KR20050084714A - 내환원성 유전체 조성물 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 내환원성 유전체 조성물 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 주성분인 (Ca1-xSrx)m(TiyZr1-y)O3
(0≤x≤1, 0≤y≤0.09, 0.7≤m≤1.05) 100중량부에 대하여, aMnO-bSiO2-dR1O-eR2O2(a+b+d+e=100이며, 20≤a≤60, 10≤b≤65, 0≤d+e≤65, R1은 Mg, Ca, Sr, Ba중 선택된 하나 이상의 성분, R2는 Zr, Ti중 선택된 하나 이상의 성분): 0.5~10중량부, MnO2: 0.1~3중량부를 포함하여 이루어진다.
또한, 본 발명은 상기 내환원성 유전체 조성물의 제조방법을 제공한다.
본 발명은 1250℃ 이하의 낮은 소성온도에서 소성하더라도 글래스 뭉침 현상이 발생되지 않아 이를 적층 세라믹 콘덴서에 적용할 경우 박층 고용량화 및 신뢰성을 확보할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 발명은 내환원성 유전체 조성물 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 1250℃ 이하의 저온에서 소성하더라도 글래스 뭉침 현상이 발생되지 않는 내환원성 유전체 조성물 및 그 제조방법에 관한 것이다.
적층 세라믹 콘덴서는 전자제품이 디지털화, 소형화, 고기능화를 추구함에 따라 그 수요가 매년 증가되고 있으며, 특히 텔레비젼, 컴퓨터, 비디오 카메라, 휴대전화 등의 전자기기에서 그 수요가 폭발적으로 증가되고 있다. 이에 최근에는 절연저항이 높고, 유전손실이 작고, 정전용량의 온도에 따른 변화율이 작은 적층 세라믹 콘덴서에 대한 요구가 높아지고 있다.
종래의 적층 세라믹 콘덴서는 내부전극으로 Pd 또는 Ag-Pd 합금과 같은 고가의 귀금속을 사용하였고, BaO-Nd2O3-TiO2계 또는 MgTiO3-CaTiO
3계 유전체 조성물을 사용하여 1100~1350℃의 대기중에서 소성함으로써 제조되었다. 그러나, 상기 종래의 조성은 환원분위기 소성시 산소공공의 형성으로 인하여, 절연저항이 낮아지고 신뢰성이 나빠지는 등의 문제때문에 저가인 Ni을 내부전극으로 사용할 수 없는 문제점이 있다.
Ni을 내부전극으로 사용하기 위해서는 환원분위기에서 소성이 가능한 조성을 이용하여야 하는데, 이러한 종래기술로는 일본 공개특허공보 평10-335169호 및 대한민국 공개특허공보 2003-56241호가 있다.
상기 일본 공개특허공보 평10-335169호는 [(CaxSr1-x)O]m[(TiyZr
1-y)O2] (0≤x≤1, 0≤y≤0.10, 0.75≤m≤1.04)인 주성분과, 상기 주성분에 대하여 부성분으로써, Mn산화물을 MnO로 환산하여 0.2~5몰%, Al산화물을 Al2O3로 환산하여 0.1~10몰%, [(BazCa1-z)O]vSiO2 (0≤z≤1, 0.5≤v≤4.0) 성분을 0.5~15몰% 함유한 비환원성 유전체 자기재료에 관한 것으로, 내환원성을 가지며 온도에 따른 용량변화율이 작은 효과가 있다. 그러나, 상기 종래기술은 유전체의 소성온도가 1300℃ 이상으로 높고, 소결과정중 전극금속의 수축율이 세라믹 보다 높아 내부전극과 세라믹간에 부정합이 발생함으로써, 크랙이나 결함 등이 발생되는 문제점이 있다.
또한, 상기 대한민국 공개특허공보 2003-56241호는 주성분인 (Ca1-xSrx)m(TiyZr1-y)O3 (0≤x≤1, 0≤y≤0.09, 0.7≤m≤1.05)에 0.5~10중량%의 aMnO-bSiO2-dR1O-eR2O2 (a+b+d+e=100, R1은 Mg, Ca, Sr, Ba 중 적어도 하나의 성분, R2는 Zr, Ti중 선택된 적어도 하나의 성분)을 함유하는 내환원성 유전체 조성물에 관한 것으로, 1250℃ 이하의 저온소성을 하더라도 소결과정에서 Ni 내부전극과 세라믹간의 부정합을 개선할 수 있을 뿐만 아니라 적은 유전손실과 비저항을 제공하는 효과가 있다. 그러나, 상기 종래기술은 소성후 글래스가 수십 ㎛ 크기로 불균일하게 편재하고 뭉치는 양상이 보여지며, 이러한 미세구조로 인하여 스트레스를 유발함으로써 크랙이 발생하고 박층화시 문제가 발생될 가능성이 있다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 1250℃ 이하의 저온에서 소성하더라도 글래스 뭉침 현상이 발생되지 않는 내환원성 유전체 조성물 및 그 제조방법을 제공하는데, 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 주성분인 (Ca1-xSrx)m(Tiy
Zr1-y)O3(0≤x≤1, 0≤y≤0.09, 0.7≤m≤1.05) 100중량부에 대하여, aMnO-bSiO2-dR1O-eR2O2(a+b+d+e=100이며, 20≤a≤60, 10≤b≤65, 0≤d+e≤65, R1은 Mg, Ca, Sr, Ba중 선택된 하나 이상의 성분, R2는 Zr, Ti중 선택된 하나 이상의 성분): 0.5~10중량부, MnO2: 0.1~3중량부를 포함하여 이루어진다.
또한, 본 발명은 CaCO3, TiO2, ZrO2 및 SrCO3 원료분말을 통상의 방법으로 혼합한 다음 하소하여 (Ca1-xSrx)m(TiyZr1-y)O3
와 같이 조성되며, 0≤x≤1, 0≤y≤0.09 및 0.7≤m≤1.05를 만족하는 CSTZ를 마련하는 제 1단계;
상기와 같이 마련된 CSTZ 100중량부에 대하여, 0.1~3중량부의 MnO2를 추가로 첨가하여 통상의 방법으로 분쇄한 후, 건조하는 제 2단계; 및
상기 분쇄 및 건조된 CSTZ 분말 100중량부에 대하여, aMnO-bSiO2-dR1O-eR2O2(a+b+d+e=100이며, 20≤a≤60, 10≤b≤65, 0≤d+e≤65, R1은 Mg, Ca, Sr, Ba중 선택된 하나 이상의 성분, R2는 Zr, Ti중 선택된 하나 이상의 성분): 0.5~10중량부를 혼합하여 슬러리로 제조하는 제 3단계;를 포함하여 이루어진다.
또한, 본 발명은 CaCO3, TiO2, ZrO2 및 SrCO3 원료분말을 통상의 방법으로 혼합한 다음 하소하여 (Ca1-xSrx)m(TiyZr1-y)O3
와 같이 조성되며, 0≤x≤1, 0≤y≤0.09 및 0.7≤m≤1.05를 만족하는 CSTZ를 마련하는 제 1단계;
상기와 같이 마련된 CSTZ를 통상의 방법으로 분쇄하고, 건조한 후 상기 CSTZ 100중량부에 대하여 0.1~3중량부의 MnO2를 추가로 첨가하는 제 2단계; 및
상기 분쇄 및 건조된 CSTZ 분말 100중량부에 대하여, aMnO-bSiO2-dR1O-eR2O2(a+b+d+e=100이며, 20≤a≤60, 10≤b≤65, 0≤d+e≤65, R1은 Mg, Ca, Sr, Ba중 선택된 하나 이상의 성분, R2는 Zr, Ti중 선택된 하나 이상의 성분): 0.5~10중량부를 혼합하여 슬러리로 제조하는 제 3단계;를 포함하여 이루어진다.
또한, 본 발명은 CaCO3, TiO2, ZrO2 및 SrCO3 원료분말을 통상의 방법으로 혼합한 다음 하소하여 (Ca1-xSrx)m(TiyZr1-y)O3
와 같이 조성되며, 0≤x≤1, 0≤y≤0.09 및 0.7≤m≤1.05를 만족하는 CSTZ를 마련하는 제 1단계;
상기와 같이 마련된 CSTZ를 통상의 방법으로 분쇄하고, 건조하는 제 2단계; 및
상기 분쇄 및 건조된 CSTZ 분말 100중량부에 대하여, aMnO-bSiO2-dR1O-eR2O2(a+b+d+e=100이며, 20≤a≤60, 10≤b≤65, 0≤d+e≤65, R1은 Mg, Ca, Sr, Ba중 선택된 하나 이상의 성분, R2는 Zr, Ti중 선택된 하나 이상의 성분): 0.5~10중량부, MnO2: 0.1~3중량부를 혼합하여 슬러리로 제조하는 제 3단계;를 포함하여 이루어진다.
이하, 본 발명에 대하여 상세하게 설명한다.
먼저, 본 발명의 내환원성 유전체 조성물의 성분제한 이유부터 살펴본다.
본 발명의 내환원성 유전체 조성물은 (Ca1-xSrx)m(TiyZr1-y
)O3을 주성분으로 하고, 상기 주성분은 0≤x≤1, 0≤y≤0.09, 0.7≤m≤1.05을 만족하는 것이 바람직하다.
상기 x는 Sr의 원자수를 표현하는 것으로, x(즉, Ca/Sr 비)를 변경하면 결정의 상전이 점을 임의로 이동시키는 것이 가능하다. 이 때문에 용량온도계수나 비유전율을 임의로 제어하는 것이 가능하며, Ca 또는 Sr의 임의의 혼합물이거나 양쪽중 한 성분으로만 이루어진 것이 모두 이용 가능하다.
상기 y는 Ti의 원자수를 표현하는 것으로, 0.09를 초과하면 정전용량 온도계수가 (-)방향으로 너무 커지는 문제점이 있으므로, 상기 y는 0≤y≤0.09로 제한하는 것이 바람직하다.
상기 m이 0.7 미만이면 유전손실이 커지며, 1.05를 초과하면 소성온도가 높아지는 문제점이 있으므로, 상기 m은 0.7≤m≤1.05으로 제한하는 것이 바람직하다.
상기 주성분인 (Ca1-xSrx)m(TiyZr1-y)O3 (0≤x≤1, 0≤y≤0.09, 0.7≤m≤1.05)(이하, 단지 'CSTZ'라 한다) 100중량부에 대하여, aMnO-bSiO2-dR1O-eR2O
2 (a+b+d+e=100이며, 20≤a≤60, 10≤b≤65, 0≤d+e≤65, R1은 Mg, Ca, Sr, Ba중 선택된 하나 이상의 성분, R2는 Zr, Ti중 선택된 하나 이상의 성분): 0.5~10중량부를 첨가한다.
상기 aMnO-bSiO2-dR1O-eR2O2 (a+b+d+e=100이며, 20≤a≤60, 10≤b≤65, 0≤d+e≤65, R1은 Mg, Ca, Sr, Ba중 선택된 하나 이상의 성분, R2는 Zr, Ti중 선택된 하나 이상의 성분) 유리질의 첨가량이 0.5중량부 미만이면 소결성이 저하하며, 10중량부를 초과하면 비유전율이 낮아질 뿐만 아니라 유전체 고유의 성질이 저하되는 문제점이 있으므로, 상기 유리질의 첨가량은 주성분 100중량부에 대하여 0.5~10중량부로 제한하는 것이 바람직하다.
상기 유리질중 MnO는 억셉터로 작용하여 환원분위기에서 소결할때 발생되는 산소공공의 자유전자를 흡수하여 내환원성을 증진시키는데 유효한 성분이다. 상기 a가 20 미만이면 비저항값이 낮아지고, 60을 초과하면 고용이 잘 되지 않고 석출되어 소결성이 나빠지는 문제점이 있으므로, 상기 a는 20≤a≤60으로 제한하는 것이 바람직하다.
상기 유리질중 SiO2는 글래스의 주성분으로써, b가 10 미만이면 유리질로써 작용을 하지 못하며, 65를 초과하면 점성으로 인해 소결성이 저하되는 문제점이 있으므로, 상기 b는 10≤b≤65로 제한하는 것이 바람직하다.
상기 유리질중 R1O 또는 R2O2로 표현되는 금속산화물은 글래스 성분의 내습성 및 내산성 등의 재료 신뢰성을 향상시키기 위한 것이다. 상기 R1은 Mg, Ca, Sr, Ba중 선택된 하나 이상의 성분이며, 상기 R2는 Zr, Ti중 선택된 하나 이상의 성분이다. 상기 d+e가 65를 초과하면 소결성이 저하되는 문제점이 발생하므로, 상기 d+e는 0≤d+e≤65으로 제한하는 것이 바람직하다.
본 발명은 상기한 내환원성 유전체 조성물에 주원료 100중량부에 대하여, 0.1~3중량부의 MnO2를 추가로 첨가함으로써, 저온소결시 발생될 수 있는 글래스 뭉침 현상을 억제하는 것을 특징으로 한다.
상기 MnO2는 내환원성 유전체 조성물에서 통상적으로 소결조제로써 이용되는 성분이다. 그러나, 본 발명에서는 상기 MnO2가 소결조제로 이용되는 것이 아니라 글래스 뭉침 현상을 억제하기 위하여 첨가된다. 즉, 본 발명의 조성에서는 MnO2를 첨가하지 않더라도 소결하는데는 큰 문제가 발생하지 않는다. 다만, 본 발명의 목적인 글래스 뭉침 현상을 억제하기 위하여 상기 MnO2를 첨가하게 되며, 상기와 같이 MnO2를 첨가하게 되면 글래스 조성변경을 억제할 수 있어 글래스 뭉침 현상이 개선된다.
상기 MnO2의 첨가량이 주원료 100중량부에 대하여 0.1중량부 미만이면 첨가에 따른 상기 효과를 얻을 수 없고, 3중량부를 초과하면 미소성이 발생되는 문제점이 있으므로, 상기 MnO2의 첨가량은 주원료 100중량부에 대하여 0.1~3중량부로 제한하는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 내환원성 유전체 조성물의 제조방법에 대하여 살펴본다.
먼저, CaCO3, TiO2, ZrO2, SrCO3 원료분말을 볼밀 등을 이용하여 혼합한 다음, 1100~1200℃에서 하소하여 (Ca1-xSrx)m(TiyZr1-y)O
3와 같이 조성되며, 0≤x≤1, 0≤y≤0.09, 0.7≤m≤1.05을 만족하는 CSTZ를 제조한다.
이후, 상기와 같이 제조된 CSTZ를 분쇄하고, 건조하여 주원료인 (Ca1-xSrx)m(TiyZr1-y)O3(0≤x≤1, 0≤y≤0.09, 0.7≤m≤1.05) 분말을 제조한다. 이때, 상기 분쇄시 주원료 100중량부에 대하여 0.1~3중량부의 MnO2를 첨가함으로써, 글래스 뭉침 현상을 억제하는 것이 가능하다(청구항 2). 그리고, 상기 건조후 주원료 100중량부에 대하여 0.1~3중량부의 MnO2를 첨가함으로써, 글래스 뭉침 현상을 억제하는 것도 가능하다(청구항 3).
이후, 상기 주원료인 CSTZ 100중량부에 대하여, 0.5~10중량부의 aMnO-bSiO2-dR1O-eR2O2(a+b+d+e=100이며, 20≤a≤60, 10≤b≤65, 0≤d+e≤65, R1
은 Mg, Ca, Sr, Ba중 선택된 하나 이상의 성분, R2는 Zr, Ti중 선택된 하나 이상의 성분)를 혼합하여 슬러리로 제조한다. 이때, 슬러리 제조시 이용되는 통상의 유기용매, 분산제 및 바인더가 이용가능하다. 또한, 본 발명에서는 상기 혼합시 주원료 100중량부에 대하여 0.1~3중량부의 MnO2를 첨가함으로써, 글래스 뭉침 현상을 억제하는 것이 가능하다(청구항 4).
상기한 바와 같이, 본 발명의 내환원성 유전체 조성물의 제조방법은 상기 3가지 방법중 하나의 방법으로 MnO2를 첨가함으로써 본 발명의 목적을 달성할 수 있다.
상기와 같이 제조된 유전체 조성물(슬러리)을 통상의 방법으로 에이징 처리한 후, 유전체 세라믹 층으로 성형하고, 이후 상기 세라믹 층을 적층하고 소성함으로써 적층 세라믹 콘덴서를 제조할 수 있다.
상기와 같이 본 발명에 따른 유전체 조성물을 이용하여 제조된 적층 세라믹 콘덴서는 저온에서 소성이 가능할 뿐만 아니라 글래스 뭉침 현상도 억제할 수 있게 된다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
[실시예1]
먼저, CaCO3, TiO2, ZrO2, SrCO3를 칭량하여, 상기 칭량된 원료를 볼밀을 이용하여 혼합한 다음, 1100~1200℃에서 하소하여 하기 표 1의 조성을 갖도록 주원료인 (Ca1-xSrx)m(TiyZr1-y)O3을 제조하였다. 이어, 상기 주원료를 분쇄하고 건조하여 주원료 분말을 제조하였다.
상기 주원료 100중량부에 대하여, 하기 표 1과 같이 30MnO-45SiO2-15CaO-10Zr2O2와 MnO2를 첨가하였으며, 유기용매, 분산제 및 바인더를 혼합하여 슬러리로 제조하였다.
상기와 같이 얻어진 슬러리를 200메쉬의 천으로 거른 다음, 24시간 이상 에이징 처리한 후 20㎛로 유전체 세라믹 층을 성형하였다. 이후 상기 세라믹 층을 1mm 두께가 되도록 적층하여 140℃ 이상에서 1분간 가압착하였다. 이어 85℃에서 1000kgf의 하중으로 15분간 CIP(Cool Isostatic Press)한 후, 절단하여 표준시편을 얻어냈다. 각 시편들을 200~350℃에서 열처리하여 결합제를 소각한 다음, 환원성 분위기(0~0.5%의 수소를 함유한 질소 분위기)의 터널로 및 튜브로를 이용하여 1225℃ 이하에서 소성하였다.
상기와 같이 얻어진 표준시편의 전기적인 특성(유전율, Q, 비저항), 소성 밀도 및 글래스 뭉침 크기를 측정하였으며, 그 결과는 하기 표 2와 같다.
상기 유전율, Q값은 소성된 시편의 양면에 In-Ga 전극을 도포한 후, LCR-meter를 이용하여 1MHz, 1Vrms 조건으로 측정하였다. 상기 비저항은 100~500V DC를 10~30초간 인가한 후 측정하였다. 상기 소성밀도는 아르키메데스 법을 이용하여 측정하였다. 상기 글래스 뭉침 크기는 SEM을 이용하여 관찰한 값이다.
| 구분 | x | y | m | 글래스(주성분 100중량부에 대한 중량부) | MnO2 (주성분 100중량부에 대한 중량부) |
| 종래재1 | 0.3 | 0.03 | 1 | 2.5 | - |
| 발명재1 | 0.3 | 0.03 | 1 | 2.5 | 0.2 |
| 발명재2 | 0.3 | 0.03 | 1 | 2.5 | 0.3 |
| 발명재3 | 0.3 | 0.03 | 1 | 2.5 | 0.4 |
| 발명재4 | 0.3 | 0.03 | 1 | 2.5 | 0.5 |
| 비교재1 | 0.3 | 0.03 | 1 | 2.5 | 3.1 |
| 종래재2 | 0.4 | 0.03 | 1 | 1.7 | - |
| 발명재5 | 0.4 | 0.03 | 1 | 1.7 | 0.4 |
| 발명재6 | 0.4 | 0.03 | 1 | 1.7 | 0.5 |
| 비교재2 | 0.4 | 0.03 | 1 | 1.7 | 3.2 |
| 구분 | 조성 | 유전율 | Q | 비저항(Ωcm) | 소성밀도(g/㎤) | 글래스 뭉침 크기(㎛) | 글래스뭉침 |
| 종래예1 | 종래재1 | 34.2 | 1924 | 2.2×1013 | 4.87 | 15 | 불량 |
| 발명예1 | 발명재1 | 34.1 | 2786 | 1.9×1013 | 4.91 | 1 | 매우양호 |
| 발명예2 | 발명재2 | 34.2 | 1533 | 1.8×1013 | 4.80 | 1 | 매우양호 |
| 발명예3 | 발명재3 | 34.1 | 1951 | 2.8×1013 | 4.87 | 1 | 매우양호 |
| 발명예4 | 발명재4 | 34.0 | 2614 | 3.0×1013 | 4.83 | 1 | 매우양호 |
| 비교예1 | 비교재1 | 미소성 | |||||
| 종래예2 | 종래재2 | 34.4 | 2976 | 3.8×1014 | 4.92 | 10 | 불량 |
| 발명예5 | 발명재5 | 34.4 | 2443 | 1.1×1014 | 4.92 | 1 | 매우양호 |
| 발명예6 | 발명재6 | 34.6 | 3091 | 3.2×1013 | 4.92 | 1 | 매우양호 |
| 비교예2 | 비교재2 | 미소성 | |||||
상기 표 2에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 범위를 만족하는 발명예1~6은 전기적인 특성 및 소성밀도가 양호하였고, 글래스 뭉침 크기도 1㎛ 이하로 매우 양호하였다.
그러나, MnO2를 첨가하지 않은 종래예1~2는 글래스 뭉침 크기가 10㎛ 이상으로 불량하였다.
또한, MnO2함량이 본 발명의 범위보다 많은 비교예1~2의 경우 미소성이 발생되는 문제점이 있었다.
[실시예2]
실시예1의 상기 표 1의 조성을 이용하여 실시예1과 같이 표준시편을 제조하였으며, 다만 MnO2의 첨가시점을 청구항 3과 같이 건조후로 하였다.
상기와 같이 얻어진 표준시편의 전기적인 특성(유전율, Q, 비저항), 소성 밀도 및 글래스 뭉침 크기를 측정하였으며, 그 결과는 하기 표 3과 같다.
| 구분 | 조성 | 유전율 | Q | 비저항(Ωcm) | 소성밀도(g/㎤) | 글래스 뭉침 크기(㎛) | 글래스뭉침 |
| 발명예7 | 발명재1 | 34.1 | 2897 | 1.8×1013 | 4.91 | 1 | 매우양호 |
| 발명예8 | 발명재2 | 34.2 | 2031 | 1.8×1013 | 4.90 | 1 | 매우양호 |
| 발명예9 | 발명재3 | 34.1 | 2132 | 2.5×1013 | 4.90 | 1 | 매우양호 |
| 발명예10 | 발명재4 | 34.0 | 2534 | 2.8×1013 | 4.87 | 1 | 매우양호 |
| 비교예3 | 비교재1 | 미소성 | |||||
| 발명예11 | 발명재5 | 34.4 | 3156 | 5.8×1014 | 4.92 | 1 | 매우양호 |
| 발명예12 | 발명재6 | 34.6 | 3289 | 6.7×1013 | 4.92 | 1 | 매우양호 |
| 비교예4 | 비교재2 | 미소성 | |||||
상기 표 3에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 방법에 따라 제조된 발명예7~12는 전기적인 특성 및 소성밀도가 양호하였으며, 글래스 뭉침 크기도 1㎛ 이하로 매우 양호하였다.
그러나, 본 발명의 범위를 벗어난 비교예3~4는 미소성이 발생되었음을 알 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면 1250℃ 이하의 낮은 소성온도에서 소성하더라도 글래스 뭉침 현상이 발생되지 않아 이를 적층 세라믹 콘덴서에 적용할 경우 박층 고용량화 및 신뢰성을 확보할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래기술 및 본 발명에 따른 유전체 조성물을 이용하여 제조된 시편의 확대도이다.
Claims (4)
- 주성분인 (Ca1-xSrx)m(TiyZr1-y)O3(0≤x≤1, 0≤y≤0.09, 0.7≤m≤1.05) 100중량부에 대하여, aMnO-bSiO2-dR1O-eR2O2(a+b+d+e=100이며, 20≤a≤60, 10≤b≤65, 0≤d+e≤65, R1은 Mg, Ca, Sr, Ba중 선택된 하나 이상의 성분, R2는 Zr, Ti중 선택된 하나 이상의 성분): 0.5~10중량부, MnO2: 0.1~3중량부를 포함하여 이루어지는 내환원성 유전체 조성물.
- CaCO3, TiO2, ZrO2 및 SrCO3 원료분말을 통상의 방법으로 혼합한 다음 하소하여 (Ca1-xSrx)m(TiyZr1-y)O3와 같이 조성되며, 0≤x≤1, 0≤y≤0.09 및 0.7≤m≤1.05를 만족하는 CSTZ를 마련하는 제 1단계;상기와 같이 마련된 CSTZ 100중량부에 대하여, 0.1~3중량부의 MnO2를 추가로 첨가하여 통상의 방법으로 분쇄한 후, 건조하는 제 2단계; 및상기 분쇄 및 건조된 CSTZ 분말 100중량부에 대하여, aMnO-bSiO2-dR1O-eR2O2(a+b+d+e=100이며, 20≤a≤60, 10≤b≤65, 0≤d+e≤65, R1은 Mg, Ca, Sr, Ba중 선택된 하나 이상의 성분, R2는 Zr, Ti중 선택된 하나 이상의 성분): 0.5~10중량부를 혼합하여 슬러리로 제조하는 제 3단계;를 포함하여 이루어지는 내환원성 유전체 조성물의 제조방법.
- CaCO3, TiO2, ZrO2 및 SrCO3 원료분말을 통상의 방법으로 혼합한 다음 하소하여 (Ca1-xSrx)m(TiyZr1-y)O3와 같이 조성되며, 0≤x≤1, 0≤y≤0.09 및 0.7≤m≤1.05를 만족하는 CSTZ를 마련하는 제 1단계;상기와 같이 마련된 CSTZ를 통상의 방법으로 분쇄하고, 건조한 후 상기 CSTZ 100중량부에 대하여 0.1~3중량부의 MnO2를 추가로 첨가하는 제 2단계; 및상기 분쇄 및 건조된 CSTZ 분말 100중량부에 대하여, aMnO-bSiO2-dR1O-eR2O2(a+b+d+e=100이며, 20≤a≤60, 10≤b≤65, 0≤d+e≤65, R1은 Mg, Ca, Sr, Ba중 선택된 하나 이상의 성분, R2는 Zr, Ti중 선택된 하나 이상의 성분): 0.5~10중량부를 혼합하여 슬러리로 제조하는 제 3단계;를 포함하여 이루어지는 내환원성 유전체 조성물의 제조방법.
- CaCO3, TiO2, ZrO2 및 SrCO3 원료분말을 통상의 방법으로 혼합한 다음 하소하여 (Ca1-xSrx)m(TiyZr1-y)O3와 같이 조성되며, 0≤x≤1, 0≤y≤0.09 및 0.7≤m≤1.05를 만족하는 CSTZ를 마련하는 제 1단계;상기와 같이 마련된 CSTZ를 통상의 방법으로 분쇄하고, 건조하는 제 2단계; 및상기 분쇄 및 건조된 CSTZ 분말 100중량부에 대하여, aMnO-bSiO2-dR1O-eR2O2(a+b+d+e=100이며, 20≤a≤60, 10≤b≤65, 0≤d+e≤65, R1은 Mg, Ca, Sr, Ba중 선택된 하나 이상의 성분, R2는 Zr, Ti중 선택된 하나 이상의 성분): 0.5~10중량부, MnO2: 0.1~3중량부를 혼합하여 슬러리로 제조하는 제 3단계;를 포함하여 이루어지는 내환원성 유전체 조성물의 제조방법.
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