KR102260575B1 - Thin Film Deposition Apparatus with Multiple Evaporation Source - Google Patents

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KR102260575B1
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Abstract

본 발명은 박막 증착장치에 관한 것으로, 내부에 기판이 지지되는 증착챔버와, 상기 기판에 증착시키기 위한 증착재료가 수용되는 복수의 도가니와, 상기 도가니와 각각 결합되어 기화된 증착재료를 다수의 노즐을 통해 분사하도록 일렬로 배치되는 복수의 분배관과, 상기 분배관을 가열하기 위해 상기 분배관의 외면과 마주보며 위치하도록 독립적으로 설치되는 분배관 히터와, 상기 도가니를 가열하여 상기 증착재료를 기화시키기 위한 도가니 히터와, 상기 노즐에 대응되는 배출구가 형성되어 상기 분배관의 상부에 설치되는 상부 플레이트를 포함함으로써, 도가니의 높이를 줄여 챔버 높이를 줄일 수 있고, 기판의 좌/우 증착을 독립적으로 하여 대칭 또는 비대칭 증착이 가능하도록 할 수 있다. The present invention relates to a thin film deposition apparatus, comprising: a deposition chamber in which a substrate is supported; a plurality of crucibles for accommodating deposition materials for deposition on the substrate; A plurality of distribution tubes arranged in a line to spray through, a distribution tube heater independently installed to face the outer surface of the distribution tube to heat the distribution tube, and heating the crucible to vaporize the deposition material By including a crucible heater for heating and an upper plate having an outlet corresponding to the nozzle and installed on the upper part of the distribution pipe, it is possible to reduce the height of the crucible to reduce the height of the chamber, and the left and right deposition of the substrate can be performed independently Thus, it is possible to enable symmetric or asymmetric deposition.

Description

복수의 증발원을 갖는 박막 증착장치{Thin Film Deposition Apparatus with Multiple Evaporation Source}Thin Film Deposition Apparatus with Multiple Evaporation Source

본 발명은 박막 증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 도가니의 높이를 줄여 챔버 높이를 줄일 수 있고, 기판의 좌/우 증착을 독립적으로 하여 대칭 또는 비대칭 증착이 가능하도록 복수의 증발원을 갖는 박막 증착장치에 관한 것이다. The present invention relates to a thin film deposition apparatus, and more particularly, to reduce the height of a crucible to reduce the height of the chamber, and to deposit a thin film having a plurality of evaporation sources to enable symmetric or asymmetric deposition by independently performing left and right deposition of a substrate It's about the device.

증착 공정은 반도체 소자의 제작이나, 평판 디스플레이 소자의 제작에 널리 사용되고 있는 방법으로서, 반도체 소자 및 평판 디스플레이 소자의 제작에 사용되는 증착물질을 기판에 코팅하기 위하여, 증착물질이 들어있는 도가니를 가열하여 증착물질을 표면에서부터 증발시켜 증발된 유기물을 고진공 챔버 내의 기판 상에 증착시킨다. The deposition process is a method widely used in the manufacture of semiconductor devices or flat panel display devices. In order to coat a substrate with a deposition material used for manufacturing a semiconductor device and a flat panel display device, a crucible containing the deposition material is heated. The deposition material is evaporated from the surface, and the evaporated organic material is deposited on the substrate in the high vacuum chamber.

일반적으로 박막 증착장치는 진공으로 이루어진 챔버와, 상기 챔버 내에 마련되어 기판을 지지하는 기판 지지부와, 상기 기판 지지부와 대향 배치되어 기판에 원료 물질을 증발시켜 공급하기 위한 분배관을 포함한다.In general, a thin film deposition apparatus includes a vacuum chamber, a substrate support provided in the chamber to support a substrate, and a distribution pipe disposed opposite the substrate support to evaporate and supply a raw material to the substrate.

상향 증착방식의 경우, 상기 분배관은 챔버 내의 하부에 마련되고, 구체적으로는 박막이 증착될 기판의 일면과 대향하도록 이격 배치되어 기판의 일면에 증발된 원료 물질을 다수의 경로로 균일하게 분배하여 공급하는 역할을 한다.In the case of the upward deposition method, the distribution pipe is provided in the lower part of the chamber, and specifically, it is spaced apart to face one surface of the substrate on which the thin film is to be deposited, and uniformly distributes the evaporated raw material on one surface of the substrate through a plurality of paths. serves to supply.

본 출원인이 출원하여 등록받은 한국등록특허 제10-1057552호에는 종래의 분배관이 개시되어 있는데, 종래의 분배관은 원통형 몸체형상으로 이루어지며, 상기 분배관의 중앙부분에 증착물질이 수용된 도가니가 연결되고, 상기 분배관을 가열하는 히터가 구비된다. Korean Patent No. 10-1057552, which the applicant applied for and was registered, discloses a conventional distribution tube, which has a cylindrical body shape, and a crucible in which a deposition material is accommodated in the center of the distribution tube. A heater for heating the distribution pipe is provided.

상기 분배관은 그 중앙부분을 통해 상기 도가니와 연결되므로, 전체적인 형상이 'T'자 형상으로 이루어지며, 상기 히터는 분배관의 외주면을 감도록 구성되어 분배관을 통과하는 원료물질을 가열하도록 된 구조이다. Since the distribution pipe is connected to the crucible through its central portion, the overall shape is made in a 'T' shape, and the heater is configured to wind the outer circumferential surface of the distribution pipe to heat the raw material passing through the distribution pipe. is the structure

이와 같은 종래의 기술에서는, 상기 도가니가 분배관의 중앙부분에 결합되어 단일의 도가니를 통해 증착물질을 공급하는 구조이므로, 많은 양의 증착물질을 공급하기 위해서는 도가니의 크기를 크게 해야 한다. In this conventional technique, since the crucible is coupled to the central portion of the distribution pipe and supplies the deposition material through a single crucible, the size of the crucible must be increased in order to supply a large amount of the deposition material.

최근, 기판이 점차 대면적화되고 있어 평판 디스플레이 소자의 경우, TV 화면의 대형화와 생산성의 향상을 위하여 대면적의 기판을 제작할 수 있는 증착장치를 필요로 하고 있는데, 대면적 기판 제작용 증착장치를 구성하기 위해서는 대면적 기판 제작용 증발원의 개발이 가장 중요한 문제라 할 수 있다.Recently, substrates are gradually increasing in area, and in the case of flat panel display devices, there is a need for a deposition apparatus capable of manufacturing large-area substrates for enlargement of TV screens and improvement of productivity. In order to do this, the most important issue is the development of an evaporation source for manufacturing large-area substrates.

대면적 기판 제작용 증발원을 구성하기 위해서는 증착물질을 담는 도가니의 용량을 크게 해야 하는데, 도가니의 용량을 늘리기 위해서 도가니의 길이를 길게 하면 챔버의 높이 또한 증가하므로, 증착장치가 대형화되고 장비의 제작 비용이 증가하는 단점이 있다. In order to configure the evaporation source for large-area substrate production, the capacity of the crucible containing the deposition material must be increased. If the length of the crucible is lengthened to increase the capacity of the crucible, the height of the chamber also increases, so the deposition apparatus becomes large and the manufacturing cost of the equipment There is a growing disadvantage of this.

또한, 상기 히터가 분배관의 외주면에 감겨지어 직접 결합되어 있으므로 증발원을 교체하기 위해서는 히터를 분해해야 하는 등 부품의 고장 시 교체 및 수리가 매우 어려운 단점이 있었다.In addition, since the heater is wound and directly coupled to the outer circumferential surface of the distribution pipe, it is very difficult to replace and repair the parts in case of a breakdown, such as disassembling the heater in order to replace the evaporation source.

한국등록특허 제10-1057552호Korean Patent No. 10-1057552

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 분배관에 결합되는 도가니를 복수로 하여, 동일한 양의 증착물질을 증착하더라도 도가니의 길이를 줄일 수 있어 챔버의 높이를 줄이고 증착 장치를 소형화할 수 있는 박막 증착장치를 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention has been devised to solve the above problems, and by providing a plurality of crucibles coupled to the distribution pipe, the length of the crucible can be reduced even when the same amount of deposition material is deposited, thereby reducing the height of the chamber and miniaturizing the deposition apparatus. An object of the present invention is to provide a thin film deposition apparatus that can do this.

또한, 각각의 도가니를 통해 공급되는 증착물질의 제어를 독립적으로 하여 기판 상에 대칭 또는 비대칭으로 증착이 가능한 박막 증착장치를 제공하는데 그 목적이 있다. Another object of the present invention is to provide a thin film deposition apparatus capable of symmetrically or asymmetrically depositing on a substrate by independently controlling the deposition material supplied through each crucible.

또한, 도가니와 분배관을 가열하는 히터를 독립적으로 구성하여 소스의 탈착을 상방향으로 하여 간편하게 분리하고, 챔버 하부의 공간 감소 및 공간을 확보할 수 있는 박막 증착장치를 제공하는데 그 목적이 있다. In addition, an object of the present invention is to provide a thin film deposition apparatus capable of independently configuring a heater for heating the crucible and the distribution tube to easily separate the source by disassembling it upward, reducing the space in the lower part of the chamber and securing the space.

또한, 히터가 분배관의 양측에 설치됨으로써, 부품의 고장 시 히터의 교체 및 분해 조립이 용이한 박막 증착장치를 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, since the heater is installed on both sides of the distribution pipe, an object of the present invention is to provide a thin film deposition apparatus that is easy to replace and disassemble and assemble the heater in case of component failure.

상기와 같은 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 내부에 기판이 지지되는 증착챔버와, 상기 기판에 증착시키기 위한 증착재료가 수용되는 복수의 도가니와, 상기 도가니와 각각 결합되어 기화된 증착재료를 다수의 노즐을 통해 분사하도록 일렬로 배치되는 복수의 분배관과, 상기 분배관을 가열하기 위해 상기 분배관의 외면과 마주보며 위치하도록 독립적으로 설치되는 분배관 히터와, 상기 도가니를 가열하여 상기 증착재료를 기화시키기 위한 도가니 히터와, 상기 노즐에 대응되는 배출구가 형성되어 상기 분배관의 상부에 설치되는 상부 플레이트를 포함하는 박막 증착장치가 제공된다.In order to achieve the above objects, in the present invention, a deposition chamber in which a substrate is supported, a plurality of crucibles for accommodating deposition materials for deposition on the substrate, and a plurality of deposition materials vaporized by being combined with the crucibles, respectively A plurality of distribution pipes arranged in a line to spray through the nozzle of the distribution pipe, a distribution pipe heater independently installed to face the outer surface of the distribution pipe to heat the distribution pipe, and heating the crucible to the deposition material There is provided a thin film deposition apparatus including a crucible heater for vaporizing the gas, and an upper plate having an outlet corresponding to the nozzle and installed on an upper portion of the distribution pipe.

상기 분배관 히터는 상기 분배관의 측면 및 저면을 가열하도록 'ㄴ'자형의 단면형상을 갖는 시스 히터(Sheath Heater)로 이루어질 수 있다. The distribution pipe heater may be formed of a sheath heater having a 'L'-shaped cross-sectional shape to heat the side and bottom surfaces of the distribution pipe.

상기 분배관 히터는 상기 분배관의 양측에 설치될 수 있다. The distribution pipe heater may be installed on both sides of the distribution pipe.

본 발명에 있어서, 상기 상부 플레이트는 개폐가 가능하여 상기 상부 플레이트를 개방시키면 상기 분배관을 상방향으로 분리하여 교체함이 가능하다. In the present invention, the upper plate can be opened and closed, so that when the upper plate is opened, the distribution pipe can be separated and replaced in an upward direction.

본 발명에서는 상기 상부 플레이트가 슬라이딩 방식으로 개폐되는 것을 특징으로 한다. The present invention is characterized in that the upper plate is opened and closed in a sliding manner.

또한, 상기 상부 플레이트의 저면에는 상기 분배관의 상면과 마주보며 위치하여 상기 분배관 히터의 열을 반사하여 가열할 수 있는 리플렉터가 설치될 수 있다. In addition, a reflector may be installed on the lower surface of the upper plate to face the upper surface of the distribution tube and to reflect the heat of the distribution tube heater for heating.

상기 리플렉터는 열의 효율적 반사를 위해서 복수겹으로 설치될 수 있다. The reflector may be installed in multiple layers for efficient reflection of heat.

본 발명에서, 상기 분배관은 상기 증착챔버 내부에 평행하게 복수개가 설치될 수 있다. In the present invention, a plurality of distribution pipes may be installed in parallel inside the deposition chamber.

상기 평행하게 설치되는 복수개의 상기 분배관 중 가장자리에 위치하는 분배관의 노즐은 상기 증착챔버의 중앙에 인접한 위치를 갖도록 상기 분배관의 접선방향으로 연장되게 형성될 수 있다. The nozzles of the distribution tube positioned at the edge of the plurality of distribution tubes installed in parallel may be formed to extend in a tangential direction of the distribution tube to have a position adjacent to the center of the deposition chamber.

위에서 살펴본 바와 같은 본 발명에 의하면, 본 발명의 박막 증착장치는 같은 양의 물질을 증착하더라도 도가니의 길이를 크게 감소시킬 수 있어서 챔버 높이 감소가 가능하여 장비의 제작 비용이 감소하는 효과가 있다. According to the present invention as described above, the thin film deposition apparatus of the present invention can greatly reduce the length of the crucible even when the same amount of material is deposited, so that the chamber height can be reduced, thereby reducing the manufacturing cost of the equipment.

이는 도가니의 탈착 높이까지 감안하면 단일의 도가니를 갖는 종래의 기술에 비해 높이의 축소가 2배 정도 가능하다. Considering the detachable height of the crucible, it is possible to reduce the height by about 2 times compared to the prior art having a single crucible.

또한, 기판의 좌/우 제어를 독립적으로 하여 대칭 또는 비대칭 증착이 가능하다. 통상 기판에 분사되는 증착물질의 양을 조절하기 위해서 노즐캡을 변경하는 방식을 취하나, 이는 공정을 중단하고 노즐캡을 변경한 후 다시 진공을 잡아줘야 하는 등 공정시간이 많이 드는 단점이 있었던 바, 본 발명에 의하면 기판의 좌/우 박막 두께 제어를 독립적으로 하여 노즐캡을 변경하지 않아도 되므로, 공정시간 감소의 효과가 있다. In addition, symmetric or asymmetric deposition is possible by independently controlling the left/right side of the substrate. In general, a method of changing the nozzle cap is used to control the amount of deposition material sprayed on the substrate, but this has the disadvantage that the process takes a lot of time, such as stopping the process, changing the nozzle cap, and then holding the vacuum again. According to the present invention, since it is not necessary to change the nozzle cap by independently controlling the thickness of the left and right thin films of the substrate, there is an effect of reducing the process time.

또한, 도가니와 분배관을 가열하는 히터를 독립적으로 구성하여 소스의 탈착을 상방향으로 간편하게 분리함으로써, 하부의 공간 감소 및 공간을 확보할 수 있는 효과가 있다. In addition, by independently configuring the heater for heating the crucible and the distribution pipe to easily separate the desorption of the source upward, there is an effect of reducing the space in the lower part and securing the space.

도 1은 본 발명의 박막 증착장치의 주요 구성을 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1에서의 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 박막 증착장치가 적용된 일실시예를 도시한 평면도이다.
도 4는 도 3에서의 A-A선 단면도이다.
도 5은 도 3에서의 B-B선 단면도이다.
도 6은 도 5에서의 분배관을 확대 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 박막 증착장치를 통해 기판에 증착되는 증착막을 개념적으로 도시한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 증발원의 다른 실시예를 도시한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing the main configuration of a thin film deposition apparatus of the present invention.
FIG. 2 is a side cross-sectional view in FIG. 1 ;
3 is a plan view showing an embodiment to which the thin film deposition apparatus of the present invention is applied.
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 3 .
FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 3 .
6 is an enlarged cross-sectional view of the distribution pipe in FIG. 5 .
7 is a cross-sectional view conceptually illustrating a deposition film deposited on a substrate through the thin film deposition apparatus of the present invention.
8 is a cross-sectional view showing another embodiment of the evaporation source of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 이때 도면에 도시되고 또 이것에 의해서 설명되는 본 발명의 구성과 작용은 적어도 하나의 실시예로서 설명되는 것이며, 이것에 의해서 본 발명의 기술적 사상과 그 핵심 구성 및 작용이 제한되지는 않는다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same components are given the same reference numerals as much as possible even though they are indicated on different drawings. At this time, the configuration and operation of the present invention shown in the drawings and described by it is described as at least one embodiment, and the technical idea of the present invention and its core configuration and operation are not limited thereby.

도 1은 본 발명의 박막 증착장치의 주요 구성을 도시한 단면도이고, 도 2는 도 1에서의 측단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing a main configuration of a thin film deposition apparatus of the present invention, and FIG. 2 is a side cross-sectional view of FIG. 1 .

본 발명에 따른 박막 증착장치는 크게 증착챔버(도시안함)와, 증착재료가 수용되는 도가니(10)(110)와, 상기 도가니(10)(110)로부터 기화되는 증착재료를 기판에 분사하는 분배관(20)(120)과, 상기 분배관(20)(120) 및 도가니(10)(110)를 가열하여 상기 증착재료를 기화시키기 위한 히터(30)(40)와, 상기 분배관(20)(120)의 상부에 설치되는 상부 플레이트(50)를 포함한다. The thin film deposition apparatus according to the present invention largely includes a deposition chamber (not shown), a crucible 10 and 110 accommodating deposition materials, and spraying deposition materials vaporized from the crucibles 10 and 110 onto a substrate. Pipes 20 and 120, heaters 30 and 40 for heating the distribution pipes 20 and 120 and the crucible 10 and 110 to vaporize the deposition material, and the distribution pipe 20 ) includes an upper plate 50 installed on the upper portion of the (120).

상기 증착챔버는 기판을 처리하기 위한 소정의 반응 공간을 마련하는 것으로, 기판의 형상에 대응되는 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 원통형 또는 사각 박스 형상으로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 챔버의 일측에는 상기 기판의 출입을 위한 게이트(도시안함)와, 내부 배기를 위한 배기부(도시안함) 등이 구비될 수 있다. The deposition chamber provides a predetermined reaction space for processing the substrate, and may be formed in a shape corresponding to the shape of the substrate. For example, it may be formed in a cylindrical or rectangular box shape. In addition, a gate (not shown) for entering and exiting the substrate and an exhaust unit (not shown) for internal exhaust may be provided at one side of the chamber.

한편, 상기 도가니(10)(110)는 기판에 증착하기 위한 증착재료를 수용하여 상기 히터(40)에 의해 가열됨으로써 증착재료를 기화시키는 것으로, 내열성 용기로 이루어지며, 가열된 증착재료가 외부로 배출될 수 있도록 일측이 개방된다. On the other hand, the crucibles 10 and 110 receive the deposition material for deposition on the substrate and vaporize the deposition material by being heated by the heater 40, and is made of a heat-resistant container, and the heated deposition material is discharged to the outside. One side is open so that it can be discharged.

본 발명에서는 이러한 도가니(10)(110)와 결합되어 기화된 증착재료를 분사하는 분배관(20)(120)이 복수로 마련되어 병렬 배치되는데 그 특징이 있다. 즉, 도 1에서 보는 바와 같이, 상기 도가니(10)(110)와 결합구(22)(122)를 통해 연통된 분배관(20)(120)이 증착챔버 내부에서 길이방향으로 일렬로 배치되는 것이다. In the present invention, a plurality of distribution pipes 20 and 120 for spraying the vaporized deposition material in combination with the crucibles 10 and 110 are provided and arranged in parallel. That is, as shown in FIG. 1 , the distribution pipes 20 and 120 communicating with the crucibles 10 and 110 and the coupling holes 22 and 122 are arranged in a line in the longitudinal direction inside the deposition chamber. will be.

이와 같은 본 발명의 박막 증착장치는 도가니(10)(110)가 복수로 구비되어, 같은 양의 물질을 증착하더라도 도가니(10)(110)의 길이를 크게 감소시킬 수 있으며, 챔버 높이 감소가 가능하여 장비의 제작 비용이 감소하는 효과가 있다. The thin film deposition apparatus of the present invention is provided with a plurality of crucibles 10 and 110, so that the length of the crucibles 10 and 110 can be greatly reduced even when the same amount of material is deposited, and the chamber height can be reduced. This has the effect of reducing the manufacturing cost of the equipment.

이는 도가니의 탈착 높이까지 감안하면 단일의 도가니를 갖는 종래의 기술에 비해 높이의 축소가 2배 정도 가능하다. Considering the detachable height of the crucible, it is possible to reduce the height by about 2 times compared to the prior art having a single crucible.

본 발명의 실시예에서는 상기 분배관(20)(120)이 2개 설치되는 것을 도시하였으나, 본 발명은 이에 한정하지 않으며, 기판의 크기, 증착하고자 하는 재료의 개수 등에 의해 상기 분배관(20)(120)이 3개 이상 형성될 수도 있다. In the embodiment of the present invention, it is illustrated that two distribution tubes 20 and 120 are installed, but the present invention is not limited thereto, and the distribution tube 20 is determined by the size of the substrate and the number of materials to be deposited. Three or more 120 may be formed.

이 경우, 상기 분배관(20)(120)은 기판의 중심선을 중심으로 대칭적으로 형성되거나, 일정한 간격을 두고 형성됨이 바람직하다. 이는 기판에 증착되는 증착막의 균일도를 위한 것으로, 상기 분배관(20)(120)의 설치위치 및 간격은 본 발명에서 한정하지 않으며, 성막하고자 하는 목적에 맞게 다양하게 적용될 수 있다.In this case, it is preferable that the distribution pipes 20 and 120 are formed symmetrically with respect to the center line of the substrate or at regular intervals. This is for the uniformity of the deposition film deposited on the substrate, and the installation position and spacing of the distribution pipes 20 and 120 are not limited in the present invention, and may be variously applied according to the purpose of film formation.

한편, 이와 같이 복수의 분배관(20)(120)은 기판의 좌/우 제어를 각각 독립적으로 하여 대칭 또는 비대칭 증착이 가능하다. 이 경우, 각각의 도가니(10)(110)가 기판의 좌/우에 상호 증착 두께에 영향을 미치므로 이에 대해 증착 두께를 예측하여 제어하는 것이 필요하며, 기판의 좌/우 대칭 증착뿐 아니라 비대칭 증착이 가능하므로 노즐캡을 따로 변경할 필요가 없다. Meanwhile, the plurality of distribution tubes 20 and 120 can be symmetrically or asymmetrically deposited by independently controlling the left and right sides of the substrate. In this case, since the respective crucibles 10 and 110 affect the thickness of mutual deposition on the left/right side of the substrate, it is necessary to predict and control the deposition thickness for this, and asymmetric deposition as well as left/right symmetric deposition of the substrate As this is possible, there is no need to separately change the nozzle cap.

통상 기판에 분사되는 증착물질의 양을 조절하기 위해서 노즐캡을 변경하는 방식을 취하나, 이는 공정을 중단하고 노즐캡을 변경한 후 다시 진공을 잡아줘야 하는 등 공정시간이 많이 드는 단점이 있었던 바, 본 발명에 의하면 기판의 좌/우 박막 두께 제어를 독립적으로 하여 노즐캡을 변경하지 않아도 되므로, 공정시간 감소의 효과가 있다. In general, a method of changing the nozzle cap is used to control the amount of deposition material sprayed on the substrate, but this has the disadvantage that the process takes a lot of time, such as stopping the process, changing the nozzle cap, and then holding the vacuum again. According to the present invention, since it is not necessary to change the nozzle cap by independently controlling the thickness of the left and right thin films of the substrate, there is an effect of reducing the process time.

한편, 상기 분배관(20)(120)의 상부에는 다수의 노즐(24)(124)이 형성되어, 상기 복수의 도가니(10)(110)로부터 기화되는 증착재료를 상부에 형성된 다수의 노즐(24)(124)을 통해 분사한다. On the other hand, a plurality of nozzles 24 and 124 are formed on the upper portion of the distribution pipe 20 and 120, and a plurality of nozzles ( 24) and spray through (124).

한편, 상기 히터(30)(40)는 도가니(10)(110)의 내부에 수용된 증착재료가 기화되도록 도가니(10)(110)를 가열하는 도가니 히터(40)와, 상기 분배관(20)(120)을 가열하여 증착재료를 기화시키기 위한 분배관 히터(30)로 구분될 수 있다. 물론, 상기 분배관 히터(30)와 도가니 히터(40)가 일체로 형성됨도 가능하며, 본 발명에서는 그 형상의 차이를 설명하기 위하여, 편의상 분배관(20)(120)을 가열하는 히터를 분배관 히터(30)로, 도가니(10)(110)를 가열하는 히터를 도가니 히터(40)로 명명하여 이를 설명하고자 한다. On the other hand, the heaters 30 and 40 include a crucible heater 40 that heats the crucibles 10 and 110 so that the deposition material accommodated in the crucibles 10 and 110 is vaporized, and the distribution pipe 20 . It can be divided into a distribution pipe heater 30 for heating the vapor deposition material by heating 120. Of course, it is also possible that the distribution tube heater 30 and the crucible heater 40 are integrally formed, and in the present invention, in order to explain the difference in shape, the heater for heating the distribution tube 20 and 120 is divided for convenience. As the pipe heater 30 , a heater that heats the crucibles 10 and 110 is named as a crucible heater 40 , and this will be described.

상기 분배관 히터(30)와 도가니 히터(40)는 각각 분배관(20)(120)과 도가니(10)(110)의 외면과 마주보며 위치하도록 독립적으로 설치되는데 그 특징이 있다. The distribution pipe heater 30 and the crucible heater 40 are installed independently so as to face the outer surfaces of the distribution pipes 20 and 120 and the crucible 10 and 110, respectively.

이와 같은 분배관 히터(30)와 도가니 히터(40)는 히팅블록과 열선을 포함하는 시스 히터(Sheath Heater)로 이루어질 수 있다. 즉, 열선이 히팅블록의 내부에 설치되어 외부로부터 공급되는 전원에 의해 발열되어 분배관(20)과 도가니(10)를 가열하도록 하는 것이다. The distribution pipe heater 30 and the crucible heater 40 may be formed of a sheath heater including a heating block and a heating wire. That is, the heating wire is installed inside the heating block to be heated by the power supplied from the outside to heat the distribution tube 20 and the crucible 10 .

본 발명에서, 상기 분배관 히터(30)는 상기 분배관(20)의 측면 및 저면을 가열하도록 도 2에서 보는 바와 같이, 'ㄴ'자형의 단면형상을 갖는 시스 히터(Sheath Heater)로 이루어질 수 있다. In the present invention, the distribution pipe heater 30 may be made of a sheath heater having a 'L'-shaped cross-sectional shape as shown in FIG. 2 to heat the side and bottom surfaces of the distribution pipe 20. have.

이 경우, 상기 분배관 히터(30)는 도 2에서 보는 바와 같이, 상기 분배관(20)의 양측에 설치되어 분배관(20)을 골고루 가열하도록 한다. In this case, the distribution pipe heater 30 is installed on both sides of the distribution pipe 20 to uniformly heat the distribution pipe 20 as shown in FIG. 2 .

또한, 상기 도가니 히터(30)는 상기 히팅블록이 도가니(10)의 외측에 배치되어 도가니(10)를 감싸도록 설치되는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that the crucible heater 30 is installed so that the heating block is disposed outside the crucible 10 to surround the crucible 10 .

상기 도가니 히터(30)는 복수로 마련되며, 각각의 도가니(10)(110)를 가열하도록 설치된다.The crucible heater 30 is provided in plurality, and is installed to heat each of the crucibles 10 and 110 .

즉, 상기 복수의 도가니(10)(110)에서는 서로 다른 종류의 유기물이 가열되어 기상으로 기화 또는 승화되거나, 동일한 종류의 유기물이 가열되어 기상으로 기화 또는 승화될 수 있다. That is, in the plurality of crucibles 10 and 110 , different types of organic materials may be heated and vaporized or sublimed into a gas phase, or the same type of organic materials may be heated and vaporized or sublimed into a gas phase.

각각의 도가니(10)(110)에는 유기물을 가열하기 위한 도가니 히터(30)가 마련되는데, 서로 다른 종류의 유기물을 가열하여 기상으로 기화 또는 승화시키는 경우, 각 도가니 히터(30)에서는 서로 다른 온도로 운전이 되도록 할 수 있다. 일 예로, 하나의 도가니(10)에서는 호스트(HOST) 유기물이 기화되고, 다른 도가니(110)에서는 도펀트(DOPANT) 유기물이 기화되도록 서로 기화점이 다른 호스트 유기물과 도펀트의 유기물을 최적의 온도로 가열하여 기화된 두 유기물의 확산속도를 조절함으로써 기판에 원하는 농도로 증착이 되도록 할 수 있다.Each crucible 10, 110 is provided with a crucible heater 30 for heating the organic material, when heating different types of organic material to vaporize or sublimate into a gas phase, each crucible heater 30 at different temperatures can be made to drive. For example, in one crucible 10 , the host organic material is vaporized, and in the other crucible 110 , the dopant organic material is vaporized by heating the host organic material having different vaporization points and the dopant organic material to an optimum temperature. By controlling the diffusion rate of the two vaporized organic substances, it is possible to make the deposition to a desired concentration on the substrate.

한편, 본 발명에서는 상기 분배관(20)(120)의 상부에 상부 플레이트(50)가 설치된다. 상기 상부 플레이트(50)에는 상기 노즐(24)에 대응되는 배출구(52)가 형성되어 상기 분배관(20)(120)에서 기화된 증착재료가 기판으로 분사될 수 있도록 한다. On the other hand, in the present invention, the upper plate 50 is installed on the upper portion of the distribution pipe (20) (120). An outlet 52 corresponding to the nozzle 24 is formed in the upper plate 50 so that the deposition material vaporized from the distribution pipes 20 and 120 can be sprayed onto the substrate.

이와 같은 상기 상부 플레이트(50)는 개폐가 가능하도록 설치될 수 있다. 즉, 상기 상부 플레이트(50)를 개방시켜 상기 분배관(20)(120)을 상방향으로 분리하여 교체함이 가능한 것이다. 본 발명에서는 상기 도가니(10)(110)와 분배관(20)(120)을 가열하는 히터(30)(40)를 독립적으로 구성하였으므로, 소스를 교체하고자 하는 경우 히터(30)(40)의 분해 없이 소스를 탈착할 수 있으며, 상기 상부 플레이트(50)를 개방하면 소스를 상방향으로 간편하게 분리할 수 있다.The upper plate 50 may be installed so as to be opened and closed. That is, by opening the upper plate 50, it is possible to separate and replace the distribution pipes 20 and 120 in the upward direction. In the present invention, since the heaters 30 and 40 for heating the crucible 10 and 110 and the distribution pipes 20 and 120 are independently configured, when the source is to be replaced, the heaters 30 and 40 are The source can be detached without disassembly, and when the upper plate 50 is opened, the source can be easily detached upward.

본 발명에서는 상기 상부 플레이트(50)가 슬라이딩 방식으로 개폐되도록 구성할 수 있다. 예를 들어, 상기 상부 플레이트(50)의 측면에 롤러를 부설하고, 상기 롤러가 삽입되어 이송가능한 레일을 구성함으로써, 슬라이딩 방식으로 상기 상부 플레이트(50)를 개폐할 수 있게 된다. 그러나, 본 발명에서는 이를 한정하지 않으며, 상기 상부 플레이트(50)를 개폐할 수 있는 방식 및 구조는 공지된 기술을 적용하여 구성할 수도 있다. In the present invention, the upper plate 50 may be configured to open and close in a sliding manner. For example, by laying a roller on the side of the upper plate 50 and inserting the roller to form a transportable rail, the upper plate 50 can be opened and closed in a sliding manner. However, the present invention is not limited thereto, and the method and structure for opening and closing the upper plate 50 may be configured by applying a known technique.

한편, 상기 상부 플레이트(50)의 저면에는 상기 분배관(20)(120)의 상면과 마주보게 위치하여 상기 분배관 히터(30)의 열을 반사하여 가열할 수 있는 리플렉터(reflector)(60)가 설치된다. 본 발명의 분배관 히터(30)는 'ㄴ'자 형상으로 이루어지어 상기 분배관(20)의 측면 및 저면을 가열하므로, 분배관(20)의 상면에 히터를 구성하지 않은 것을 보강하기 위하여, 상기 상부 플레이트(50)의 저면에 상기 분배관 히터(30)의 열을 반사하여 가열할 수 있는 리플렉터(reflector)(60)를 설치하는 것이다. On the other hand, the lower surface of the upper plate 50 is positioned to face the upper surfaces of the distribution tubes 20 and 120 to reflect the heat of the distribution tube heater 30 to heat the reflector (reflector) (60) is installed Since the distribution pipe heater 30 of the present invention is formed in a 'L' shape to heat the side and bottom surfaces of the distribution pipe 20, in order to reinforce that the heater is not configured on the upper surface of the distribution pipe 20, A reflector 60 capable of heating by reflecting the heat of the distribution pipe heater 30 is installed on the bottom surface of the upper plate 50 .

이 경우, 상기 리플렉터(60)는 열의 효율적 반사를 위해서 복수겹으로 설치될 수 있다. In this case, the reflector 60 may be installed in multiple layers for efficient reflection of heat.

이와 같이 분배관 히터(30)와 리플렉터(60)가 구비된 본 발명은 분배관(20)(120)을 가열하기 위한 히팅 존(Heating Zone)을 구성하여 상기 분배관(20)(120)을 통해 증발되는 증착재료의 기화가 안정적으로 이루어지도록 한다. As described above, the present invention provided with the distribution tube heater 30 and the reflector 60 configures a heating zone for heating the distribution tubes 20 and 120 to heat the distribution tubes 20 and 120 . The vaporization of the evaporation material evaporated through it is stably performed.

한편, 첨부한 도 3은 본 발명의 박막 증착장치가 적용된 일실시예를 도시한 평면도이고, 도 4는 도 3에서의 A-A선 단면도이고, 도 5은 도 3에서의 B-B선 단면도이다. Meanwhile, FIG. 3 is a plan view showing an embodiment to which the thin film deposition apparatus of the present invention is applied, FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line A-A in FIG. 3, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line B-B in FIG.

본 발명의 박막 증착장치는 도 3에서 보는 바와 같이, 한 개의 증착챔버 내부에 상기 분배관(20)(120)이 평행하게 복수개가 설치될 수 있다. 앞서 설명한 분배관(20)(120)이 일렬로 복수개 설치되는 것이 X방향으로 병렬 설치된 것이라면, 이와 같이 X방향으로 병렬 설치된 분배관(20)(120)이 Y방향으로도 병렬 설치되는 것이다.In the thin film deposition apparatus of the present invention, as shown in FIG. 3 , a plurality of distribution tubes 20 and 120 may be installed in parallel in one deposition chamber. If a plurality of distribution pipes 20 and 120 described above are installed in a line in parallel in the X direction, the distribution pipes 20 and 120 installed in parallel in the X direction as described above are also installed in parallel in the Y direction.

본 발명에서 일실시예로 제시한 박막 증착장치는 관축방향으로 나란히 설치된 분배관이 3열을 이루어도록 하여 총 6개의 분배관(20)(20a)(20b)(120)(120a)(120b)이 설치되는 것을 도시하였으나, 본 발명은 이에 한정하지 않으며 필요에 따라 상기 분배관의 개수는 가감될 수 있음은 물론이다. In the thin film deposition apparatus presented as an embodiment in the present invention, a total of six distribution tubes 20, 20a, 20b, 120, 120a, and 120b are formed in three rows of distribution tubes installed side by side in the tube axis direction. Although it is shown that this is installed, the present invention is not limited thereto, and the number of the distribution pipes may be increased or decreased as necessary.

이와 같은 박막 증착장치는 앞서 설명한 바와 같이, 각각의 분배관(20)(20a)(20b)(120)(120a)(120b)에 도가니(10)(110)가 연통되도록 설치되어, 총 6개의 도가니(10)(110)가 설치되는 것이다. As described above, in such a thin film deposition apparatus, the crucibles 10 and 110 are installed to communicate with each of the distribution pipes 20, 20a, 20b, 120, 120a, and 120b, and a total of six The crucibles 10 and 110 are installed.

상기 분배관(20)(20a)(20b)(120)(120a)(120b)의 상부에는 상부 플레이트(50)가 설치된다. 상기 상부 플레이트(50)는 양측면에 슬라이딩 레일(70)이 설치되어 상부 플레이트(50)와 연결된 롤러(54)를 통해 슬라이딩 이송가능하게 설치된다. An upper plate 50 is installed on the distribution pipes 20, 20a, 20b, 120, 120a, and 120b. Sliding rails 70 are installed on both sides of the upper plate 50 to be slidably transportable through rollers 54 connected to the upper plate 50 .

따라서, 슬라이딩 방식으로 상기 상부 플레이트(50)를 개폐하여 분배관(20)(20a)(20b)(120)(120a)(120b)을 상방향으로 분리할 수 있게 된다. Accordingly, by opening and closing the upper plate 50 in a sliding manner, the distribution pipes 20, 20a, 20b, 120, 120a, and 120b can be separated upwardly.

또한, 상기 분배관(20)(20a)(20b)(120)(120a)(120b)의 길이방향으로 양측단에는 증착재료의 양을 감지하여 증착막의 두께를 감지하기 위한 센서(80)가 설치될 수 있다. In addition, a sensor 80 for detecting the thickness of the deposition film by sensing the amount of deposition material is installed at both ends in the longitudinal direction of the distribution pipes 20, 20a, 20b, 120, 120a, and 120b. can be

이와 같은 본 발명은 상기 히터(30)(40)가 분배관(20)(20a)(20b)(120)(120a)(120b)과 독립적으로 설치되어 있으므로, 상기 분배관(20)(20a)(20b)(120)(120a)(120b)의 개수가 많아도 교체가 매우 간편하여 교체 또는 수리에 따르는 공정시간을 크게 줄일 수 있다. In the present invention as described above, since the heaters 30 and 40 are installed independently of the distribution pipes 20, 20a, 20b, 120, 120a, and 120b, the distribution pipes 20 and 20a) Even if the number of (20b) (120), (120a) and (120b) is large, the replacement is very simple, so that the process time required for replacement or repair can be greatly reduced.

한편, 도 6은 도 5에서의 분배관을 확대 도시한 단면도로서, 복수개의 분배관(20)(20a)(20b)(120)(120a)(120b)을 설치한 경우, 상기 분배관 중 가장자리에 위치하는 분배관(20a)(20b)의 노즐(24a)(24b)은 상기 증착챔버의 중앙에 인접한 위치를 갖도록 상기 분배관(20a)(20b)의 접선방향으로 연장되게 형성될 수 있다. Meanwhile, FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of the distribution pipe in FIG. 5, and when a plurality of distribution pipes 20, 20a, 20b, 120, 120a, and 120b are installed, the edge of the distribution pipe The nozzles 24a and 24b of the distribution pipes 20a and 20b located in . may be formed to extend in a tangential direction to the distribution pipes 20a and 20b so as to have a position adjacent to the center of the deposition chamber.

즉, 도 6에서 도시한 분배관(20b)은 도 5에서 우측에 설치된 것이므로, 상기 노즐(24b)이 상기 증착챔버의 중앙에 인접한 위치를 갖도록 상기 분배관(20b)의 좌측 접선방향으로 연장되게 형성된 것이며, 반대로 도 5에서 좌측에 설치된 분배관(20a)은 상기 노즐(24a)이 상기 증착챔버의 중앙에 인접한 위치를 갖도록 상기 분배관(20a)의 우측 접선방향으로 연장되게 형성되는 것이 바람직하다. That is, since the distribution pipe 20b shown in FIG. 6 is installed on the right side in FIG. 5 , the nozzle 24b extends in the left tangential direction of the distribution pipe 20b so that the nozzle 24b has a position adjacent to the center of the deposition chamber. On the contrary, it is preferable that the distribution pipe 20a installed on the left side in FIG. 5 extends in the right tangential direction of the distribution pipe 20a so that the nozzle 24a has a position adjacent to the center of the deposition chamber. .

도 7은 본 발명의 박막 증착장치를 통해 기판에 증착되는 증착막을 개념적으로 도시한 단면도로서, 이와 같은 본 발명의 박막 증착장치는 복수의 도가니(10)를 통해 증착재료를 증발시키므로, 각각의 도가니(10)를 개별적으로 제어함으로써 기판(S)의 좌/우에 증착되는 증착막의 두께 제어를 각각 독립적으로 함이 가능하여 대칭 또는 비대칭 증착이 가능하다. 7 is a cross-sectional view conceptually illustrating a deposition film deposited on a substrate through the thin film deposition apparatus of the present invention. Since the thin film deposition apparatus of the present invention evaporates the deposition material through a plurality of crucibles 10, each crucible By individually controlling (10), it is possible to independently control the thickness of the deposition film deposited on the left and right sides of the substrate S, so that symmetric or asymmetric deposition is possible.

도 8은 본 발명의 증발원의 다른 실시예를 도시한 단면도이다. 8 is a cross-sectional view showing another embodiment of the evaporation source of the present invention.

도 8에서 보는 바와 같이, 상기 도가니(10)(110)는 챔버의 높이 방향(상하방향)으로 길게 연장되지 않고, 상기 분배관(20)(120)의 길이방향으로 길게 연장되게 형성될 수 있다. As shown in FIG. 8 , the crucibles 10 and 110 do not extend long in the height direction (up and down direction) of the chamber, but may be formed to extend long in the longitudinal direction of the distribution pipes 20 and 120 . .

이와 같은 경우, 상기 도가니 히터(40)는 도가니(10)(110)의 원통형 외면을 가열하도록 가로방향으로 설치됨이 바람직하다. In this case, the crucible heater 40 is preferably installed in the transverse direction to heat the cylindrical outer surface of the crucible (10, 110).

이와 같은 본 발명의 박막 증착장치는 도가니(10)(110)가 가로방향으로 구비되어, 도가니(10)(110)가 설치되는 높이를 크게 감소시킬 수 있으며, 챔버 높이 감소가 가능하여 장비의 제작 비용이 감소하는 효과가 있다. As described above, in the thin film deposition apparatus of the present invention, the crucibles 10 and 110 are provided in the horizontal direction, so that the height at which the crucibles 10 and 110 are installed can be greatly reduced, and the chamber height can be reduced, so that the equipment is manufactured. It has the effect of reducing the cost.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 또한, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various modifications and variations are possible for those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains without departing from the essential characteristics of the present invention. In addition, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments. The protection scope of the present invention should be construed by the following claims, and all technical ideas within the equivalent range should be construed as being included in the scope of the present invention.

10, 110: 도가니 20, 120: 분배관
22, 122: 결합구 24, 124: 노즐
30: 분배관 히터 40: 도가니 히터
50: 상부 플레이트 52: 배출구10, 110: crucible 20, 120: distribution pipe
22, 122: coupling hole 24, 124: nozzle
30: distribution tube heater 40: crucible heater
50: upper plate 52: outlet

Claims (9)

내부에 기판이 지지되는 증착챔버;
상기 기판에 증착시키기 위한 증착재료가 수용되는 복수의 도가니;
상기 도가니와 각각 결합되어 기화된 증착재료를 다수의 노즐을 통해 분사하도록 일렬로 배치되는 복수의 분배관;
상기 분배관을 가열하기 위해, 상기 증착 챔버의 일 방향에서 볼 때, 개별 결합구로부터 이격하고, 상기 증착 챔버의 타 방향에서 볼 때, 상기 분배관의 양 측부에서 상기 분배관의 외면과 마주보며 위치하도록 독립적으로 설치되며, 개별 도가니의 중심축을 따라 볼 때, 상기 다수의 노즐 아래에 위치되어 상기 분배관을 상기 증착 챔버의 내부에 노출시키는 분배관 히터;
상기 도가니를 가열하여 상기 증착재료를 기화시키기 위한 도가니 히터;
상기 노즐에 대응되는 배출구가 형성되어 상기 분배관의 상부에 설치되는 상부 플레이트; 및
상기 증착챔버의 상기 타 방향에서 볼 때, 상기 상부 플레이트의 저면에는, 개별 노즐을 둘러싸며 두 개의 마주보는 분배관 히터 상에서 상기 개별 노즐로부터 상기 개별 노즐의 양 측부를 향해 상기 두 개의 마주보는 분배관 히터의 폭보다 더 길게 수평으로 연장되어 상기 두 개의 마주보는 분배관 히터로부터 이격하고, 상기 두 개의 마주보는 분배관 히터 사이에서 상기 분배관의 상면과 마주보게 위치하여 상기 분배관을 향해 상기 두 개의 마주보는 분배관 히터의 열을 반사하여 상기 분배관을 가열할 수 있는 리플렉터를 포함하고,
상기 분배관이 상기 증착챔버 내부에 평행하게 복수개가 설치되는 때, 상기 평행하게 설치되는 복수개의 상기 분배관 중 가장자리에 위치하는 분배관의 노즐은 상기 증착챔버의 중앙에 인접한 위치를 갖도록 상기 분배관의 접선방향으로 연장되게 형성되는 박막 증착장치.
a deposition chamber in which a substrate is supported;
a plurality of crucibles in which deposition materials for deposition on the substrate are accommodated;
a plurality of distribution tubes each coupled to the crucible and arranged in a line to spray the vaporized deposition material through a plurality of nozzles;
In order to heat the distribution tube, when viewed from one direction of the deposition chamber, it is spaced apart from the individual couplers, and when viewed from the other direction of the deposition chamber, both sides of the distribution tube face the outer surface of the distribution tube a distribution tube heater that is installed independently to be positioned, and is positioned below the plurality of nozzles to expose the distribution tube to the inside of the deposition chamber when viewed along the central axis of each crucible;
a crucible heater for heating the crucible to vaporize the deposition material;
an upper plate provided with an outlet corresponding to the nozzle and installed on an upper portion of the distribution pipe; and
When viewed from the other direction of the deposition chamber, on the bottom surface of the upper plate, the two opposing distribution tubes surround the individual nozzles and the two opposing distribution tubes from the individual nozzles toward both sides of the individual nozzles on the heater It extends horizontally longer than the width of the heater and is spaced apart from the two opposing distribution pipe heaters, and is positioned to face the upper surface of the distribution pipe between the two opposing distribution pipe heaters to face the two distribution pipes toward the distribution pipe. A reflector capable of heating the distribution tube by reflecting the heat of the opposite distribution tube heater,
When a plurality of distribution pipes are installed in parallel inside the deposition chamber, nozzles of the distribution pipes positioned at the edges of the plurality of distribution pipes installed in parallel have a position adjacent to the center of the deposition chamber. A thin film deposition apparatus formed to extend in the tangential direction of
 청구항 1에 있어서,
상기 분배관 히터는 상기 분배관의 측면 및 저면을 가열하도록 'ㄴ'자형의 단면형상을 갖는 시스 히터(Sheath Heater)인 것을 것을 특징으로 하는 박막 증착장치. The method according to claim 1,
The distribution pipe heater is a thin film deposition apparatus, characterized in that it is a sheath heater (Sheath Heater) having a 'L'-shaped cross-sectional shape to heat the side and bottom of the distribution pipe. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 상부 플레이트는 개폐가 가능하여 상기 상부 플레이트를 개방시키면 상기 분배관을 상방향으로 분리하여 교체함이 가능한 것을 특징으로 하는 박막 증착장치. The method according to claim 1,
The upper plate can be opened and closed so that when the upper plate is opened, the distribution pipe can be separated and replaced in an upward direction. 청구항 4에 있어서,
상기 상부 플레이트는 슬라이딩 방식으로 개폐되는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.5. The method according to claim 4,
The upper plate is a thin film deposition apparatus, characterized in that opened and closed in a sliding manner. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 리플렉터는 복수겹으로 설치되는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
The method according to claim 1,
The reflector is a thin film deposition apparatus, characterized in that installed in a plurality of layers.
 삭제delete 삭제delete
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