KR20060000447A - 엠엠지용 기판 생산장비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 MMG용 기판 생산장비에 관한 것으로, MMG(Multi Model on a Glass) 방식으로 기판을 생산하는 기판 생산장비에 있어서 서로 다른 크기를 갖는 유리기판을 생산할 수 있도록 설정된 장비 간에 공통 버퍼유닛을 설치하여 핸드 로봇을 통해 상호 기판을 교체가능하도록 한다. 따라서, 본 발명에서는 기판 생산공정을 단순화하고, 이를 통해 기판 생산성을 향상시킬 수 있다.
MMG, 기판, 스크라이버, 그라인더, 세정 유닛, 공통 버퍼유닛

Description

엠엠지용 기판 생산장비{A SUBSTRATE PRODUCT APPARATUS FOR MMG}
도 1은 종래기술에 따른 메인모델을 생산하는 MMG용 기판 생산장치.
도 2는 종래기술에 따른 서브모델을 생산하는 MMG용 기판 생산장비.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 MMG용 기판 생산장비.
도 4는 도 3의 공통 버퍼유닛을 보다 자세히 나타낸 도면.
도 5는 서브모델을 제 1 포트에서 제 2 포트로 옮기는 핸드로봇의 동작을 개략적으로 나타낸 도면.
도 6은 메인모델을 제 2포트에서 제 1 포트로 옮기는 핸드로봇의 동작을 개략적으로 나타낸 도면.
도 7은 제 1 및 제 2 포크를 가지는 핸드로봇을 나타낸 도면.
도 8은 제 2 포크가 제 1 포크에 수납되어 하나의 포크로 사용되는 핸드로봇을 나타낸 도면.
도 9는 공통 버퍼 유닛에 핸드로봇에 의해 기판이 수납되는 모습을 개략적으로 나타낸 도면.
〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉
10, 110, 110a, 110b : 모원판
20a, 20b, 120a, 120b : 로딩부
30a, 30b, 130a, 130b : 스크라이버
40a,, 40b, 140a, 140b : 그라인더
50a, 50b,150a, 150b : 세정 유닛
60a, 60b, 160a, 160b : 언로딩부
70a, 70b, 170a, 170b : 버퍼유닛
111 : 제1 포트
112 : 제2 포트
180 : 핸드 로봇
190 : 공통 버퍼유닛
본 발명은 MMG(Multi Model on a Glass)용 기판 생산장비에 관한 것으로, 특히, MMG 방식을 적용하여 기판을 생산하는데 있어서 기판 생산공정을 단순화하고, 이를 통해 기판 생산성을 더욱 향상시킬 수 있는 MMG용 기판 생산장비에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하 고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 표시장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.
그 중에서, 현재 LCD 장치는 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 표시하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다. 그러나, LCD 장치가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량화, 집적화, 그리고 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.
이와 같은 LCD 장치는 크게 화상을 표시하는 액정패널과, 이 액정패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 구분될 수 있으며, 상기 액정패널은 공간을 갖고 합착된 제1 및 제2 유리기판과, 합착된 제1 및 제2 유리기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다. 상기 제 1 기판은 TFT(Thin Film Transistor) 기판이며, 제 2 기판은 컬러필터(Color Filter) 기판이다.
상기 TFT 기판 어레이에는 한쪽 방향으로 일정한 간격을 가지고 배열되는 복수개의 게이트 라인을 갖는다. TFT 기판 어레이에 배열된 게이트 라인들과 수직한 방향으로 일정한 간격을 가지고 배열되는 복수개의 데이터 라인을 갖는다. 고차된 게이트 라인들과 데이터 라인들에 의해 정의된 각 화소영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과, 상기 데이터 라인들의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인들의 신호를 형성된 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성되어 있다
한편, 컬러필터(color filter) 기판에는 화소영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스(black matrix) 층, 칼라 색상을 표현하기 위한 'R', 'G', 'B' 컬러 필터층 및 화상을 구현하기 위한 공통전극이 형성되어 있다. 물론, 횡전계 방식의 LCD 장치에서는 공통전극이 제1 유리기판에 형성된다. 이와 같이 구성된 제1 및 제2 유리기판은 스페이서(spacer)에 의해 일정 공간을 갖고 액정 주입구를 갖는 실 패턴에 의해 합착되고 제1 및 제 2 기판 사이에 액정이 주입된다.
상기에서 제1 및 제2 유리기판은 대형 유리원판(이하, '모(母)원판'이라 함)에 대하여 스크라이브(scribe)(컷팅(cutting) 포함), 그라인딩(grinding) 및 세정(cleaning)공정을 실시하여 얻게 된다. 최근에는 LCD 패널용 유리기판의 생산 효율을 증가시키 위한 일환으로 MMG(Multi Model on a Glass, 이하, 'MMG'라 함) 방식이 개발되어 사용되고 있다. 여기서, MMG 방식이라 함은 하나의 모원판에서 동시에 다양한 크기(size)를 갖는 유리기판을 생산하여 유리기판의 생산 효율을 증가시키는 방식을 말한다.
보통, MMG 방식이 개발되기 전에는 LCD 장치의 수율 저하와 공정상의 문제점 때문에 하나의 모원판에서 동일 크기의 LCD 패널용 유리기판을 여러 장 생산하고 남는 공간의 유리는 사용하지 않고 폐기 처분하는 것이 보편적이었다. 예를들면, 5세대 라인(1100 x 1250mm)의 경우 한장의 모원판으로부터 17인치 유리기판만을 12장 생산하거나, 15인치 유리기판만을 15장 생산하였다. 그러나, 이러한 방식에서는 모원판의 외곽 부위에 사용되지 않는 공간이 발생하여 모원판의 면적에서 실제 얻어지는 LCD 패널용 유리기판들의 면적의 합으로 나눈 유리면적 사용 효율은 대략 70% 내지 80%에 그치게 된다.
반면에, MMG 방식을 적용하는 경우에는 대형 패널용 유리기판과 중소형 패널용 유리기판을 효과적으로 배치함으로써 모원판의 유리면적 사용 효율을 90% 이상까지 높일 수 있게 되었다. 이에 따라, MMG 방식을 적용하는 경우 17인치 유리기판을 12장만을 생산했던 기존 5세대 생산라인에서 17인치 유리기판의 생산량은 그대로 유지하면서 추가로 7인치 제품을 7장을 얻어내는 등 중소형 패널용 유리기판까지 추가로 생산하는 것이 가능하게 되었다. 이 기술을 이용해 기존 중대형 패널용 유리기판의 생산량은 유지하면서 5인치 유리기판에서 8인치 유리기판을 추가로 생산하고 있다.
상술한 바와 같이, 모원판에서 다수의 패널용 유리기판을 생산하기 위해서는 스크라이브(컷팅 포함), 그라인딩 및 세정공정을 순차적으로 진행해야 하며, 상기 생산공정들은 기판 생산장비에서 이루어지게 된다. 이하에서는 도 1 및 도 2를 참조하여 종래기술에 따른 MMG용 기판 생산장비에 대해 간략하게 설명하기로 한다.
도 1 및 도 2는 종래기술에 따른 MMG용 기판 생산장비를 설명하기 위하여 도시된 도면들로서, 도 1은 메인모델(Main Model) 생산에 대해 설명하기 위한 도면이고, 도 2는 서브모델(Sub Model) 생산에 대해 설명하기 위한 도면이다. 여기서, 메인모델(MM)이라 함은 대략 17인치 또는 15인치 유리기판을 말하며, 서브모델(SM)이라 함은 대략 8인치 또는 5인치 유리기판을 말한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 종래기술에 따른 MMG용 기판 생산장비는 모원판(10)을 작업을 위해 로딩하는 로딩부(20a, 20b)와, 로딩된 모원판(10)을 스크라이빙하는 스크라이버(30a, 30b)와, 스크라이브된 모원판(10)을 스크라이브된 형태로 컷팅(cutting)한 후 컷팅 부위를 그라인딩하는 그라인더(40a, 40b)와, 그라인딩된 유리기판을 세정하기 위한 세정 유닛(50a, 50b)과, 세정된 유리기판을 언로딩하는 언로딩부(60a, 60b)를 포함한다. 그리고, 각 부로 유리기판을 이동시키기 위한 이송장치(미도시)를 포함한다.
전술한 바와 같이, 모원판(10)은 스크라이버(30a, 30b)를 통해 스크라이빙된 형태로 컷팅된 후 그라인더(40a, 40b)를 통해 컷팅부가 그라인딩된다. 그러나, 그라인더(40a, 40b)는 한 모델의 크기에 맞추어 그 동작이 설정되어 있기 때문에 설정된 모델 이외의 다른 모델이 이송되는 경우 그라인딩 동작을 안정적으로 수행하지 못하는 문제점이 있다.
이러한 연유로, 종래에는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 미리 설정된 모델 이외에 다른 모델들이 이송되는 경우 임시적으로 다른 모델들을 저장하도록 그라인더(40a, 40b) 전단에 버퍼유닛(70a, 70b)을 설치하고 있다. 예컨대, 도 1에 도시된 바와 같이 기판 생산장비에 메인모델(MM)의 생산공정을 처리하는 그라인더(40a) 및 세정 유닛(50a)이 설치된 경우, 메인모델(MM) 이외의 서브모델(SM)들은 그라인더(40a)에 의해 처리될 수 없기 때문에 그라인더(40a)로 이송되지 않고 도 1 에 도시된 점선방향의 버퍼유닛(70a)으로 옮겨져 보관되게 된다. 반면, 메인모델(MM)들은 도 1에 도신된 실선방향의 그라인더(40a)를 통해 세정 유닛(50a)으로 이송되어 처리되게 된다. 물론, 이 동작은 핸드 로봇(hand robot, 미도시)에 의해 수행된다.
한편, 도 2에 도시된 바와 같이 서브모델(SM)에 대응하는 그라인더(40b)가 설치된 경우, 즉 도 1에서 메인모델(MM)로 맞추어 설정된 그라인더(40a)를 포함한 후단 장비들을 모두 서브모델(SM) 처리가 가능한 장비로 교체한 경우, 버퍼유닛(70b)에 미리 저장된 서브모델(SM)들은 그라인더(40b)를 통해 세정 유닛(50b)으로 이송되어 처리되게 된다(도시된 점선방향).
상기에서 설명한 바와 같이, 기술적인 한계상 종래기술에 따른 MMG용 기판 생산장비에서는 미리 한 모델에 맞추어 그라인딩 장치 및 세정장치가 설치되기 때문에 대응되는 모델 이외에 다른 모델은 처리할 수 없게된다. 다른 모델을 처리하기 위해서는 그라인딩 장치 및 세정장치를 처리하고자 하는 모델에 적합한 장치로 교체한 후 생산공정을 진행해야 한다. 따라서, 생산 작업이 복잡하고, 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 생산에 앞서 설정된 모델만을 생산하며, 설정되지 않은 모델을 생할 경우 복잡해지는 생산 작업 및 생산성 저하의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것이다. 따라서 MMG 방식을 적용하여 기판을 생산하는데 있어서 기판 생산 과정을 단순화하고, 이를 통해 기판 생산성을 향상시킬 수 있는 MMG용 기판 생산장비를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 엠엠지용 기판 생산장비는 제1 모원판을 서로 다른 크기를 갖는 복수의 제1 기판 및 제2 기판으로 스크라이빙하는 제1 스크라이버와, 스크라이빙되어 얻어진 상기 제1 기판을 그라인딩하는 제1 그라인더와, 그라인딩된 상기 제1 기판을 세정하는 제1 세정 유닛을 포함하는 제1 장비와; 상기 제1 장비와 나란한 방향으로 배치되고, 상기 제1 모원판과 동일한 크기를 갖는 제2 모원판을 복수의 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판으로 스크라이빙하는 제2 스크라이버와, 스크라이빙되어 얻어진 상기 제2 기판을 그라인딩하는 제2 그라인더와, 그라인딩된 상기 제2 기판을 세정하는 제2 세정 유닛을 포함하는 제2 장비와; 상기 제1 장비와 상기 제2 장비 간에 설치되고, 상기 제1 장비에서 상기 제1 스크라이버에 의해 얻어진 상기 제2 기판을 보관하고, 상기 제2 장비에서 상기 제2 스크라이버에 의해 얻어진 상기 제1 기판을 임시로 보관하기 위한 공통 버퍼 유닛과; 상기 제1 장비로부터 상기 제2 기판 또는 상기 제2 장비로부터 상기 제1 기판을 상기 공통 버퍼 유닛으로 이송하고, 상기 공통 버퍼 유닛으로부터 상기 제1 기판을 상기 제1 장비로 또는 상기 제2 기판을 상기 제2 장비로 이송하는 핸드 로봇을 포함한다.
상기 제1 장비는 상기 제1 스크라이버에 의해 얻어진 상기 제1 기판 또는 상 기 제2 기판에 이상이 발생되어 불량처리된 경우 불량처리된 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판을 보관하기 위한 제1 버퍼 유닛을 더 포함한다.
상기 제2 장비는 상기 제2 스크라이버에 의해 얻어진 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판에 이상이 발생되어 불량처리된 경우 불량처리된 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판을 보관하기 위한 제2 버퍼 유닛을 더 포함한다.
상기 공통 버퍼 유닛은 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 독립적으로 보관하기 위해 2분할 된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 이하에서 설명되는 동일한 참조번호는 동일한 기능을 수행하는 동일 요소이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 MMG용 기판 생산장비를 설명하기 위하여 도시된 도면이다. 도 4는 도 3에 도시된 공동 버퍼유닛을 도시한 사시도이며, 도 7 및 도 8은 도 3에 도시된 핸드 로봇을 설명하기 위하여 도시한 실시예들이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 MMG용 기판 생산장비는 두 생산장비가 나란한 방향으로 배치되고, 서로 다른 모델을 처리할 수 있도록 그라인더(140a, 140b)와 세정 유닛(150a, 150b)이 설치된다. 예컨대, 도 3의 도면 상 에서 상단에 위치된 기판 생산장비(이하, '제1 장비'라 함)의 경우에는 메인모델(MM)을 처리할 수 있도록 메인모델(MM)을 처리하는 하는 그라인더(140a) 및 세정 유닛(150a)가 설치되고, 하단에 위치된 기판 생산장비(이하, '제2 장비'라 함)의 경우에는 서브모델(SM)을 처리하는 서브모델(SM)에 대응되는 그라인더(140b) 및 세정 유닛(150b)가 설치된다.
제1 및 제2 장비, 각각은 작업을 위해 모원판(110a, 110b)을 로딩하는 로딩부(120a, 120b)와, 로딩된 모원판(110a, 110b)을 스크라이빙하는 스크라이버(130a, 130b)와, 스크라이브된 모원판(110a, 110b)을 스크라이브된 형태로 컷팅하고 컷팅 부위를 그라인딩하는 그라인더(140a, 140b)와, 그라인딩된 유리기판을 세정하기 위한 세정 유닛(150a, 150b)과, 세정된 유리기판을 언로딩하는 언로딩부(160a, 160b)를 포함한다. 또한, 제1 및 제2 장비는 각각 유리기판을 이동시키기 위한 이송장치(미도시)를 포함한다. 여기서, 제1 및 제2 장비 각각은 모원판(110a, 110b)의 스크라이빙 이후 불량처리되는 유리기판(Inferior Glass : IG)을 보관하기 위한 버퍼유닛(170a, 170b)을 더 포함할 수 있다.
그리고, 제1 및 제2 장비 간에는 모델을 서로 교체하기 위하여 임시로 보관하는 공통 버퍼유닛(190)과, 공통 버퍼유닛(190)으로 유리기판을 로딩 및 언로딩하는 핸드 로봇(180)이 설치된다. 예컨대, 도 4 및 도 5를 참조하면, 제1 장비의 스크라이버(130a)를 통해 서브모델(SM)이 발생되는 경우 핸드 로봇(180)을 이용하여 제1 포트부(111)를 통해 공통 버퍼유닛(190)의 하단부로 옮겨 임시로 보관한다. 도 5를 참조하면, 공통 버퍼유닛(190)의 하단부에 보관된 서브모델(SM)은 다시 핸 드 로봇(180)에의하여 제2 포트부(112)로 로딩하게 된다. 마찬가지로, 도 4 및 6에 도시된 바와 같이, 제2 장비의 스크라이버(130b)를 통해 메인모델(MM)이 발생되는 경우 핸드 로봇(180)을 이용하여 제2 포트부(112)를 통해 공통 버퍼유닛(190)의 상단부로 옮겨 임시로 보관한다. 공통 버퍼유닛(190)의 상단부에 보관된 메인모델(MM)은 다시 핸드 로봇(180)를 이용하여 제1 포트부(111)로 로딩하게 된다. 제 1 포트부(111)로 로딩된 모델들은 해당 장비를 통해 처리된다.
핸드 로봇(180)은 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 다양한 실시예로 구성될 수 있으며, 제1 힌지(193)를 축으로 회전가능하고, 모델들을 안착시켜 들어 올리는 제1 및 제2 포크(191, 192)와, 제1 힌지(193)를 지지하는 제1 암(194)과, 제2 힌지(196)를 지지하는 제2 암(195)으로 이루어진다. 도 8은 제 2 포크가 제 1 포크에 수납되어 하나의 포크로 사용하는 경우를 도시하였다. 상기 핸드 로봇(180)은 도 7에 도시된 바와 같이 화살표 방향으로 이동 및 회전이 가능하다.
이하에서는 도 3을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 MMG용 기판 생산장비의 작용을 설명하기로 한다. 여기서, 제1 장비는 메인모델(MM)을 처리할 수 있도록 설정되고, 제2 장비는 서브모델(MM)을 처리할 수 있도록 설정된 것으로 가정하여 설명한다.
우선, 제1 및 제2 장비 각각에서 독립적으로 기판 생산공정이 순차적으로 진행된다. 순차적으로 진행된 생산공정 중, 제1 장비의 스크라이빙 공정에서 서브모델(SM)에 해당하는 유리기판이 컷팅되어 제1 포트(111)로 이송되면 핸드 로봇(180)은 이를 인지하여 서브모델(SM)을 공통 버퍼유닛(190)의 하단부로 옮긴다. 서브모 델(SM)을 공통 버퍼유닛(190)으로 옮긴 후, 핸드 로봇(180)은 공통 버퍼유닛(190)의 상단부에 보관된 메인모델(MM)을 제1 포트(111)로 로딩시킨다. 여기서, 메인모델(MM)은 제2 장비에서 컷팅되어 핸드 로봇(180)에 의해 미리 공통 버퍼유닛(190)에 저장된 유리기판이다. 제1 포트(111)로 로딩된 메인모델(MM)은 그라인더(140a)를 통해 그라인딩된 후, 세정 유닛(150a)으로 이송되어 세정 처리 후 언로딩부(160a)로 이송된다.
상기 제 1 장비에서의 생산공정과 마찬가지로, 제2 장비에서 메인모델(MM)에 해당하는 유리기판이 컷팅되어 제2 포트(112)로 이송되면 핸드 로봇(180)은 이를 인지하여 메인모델(MM)을 공통 버퍼유닛(190)의 상단부로 옮긴다. 메인모델(MM)을 공통 버퍼유닛(190)으로 옮긴 후, 핸드 로봇(180)은 공통 버퍼유닛(190)의 하단부에 보관된 서브모델(SM)을 제2 포트(112)로 로딩시킨다. 여기서, 서브모델(SM)은 제1 장비에서 발생되어 핸드 로봇(180)을 통해 미리 공통 버퍼유닛(190)의 하단부에 저장된 유리기판이다. 제2 포트(112)로 로딩된 서브모델(SM)은 그라인더(140b)를 통해 그라인딩된 후, 세정 유닛(150b)으로 이송되어 세정 처리 후 언로딩(160b)부로 이송된다. 이러한 서브모델(SM)의 처리 과정이 도 3에 도시된 점선으로 도시되었다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 엠엠지용 기판 생산장비는 서로 다른 크기를 갖는 유리기판을 생산할 수 있도록 설정된 장비 간에 공통 버퍼유닛을 설치하 고, 다른 크기의 유리기판을 설치된 공통 버퍼유닛과 핸드 로봇을 통해 생산장비간의 교환이 가능하도록 함으로써 기판 생산공정을 단순화하고, 이를 통해 기판 생산성을 향상시킬 수 있다.
이상에서 설명한 내용을 통해 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라, 특허청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (4)

  1. 제1 모원판을 서로 다른 크기를 갖는 복수의 제1 기판 및 제2 기판으로 스크라이빙하는 제1 스크라이버와, 스크라이빙되어 얻어진 상기 제1 기판을 그라인딩하는 제1 그라인더와, 그라인딩된 상기 제1 기판을 세정하는 제1 세정 유닛을 포함하는 제1 장비와;
    상기 제1 장비와 나란한 방향으로 배치되고, 상기 제1 모원판과 동일한 크기를 갖는 제2 모원판을 복수의 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판으로 스크라이빙하는 제2 스크라이버와, 스크라이빙되어 얻어진 상기 제2 기판을 그라인딩하는 제2 그라인더와, 그라인딩된 상기 제2 기판을 세정하는 제2 세정 유닛을 포함하는 제2 장비와;
    상기 제1 장비와 상기 제2 장비 간에 설치되고, 상기 제1 장비에서 상기 제1 스크라이버에 의해 얻어진 상기 제2 기판을 보관하고, 상기 제2 장비에서 상기 제2 스크라이버에 의해 얻어진 상기 제1 기판을 임시로 보관하기 위한 공통 버퍼 유닛과;
    상기 제1 장비로부터 상기 제2 기판 또는 상기 제2 장비로부터 상기 제1 기판을 상기 공통 버퍼 유닛으로 이송하고, 상기 공통 버퍼 유닛으로부터 상기 제1 기판을 상기 제1 장비로 또는 상기 제2 기판을 상기 제2 장비로 이송하는 핸드 로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 엠엠지용 기판 생산장비.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 장비는 상기 제1 스크라이버에 의해 얻어진 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판에 이상이 발생되어 불량처리된 경우 불량처리된 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판을 보관하기 위한 제1 버퍼 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엠엠지용 기판 생산장비.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 장비는 상기 제2 스크라이버에 의해 얻어진 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판에 이상이 발생되어 불량처리된 경우 불량처리된 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판을 보관하기 위한 제2 버퍼 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엠엠지용 기판 생산장비.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 공통 버퍼 유닛은 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 독립적으로 보관하기 위해 2분할 된 것을 특징으로 하는 엠엠지용 기판 생산장비.
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