KR20050096715A

KR20050096715A - 평판 디스플레이 검사장치

Info

Publication number: KR20050096715A
Application number: KR1020040022377A
Authority: KR
Inventors: 이완복
Original assignee: 주식회사 디이엔티
Priority date: 2004-03-31
Filing date: 2004-03-31
Publication date: 2005-10-06
Also published as: CN100576025C; TW200532178A; TWI255912B; KR100552935B1; CN1677178A

Abstract

본 발명은 패널의 로딩 및 언로딩이 가능한 2개의 캐리어를 구비하여 피검사 패널의 배출 및 미검사 패널의 공급을 동시에 수행할 수 있도록 한 평판 디스플레이 검사장치에 관한 것이다.

이에, 본 발명은 패널을 장착하는 스테이지가 구비된 검사부와; 상기 스테이지상에서 피검사 패널을 배출함과 동시에 미검사 패널을 상기 스테이지에 공급하는 패널이송부와; 상기 패널이송부에서 배출되는 피검사 패널을 외부로 반출하고, 미검사 패널을 공급받아 상기 패널이송부로 전달하는 패널공급부를 포함하는 평판 디스플레이 검사장치에 있어서, 상기 패널이송부는, 상기 스테이지와 패널공급부의 사이에 수평으로 설치되는 한 쌍의 레일과; 상기 레일상에 각각 설치되어, 상기 스테이지와 패널공급부 사이를 상호 교차하도록 왕복이송되는 제1,2 캐리어와; 상기 제1,2 캐리어에 각각 구비되고, 상기 스테이지와 패널공급부측으로 이동하여 패널을 직접 로딩 및 언로딩한 후 대기상태로 복귀하는 적재부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기와 같은 검사장치를 제공함으로써, 종래에 비해 작업성 및 생산성을 현저하게 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.

Description

평판 디스플레이 검사장치{FLAT PANEL DISPLAY TESTER}

본 발명은 스테이지상에 패널을 장착하여 검사를 수행하는 평판 디스플레이 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 패널의 로딩 및 언로딩이 가능한 2개의 캐리어를 구비하여 피검사 패널의 배출 및 미검사 패널의 공급을 동시에 수행할 수 있도록 한 평판 디스플레이 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이(FPD, Flat Panel Display)란 TV나 컴퓨터의 모니터에 사용되고 있는 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)을 대체하기 위해 개발된 차세대 표시장치로, 경량·박형설계가 용이하고 고화질, 저소비전력 등의 장점을 가지므로 산업에서 널리 이용되고 있는 실정이다.

근래에는 LCD(Liquid Crystal Display)나 PDP(Plasma Display Panel) 등의 다양한 표시장치가 출시되고 있는데, 상기 표시장치는 제조과정에서 패널의 외관 및 전기적인 결함을 검사하는 공정을 거치게 된다.

이에, 종래에도 스테이지상에 패널을 장착하여 검사를 수행하는 검사장치가 출시되어 있으며, 도 8은 종래 평판 디스플레이 검사장치의 일 예를 보인 사시도이고, 도 9는 도 8에 따른 작동상태도이다.

도시된 검사장치는 대형 PDP용 검사장치로서 도시된 바와 같이, 검사장치의 내측 하부에는 외부로부터 공급된 패널을 정렬 및 이송하는 패널이송부(200)가 구비되고, 그 상측에는 패널이 장착되는 스테이지(100)가 구비되어 있다.

상기 스테이지(100)는 모터(110)에 의해 회전가능하게 설치되며, 전방측에 패널의 고정을 위한 흡착수단과, 고정된 패널을 검사하기 위한 프로브유닛 등이 장착되어 있다.

상기 패널이송부(200)에는 통상의 이송수단에 의해 상,하로 이동가능하게 구비되는 승강대(210)와, 상기 승강대의 수직이동을 가이드하는 다수개의 가이드(220)와, 상기 승강대상에 거치된 패널을 수평이송하는 다수개의 롤러(230)가 구비되어 있으며, 그 밖에도 패널을 정렬 및 고정하는 위치정렬수단 및 흡착수단 등이 구비되어 있다.

상기 미부호의 구성요소들은 통상의 검사장치에 널리 사용되고 있으며, 당업자가 용이하게 이해할 수 있는 정도의 기술이므로, 그에 대한 도시 및 설명은 생략하기로 한다.

이에 따라, 패널을 스테이지상에 장착하는 과정을 설명하면 다음과 같다. 먼저, 미검사 패널(P)이 공급되어 승강대(210)상에 셋팅되면, 스테이지(100)가 회전하여 수평으로 고정되며, 상기 승강대가 상승하여 상기 패널을 상기 스테이지에 장착하게 된다.

그 다음, 승강대(210)가 하강하여 원위치로 복귀함과 동시에 스테이지(100)가 회전하여 장착된 패널(P)의 검사를 수행하게 되며, 검사의 완료 후에는 상기 공급과정과 동일한 작동을 통해 피검사 패널을 외부로 배출하게 된다.

그러나, 상기와 같은 종래의 검사장치는 패널의 검사가 진행되는 과정에서 패널공급이 이루어지지 않으므로, 검사 종료 후 피검사 패널이 완전히 배출된 후에야 미검사 패널을 공급하여 스테이지에 장착할 수 있었다.

이에 따라, 전체적인 검사의 진행과정에서 패널의 검사종료시점부터 다음 패널의 검사시작시점까지 많은 시간이 소모됨으로써, 작업성 및 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

이에, 본 발명은 상술한 바와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 패널의 로딩 및 언로딩이 가능한 2개의 캐리어를 구비하여 피검사 패널의 배출 및 미검사 패널의 공급을 동시에 수행할 수 있도록 한 평판 디스플레이 검사장치를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 캐리어에 구비된 적재판의 이동시 상기 적재판 및 이송수단에 가해지는 부하를 최소화할 수 있도록 한 평판 디스플레이 검사장치를 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 적재판의 상,하측에 패널을 고정하는 클램핑부재를 구비하여, 운반과정에서 패널이 적재판에서 이탈되는 것을 방지할 수 있도록 한 평판 디스플레이 검사장치를 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 패널의 사이즈에 따라 클램핑부재 사이의 간격을 조절할 수 있도록 한 평판 디스플레이 검사장치를 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 적재판의 일면에 간격유지부재를 구비하여, 상기 적재판과 패널 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있도록 한 평판 디스플레이 검사장치를 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 완충부재를 구비하여 회동판상에 패널의 로딩시 충격을 흡수할 수 있도록 한 평판 디스플레이 검사장치를 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 패널의 로딩시, 회동판과 패널 사이의 간격을 일정하게 유지함과 동시에 충격을 흡수할 수 있도록 한 평판 디스플레이 검사장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 이루기 위해 본 발명은 패널을 장착하는 스테이지가 구비된 검사부와; 상기 스테이지상에서 피검사 패널을 배출함과 동시에 미검사 패널을 상기 스테이지에 공급하는 패널이송부와; 상기 패널이송부에서 배출되는 피검사 패널을 외부로 반출하고, 미검사 패널을 공급받아 상기 패널이송부로 전달하는 패널공급부를 포함하는 평판 디스플레이 검사장치에 있어서,

상기 패널이송부는, 상기 스테이지와 패널공급부의 사이에 수평으로 설치되는 한 쌍의 레일과; 상기 레일상에 각각 설치되어, 상기 스테이지와 패널공급부 사이를 상호 교차하도록 왕복이송되는 제1,2 캐리어와; 상기 제1,2 캐리어에 각각 구비되고, 상기 스테이지와 패널공급부측으로 이동하여 패널을 직접 로딩 및 언로딩한 후 대기상태로 복귀하는 적재부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상술한 본 발명의 양상은 첨부된 도면을 참조하여 설명되는 바람직한 실시예들을 통하여 더욱 명백해질 것이다. 이하에서는 바람직한 실시예를 통해 당업자가 본 발명을 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예를 보인 내부 사시도이고, 도 2는 도 1에 따른 패널공급부를 개략적으로 보인 측면도이다. 도시된 검사장치는 대형 PDP용 검사장치로서, 그 구성은 크게 패널을 장착하는 스테이지(10)가 구비된 검사부와, 상기 스테이지에서 피검사 패널을 배출함과 동시에 미검사 패널을 상기 스테이지에 공급하는 패널이송부와, 상기 패널이송부에서 배출되는 피검사 패널을 외부로 반출하고 미검사 패널을 공급받아 상기 패널이송부로 전달하는 패널공급부로 이루어진다.

상기 검사부에는 통상적으로 스테이지(10)에 장착된 패널을 검사할 수 있도록 광원(미도시)과 프로브유닛(미도시)이 구비되고, 패널의 장착시 위치정렬을 위한 각종 얼라이먼트(미도시)가 구비된다.

상기 패널이송부에는 패널의 로딩 및 언로딩이 가능한 제1,2 캐리어(30A,30B)가 구비되는데, 상기 제1,2 캐리어는 스테이지(10)와 패널공급부의 사이를 수평방향으로 이동하면서, 피검사 패널의 배출 및 미검사 패널의 공급을 동시에 수행하게 된다.

즉, 상기 제1 캐리어(30A)가 피검사 패널을 스테이지(10)에서 분리하여 패널공급부측으로 이동 및 배출하는 과정에서, 제2 캐리어(30B)는 상기 제1 캐리어와 반대로 패널공급부측에서 미검사 패널을 전달받아 상기 스테이지측으로 이동 및 장착한다.

상기 패널이송부의 구성 및 작동관계는 후술하는 도 5 내지 도 7에서 상세히 설명하기로 하고, 먼저 패널공급부의 구성을 설명하면 다음과 같다.

상기 패널공급부는 제1,2 캐리어(30A,30B)의 정지시 피검사 패널을 배출하고 미검사 패널을 공급하는 제1 공급부(60)와, 상기 제1 공급부로부터 배출된 피검사 패널을 전달받아 외부로 반출하고, 외부에서 공급되는 미검사 패널을 자동으로 정렬하여 상기 제1 공급부로 전달하는 제2 공급부(70)로 구성된다.

상기 제2 공급부(70)는 다수개의 이송롤러(710)가 구비된 승강대(71)와, 상기 승강대를 상,하로 이동시키는 승강수단(72)과, 상기 승강대의 이동을 가이드하는 가이드부재(73)로 구성된다.

이때, 상기 승강수단(72)는 승강대(71)의 양측에 각각 설치되며, 상기 승강대의 측부에 일체로 형성된 너트하우징(720)과, 상기 너트하우징의 내측에 결합되는 볼스크류(721)와, 상기 볼스크류를 구동하는 모터(722)로 구성된다.

상기 제2 공급부(70)에는, 종래와 마찬가지로 승강대(71)에 거치된 패널(P)을 자동으로 정렬하는 얼라인먼트(미도시)와, 정렬된 패널을 진공으로 흡착하여 고정하는 흡착수단(미도시) 등이 구비되어 있다.

상기 제1 공급부(60)는 제2 공급부(71)의 상측에 구비되며, 패널의 로딩 및 언로딩이 가능한 회동판(63)을 구비하여, 제1,2 캐리어(30A,30B)에서 수직으로 배출되는 피검사 패널을 전달받아 수평으로 눕혀서 승강대(71)로 배출하며, 상기 승강대를 통해 수평으로 공급되는 미검사 패널을 전달받아 수직으로 세워서 상기 제1,2 캐리어에 순차적으로 공급한다.

도 3은 도 2에 따른 제1 공급부를 보인 측면도이고, 도 4는 도 6에 따른 작동상태도이다. 도시된 바와 같이 제1 공급부는 힌지축(610)을 지점으로 회전가능하게 구비되는 회동부재(61)와, 상기 회동부재을 상기 힌지축을 지점으로 회동시키는 작동수단(62)과, 상기 회동부재의 전방에 장착되며 일면에 흡착수단(64)이 구비되어 패널(P)을 로딩 및 언로딩하는 회동판(63)으로 구성된다.

상기 작동수단(62)은, 일측이 프레임상에 힌지고정되는 통상의 공압 실린더(620)와, 상기 실린더의 타측에 구비되며 끝단이 회동부재(61)의 후방측에 힌지고정되는 피스톤(621)으로 구성된다.

이에 따라, 상기 실린더(620)의 작동시 피스톤(621)이 회동부재(61)를 가압하여 힌지축(610)을 지점으로 회전시킴으로써, 회동판(63)에 장착된 패널(P)의 각도를 수직으로 변위시키게 된다.

이때, 상기 회동부재(61)의 배면을 지지하는 제1 스토퍼(65a)와, 측면을 지지하는 제2 스토퍼(65b)를 구비하면, 상기 회동부재의 회전시 오버런(over run)을 방지할 수 있으므로, 패널을 정확한 위치에서 로딩 및 언로딩할 수 있게 된다.

한편, 상기 제1,2 스토퍼(65a,65b)에 스프링이나 공압을 이용한 완충수단을 구비하면, 회동부재(61)의 접촉시 충격으로 인하여 패널이 움직이거나 파손되는 것을 방지할 수 있게 된다.

또한, 회동부재(61)와 회동판(63)의 사이에 코일스프링과 같은 완충부재(66)를 구비하면, 패널의 로딩 및 언로딩시 상기 회동판에 전달되는 충격을 흡수할 수 있다.

이때, 상기 회동판(63)의 일면에 흡착수단(64)과는 별도로 다수개의 패널지지부재(67)를 구비하여, 패널(P)의 로딩시 상기 패널과 회동판 사이의 간격을 일정하게 유지한다.

도 5는 도 1에 따른 패널이송부를 보인 사시도이고, 도 6은 도 5에 따른 제1 캐리어의 작동상태를 보인 측면도이다.

도시된 바와 같이 패널이송부는, 수평으로 설치되는 한 쌍의 레일(20A,20B)과, 상기 레일상에 각각 수평으로 이송가능하게 설치되는 제1,2 캐리어(30A,30B)와, 상기 제1,2 캐리어에 각각 구비되어 패널(P)을 직접 로딩 및 언로딩하는 적재부(50A,50B)로 구성된다.

상기 레일(20A,20B)의 일측에는 제1,2 캐리어(30A,30B)를 상호 교차하도록 왕복이송하는 캐리어구동부(40)가 구비되는데, 상기 캐리어구동부는 모터와 풀리 및 타이밍밸트 등으로 구성되며, 당업자라면 용이하게 구현할 수 있는 공지기술이므로 상세한 도시 및 설명은 생략한다.

이때, 제1 캐리어(30A)는 내측의 레일(20A)상에 설치되고, 제2 캐리어(30B)는 외측의 레일(20B)상에 설치되는데, 그 구성 및 작동원리가 상호 동일함으로써 편의상 상기 제1 캐리어를 기준으로 설명한다.

상기 적재부(50A)는, 공압 실린더로 구현된 이송수단(51a)에 의해 전,후로 이동하는 적재판(52a)과, 상기 적재판에 구비되어 패널을 고정 및 분리하는 흡착수단(53a)으로 구성된다.

이때, 제1 캐리어(30A)에는 다수개의 가이드부재(54a)가 슬라이드 가능하게 장착되며, 상기 가이드부재는 끝단이 적재판(52a)의 배면에 일체로 고정되어 상기 적재판의 전,후 이동을 가이드하게 된다.

이에 따라, 적재판(52a)의 전,후 이동시 로딩된 패널(P)의 하중을 다수개의 가이드부재(54a)가 적절히 분산하여, 상기 적재판 및 이송수단(51a)에 가해지는 부하를 최소화할 수 있게 된다.

또한, 제1 캐리어(30A)에는 적재판(52a)의 상,하측에 각각 2개씩의 클램핑부재(55a)를 구비하여, 패널(P)의 로딩 및 언로딩시 그 상,하부를 고정 및 해제하도록 함으로써, 로딩된 패널이 하중에 의해 이탈되는 것을 방지한다.

이때, 상기 클램핑부재(55a)는 패널(P)의 단부를 고정 및 해제하는 클램퍼(550)와, 상기 클램퍼를 작동하는 실린더(551)로 구성된다.

한편, 상기 클램핑부재(55a)를 제1 캐리어(30A)상에 대칭되게 구비되는 한 쌍의 승강대(56a)에 장착하고, 상기 승강대의 사이에 공압 실린더로 구현되는 간격조절수단(57a)을 구비하면, 적재판(52a)의 상,하측에 구비된 클램핑부재의 간격을 용이하게 조절할 수 있으므로, 패널의 크기에 관계없이 로딩이 가능하게 된다.

또한, 상기 적재판(52a)의 일면에 흡착수단(53a)와는 별도로 다수개의 패널지지부재(58a)를 구비하여, 패널(P)의 로딩시 상기 패널과 회동판 사이의 간격을 일정하게 유지한다.

도 7은 도 5에 따른 제2 캐리어의 작동상태를 보인 측면도이다. 도시된 바와 같이, 제2 캐리어(30B)의 구성 및 작동관계는 상술한 제1 캐리어(30A)와 동일함으로써 상세한 설명을 생략하기로 한다.

단지, 제2 캐리어는 외측의 레일(20B)상에 설치되는 관계로, 패널(P)의 로딩 및 언로딩시 적재판(52b)이 제1 캐리어(30A)의 적재판(52a)에 비해 장거리를 이동함으로써, 이송수단(51b) 및 가이드부재(54b)가 그에 적합하게 구성된다.

상술한 바와 같이, 스테이지(10)상에 장착된 패널의 검사가 완료되면, 대기중인 제2 캐리어(30B)의 적재판(52b)이 이동하여 상기 패널을 분리함과 동시에, 제1 공급부(60)측에 대기중인 제1 캐리어(20A)의 적재판(52a)이 이동하여 대기중인 회동판(63)에서 미검사 패널을 분리한다.

상기와 같이 제1,2 캐리어(30A,30B)에 패널의 로딩이 완료되면, 각각 레일(20A,20B)을 따라 상호 교차이동하여, 상기 제1 캐리어는 미검사 패널을 스테이지(10)상에 장착하고, 상기 제2 캐리어는 피검사 패널을 회동판(63)에 전달함으로써, 피검사 패널의 배출 및 미검사 패널의 공급이 동시에 수행하게 된다.

상술한 바와 같이 본 발명은 패널의 로딩 및 언로딩이 가능한 2개의 캐리어를 구비하여, 피검사 패널의 배출 및 미검사 패널의 공급을 동시에 수행함으로써, 종래에 비해 작업성 및 생산성을 현저하게 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.

또한, 캐리어에 적재판의 이동을 가이드하는 가이드부재를 구비하여, 상기 적재판 및 이송수단에 가해지는 부하를 최소화함으로써, 대형 패널이 로딩시에도 안정적인 작동을 보장할 수 있는 효과를 가진다.

또한, 적재판의 상,하측에 패널을 고정하는 클램핑부재를 구비하여, 운반과정에서 패널이 적재판에서 이탈되는 것을 방지함으로써, 패널의 파손 및 그로 인한 불의의 사고를 미연에 방지할 수 있는 효과를 가진다.

또한, 패널의 상,하부를 고정하는 클램핑부재 사이의 간격을 조절할 수 있으므로, 다양한 크기의 패널을 용이하게 로딩할 수 있는 효과를 가진다.

또한, 적재판의 일면에 간격유지부재를 구비하여, 상기 적재판과 패널 사이의 간격을 일정하게 유지함으로써, 패널의 로딩시 충격을 최소화할 수 있음은 물론, 운반과정에서 패널에 진동 및 충격이 발생되는 것을 방지할 수 있는 효과를 가진다.

또한, 회동부재와 회동판 사이에 완충부재를 구비하여, 상기 회동판에 패널의 로딩시 충격을 흡수함으로써, 패널의 파손을 방지할 수 있는 효과를 가진다.

또한, 회동판의 일면에 간격유지부재를 구비하여, 상기 회동판과 패널 사이의 간격을 일정하게 유지함으로써, 패널의 로딩시 충격을 최소화할 수 있음은 물론, 회동과정에서 패널에 진동 및 충격이 발생되는 것을 방지할 수 있는 효과를 가진다.

한편, 본 발명은 도면에 도시된 실시예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예를 보인 내부 사시도.

도 2는 도 1에 따른 패널공급부를 개략적으로 보인 측면도.

도 3은 도 2에 따른 제1 공급부를 보인 측면도.

도 4는 도 6에 따른 작동상태도.

도 5는 도 1에 따른 패널이송부를 보인 사시도.

도 6은 도 5에 따른 제1 캐리어의 작동상태를 보인 측면도.

도 7은 도 5에 따른 제2 캐리어의 작동상태를 보인 측면도.

도 8은 종래 평판 디스플레이 검사장치의 일 예를 보인 사시도.

도 9는 도 8에 따른 작동상태도.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10 : 스테이지 20A,B : 레일

30A,B : 제1,2 캐리어 40 : 캐리어구동부

50A,B : 적재부 51a,b : 이송수단

52a,b : 적재판 53a,b : 흡착수단

54a,b : 가이드부재 55a,b : 클램핑부재

56a,b : 승강대 57a,b : 간격조절수단

58a,b : 패널지지부재 60 : 제1 공급부

61 : 회동부재 610 : 힌지축

62 : 작동수단 63 : 회동판

64 : 흡착수단 65a,b : 제1,2 스토퍼

66 : 완충부재 67 : 패널지지부재

70 : 제2 공급부 71 : 승강대

710 : 이송롤러 72 : 승강수단

73 : 가이드부재

Claims

패널을 장착하는 스테이지(10)가 구비된 검사부와;

상기 스테이지상에서 피검사 패널을 배출함과 동시에 미검사 패널을 상기 스테이지에 공급하는 패널이송부와;

상기 패널이송부에서 배출되는 피검사 패널을 외부로 반출하고, 미검사 패널을 공급받아 상기 패널이송부로 전달하는 패널공급부를 포함하는 평판 디스플레이 검사장치에 있어서,

상기 패널이송부는, 상기 스테이지와 패널공급부의 사이에 수평으로 설치되는 한 쌍의 레일(20A,20B)과;

상기 레일상에 각각 설치되어, 상기 스테이지와 패널공급부 사이를 상호 교차하도록 왕복이송되는 제1,2 캐리어(30A,30B)와;

상기 제1,2 캐리어에 각각 구비되고, 상기 스테이지와 패널공급부측으로 이동하여 패널을 직접 로딩 및 언로딩한 후 대기상태로 복귀하는 적재부(50A,50B);를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 적재부(50A,50B)는;

상기 제1,2 캐리어(30A,30B)에 장착된 이송수단(51a,51b)에 의해 전,후로 이동하는 적재판(52a,52b)과, 상기 적재판에 구비되어 패널을 고정 및 분리하는 흡착수단(53a,53b)을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사장치.
제2항에 있어서,

상기 제1,2 캐리어(30A,30B)에는 상기 적재판(52a,52b)의 전,후 이동을 가이드하는 가이드부재(54a,54b)가 구비된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사장치.
제3항에 있어서,

상기 제1,2 캐리어(30A,30B)에는 패널을 고정 및 해제하는 클램핑부재(55a,55b)가 상기 적재판(52a,52b)의 상,하측에 각각 구비된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사장치.
제4항에 있어서,

상기 클램핑부재(55a,55b)는 상기 제1,2 캐리어(30A,30B)상에 상,하로 이동가능하게 구비되는 한 쌍의 승강대(56a,56b)에 각각 장착되며, 상기 승강대는 간격조절수단(57a,57b)에 의해 그 간격이 조절되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사장치.
제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 클램핑부재(55a,55b)는;

패널의 로딩 및 언로딩시 그 단부를 고정 및 해제하는 클램퍼(550)와, 상기 클램퍼를 작동하는 실린더(551)로 구성된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사장치.
제2항 내지 제5항에 있어서,

상기 적재판(52a,52b)의 일면에는 패널의 로딩시 그 표면에 밀착되어 간격을 유지하는 패널지지부재(58a,58b)가 구비된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 패널공급부는;

상기 제1,2 캐리어(30A,30B)의 정지시 피검사 패널을 배출하고 미검사 패널을 공급하는 제1 공급부(60)와;

상기 제1 공급부로부터 배출된 피검사 패널을 전달받아 외부로 반출하고, 외부에서 공급되는 미검사 패널을 자동으로 정렬하여 상기 제1 공급부로 전달하는 제2 공급부(70)를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사장치.
제8항에 있어서, 상기 제2 공급부(70)는;

패널이 거치되며 다수개의 이송롤러(710)가 구비된 승강대(71)와, 상기 승강대를 상,하로 이동시키는 승강수단(72)과, 상기 승강대의 이동을 가이드하는 가이드부재(73)를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사장치.
제9항에 있어서, 상기 제1 공급부(60)는;

상기 제2 공급부(71)의 상측에 구비되며, 힌지축(610)을 지점으로 회전가능하게 구비되는 회동부재(61)와;

상기 회동부재을 상기 힌지축을 지점으로 회동시키는 작동수단(62)과;

상기 회동부재의 전방에 장착되며, 일면에 흡착수단(64)이 구비되어 패널을 로딩 및 언로딩하는 회동판(63)을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사장치.
제10항에 있어서,

상기 회동부재(61)의 회전 전,후에 각각 그 위치를 고정하는 제1,2 스토퍼(65a,65b)가 구비된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사장치.
제10항에 있어서,

상기 회동부재(61)와 회동판(63)의 사이에는 패널의 로딩시 충격을 흡수하는 완충부재(66)가 구비된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사장치.
제10항에 있어서,

상기 회동판(63)의 일면에는 패널의 로딩시 그 표면에 밀착되어 간격을 유지하는 패널지지부재(67)가 구비된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사장치.
제11항에 있어서,

상기 제1,2 스토퍼(65a,65b)의 내부에는 완충수단이 구비되어 상기 회동부재(61)와 접촉시 충격을 흡수하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사장치.