and length of the cylindrical spouts at both edges, that is, the diameter d1 and the length L1. That is, d1 <d2, L1 <L2.

또한, 상기의 도가니와 원통형 분출구들을 동시에 가열하기 위하여, 도5 에서와 같이 지그재그형상의 도가니 가열부(9)와 권선형상의 원통형 분출구 가열부(10)가 일체로 형성된 가열선(8)인 열선을 제작한다. 이때, 원통형 분출구를 가열하는 이유는, 유기물이 증발하여 분출구를 빠져 나오다, 도가니보다 차가운 분출구의 온도 차이를 느끼게 되어, 분출구의 벽에 응축되는 현상을 방지하기 위한 것이다.In addition, in order to simultaneously heat the crucible and the cylindrical spout, the heating wire 8 is a heating wire 8 in which a zigzag-shaped crucible heating part 9 and a winding-shaped cylindrical spout heating part 10 are integrally formed. To produce. At this time, the reason for heating the cylindrical jet port is to prevent the phenomenon of condensation on the wall of the jet port because the organic matter evaporates and exits the jet port, and the temperature difference of the jet port is colder than the crucible.

또한, 기판이 대면적화될 시, 기존의 방법으로 고진공 챔버의 상부에 얇은 글라스 기판을 고정하면, 기판이 처지게 되어, 박막의 균일도를 확보하기가 어렵게 되기도 하며, 기판을 고정하기도 어렵다. 이의 개선을 위하여, 도6 에서와 같이 수직으로 구성된 기판 고정장치(11)에 수직으로 대형의 유리기판(1)을 고정하여 회전하면서 유기물 증착을 하도록 한다. 이때, 도가니 상부에 다수개의 절곡되어 꺽어진 형상을 가진 원통형 분출구(12)를 형성하여, 도6에서와 같이 수직으로 배치된 유리기판(1) 정면에 설치하여 유기물을 증발하면, 대형의 기판 처짐에 의한 증착의 어려움을 쉽게 해결할 수 있게 되는 것이다. 이때, 기판의 위치에 따라, 원통형 분출구의 꺽어진 각도(A)를 0도에서 180도 사이의 값을 갖도록 조절하여 제작할 수도 있음은 물론이다.(도7 참조)In addition, when the substrate is large in area, fixing the thin glass substrate on the upper portion of the high vacuum chamber by the conventional method, the substrate is sagging, it is difficult to secure the uniformity of the thin film, it is also difficult to fix the substrate. In order to improve this, organic material is deposited while rotating by fixing the large glass substrate 1 vertically to the substrate fixing device 11 configured vertically as shown in FIG. At this time, the cylindrical spout 12 having a plurality of bent and bent shape is formed on the top of the crucible and installed on the front of the glass substrate 1 vertically arranged as shown in FIG. It will be easy to solve the difficulty of deposition by. At this time, according to the position of the substrate, it is also possible to adjust the bending angle (A) of the cylindrical jet port to have a value between 0 degrees and 180 degrees can be manufactured (see Fig. 7).

또한, 본 발명의 증발원은 도가니(5)를 지지하는 바닥판(13)에 물관(14)을 형성하여 물이 순환하도록 하고, 도가니(5) 주위에 구리나 알루미늄과 같은 열전도성이 뛰어난 금속판(15)을 여러 겹 둘러싸고 여러 겹의 금속판(15)이 바닥판(13)과 밀착 고정되도록 스크류(16)로 결합시킨 구조를 갖도록 하는 것이 바람직하다. 이는 도가니의 가열열선 및 챔버내의 온도로부터 기판으로의 열전달을 최소화하여 기판이나 마스크가 처지지 않도록 하고 가열 후 냉각이 빨리 이루어지도록 하고 유지보수의 편리성을 위해 이탈착이 쉽도록 하기 위함이다. (도 8 참조)In addition, the evaporation source of the present invention forms a water pipe 14 in the bottom plate 13 supporting the crucible 5 to circulate water, and a metal plate having excellent thermal conductivity such as copper or aluminum around the crucible 5 ( It is preferable to have a structure in which 15 layers are enclosed and several layers of metal plates 15 are coupled by screws 16 to be tightly fixed to the bottom plate 13. This is to minimize the heat transfer from the heating heating wire and the temperature in the chamber to the substrate so that the substrate or the mask does not sag, the cooling is performed quickly after heating, and easy to detach and detach for convenience of maintenance. (See FIG. 8)

또한, 본 발명의 증발원에 사용되는 도가니(5)는 도가니몸체와 도가니 덮개(17)로 이루어지고, 도가니몸체와 도가니 덮개(17) 사이에는 가스켓(18)이 사용될 수 있다.
도9에 도시된 바와 같이, 직육면체 도가니몸체와 도가니 덮개가 연결되는 부분을 따라 도가니에 홈이 나 있고 그 홈에 가스누설 방지용 가스켓(18)이 설치된다.
이와 같은 가스켓(18)은, 도가니 내에서 가열되어 가스상태가 된 유기물이 분출구 뿐만 아니라 도가니에 있는 모든 틈으로 분출되어 증발원 내에 증착되거나 챔버 벽에 증착되고 유기물 소모량을 떨어뜨리는 한 원인이 되는 것을 방지하기 위한 것으로, 카본종이와 같은 신축성과 밀도성이 좋은 물질을 사용할 수 있다.In addition, the crucible 5 used in the evaporation source of the present invention consists of a crucible body and a crucible cover 17, and a gasket 18 may be used between the crucible body and the crucible cover 17.
As shown in Fig. 9, the crucible is grooved along a portion where the rectangular parallelepiped crucible body and the crucible cover are connected, and a gas leakage preventing gasket 18 is installed in the groove.
Such a gasket 18 prevents organic matter heated in the crucible from becoming a gaseous state not only to the spout but also to all the gaps in the crucible to be deposited in an evaporation source or deposited on the chamber wall and lowering the organic consumption. In order to do so, a material having good elasticity and density such as carbon paper can be used.

상기의 유기소자의 증착용 증발원 발명은 고 진공 용기 내에서 유기박막을 제작하기 위한 유기물 증발원의 사용에 있어서, 일주일 이상 연속사용이 가능하도록 하는 대용량의 직육면체의 도가니 상부에 원통형의 유기물 분출구를 다수 개 설치하여, 각 분출구의 길이(또는 높이)와 직경을 조절하여, 분출구에서 나오는 유기 가스의 분포를 조절한 후, 기판에 유기물이 쌓여 유기박막을 이룰 시, 회전하는 기판상에 형성되는 유기박막의 두께 균일도가 5%이하가 되도록 하며, 유기물의 대부분이 기판상의 유기 박막 형성에 사용되도록 하여, 기존의 기판에 유기물이 쌓여 유기박막을 이루는 유기물 소모량이 5% 정도 되는 것을 40%이상 향상하도록 하는 효과가 있다.Evaporation source for the deposition of the organic device is an organic evaporation source for producing an organic thin film in a high vacuum vessel, a plurality of cylindrical organic material outlet on the top of the crucible of a large rectangular parallelepiped to enable continuous use for more than a week By adjusting the length (or height) and diameter of each jet port to control the distribution of the organic gas exiting the jet port, and then forming an organic thin film on the substrate to form an organic thin film. The thickness uniformity is 5% or less, and most of the organic material is used to form the organic thin film on the substrate, and the organic material is accumulated on the existing substrate to increase the consumption of the organic material forming the organic thin film by about 5%. There is.

Claims (16)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 유기물 소모량을 향상시키기 위한 증발원에 있어서,In the evaporation source to improve the organic consumption, 상부에 다수개의 구멍이 형성된 직육면체의 도가니; 및A crucible of a rectangular parallelepiped having a plurality of holes formed therein; And 상기 다수개의 구멍에 각각 조립되는 다수개의 원통형 분출구;를 포함하는 것이 특징이며,It characterized in that it comprises a; a plurality of cylindrical spouts each assembled in the plurality of holes, 상기 다수개의 원통형 분출구는 중앙의 원통형 분출구를 중심으로 대칭성을 갖도록 배열되며, 상기 중앙의 원통형 분출구의 직경과 길이의 크기는 가장자리에 배치되는 원통형 분출구의 직경과 길이의 크기보다 작고 짧은 크기로 구성되는 것을 특징으로 하는 유기소자 양산 제작용 증발원.The plurality of cylindrical jet nozzles are arranged to have a symmetry around the central cylindrical jet nozzle, the diameter and length of the central cylindrical jet nozzle is composed of a smaller and shorter size than the diameter and length of the cylindrical jet nozzle disposed at the edge Evaporation source for mass production of organic devices, characterized in that. 제8항에 있어서, 9. The method of claim 8, 상기 다수개의 원통형 분출구는 각 반경과 길이의 크기가 서로 다르게 조립되는 것을 특징으로 하는 유기소자 양산 제작용 증발원.The plurality of cylindrical spouts evaporation source for producing an organic device, characterized in that the size of each radius and length are assembled differently. 제8항에 있어서, 9. The method of claim 8, 상기 직육면체의 도가니와 상기 원통형 분출구를 동시에 가열하도록, 지그재그형상의 도가니 가열부와 권선형상의 원통형 분출구 가열부가 일체로 형성된 열선을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기소자 양산 제작용 증발원.An evaporation source for producing an organic device according to claim 1, further comprising a heating wire in which a zigzag-shaped crucible heating portion and a winding-shaped cylindrical spray outlet heating portion are integrally heated so as to simultaneously heat the crucible and the cylindrical spray outlet of the rectangular parallelepiped. 제8항에 있어서, 9. The method of claim 8, 상기 원통형 분출구는 절곡되어 꺽어진 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 유기소자 양산 제작용 증발원.The cylindrical jet port is an evaporation source for producing an organic device, characterized in that the bent and bent shape. 제 11 항에 있어서, The method of claim 11, 상기 원통형 분출구의 꺽어진 각도(A)가 0도에서 180도 사이의 값인 것을 특징으로 하는 유기소자 양산 제작용 증발원.Evaporation source for mass production of organic devices, characterized in that the bending angle (A) of the cylindrical jet port is a value between 0 degrees and 180 degrees. 유기물 소모량을 향상시키기 위한 증발원에 있어서,In the evaporation source to improve the organic consumption, 상부에 다수개의 구멍이 형성된 직육면체의 도가니; 및A crucible of a rectangular parallelepiped having a plurality of holes formed therein; And 상기 다수개의 구멍에 각각 조립되는 다수개의 원통형 분출구;를 포함하여 구성되고,It is configured to include; and a plurality of cylindrical blower outlets each assembled in the plurality of holes, 상기 도가니를 지지하는 바닥판을 더 포함하고,Further comprising a bottom plate for supporting the crucible, 상기 바닥판에는 물이 순환하는 물관이 형성되며, 상기 바닥판과 연결되는 금속판이 상기 도가니를 둘러싸도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기소자 양산 제작용 증발원.The bottom plate is formed with a water pipe circulating water, the evaporation source for producing an organic device mass production, characterized in that the metal plate connected to the bottom plate is configured to surround the crucible. 제 13항에 있어서,14. The method of claim 13, 상기 금속판은 열전도성이 높은 구리나 알루미늄인 것을 특징으로 하는 유기소자 양산 제작용 증발원.The metal plate is an evaporation source for mass production of organic devices, characterized in that the high thermal conductivity copper or aluminum. 유기물 소모량을 향상시키기 위한 증발원에 있어서,In the evaporation source to improve the organic consumption, 상부에 다수개의 구멍이 형성된 직육면체의 도가니; 및A crucible of a rectangular parallelepiped having a plurality of holes formed therein; And 상기 다수개의 구멍에 각각 조립되는 다수개의 원통형 분출구;를 포함하여 구성되고,It is configured to include; and a plurality of cylindrical blower outlets each assembled in the plurality of holes, 상기 직육면체 도가니는 도가니몸체와 도가니 덮개로 이루어지고, 상기 도가니몸체와 상기 도가니 덮개 사이에는 가스누설 방지용 가스켓이 더 설치되는 것을 특징으로 하는 유기소자 양산 제작용 증발원.The cuboid crucible is made of a crucible body and a crucible cover, and an evaporation source for producing an organic device according to claim 1, wherein a gasket for preventing gas leakage is further installed between the crucible body and the crucible cover. 제 8항 내지 제 15항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 8 to 15, 상기 원통형 분출구는 양 가장자리의 원통형 분출구와 중앙의 원통형 분출구 3개로 구성되며, 상기 3개의 원통형 분출구가 대칭성을 갖도록, 상기 양 가장자리의 원통형 분출구는 동일한 크기의 직경(d2)과 동일한 크기의 길이(L2)로 구성하고, 상기 중앙의 원통형 분출구는 직경과 길이의 크기가 상기 양 가장자리의 원통형 분출구의 직경과 길이보다 작고 짧은 직경(d1)과 길이(L1)로 구성하는 것을 특징으로 하는 유기소자 양산 제작용 증발원.The cylindrical spout comprises a cylindrical spout at both edges and three cylindrical spouts in the center, so that the three cylindrical spouts have symmetry, the cylindrical spouts at both edges have the same size (d2) and the same length (L2). And the central cylindrical spout of the center has a diameter and a length smaller than the diameter and length of the cylindrical spouts of both edges, and has a short diameter d1 and a length L1. Evaporation source.
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US20100285218A1 (en) * 2008-12-18 2010-11-11 Veeco Instruments Inc. Linear Deposition Source

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004027252A (en) * 2002-06-21 2004-01-29 Samsung Nec Mobile Display Co Ltd Heating vessel of organic thin film deposition system
JP2004095275A (en) * 2002-08-30 2004-03-25 Sony Corp Manufacturing device of organic electroluminescent element
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004027252A (en) * 2002-06-21 2004-01-29 Samsung Nec Mobile Display Co Ltd Heating vessel of organic thin film deposition system
JP2004095275A (en) * 2002-08-30 2004-03-25 Sony Corp Manufacturing device of organic electroluminescent element
JP2004214158A (en) 2003-01-09 2004-07-29 Masaki Tsuneoka Illumination power source device

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