KR20050074929A

KR20050074929A - 전자부품의 인쇄장치, 제조장치, 및 제조방법

Info

Publication number: KR20050074929A
Application number: KR1020050003778A
Authority: KR
Inventors: 감바라겐지
Original assignee: 도오까이쇼오지가부시끼가이샤
Priority date: 2004-01-14
Filing date: 2005-01-14
Publication date: 2005-07-19
Also published as: US7762184B2; US8033218B2; TW200531236A; US7383770B2; TWI357134B; KR100696213B1; US20050150402A1; JP4152375B2; JP2005229094A; US20090014909A1; US20080206929A1; US20090000498A1

Abstract

정밀한 전자부품의 제조에 적합한 전자부품의 인쇄장치, 제조장치, 및 제조방법을 제공한다.

회전기에 스키지를 부착하고, 자전·자주하고 또한 스키지에 인압을 발생시키고, 수지를 강력하게 충전하여, 정밀형상의 인쇄를 달성한다. 또한 공판을 경계로 하여 상하실을 설치하고, 압력을 콘트롤함으로써 수지의 절단이나 디스펜스를 행하여 정밀형상의 인쇄를 달성한다. 이 방법을 전자부품의 패키징에 적용한다.

인쇄장치(E1)는, 회로기판(2)의 일면(21)에 둘레면(32)을 근접하는 롤러(3)와, 롤러(3)를 수평으로 이동시키는 이동수단(4)과, 이동수단(4)이 롤러(3)를 회전시키는 회전수단(5)과, 롤러(3)의 둘레면(32)을 따라 선회 가능하게 지지된 스키지(6)와, 롤러(3)의 회전반력으로 스키지(6)를 회로기판(2)에 세게 누르는 인압발생 수단(7)을 구비한다.

Description

전자부품의 인쇄장치, 제조장치, 및 제조방법{PRINTING AND MANUFACTURING APPARATUS, AND MANUFACTURING METHOD FOR ELECTRONIC PARTS}

본 발명은 전자부품의 보이드(void) 없는 정밀형상을 갖는 수지 밀봉, 땜납 범프 형성, 기판의 구멍메움, 또는 디스펜스 등을 행하는 전자부품의 인쇄장치, 제조장치, 및 제조방법에 관한 것이다.

종래의 기술은 하기의 문헌에 개시되어 있다. 예를 들면, 종래의 패키징 기술로서 워크 피스상에 형성한 집적회로를 밀봉(패키지화)하는 것이 주지되어 있다. 그 주류는 트랜스퍼 몰드법인데, 액상의 합성수지로 이루어지는 가소성 재료를 사용하는 방법으로서, 디스펜서법이나 인쇄법이 주지되어 있다. 인쇄법에는 대기인쇄하여 탈포하는 방법이나, 진공차압 인쇄법이 있다. 세라믹 기판에서는, 주로 진공차압 인쇄법이 채용되고 있다. 가소성 재료 기판에 대해서도, 이것이 일부 채용되어, 점차로 확대되고 있는데, 여러 과제가 있어 아직 주류로는 되어 있지 않다. 또, 웨이퍼 레벨의 CSP 제조공정, 또는 그 밀봉에도 적용되고 있다. 이후는, 전자부품의 복합화, 3차원화, 또는 기판의 내장화가 진행되므로, 보이드없이 정밀형상을 갖는 밀봉방법이 요구되고 있다.

땜납 범프 형성에도 종래의 전사법에 반해, 인쇄법이 최근 주목받게 되었다. 고점도 땜납 페이스트를 협소 피치화에 대응하여 에스펙트비가 높은 공판(孔版)에 얼마나 정량으로 보이드 없이 충전하는지가 중요한 기술이고, 여러 수법이 제안되어 있다. 대기인쇄기를 사용하여 인쇄기의 헤드는, 개방형 스키지, 밀폐형 스키지, 압입형 스키지, 밀폐형 스키지, 롤러 압입식 스키지로 인쇄나 충전되는 방식이 소개되어 있다. 또, 웨이퍼의 범프 형성에서 감광성 드라이 필름을 라미네이션 하여 비어를 형성하고, 인쇄법으로 땜납 페이스트를 메우고, 리플로하여 범프를 형성하고, 필름을 박리하는 방법도 있다.

프린트 기판이나 웨이퍼 기판의 비어, 및 스루홀의 구멍메움은, 도전 페이스트 및 비도전 페이스트를 사용하고, 스키지를 사용한 대기인쇄 또는 진공차압 인쇄법으로 충전하는 방법이 있다. 일괄 적층법으로 보다 간단하고 저코스트를 구한 프로세스의 개발이 진행되고 있다. 도전 페이스트의 인쇄법은 전기 특성과 신뢰성의 향상을 목표로 하여 페이스트의 개발이 진척되고 있다. 그것을 보이드 없이, 간단하게 각종 비어에 충전하는 진공인쇄 방법이 실용단계에 들어가고 있지만, 장치가 대규모이고, 생산성도 낮은 등의 결점이 있어 개량이 요구되고 있다. 또, 스루홀의 구멍메움은 마스크와 지그를 사용하여, 위치 맞춤하여 워크에 수지를 충전하고, 또한 워크의 상면, 하면에 플러그를 형성하고, 경화시키고 워크 양면을 연마하여 평탄화하고 있다.

(특허문헌 1) 일본 특허 제3198273호

(특허문헌 2) 일본 특허 제3084440호

(특허문헌 3) 일본 특원 제2001-33147호

(특허문헌 4) 일본 특허 제3113974호

(특허문헌 5) 일본 특허 제2873501호

(특허문헌 6) 일본 특개평 5-90271호 공보

(특허문헌 7) 일본 특개 2001-232758호 공보

(비특허문헌 1) Electronic Journal 20O3년 4월호 게재

공판을 사용하여, 고점도 수지를 간극을 가진 형상으로 스키지로 평탄하게 인쇄하는 원리는 성립하지 않는다. 도 15(a)에 도시하는 바와 같이 스키지(60)와 워크 피스(2)에 부착된 수지(m)는, 공판(1)의 개구부(103)에서는, 상하에 간격이 있고, 스키지(60)의 이동에 대해 속도구배가 발생하여, 후방의 수지(m)는 늘어나게 되어서, 규정두께로부터 수십μ 얇게 인쇄된다. 이것은 점도나 간극에 영향받지 않는 수지 공급 방법이다.

공판(1)의 개구부(103)의 종단에서는, 도 15(b)에 도시하는 바와 같이, 스키지(60)로 밀어 넣어진 수지(m)가 개구부(103)의 단부에서, 막히고 또한 스키지(60)가 통과시에 가압되고 개방되어, 규정 두께보다 수십μ 두텁게 인쇄된다. 이것은 스키지의 선단부의 수지압력이 마스크나 워크 피스(2)의 형상에 관계없이 항상 일정함을 유지하는 방법이다.

도 15에 도시하는 공판(1)의 개구부(103)나 도시되어 있지 않은 개구부(103)내에 있는 칩 사이의 홈부의 인쇄 개시부는, 스키지(60)의 충전압력을 추종할 수 없어, 미충전으로 되거나 또는 얇게 밖에 인쇄할 수 없어 보이드 발생원인이 된다. 상술의 3개의 요인에서 액상 수지는 정밀한 형상으로 인쇄할 수 없어, 부득이 마스크의 형상이나 스키지(60)의 불필요한 동작, 게다가 신뢰성을 잃으면서 수지를 저점도화 함으로써 대처해 왔지만 본질적 해결이 되고 있지 않다. 이것이 인쇄부의 형상에 영향받지 않는 강력한 충전력이 있는 수지 공급 방법이다.

적층형 등의 BGA나 CSP의 밀봉에서, 고밀도로 와이어본딩되고, 네트를 펼친 상태에서, 높은 퍼센트로 필러 등이 들어간 수지는, 스키지의 기능으로는 아무리해도 충전할 수 없다. 그래서 진공하에서 인쇄하고 진공차압을 걸면 충전효과는 어느 정도 기대할 수 있지만, 잔류한 보이드를 배제하는 메커니즘은 없고, 보이드는 미소화하여 분산되어서 남는다. 기본적으로는 차압을 걸기 전에 수지가 공동을 충전하여 에어를 밀어내는 것이 필요조건이다. 극히 얇은 패키지는 와이어가 표면 가까이에 있어 공동부와 단락하여 차압이 발생되지 않아 보이드의 발생 위험성이 높다. 또 3차원으로 적층된 실장은, 고밀도로 와이어본딩되고, 더욱이 플립칩으로 되어 있어, 미소 간극에도 충전이 요구되므로, 강력 충전기능을 가지고 또한 정밀 인쇄할 수 있는 방법이 불가결하다. 또한, 전자부품의 기판 내장화에서는, 액상수지의 보이드 없는 충전과 균일한 두께의 코팅이 필요하게 된다. 이것은 점성의 영향을 받지 않는 강력한 충전 방법 및 보이드 없는 충전 방법이다.

웨이퍼 기판이나 적층기판의 비어에 각종 수지를 충전하는 경우, 강력한 인압(印壓)을 필요로 하고, 스키지의 파고들기나 수지의 점성으로, 비어로부터 수지가 도려내지고, 또한 경화로 수축된다. 이것을 커버하기 위해서 각종 마스크를 사용하여, 정밀 위치맞춤해서 충전하여 보완하지만 볼록 형상의 딱딱한 플러그가 형성되어, 이것을 연마로 잡는 것이 대단한 곤란을 수반한다. 이것은 공판, 정밀 위치맞춤 장치, 및 클리닝 장치가 일체 없이 워크 피스(2)에 직접 충전하여, 보이드 없이, 오목부나 수지의 수축을 커버할 수 있어, 연마가공을 최소한으로 하는 구멍메움 방법이다.

상세하게 기술하면 워크의 상면에 마스크를 위치결정하고, 하부에는 플러그를 형성하는 지그를 위치결정하여 인쇄하고 워크의 양면에 플러그(볼록 형상 인쇄)를 형성하고, 경화하여 연마한다. 이 경우 직경이 다른 구멍은 선별하여 인쇄하여 경화연마를 각 구멍 직경마다 행한다. 또한, 미세화와 대형 기판화로, 마스크의 패턴과 워크의 패턴이, 마스크의 신장이나 워크의 연마 신장으로 위치가 맞지 않고 2회로 나누어서 인쇄할 필요도 있다. 플러그를 형성하면 연마가 어려워서 플러그와 구리 도금을 균일하게 연마하여 두께나 신장을 관리하는 것이 대단한 장치를 필요로 한다. 보이드를 없애는 것이 요구되면 진공하에서의 인쇄가 되고, 마스크가 있으면 위치맞춤이나 클리닝 등을 구비한 장치가 되고 플랜트와 같은 대형이고 고가가 되어 생산성의 더욱 낮은 장치가 된다. 보이드 없이, 플러그를 지그나 마스크를 사용하지 않고 형성하여, 직경이 다른 구멍을 동시에 충전할 수 있어 가공을 더 최소한으로 하는 구멍메움 방법이 요구되고 있다.

땜납의 범프 형성에서, 일본 특원 2001-232758호, 및 일본 특개평 10-34878호 공보에 의한 땜납 페이스트 인쇄 방법이 제안되어 있다. 이들 방법의 최대의 결점은, 롤러의 회전과 마스크로 수지를 공급하고, 스크레버 또는 블레이드로, 마스크상에 잔류하는 수지를 긁어내는 방식이므로, 극히 충전력이 약하다. 본 방법에서는, 롤러(30)의 반이 충전에 기여하고, 다른 반은 수지 충전의 방지로 되어 있다. 이것을 보충하기 위해서 일본 특원 2001-232758호는 에어 가압하고 있지만 거리도 길고, 수지량에서도 변화되어 고점도 수지는 균등하게 반응하지 않는다. 전체로서는 상당히 대규모인 장치가 되므로 진공장치에는 채용하기 어렵다.

또, 이들 방식은 도 16(a) 및 (b)를 참조하면서 기술하면, 공판(마스크)(1)과 롤러(30)가 근접하여 수지(m)를 고정하여 충전하고 있다. 공판(1) 또는 워크(2)의 넓은 공간에 충전하는 경우에는, 수지(m)는 롤러(30)의 주위를 화살표 30x 또는 화살표 30y로 나타낸 것과 같이 순환할 뿐으로, 충전에는 거의 기여하지 않는 극히 큰 결함을 갖는다.

일본 특원 2001-232765호 공보는, 롤러의 후방부가 수지(m)를 되돌리는 힘과 수지(m)의 전체의 가압의 차가 내부압이 되어 압이 높아지면 스크레이퍼로는 수지(m)를 멈출 수 없어 밀어내져서 두텁게 인쇄된다. 충전하는 공간이 작아도 대부분은 충전에 기여하지만 도중으로부터 수지(m)를 되돌리는 힘도 작용하므로 강력한 충전이 달성되지 않아, 인쇄 형상을 컨트롤 할 수 없다.

일본 특개평 10-34878호 공보도 소공간에는 롤러 반의 충전력 기여의 효과는 있지만 약하게 롤러(30)의 후방부에서 되돌려서 후방부 블레이드와 후방부의 롤러(30) 사이의 압력은 불안정하여 인쇄 형상을 컨트롤 할 수 없다. 또, 상기의 블레이드나 스크레이퍼 형상을 갖는 인쇄법은 레지스트로 형성된 기판에 직접 인쇄하면 레지스트가 파괴되어서 벗겨지는 결함을 갖는다. 미세화가 진행되는 범프 형성으로 공판에 의한 방식은 한계가 오고 있어, 대부분은 레지스트로 패턴형성된 방식으로 바뀌고 있다. 다양한 형상으로 공간을 요하는 워크에 직접, 강력한 충전력을 가지고, 평탄으로도 볼록 형상으로도 정밀하게 인쇄할 수 있는 기본기술 요소가 요구되고 있다.

일본 특원 2001-232758호는, 롤러의 주위가 강고한 프레임으로 둘러싸여, 수지교환이 극히 곤란하다. 이 장치를 분해하여 세정할 필요가 있다. 땜납의 종류만해도 요즘은 매우 종류가 많아지고 있다. 또, 장치는 수지밀봉에도, 각종 구멍메움도 행할 필요가 있어 수지교환을 가능한한 적은 용제로 간단하게 할 수 있는지가 실용화의 열쇠를 쥐고 있다. 수지에 접촉하는 부분은 롤 1개를 남기고 스키지가 간단하게 벗겨지기 용이하게 세정할 수 있는 구조가 아니면 안된다.

더욱이 이 방식은, 롤러의 주위가 완전하게 밀폐되어 있으므로, 마스크와 스크레이퍼의 경계에서도 에어를 충실히 배척한다. 또, 일본 특개평 10-34878호 공보도 레지스트 등의 각종 방법으로 비어를 형성한 기판에, 땜납 페이스트를 충전하면 비어중의 에어가 수지중에 받아들여지고, 롤러의 둘레를 수지가 회전을 계속하고, 주행거리에 비례해서 축적되어 다량의 보이드를 포함한 땜납 페이스트가 공급되게 된다. 충전해도 땜납량이 적어져 정밀 범프는 제조할 수 없고, 내부에도 보이드가 포함된다. 또, 최근의 땜납은 볼이 미소화되어 매우 산화되기 쉬워 후 행정에서의 땜납의 용해에도 큰 문제를 발생한다.

또, 상기의 진공차압 인쇄 방법에서는, 가소성 재료(m)를 워크 피스(2)에 압입 충전하는 인쇄 공정도에서, 가소성 재료가 워크 피스(2)와 공판(1)에 강하게 점착하기 때문에, 워크 피스(2)로부터 공판(1)을 떨어뜨리는 공정에서, 이 가소성 재료를 분리하는 것이 곤란하다. 이와 같이 점착한 가소성 재료(m)는, 공판(1)에 점착한 채 동공판(1)으로부터 아래로 늘어뜨리거나, 또 밀봉부(패키지)의 형태가 무너진다는 문제가 일어난다.

상세하게는, 도 17(a)에 도시하는 바와 같이, 수지 등의 고점도인 가소성 재료(m)를 사용하여 공판 인쇄법을 실시하는 경우에, 공판(1)과 워크 피스(회로기판)(2)에 가소성 재료(m)가 점착되고, 공판(1)으로부터 워크 피스(2)를 분리할 때에, 밀봉부를 형성하는 가소성 재료(m)로 이루어지는 밀봉부의 주위가 잡아 당겨지게 된다. 이것에 의해, 가소성 재료(m)로 이루어지는 밀봉부의 단부가 두껍게 지거나, 그 부근이 얇게 되거나 하여, 두께 불균일이 발생한다. 게다가, 공판(1)으로부터 늘어뜨려진 가소성 재료(m)는 절단의 반동으로 공판(1)의 이면에 부착되거나, 또는 워크 피스(2)까지 낙하하거나 하므로, 당해 인쇄법을 실시할 때마다, 공판(1) 또는 워크 피스(2)의 클리닝이 불가결하다. 또, 당해 인쇄에 제공되는 가소성 재료(m)의 분량이 변동하는 요인도 된다.

또, 동 도면 (b)에 도시하는 바와 같이, 상기의 두께 불균일을 갖는 밀봉부를 평탄화시키기 위해서, 이것을 대기중에 일정시간 방치하는 것이 시도되고 있는데, 가소성 재료(m)가 경화하는 도중에 저점도화하면, 이것이 흘러 나가 밀봉부의 형상이 무너진다는 문제가 일어난다. 이 대책으로서, 가소성 재료(m)가 흐르는 것을 캐버티 다운 방식으로 경감하거나, 또는, 미리 디스펜서 등으로 가소성 재료(m)의 흐름을 규제하는 댐 형상의 둑을 만드는 것이 시도되고 있는데, 제조공정이 번잡하게 된다는 문제가 있다.

땜납의 범프 형성에서, 땜납 페이스트의 점도가 극히 높고, 여러 충전방법이 제안되어 있다. 그러나 협소 피치화에서는 에스펙트비가 커지고, 워크 피스(2)에 충전한 땜납 페이스트의 점착력과 측벽의 면적에 의한 점착력의 차가 적어져, 상당히 전사가 매우 불안정해서 공판으로부터 수지가 빠지는 경우와, 일부 남겨지고 빠지는 경우와, 게다가 빠지지 않는 경우가 있고, 공판의 구멍의 형상, 면조도의 개선 및 이형재의 코팅으로 점착을 저감하는 대책으로 보충되어 왔지만, 공판에 땜납 페이스트가 남지 않는 것이 요구되게 되었다. 이것이 공판의 구멍에 충전된 땜납 페이스트의 디스펜스법이다.

미세화에 대응하기 위해서, 웨이퍼 기판이나 수지기판에, 레지스트로 마스크를 만들고, 대기인쇄로 비어에 땜납을 충전하고, 리플로하여, 레지스트를 박리하는 방법이 실시되어 있지만, 블라인드의 비어에 대기인쇄하면 내부에 공기가 잔류하여 충전량이 부족된다. 더욱이 인쇄중의 땜납에도 주행거리에 비례한 공기가 축적되어 땜납의 양이 부족된다. 더욱 스키지를 사용하므로 점성으로 푹 파여 오목 형상으로 인쇄되어 땜납량이 부족되고, 이것들이 원인으로 범프 정밀도가 저하되는 문제가 있다. 또는 범프의 내부에 보이드 발생의 원인으로도 된다. 보이드 없는 땜납 수지로 정량 충전하는 방법이 요구되고 있다.

본 발명은, 이상의 여러 문제를 감안하여 이루어진 것이며, 정밀한 전자부품의 제조에 적합한 전자부품의 인쇄장치, 제조장치, 및 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 일면을 위를 향하게 하여 수평으로 위치결정되는 워크 피스에, 가소성 재료를 압입 충전하는 전자부품의 인쇄장치에 관한 것으로서, 상기 워크 피스의 근방에 축방향의 단부가 지지되고 둘레면을 상기 워크 피스의 일면에 근접하는 롤러와, 이 롤러를 상기 워크 피스의 일면을 따라서 이동시키는 이동수단과, 이 이동수단이 상기 롤러를 이동하는 이동방향에 대하여 앞구르기 하는 방향으로 상기 롤러를 회전시키는 회전수단과, 상기 롤러에 근접 또는 접촉하여, 상기 워크 피스의 일면에 세게 눌려지는 스키지를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은, 일면을 위를 향하게 하고 수평으로 위치결정되는 워크 피스에, 가소성 재료를 압입 충전하는 전자부품의 인쇄장치에 관한 것으로서, 상기 워크 피스의 근방에 축방향의 단부가 지지되고 둘레면을 상기 워크 피스의 일면에 근접하는 롤러와, 이 롤러를 상기 워크 피스의 일면을 따라 이동시키는 이동수단과, 이 이동수단이 상기 롤러를 이동하는 이동방향에 대해 앞구르기 하는 방향으로 상기 롤러를 회전시키는 회전수단과, 상기 롤러에 근접 또는 접촉하여 상기 롤러의 둘레면을 따라 선회 가능하게 지지되는 스키지와, 상기 회전수단이 상기 롤러를 회전시키는 토크의 반력에 의해 상기 스키지를 상기 워크 피스의 일면에 세게 누르는 인압 발생 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다. 상기 워크 피스의 개념에는 적어도 워크 피스, 및 그 일면에 형성되는 집적회로 등의 표면실장부가 포함된다.

또한 상기 회전수단은 상기 롤러에 내장되어 상대적으로 회전가능한 로터 및 스테이터를 갖는 회전기와, 상기 롤러의 축방향으로 연장되어 상기 롤러의 단부를 관통하여 선단을 상기 롤러의 외부에 돌출하는 지지축과, 이 지지축에 상기 회전기의 로터를 접속하는 감속기와, 상기 지지축의 선단부근으로부터 상기 롤러의 직경방향으로 뻗어나와서 상기 스키지를 지지하는 링크 부재를 구비하고, 상기 로터가 회전구동하는 반력을 상기 스키지가 받는 동시에, 상기 로터의 회전을 상기 감속기로 감속하면서 상기 지지축에 전달하는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 롤러가, 상기 회전기를 수납하는 이너 케이싱과, 이 이너 케이싱의 주위에 배치되고 또한 고무 라이닝 된 통 형상 아우터 케이싱을 구비하고, 상기 이너 케이싱과 상기 통 형상 아우터 케이싱 사이에, 공기를 유인하기 위한 공극을 설치한 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 지지축은 일단이 진공처리 되고 타단을 상기 롤러내에 연통한 중공축으로 이루어지고, 상기 롤러내의 공기를 상기 지지축을 통하여 진공처리함으로써, 상기 롤러를 강제 냉각하는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 인압발생 수단은, 상기 롤러의 회전을 제동하는 브레이크 장치를 구비하고, 상기 회전기가 상기 롤러를 상기 브레이크 장치의 제동에 저항하여 회전시키는 토크의 반력으로, 상기 링크 부재를 상기 롤러의 회전하는 방향과 반대 방향으로 선회시킴으로써, 상기 스키지를 상기 워크 피스의 일면에 세게 누르는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 이동수단은 상기 롤러의 단부에 결합한 롤러 직경 이하의 직경을 갖는 피니언과, 상기 워크 피스의 측방에 부설되고 상기 이동방향으로 연장되는 래크와, 상기 롤러의 내부에서 회전가능한 로터를 갖는 회전기를 구비하고, 상기 래크를 상기 피니언에 맞물리게 하고, 상기 회전기의 로터의 회전을 따르게 하여 상기 롤러와 함께 상기 피니언을 회전함으로써, 상기 롤러를 상기 이동방향으로 이동시키는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 이동수단은 상기 롤러를 회전 자유롭게 지지하는 브래킷을 상기 롤러의 외부에 설치된 구동원에 의해, 상기 이동방향으로 이동시키는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 관계되는 전자부품의 인쇄장치는 상기 가소성 재료가 통과할 수 있는 통과구멍 패턴을 갖는 공판을 상기 워크 피스의 일면에 포갠 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관계되는 전자부품의 제조장치는 일면을 갖는 워크 피스에 가소성 재료를 압입 충전하는 인쇄장치, 및 상기 워크 피스의 일면에 겹치고 상기 가소성 재료가 통과가능한 통과구멍 패턴을 갖는 공판을, 수납하는 상부 밀봉실과, 상기 공판을 구획하여 상기 상부 밀봉실내에 획정되고, 상기 워크 피스를 높이 조정 가능하게 상기 일면을 위를 향하게 하고 수평자세에서 위치결정하는 얼라인먼트 테이블을 수납하는 하부 밀봉실과, 상기 상부 밀봉실과 상기 하부 밀봉실 사이에 차압을 발생시키는 차압발생 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 차압발생 수단은 상기 상부 밀봉실과 상기 하부 밀봉실에 접속한 진공펌프와, 상기 상부 밀봉실과 상기 하부 밀봉실에 각각 접속한 2개의 리크밸브와, 상기 상부 밀봉실 및 상기 하부 밀봉실과 상기 진공펌프 사이를 개폐하는 스톱밸브를 구비하고, 상기 진공펌프가 상기 상부 밀봉실과 상기 하부 밀봉실을 진공처리 하고, 인쇄후에, 상기 2개의 리크밸브 및 스톱밸브의 조작의 조합으로, 상기 상부 밀봉실과 상기 하부 밀봉실에 대기가 유입되는 것을 개별적으로 허용 또는 밀봉하는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명은 수평으로 위치결정되는 워크 피스에 가소성 재료를 압입 충전하는 전자부품의 제조방법에 관한 것으로서, 일면을 갖는 워크 피스를, 이 일면을 위를 향하게 하여 수평자세에서 위치결정하는 스텝과, 회전기에 접속된 롤러를, 상기 워크 피스의 근방에 수평자세로 대기시키는 스텝과, 상기 회전기에 의해 상기 롤러를 회전시키고, 이 롤러의 둘레면에 상기 가소성 재료를 공급하는 스텝과, 상기 롤러의 둘레면을 상기 워크 피스의 일면에 근접하면서, 상기 롤러를 상기 워크 피스의 일면을 따라 이동시키는 동시에, 상기 롤러가 이동하는 이동방향에 대해 앞구르기 하는 방향으로, 상기 롤러를 상기 회전기에 의해 회전시키는 스텝과, 상기 롤러에 근접 또는 접촉하여 상기 롤러의 둘레면을 따라 지지되는 스키지를, 상기 워크 피스의 일면에 세게 누르는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명은 수평으로 위치결정되는 워크 피스에 가소성 재료를 압입 충전하는 전자부품의 제조방법에 관한 것으로서, 일면을 갖는 워크 피스를 이 일면을 위를 향하게 하고 수평자세에서 위치결정하는 스텝과, 상기 워크 피스의 일면에, 상기 가소성 재료가 통과가능한 통과구멍 패턴을 갖는 공판을 중첩하는 스텝과, 회전기에 접속된 롤러를, 상기 공판의 근방에 수평자세로 대기시키는 스텝과, 상기 롤러를 상기 회전기에 의해 회전시키고, 이 롤러의 둘레면에 상기 가소성 재료를 공급하는 스텝과, 상기 롤러의 둘레면을 상기 공판의 상면에 근접하면서, 상기 롤러를 상기 공판의 상면을 따라 이동시키는 동시에, 상기 롤러가 이동하는 이동방향에 대해 앞구르기 하는 방향으로, 상기 롤러를 상기 회전기에 의해 회전시키는 스텝과, 상기 롤러에 근접 또는 접촉하여 상기 롤러의 둘레면을 따라 지지되는 스키지를 상기 공판에 세게 누르는 스텝과을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은, 수평으로 위치결정되는 워크 피스에 가소성 재료를 압입 충전하는 전자부품의 제조방법에 관한 것으로서, 일면을 갖는 워크 피스를 이 일면을 위를 향하게 하고 수평자세에서 위치결정하는 스텝과, 스테이터의 주위를 로터가 회전하는 회전기를 내장한 롤러를, 상기 워크 피스의 근방에 수평자세로 대기시키는 스텝과, 상기 롤러를 상기 회전기에 의해 회전시키고, 이 롤러의 둘레면에 상기 가소성 재료를 공급하는 스텝과, 잉여의 가소성 재료를 롤러 둘레면으로 되돌려 진공중이면 강력한 탈포를 가능하게 하고, 상기 롤러의 둘레면을 상기 워크 피스의 일면에 근접하면서, 상기 롤러를 상기 워크 피스의 일면을 따라 이동시키는 동시에, 상기 롤러가 이동하는 이동방향에 대해 앞구르기 하는 방향으로, 상기 롤러를 상기 회전기에 의해 회전시키는 스텝과, 상기 롤러에 근접하고 상기 롤러의 둘레면을 따라 선회 가능하게 지지되는 스키지를, 상기 회전기가 상기 롤러를 회전시키는 토크의 반력에 의해, 상기 워크 피스의 일면에 세게 누르는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명은 수평으로 위치결정되는 워크 피스에 가소성 재료를 압입 충전하는 전자부품의 제조방법에 관한 것으로서, 일면을 갖는 워크 피스를 이 일면을 위를 향하게 하고 수평자세에서 위치결정하는 스텝과, 상기 워크 피스의 일면에 상기 가소성 재료가 통과가능한 통과구멍 패턴을 갖는 공판을 중첩하는 스텝과, 스테이터의 주위를 로터가 회전하는 회전기를 내장한 롤러를 상기 공판의 근방에 수평자세로 대기시키는 스텝과, 상기 롤러를 상기 회전기에 의해 회전시키고, 이 롤러의 둘레면에 상기 가소성 재료를 공급하는 스텝(진공중이면 롤러 둘레면의 가소성 재료는 강력하게 탈포된다.)과, 상기 롤러의 둘레면을 상기 공판의 상면에 근접하면서, 상기 롤러를 상기 공판의 상면을 따라 이동시키는 동시에, 상기 롤러가 이동하는 이동방향에 대해 앞구르기 하는 방향으로, 상기 롤러를 상기 회전기에 의해 회전시키는 스텝과, 상기 롤러에 근접 또는 접촉하여 상기 롤러의 둘레면을 따라 선회 가능하게 지지되는 스키지를, 상기 회전기가 상기 롤러를 회전시키는 토크의 반력에 의해, 상기 공판에 세게 누르는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 관계되는 전자부품의 제조방법은 상기 워크 피스를 대기압중에 위치결정하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 워크 피스를 진공중에 위치결정하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이 경우, 상기 롤러에 잉여의 가소성 재료가 부착하여 진공에 접하면서 순환하여 강력한 탈포가 행해지도록 해도 좋다. 또는, 상기 워크 피스를 대기압중에 위치결정하는 스텝과, 상기 워크 피스를 진공중에 위치결정하는 스텝을 연속적으로 조합한 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관계되는 전자부품의 제조방법은 수평자세에서 위치결정되는 워크 피스에, 상면 및 하면을 관통하는 통과구멍 패턴을 갖는 공판을 중첩하고, 상기 워크 피스에 상기 공판의 하면을 근접시키는 스텝과, 상기 공판의 통과구멍 패턴에 가소성 재료를 가압 공급함으로써, 상기 워크 피스에 상기 가소성 재료를 압입 충전하는 스텝과, 상기 공판의 상면측의 기압이 상기 하면측보다 높아지도록, 상기 공판을 사이를 구획하여 차압을 발생시키는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 관계되는 전자부품의 제조방법은 워크 피스를 높이조정 가능한 얼라인먼트 테이블에 수평자세에서 위치결정하는 스텝과, 상기 얼라인먼트 테이블에 위치결정된 전방 워크 피스의 상방에, 상면 및 하면을 관통하는 통과구멍 패턴을 갖는 공판을 수평자세에서 지지하는 스텝과, 상기 얼라인먼트 테이블의 높이조정을 행함으로써, 상기 워크 피스에 상기 공판의 면을 근접시키는 스텝과, 상기 공판의 통과구멍 패턴에 가소성 재료를 가압 공급함으로써, 상기 워크 피스에 상기 가소성 재료를 압입 충전하는 스텝과, 상기 공판의 하면측의 기압이 상기 상면측보다 높아지도록, 상기 공판을 구획하여 차압을 발생시키는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 관계되는 전자부품의 제조방법은 상기 얼라인먼트 테이블의 높이조정을 행함으로써, 상기 워크 피스를 상기 공판의 아래쪽으로 떨어지게 하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다. 또, 상기 공판의 상면측의 기압, 또는 상기 하면측의 기압의 적어도 일방을, 대기압 또는 진공압으로 설정하는 것을 특징으로 한다. 또, 상기 가소성 재료가 상기 워크 피스를 절연 밀봉하는 수지인 것을 특징으로 한다. 상기 가소성 재료가 땜납 범프를 형성하는 땜납 페이스트인 것을 특징으로 한다. 또는, 상기 가소성 재료가 웨이퍼 및 수지기판을 구멍메움하는 도전성 페이스트 또는 비도전성 페이스트이며, 스루홀은 이면에 점착 필름을 라미네이션하여 블라인드화하고, 동일 직경 또는 다른 직경 구멍도 한번에 진공 충전하고, 볼록 형상으로 플러그를 형성해서 경화 또는 반경화하여, 이면의 필름을 박리하는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 관계되는 전자부품의 제조방법은, 청구항 11 또는 12에 기재된 방법에 있어서서, 상기 가소성 재료가 웨이퍼 및 수지 기판을 구멍메움하는 도전 페이스트 또는 비도전 페이스트이며, 상기 가소성 재료를 진공하에서 압입 충전하는 스텝과, 상기 가소성 재료가 경화후에 상기 가소성 재료를 진공하에서 또는 대기하에서 충전 또는 진공충전후 대기충전하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.

(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)

이하에, 도 1 내지 도 5에 기초하여, 공판(1)을 중첩하고 일면(21)을 위를 향하게 한 워크 피스(2)에, 적당량의 가소성 재료를 압입 충전하는 전자부품의 인쇄장치(E1)에 대하여, 인쇄 헤드를 예로 들어 설명한다. 또, 도면중에 화살표 X, Y, Z로 각각 나타낸 방향은, 이하의 축방향, 이동방향, 및 높이 방향에 각각 대응하고 있다. 볼트, 너트, 키, 키 홈, 및 베어링 등의 자명한 기계요소에 대해서는, 그 도시 또는 설명을 생략한다. 인쇄장치(E1)의 동작을 제어하기 위한 제어기기, 및 동작/정지를 검출하는 센서 등에 대해서도, 마찬가지로 생략한다

우선은, 인쇄장치(E1)의 인쇄 헤드의 원리를 설명한다. 도 1은 워크 피스(2)의 일면(21)에 둘레면을 근접하는 롤러(3)와, 롤러(3)를 워크 피스(2)의 일면(21)을 따라 화살표 Y로 나타낸 방향으로 이동시키는 이동수단(4)과, 이동수단(4)이 롤러(3)를 이동하는 이동방향에 대해 앞구르기 하는 방향으로 롤러(3)를 회전시키는 회전수단(5)과, 롤러(3)에 근접 또는 접촉하여 워크 피스(2)의 일면(21)에 세게 눌리는 스키지(6)를 나타내고 있다.

이동수단(4)으로서는, 롤러(3)를 지지하는 브래킷(도시 생략)에 볼 너트(40)를 부착하는 한편, 볼 너트(40)에 나사결합하는 이송 나사(41)를 롤러(3)의 외부에 배치한 모터 등의 구동인으로 회전시킴으로써, 롤러(3)를 이동시키는 것을 적용해도 좋다. 회전수단(5)으로서는, 롤러(3)의 외부에 배치한 회전기(50)의 출력축에 타이밍 풀리(501)를 부착하고, 롤러(3)의 지지축(34)에 타이밍 풀리(502)를 설치하고, 회전기(50)의 출력축의 회전력을 타이밍 풀리(501, 502)에 걸어감은 타이밍벨트(503)를 통하여 롤러(3)에 전달하는 것을 적용해도 좋다.

스키지(6)는 롤러(3)의 둘레면을 따라 선회할 수 있도록 도면에 표시되어 있지 않은 지지체로 지지되어 있으면 좋고, 예를 들면, 에어실린더 등의 액추에이터를 주체로 하는 인압발생 수단(7)에 의해 워크 피스(2)의 일면(21)에 적절하게 눌려지도록 해도 좋다. 인압발생 수단(7)은 롤러(3)의 근방에 설치한 힌지이음부(70)에, 직립 자세 또는 경사 자세가 되도록 회전운동 자유롭게 부착되고, 그 작동 로드(71)를 스키지(6)에 힌지이음부(72)를 통하여 회전운동 자유롭게 접속하고 있다.

또, 도 1에 도시한 한쌍의 스키지(6)는 그 일방이 인압발생 수단(7)에 의해 워크 피스(2)의 일면(21)에 눌려지고, 타방이 워크 피스(2)의 일면(21)으로부터 떠 있다. 이것은 롤러(3)의 이동방향 Y에 대해 전도에 위치하는 스키지(6)의 하측에, 적당량의 가소성 재료(m)를 모으면서, 가소성 재료(m)가 롤러(3)의 회전에 따라 그 하측으로 서서히 끌려들어가고, 또한 롤러(3)의 이동방향 Y에 대해 후방에 위치하는 스키지(6)에 의해 압축되는 것을 기도하고 있다.

상세하게는, 도 2 (a) 및 (b)에 도시하는 바와 같이 롤러(3)의 둘레면에 부착되도록 공급된 가소성 재료(m)는, 롤러(3)가 회전하면서 이동함에 따라서, 롤러(3)의 하측으로 끌려들어가고, 워크 피스(2)의 일면(21)과 롤러(3) 사이에서 압축된다. 이때의 가소성 재료(m)에 가해지는 압력은 가소성 재료(m)가 롤러(3)의 바로 아래를 대략 지나친 위치 P1에서 피크값에 달한다. 이후, 동일한 압력은, 스키지(6)가 워크 피스(2)의 일면(21)에 접하는 접점위치 P2에 이를때까지 강하하다가, 접점위치 P2에서 더욱더 소기의 압력을 유지할 수 있도록 설정한다. 이것에 의해, 워크 피스(2)(예를 들면 프린트 기판 또는 웨이퍼 기판)의 비어 또는 스루홀의 구멍메움을 행하는 경우에, 피어 또는 스루홀에 채워지는 가소성 재료(m)에 적절한 압력을 축적할 수 있기 때문에, 도시한 바와 같이, 스키지(6)가 통과한 후에, 비어 또는 스루홀로부터 가소성 재료(m)가 볼록 형상으로 부풀어오르게 된다.

또는, 도 2(c) 및 (d)에 도시하는 바와 같이, 롤러(3)의 둘레면에 부착되도록 공급된 가소성 재료(m)는 이미 기술한 바와 같이 워크 피스(2)의 일면(21)과 롤러(3) 사이에서 압축된다. 그리고 가소성 재료(m)에 가해지는 압력은 롤러(3)의 바로 아래를 대략 지나친 위치 P3에서 피크값에 달하지만, 이 후, 동일한 압력이, 접점위치 P4에 이를 때까지 제로가 되도록 설정한다. 이것에 의해, 워크 피스(2)의 일면(21)의 오목부에 충전된 가소성 재료(m)에 압력이 잔존하지 않으므로, 도시한 바와 같이, 스키지(6)가 통과한 후라도 가소성 재료(m)는 평탄한 형상을 유지하게 된다. 다양한 용도에 적합하기 위해서는, 롤러(3)의 회전, 이동, 및 상기의 압력을 단독으로 조정할 수 있는 것이 바람직하다. 이상의 원리를 구현화하기 위한 최량의 형태를 이하에서 상세하게 기술한다.

(실시예 1)

도 3은 인쇄장치(E1)의 정면도이다. 도 4(a)는 인쇄장치(E1)의 측면도, (b)는 도 3의 A-A 단면도이다. 도 5는 인쇄장치(E1)의 주요부의 구성을 개념적으로 도시되어 있다. 이들 도면에 도시되는 바와 같이, 인쇄장치(E1)는 수평자세에서 위치결정되는 회로기판, 및 그 표면실장부로 이루어지는 워크 피스(2)(이하에서 간단히 「회로기판(2)」이라고 기재한다.)의 양측 근방에 축방향 X의 양단부(31)가 각각 지지되고 공판(1)을 통하여 회로기판(2)의 일면(21)에 둘레면(32)을 근접하는 롤러(3)와, 롤러(3)를 회로기판(2)의 일면(21)을 따라 화살표 Y방향으로 이동시키는 이동수단(4)과, 이동수단(4)이 롤러(3)를 이동시키는 과정에서 롤러(3)를 회전시키는 회전수단(5)과, 롤러(3)에 근접하여 롤러(3)의 둘레면(32)을 따라 선회 가능하게 지지된 스키지(6)와, 회전수단(5)이 롤러(3)를 회전시키는 토크의 반력에 의해 스키지(6)를 회로기판(2)의 일면(21)에 중첩된 공판(1)에 세게 누르는 인압발생 수단(7)을 구비한다.

이동수단(4)과 회전수단(5)은 각각의 구동원인으로서, 롤러(3)에 내장된 회전기(50)를 공용하고 있다. 상세하게는 다음과 같다. 즉 이동수단(4)은 롤러(3)의 양단부(31)에 각각 결합한 한쌍의 피니언(10)과, 회로기판(2)을 그 양측으로부터 끼우도록 배치되고 도면에 도시되지 않은 기반 등에 고정된 한쌍의 래크(11)와, 상기의 회전기(50)로 구성된다. 한쌍의 래크(11)는 서로 평행하게 이동방향 Y를 따라 연장되어 있고, 각각이 피니언(10)에 맞물려 있다. 이 상태에서, 롤러(3)의 둘레면(32)은 공판(1)으로부터 약간 떠올라, 공판(1)과 롤러(3) 사이에 적당한 간극이 유지되어 있다. 회전기(50)는 그 스테이터(51)와 로터(52)가 상대적으로 회전가능하고, 축방향 X로 연장되는 통 형상의 스테이터(51)의 내측을 로터(52)가 회전구동한다.

로터(52)가 상기한 바와 같이 회전구동하면, 이것에 따라서 롤러(3)와 함께 피니언(10)이 회전한다. 롤러(3)와 피니언(10)의 회전의 반력은, 인압발생 수단(7)으로 전달되고, 인압발생 수단(7)이 스키지(6)를 공판(1)에 세게 누름으로써 힘의 균형이 유지된다. 이 원리는 후술한다. 피니언(10)이 회전하면, 롤러(3) 전체가 이동방향 Y를 따라서 도면중을 우측 또는 좌측으로 이동(이하에서 「왕동」 또는 「복동」이라고 기재한다.)하게 된다. 동시에, 롤러(3)는 이것자체가 왕동 또는 복동하는 방향에 대해, 앞구르기 하는 방향으로 회전한다.

즉, 롤러(3)는 왕동할 때 도 4중을 시계방향으로 회전하고, 복동할 때 반 시계 방향으로 회전한다. 이와 같이 「앞구르기」하는 롤러(3)의 둘레면(32)의 속도(원주속도)는 피니언(10)의 피치원과 롤러(3)의 둘레면(32)의 직경의 비율에 의해 대체로 결정한다. 도시한 예에서는, 롤러(3)의 원주속도는 롤러(3)가 화살표 Y방향으로 이동하는 이동속도의 1.2∼l.5배 정도의 속도로 설정되어 있다.

회전수단(5)은 롤러(3)의 축방향 X로 연장되고 상기의 피니언(10)을 각각 관통하여 각각의 선단(33)을 롤러(3)의 외부에 돌출하는 한쌍의 지지축(34)과, 회전기(50)의 로터(52)에 발생하는 토크를 일방(도 3 우측)의 지지축(34)에 전달하는 감속기(8)와, 한쌍의 지지축(34)의 각각의 선단(33)부근으로부터 롤러(3)의 직경방향으로 뻗어나오는 한쌍의 링크 부재(9)를 구비한다. 한쌍의 링크 부재(9)는 스키지(6)의 중앙을 핀(94)으로 축지지하는 스키지 지지 바(95)의 양단을 각각 지지하고, 스키지(6)는 핀(94)을 지지점으로 하여 약간 요동할 수 있다. 또, 개개의 지지축(34)은 롤러(3) 및 개개의 피니언(10)에 대해 자유롭게 회전할 수 있다.

한쌍의 지지축(34)의 각각의 선단(33)부근은 한쌍의 지지편(35)에 각각 베어링 되어 있다. 한쌍의 지지편(35)은 한쌍의 직동 안내 베어링(36)에 각각 고정되어 있다. 또한 한쌍의 직동 안내 베어링(36)은 이동방향 Y로 연장되는 한쌍의 가이드 레일(37)에 슬라이딩 자유롭게 각각 걸어맞추어져 있다. 이들 부재는, 롤러(3)를 이동방향 Y로 슬라이딩 자유롭게 지지하는 브래킷(38)을 구성하고, 피니언(10)이 래크(11)로부터 이탈하지 않도록, 롤러(3)를 똑바르게 안내하는 역할을 하고 있다.

인압발생 수단(7)은 롤러(3)의 회전을 적절하게 제동, 바꿔 말하면 롤러(3)에 부하를 주는 밴드 브레이크(17)를 한쌍의 지지편(35)의 일방에 부착한 것이다. 감속기(8), 및 밴드 브레이크(17)는 자명한 기술이기 때문에 상세한 도시를 생략하고, 인압발생 수단(7)이 상기 회전의 반력을 받는 원리만을 설명한다. 이하에 기술하는 감속기(8)는 로터(52)에 직결한 태양기어와, 이 태양기어의 주위에 배치한 복수의 유성기어와, 이상의 기어를 수납하는 케이싱으로 대체로 구성되어 있다.

즉 회전기(50)를 기동하여 로터(52)가 회전하면, 이 회전이 감속기(8)로 감속되면서 롤러(3)에 전달된다. 이것에 의해 롤러(3)가 도 4중에서 시계방향으로 정회전 과정에서, 이 반력은 상기의 유성기어를 통하여 일방(도 3 우측)의 지지축(34)에 전달되어, 동 지지축(34)에 반시계방향의 토크가 발생한다. 이 결과, 도 4(b)에 실선으로 나타낸 스키지(6)가 회로기판(2)의 일면(21)에 중첩된 공판(1)에 세게 눌려진다. 또는, 롤러(3)를 도 4중에서 반시계방향으로 역회전시키면, 롤러(3)의 회전의 반력으로서, 로터(52)가 정회전하고 있던 때와는 반대의 시계회전의 토크가 일방의 지지축(34)에 발생한다. 이 결과, 일방의 링크 부재(9)와 함께 스키지(6)가 시계방향으로 선회한다. 그리고 스키지(6)는 도면중에 가상선으로 나타낸 우측의 위치까지 도달한 지점에서, 공판(1)에 맞부딪쳐서 정지한다.

이러한 회전기(50)가 정회전/역회전을 반복할 때마다, 스키지(6)가 이상의 선회 동작을 반복하게 된다. 또, 인압발생 수단(7)이 롤러(3)에 부하를 주는 것, 바꿔 말하면, 밴드 브레이크(17)가 롤러(3)의 양단부(31)의 어느 일방을 죔으로써 얻어지는 마찰력으로 롤러(3)의 회전에 저항을 줌으로써, 회전기(50)의 반력을 적극적으로 증대하여, 스키지(6)가 회로기판(2)의 일면(21)에 눌려지는 힘(이하에서 「인압」이라고 기재한다.)을 필요에 따라 조정할 수 있다.

또한, 이상의 스키지(6)의 동작은 일방의 링크 부재(9)에만 착안하여 깃술했는데, 실제로는 스키지(6)는 축방향 X의 전체 길이가 30∼90cm 이상에 이르는 긴 형상이기 때문에, 인압을 실용적인 강도로 조절하기 위해서는, 스키지(6)에 휨이나 뒤틀림이 생기지 않도록, 스키지 지지 바(95)의 양단에 균등한 힘이 가해지지 않으면 안된다. 그래서, 한쌍의 링크 부재(9)를 기계적으로 접속하는 것이 바람직하다.

예를 들면, 한 쌍의 섹터기어(91)를, 브래킷(38)의 한쌍의 지지편(35)에 각각 고정하고, 개개의 섹터기어(91)에 맞물리는 유성기어(92)를, 개개의 링크 부재(9)의 적소에 쌍으로 하여 회전 자유롭게 각각 부착, 이들 한쌍의 유성기어(92)를 연결축(93)으로 연결하여 이루어지는 연동기구를 부가한다. 이것에 의해, 일방의 링크 부재(9)를 일방의 지지축(34)의 주위에 선회시키는 힘은, 일방의 링크 부재(9)측의 각 기어(91, 92)로, 연결축(93)이 회전되는 토크로 변환되고, 동 토크가 타방의 링크 부재(9)측의 각 기어(91, 92)로, 타방의 링크 부재(9)를 타방의 지지축(34)의 주위로 선회시키는 힘으로 변환된다.

또, 1개의 롤러(3)에 1개의 회전기(50)를 내장하는 예를 도시했는데, 1개의 롤러(3)에 2개의 회전기(50)와 각각의 로터(52)에 접속하는 2기의 감속기(8)를 내장하고, 한쌍의 지지축(34)을 개별적으로 구동해도 좋다. 이 경우, 2기의 회전기(50)는 각각을 구동하기 위한 드라이브 회로를 전기적으로 동기시킬 수 있으므로, 상기의 연동기구는 불필요하게 된다. 또, 회전기(50)의 로터(52)의 양단으로부터 출력을 얻어낼 수 있도록 하고, 로터(52)의 양단에 각각 감속기(8)를 개별적으로 접속하고, 이들 2기의 감속기에 각각 한쌍의 지지축(34)을 접속해도 좋다.

또, 이동수단(4)이 전술한 바와 같이, 볼 너트(40)를 브래킷(38)에 부착하는 방법, 볼 너트(40)에 나사결합하는 이송 나사(41)를 롤러(3)의 외부에 배치한 모터 등의 구동원으로 회전시키는 장치인 경우, 상기의 피니언(10)과 래크(11)는 생략할 수 있다. 또, 공판(1)은 인쇄장치(E1)의 구성 및 사용시에 필수적인 요소가 아니므로, 생략해도 좋다.

(실시예 2)

다음에 도 6 내지 도 9에 기초하여, 상기의 인쇄장치(E1)(인쇄 헤드)를 집어 넣은 전자부품의 제조장치(E2)를 설명한다. 또, 상기의 인쇄장치(E1)의 이동수단(4)은, 롤러(3)에 내장된 회전기(50)를 주체로 하는 구성에 한정되지 않고, 롤러(3)의 외부에 설치한 구동원에 의해 회전하는 볼 너트 등을 사용하여 롤러(3)를 이동시켜도 좋은 점은, 이미 기술한 바와 같다. 도 6(a)는 제조장치(E2)의 정면도이며, 도 7은 그 주요부의 정면이다. 도 8 및 도 9는 각각 제조장치(E2)의 측면도 및 평면도이다. 이것들의 도면에 도시되는 바와 같이, 제조장치(E2)는 인쇄장치(E1) 및 공판(1)을 수납하는 상부 밀봉실(13)과, 얼라인먼트 테이블(12)을 수납하는 하부 밀봉실(14)과, 후술의 차압발생 수단(15)을 구비한다.

얼라인먼트 테이블(12)은 워크 피스(2)를 이 일면(101)을 위를 향하게 하고 수평자세에서 위치결정할 수 있다. 구체적으로는, 워크 피스(2)를 수평자세에서 수평면을 따라 슬라이딩시키고, 또한 워크 피스(2)를 수평자세인채로 회전시킬 수 있다. 또한, 이와 같이 위치결정한 워크 피스(2)의 위치를 얼라인먼트 테이블(12)은 화살표 Z로 나타낸 높이 방향으로 변위시킬 수 있다. 이것을 이하에서 「높이 조정」이라고 기재한다.

상부 밀봉실(13)은 알루미늄 또는 강제의 사각형 덩어리로 이루어지는 기반(230)의 상면을 파내어 상기의 인쇄장치(E1) 및 공판(1)이 동작가능한 오목부(231) 및 하부 밀봉실(14)을 형성하고, 하부 밀봉실(14)의 위에 개폐할 수 있는 프레임(18)에 설치할 수 있는 공판(1)(도 13을 참조)이 설치된다. 오목부(231)의 바닥면에, 상기 한쌍인 가이드 레일(37)을 부설하고, 동 바닥면으로부터 떠오르게 한 위치에, 상기한 한쌍의 래크(11)를 가설하고 있다. 또, 오목부(231)의 바닥면에는 삽입통과구멍(234)이 형성되고 있어, 하부 밀봉실(14)내의 얼라인먼트 테이블(12)에, 삽입통과구멍(234)을 거쳐, 기반(230)의 하방에 배치된 조정기구(121)가 접속하고 있다.

조정기구(121)는 얼라인먼트 테이블(12)의 높이조정에 더하여, 얼라인먼트 테이블(12)의 위치를 수평방향으로 미조정하는 것이다. 기반(230)은 조정기구(121)나 차압발생 수단(15)을 내측에 수납하는 가대(232)에 지지되어 있다. 얼라인먼트 테이블(12)과 삽입통과구멍(234) 사이는, O 링 등에 의해 밀봉되어 있다. 기반(230)의 상면에는, 아크릴 수지제의 덮개(233)가 개폐 가능하게 부착되어 상부 밀봉실(13)을 형성한다. 덮개(233)는 이 내부의 진공도달도가 50Pas∼100Pas에 도달해도 견딜 수 있는 강성을 갖는다.

차압발생 수단(15)은 후술의 공판(1)에 의해 상부 밀봉실(13)과 하부 밀봉실(14)이 서로 구획된 상태에서, 상부 밀봉실(13)과 하부 밀봉실(14) 사이에 차압을 발생시키는 것이다. 예를 들면 차압발생 수단(15)은 상부 밀봉실(13)과 하부 밀봉실(14) 양쪽에 접속한 1기의 진공펌프(151)와, 상부 밀봉실(13)과 하부 밀봉실(14)에 각각 접속한 2개의 리크밸브(152, 153)를 구비하는 것이다. 또한 상부 밀봉실(13) 및 하부 밀봉실(14)과, 진공펌프(151)와의 사이를, 도 6(b)의 배관계통도에 도시하는 바와 같이, 상부 밀봉실(13)에는 리크밸브(152) 및 스톱밸브(155)가 설치되고, 하부 밀봉실(14)에는 리크밸브(153) 및 스톱밸브(154)가 접속되고, 이들 밸브의 조작을 조합함으로써 상부 밀봉실(13) 및/또는 하부 밀봉실(14)에 자유롭게 진공을 발생할 수 있어, 가소성 재료의 절단이나 디스펜스를 행할 수 있다.

(실시예 3)

다음에 상기의 얼라인먼트 테이블(12)에 위치결정되는 회로기판(2)에, 적당량의 가소성 재료를 압입 충전하도록 한 전자부품의 제조방법에 대해 설명한다. 또, 당해 방법으로 취급할 수 있는 가소성 재료에는, 필러를 혼입한 에폭시 수지 등의 액상수지(밀봉용), 에폭시 수지를 바인더로서 구리 또는 은의 함유율이 80퍼센트 이상인 전도성 페이스트/에폭시 수지에 구리 또는 실리카겔 등의 필러를 혼입한 비전도성 페이스트(구멍메움용), 땜납 페이스트(범프 형성용), 및 폴리이미드 수지/액상 레지스트(워크 피스의 절연용)이 적어도 포함된다.

우선은, 도 10 및 도 11에 도시하는 바와 같이 얼라인먼트 테이블(12)상에 회로기판(2)을 위치결정한다. 회로기판(2)의 위치결정은 얼라인먼트 테이블(12)에 설치된 도시되어 있지 않은 위치결정 핀으로 행한다. 이 상태에서, 회로기판(2)이 놓여질 분위기가 대기압일지, 진공일지는 특별히 묻지 않다. 또, 공판(1)을 회로기판(2)에 중첩해도 좋다. 공판(1)은 회로기판(2)의 일면(21)의 적소가 필름 등으로 미리 라미네이션(피복) 되어 있는 경우에는 불필요하지만, 이하에서는, 일면(101) 및 타면(102)을 관통하는 통과구멍 패턴(개구부)(103)을 갖는 공판(1)을 적용한 예를 설명한다.

계속하여, 롤러(3)를 예를 들면 도 9에 도시한 바와 같이, 공판(1)의 근방에 대기시킨다. 이 상태에서, 도 11(a)에 도시하는 바와 같이 롤러(3)의 둘레면(32) 또는 공판(1)의 일면(101)에 가소성 재료(m)를 공급한다. 그리고 롤러(3)의 둘레면(32)을 공판(1)의 일면(101)에 근접하면서, 롤러(3)를 공판(1)의 일면(101)을 따라 왕동시키는 동시에, 롤러(3)가 이동하는 이동방향 Y에 대해 앞구르기 하는 방향으로, 롤러(3)를 회전기(50)에 의해 회전시킨다. 이것에 의해, 롤러(3)의 둘레면(32)에 부착된 가소성 재료(m)는 왕동하는 롤러(3)와 공판(1) 사이에 밀어넣어진다.

이 과정에서, 롤러(3)에 내장한 회전기(50)의 발생하는 열이, 롤러(3)의 둘레면(32)에 부착된 가소성 재료(m)까지 전도되면, 가소성 재료(m)의 점도가 온도의 영향을 받아서 변화된다는 문제가 있다. 그래서, 도 12(a)에 도시하는 바와 같이, 롤러(3)를 회전기(50)의 로터(52)(동 도면에서 생략)를 수납하는 이너 케이싱(53)과, 이너 케이싱(53)의 주위에 약 2mm의 공극(54)을 두고 배치되는 통 형상 아우터 케이싱(55)을 구비하는 2중구조로 해도 좋다. 이것에 의해, 회전기(50)의 발생하는 열이, 롤러(3)의 둘레면(32)을 거쳐서 가소성 재료(m)까지 전도되는 것을 저지할 수 있다. 또한 회전기(50)의 로터(52)를 회전시키면, 이너 케이싱(53)과 함께 통 형상 아우터 케이싱(55)이 회전한다. 이 회전방향은 롤러(3)의 전체가 공판(1)의 상면을 따라 이동하는 이동방향에 대해 앞구르기 하는 방향이다.

또한 진공 펌프(151)에 의해 공극(54)에 공기를 유인하도록 구성해도 좋다. 이 경우, 도 12(b)에 도시하는 바와 같이, 롤러(3)의 양단부(31)에 공극(54)에 통하는 복수의 공기 구멍(57)을 형성하는 동시에, 롤러(3)의 한쌍의 지지축(34)에 중공축을 각각 적용하고, 이것들의 중공축의 내측 구멍(58)을 거쳐서 공극(54)을 전술의 진공펌프(151)에 접속한다. 진공펌프(151)를 기동하면, 복수의 통기구멍(57)으로부터 롤러(3)의 내부에 공기가 도입되고, 또한 이 공기가 진공펌프(151)에 의해 롤러(3)의 밖으로 배출된다. 이것에 의해, 롤러(3)와 회전기(50)를 적극적으로 냉각할 수 있으므로, 열가소성 재료(m)의 점도를 확실하게 안정시킬 수 있다. 또, 롤러(3)를 회전시키지 않을 때에는, 회전기(50)가 쓸데없이 열을 방출하지 않도록, 회전기(50)에 공급되는 전력을 완전하게 차단 하는 것이 바람직하다.

또 롤러(3)의 둘레면(32)에 부착된 가소성 재료(m)가, 롤러(3)와 공판(1) 사이에 양호하게 밀어넣어지도록, 롤러(3)의 둘레면(32)에 고무제의 라이닝(피복재)을 설치하는 등 하여, 가소성 재료(m)의 롤러(3)에의 점착을 촉진해도 좋다. 또, 고무 제품은 그 마모가 비교적 빠르므로, 동일 라이닝을 교환할 때에, 롤러(3)로부터 통 형상 아우터 케이싱(55)만을 제거할 수 있다는 관점에서도, 롤러(3)를 상기와 같은 2중구조로 하는 것이 바람직하다.

계속하여, 롤러(3)가 회전하면서 공판(1)의 상방을 통과하는 과정에서, 스키지(6)가 회전기(50)가 롤러(3)를 회전시키는 토크의 반력에 의해, 공판(1)의 일면(101)에 세게 눌려진다. 이 때문에, 상기한 바와 같이 왕동하는 롤러(3)와 공판(1) 사이에 밀어넣어진 가소성 재료(m)는, 롤러(3)의 왕동하는 방향에 대해 후방으로 빠져나가도록 하는 것이 스키지(6)에 의해 규제된다. 따라서, 왕동하는 롤러(3)와 공판(1) 사이에서 적절하게 가압되면서, 통과구멍 패턴(103)내에 공급된다(가압공급). 이것에 의해, 가소성 재료(m)는 회로기판(2)의 일면(21)에 확실하게 압입 충전되게 된다. 상기한 바와 같이, 가소성 재료(m)가 가압되는 정도는 가소성 재료(m)의 점도 등을 감안하여 상기의 인압의 조정, 및, 스키지(6)의 이동속도, 스키지(6)의 각도, 수지의 접촉길이, 및 롤러(3)의 회전속도의 설정/조정을 행함으로써 원하는대로 설정 할 수 있다.

또한, 공판(1)을 생략하는 경우, 회로기판(2)의 일면(21)에 스키지(6)를 직접적으로 접촉시켜도 좋지만, 상기의 누름판 또는 누름 프레임에 인쇄 에어리어를 넓게 개구하여, 기판상의 수지를 남기지 않고 수수하는 역할을 담당하게 한다. 또, 스키지(6)는 롤러(3)의 왕동 또는 복동에 관계없이, 소정의 평균 효과를 달성할 수 있도록, 도 11에 예시한 바와 같은 상하로 대칭한 형상으로 해도 좋지만, 양쪽 가장자리(도면중에서 상하부)의 형상을 비대칭으로 해도 좋다. 이 경우, 롤러(3)가 왕동 또는 복동할 때에 가소성 재료(m)를 왕동측에서는, 압입 충전용으로, 스키지(6)의 각도와 접촉 길이를 설정하고, 복동측은 표면을 평탄하게 하거나 볼록 형상으로 함으로써 각도와 길이를 정한다.

(실시예 4)

다음에 전자부품의 다른 제조방법에 대해서 설명한다. 우선은, 도 13에 도시하는 바와 같이, 기반(230)에서의 얼라인먼트 테이블(12)의 바로 위에 대응하는 위치에, 프레임(18)이 설치되어 있고, 프레임(18)에 공판(1)을 수평자세에서 위치결정한다. 한편, 상기의 요령으로 얼라인먼트 테이블(12)에 회로기판(2)을 수평자세에서 위치결정한다. 이 회로기판(2)을 적절하게 높이조정 함으로써, 공판(1)의 타면(102)에 회로기판(2)의 일면(21)을 근접시킨다.

계속하여, 실시예 3으로서 기술한 방법을 적용하여, 진공펌프(151)에 의해 상부 밀봉실(13)과 하부 밀봉실(14)을 동시에 진공으로 한다. 이 과정에서, 가소성 재료(m)에 대기압하에서 잠재하고 있던 보이드를 완전하게 배출(탈포)할 수 있다. 가소성 재료(m)를 공판(1)의 통과구멍 패턴(103)에 가압 공급함으로써, 회로기판(2)에 가소성 재료(m)를 압입 충전한다. 또한, 공판(1)에 의해 분획된 상부 밀봉실(13)과 하부 밀봉실(14) 사이에, 상기의 차압발생 수단(15)을 기동시켜서 차압을 발생시킨다.

그리고 도 6(b)의 배관계통도에서 나타내는 스톱밸브(155)를 닫고, 리크밸브(152)를 열면 상부 밀봉실(13)의 압력이 상승한다. 이것에 의해, 가소성 재료(m)가 공판(1)의 통과구멍 패턴(103)으로부터 아래쪽으로 밀어내어지게 한다. 또한, 얼라인먼트 테이블(12)을 약간 하강시키면, 도 13에 도시하는 바와 같이, 가소성 재료(m)는 통과구멍 패턴(103)에 남지 않고, 회로기판(2)에 양호하게 전사된다. 이후, 상부 밀봉실(13)과 하부 밀봉실(14)을 대기압으로 되돌리고, 도 8에 도시하는 바와 같이 덮개(233)을 열고, 또한 프레임(18) 및 공판(1)을 열고, 회로기판(2)을 제조장치(E2)로부터 떼어내면 일련의 제조공정은 종료된다.

(실시예 5)

다음에 전자부품의 또 다른 제조방법에 대해 설명한다. 도 14에 도시하는 바와 같이 프레임(18)에 공판(1)을 위치결정하고, 얼라인먼트 테이블(12)에 회로기판(2)을 위치결정하는 점은 실시예 4와 마찬가지이다. 또한, 회로기판(2)을 적절하게 높이조정함으로써, 공판(1)의 타면(102)에 회로기판(2)의 일면(21)을 근접시키고, 진공펌프(151)에 의해 상부 밀봉실(13)과 하부 밀봉실(14)을 동시에 진공으로 한 상태에서, 회로기판(2)에 가소성 재료(m)를 압입 충전하는 점도 실시예 4와 동일하다.

계속하여, 공판(1)을 구획하여 차압을 발생시킨다. 도 6(b)의 배관계통도에서 나타내는 스톱밸브(154)를 닫고, 리크밸브(153)를 약간 개방하면, 하부 밀봉실(14)의 내압이 상승하므로, 공판(1)의 타면(102)측의 기압이 일면(101)측보다 높아진다. 이것에 의해, 가소성 재료(m)와 통과구멍 패턴(103)의 둘레 가장자리 사이를, 하부 밀봉실(14)의 약간의 공기가 상방으로 빠져 나가려고 하므로, 가소성 재료(m)가 통과구멍 패턴(103)의 둘레 가장자리로부터 양호하게 절단된다. 공판(1)의 강성이 높고 공판(1)과 회로기판(2) 사이에 공기가 진입하는 것이 저지되는 경우에는, 얼라인먼트 테이블(12)의 높이조정을 행함으로써, 회로기판(2)을 공판(1)의 아래쪽으로 떨어지게 함으로써 회로기판(2)을 공판(1)과의 사이의 간극을 넓혀도 좋다.

또한, 실시예 4, 5에 기재한 상부 밀봉실(13)과 하부 밀봉실(14)은 반드시 진공으로 만들 필요는 없고, 공판(1)의 일면(101)측의 기압, 또는 타면(102)측의 기압중 적어도 일방이, 대기압이라도 좋다. 또, 가소성 재료(m)는 회로기판(2)을 절연 밀봉하는 합성수지라도 좋다. 또는, 가소성 재료(m)는 땜납 범프를 형성하는 땜납 페이스트라도 좋다.

(산업상의 이용가능성)

본 발명은 워크 피스상에 표면실장된 전자부품의 수지밀봉, 워크 피스에의 땜납 범프의 형성, 회로기판의 구멍메움, 회로기판의 수지 코팅, 디스플레이 분야의 각종 제조공정 등에 적용할 수 있다.

본 발명의 전자부품의 인쇄장치, 및 그 제조방법에 의하면, 이하의 효과를 달성할 수 있다. 즉 회전기에 의해 롤러를 회전시키면서, 롤러의 둘레면에 가소성 재료를 공급하고, 롤러를 회전시키면서, 회로기판 및 표면실장(이하에서 「워크 피스」라고 기록한다.)의 일면을 따라 동 롤러를 직선적으로 이동시키면, 가소성 재료는 롤러의 둘레면에 부착하면서, 롤러와 워크 피스 사이에 밀어넣어진다. 한편, 롤러가 회전하면서 워크 피스의 일면을 따라 이동하는 과정에서, 스키지가 워크 피스의 일면에 세게 눌려진다. 이 상태에서, 롤러와 워크 피스 사이에 밀어넣어진 가소성 재료는 롤러의 이동하는 방향에 대해 후방으로 빠져나가는 것이 충전에 적합한 각도와 길이를 갖는 스키지에 의해 규제되는 동시에 롤러와 스키지 사이의 수지도 실링된다.

따라서, 가소성 재료는 롤러와 워크 피스와의 사이에서 롤러의 자전과 이동으로 수지가 보내넣어지고, 스키지의 충전력과 롤러에 의한 충전력의 합력으로 강력하게 가압되면서, 마스크된 기판이나 마스크없는 기판에 다이렉트로 압입 충전되고, 스키지의 각도와 접촉 길이 및 롤러의 회전속도나 이동속도의 조정으로 충전력을 목적에 맞추어 최적화하여, 스키지 선단의 압력을 콘트롤 하여, 평탄으로도 볼록 형상으로도 형상이나 면적에 좌우되지 않고 인쇄할 수 있는, 스키지의 선단에서 충전력이 제로이면 평탄하게 수지는 절단되고, 충전력이 플러스이면 볼록 형상으로 인쇄된다(도 2를 참조). 간극을 갖는 부재에 충전하여 인쇄하는 기본적인 요소기술의 획기적인 발명이다.

또, 스키지와 롤러 사이에 약간의 간극을 갖게 하면, 과잉의 수지는 롤러의 주위를 순환하는 이것을 이용하여 예를 들면 진공과 조합하면, 롤러의 표면에 부착 순환해서 진공에 노출되어, 완전하게 탈포된 가소성 재료(도 11의 부호 235를 참조)가 공급되고, 종래의 진공차압법보다 높은 보이드 제거를 달성할 수 있다. 스키지 인압, 롤러 회전, 및 이동속도를 단독구동으로 하여 각각 조정 가능하게 하면, 광범위한 용도로 최적화하여 용이하게 적합시킬 수 있다.

또, 장치를 극한까지 소형화하고 단순화 하기 위해서, 로터가 회전구동하는 반력을 스키지가 받는 동시에, 로터의 회전이 감속기로 감속되면서 지지축에 전달되도록, 당해 인쇄장치를 구성하면, 다음 효과를 달성할 수 있다. 즉 가소성 재료의 점도 등에 따라, 상기의 반력을 조정, 바꿔 말하면 롤러에 가해지는 부하를 조정하는 것 만으로, 스키지를 워크 피스에 세게 누르는 힘을 증감할 수 있다. 또, 롤러의 단부에 결합한 피니언을, 워크 피스의 측방에 부설되고 이동방향으로 연장되는 래크에 맞물리게 하여, 회전기에 의해 롤러를 회전시키므로, 당해 장치의 전체를 극한까지 소형화 할 수 있다. 제어도 정전, 역전, 정지만으로 조작이 간단하여 어떤 프로세스도 즉시 실현할 수 있다.

따라서 가소성 재료로부터 보이드를 완전하게 배제하는 것을 기도하여 당해 장치를 진공중에 배치하는 경우에, 이러한 진공을 형성하는 예를 들면 밀봉실의 용적을 대폭 축소할 수 있고, 에어 기기 등의 액추에이터를 사용하지 않고 에어 리크도 없이, 밀봉실을 진공처리 하기 위한 진공펌프 등의 소형화가 도모되고, 밀봉실의 강도를 작게 할 수 있어 경량화할 수 있고, 더욱이 기술적으로 단축할 수 있어 생산성을 향상할 수 있다. 또는, 롤러를 회전 자유롭게 지지하는 브래킷을 롤러의 외부에 설치된 구동원에 의해, 이동방향으로 이동시키도록 구성한 경우, 가소성 재료의 반송량을 자유롭게 조정할 수 있는 이점이 있지만, 장치는 다소 복잡해진다.

또한 상기의 롤러가 회전기를 수납하는 이너 케이싱과, 이너 케이싱의 주위에 공극을 설치하여 배치되는 통 형상 아우터 케이싱을 구비하는 경우, 회전기의 로터를 회전시키면, 통 형상 아우터 케이싱과 함께 이너 케이싱이 회전한다. 이것들의 회전방향은 롤러 전체가 공판의 상면을 따라 이동하는 이동방향에 대해 앞구르기 하는 방향과 일치한다.

또, 롤러의 이너 케이싱과 통 형상 아우터 케이싱 사이에 공극을 설치함으로써, 회전기의 발생하는 열이 롤러의 둘레면에 부착된 가소성 재료까지 전도하는 것을 저지하고, 가소성 재료의 점도가 온도의 영향을 받아서 변화되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 롤러의 이너 케이싱과 통 형상 아우터 케이싱을 지탱하는, 양단의 플랜지에 통과구멍을 설치하고, 본 발명의 일부인 진공인쇄 코터나 진공인쇄기에 적용한 경우는, 진공처리 반복하므로, 회전기를 적극적으로 냉각할 수 있으므로, 열가소성 재료의 점도를 확실하게 안정시킬 수 있다. 더욱이 강제 냉각을 하기 위해서는, 양단의 지지축을 중공으로 하여 진공펌프에 연결한다. 또는 롤러는 항상 수지와 접하여 스키지로 연마되는 상태에서 소모품이 되므로, 통 형상 아우터 케이싱을 용이하게 교체할 필요가 있고, 그것을 위해서도 통 형상 아우터 케이싱은 유효하다.

또한, 본 발명의 전자부품의 인쇄장치에 의하면, 가소성 재료를 통과시키는 통과구멍 패턴을 갖는 공판을, 워크 피스의 일면에 중첩해도, 상기의 효과를 얻을 수 있으므로, CSP, BGA 등의 전자부품을 표면실장한 기판의 종래의 진공차압 인쇄법보다 롤러의 회전에 의한 탈포효과와 충전력 강화효과에서, 한층더 보이드 없이 평탄도가 높고 정밀한 밀봉이 가능하다.

또, 본 발명의 전자부품의 인쇄장치, 및 방법에 의하면, 수평자세에서 위치결정되는 워크 피스에, 상면 및 하면을 관통하는 통과구멍 패턴을 갖는 공판을 중첩하고, 워크 피스에 공판의 하면을 근접시켜 보이드를 없애기 위해서는, 상하 밀봉실을 진공으로 만들고, 상기의 방법에 의해 워크 피스에 공판의 통과구멍 패턴을 통하여 가소성 재료를 압입 충전하고, 2개의 리크밸브와 스톱밸브와의 조작의 조합으로, 상부 밀봉실과 하부 밀봉실에 대기가 유입되는 것을 개별적으로 허용 또는 밀봉할 수 있으므로, 개개의 리크밸브와 스톱밸브를 조작하여, 공판의 상면측의 기압이 하면측보다 높아지도록, 공판을 구획하여 차압을 발생시킨다.

이것에 의해, 가소성 재료가 공판의 통과구멍 패턴으로부터 아래쪽으로 밀어내지도록 하므로, 가소성 재료는 양호하게 워크 피스에 전사하게 된다. 이것을 범프 형성에 적용하면 높은 에스펙트의 통과구멍에 충전된 땜납 페이스트가 점착력과 차압으로 전사되어, 좁은 피치로 고밀도의 범프 형성을 할 수 있다.

또는, 얼라인먼트 테이블에 상기한 바와 같이 수평자세에서 위치결정된 워크 피스의 상방에, 상면 및 하면을 관통하는 통과구멍 패턴을 갖는 공판을 수평자세로 지지하고, 얼라인먼트 테이블의 높이조정을 행함으로써, 워크 피스에 공판의 하면을 근접시키고, 가소성 재료를 공급하고, 진공펌프를 기동하여, 상부 밀봉실과 하부 밀봉실을 진공처리 함으로써 상부 밀봉실과 하부 밀봉실을 진공으로 한 상태에서, 상기의 방법에 의해 워크 피스에 공판의 통과구멍 패턴을 통하여 가소성 재료를 압입 충전할 수 있다. 또한, 개개의 리크밸브, 및 스톱밸브를 조작하여, 공판의 하면측의 기압이 상면측보다 높게 되도록, 공판을 구획하여 차압을 발생시킨다.

이것에 의해 가소성 재료와 통과구멍 패턴의 둘레 가장자리 사이를, 하부 밀봉실의 약간의 공기가 상방으로 통과하여 나가려고 하므로, 가소성 재료가 통과구멍 패턴의 둘레 가장자리로부터 양호하게 절단되면, 동시에 주변의 가소성 재료를 내부로 밀어내어 경화도중에서의 점도저하로 주변에의 유출을 방지할 수 있다. 주로 수지밀봉에 적용되어 정밀형상을 달성할 수 있는 혁신적 방법이다.

특히, 공판의 강성이 높고 공판과 워크 피스의 사이에 공기가 진입하는 것이 저지되는 경우에는, 얼라인먼트 테이블의 높이조정을 행함으로써, 워크 피스를 공판의 아래쪽으로 떨어지게 하면 된다. 이것에 의해 워크 피스를 공판과의 사이의 간극을 적극적으로 확대할 수 있으므로, 양자간을 하부 밀봉실의 공기가 용이하게 빠져 나갈 수 있게 되어, 공판의 재질이나 두께 등에 관계되지 않고 상기의 효과를 달성할 수 있다. 더욱이, 공판의 상면측의 기압, 또는 하면측의 기압의 적어도 일방을, 대기압 또는 진공압으로 설정하면, 대기인쇄법에도 적용할 수 있다.

또한, 상기의 진공인쇄 코터를 밀봉에 사용한 경우, 스키지와 롤러의 충전력의 합력이 작용하여 매우 복잡한 형상으로 요철이나 다중 와이어를 수지가 강력하게 충전하고, 잔류공기는 압축되어서 워크와 기판이나 칩의 벽면으로부터 밀어내어지고, 그 후에 대기압으로 되돌려져 차압으로 구석구석까지 함침되고, 표면은 스키지의 선단으로 수지압이 제로에 가깝게 설정되고 평탄하게 절단되어서 인쇄된다. 종래의 진공인쇄기는 스키지로 수지를 씌우듯이 공급하고, 진공차압으로 충전하고 진공으로 마무리 인쇄되는데, 와이어의 상부에 수지가 엷게 덮여 있는 상태에서, 차압을 걸면 미충전부와 외부의 압이 단락되어 충전할 수 없는 문제나, 잔류공기분이 마이크로 보이드로서 잔류하는 것을 피할 수 없는 문제가 있다.

또한, 기판의 구멍메움에 사용한 경우, 스루홀의 구멍메움에는, 기판의 이면에 점착 필름을 라미네이션하고, 블라인드 비어를 형성하여 마스크레 없이 진공인쇄 코터를 사용하여, 진공으로 충전 인쇄하고, 대기압으로 함침시키고 더욱 스키지 선단부로 충전력을 플러스 사이드로 설정하고, 인쇄하면 상면은 플러그가(볼록 형상 인쇄) 형성되고, 하부는 기판과 동일면에 충전된다. 이것을 반경화또는 경화하여 필름을 제거한다. 이 방법은 다른 직경 구멍을 동시에 충전할 수 있고, 마스크도 불필요하고 얼라인먼트도 필요없어, 연마 행정을 크게 간략화 할 수 있다. 종래의 장치는 플랜트였지만 간략한 장치로 되고, 혁신적인 구멍메움법을 달성했다. 또는 에스펙트가 높은 워크는 1회 충전한 후 경화하고 다시 충전 경화하면, 충전 미스도 없이 완벽한 구멍메움을 할 수 있다. 또 다이렉트 인쇄는 가령 미충전부가 있어도 재충전 할 수 있어 불량품이 아닌 이점이 있다.

또한, 범프 형성에 적용하는 경우는, 기판에 레지스트로 범프 형성에 필용한 비어를 형성하고, 마스크 없이, 진공에서 인쇄 코터로 충전하고, 대기압으로 되돌려 함침시키고 스키지 선단의 충전압을 제로 부근에 설정하여 평탄하게 절단하고, 리플로하고 레지스트를 박리하여 달성했다. 시작으로는, SnAgCu로 10μ 사이즈의 입자를 갖는 땜납 페이스트로 60μ의 범프를 형성하고, 1μ 이하의 오차에서 용이하게 형성되었다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관계되는 전자부품의 인쇄장치의 원리를 설명하는 개념도,

도 2(a)는 본 발명의 실시형태에 관계되는 전자부품의 인쇄장치의 작동의 1예를 설명하는 개념도, (b)는 그 압력을 충전력으로 하여 세로축에 나타내고, 롤러 및 스키지의 각각 위치에 대응하는 거리를 가로축에 나타낸 그래프이며, (c)는 작동의 다른 예를 설명하는 개념도, (d)는 그 압력을 충전력으로 하여 세로축에 나타내고, 롤러 및 스키지의 각각 위치에 대응하는 거리를 가로축에 나타낸 그래프,

도 3은 본 발명의 실시예 1의 전자부품의 인쇄장치의 일부를 파단한 정면도,

도 4(a)는 본 발명의 실시예 1의 전자부품의 인쇄장치의 측면도, (b)는 도 3의 A-A 단면도,

도 5는 본 발명의 실시예 1의 전자부품의 인쇄장치의 주요부를 도시하는 개념도,

도 6(a)는 본 발명의 실시예 2의 전자부품의 제조장치의 정면도, (b)는 그 배관계통도,

도 7은 본 발명의 실시예 2의 전자부품의 제조장치의 주요부의 정면도,

도 8은 본 발명의 실시예 2의 전자부품의 제조장치의 측면도,

도 9는 본 발명의 실시예 2의 전자부품의 제조장치의 평면도,

도 10은 본 발명의 실시예 3의 전자부품의 제조방법의 공정을 나타낸 개념도,

도 11(a)는 본 발명의 실시예 3의 전자부품의 제조방법의 원리를 나타낸 개념도, (b)는 그 밖의 예를 나타낸 개념도,

도 12(a)는 본 발명의 실시예 3의 전자부품의 제조방법에 적용한 롤러의 변형예를 도시하는 단면도, (b)는 그 끝면도,

도 13은 본 발명의 실시예 4의 전자부품의 제조방법의 공정을 도시한 개념도,

도 14는 본 발명의 실시예 5의 전자부품의 제조방법의 공정을 도시한 개념도,

도 15(a)는 종래예의 스키지에 의한 전자부품의 제조공정을 나타낸 개념도, (b)는 그 마무리를 도시한 개념도,

도 16(a)는 종래예의 장치에 의한 전자부품의 제조공정의 1예를 도시한 개념도, (b)는 그 다른 예를 도시한 개념도,

도 17(a)는 종래예의 공판에 의한 전자부품의 제조공정을 도시한 개념도, (b)는 그 밖의 예를 도시한 개념도이다.

(부호의설명)

1 공판 2 워크 피스(회로기판, 표면실장부)

3 롤러 4 이동수단

5 회전수단 6 스키지

7 인압발생 수단 8 감속기

9 링크 부재 10 피니언

11 래크 12 얼라인먼트 테이블

13 상부 밀봉실 14 하부 밀봉실

15 차압발생 수단 21 일면

32 둘레면 34 지지축

38 브래킷 50 회전기

51 로터 52 스테이터

101 상면 103 통과구멍 패턴(개구부)

151 진공펌프 152, 153 리크밸브

154, 155 스톱밸브

Claims

일면을 위를 향하게 하여 수평으로 위치결정되는 워크 피스에, 가소성 재료를 압입 충전하는 전자부품의 인쇄장치로서,

상기 워크 피스의 근방에 축방향의 단부가 지지되고 둘레면을 상기 워크 피스의 일면에 근접하는 롤러와, 이 롤러를 상기 워크 피스의 일면을 따라 이동시키는 이동수단과, 이 이동수단이 상기 롤러를 이동하는 이동방향에 대해 앞구르기 하는 방향으로 상기 롤러를 회전시키는 회전수단과, 상기 롤러에 근접 또는 접촉하고, 상기 워크 피스의 일면에 세게 눌려지는 스키지를 구비한 것을 특징으로 하는 전자부품의 인쇄장치.
일면을 위를 향하게 하여 수평으로 위치결정되는 워크 피스에, 가소성 재료를 압입충전하는 전자부품의 인쇄장치로서,

상기 워크 피스의 근방에 축방향의 단부가 지지되고 둘레면을 상기 워크 피스의 일면에 근접하는 롤러와, 이 롤러를 상기 워크 피스의 일면을 따라 이동시키는 이동수단과, 이 이동수단이 상기 롤러를 이동하는 이동방향에 대해 앞구르기 하는 방향으로 상기 롤러를 회전시키는 회전수단과, 상기 롤러에 근접 또는 접촉하여 상기 롤러의 둘레면을 따라 선회 가능하게 지지되는 스키지와, 상기 회전수단이 상기 롤러를 회전시키는 토크의 반력에 의해 상기 스키지를 상기 워크 피스의 일면에 세게 누르는 인압발생 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 인쇄장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 회전수단은 상기 롤러에 내장되고 상대적으로 회전가능한 로터 및 스테이터를 갖는 회전기와, 상기 롤러의 축방향으로 연장되어 상기 롤러의 단부를 관통해서 선단을 상기 롤러의 외부에 돌출하는 지지축과, 이 지지축에 상기 회전기의 로터를 접속하는 감속기와, 상기 지지축의 선단부근으로부터 상기 롤러의 직경방향으로 뻗어나와 상기 스키지를 지지하는 링크 부재를 구비하고,

상기 로터가 회전구동하는 반력을 상기 스키지가 받는 동시에, 상기 로터의 회전을 상기 감속기로 감속하면서 상기 지지축에 전달하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 인쇄장치.
제 3 항에 있어서, 상기 롤러가 상기 회전기를 수납하는 이너 케이싱과, 이 이너 케이싱의 주위에 배치되고 또한 고무 라이닝 된 통 형상 아우터 케이싱을 구비하고, 상기 이너 케이싱과 상기 통 형상 아우터 케이싱 사이에, 공기를 유인하기 위한 공극을 만든 것을 특징으로 하는 전자부품의 인쇄장치.
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 지지축은 일단이 진공처리 되고 타단이 상기 롤러내에 연통한 중공축으로 이루어지고, 상기 롤러내의 공기를 상기 지지축을 통하여 진공처리 함으로써, 상기 롤러를 강제 냉각하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 인쇄장치.
제 1 항 내지 제 5 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 이동수단은 상기 롤러의 단부에 결합한 롤러 직경 이하의 직경을 갖는 피니언과, 상기 워크 피스의 측방에 부설되고 상기 이동방향으로 연장되는 래크와, 상기 롤러의 내부에서 회전가능한 로터를 갖는 회전기를 구비하고, 상기 래크를 상기 피니언에 맞물리게 하여, 상기 회전기의 로터의 회전에 따르게 해서 상기 롤러와 함께 상기 피니언을 회전함으로써, 상기 롤러를 상기 이동방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 전자부품의 인쇄장치.
제 1 항 내지 제 5 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 이동수단은 상기 롤러를 회전 자유롭게 지지하는 브래킷을 상기 롤러의 외부에 설치된 구동원에 의해, 상기 이동방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 전자부품의 인쇄장치.
제 1 항 내지 제 7 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 가소성 재료를 통과시키는 통과구멍 패턴을 갖는 공판을 상기 워크 피스의 일면에 포갠 것을 특징으로 하는 전자부품의 인쇄장치.
일면을 갖는 워크 피스에 가소성 재료를 압입 충전하는 인쇄장치, 및 상기 워크 피스의 일면에 겹치고 상기 가소성 재료가 통과가능한 통과구멍 패턴을 갖는 공판을 수납하는 상부 밀봉실과,

상기 공판을 구획하여 상기 상부 밀봉실내에 획정되고, 상기 워크 피스를 높이조정 가능하게 상기 일면을 위를 향하게 하여 수평자세로 위치결정하는 얼라인먼트 테이블을 수납하는 하부 밀봉실과,

상기 상부 밀봉실과 상기 하부 밀봉실 사이에 차압을 발생시키는 차압발생 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조장치.
제 9 항에 있어서, 상기 차압발생 수단은 상기 상부 밀봉실과 상기 하부 밀봉실에 접속한 진공펌프와, 상기 상부 밀봉실과 상기 하부 밀봉실에 각각 접속한 2개의 리크밸브와, 상기 상부 밀봉실 및 상기 하부 밀봉실과 상기 진공펌프간을 개폐하는 스톱밸브를 구비하고,

상기 진공펌프가 상기 상부 밀봉실과 상기 하부 밀봉실을 진공처리 하고, 인쇄후에, 상기 2개의 리크밸브 및 스톱밸브의 조작의 조합으로, 상기 상부 밀봉실과 상기 하부 밀봉실에 대기가 유입하는 것을 개별적으로 허용 또는 밀봉하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조장치.
수평으로 위치결정되는 워크 피스에 가소성 재료를 압입 충전하는 전자부품의 제조방법으로서,

일면을 갖는 워크 피스를 이 일면을 위를 향하게 하여 수평자세로 위치결정하는 스텝과,

회전기에 접속된 롤러를 상기 워크 피스의 근방에 수평자세로 대기시키는 스텝과,

상기 회전기에 의해 상기 롤러를 회전시키고, 이 롤러의 둘레면에 상기 가소성 재료를 공급하는 스텝과,

상기 롤러의 둘레면을 상기 워크 피스의 일면에 근접하면서, 상기 롤러를 상기 워크 피스의 일면을 따라 이동시키는 동시에, 상기 롤러가 이동하는 이동방향에 대해 앞구르기 하는 방향으로, 상기 롤러를 상기 회전기에 의해 회전시키는 스텝과,

상기 롤러에 근접 또는 접촉하여 상기 롤러의 둘레면을 따라 선회 가능하게 지지되는 스키지를, 상기 워크 피스의 일면에 세게 누르는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.
수평으로 위치결정되는 워크 피스에 가소성 재료를 압입 충전하는 전자부품의 제조방법으로서,

일면을 갖는 워크 피스를 이 일면을 위를 향하게 하여 수평자세로 위치결정하는 스텝과,

상기 워크 피스의 일면에, 상기 가소성 재료가 통과가능한 통과구멍 패턴을 갖는 공판을 중첩하는 스텝과,

회전기에 접속된 롤러를 상기 공판의 근방에 수평자세로 대기시키는 스텝과,

상기 롤러를 상기 회전기에 의해 회전시키고, 이 롤러의 둘레면에 상기 가소성 재료를 공급하는 스텝과,

상기 롤러의 둘레면을 상기 공판의 상면에 근접하면서, 상기 롤러를 상기 공판의 상면을 따라 이동시키는 동시에, 상기 롤러가 이동하는 이동방향에 대해 앞구르기 하는 방향으로, 상기 롤러를 상기 회전기에 의해 회전시키는 스텝과,

상기 롤러에 근접 또는 접촉하여 상기 롤러의 둘레면을 따라 지지되는 스키지를 상기 공판에 세게 누르는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.
수평으로 위치결정되는 워크 피스에 가소성 재료를 압입 충전하는 전자부품의 제조방법으로서,

일면을 갖는 워크 피스를 이 일면을 위를 향하게 하여 수평자세에서 위치결정하는 스텝과,

스테이터의 주위를 로터가 회전하는 회전기를 내장한 롤러를, 상기 워크 피스의 근방에 수평자세로 대기시키는 스텝과,

상기 롤러를 상기 회전기에 의해 회전시켜, 이 롤러의 둘레면에 상기 가소성 재료를 공급하는 스텝과,

상기 롤러의 둘레면을 상기 워크 피스의 일면에 근접하면서, 상기 롤러를 상기 워크 피스의 일면을 따라 이동시키는 동시에, 상기 롤러가 이동하는 이동방향에 대해 앞구르기 하는 방향으로, 상기 롤러를 상기 회전기에 의해 회전시키는 스텝과,

상기 롤러에 근접 또는 접촉하여 상기 롤러의 둘레면을 따라 지지되는 스키지를, 상기 회전기가 상기 롤러를 회전시키는 토크의 반력에 의해, 상기 워크 피스의 일면에 세게 누르는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.
수평으로 위치결정되는 워크 피스에 가소성 재료를 압입 충전하는 전자부품의 제조방법으로서,

일면을 갖는 워크 피스를 이 일면을 위를 향하게 하여 수평자세에서 위치결정하는 스텝과,

상기 워크 피스의 일면에, 상기 가소성 재료가 통과가능한 통과구멍 패턴을 갖는 공판을 중첩하는 스텝과,

스테이터의 주위를 로터가 회전하는 회전기를 내장한 롤러를 상기 공판의 근방에 수평자세로 대기시키는 스텝과,

상기 롤러를 상기 회전기에 의해 회전시켜, 이 롤러의 둘레면에 상기 가소성 재료를 공급하는 스텝과,

상기 롤러의 둘레면을 상기 공판의 상면에 근접하면서, 상기 롤러를 상기 공판의 상면을 따라 이동시키는 동시에, 상기 롤러가 이동하는 이동방향에 대해 앞구르기 하는 방향으로, 상기 롤러를 상기 회전기에 의해 회전시키는 스텝과,

상기 롤러에 근접 또는 접촉하여 상기 롤러의 둘레면을 따라 선회 가능하게 지지되는 스키지를 상기 회전기가 상기 롤러를 회전시키는 토크의 반력에 의해 상기 공판에 세게 누르는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.
제 11 항 내지 제 14 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 워크 피스를 대기압중에 위치결정하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.
제 11 항 내지 제 14 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 워크 피스를 진공중에 위치결정하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.
제 16 항에 있어서, 상기 롤러에 잉여의 가소성 재료가 부착하여 진공에 접촉하면서 순환하여 강력한 탈포가 행해지는 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.
제 11 항 내지 제 14 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 워크 피스를 대기압중에 위치결정하는 스텝과, 상기 워크 피스를 진공중에 위치결정하는 스텝을 연속적으로 조합한 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.
수평자세에서 위치결정되는 워크 피스에, 상면 및 하면을 관통하는 통과구멍 패턴을 갖는 공판을 중첩하여, 상기 워크 피스에 상기 공판의 하면을 근접시키는 스텝과,

상기 공판의 통과구멍 패턴에 가소성 재료를 가압 공급함으로써, 상기 워크 피스에 상기 가소성 재료를 압입 충전하는 스텝과,

상기 공판의 상면측의 기압이 상기 하면측보다 높아지도록, 상기 공판을 구획하여 차압을 발생시키는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.
워크 피스를 높이조정 가능한 얼라인먼트 테이블에, 수평자세로 위치결정하는 스텝과,

상기 얼라인먼트 테이블에 위치결정된 상기 워크 피스의 상방에, 상면 및 하면을 관통하는 통과구멍 패턴을 갖는 공판을 수평자세로 지지하는 스텝과,

상기 얼라인먼트 테이블의 높이조정을 행함으로써, 상기 워크 피스에 상기 공판의 하면을 근접시키는 스텝과,

상기 공판의 통과구멍 패턴에 가소성 재료를 가압 공급함으로써, 상기 워크 피스에 상기 가소성 재료를 압입 충전하는 스텝과,

상기 공판의 하면측의 기압이 상기 상면측보다 높아지도록, 상기 공판을 구획하여 차압을 발생시키는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.
제 19 항 또는 제 20 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 얼라인먼트 테이블의 높이조정을 행함으로써, 상기 워크 피스를 상기 공판의 아래쪽으로 떨어지게 하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.
제 19 항 내지 제 21 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 공판의 상면측의 기압, 또는 상기 하면측의 기압중 적어도 일방을, 대기압 또는 진공압으로 설정하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.
제 12 항, 제 14 항, 제 16 항, 제 17 항, 제 18 항, 제 20 항 또는 제 21 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 가소성 재료가 상기 워크 피스를 절연 밀봉하는 수지인 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.
제 11 항 내지 제 19 항 또는 제 21 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 가소성 재료가 땜납 범프를 형성하는 땜납 페이스트인 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.
제 11 항, 제 12 항, 제 13 항, 제 14 항, 제 16 항, 제 17 항 또는 제 18 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 가소성 재료가 웨이퍼 및 수지기판을 구멍메움하는 도전성 페이스트 또는 비도전성 페이스트이며, 스루홀은 이면에 점착 필름을 라미네이션하여 블라인드화하여, 동일한 직경 또는 다른 직경 구멍도 한번에 진공충전하고, 볼록 형상으로 플러그를 형성하여 경화 또는 반경화하고, 이면의 필름을 박리하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.
제 25 항에 있어서, 상기 가소성 재료를 진공하에서 압입 충전하는 스텝과, 상기 가소성 재료가 경화후에 상기 가소성 재료를 진공하 또는 대기압하 또는 진공충전후 또 대기충전하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 제조방법.