KR20050063784A - Surface-treated copper foil having blackening-treated surface, process for producing the surface-treated copper foil and, using the surface-treated copper foil, electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panel of plasma display - Google Patents

Surface-treated copper foil having blackening-treated surface, process for producing the surface-treated copper foil and, using the surface-treated copper foil, electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panel of plasma display Download PDF

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미쓰이 긴조꾸 고교 가부시키가이샤
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Abstract

A surface-treated copper foil exhibiting excellent black color which can be worked by the customary copper etching process; and a conductive mesh for PDP produced from such a surface- treated copper foil. In particular, use is made of, for example, a surface-treated copper foil having a blackening-treated surface on a glossy surface side, characterized in that a cobalt sulfate plating layer is disposed on a glossy surface and a rustproof treated layer disposed thereon. For the production of this surface-treated copper foil, there is employed, for example, a process comprising subjecting a glossy surface of copper foil to electrolysis in a black cobalt plating solution containing cobalt sulfate (hexahydrate) at a current density of 2 A/dm 2 or higher so as to form a rustproof treated layer and thereafter carrying out water washing and drying.

Description

흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박, 이 표면처리 동박의 제조방법 및 이 표면처리 동박을 사용한 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메쉬{Surface-treated copper foil having blackening-treated surface, process for producing the surface-treated copper foil and, using the surface-treated copper foil, electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panel of plasma display}Surface-treated copper foil having a blackened surface, a manufacturing method of the surface-treated copper foil, and an electromagnetic shielding conductive mesh for a front panel of a plasma display using the surface-treated copper foil {Surface-treated copper foil having blackening-treated surface, process for producing the surface-treated copper foil and, using the surface-treated copper foil, electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panel of plasma display}

흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박 및 이 표면처리 동박을 사용한 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 금속 메쉬에 관한 것이다.A surface-treated copper foil having a blackened surface and an electromagnetic wave shielding metal mesh for a front panel of a plasma display using the surface-treated copper foil.

플라즈마 디스플레이 패널의 쉴드용 도전성 메쉬는, 진보 과정에 있어서, 금속화 섬유 직물에서 도전성 메쉬로 변천되어 왔다. 이 도전성 메쉬의 제조에는, 몇 가지 방법이 확립되어 있다. 그 중 하나는, 표면처리 동박을 PET필름에 라미네이트하여 접착시키고, 포토리소그래프 에칭법을 사용하여 제조하는 것이다. 그리고, 다른 하나는, 표면처리 동박을 지지기재와 함께 포토리소그래프 에칭법으로 에칭한 후, 지지기개를 벗겨낸 표면처리 동박의 단체(單體) 도전성 메쉬이다.BACKGROUND OF THE INVENTION Conductive meshes for shields in plasma display panels have evolved from metallized fiber fabrics to conductive meshes in advance. Several methods are established for manufacture of this conductive mesh. One of them is to laminate the surface-treated copper foil onto a PET film and to bond the same, and to manufacture the photolithographic etching method. The other is a single conductive mesh of the surface-treated copper foil obtained by etching the surface-treated copper foil together with the supporting substrate by a photolithography etching method, and then peeling the support shell.

또한, 근래의 에너지 절약의 요구에 따라, 플라즈마 발생신호 전압을 200V에서 50V 레벨을 목표로 하여 개발이 진행되고 있으며, 당해 전압 저하에 동반되는 휘도의 감소에 대응하여, 도전성 메쉬의 회로폭을 세선화하여, 도전성 메쉬에 의한전면 글래스 패널의 피복률을 감소시키는 시도가 행해져 왔다. 이를 위해, 도전성 메쉬의 두께를 얇게 하여, 에칭 가공을 용이하게 하는 시도가 행해져 왔다. 그 중 하나가, PET필름 위에 스퍼터링증착법에 의해, 전기 도금의 시드(seed)가 되는 시드층을 형성시킨 후, 전해 구리도금 등으로 얇은 구리층을 형성하고, 포토리소그래프 에칭법으로, 메쉬선폭을 미세화한 도전성 메쉬 제조가 행해져 왔다.In addition, with the recent demand for energy saving, development is underway aiming at a plasma generation signal voltage of 200V to 50V, and the circuit width of the conductive mesh is increased in response to the decrease in luminance accompanying the voltage drop. Attempts have been made to linearize and reduce the coverage of the front glass panel by the conductive mesh. To this end, attempts have been made to make the thickness of the conductive mesh thin and to facilitate the etching process. One of them forms a seed layer which becomes a seed of electroplating by sputtering deposition on a PET film, and then forms a thin copper layer by electrolytic copper plating or the like, and a mesh line width by a photolithography etching method. The conductive mesh which refined | miniaturized has been performed.

이러한 방법들 중 어떠한 방법으로 도전성 메쉬가 제조되더라도, 도전성 메쉬 자체는 전면 패널 안에 삽입되어, 전면 글래스를 통하여 표면에서 눈으로 직접 확인가능하므로, 이 도전성 메쉬로 가공되는 표면처리 동박의 편면은, 흑색으로 처리되어 투과광의 휘도를 끌어올리도록 한다. 종래부터, 이 처리에는 다층 프린트 배선판의, 내층회로의 수지층과의 접착성 향상을 위해 행하는 산화구리층을 형성시키는 흑화처리 등이 전용(轉用)되어져 왔다.Even if the conductive mesh is manufactured by any of these methods, the conductive mesh itself is inserted into the front panel and can be directly identified from the surface to the eye through the front glass, so that one side of the surface-treated copper foil processed with the conductive mesh is black. To increase the luminance of the transmitted light. Conventionally, the blackening process etc. which form a copper oxide layer performed in order to improve the adhesiveness with the resin layer of an inner layer circuit of a multilayer printed wiring board have been dedicated to this process.

비특허문헌 1: PDP재료의 기술동향 히타치 케미칼 테크니컬 리포트 제 33호(1999-7)Non-Patent Document 1: Technical Trends of PDP Materials Hitachi Chemical Technical Report No. 33 (1999-7)

특허문헌 1: 일본 특허 공개 평11-186785호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-186785

특허문헌 2: 일본 특허 공개 2000-31588호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-31588

도 1은, 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면층 구성을 모식적으로 나타낸 도면이다.FIG. 1: is a figure which shows typically the cross-sectional layer structure of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface.

도 2는, 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면층 구성을 모식적으로 나타낸 도면이다.FIG. 2: is a figure which shows typically the cross-sectional layer structure of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface.

도 3은, 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면층 구성의 FIB 관찰상이다.3 is an FIB observation image of a cross-sectional layer structure of a surface-treated copper foil having a blackened surface.

도 4는, 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면층 구성의 FIB 관찰상이다.4 is an FIB observation image of a cross-sectional layer structure of a surface-treated copper foil having a blackened surface.

도 5는, 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면층 구성의 FIB 관찰상이다.5 is an FIB observation image of a cross-sectional layer structure of a surface-treated copper foil having a blackened surface.

도 6은, 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면층 구성을 모식적으로 나타낸 도면이다.It is a figure which shows typically the cross-sectional layer structure of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface.

도 7은, 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면층 구성을 모식적으로 나타낸 도면이다.FIG. 7: is a figure which shows typically the cross-sectional layer structure of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface.

도 8은, 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면층 구성을 모식적으로 나타낸 도면이다.FIG. 8: is a figure which shows typically the cross-sectional layer structure of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface.

도 9는, 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면층 구성을 모식적으로 나타낸 도면이다.It is a figure which shows typically the cross-sectional layer structure of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface.

도 10은, 거침처리한 동박 표면의 주사형 전자 현미경상이다.10 is a scanning electron microscope image of the roughened copper foil surface.

도 11은, 황산코발트층을 관찰한 주사형 전자 현미경상이다.11 is a scanning electron microscope image of a cobalt sulfate layer observed.

도 12는, 에칭 테스트 패턴의 주사형 전자 현미경상이다.12 is a scanning electron microscope image of an etching test pattern.

도 13은, 거침처리를 행하지 않고, 황산코발트 도금층을 형성시킨 동박 표면의 주사형 전자 현미경상이다.13 is a scanning electron microscope image of the surface of a copper foil on which a cobalt sulfate plating layer is formed without performing a roughening treatment.

도 14는, 거침처리를 행하지 않고, 황산코발트 도금층을 형성시킨 동박 표면의 주사형 전자 현미경상이다.14 is a scanning electron microscope image of the surface of a copper foil on which a cobalt sulfate plating layer is formed without performing a roughening treatment.

[부호의 설명][Description of the code]

1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f..표면처리 동박1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f ... surface treated copper foil

2..거침처리층2 .. Rough Treatment Layer

3..미세구리입자3..fine copper particles

4..황산코발트 도금층4..Cobalt sulfate plated layer

5..방청처리층(아연-니켈 합금층 또는 아연-코발트 합금층)5. Antirust layer (zinc-nickel alloy layer or zinc-cobalt alloy layer)

6..크로메이트 처리층6..Chromated Treatment Layer

7..동박층7. Copper foil layer

그러나, 상술한 흑화처리에는, 중대한 문제가 있었다. 즉, 동박 표면에 구리의 흑색산화물을 많이 부착시키면, 확실히 흑색이 강한 양호한 흑색화면을 얻을 수 있다. 그러나, 동박 표면에 형성시킨 구리의 흑색산화물은, 부착량이 많아질수록, 흑색화면으로부터 탈락되기 쉬워, 가루가 떨어지는 현상이 일어나기 쉽다.However, the above-mentioned blackening process had a serious problem. In other words, if a large amount of copper black oxide is deposited on the surface of the copper foil, a good black screen with strong black color can be obtained surely. However, the black oxide of copper formed on the copper foil surface tends to drop off from the black screen as the adhesion amount increases, and the phenomenon that powder falls easily occurs.

가루 떨어짐 현상이 발생하면, 탈락된 흑색산화물이 불필요한 곳에 혼입되거나, 전면 패널의 글래스와 일체화시키기 위한 투명화처리 시에, 투명접착체층으로 분산되어 투명도를 열화시키는 요인도 될 수 있는 것이다.When the powder falling phenomenon occurs, the dropped black oxide is mixed in an unnecessary place, or during the transparent treatment for integrating with the glass of the front panel, may be dispersed in the transparent adhesive layer to deteriorate the transparency.

한편으로, 흑화처리와 같은 가루 떨어짐이 없으며, 양호한 흑색면 형성이 가능한 흑색화 처리로서, 일반적인 흑색 니켈 도금, 황화 니켈 도금, 코발트 도금 등이 검토되어져 왔으나, 통상의 구리 에칭 프로세스에서 흑색화 처리면측으로부터의 에칭가공이 불가능하다는 문제가 발생하고 있었다.On the other hand, as a blackening treatment capable of forming a good black surface without the powder fall like blackening treatment, general black nickel plating, nickel sulfide plating, cobalt plating, and the like have been studied, but the blackening treatment surface side in a normal copper etching process The problem that the etching process from this process was impossible has arisen.

여기서, 니켈 도금에 관한 문제점은, 본 발명자 등이 일본 특허출원 2003-045669에서 해결방법을 개시해 왔다. 그러나, 코발트 도금을 사용한 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박에 관한 문제해결은 여전히 시도되지 않았다. 특히, 현재 시장에서 유통되고 있는 코발트의 흑색계 도금 피막을 구비한 동박에는, 구리 에천트를 사용한 코발트층의 에칭가공이 곤란하다고 하는 문제가 발생하고 있다.Here, the problem regarding nickel plating has been disclosed by the present inventors in Japanese Patent Application 2003-045669. However, the problem solving regarding the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface using cobalt plating was still not tried. In particular, there has been a problem that the etching process of the cobalt layer using a copper etchant is difficult for copper foil provided with a cobalt black plating film that is currently distributed in the market.

따라서, 시장에서는, 양호한 흑색을 가진 흑색화 처리층을 구비하며, 통상의 구리 에칭 프로세스에서 용이하게 에칭가공 가능한 코발트 도금 피막을 구비한 표면처리 동박 및 이와 같은 표면처리 동박으로 제조된 전도성 메쉬가 요구되어져 온 것이다.Therefore, there is a need in the market for a surface treated copper foil having a blackening treatment layer having a good black color and having a cobalt plated coating that can be easily etched in a conventional copper etching process, and a conductive mesh made of such a surface treated copper foil. It has been.

여기서, 본 발명자 등은, 연구를 거듭한 결과, 이하에 나타내는 것과 같은 표면처리 동박을 사용함으로써, 흑색계의 코발트 도금층을 구비한 표면처리 동박이라도, 구리 에천트로 용이하게 에칭 가공이 가능하여, 고품질의 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메쉬를 얻을 수 있음에 이른 것이다.Here, the inventors of the present invention have repeatedly studied, and by using the surface-treated copper foil as shown below, even if the surface-treated copper foil having a black cobalt plating layer can be easily etched with a copper etchant, The electromagnetic shielding conductive mesh for the front panel of the plasma display can be obtained.

<흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박><Surface treated copper foil with a blackened surface>

본 발명에 따른 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박은, 방청처리층을 구비하지 않는 경우와, 방청처리층을 구비하는 경우를 포함한 것이다. 따라서, 방청처리층은 필수인 것은 아니나, 표면처리 동박으로서 장기보존성을 확보하기 위해서는 필요하게 되는 것이다. 이하, 본 발명에 따른 표면처리 동박에 관하여 설명한다.The surface-treated copper foil provided with the blackening process surface which concerns on this invention includes the case where a rustproofing layer is not provided and the case where a rustproofing layer is provided. Therefore, although an antirust process layer is not essential, it is necessary in order to ensure long-term storage property as surface-treated copper foil. Hereinafter, the surface-treated copper foil which concerns on this invention is demonstrated.

제 1 표면처리 동박: 본 발명에 따른 표면처리 동박은, ‘광택면 위에 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박으로서, 동박층의 편면에 중량 두께가 200㎎/㎡~400㎎/㎡인 황산코발트 도금층을 마련하고, 이 흑색화 처리면의 단면 높이가 200㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 표면처리 동박(이하, ‘제 1 표면처리 동박’으로 칭한다.).’이다. 이 표면처리 동박(1a)의 단면층 구성을 모식적으로 나타낸 것이 도 1이다. 1st surface-treated copper foil: The surface-treated copper foil which concerns on this invention is a surface-treated copper foil provided with the blackening process surface on the gloss surface, sulfuric acid whose weight thickness is 200 mg / m <2> -400 mg / m <2> on one side of a copper foil layer. A cobalt plating layer is provided, and the cross-sectional height of this blackening process surface is 200 nm or less (The surface-treated copper foil is called hereafter. "). FIG. 1: shows the cross-sectional layer structure of this surface-treated copper foil 1a typically.

이 도 1에는, 전해동박(7)의 광택면에 황산코발트 도금층(4)을 형성하고, 반대면(전해동박의 경우에는 거친면에 해당)에는 미세구리입자(3)로 거침처리를 시행한 상태의 표면처리 동박(1a)을 하나의 예로서 모식적으로 기재하고 있다. 그러나, 이 때에 사용하는 동박의 반대면은, 거침처리를 행하여도, 행하지 않은 것이어도 상관없다. 그래서 도 2에는, 반대면의 거침처리를 생략한 경우의 표면처리 동박(1b)을 모식적으로 나타내고 있다. 미세구리입자(3)로 구성되는 거침처리층(2)은, 기재 등과의 접착성 개선 등을 목적으로 하여 형성되는 것으로, 필요에 따라 마련하면 되는 것이다. 이 거침처리층(2)을 형성시키는 경우의 방법은, 상술한 바와 같이 미세구리입자를 부착시켜 형성시키는 방법, 미세한 산화구리를 부착시키는 등의 방법을 채용하는 것이 가능하며, 특별히 거침처리방법에 제한은 없다. 또한, 동박층(7)에는, 전해법으로 얻은 전해동박, 압연법으로 얻은 압연동박이 주로 사용된다.In this FIG. 1, the cobalt sulfate plating layer 4 is formed on the gloss surface of the electrolytic copper foil 7, and on the opposite surface (corresponding to the rough surface in the case of electrolytic copper foil), the coarse treatment is performed with fine copper particles 3. The surface-treated copper foil 1a is typically described as an example. However, the opposite surface of the copper foil used at this time may or may not be roughened. Therefore, in FIG. 2, the surface-treated copper foil 1b when the roughening process of the opposite surface is abbreviate | omitted is shown typically. The roughened layer 2 composed of the fine copper particles 3 is formed for the purpose of improving the adhesiveness to the substrate or the like and may be provided as necessary. As the method for forming the roughened layer 2, a method of attaching and forming fine copper particles and attaching fine copper oxide may be employed as described above. There is no limit. In addition, the copper foil layer 7 mainly uses the electrolytic copper foil obtained by the electrolytic method and the rolled copper foil obtained by the rolling method.

그리고, 이 동박층(7)의 매끈한 광택면에 황산코발트 도금층(4)을 마련한다. 여기서 말하는 황산코발트 도금층(4)이란, 황산코발트 용액을 사용하여 도금법으로 형성시킨 층을 의미하는 것으로 쓰고 있다. 이 황산코발트 도금층(4)은, 후술하는 제조방법을 채용하여 중량 두께가 200㎎/㎡~400㎎/㎡인 층으로 형성함으로써, 구리 에칭액에 대한 용해성이 뛰어나고, 충분한 흑색화가 가능해지는 것이다. 종래의 코발트층을 사용한 흑색계 도금피막을 구비한 동박의 코발트층은, 그 중량 두께가 1000㎎/㎡ 전후로, 매우 두꺼워, 도금층의 용해성이란 품질에 있어서 차이가 있는 것이었다. 그 결과, 두께로 인하여 구리 에칭액에 의한 용해속도가 늦어짐과 동시에, 코발트라는 원소 자체가 구리에칭액에 고농도로 축적되어 에칭액의 역가를 저하시키는 요인이 되고 있었다. 한편, 본 발명에 있어서의 환산중량은, 코발트중량으로 환산한 값이다. 환산중량은, 표면처리 동박을 산 용액에 용해시켜, 플라즈마 발광분광 분석법 등에 의해 단위면적 당 코발트량을 구하고, 표면처리 동박 1㎡당의 중량으로 환산한 것이다.And the cobalt sulfate plating layer 4 is provided in the smooth gloss surface of this copper foil layer 7. The cobalt sulfate plating layer 4 used here means a layer formed by a plating method using a cobalt sulfate solution. The cobalt sulfate plating layer 4 is formed into a layer having a weight thickness of 200 mg / m 2 to 400 mg / m 2 by employing the manufacturing method described later, so that the cobalt sulfate plating layer 4 is excellent in solubility in the copper etching solution and sufficient blackening is possible. The cobalt layer of the copper foil provided with the black plating film using the conventional cobalt layer was very thick about 1000 mg / m <2> in weight thickness, and there existed a difference in the quality of the solubility of a plating layer. As a result, the dissolution rate by the copper etchant was slowed due to the thickness, and cobalt element itself accumulated at a high concentration in the copper etchant, resulting in a decrease in the titer of the etchant. In addition, the converted weight in this invention is the value converted into cobalt weight. The converted weight is obtained by dissolving the surface-treated copper foil in an acid solution, obtaining an amount of cobalt per unit area by plasma emission spectrometry, etc., and converting it to the weight per 1 m 2 of the surface-treated copper foil.

또한, 코발트 도금층이 구리에칭액에 용해되기 쉬운 것이 될 지의 여부는, 코발트 도금을 행할 때의 도금 조건에 따라서도 크게 영향을 받을 수 있다는 사실도 알게 되었다. 즉, 후술하는 본 발명에 따른 표면처리 동박의 제조방법을 채용하였을 때에 얻을 수 있는 코발트 도금 피막이 가장 에칭 특성이 뛰어난 것이 된다.It has also been found that whether the cobalt plating layer becomes easily soluble in the copper etching solution can be greatly influenced depending on the plating conditions when the cobalt plating is performed. That is, the cobalt plating film obtained when employ | adopting the manufacturing method of the surface-treated copper foil which concerns on this invention mentioned later becomes the thing excellent in the etching characteristic most.

본 발명에 따른 표면처리 동박이 가지는 제 2의 특색은, 이 흑색화 처리면의 표면형상이 극히 거친 것이 아니며, 당해 흑색화 처리면이 가지는 단면 높이가 200㎚ 이하인 것이 큰 특징이다. 즉, 매우 매끄러우며 광택이 있는 흑색화 처리면이 만들어진다. 단, 오해를 일으키지 않기 위하여 명기하여 두는데, 통상의 제조공정 범위 내에 있어서의 편차가 존재하는 것은 당연하며, 반드시 모든 위치에서의 단면높이가 200㎚ 이하일 필요는 없으며, 제조공정의 편차를 반영한 정도에서 200㎚를 넘는 단면 높이가 존재하는 경우가 있는 것은 당연하다. 본 발명에 따른 표면처리 동박(1)의 황산코발트 도금층(4)의 단면 높이를 측정하기 위해서, FIB분석장치를 사용하여 단면 관찰한 FIB관찰상을 도 3에 도시한다. 이 도 3에는, 전해동박의 광택면에 흑색화 처리면을 형성시킨 것을 나타내고 있다. 또한, 이 FIB관찰상은, 피관찰면에 대하여 60°각도 방향에서 관찰한 것이다.The second characteristic of the surface-treated copper foil according to the present invention is that the surface shape of this blackening treatment surface is not extremely rough, and the cross-sectional height of the blackening treatment surface is 200 nm or less. That is, a very smooth and glossy blackened surface is produced. However, in order to avoid misunderstanding, it is obvious that there is a deviation within the normal manufacturing process range, and the cross-sectional height at all positions does not necessarily need to be 200 nm or less, and reflects the deviation of the manufacturing process. Naturally, the cross-sectional height exceeding 200 nm may exist. In order to measure the cross-sectional height of the cobalt sulfate plating layer 4 of the surface-treated copper foil 1 which concerns on this invention, the FIB observation image observed with the cross section using the FIB analyzer is shown in FIG. 3, the blackening process surface was formed in the glossy surface of the electrolytic copper foil. In addition, this FIB observation image is observed with a 60 degree angle direction with respect to an observation surface.

이 도 3에서 알 수 있는 바와 같이, 흑색화 처리면의 단면에는 일정한 요철이 존재하는 것을 알 수 있으며, 이와 같은 요철을 모니터하는 경우, 촉침(觸針)식 표면 거칠기 측정계를 사용하는 것이 일반적이다. 그러나, 도 3의 스케일에서 알 수 있는 바와 같이, 표면 거칠기 측정계로는 정확한 거칠기 측정이 불가능한 레벨의 요철인 것으로 생각된다. 그래서, 본 발명에서는, 표면 거칠기 측정계로 측정한 경우의 Rmax에 대응하는 값으로서, FIB관찰상의 시야에서 마루부와 골부의 최대차를 ‘단면 높이’로 하고 있는 것이다. 이 도 3 중 ‘d’로 나타내는 곳이, 도 3의 단면 높이가 되며, 약 100㎚로 판단할 수 있다. 게다가, 도 3에 있어서, 황산코발트 도금층(4)은, 매우 균일한 두께로 동박 표면의 형상을 따라 형성되어 있으며, 하지의 동박 표면과 완전히 밀착된 상태를 유지하고 있고, 황상 코발트 도금층(4)이 유리되는 등의 불량이 발생한 곳이 발견되지 않으며, 가루 떨어짐이 예상되는 곳도 찾아볼 수 없다.As can be seen in FIG. 3, it is understood that a certain unevenness exists in the cross section of the blackened surface, and when monitoring such unevenness, it is common to use a stylus type surface roughness measuring system. . However, as can be seen from the scale of FIG. 3, it is considered that the surface roughness measurement system is an unevenness at a level at which accurate roughness measurement is impossible. Therefore, in the present invention, as the value corresponding to Rmax when measured by the surface roughness measurement system, the maximum difference between the ridge and the valley in the field of view on the FIB observation is 'cross-section height'. The place shown by "d" in this FIG. 3 becomes the cross-sectional height of FIG. 3, and can be judged as about 100 nm. In addition, in FIG. 3, the cobalt sulfate plating layer 4 is formed along the shape of the copper foil surface with a very uniform thickness, maintains a state of being completely in contact with the copper foil surface of the underlying, sulfuric cobalt plating layer 4 The place where the defect such as this glass is generated is not found, and the place where powder fall is expected is not found.

이에 비해, 종래의 동박 표면에 형성시킨 흑색화 처리면을, 상술한 것과 동일하게 단면에서 FIB관찰하면, 도 4 및 도 5에 나타내는 것과 같은 결과가 된다. 즉, 흑색화 처리면을 구성하는 형상이 수지(樹枝)상으로 성장하고, 하지의 동박으로부터 상당히 돌출된 상태가 되어 있음을 알 수 있다. 따라서, 이 때의 단면 높이(d)를 측정하면 도 4의 경우가 약 480㎚, 도 5의 경우가 약 270㎚가 되어, 상당히 거친 표면이 되어 있음을 알 수 있다. 게다가, 이와 같은, 수지(樹枝)형상을 가진 흑색화 처리면은, 그 수지상 부위가 부러지기 쉬워 손상을 받기 쉬운 표면이라고도 말할 수 있으며, 게다가, 부러진 단편이 탈락하면 가루 떨어짐이 발생하는 것도 당연하여, 흑색화 처리면을 눈으로 봤을 때 색번짐을 일으키는 원인이 되고 있는 것으로 생각된다.On the other hand, when the blackening process surface formed on the surface of the conventional copper foil is FIB observed from the cross section similarly to the above-mentioned, the result as shown in FIG. 4 and FIG. That is, it turns out that the shape which comprises the blackening process surface grows in resin shape, and is in the state which protruded considerably from the copper foil of a base. Therefore, when the cross-sectional height d at this time is measured, it turns out that the case of FIG. 4 is about 480 nm, and the case of FIG. 5 is about 270 nm, and it is a very rough surface. In addition, such a blackened surface having a resinous shape may be said to be a surface prone to breakage and damage of the dendritic portion. It is thought that it causes color bleeding when the blackening process surface is seen visually.

이상과 같이 서술한 본 발명에 따른 표면처리 동박은, 도 3의 FIB단면관찰상으로부터 매우 매끄러운 표면을 가지고 있음을 알 수 있다. 그러나, 광택이 있는 흑색화 처리이기는 하나, 흑색화 처리표면이 받은 빛을 난반사할 정도의 광택을 가지는 것은 아니어서, 전해동박 및 압연동박의 광택면에 흑색화처리를 시행한 경우에도, Lab표색계에 있어서의 L값이 27이상이 되는 것이다. 여기서 27이상으로 기재하고 있는 것과 같이, 상한은 특별히 한정하고 있지 않으나, 경험적으로 41정도가 상한이 되는 것 같다.It can be seen that the surface-treated copper foil according to the present invention described above has a very smooth surface from the FIB cross-sectional view of FIG. 3. However, although it is a gloss blackening treatment, it does not have a gloss enough to diffusely reflect light received by the blackening treatment surface, and even when blackening treatment is performed on the glossy surfaces of the electrolytic copper foil and the rolled copper foil, L value becomes 27 or more. As described above, the upper limit is not particularly limited, but about 41 seems to be the upper limit empirically.

흑색화 처리면의 광택 정도를 나타내려면, Lab표색계보다 광택도를 사용하여 나타내는 편이 바람직하다. 본 발명에 따른 흑색화 처리면의 광택도는, 전해동박 또는 압연동박의 광택면에 당해 흑색화 처리면을 형성시킨 결과, 광택도[Gs(60°)]가 30이하인 것이 바람직하다. 광택도가 30이상이 되면, 소위 흑광하는 상태가 되어 금속광택이 눈에 띠게 되기 때문이다. 또한, 여기에서도, 광택도의 하한치를 정하고 있지 않으나, 경험적으로 18정도이다.In order to show the glossiness of a blackening process surface, it is more preferable to show glossiness than Lab color system. As for the glossiness of the blackening process surface which concerns on this invention, when the said blackening process surface was formed in the gloss surface of an electrolytic copper foil or a rolled copper foil, it is preferable that glossiness [Gs (60 degrees)] is 30 or less. This is because when the glossiness is 30 or more, it becomes a so-called black light state and the metallic luster becomes noticeable. In addition, although the lower limit of glossiness is not determined here, it is about 18 empirically.

제 2 표면처리 동박: 이 표면처리 동박은, 상술한 제 1 표면처리 동박의 표면에 장기보존성을 확보하기 위해여 방청처리층을 형성시킨 것이다. 도 6의 양면에 방청처리층(5)을 구비한 표면처리 동박(1c)의 단면층 구성을 모식적으로 예시하였다. 그리고, 도 7에는, 거친면측에 대한 거침처리를 생략한 경우의 표면처리 동박(1d)을 나타내고 있다. 동박으로서의 방청만을 목적으로 하는 한에 있어서는, 이미다졸(imidazole), 벤조트리아졸(benzotriazole) 등의 유기방청, 일반적으로 사용되고 있는 아연 또는 황동 등의 아연합금에 의한 무기방청 등을 널리 사용하는 것이 가능하다. 또한, 황산코발트 도금층을 편면에 형성시킨 경우의 방청처리층은, 적어도 본 발명에 따른 표면처리 동박의 황산코발트 도금층을 마련한 반대면에 마련해야 하나, 양면에 마련하여도 지장은 없다. 2nd surface treatment copper foil: This surface treatment copper foil forms the antirust process layer in order to ensure long-term storage property on the surface of the 1st surface treatment copper foil mentioned above. The cross-sectional layer structure of the surface-treated copper foil 1c provided with the antirust process layer 5 on both surfaces of FIG. 6 was typically illustrated. In addition, in FIG. 7, the surface-treated copper foil 1d when the roughening process with respect to the rough surface side is omitted is shown. As long as it is only for rust prevention as copper foil, organic rust prevention, such as imidazole and benzotriazole, inorganic rust prevention by zinc alloys, such as zinc or brass which are generally used, can be used widely. Do. In addition, although the antirust process layer at the time of forming a cobalt sulfate plating layer on one side should be provided in the opposite surface which provided the cobalt sulfate plating layer of the surface-treated copper foil which concerns on this invention at least, it does not interfere even if it is provided in both surfaces.

그러나, 양면에 방청처리층(5)을 마련하면, 이러한 방청처리층은, 거침처리층(2)의 미세구리입자(3)의 탈락방지 및 황산코발트층(4)의 보호층으로서의 역할을 함과 동시에, 표면처리 동박으로서의 외관을 장기간에 걸쳐 유지시키는 역할을 할 것이다. 이 방청처리층(5)으로는, 아연-니켈 합금층 또는 아연-코발트층을 마련하는 것이 특히 바람직하다. 이들 방청처리층(5)은, 황산코발트 도금층(4)과 조합하여 사용함으로써, 황산코발트 도금층(4)을 에칭용해시킬 때의 용해 프로모터로서 기능하고 있는 것으로 생각된다. 즉, 황산코발트 도금층(4)이 단독으로 존재하는 경우보다, 아연-니켈 합금층 또는 아연-코발트층을 구비하는 편이, 황산코발트 도금층(4)의 용해가 신속하게 일어나는 것이다.However, when the antirust treatment layer 5 is provided on both sides, the antirust treatment layer serves as a protective layer of the cobalt sulfate layer 4 and preventing the falling of the fine copper particles 3 of the roughening layer 2. At the same time, it will serve to maintain the appearance as a surface-treated copper foil for a long time. As this antirust process layer 5, it is especially preferable to provide a zinc-nickel alloy layer or a zinc-cobalt layer. By using these antirust process layers 5 in combination with the cobalt sulfate plating layer 4, it is thought that they function as the dissolution promoter at the time of etching-dissolving the cobalt sulfate plating layer 4. That is, the dissolution of the cobalt sulfate plating layer 4 occurs more quickly in the case where the cobalt sulfate plating layer 4 is present alone than the zinc-nickel alloy layer or zinc-cobalt layer.

또한, 도 8 및 도 9에 방청처리층(5)과 크로메이트 처리층(6)을 양면에 구비한 표면처리 동박(1c)의 단면층 구성을 모식적으로 나타내었다. 도 6 및 도 8, 도 7 및 도 9의 각각을 대비함으로써 알 수 있는 바와 같이, 방청처리층(5)을 구비한 표면처리 동박과의 차이는, 크로메이트 처리층(6)을 구비한 점 뿐이며, 그 외의 구성은 동일하다. In addition, the cross-sectional layer structure of the surface-treated copper foil 1c which provided the antirust process layer 5 and the chromate treatment layer 6 on both surfaces in FIG. 8 and FIG. 9 is shown typically. As can be seen by contrasting each of FIGS. 6 and 8, 7 and 9, the difference from the surface-treated copper foil with the rust-preventing layer 5 is only the point with the chromate-treated layer 6. And other structures are the same.

이 크로메이트 처리층(6)은, 아연-니켈 합금 또는 아연-코발트 합금 등으로 구성한 방청처리층(5)을 형성시킨 후에, 편면 또는 양면에 형성시키는 것이다. 그리고, 이 크로메이트 처리층(6)이 존재함으로써, 표면처리 동박의 내산화성능을 현저히 향상시켜, 산화변색 등의 코스메틱 콜로젼을 효과적으로 방지할 수 있는 것이다.The chromate treatment layer 6 is formed on one side or both sides after the antirust treatment layer 5 made of a zinc-nickel alloy, a zinc-cobalt alloy, or the like is formed. The presence of this chromate treated layer 6 significantly improves the oxidation resistance of the surface-treated copper foil, and effectively prevents cosmetic collimation such as oxidation discoloration.

<흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 제조방법><Method for producing surface-treated copper foil having a blackened surface>

(제 1 표면처리 동박의 제조방법) 상술한 제 1 표면처리 동박의 제조방법은, 이하와 같은 공정을 포함하는 제조방법을 채용하는 것이 바람직하다. 이 제조방법은, 교반욕을 채용하는 경우와 무교반욕을 채용하는 경우로, 더욱 세분화하는 것이 가능하며, ‘제 1 표면처리 동박의 제조방법A’, ‘제 1 표면처리 동박의 제조방법B’로 나누어 설명한다.(Manufacturing method of 1st surface treatment copper foil) It is preferable to employ | adopt the manufacturing method containing the following processes as the manufacturing method of the 1st surface treatment copper foil mentioned above. This manufacturing method can be further subdivided in the case of employ | adopting a stirring bath and the case of using an unstirred bath, and can be further subdivided. Divided into and explained.

제 1 표면처리 동박의 제조방법A: 여기에서는, 무교반욕을 사용한 경우의 흑색화 처리방법을 채용한 제조방법에 관하여 설명한다. Manufacturing method A of 1st surface-treated copper foil: Here, the manufacturing method which employ | adopted the blackening treatment method at the time of using an unstirred bath is demonstrated.

본 발명에 따른 표면처리 동박의 제조방법에서 사용하는 동박은, 상술한 바와 같이 황산코발트 도금층을 형성시키는 반대면에 거침처리를 행하고 있는 지 여부는 불문한다. 여기에 만일을 위하여 기재하여 두는데, 거침처리를 시행하는 경우의 조건에 특별한 제한은 없으며, 예를 들어, 이 극미세 구리 입자를 형성시키는 경우에는, 일반적으로 비소를 포함한 구리전해액을 사용하는 것이 가능하다. 예를 들어, 황산구리계 용액으로서, 구리 농도 5~10g/l, 황산 농도 100~120g/l, 염소 농도 20~30ppm, 9-페닐아크리딘 50~300㎎/l, 액온 30~40℃, 전해 밀도 5~20A/d㎡의 조건으로 하는 등이다.It is irrespective of whether the copper foil used by the manufacturing method of the surface-treated copper foil which concerns on this invention performs a roughening process on the opposite surface to form a cobalt sulfate plating layer as mentioned above. Although it is described here for the sake, there is no particular limitation on the conditions when the rough treatment is carried out. For example, when forming the ultrafine copper particles, it is generally preferable to use a copper electrolyte containing arsenic. It is possible. For example, as a copper sulfate solution, copper concentration 5-10 g / l, sulfuric acid concentration 100-120 g / l, chlorine concentration 20-30 ppm, 9-phenylacridine 50-300 mg / l, liquid temperature 30-40 degreeC, It is set as the conditions of electrolytic density 5-20 A / dm <2>.

a)의 공정에서는, 상술한 동박의 광택면 위에, 황산코발트 도금층을 형성시키는 것이다. 이 황산코발트 도금층은, 황산코발트(7수화물)를 8g/l~10g/l 포함하고, pH를 4.0 이상의 범위로 한 황산코발트 도금액을 무교반욕으로서 사용하고, 2A/d㎡ 이상의 전류 밀도로 전해하여, 흑색계의 황산코발트 도금층을 형성시키는 것이다. 즉, 용액교반을 행하지 않는 경우의 황산코발트 도금조건이다. 여기서 황산코발트 도금액 중의 황산코발트(7수화물)이 8g/l 미만이 되면, 형성되는 황산코발트 도금층의 전착(電着)속도가 늦어지는 데다가, 황산니켈층의 두께가 불균일해지는 경향이 강해지는 것이다. 이에 반해, 황산코발트(7수화물)가 10g/l를 넘으면, 형성되는 황산코발트 도금층의 색조가 양호한 흑색화상태가 아니게 된다.In the process of a), a cobalt sulfate plating layer is formed on the gloss surface of the above-mentioned copper foil. The cobalt sulfate plating layer contains 8 g / l to 10 g / l of cobalt sulfate (hexahydrate), uses a cobalt sulfate plating solution having a pH of 4.0 or more as an unstirred bath, and is electrolyzed at a current density of 2 A / dm 2 or more. To form a black cobalt sulfate plating layer. That is, it is a cobalt sulfate plating condition in the case where solution stirring is not performed. When the cobalt sulfate (hexahydrate) in the cobalt sulfate plating solution is less than 8 g / l, the electrodeposition rate of the cobalt sulfate plating layer to be formed is slowed, and the thickness of the nickel sulfate layer is increased. On the other hand, when cobalt sulfate (7-hydrate) exceeds 10 g / l, the color tone of the cobalt sulfate plating layer formed will not be in a favorable blackening state.

또한, 이 때의 황산코발트 도금액의 용액의 pH는 4.5~5.5의 범위를 목표로 조정하는 것이 바람직하다. 이 범위에서, 높은 수율의, 양호한 흑색의 코발트 도금층을 얻을 수 있기 때문이다. 이 pH조정을 행하고자 하여, 수산화나트륨 또는 수산화칼륨 등의 다른 전해질을 첨가하는 것은 바람직하지 않다. 코발트 도금층의 흑색이 금속색으로 변질되기 쉽기 때문이다.Moreover, it is preferable to adjust the pH of the solution of the cobalt sulfate plating solution to the range of 4.5-5.5 at this time. This is because a good yield of a good black cobalt plating layer can be obtained in this range. In order to perform this pH adjustment, it is not preferable to add another electrolyte, such as sodium hydroxide or potassium hydroxide. This is because the black color of the cobalt plating layer is easily changed to a metallic color.

따라서, 용액의 pH는, 용액 중의 금속이온 농도를 일정하게 유지함으로써, 결과적으로 4.0 이상의 범위로 안정화시키는 것이다. 이와 같이 용액 중의 코발트 이온 농도를 안정화시키기 위해서는, 용해성의 코발트 전극을 사용하여 전착시킨 코발트 이온분을 용해공급시키거나, 금속이온농도를 연속적으로 모니터하여 수산화 코발트를 사용하여 적정량 첨가함으로써, 코발트 이온 농도를 안정화시키는 기법 등을 채용하는 것이 바람직하다.Therefore, the pH of the solution is to stabilize the concentration of the metal ions in the solution as a result, in the range of 4.0 or more. In order to stabilize the cobalt ion concentration in the solution as described above, the cobalt ion concentration is dissolved or supplied by dissolving the electrodeposited cobalt ions using a soluble cobalt electrode, or by continuously monitoring the metal ion concentration and adding an appropriate amount using cobalt hydroxide. It is preferable to employ techniques such as stabilization.

그리고, 전해를 행할 때의 전류 밀도로는, 2A/d㎡ 이상의 전류를 사용하는 것이다. 상술한 황산코발트 도금액은, 과잉의 전해전류를 흘려, 어느 정도 미세한 요철이 있는 도금면이 형성되어도, 여기에서 가루 떨어짐 현상이 발생하는 비율이 적다. 따라서, 특히 전류밀도의 상한을 둘 필요는 없으며, 기술 상식에 비추어 공정에 있어서의 생산성을 고려하여 임의로 정하면 된다.And as a current density at the time of electrolysis, the electric current of 2A / dm <2> or more is used. The cobalt sulfate plating solution described above has a small rate of powder falling phenomenon even if an excessive electrolytic current flows to form a plated surface with a slight unevenness to some extent. Therefore, it is not necessary to particularly set an upper limit of the current density, and may be arbitrarily determined in consideration of the productivity in the process in view of technical common sense.

b)의 공정에서는 이상의 공정을 거친 동박을, 수세하고, 건조시킴으로서 황산코발트 도금층을 흑색화 처리면으로 하는 표면처리 동박을 얻는 것이다. 여기에서의 수세방법, 건조방법에 특별한 제한은 없으며, 통상 생각할 수 있는 방식을 채용할 수 있다.In the process of b), the copper foil which passed the above process is washed with water and dried, and the surface-treated copper foil which makes a cobalt sulfate plating layer blackening process surface is obtained. There is no restriction | limiting in particular in the washing method and the drying method here, The method which can be normally considered can be employ | adopted.

제 1 표면처리 동박의 제조방법B: 여기에서는, 교반욕을 사용한 경우의 흑색화 처리방법을 채용한 제조방법에 관하여 설명한다. Manufacturing method B of 1st surface-treated copper foil Here, the manufacturing method which employ | adopted the blackening treatment method at the time of using a stirring bath is demonstrated.

본 발명에 따른 표면처리 동박의 제조방법에서도, 황산코발트 도금층을 형성시키는 것은 동박의 광택면이나, 이하의 조건을 채용함으로써, 무교반의 황산코발트 도금욕에 의해 형성된 황산코발트 도금층과 마찬가지로 치밀한 흑색화 처리면이 되는 것이다.Also in the manufacturing method of the surface-treated copper foil which concerns on this invention, forming a cobalt sulfate plating layer is similar to the cobalt sulfate plating layer formed by the unstirred cobalt sulfate plating bath by employ | adopting the gloss surface of copper foil and the following conditions, It is a cotton.

이 때의 a)공정에서는, 상술한 동박의 광택면에, 황산코발트(7수화물)를 10g/l~40g/l을 포함하며, pH를 4.0 이상, 액온 30℃ 이하로 한 것은 황산코발트 도금액을 교반욕으로서 사용하고, 4A/d㎡ 이하의 전류밀도로 전해하여, 흑색계의 황산코발트 도금층을 형성시키는 것이다. 즉, 여기에서 제 1 표면처리 동박의 제조방법A와 근본적으로 다른 점은, 황산코발트 도금을 행할 때의 상기 황산코발트 도금액을 교반하면서 전해하는 점이다. 이 황산코발트 농도는, 황산코발트 농도가 낮을 수록, 양호한 흑색화 상태를 만들어 내는 것이 가능한 경향이 있다. 그러나, 황산코발트 도금액 중의 황산코발트(7수화물)가 10g/l 미만이 되면, 교반욕을 채용하여 형성시키는 황산코발트 도금층의 전착속도가 늦어지는 데다가, 황산 니켈층의 두께가 불균일해 지는 경향이 강해져 공업적 생산성이 결여되는 결과가 된다. 이에 반해, 황산코발트(7수화물)가 40g/l을 넘으면, 형성되는 황산코발트 도금층이 치밀한 요철을 형성하기 어렵게 되어, 결과적으로 양호한 흑색화상태가 아니게 된다.At this time, in the step a), the gloss surface of the copper foil described above contains 10 g / l to 40 g / l of cobalt sulfate (hexahydrate), and a pH of 4.0 or more and a liquid temperature of 30 ° C. or lower is used for the cobalt sulfate plating solution. It is used as a stirring bath, it electrolyzes with a current density of 4 A / dm <2> or less, and forms a black system cobalt sulfate plating layer. That is, a fundamental difference from the manufacturing method A of a 1st surface-treated copper foil here is the point which electrolytically stirs the said cobalt sulfate plating liquid at the time of performing cobalt sulfate plating. As the cobalt sulfate concentration is lower, the cobalt sulfate concentration tends to be able to produce a satisfactory blackening state. However, when the cobalt sulfate (hexahydrate) in the cobalt sulfate plating solution is less than 10 g / l, the electrodeposition rate of the cobalt sulfate plating layer formed by employing a stirring bath is slowed, and the thickness of the nickel sulfate layer becomes uneven. The result is a lack of industrial productivity. On the other hand, when cobalt sulfate (7-hydrate) exceeds 40 g / l, the cobalt sulfate plating layer formed will become difficult to form dense unevenness, and as a result will not be in a favorable blackening state.

또한, 이 때의 황산코발트 도금액 용액의 pH는, 4.0 이상으로, 특히 4.5~5.5의 범위를 목표로 조정하는 것이 바람직하다. 이 범위에서, 높은 수율로, 양호한 흑색의 코발트 도금층을 얻을 수 있기 때문이다. 이 pH조정에는, 수산화나트륨 또는 수산화칼륨 등의 다른 전해질을 첨가하는 것은 바람직하지 않다. 코발트도금층의 흑색이 금속색으로 변질되기 쉬운 점은 상술한 바와 같다. 그리고, 용액의 pH는, 용액 중의 금속이온농도를 일정하게 유지함으로써, 결과적으로 4.0 이상의 범위에서 안정화시키는 것도, 상술한 바와 같다.In addition, pH of the cobalt sulfate plating solution at this time is 4.0 or more, It is preferable to adjust especially in the range of 4.5-5.5. This is because a good black cobalt plating layer can be obtained in this range with high yield. It is not preferable to add another electrolyte such as sodium hydroxide or potassium hydroxide to this pH adjustment. The black color of the cobalt plating layer is easily changed to the metallic color as described above. The pH of the solution is as described above by stabilizing the metal ion concentration in the solution at a constant level as a result of 4.0 or more.

그리고, 이 때의 황산코발트 도금액은, 그 온도를 30℃ 이하로 하여 사용하는 것이 바람직하다. 이 때의 온도는, 낮을 수록 양호한 흑색화 처리면을 얻을 수 있는 경향이 있다. 액온을 30℃ 이하로 설정하면, 상기 제 1 표면처리 동박의 제조방법A에서, 거침처리를 행하지 않은 동박표면에 흑색화 처리를 시행한 것 이상으로 양호한 흑색화 처리면을 얻는 것이 가능해진다.And it is preferable to use the cobalt sulfate plating liquid at this time as 30 degrees C or less. The lower the temperature at this time, the better the blackening treatment surface tends to be obtained. When the liquid temperature is set to 30 ° C. or lower, in the manufacturing method A of the first surface-treated copper foil, it is possible to obtain a satisfactory blackened surface than that the blackened surface is not subjected to the roughening treatment.

그리고, 전해를 행할 때의 전류밀도로는 4A/d㎡ 이하의 전류를 사용하는 것이다. 이 범위에 있어서, 동박 표면을 거침처리 하지 않아도, 유기재 등과의 밀착성이 뛰어난 양호한 미세요철을 가지는 황산코발트 도금층이 형성가능하다. 통상, 요철이 있는 흑색계의 도금표면을 얻고자 하면, 과잉의 그을림 도금 영역에 들어가는 전해전류를 흘려보내는 방법이 채용된다. 그러나, 여기에서는 전해에 사용하는 전류 밀도가 적은 것일수록, 안정적으로 양호한 흑색화 처리가 가능해지는 경향이 있다. 따라서, 가능한 한 작은 전류밀도를 채용하면 되나, 공업적인 생산성을 고려하면 전류밀도 0.5A/d㎡를 하한치로 판단할 수 있는 것이다. 한편, 전류밀도가 4A/d㎡를 넘으면, 상기 제 1 표면처리 동박의 제조방법A에서, 거침처리를 행하지 않은 동박 표면에 흑색화 처리를 시행한 것과 같은 레벨의 흑색화 처리면이 되어, 제조방법B를 채용하는 의미가 몰각되게 된다. 게다가, 상술한 전류밀도의 범위에서 형성시킨 흑색화 처리면은, 가루 떨어짐 현상이 일어나는 일도 없다.The current density at the time of electrolysis is to use a current of 4 A / dm 2 or less. Within this range, a cobalt sulfate plating layer having good fine irregularities excellent in adhesion to organic materials and the like can be formed without roughening the copper foil surface. In general, in order to obtain a black-plated surface with irregularities, a method of flowing an electrolytic current flowing into an excessive burned plating region is employed. However, in this case, the smaller the current density used for electrolysis, the more stable the blackening treatment tends to be. Therefore, although the current density should be adopted as small as possible, considering the industrial productivity, the current density of 0.5 A / dm 2 can be judged as the lower limit. On the other hand, when current density exceeds 4 A / dm <2>, in the manufacturing method A of the said 1st surface treatment copper foil, it will become blackening process surface of the same level as blackening process on the copper foil surface which was not subjected to a roughening process, and it manufactured The meaning of adopting method B becomes obscure. Moreover, the powder fall phenomenon does not occur in the blackening process surface formed in the range of the above-mentioned current density.

b)의 공정에서는, 이상의 공정을 거친 동박을, 수세하고, 건조함으로써 황산코발트 도금층을 흑색화 처리면으로 하는 표면처리 동박을 얻을 수 있다. 여기에서의 수세방법, 건조방법에 특별한 제한은 없으며, 통상 생각할 수 있는 방식을 채용하는 것이 가능하다.In the process of b), the surface-treated copper foil which makes a cobalt sulfate plating layer blackening process surface can be obtained by washing with water and drying the copper foil which passed the above process. There is no restriction | limiting in particular in the washing method and the drying method here, It is possible to employ | adopt the method which can be normally considered.

(제 2 표면처리 동박의 제조방법)(Manufacturing method of 2nd surface treatment copper foil)

제 2 표면처리 동박의 경우에는, 상술한 제 1 표면처리 동박의 제조방법과 마찬가지로, 황산코발트 도금층을 흑색화 처리면으로 하는 표면처리 동박을 제조한 후, 방청처리층의 형성을 행하는 것이다. 따라서, 제조 플로우는 ‘a) 동박의 광택면에 흑색계의 황산코발트 도금층을 형성시킨다. b) 흑색의 황산코발트층을 형성시킨 동박의 양면 또는 편면에 방청처리층을 형성시킨다. c)그 후 수세하고 건조한다’가 된다. 즉, 제 1 표면처리 동박의 제조방법(제조방법A 및 제조방법B)에 방청처리층의 형성공정이 늘어난 것에 지나지 않는다.In the case of the 2nd surface-treated copper foil, like the manufacturing method of the 1st surface-treated copper foil mentioned above, after manufacturing the surface-treated copper foil which makes a cobalt sulfate plating layer into a blackening process surface, it forms an antirust process layer. Thus, the production flow 'a) forms a black cobalt sulfate plating layer on the glossy surface of the copper foil. b) An antirust process layer is formed in the both surfaces or single side | surface of the copper foil in which the black cobalt sulfate layer was formed. c) then washed with water and dried. That is, the formation process of an antirust process layer only increased in the manufacturing method (manufacturing method A and the manufacturing method B) of a 1st surface treatment copper foil.

따라서, 여기에서는 방청처리층의 형성공정에 관해서만 설명한다. 흑색의 황산코발트 도금층의 형성이 완료된 동박의 양면 또는 편면에, 방청처리층을 형성시키는 것이다. 종래 알려진 이미다졸, 벤조트리아졸 등의 유기방청, 일반적으로 사용되고 있는 아연 또는 황동 등의 아연 합금에 의한 무기방청 등을 사용하는 경우에 관해서는, 특별히 설명이 요구되는 것은 아니며, 통상의 방법에 따르면 된다고 생각하여, 여기에서는 상세한 설명은 생략한다.Therefore, only the formation process of a rustproof treatment layer is demonstrated here. An antirust process layer is formed in the both surfaces or single side | surface of the copper foil with which the formation of the black cobalt sulfate plating layer was completed. In the case of using conventionally known organic rust inhibitors such as imidazole and benzotriazole, inorganic rust inhibitors such as zinc alloys such as zinc or brass which are generally used, explanation is not particularly required. In consideration of this, detailed description is omitted here.

이하, 방청처리층을 아연-니켈 합금 도금액 또는 아연-코발트 합금 도금액을 사용하여 도금처리하여 형성시키는 경우에 관해서 기술하기로 한다. 가장 먼저, 아연-니켈 합금 도금에 관하여 설명한다. 여기에서 사용하는 아연-니켈 합금 도금액에 특별히 한정은 없으나, 하나의 예를 들면, 황산 니켈을 사용하여 니켈 농도가 1~2.5g/l, 피롤린산 아연을 사용하여 아연 농도가 0.1~1g/l, 피롤린산 칼륨 50~500g/l, 액온 20~50℃, pH 8~11, 전류밀도 0.3~10A/d㎡의 조건 등을 채용하는 것이다.Hereinafter, the case where the rust-prevented layer is formed by plating by using a zinc-nickel alloy plating solution or a zinc-cobalt alloy plating solution will be described. First, the zinc-nickel alloy plating will be described. There is no particular limitation on the zinc-nickel alloy plating solution used here, but for example, the nickel concentration is 1 to 2.5 g / l using nickel sulfate and the zinc concentration is 0.1 to 1 g / l using zinc pyrrolate. , Potassium pyrrolate 50-500 g / l, liquid temperature 20-50 degreeC, pH 8-11, conditions of 0.3-10 A / dm <2> of current density, etc. are employ | adopted.

다음으로, 아연-코발트 합금 도금에 관해서 설명한다. 여기에서 사용하는 아연-코발트 합금 도금액에 특별히 한정은 하지 않으나, 하나의 예를 들면, 황산코발트를 사용하여 코발트 농도가 1~2.5g/l, 피롤린산 아연을 사용하여 아연 농도가 0.1~1g/l, 피롤린산 칼륨 50~500g/l, 액온 20~50℃, pH 8~11, 전류밀도 0.3~10A/d㎡의 조건 등을 채용하는 것이다. 이 아연-코발트 합금 도금과 후술하는 크로메이트 처리를 조합한 방청처리층은, 특히 뛰어난 내식성능을 나타낸다. Next, zinc-cobalt alloy plating is demonstrated. The zinc-cobalt alloy plating solution used herein is not particularly limited, but for example, the cobalt concentration is 1 to 2.5 g / l using cobalt sulfate and the zinc concentration is 0.1 to 1 g / using zinc pyrrolate. The conditions of l, potassium pyrrolate 50-500 g / l, liquid temperature 20-50 degreeC, pH 8-11, and current density of 0.3-10 A / dm <2> are employ | adopted. The antirust process layer which combined this zinc-cobalt alloy plating and chromate treatment mentioned later shows especially outstanding corrosion resistance.

제 2 표면처리 동박의 경우에는, 동박 표면에 아연-니켈 합금층 또는 아연-코발트 합금층 등을 형성시킨 후에, 크로메이트층을 형성시키면, 보다 우수한 내식성을 얻는 것이 가능하게 된다. 즉, 상술한 방청처리층의 형성 후에, 크로메이트 처리공정을 마련하면 되는 것이다. 이 크로메이트 처리공정에서는, 크로메이트 용액과 당해 동박 표면을 접촉시키는 치환처리나, 크로메이트 용액 속에서 전해하여 크로메이트 피막을 형성시키는 전해 크로메이트 처리 중 어떠한 방법을 채용하여도 된다. 또한, 여기에서 사용하는 크로메이트 용액에 관해서도, 통상의 방법에서 사용되는 범위의 것을 사용할 수 있다. 그리고, 그 후, 수세하고, 건조함으로써 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박을 얻을 수 있다.In the case of the second surface-treated copper foil, after forming a zinc-nickel alloy layer, a zinc-cobalt alloy layer, or the like on the surface of the copper foil, forming a chromate layer makes it possible to obtain more excellent corrosion resistance. That is, what is necessary is just to provide a chromate processing process after formation of the above-mentioned antirust process layer. In this chromate treatment process, you may employ | adopt any method of the substitution process which contacts a chromate solution and the said copper foil surface, or the electrolytic chromate process which electrolyzes in a chromate solution and forms a chromate film. Moreover, also about the chromate solution used here, the thing of the range used by a normal method can be used. Then, the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface can be obtained by washing with water and drying after that.

<전자파 차폐 도전성 메쉬> 이상에서 기술한 본 발명에 따른 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박은, 흑색화 처리면으로부터의 가루 떨어짐이 없으며, 또한, 양호한 흑색을 가지면서도, 그 흑색화 처리층은 통상의 구리 에칭 프로세스로 에칭 제거가 가능하다. 따라서, 프린트 배선판을 제조하는 프로세스를 사용하여 용이하게 임의의 형상으로 가공하는 것이 가능하다. 이러한 점들을 고려하면, 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널에 삽입되는 전자파 차폐 도전성 메쉬의 용도로서 최적의 것이라고 말할 수 있다.<Electromagnetic shielding conductive mesh> The surface-treated copper foil provided with the blackening process surface which concerns on this invention described above does not have the fall of the powder from the blackening process surface, and also has the blackness, and the blackening process layer Silver can be etched away by conventional copper etching processes. Therefore, it is possible to easily process to arbitrary shapes using the process of manufacturing a printed wiring board. Considering these points, it can be said that it is optimal as an application of the electromagnetic shielding conductive mesh inserted into the front panel of the plasma display panel.

본 발명에 따른 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박은, 황산코발트 도금층이 매우 얇은 것임에도 불구하고, 플라즈마 디스클레이 패널의 전면 패널의 전자파 차폐 도전성 메쉬의 용도를 쓰일 수 있을 만큼 양호한 흑색을 띠고 있다. 그리고, 코발트 함유량이 적기 때문에, 에칭 특성이 양호한 데다가, 통상의 염화철, 황산-과산화수소계의 구리 에칭액의 역가를 떨어뜨리지 않아, 용액 수명을 장기화 시키는 것이 가능해진다.The surface-treated copper foil provided with the blackened surface according to the present invention has a good black color to be used for the electromagnetic shielding conductive mesh of the front panel of the plasma display panel, even though the cobalt sulfate plating layer is very thin. have. And since there is little cobalt content, etching property is favorable and it becomes possible to prolong solution life, without dropping the titer of normal iron chloride and sulfuric acid-hydrogen peroxide-type copper etching liquid.

또한, 본 발명에 따른 표면처리 동박의 제조방법은, 상기 표면처리 동박을 높은 수율로 제조하는 것이 가능하며, 상술한 제조조건을 채용하여 형성시킨 황산코발트 도금층이 가장 효율적으로, 구리 에칭액에 용해된다.Moreover, in the manufacturing method of the surface-treated copper foil which concerns on this invention, it is possible to manufacture the said surface-treated copper foil with high yield, and the cobalt sulfate plating layer formed using the manufacturing conditions mentioned above is melt | dissolved in the copper etching liquid most efficiently. .

이하에, 상술한 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박을 제조하고, 구리 에칭액을 사용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 제조한 결과를 나타낸다.Below, the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface mentioned above is manufactured, and the result of having produced the electromagnetic wave shielding conductive mesh using a copper etching liquid is shown.

실시예 1Example 1

본 실시형태에서는, 도 1에 나타낸 제 1 표면처리 동박(1a)을 제조하고, 전자파 차폐 도전성 메쉬형상을 에칭법으로 시험적으로 제조하여 에칭 성능을 확인하였다.In this embodiment, the 1st surface treatment copper foil 1a shown in FIG. 1 was manufactured, the electromagnetic wave shielding conductive mesh shape was experimentally manufactured by the etching method, and the etching performance was confirmed.

본 실시형태에서는, 황산동 용액을 전해함으로써 얻은 공칭 두께 15㎛의 동박을 사용했다. 그리고, 동박을 황산 농도 150g/l, 액온 30℃의 묽은 황산 용액을 사용하여, 이 용액에 30초간 침지하여, 표면의 청정화를 행하였다.In this embodiment, the copper foil of 15 micrometers of nominal thickness obtained by electrolyzing a copper sulfate solution was used. And copper foil was immersed in this solution for 30 second using the sulfuric acid concentration 150g / l and the dilute sulfuric acid solution of 30 degreeC of liquid temperature, and the surface was cleaned.

그리고, 공칭 두께 15㎛ 전해동박의 거친면에 거침처리를 시행하였다. 이 때의 거침처리는, 이 미세구리입자(3)를 동박(B)의 편면에 부착형성시키는 것으로, 황산동계 용액이며, 농도가 구리 10g/l, 황산 100g/l, 염소 25ppm, 9-페닐아크리딘 140㎎/l의 용액, 액온 38℃, 전류 밀도 15A/d㎡, 전해 시간 2초의 전해 조건을 채용하였다. 이 거침처리한 동박 표면을 나타낸 것이 도 10이다.And the roughening process was performed to the rough surface of the electrolytic copper foil of 15 micrometers of nominal thickness. At this time, the roughening treatment causes the microcopper particles 3 to adhere to one side of the copper foil B, and is a copper sulfate-based solution with a concentration of 10 g of copper, 100 g / l of sulfuric acid, 25 ppm of chlorine, and 9-phenyl. The solution of acridine 140 mg / l, the liquid temperature of 38 degreeC, the current density of 15 A / dm <2>, and electrolysis conditions of 2 second electrolysis time was employ | adopted. 10 shows the roughened copper foil surface.

a)의 공정으로서, 당해 전해 동박의 광택면 위에, 황산코발트 도금층(4)을 형성하였다. 황산코발트 도금층(4)의 형성은, 황산코발트(7수화물)를 10g/l, pH를 5.0으로 조정하고, 액온 30℃로 한 황산코발트 도금액을 무교반욕으로서 사용하고, 2A/d㎡의 전류밀도에서 8초간 전해함으로써, 흑색의 황산코발트 도금층(환산 두께가 320㎎/㎡)으로 형성시킨 것이다. 이 때 용액 중의 코발트 이온 농도의 조정은 특별히 행하지 않았다. 단시간 전해이므로 금속이온 농도의 조정은 불필요하다고 생각했기 때문이다. 도 11에 형성시킨 황산코발트 도금층을 나타내고 있다.As a process of a), the cobalt sulfate plating layer 4 was formed on the glossy surface of the said electrolytic copper foil. Formation of the cobalt sulfate plating layer 4, cobalt sulfate (7-hydrate) 10g / l, pH adjusted to 5.0, using a cobalt sulfate plating solution with a liquid temperature of 30 ° C as an unstirred bath, current density of 2A / dm 2 By electrolysis for 8 seconds to form a black cobalt sulfate plating layer (320 mg / m 2 in terms of thickness). At this time, the cobalt ion concentration in the solution was not particularly adjusted. This is because it is thought that adjustment of the metal ion concentration is unnecessary because it is a short time electrolysis. The cobalt sulfate plating layer formed in FIG. 11 is shown.

b)의 공정으로서, 순수를 충분히 샤워링하여 세정하고, 전열기로 분위기 온도를 150℃로 한 건조로 내에 4초간 대류시켜, 수분을 날려 보내어, 매우 양호한 색조의 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박(1a)을 얻었다. 또한, 상술한 각 공정 간에는, 원칙적으로, 15초간의 순수에 의한 수세공정을 마련하여, 전처리공정의 용액을 가져오는 것을 방지하고 있다.As the process of b), pure water is sufficiently showered and washed, convection is carried out for 4 seconds in a drying furnace with an atmospheric temperature of 150 ° C. with an electric heater, and the water is blown out to provide a surface treatment having a blackened surface of very good color tone. Copper foil 1a was obtained. In addition, between each process mentioned above, the washing | cleaning process by the pure water for 15 second is provided in principle, and the import of the solution of a pretreatment process is prevented.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과, 도 3에 나타낸 단면을 얻을 수 있으며, 당해 흑색화 처리면의 단면 높이(d)가 100㎚이고, 당해 흑색화 처리면의 Lab표색계에 있어서의 L값이 30, 광택도[Gs(60°)]가 19였다. 또한, 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐을 확인할 수 없었다.When the cross section of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface obtained through the above process was observed with the FIB apparatus, the cross section shown in FIG. 3 can be obtained, and the cross-sectional height d of the said blackening process surface is 100 nm. In the Lab color system of the blackening treatment surface, L value was 30 and glossiness [Gs (60 °)] was 19. In addition, it was not able to confirm that the powder dropped in the tape test by attaching and detaching the adhesive tape to the blackened surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

상기와 같이 하여 얻어진 표면처리 동박의 양면에 에칭 레지스트로 되는 드라이 필름을 붙였다. 그리고, 흑색화 처리면측의 드라이 필름에만, 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하기 위한 시험용 마스크 필름을 겹쳐, 메쉬 피치 200㎛, 메쉬선 폭 10㎛, 메쉬 바이어스 각도 45℃이고, 주위에 메쉬 전극부를 가지는 도전성 메쉬 패턴을 자외선 노광하였다. 이 때, 동시에 반대면의 에칭 레지스트층의 전면(全面)에도, 자외선 노광함으로써, 이후의 현상에 의해 제거할 수 없게 하였다. 그 후, 알카리 용액을 사용하여 현상하고, 에칭 패턴을 형성하였다.The dry film which becomes an etching resist was stuck to both surfaces of the surface-treated copper foil obtained as mentioned above. Then, the test film for starting the electromagnetic wave shielding conductive mesh is superimposed only on the dry film on the blackened surface side, and the conductive film has a mesh electrode portion at a mesh pitch of 200 µm, a mesh line width of 10 µm, and a mesh bias angle of 45 ° C. The mesh pattern was exposed to ultraviolet light. At this time, the entire surface of the etching resist layer on the opposite side was also exposed to ultraviolet rays, so that it could not be removed by subsequent development. Then, it developed using the alkali solution and formed the etching pattern.

그리고 구리에칭액인 염화철 에칭액을 사용하여, 흑색화 처리면측에서 구리에칭한 후, 에칭 레지스트층을 박리함으로써, 전자파 차폐 도전성 메쉬를 제조하였다. 그 결과, 에칭 잔존물도 없이, 매우 양호한 에칭이 행해졌다. 도 12에는, 에칭성을 평가하기 위한 테스트 패턴(13㎛폭 회로)의 에칭상태를 나타내고 있다. 이 도 12에서 알 수 있는 바와 같이, 에칭 잔존물 없이, 극히 에칭 팩터가 우수한 미려한 회로를 얻을 수 있다.Then, using an iron chloride etching solution which is a copper etching solution, copper etching was performed on the blackening treatment side, and then the etching resist layer was peeled off to prepare an electromagnetic wave shielding conductive mesh. As a result, very good etching was performed without etching residues. In FIG. 12, the etching state of the test pattern (13 micrometer width circuit) for evaluating etching property is shown. As can be seen from FIG. 12, a beautiful circuit having an extremely excellent etching factor can be obtained without etching residues.

실시예 2Example 2

본 실시예는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 방청처리층으로서 아연-니켈 합금층을 구비한 제 2 표면처리 동박(1c)을 제조하고, 전자파 차폐 도전성 메쉬 형상을 에칭법으로 시험적으로 제조하여 에칭성능을 확인하였다. 따라서, 황산코발트 도금층에 의한 흑색화 처리층을 형성하기까지는, 실시예 1과 공통되므로, 방청처리조건에 관해서만 설명한다. 또한, 흑색의 황산코발트 도금층의 환산 두께는 실시예 1과 동일한 320㎎/㎡이다. In this embodiment, as shown in Fig. 6, a second surface-treated copper foil 1c having a zinc-nickel alloy layer as an antirust layer was produced, and an electromagnetic shielding conductive mesh shape was experimentally produced by an etching method. The etching performance was confirmed. Therefore, since it is common to Example 1 until the blackening process layer by a cobalt sulfate plating layer is formed, only rust prevention process conditions are demonstrated. In addition, the conversion thickness of the black cobalt sulfate plating layer is 320 mg / m <2> similar to Example 1.

여기에서는, 실시예 1의 편면에 흑색의 황산코발트 도금층의 형성이 완료된 동박의 양면에, 아연-니켈 합금 도금액을 사용하여 도금처리하여, 양면에 아연-니켈 합금층을 형성시킨 것이다. 아연-니켈 합금층은, 황산 니켈을 사용하여 니켈 농도가 2.0g/l, 피롤린산 아연을 사용하여 아연 농도가 0.5g/l, 피롤린산 칼륨 250g/l, 액온 35℃, pH 10, 전류밀도 5A/d㎡의 조건에서 5초간 전해하여, 양면에 균일하고 평활하게 전석(電析)시켰다.Here, plating is performed on both surfaces of the copper foil on which the black cobalt sulfate plating layer is formed on one side of Example 1 by using a zinc-nickel alloy plating solution to form a zinc-nickel alloy layer on both sides. The zinc-nickel alloy layer has a nickel concentration of 2.0 g / l using nickel sulfate, a zinc concentration of 0.5 g / l using zinc pyrrolate, 250 g / l of potassium pyrrolate, a liquid temperature of 35 ° C., pH 10, and current density. It electrolyzed for 5 second on 5 A / dm <2> conditions, and made it electroporated uniformly and smoothly on both surfaces.

그리고, 실시예 1과 마찬가지로 순수를 충분히 샤워링하여 세정하고, 전열기로 분위기 온도를 150℃로 한 건조로 내에 4초간 대류시켜, 수분을 날려 보내어, 매우 양호한 색조의 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박(1c)을 얻었다. 또한, 상술한 각 공정 간에는, 원칙적으로, 15초간의 순수에 의한 수세공정을 마련하여, 전처리공정의 용액을 가져오는 것을 방지하고 있다.In the same manner as in Example 1, pure water was sufficiently showered and washed, convection was carried out for 4 seconds in a drying furnace at an atmospheric temperature of 150 ° C. with an electric heater, and the water was blown out to provide a surface having a blackened surface of a very good color tone. Processed copper foil (1c) was obtained. In addition, between each process mentioned above, the washing | cleaning process by the pure water for 15 second is provided in principle, and the import of the solution of a pretreatment process is prevented.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과, 도 3에 나타낸 것과 같은 단면을 얻을 수 있으며, 당해 흑색화 처리면의 단면 높이가 115㎚이고, 당해 흑색화 처리면의 Lab표색계에 있어서의 L값이 28, 광택도[Gs(60°)]가 21이었다. 또한, 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐을 확인할 수 없었다.When the cross section of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface obtained through the above process was observed with the FIB apparatus, the cross section as shown in FIG. 3 can be obtained, The cross-sectional height of the said blackening process surface is 115 nm, L value in the Lab colorimeter of the said blackening process surface was 28, and glossiness [Gs (60 degrees)] was 21. In addition, it was not able to confirm that the powder dropped in the tape test by attaching and detaching the adhesive tape to the blackened surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

실시예 1과 마찬가지로, 얻어진 표면처리 동박을 사용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하였다. 그 결과, 방청처리층이 존재하고 있어도 에칭 조작에 지장이 없고, 에칭 잔존물도 없어, 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Similarly to Example 1, the electromagnetic wave shielding conductive mesh was started using the obtained surface-treated copper foil. As a result, even if the rust-prevented layer existed, there was no problem in the etching operation, there was no etching residue and very good etching was performed.

실시예 3Example 3

본 실시예는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 방청처리층으로서 아연-니켈 합금층 및 크로메이트 처리층을 구비한 제 2 표면처리 동박(1e)을 제조하고, 전자파 차폐 도전성 메쉬 형상을 에칭법으로 시험적으로 제조하여 에칭성능을 확인하였다. 따라서, 황산코발트 도금층에 의한 흑색화 처리층을 형성하기까지는, 실시예 1과 공통되므로, 방청처리조건에 관해서만 설명한다. 또한, 흑색의 황산코발트 도금층의 환산 두께는 실시예 1과 동일한 320㎎/㎡이다. As shown in FIG. 8, this Example manufactures the 2nd surface treatment copper foil 1e provided with the zinc-nickel alloy layer and the chromate treatment layer as an antirust process layer, and tests the electromagnetic shielding conductive mesh shape by the etching method. Preparation was carried out to confirm the etching performance. Therefore, since it is common to Example 1 until the blackening process layer by a cobalt sulfate plating layer is formed, only rust prevention process conditions are demonstrated. In addition, the conversion thickness of the black cobalt sulfate plating layer is 320 mg / m <2> similar to Example 1.

방청처리층의 형성은 실시예 2와 마찬가지로 하여, 아연-니켈 합금 도금액을 사용하여, 양면에 아연-니켈 합금층을 형성시킨 후에, 양면에 크로메이트 처리를 행한 것이다. 여기에서는 크로메이트 처리를 채용하고, 전해조건은 크롬산 5.0g/l, pH 11.5, 액온 35℃, 전류밀도 8A/d㎡, 전해시간 5초로 하였다.The formation of the rust-preventing layer was performed in the same manner as in Example 2, after the zinc-nickel alloy layer was formed on both surfaces using a zinc-nickel alloy plating solution, followed by chromate treatment on both surfaces. Here, chromate treatment was employed, and the electrolytic conditions were 5.0 g / l of chromic acid, pH 11.5, a liquid temperature of 35 ° C., a current density of 8 A / dm 2, and an electrolysis time of 5 seconds.

그리고, 크로메이트층의 형성이 종료되면, 순수를 충분히 샤워링하여 세정하고 전열기로 분위기 온도를 150℃로 한 건조로 내에 4초간 대류시켜, 수분을 날려 보내어, 매우 양호한 색조의 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박(1e)을 얻었다. 또한, 상술한 각 공정 간에는, 원칙적으로, 15초간의 순수에 의한 수세공정을 마련하여, 전처리공정의 용액을 가져오는 것을 방지하고 있다.When the formation of the chromate layer is completed, the pure water is sufficiently showered and washed, and condensed for 4 seconds in a drying furnace having an atmospheric temperature of 150 ° C. with an electric heater, and blows out moisture to provide a blackened surface having a very good color tone. One surface-treated copper foil (1e) was obtained. In addition, between each process mentioned above, the washing | cleaning process by the pure water for 15 second is provided in principle, and the import of the solution of a pretreatment process is prevented.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과, 도 3에 나타낸 것과 같은 단면을 얻을 수 있으며, 당해 흑색화 처리면의 단면 높이가 121㎚이고, 당해 흑색화 처리면의 Lab표색계에 있어서의 L값이 27, 광택도[Gs(60°)]가 23이었다. 또한, 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐을 확인할 수 없었다.When the cross section of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface obtained through the above process was observed with the FIB apparatus, the cross section as shown in FIG. 3 can be obtained, The cross-sectional height of the said blackening process surface is 121 nm, L value in the Lab color system of the said blackening process surface was 27, and glossiness [Gs (60 degrees)] was 23. In addition, it was not able to confirm that the powder dropped in the tape test by attaching and detaching the adhesive tape to the blackened surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

실시예 1과 마찬가지로, 얻어진 표면처리 동박을 사용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하였다. 그 결과, 방청처리층이 존재하고 있어도 에칭 조작에 지장이 없고, 에칭 잔존물도 없어, 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Similarly to Example 1, the electromagnetic wave shielding conductive mesh was started using the obtained surface-treated copper foil. As a result, even if the rust-prevented layer existed, there was no problem in the etching operation, there was no etching residue and very good etching was performed.

실시예 4Example 4

본 실시예는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 방청처리층으로서 아연-코발트 합금층을 구비한 제 2 표면처리 동박(1c)을 제조하고, 전자파 차폐 도전성 메쉬 형상을 에칭법으로 시험적으로 제조하여 에칭성능을 확인하였다. 따라서, 황산코발트 도금층에 의한 흑색화 처리층을 형성하기까지는, 실시예 1과 공통되므로, 방청처리조건에 관해서만 설명한다. 또한, 흑색의 황산코발트 도금층의 환산 두께는 실시예 1과 동일한 320㎎/㎡이다. In this embodiment, as shown in Fig. 6, a second surface-treated copper foil 1c having a zinc-cobalt alloy layer as an antirust treatment layer was produced, and an electromagnetic shielding conductive mesh shape was experimentally produced by an etching method. The etching performance was confirmed. Therefore, since it is common to Example 1 until the blackening process layer by a cobalt sulfate plating layer is formed, only rust prevention process conditions are demonstrated. In addition, the conversion thickness of the black cobalt sulfate plating layer is 320 mg / m <2> similar to Example 1.

여기에서는, 실시예 1의 광택면에 흑색의 황산코발트 도금층의 형성이 완료된 동박의 양면에, 아연-코발트합금 도금액을 사용하여 도금처리하여, 양면에 아연-코발트 합금층을 형성시킨 것이다. 아연-코발트 합금층은, 황산코발트를 사용하여 코발트 농도가 2.0g/l, 피롤린산 아연을 사용하여 아연 농도가 0.5g/l, 피롤린산 칼륨 250g/l, 액온 35℃, pH 10, 전류밀도 5A/d㎡의 조건에서 5초간 전해하여, 양면에 균일하고 평활하게 전석시켰다.Here, the zinc-cobalt alloy layer was formed on both surfaces of the copper foil by which the black cobalt sulfate plating layer was formed on the gloss surface of Example 1 using the zinc-cobalt alloy plating solution. The zinc-cobalt alloy layer has a cobalt concentration of 2.0 g / l using cobalt sulfate, a zinc concentration of 0.5 g / l using zinc pyrrolate, 250 g / l of potassium pyrrolate, a liquid temperature of 35 ° C., pH 10, and current density. It electrolyzed for 5 second on 5 A / dm <2> conditions, and made it deposit uniformly and smoothly on both surfaces.

그리고, 실시예 1과 마찬가지로 순수를 충분히 샤워링하여 세정하고 전열기로 분위기 온도를 150℃로 한 건조로 내에 4초간 대류시켜, 수분을 날려 보내어, 매우 양호한 색조의 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박(1c)을 얻었다. 또한, 상술한 각 공정 간에는, 원칙적으로, 15초간의 순수에 의한 수세공정을 마련하여, 전처리공정의 용액을 가져오는 것을 방지하고 있다.Then, in the same manner as in Example 1, the pure water was sufficiently showered and washed, and condensed for 4 seconds in a drying furnace having an atmospheric temperature of 150 ° C. with an electric heater to blow out moisture, thereby providing a surface treatment with a blackened surface having a very good color tone. Copper foil (1c) was obtained. In addition, between each process mentioned above, the washing | cleaning process by the pure water for 15 second is provided in principle, and the import of the solution of a pretreatment process is prevented.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과, 도 3에 나타낸 것과 같은 단면을 얻을 수 있으며, 당해 흑색화 처리면의 단면 높이가 128㎚이고, 당해 흑색화 처리면의 Lab표색계에 있어서의 L값이 28, 광택도[Gs(60°)]가 20이었다. 또한, 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐을 확인할 수 없었다.When the cross section of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface obtained through the above process was observed with the FIB apparatus, the cross section as shown in FIG. 3 can be obtained, The cross-sectional height of the said blackening process surface is 128 nm, L value in the Lab color system of the said blackening process surface was 28, and glossiness [Gs (60 degrees)] was 20. In addition, it was not able to confirm that the powder dropped in the tape test by attaching and detaching the adhesive tape to the blackened surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

실시예 1과 마찬가지로, 얻어진 표면처리 동박을 사용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하였다. 그 결과, 방청처리층이 존재하고 있어도 에칭 조작에 지장이 없고, 에칭 잔존물도 없어, 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Similarly to Example 1, the electromagnetic wave shielding conductive mesh was started using the obtained surface-treated copper foil. As a result, even if the rust-prevented layer existed, there was no problem in the etching operation, there was no etching residue and very good etching was performed.

실시예 5Example 5

본 실시예는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 방청처리층으로서 아연-코발트 합금층 및 크로메이트 처리층을 구비한 제 2 표면처리 동박(1e)을 제조하고, 전자파 차폐 도전성 메쉬 형상을 에칭법으로 시험적으로 제조하여 에칭성능을 확인하였다. 따라서, 황산코발트 도금층에 의한 흑색화 처리층을 형성하기까지는, 실시예 1과 공통되므로, 방청처리조건에 관해서만 설명한다. 또한, 흑색의 황산코발트 도금층의 환산 두께는 실시예 1과 동일한 320㎎/㎡이다. As shown in FIG. 8, this Example manufactures the 2nd surface treatment copper foil 1e provided with the zinc-cobalt alloy layer and the chromate treatment layer as an antirust process layer, and tests the electromagnetic shielding conductive mesh shape by the etching method. Preparation was carried out to confirm the etching performance. Therefore, since it is common to Example 1 until the blackening process layer by a cobalt sulfate plating layer is formed, only rust prevention process conditions are demonstrated. In addition, the conversion thickness of the black cobalt sulfate plating layer is 320 mg / m <2> similar to Example 1.

방청처리층의 형성은 실시예 4와 마찬가지로 하여, 아연-코발트합금 도금액을 사용하여, 양면에 아연-코발트 합금층을 형성시킨 후에, 양면에 크로메이트 처리를 행한 것이다. 여기에서는 전해 크로메이트 처리를 채용하고, 전해조건은 크롬산 5.0g/l, pH 11.5, 액온 35℃, 전류밀도 8A/d㎡, 전해시간 5초로 하였다.Formation of a rust-preventing layer was carried out similarly to Example 4, after forming a zinc-cobalt alloy layer on both surfaces using the zinc-cobalt alloy plating liquid, and chromate-processing on both surfaces. Here, electrolytic chromate treatment was employed, and the electrolytic conditions were 5.0 g / l of chromic acid, pH 11.5, a liquid temperature of 35 ° C., a current density of 8 A / dm 2, and an electrolysis time of 5 seconds.

그리고, 크로메이트층의 형성이 종료되면, 순수를 충분히 샤워링하여 세정하고, 전열기로 분위기 온도를 150℃로 한 건조로 내에 4초간 대류시켜, 수분을 날려 보내어, 매우 양호한 색조의 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박(1e)을 얻었다. 또한, 상술한 각 공정 간에는, 원칙적으로, 15초간의 순수에 의한 수세공정을 마련하여, 전처리공정의 용액을 가져오는 것을 방지하고 있다.When the formation of the chromate layer is completed, the pure water is sufficiently showered and washed, convection is performed for 4 seconds in a drying furnace with an atmospheric temperature of 150 ° C. with an electric heater, and the water is blown out to give a blackened surface of very good color tone. The surface-treated copper foil 1e which was provided was obtained. In addition, between each process mentioned above, the washing | cleaning process by the pure water for 15 second is provided in principle, and the import of the solution of a pretreatment process is prevented.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과, 도 3에 나타낸 것과 같은 단면을 얻을 수 있으며, 당해 흑색화 처리면의 단면 높이가 120㎚이고, 당해 흑색화 처리면의 Lab표색계에 있어서의 L값이 29, 광택도[Gs(60°)]가 22였다. 또한, 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐을 확인할 수 없었다.When the cross section of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface obtained through the above process was observed with the FIB apparatus, the cross section as shown in FIG. 3 can be obtained, The cross-sectional height of the said blackening process surface is 120 nm, L value in the Lab color system of the said blackening process surface was 29, and glossiness [Gs (60 degrees)] was 22. In addition, it was not able to confirm that the powder dropped in the tape test by attaching and detaching the adhesive tape to the blackened surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

실시예 1과 마찬가지로, 얻어진 표면처리 동박을 사용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하였다. 그 결과, 방청처리층이 존재하고 있어도 에칭 조작에 지장이 없고, 에칭 잔존물도 없어, 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Similarly to Example 1, the electromagnetic wave shielding conductive mesh was started using the obtained surface-treated copper foil. As a result, even if the rust-prevented layer existed, there was no problem in the etching operation, there was no etching residue and very good etching was performed.

실시예 6Example 6

본 실시예는, 실시예 1과 달리 전해동박의 거친면에 거침처리를 시행하지 않고, 이하 실시예 1과 마찬가지로 하여, 전해동박의 광택면측에 황산코발트 도금층에 의한 흑색화 처리층을 형성하고, 도 2에 나타내는 제 2 표면처리 동박(1b)을 제조하여, 실시예 1과 동일한 평가를 행하였다. 따라서, 공정의 설명은 실시예 1과 중복되므로, 여기에서의 기재는 생략한다. 또한, 흑색의 황산코발트 도금층은, 환산 두께가 310㎎/㎡였다. 도 13에 여기에서 얻은 표면처리 동박의 흑색화면(황산코발트 도금층)을 나타내고 있다.Unlike the first embodiment, the present embodiment is not subjected to rough treatment on the rough surface of the electrolytic copper foil, and in the same manner as in Example 1 below, a blackening treatment layer is formed on the glossy surface side of the electrolytic copper foil by the cobalt sulfate plating layer, and FIG. 2. The 2nd surface treatment copper foil 1b shown to was manufactured, and the same evaluation as Example 1 was performed. Therefore, since description of a process overlaps with Example 1, description here is abbreviate | omitted. Moreover, the conversion thickness of the black cobalt sulfate plating layer was 310 mg / m <2>. The black screen (cobalt sulfate plating layer) of the surface-treated copper foil obtained here in FIG. 13 is shown.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과, 도 3에 나타낸 것과 같은 단면을 얻을 수 있으며, 당해 흑색화 처리면의 단면 높이가 116㎚이고, 당해 흑색화 처리면의 Lab표색계에 있어서의 L값이 27, 광택도[Gs(60°)]가 23이었다. 또한, 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐을 확인할 수 없었다.When the cross section of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface obtained through the above process was observed with the FIB apparatus, the cross section as shown in FIG. 3 can be obtained, The cross-sectional height of the said blackening process surface is 116 nm, L value in the Lab color system of the said blackening process surface was 27, and glossiness [Gs (60 degrees)] was 23. In addition, it was not able to confirm that the powder dropped in the tape test by attaching and detaching the adhesive tape to the blackened surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

실시예 1과 마찬가지로, 얻어진 표면처리 동박을 사용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하였다. 그 결과, 에칭 조작에 지장이 없고, 에칭 잔존물도 없어, 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Similarly to Example 1, the electromagnetic wave shielding conductive mesh was started using the obtained surface-treated copper foil. As a result, there was no problem in the etching operation, no etching residues, and very good etching was performed.

실시예 7Example 7

본 실시형태에서는, 실시예 6과 마찬가지로 전해동박의 거친면에 거침처리를 시행하지 않고, 상술한 거침처리를 행하지 않은 동박을 사용하여 흑색화 처리를 행하여, 도 2에 나타낸 제 1 표면처리 동박(1b)을 제조하고, 전자파 차폐 도전성 메쉬 형상을 에칭법으로 시험적으로 제조하여 에칭성능을 확인하였다.In the present embodiment, as in Example 6, the roughening process of the electrolytic copper foil is not performed, but the blackening treatment is performed using the copper foil which has not been subjected to the above roughening treatment, and the first surface-treated copper foil 1b shown in FIG. ) And the electromagnetic wave shielding conductive mesh shape was experimentally prepared by the etching method to confirm the etching performance.

본 실시형태에서는, 황산동 용액을 전해함으로써 얻어진 공칭 15㎛의 동박을 사용하였다. 그리고, 동박을, 황산 농도 150g/l, 액온 30℃의 묽은 황산 용액을 사용하여, 이 용액에 30초 침지시켜, 표면의 청정화를 행하였다.In this embodiment, the nominal 15 micrometers copper foil obtained by electrolyzing a copper sulfate solution was used. And copper foil was immersed in this solution for 30 second using the sulfuric acid concentration 150g / l and the dilute sulfuric acid solution of 30 degreeC of liquid temperature, and the surface was cleaned.

그리고, 당해 동박의 광택면에, a)공정으로서, 황산코발트 도금층(4)을 형성하였다. 황산코발트 도금층(4)의 형성은, 황산코발트(7수화물)를 20g/l, pH를 5.5로 조정하고, 액온 27℃로 한 황산코발트 도금액을 교반욕으로서 사용하고, 1A/d㎡의 전류밀도에서 15초간 전해함으로써, 흑색의 황산코발트 도금층(환산 두께가 334㎎/㎡)으로서 형성시킨 것이다. 이 때 용액 중의 코발트 이온 농도의 조정은 특별히 행하지 않았다. 단시간 전해이므로 금속이온 농도의 조정은 불필요하다고 생각했기 때문이다. 도 14에 형성시킨 황산코발트 도금층을 나타내고 있다.And the cobalt sulfate plating layer 4 was formed in the gloss surface of the said copper foil as a) process. Formation of the cobalt sulfate plating layer 4, cobalt sulfate (7-hydrate) is adjusted to 20g / l, pH to 5.5, using a cobalt sulfate plating solution with a liquid temperature of 27 ℃ as a stirring bath, current density of 1A / dm 2 Electrolysis for 15 seconds, thereby forming a black cobalt sulfate plating layer (equivalent thickness of 334 mg / m 2). At this time, the cobalt ion concentration in the solution was not particularly adjusted. This is because it is thought that adjustment of the metal ion concentration is unnecessary because it is a short time electrolysis. The cobalt sulfate plating layer formed in FIG. 14 is shown.

b)의 공정으로서, 순수를 충분히 샤워링하여 세정하고, 전열기로 분위기 온도를 150℃로 한 건조로 내에 4초간 대류시켜, 수분을 날려 보내어, 매우 양호한 색조의 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박(1)을 얻었다. 또한, 상술한 각 공정 간에는, 원칙적으로, 15초간의 순수에 의한 수세공정을 마련하여, 전처리공정의 용액을 가져오는 것을 방지하고 있다.As the process of b), pure water is sufficiently showered and washed, convection is carried out for 4 seconds in a drying furnace with an atmospheric temperature of 150 ° C. with an electric heater, and the water is blown out to provide a surface treatment having a blackened surface of very good color tone. Copper foil (1) was obtained. In addition, between each process mentioned above, the washing | cleaning process by the pure water for 15 second is provided in principle, and the import of the solution of a pretreatment process is prevented.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과, 도 3에 나타낸 것과 같은 단면을 얻을 수 있으며, 당해 흑색화 처리면의 단면 높이가 131㎚이고, 당해 흑색화 처리면의 Lab표색계에 있어서의 L값이 31, 광택도[Gs(60°)]가 24였다. 또한, 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐을 확인할 수 없었다.When the cross section of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface obtained through the above process was observed with the FIB apparatus, the cross section as shown in FIG. 3 can be obtained, The cross-sectional height of the said blackening process surface is 131 nm, L value in the Lab color system of the said blackening process surface was 31, and glossiness [Gs (60 degrees)] was 24. In addition, it was not able to confirm that the powder dropped in the tape test by attaching and detaching the adhesive tape to the blackened surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

실시예 1과 마찬가지로, 얻어진 표면처리 동박을 사용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하였다. 그 결과, 에칭 조작에 지장이 없고, 에칭 잔존물도 없어, 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Similarly to Example 1, the electromagnetic wave shielding conductive mesh was started using the obtained surface-treated copper foil. As a result, there was no problem in the etching operation, no etching residues, and very good etching was performed.

실시예 8Example 8

본 실시형태에서는, 실시예 6과 마찬가지로 전해동박의 거친면에 거침처리를 시행하지 않고, 상술한 거침처리를 행하지 않은 동박을 사용하여 흑색화 처리를 행하여, 도 2에 나타낸 제 1 표면처리 동박(1b)을 제조하고, 전자파 차폐 도전성 메쉬 형상을 에칭법으로 시험적으로 제조하여 에칭성능을 확인하였다.In the present embodiment, as in Example 6, the roughening process of the electrolytic copper foil is not performed, but the blackening treatment is performed using the copper foil which has not been subjected to the above roughening treatment, and the first surface-treated copper foil 1b shown in FIG. ) And the electromagnetic wave shielding conductive mesh shape was experimentally prepared by the etching method to confirm the etching performance.

본 실시형태에서는, 황산동 용액을 전해함으로써 얻어진 공칭 두께 15㎛의 동박을 사용하였다. 그리고, 동박을, 황산 농도 150g/l, 액온 30℃의 묽은 황산 용액을 사용하여, 이 용액에 30초 침지시켜, 표면의 청정화를 행하였다.In this embodiment, the copper foil of 15 micrometers of nominal thickness obtained by electrolyzing a copper sulfate solution was used. And copper foil was immersed in this solution for 30 second using the sulfuric acid concentration 150g / l and the dilute sulfuric acid solution of 30 degreeC of liquid temperature, and the surface was cleaned.

그리고, 당해 동박의 광택면에, a)공정으로서, 황산코발트 도금층을 형성하였다. 황산코발트 도금층의 형성은, 황산코발트(7수화물)를 20g/l, pH를 5.5로 조정하고, 액온 27℃로 한 황산코발트 도금액을 교반욕으로서 사용하고, 2A/d㎡의 전류밀도에서 7초간 전해함으로써, 흑색의 황산코발트 도금층(환산 두께가 340㎎/㎡)으로서 형성시킨 것이다. 이 때 용액 중의 코발트 이온 농도의 조정은 특별히 행하지 않았다. 단시간 전해이므로 금속이온 농도의 조정은 불필요하다고 생각했기 때문이다. 형성된 황산코발트 도금층의 형태는 도 14에 나타낸 것과 같이 관찰된다.And the cobalt sulfate plating layer was formed in the gloss surface of the said copper foil as a) process. The formation of the cobalt sulfate plating layer was performed by adjusting the cobalt sulfate (hexahydrate) to 20 g / l and pH to 5.5, using a cobalt sulfate plating solution having a liquid temperature of 27 ° C. as a stirring bath for 7 seconds at a current density of 2 A / dm 2. By electrolysis, it forms as a black cobalt sulfate plating layer (conversion thickness is 340 mg / m <2>). At this time, the cobalt ion concentration in the solution was not particularly adjusted. This is because it is thought that adjustment of the metal ion concentration is unnecessary because it is a short time electrolysis. The form of the formed cobalt sulfate plating layer is observed as shown in FIG.

b)의 공정으로서, 순수를 충분히 샤워링하여 세정하고, 전열기로 분위기 온도를 150℃로 한 건조로 내에 4초간 대류시켜, 수분을 날려 보내어, 매우 양호한 색조의 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박(1b)을 얻었다. 또한, 상술한 각 공정 간에는, 원칙적으로, 15초간의 순수에 의한 수세공정을 마련하여, 전처리공정의 용액을 가져오는 것을 방지하고 있다.As the process of b), pure water is sufficiently showered and washed, convection is carried out for 4 seconds in a drying furnace with an atmospheric temperature of 150 ° C. with an electric heater, and the water is blown out to provide a surface treatment having a blackened surface of very good color tone. Copper foil (1b) was obtained. In addition, between each process mentioned above, the washing | cleaning process by the pure water for 15 second is provided in principle, and the import of the solution of a pretreatment process is prevented.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과, 도 3에 나타낸 것과 같은 단면을 얻을 수 있으며, 당해 흑색화 처리면의 단면 높이가 124㎚이고, 당해 흑색화 처리면의 Lab표색계에 있어서의 L값이 33, 광택도[Gs(60°)]가 20이었다. 또한, 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐을 확인할 수 없었다.When the cross section of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface obtained through the above process was observed with the FIB apparatus, the cross section as shown in FIG. 3 can be obtained, The cross-sectional height of the said blackening process surface is 124 nm, L value in the Lab color system of the said blackening process surface was 33, and glossiness [Gs (60 degrees)] was 20. In addition, it was not able to confirm that the powder dropped in the tape test by attaching and detaching the adhesive tape to the blackened surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

실시예 1과 마찬가지로, 얻어진 표면처리 동박을 사용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하였다. 그 결과, 에칭 조작에 지장이 없고, 에칭 잔존물도 없어, 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Similarly to Example 1, the electromagnetic wave shielding conductive mesh was started using the obtained surface-treated copper foil. As a result, there was no problem in the etching operation, no etching residues, and very good etching was performed.

실시예 9Example 9

본 실시형태에서는, 실시예 6과 마찬가지로 전해동박의 거친면에 거침처리를 시행하지 않고, 광택면에 흑색화 처리를 행하여, 도 2에 나타낸 제 1 표면처리 동박(1b)을 제조하고, 전자파 차폐 도전성 메쉬 형상을 에칭법으로 시험적으로 제조하여 에칭성능을 확인하였다.In this embodiment, the roughening surface of the electrolytic copper foil is not subjected to roughening in the same manner as in Example 6, but the blackening treatment is performed on the glossy surface to produce the first surface-treated copper foil 1b shown in FIG. The mesh shape was experimentally prepared by the etching method to confirm the etching performance.

본 실시형태에서는, 황산동 용액을 전해함으로써 얻어진 공칭 두께 15㎛의 동박을 사용하였다. 그리고, 동박을, 황산 농도 150g/l, 액온 30℃의 묽은 황산 용액을 사용하여, 이 용액에 30초 침지시켜, 표면의 청정화를 행하였다.In this embodiment, the copper foil of 15 micrometers of nominal thickness obtained by electrolyzing a copper sulfate solution was used. And copper foil was immersed in this solution for 30 second using the sulfuric acid concentration 150g / l and the dilute sulfuric acid solution of 30 degreeC of liquid temperature, and the surface was cleaned.

그리고, 당해 동박의 광택면에, a)공정으로서, 황산코발트 도금층을 형성하였다. 황산코발트 도금층의 형성은, 황산코발트(7수화물)를 40g/l, pH를 5.5로 조정하고, 액온 27℃로 한 황산코발트 도금액을 교반욕으로서 사용하고, 1A/d㎡의 전류밀도에서 15초간 전해함으로써, 흑색의 황산코발트 도금층(환산 두께가 338㎎/㎡)로서 형성시킨 것이다. 이 때 용액 중의 코발트 이온 농도의 조정은 특별히 행하지 않았다. 단시간 전해이므로 금속이온 농도의 조정은 불필요하다고 생각했기 때문이다. 황산코발트 도금층의 형태는 도 11에 나타낸 것과 같이 관찰된다.And the cobalt sulfate plating layer was formed in the gloss surface of the said copper foil as a) process. The formation of the cobalt sulfate plating layer was performed by adjusting the cobalt sulfate (hexahydrate) to 40 g / l and pH to 5.5, using a cobalt sulfate plating solution having a liquid temperature of 27 ° C. as a stirring bath for 15 seconds at a current density of 1 A / dm 2. By electrolysis, it forms as a black cobalt sulfate plating layer (conversion thickness is 338 mg / m <2>). At this time, the cobalt ion concentration in the solution was not particularly adjusted. This is because it is thought that adjustment of the metal ion concentration is unnecessary because it is a short time electrolysis. The form of the cobalt sulfate plating layer is observed as shown in FIG.

b)의 공정으로서, 순수를 충분히 샤워링하여 세정하고, 전열기로 분위기 온도를 150℃로 한 건조로 내에 4초간 대류시켜, 수분을 날려 보내어, 매우 양호한 색조의 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박(1b)을 얻었다. 또한, 상술한 각 공정 간에는, 원칙적으로, 15초간의 순수에 의한 수세공정을 마련하여, 전처리공정의 용액을 가져오는 것을 방지하고 있다.As the process of b), pure water is sufficiently showered and washed, convection is carried out for 4 seconds in a drying furnace with an atmospheric temperature of 150 ° C. with an electric heater, and the water is blown out to provide a surface treatment having a blackened surface of very good color tone. Copper foil (1b) was obtained. In addition, between each process mentioned above, the washing | cleaning process by the pure water for 15 second is provided in principle, and the import of the solution of a pretreatment process is prevented.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과, 도 3에 나타낸 것과 같은 단면을 얻을 수 있으며, 당해 흑색화 처리면의 단면 높이가 134㎚이고, 당해 흑색화 처리면의 Lab표색계에 있어서의 L값이 34, 광택도[Gs(60°)]가 21이었다. 또한, 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐을 확인할 수 없었다.When the cross section of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface obtained through the above process was observed with the FIB apparatus, the cross section as shown in FIG. 3 can be obtained, The cross-sectional height of the said blackening process surface is 134 nm, L value in the Lab color system of the said blackening process surface was 34, and glossiness [Gs (60 degrees)] was 21. In addition, it was not able to confirm that the powder dropped in the tape test by attaching and detaching the adhesive tape to the blackened surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

실시예 1과 마찬가지로, 얻어진 표면처리 동박을 사용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하였다. 그 결과, 에칭 조작에 지장이 없고, 에칭 잔존물도 없어, 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Similarly to Example 1, the electromagnetic wave shielding conductive mesh was started using the obtained surface-treated copper foil. As a result, there was no problem in the etching operation, no etching residues, and very good etching was performed.

실시예 10Example 10

본 실시예는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 방청처리층으로서 아연-코발트 합금층을 구비한 제 2 표면처리 동박(1d)을 제조하고, 전자파 차폐 도전성 메쉬 형상을 에칭법으로 시험적으로 제조하여 에칭성능을 확인하였다. 따라서, 황산코발트 도금층에 의한 흑색화 처리층을 형성하기까지는, 실시예 7과 공통되므로, 방청처리조건에 관해서만 설명한다. 또한, 흑색의 황산코발트 도금층의 환산 두께는 실시예 7과 동일한 334㎎/㎡이다. In the present embodiment, as shown in Fig. 7, a second surface-treated copper foil 1d having a zinc-cobalt alloy layer as an antirust layer was produced, and an electromagnetic shielding conductive mesh shape was experimentally produced by an etching method. The etching performance was confirmed. Therefore, since it is common to Example 7 until the blackening process layer by a cobalt sulfate plating layer is formed, only rust prevention process conditions are demonstrated. In addition, the conversion thickness of the black cobalt sulfate plating layer is 334 mg / m <2> similar to Example 7.

여기에서는, 실시예 7의 편면에 흑색의 황산코발트 도금층의 형성이 종료된 동박의 양면에, 실시예 4와 동일한 조건에서, 양면에 아연-코발트 합금층을 형성시킨 것이다. 그리고, 실시예 1과 마찬가지로 순수를 충분히 샤워링하여 세정하고, 전열기로 분위기 온도를 150℃로 한 건조로 내에 4초간 대류시켜, 수분을 날려 보내어, 매우 양호한 색조의 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박(1d)을 얻었다. 또한, 상술한 각 공정 간에는, 원칙적으로, 15초간의 순수에 의한 수세공정을 마련하여, 전처리공정의 용액을 가져오는 것을 방지하고 있다.Here, the zinc-cobalt alloy layer was formed on both surfaces of the copper foil by which the formation of the black cobalt sulfate plating layer was finished on the single side | surface of Example 7 on both surfaces under the same conditions as Example 4. FIG. In the same manner as in Example 1, pure water was sufficiently showered and washed, convection was carried out for 4 seconds in a drying furnace at an atmospheric temperature of 150 ° C. with an electric heater, and the water was blown out to provide a surface having a blackened surface of a very good color tone. Processed copper foil (1d) was obtained. In addition, between each process mentioned above, the washing | cleaning process by the pure water for 15 second is provided in principle, and the import of the solution of a pretreatment process is prevented.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과, 도 3에 나타낸 것과 같은 단면을 얻을 수 있으며, 당해 흑색화 처리면의 단면 높이가 128㎚이고, 당해 흑색화 처리면의 Lab표색계에 있어서의 L값이 28, 광택도[Gs(60°)]가 30이었다. 또한, 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐을 확인할 수 없었다.When the cross section of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface obtained through the above process was observed with the FIB apparatus, the cross section as shown in FIG. 3 can be obtained, The cross-sectional height of the said blackening process surface is 128 nm, L value in the Lab color system of the said blackening process surface was 28, and glossiness [Gs (60 degrees)] was 30. In addition, it was not able to confirm that the powder dropped in the tape test by attaching and detaching the adhesive tape to the blackened surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

실시예 1과 마찬가지로, 얻어진 표면처리 동박을 사용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하였다. 그 결과, 에칭 조작에 지장이 없고, 에칭 잔존물도 없어, 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Similarly to Example 1, the electromagnetic wave shielding conductive mesh was started using the obtained surface-treated copper foil. As a result, there was no problem in the etching operation, no etching residues, and very good etching was performed.

실시예 11Example 11

본 실시예는, 도 9에 나타내는 바와 같은, 방청처리층으로서 아연-코발트 합금층 및 크로메이트 처리층을 구비한 제 2 표면처리 동박(1f)을 제조하고, 전자파 차폐 도전성 메쉬 형상을 에칭법으로 시험적으로 제조하여 에칭성능을 확인하였다. 따라서, 황산코발트 도금층에 의한 흑색화 처리층을 형성하기까지는, 실시예 7과 공통되므로, 방청처리조건에 관해서만 설명한다. 또한, 흑색의 황산코발트 도금층의 환산 두께는 실시예 7과 동일한 334㎎/㎡이다. This Example manufactures the 2nd surface treatment copper foil 1f provided with the zinc-cobalt alloy layer and the chromate treatment layer as an antirust process layer as shown in FIG. 9, and tests the electromagnetic wave shielding conductive mesh shape by the etching method. Preparation was carried out to confirm the etching performance. Therefore, since it is common to Example 7 until the blackening process layer by a cobalt sulfate plating layer is formed, only rust prevention process conditions are demonstrated. In addition, the conversion thickness of the black cobalt sulfate plating layer is 334 mg / m <2> similar to Example 7.

방청처리층의 형성은, 실시예 4와 마찬가지로 하여, 아연-코발트 합금 도금액을 사용하여, 양면에 아연-코발트 합금층을 형성시킨 후에, 양면에 실시예 5와 동일한 크로메이트 처리를 행한 것이다.The formation of the rust-preventing layer is performed in the same manner as in Example 4, after the zinc-cobalt alloy layer is formed on both surfaces using the zinc-cobalt alloy plating solution, and then subjected to the same chromate treatment as in Example 5 on both surfaces.

그리고, 크로메이트층의 형성이 종료되면, 순수를 충분히 샤워링하여 세정하고, 전열기로 분위기 온도를 150℃로 한 건조로 내에 4초간 대류시켜, 수분을 날려 보내어, 매우 양호한 색조의 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박(1f)을 얻었다. 또한, 상술한 각 공정 간에는, 원칙적으로, 15초간의 순수에 의한 수세공정을 마련하여, 전처리공정의 용액을 가져오는 것을 방지하고 있다.When the formation of the chromate layer is completed, the pure water is sufficiently showered and washed, convection is performed for 4 seconds in a drying furnace with an atmospheric temperature of 150 ° C. with an electric heater, and the water is blown out to give a blackened surface of very good color tone. The prepared surface-treated copper foil (1f) was obtained. In addition, between each process mentioned above, the washing | cleaning process by the pure water for 15 second is provided in principle, and the import of the solution of a pretreatment process is prevented.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과, 도 3에 나타낸 것과 같은 단면을 얻을 수 있으며, 당해 흑색화 처리면의 단면 높이가 115㎚이고, 당해 흑색화 처리면의 Lab표색계에 있어서의 L값이 29, 광택도[Gs(60°)]가 22이었다. 또한, 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐을 확인할 수 없었다.When the cross section of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface obtained through the above process was observed with the FIB apparatus, the cross section as shown in FIG. 3 can be obtained, The cross-sectional height of the said blackening process surface is 115 nm, L value in the Lab color system of the said blackening process surface was 29, and glossiness [Gs (60 degrees)] was 22. In addition, it was not able to confirm that the powder dropped in the tape test by attaching and detaching the adhesive tape to the blackened surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

실시예 1과 마찬가지로, 얻어진 표면처리 동박을 사용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하였다. 그 결과, 방청처리층이 존재하고 있어도 에칭 조작에 지장이 없고, 에칭 잔존물도 없어, 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Similarly to Example 1, the electromagnetic wave shielding conductive mesh was started using the obtained surface-treated copper foil. As a result, even if the rust-prevented layer existed, there was no problem in the etching operation, there was no etching residue and very good etching was performed.

본 발명에 따른 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박은, 흑색화 처리면으로부터의 가루 떨어짐이 없고, 또한, 통상의 구리에칭액을 사용한 에칭가공이 가능하며, 플라즈마 디스클레이 패널의 전면 패널의 전자파 차폐 도전성 메쉬에 사용함으로써, 고품질의 블랙 마스크의 형성이 가능해진다. 또한, 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박으로서의 공급이 가능하면, 전면 패널의 제조 프로세스에서의 흑색화 처리공정의 생략이 가능해진다. 게다가, 이 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박은, 상술한 제조방법을 채용함으로써, 종래의 동박 표면처리 프로세스를 사용하는 것이 가능하여 새로운 제조설비를 필요로 하지 않는다. 따라서, 고품질의 제품을 높은 수율로 제조할 수 있어, 생산 코스트 절감이 가능해 진다.The surface-treated copper foil provided with the blackening process surface which concerns on this invention is free of the powder fall from the blackening process surface, and can also be etched using the normal copper etching liquid, and the electromagnetic wave of the front panel of a plasma display panel By using it for a shielding conductive mesh, formation of a high quality black mask is attained. Moreover, if supply as a surface-treated copper foil provided with a blackening process surface is possible, the blackening process process in a manufacturing process of a front panel will be possible. Moreover, the surface-treated copper foil provided with this blackening process surface can use the conventional copper foil surface treatment process by employ | adopting the manufacturing method mentioned above, and does not require new manufacturing equipment. Therefore, a high quality product can be manufactured in a high yield, and production cost can be reduced.

Claims (16)

광택면 위에 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박으로서,A surface-treated copper foil having a blackened surface on a glossy surface, 당해 흑색화 처리면은, 동박층의 편면에 마련한 중량 두께가 200㎎/㎡~400㎎/㎡인 황산코발트 도금층이며, 또한, 이 흑색화 처리면의 단면 높이가 200㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 표면처리 동박.The said blackening process surface is a cobalt sulfate plating layer whose weight thickness provided in the single side | surface of the copper foil layer is 200 mg / m <2> -400 mg / m <2>, and the cross-sectional height of this blackening process surface is 200 nm or less, The surface characterized by the above-mentioned. Treatment copper foil. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 흑색화 처리면은, Lab표색계에 있어서의 L값이 27이상인 표면처리 동박.The said blackening process surface is surface-treated copper foil whose L value in Lab color system is 27 or more. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 흑색화 처리면에 방청처리층을 구비하는 것인 표면처리 동박.The surface-treated copper foil provided with the antirust process layer on the said blackening process surface. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 방청처리층은, 아연 또는 아연합금을 사용한 것인 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박.The rust-proof layer is a surface-treated copper foil provided with the blackening process surface which uses zinc or a zinc alloy. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 방청처리층은, 아연 또는 아연합금을 사용하여 형성시킨 층과, 크로메이트 처리층으로 이루어지는 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박.The antirust process layer is the surface-treated copper foil provided with the layer formed using zinc or a zinc alloy, and the blackening process surface which consists of a chromate treatment layer. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 흑색화 처리면은, 전해동박 또는 압연동박의 광택면에 당해 흑색화 처리면을 형성시킨 것으로, 광택도[Gs(60°)]가 30 이하인 표면처리 동박.The said blackening process surface formed the said blackening process surface in the gloss surface of an electrolytic copper foil or a rolled copper foil, and the glossiness [Gs (60 degrees)] is 30 or less surface-treated copper foil. 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 제조방법으로서, 이하의 a) 및 b)의 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 제조방법.A manufacturing method of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface, Comprising: The process of following a) and b) is provided, The manufacturing method of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface. a) 동박의 광택면에, 황산코발트(7수화물)를 8g/l~10g/l 포함하고, pH를 4.0 이상의 범위로 한 황산코발트 도금액의 무교반욕을 사용하여, 2A/d㎡ 이상의 전류 밀도로 전해하여, 흑색계의 황산코발트 도금층을 형성시킨다.a) At the current density of 2 A / dm 2 or more, using an unstirred bath of a cobalt sulfate plating solution containing 8 g / l to 10 g / l of cobalt sulfate (hexahydrate) on the gloss surface of the copper foil and having a pH of 4.0 or more. Electrolysis is carried out to form a black cobalt sulfate plating layer. b) 그 후 수세하고 건조한다.b) then washed with water and dried. 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 제조방법으로서, 이하의 a) 및 b)의 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 제조방법.A manufacturing method of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface, Comprising: The process of following a) and b) is provided, The manufacturing method of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface. a) 동박의 광택면에, 황산코발트(7수화물)를 10g/l~40g/l 포함하며, pH를 4.0 이상, 액온 30℃ 이하로 한 황산코발트 도금액을 교반욕으로서 사용하고, 4A/d㎡ 이하의 전류밀도로 전해하여, 흑색계의 황산코발트 도금층을 형성시킨다.a) Cobalt sulfate plating liquid containing 10 g / l-40 g / l of cobalt sulfate (7-hydrate) in the gloss surface of copper foil, and using pH as 4.0 or more and 30 degreeC or less of liquid temperature as a stirring bath, 4A / dm <2> Electrolysis is carried out at the following current densities to form a black cobalt sulfate plating layer. b) 그 후 수세하고 건조한다.b) then washed with water and dried. 방청처리층 및 흑색화 처리면을 구비한 제조방법으로서, 이하의 a)~c)의 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 제조방법.The manufacturing method provided with the rust-proof layer and the blackening process surface, Comprising: The process of following a) -c), The manufacturing method of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface characterized by the above-mentioned. a) 동박의 광택면에, 황산코발트(7수화물)를 8g/l~10g/l 포함하고, pH를 4.0 이상의 범위로 한 황산코발트 도금액을 무교반욕으로서 사용하고, 2A/d㎡ 이상의 전류 밀도로 전해하여, 흑색계의 황산코발트 도금층을 형성시킨다.a) A cobalt sulfate plating solution containing 8 g / l to 10 g / l of cobalt sulfate (hexahydrate) on the gloss surface of the copper foil and using a cobalt sulfate plating solution having a pH of 4.0 or more as an unstirred bath, at a current density of 2 A / dm 2 or more. Electrolysis is carried out to form a black cobalt sulfate plating layer. b) 흑색의 황산코발트 도금층을 형성시킨 동박의 양면 또는 편면에, 방청처리층을 형성시킨다.b) The antirust process layer is formed in the both surfaces or single side | surface of the copper foil in which the black cobalt sulfate plating layer was formed. c) 그 후 수세하고 건조한다.c) then washed with water and dried. 방청처리층을 구비한 흑색화 처리면을 구비하는 표면처리 동박의 제조방법으로서, As a manufacturing method of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface provided with the antirust process layer, 이하의 a)~c)의 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 제조방법.The manufacturing method of the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface characterized by including the process of the following a) -c). a) 동박의 광택면에, 황산코발트(7수화물)를 10g/l~40g/l 포함하고, pH를 4.0 이상, 액온 30℃ 이하로 한 황산코발트 도금액을 교반욕으로서 사용하고, 4A/d㎡ 이하의 전류 밀도로 전해하여, 흑색계의 황산코발트 도금층을 형성시킨다.a) 4A / dm <2> using the cobalt sulfate plating liquid which contains 10 g / l-40 g / l of cobalt sulfate (7-hydrate) in the gloss surface of copper foil, and made pH more than 4.0 and 30 degrees C or less of liquid temperature, Electrolysis is carried out at the following current densities to form a black cobalt sulfate plating layer. b) 흑색의 황산코발트 도금층을 형성시킨 동박의 양면 또는 편면에, 방청처리층을 형성시킨다.b) The antirust process layer is formed in the both surfaces or single side | surface of the copper foil in which the black cobalt sulfate plating layer was formed. c) 그 후 수세하고 건조한다.c) then washed with water and dried. 제 1항에 기재된 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박을 사용하여 형성시킨 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메쉬.The electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panels of the plasma display formed using the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface of Claim 1. 제 2항에 기재된 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박을 사용하여 형성시킨 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메쉬.The electromagnetic wave shielding conductive mesh for a front panel of the plasma display formed using the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface of Claim 2. 제 3항에 기재된 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박을 사용하여 형성시킨 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메쉬.The electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panels of the plasma display formed using the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface of Claim 3. 제 4항에 기재된 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박을 사용하여 형성시킨 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메쉬.The electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panels of the plasma display formed using the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface of Claim 4. 제 5항에 기재된 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박을 사용하여 형성시킨 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메쉬.The electromagnetic wave shielding conductive mesh for a front panel of the plasma display formed using the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface of Claim 5. 제 6항에 기재된 흑색화 처리면을 구비한 표면처리 동박을 사용하여 형성시킨 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메쉬.The electromagnetic wave shielding conductive mesh for a front panel of the plasma display formed using the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface of Claim 6.
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