KR100738164B1 - Bronzing-surface-treated copper foil, process for producing the same, and electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panel of plasma display utilizing the bronzing-surface-treated copper foil - Google Patents

Bronzing-surface-treated copper foil, process for producing the same, and electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panel of plasma display utilizing the bronzing-surface-treated copper foil Download PDF

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Abstract

가루 떨어짐이 없는 균일한 색조의 갈색화 처리층을 구비하고, 또한 에칭 가공이 더 용이해지도록 에칭 저해 요인이 되는 이종(異種) 금속을 포함하지 않는 표면처리 동박을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이 목적을 달성하기 위해 다단계로 행하는 구리 도금에 의해 형성된 갈색화 처리면을 구비하는 동박으로서, 상기 갈색화 처리면의 단면 높이가 150nm 이하인 갈색화 표면처리 동박을 이용한다. 또한, 이 갈색화 처리면은 Lab표색계에서의 a값이 4.0 이하인 등의 특징을 가지는 것이다. 이 표면처리 동박은 기본적으로 공정 a(기초 도금 처리 공정), 공정 b(추가 도금 처리 공정), 공정 c.(피복 도금 처리 공정), 공정 d(마무리 도금 처리 공정), 공정 e(세정·건조 공정)를 거쳐 제조된다.An object of the present invention is to provide a surface-treated copper foil having a browning treatment layer having a uniform color tone without powder dropping, and which does not contain a dissimilar metal which becomes an etching inhibiting factor so as to facilitate etching processing. In order to achieve this object, as a copper foil provided with the browning process surface formed by copper plating performed in multiple steps, the browning surface treatment copper foil whose cross-sectional height of the said browning process surface is 150 nm or less is used. In addition, this browning process surface has the characteristics that the a value in Lab color system is 4.0 or less. This surface-treated copper foil is basically a process a (base plating process), a process b (additional plating process), a process c. (Coating plating process), a process d (finishing plating process), a process e (cleaning and drying) Process).

Description

갈색화 표면처리 동박 및 그 제조방법 및 이 갈색화 표면처리 동박을 이용한 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메쉬{Bronzing-surface-treated copper foil, process for producing the same, and electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panel of plasma display utilizing the bronzing-surface-treated copper foil}Browning-surface-treated copper foil, process for producing the same, and electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panel of plasma display utilizing the bronzing-surface-treated copper foil}

차갈색(茶褐色)화 처리면을 구비하는 표면처리 동박, 이 표면처리 동박의 제조방법 및 이 표면처리 동박을 이용한 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메쉬에 관한 것이다.A surface-treated copper foil having a tea-brownened surface, a manufacturing method of the surface-treated copper foil, and an electromagnetic wave shielding conductive mesh for a front panel of a plasma display using the surface-treated copper foil.

플라즈마 디스플레이 패널의 쉴드용 도전성 메쉬는 금속화 섬유 직물에서 도전성 메쉬로 변천되어 왔다. 이 도전성 메쉬의 제조에는 몇 가지 방법이 확립되어 있다. 그 중 하나는 표면처리 동박을 PET필름에 라미네이트하여 접착시키고 포토리소그래프 에칭법을 이용하여 제조하는 것이다. 그리고 또 하나는 표면처리 동박을 지지기재와 함께 포토리소그래프 에칭법으로 에칭한 후 지지기재를 벗겨낸 표면처리 동박 단체(單體)의 도전성 메쉬이다.BACKGROUND OF THE INVENTION Conductive meshes for shielding plasma display panels have been transformed from metallized fiber fabrics to conductive meshes. Several methods are established for manufacture of this conductive mesh. One of them is to laminate the surface-treated copper foil on a PET film and to bond it, and to manufacture the photolithographic etching method. The other is a conductive mesh of the surface-treated copper foil single body in which the surface-treated copper foil is etched together with the supporting substrate by a photolithography etching method and then the supporting substrate is peeled off.

또한, 근래의 에너지 절약의 요구에 따라 플라즈마 발생신호 전압을 200V에서 50V 레벨을 목표로 하여 개발이 진행되고 있으며, 당해 전압 저하에 수반되는 휘도의 감소에 대응하기 위하여 도전성 메쉬의 회로폭을 세선화하여 도전성 메쉬에 의한 전면 글래스 패널의 피복률을 감소시키는 시도가 행해져 왔다. 이를 위해, 도전성 메쉬의 두께를 얇게 하여 에칭 가공을 용이하게 하는 시도가 행해져 왔다. 그 중 하나가 PET필름 위에 스퍼터링 증착법에 의해 전기 도금의 시드(seed)가 되는 시드층을 형성시킨 후 전해 구리도금 등으로 얇은 구리층을 형성하고 포토리소그래프 에칭법으로 메쉬선폭을 미세화한 도전성 메쉬 제조가 행해져 왔다.In addition, with the recent demand for energy saving, development is underway aiming at a plasma generation signal voltage of 200V to 50V level, and the circuit width of the conductive mesh is thinned in order to cope with the decrease in luminance accompanying the voltage drop. Attempts have been made to reduce the coverage of the front glass panel by the conductive mesh. To this end, attempts have been made to make the thickness of the conductive mesh thin to facilitate the etching process. One of them forms a seed layer which becomes a seed of electroplating by sputtering deposition method on the PET film, and then forms a thin copper layer by electrolytic copper plating, etc., and refines the mesh line width by photolithography etching. Manufacturing has been done.

이러한 방법들 중 어떠한 방법으로 도전성 메쉬가 제조되더라도 도전성 메쉬 자체는 전면 패널 안에 삽입되어 전면 글래스를 통하여 표면에서 눈으로 직접 확인가능하므로, 이 도전성 메쉬로 가공되는 표면처리 동박의 편면은 차갈색에서 흑색의 암색 상태로 처리되어 투과광의 휘도를 끌어올리도록 한다. 종래부터 이 처리에는 다층 프린트 배선판의 기술인 내층 회로와 수지층의 접착성 향상을 위해 행하는 흑화처리, 니켈 또는 코발트 등의 이종 금속을 이용한 표면처리가 전용(轉用)되어 왔다.Even if the conductive mesh is manufactured by any of these methods, the conductive mesh itself is inserted into the front panel and directly visible from the surface through the front glass, so that one side of the surface-treated copper foil processed with the conductive mesh is tea brown to black. It is processed in the dark state of to raise the brightness of transmitted light. Conventionally, this treatment has been dedicated to the surface treatment using a dissimilar metal such as blackening, nickel or cobalt, which is performed to improve the adhesion between the inner layer circuit and the resin layer, which are techniques of a multilayer printed wiring board.

비특허문헌 1: PDP재료의 기술동향 히타치 케미칼 테크니컬 리포트 제 33호(1999-7)Non-Patent Document 1: Technical Trends of PDP Materials Hitachi Chemical Technical Report No. 33 (1999-7)

특허문헌 1: 일본 특허 공개 평 11-186785호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-186785

특허문헌 2: 일본 특허 공개 2000-31588호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-31588

발명이 해결하고자 하는 과제Problems to be Solved by the Invention

그러나 상술한 흑화처리에는 중대한 문제점이 있었다. 즉, 동박 표면에 구리의 흑색산화물을 많이 부착시키면 확실히 양호한 흑색화면을 얻을 수 있으나 동박 표면에 형성시킨 구리의 흑색산화물은 부착량이 많아질수록 흑색화면으로부터 탈락되기 쉬워져 소위 가루가 떨어지는 현상이 일어나 흑화처리면이 손상을 입기 쉬워 핸들링이 곤란해진다.However, the above-mentioned blackening process had a serious problem. In other words, if a large amount of black oxide of copper is attached to the surface of copper foil, a good black screen can be surely obtained. However, as the amount of adhesion increases, the black oxide of copper formed on the surface of copper foil is more likely to fall out of the black screen, so that a phenomenon of falling powder occurs. The blackened surface is easily damaged, and handling becomes difficult.

가루 떨어짐 현상이 발생하면 탈락된 흑색산화물이 불필요한 곳에 혼입되거나, 전면 패널의 글래스와 일체화시키기 위한 투명화처리 시에 투명접착체층으로 분산되어 투명도를 열화시키는 요인도 될 수 있는 것이다.When the powder fall occurs, the black oxide dropped out may be mixed in an unnecessary place, or may be a factor that degrades the transparency by dispersing it into the transparent adhesive layer during the transparent treatment for integrating the glass of the front panel.

한편으로, 양호한 흑색화면 형성이 가능한 흑색화 처리로서, 일반적인 흑색 니켈 도금, 황화 니켈 도금, 코발트 도금 등이 검토되어 왔으나, 통상의 구리 에칭 프로세스에서 흑색화 처리면측으로부터의 에칭가공이 불가능하다는 문제가 발생하고 있었다. 특히, 코발트나 니켈을 다량으로 석출시킨 흑색화 처리면을 가지는 표면처리 동박은 가루가 떨어지는 문제도 해결할 수 없으며, 고가인 니켈 등의 다량 사용으로 인해 고가의 제품이 되고 있었다.On the other hand, as a blackening treatment capable of forming a good black screen, general black nickel plating, nickel sulfide plating, cobalt plating, and the like have been studied, but the problem that etching processing from the blackening treatment surface side in the ordinary copper etching process is impossible is difficult. It was happening. In particular, the surface-treated copper foil having a blackened surface in which cobalt and nickel are deposited in large amounts cannot solve the problem of falling powder, and has been an expensive product due to the use of a large amount of expensive nickel or the like.

한편으로, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조기술이 성숙되어, 종래에는 단순히 양호한 흑색화면을 가지는 표면처리 동박이 요구되어 왔으나 제조 기술 및 관리의 고도화에 수반하여 전자파 차폐 메쉬의 흑색도에 높은 레벨은 필요하지 않으며 오히려 저가에 에칭 가공이 용이하고 빛의 투과도가 안정된 개구율이 높은 메쉬 패턴을 가지는 전자파 차폐 메쉬가 요구되게 되었다.On the other hand, the manufacturing technology of the plasma display panel has matured, and conventionally, a surface-treated copper foil having a simply good black screen has been required. However, with the advancement of manufacturing technology and management, a high level of blackness of the electromagnetic shielding mesh is not required. Rather, there is a need for an electromagnetic shielding mesh having a mesh pattern having a high aperture ratio in which etching processing is easy and the light transmittance is stable at low cost.

따라서, 현재 시장에 유통되고 있는 코발트의 흑색계 도금 피막을 구비한 동박에는 구리의 에천트를 이용한 코발트층의 에칭가공이 곤란하다는 문제가 발생하여, 이종 금속을 감량하여 차갈색 색조의 동박으로 하는 시도가 되어 왔다.Therefore, a problem arises in that the copper foil with the cobalt black plating film currently distributed on the market is difficult to etch from the cobalt layer using copper etchant. It has been an attempt.

확실히, 저가라는 조건을 만족시키면서 에칭이 용이하다는 점을 고려하면 표면처리 동박의 표면을 흑색화하지 않고 코발트 등의 부착량을 줄여 차갈색 상태로 시장에 공급하는 것이 향후 예측되게 된다. 그러나 이 역시 코발트나 니켈 등의 이종 금속을 이용하는 것에는 아무런 변화가 없어 에칭 폐액 처리의 부하도 크고 에칭 저해 요인이 되는 이종 금속을 포함하지 않는 동박과의 에칭 성능의 차이를 완전히 없애는 것은 불가능하다.Certainly, considering that the etching is easy while satisfying the low-cost condition, it is expected to supply to the market in a brown-brown state by reducing the adhesion amount of cobalt or the like without blackening the surface of the surface-treated copper foil. However, there is no change in the use of dissimilar metals such as cobalt or nickel, so that it is impossible to completely eliminate the difference in etching performance with the copper foil which does not contain dissimilar metals, which causes a large load of etching waste treatment and inhibits etching.

게다가, 종래의 차갈색의 표면을 가지는 표면처리 동박의 결점은 그 차갈색면의 색이 균일하지 않아 전면에 얼룩이 생기는 점이었다. 즉, 동일면 내에서의 차갈색 처리의 균일화가 되어 있지 않은 것으로, 엄밀히 말하면 그 차갈색면으로부터 에칭 가공을 하고자 할 때에 에칭하여 얻어지는 메쉬의 단면 형상의 편차를 일으키는 원인이 되고 있던 것이다. 게다가, 이 차갈색면은 무광택 상태이며 그 표면을 가볍게 마찰하기만 해도 손상을 입기 쉬운 것이었다.Moreover, the drawback of the surface-treated copper foil which has the conventional tea-brown surface was the point that the color of the tea-brown surface is not uniform, and a stain arises on the whole surface. That is, since the browning-brown processing in the same plane is not uniformized, it is causing the deviation of the cross-sectional shape of the mesh obtained by etching, when speaking to carry out etching processing from the said brown-brown surface strictly. In addition, the tea-brown surface was matt and easily damaged by rubbing lightly on its surface.

따라서, 시장에서는 균일한 차갈색을 가진 차갈색화 처리층을 구비하고 또한 에칭 가공이 더욱 용이해지도록 에칭 저해 요인이 되는 이종 금속을 포함하지 않는 플라즈마 디스플레이 패널의 전자파 차폐 메쉬용 표면처리 동박이 요구되어 온 것이다.Therefore, there is a need in the market for a surface-treated copper foil for a plasma shielding panel of a plasma display panel having a tea browning treatment layer having a uniform tea brown color and not containing a dissimilar metal that is an etch inhibiting factor so as to facilitate etching processing. Came.

과제를 해결하기 위한 수단Means to solve the problem

여기서, 본 발명자 등은 연구를 거듭한 결과, 이하에 나타내는 바와 같은 제조방법으로 표면처리 동박을 제조하면 종래에는 없는, 에칭 저해 요인이 되는 이종 금속을 포함하지 않는 표면처리 동박을 얻을 수 있음에 이른 것이다.Here, the inventors of the present invention have repeatedly studied, and when the surface-treated copper foil is manufactured by the manufacturing method as described below, it is possible to obtain a surface-treated copper foil which does not include a dissimilar metal which is conventionally a factor of inhibiting etching. will be.

<갈색화 표면처리 동박><Brownish surface treatment copper foil>

이하에 기술하는 갈색화 표면처리 동박은 후술하는 제조방법과 같이 다단계로 행하는 구리 도금에 의해 형성된 갈색화 처리면을 구비하는 동박이다. 본 발명에 있어서, ‘다단계로 행하는 구리 도금’이란, 1회의 도금 처리 조작에 의해 형성되는 것이 아니라 2회 이상의 복수회의 도금 처리 조작을 채용한 구리 도금 처리를 말한다. 여기서, 하지의 동박으로는 전해동박 또는 압연동박의 어느 것이라도 이용하는 것이 가능하다. 그리고 전해동박을 이용한 경우에는 그 광택면 또는 거친면의 어느 쪽이라도 선택적으로 사용하는 것이 가능해진다.The browned surface-treated copper foil described below is a copper foil provided with the browning process surface formed by copper plating performed in multiple steps like the manufacturing method mentioned later. In the present invention, the term "copper plating performed in multiple stages" refers to a copper plating process employing two or more plating treatment operations rather than being formed by one plating treatment operation. Here, as the base copper foil, any of electrolytic copper foil or rolled copper foil can be used. And when electrolytic copper foil is used, it becomes possible to selectively use either the glossy surface or the rough surface.

본 발명에 따른 표면처리 동박이 가지는 제 1 특색은 그 갈색화 처리면의 표면 형상이 매우 거친 것이 아니며 당해 갈색화 처리면이 가지는 단면 높이가 150㎚ 이하인 점이 제 1 특징이다. 즉, 매우 매끄러우며 광택을 가지는 갈색화 처리면이라고 할 수 있다. 단, 오해를 일으키지 않기 위하여 명기하여 두는데, 통상의 제조공정 범위 내에 있어서의 편차가 존재하는 것은 당연하며 반드시 모든 위치에서의 단면높이가 150㎚ 이하일 필요는 없으며 제조공정의 편차를 반영한 정도에서 150㎚를 넘는 단면 높이가 존재하는 경우가 있는 것은 당연하다. 본 발명에 따른 표면처리 동박(1)의 갈색화 처리면(2)의 단면 높이를 측정하기 위하여 FIB분석장치를 이용하여 단면 관찰한 FIB관찰상을 도 1에 도시한다. 이 도 1에는 전해동박의 광택면에 갈색화 처리면을 형성시킨 것을 나타내고 있다. 한편, 이 FIB관찰상은 피관찰면에 대하여 60°각도 방향에서 관찰한 것이다.The 1st characteristic with the surface-treated copper foil which concerns on this invention is that the surface shape of the browning process surface is not very coarse, and the cross-sectional height which the said browning process surface has is 150 nm or less, The 1st characteristic is a 1st characteristic. That is, it can be said that it is the browning process surface which is very smooth and has a gloss. However, in order to avoid misunderstanding, it is specified that there is a deviation within the normal manufacturing process range, and the cross-sectional height at all positions does not necessarily need to be 150 nm or less, and 150 to the degree that reflects the deviation of the manufacturing process. Naturally, the cross-sectional height exceeding nm may exist. The FIB observation image observed in the cross section using the FIB analysis apparatus in order to measure the cross-sectional height of the browning process surface 2 of the surface-treated copper foil 1 which concerns on this invention is shown in FIG. In FIG. 1, the browning process surface was formed in the glossy surface of the electrolytic copper foil. On the other hand, this FIB observation image is observed at a 60 ° angle with respect to the observed surface.

이 도 1에서 알 수 있는 바와 같이, 갈색화 처리면의 단면에는 일정한 요철이 존재하는 것을 알 수 있으며, 이와 같은 요철을 모니터하는 경우, 촉침(觸針)식 표면 거칠기 측정계를 이용하는 것이 일반적이다. 그러나 도 1의 스케일에서 알 수 있는 바와 같이, 표면 거칠기 측정계로는 정확한 거칠기 측정이 불가능한 레벨의 요철인 것으로 생각된다. 그래서, 본 발명에서는 표면 거칠기 측정계로 측정한 경우의 Rmax에 대응하는 값으로서 FIB관찰상의 시야에서 마루부와 골부의 최대 차이를 ‘단면 높이’로 하고 있는 것이다. 이 도 1 중 ‘d’로 나타내는 곳이 도 1의 단면 높이가 되며 약 80㎚로 판단할 수 있다. 게다가, 도 1에 있어서, 갈색화 처리면(2)은 매우 균일한 두께로 동박 표면의 형상을 따라 형성되어 있으며, 하지의 동박 표면과 완전히 밀착된 상태를 유지하고 있고, 갈색화 처리면(2)이 유리되는 등의 불량이 발생한 곳이 발견되지 않으며, 가루 떨어짐이 예상되는 곳도 찾아볼 수 없다.As can be seen from FIG. 1, it can be seen that certain irregularities exist in the cross section of the browning surface, and when monitoring such irregularities, it is common to use a stylus type surface roughness measuring system. However, as can be seen from the scale of FIG. 1, it is considered that the surface roughness measurement system is an unevenness at a level at which accurate roughness measurement is impossible. Therefore, in the present invention, the maximum difference between the floor and the valley in the field of view on the FIB observation is set to the 'cross section height' as a value corresponding to Rmax when measured by the surface roughness measurement system. In Fig. 1, the area indicated by 'd' becomes the cross-sectional height of Fig. 1 and can be determined as about 80 nm. In addition, in FIG. 1, the browning process surface 2 is formed along the shape of the surface of copper foil with a very uniform thickness, maintains the state in which it fully adhered to the copper foil surface of the base, and the browning process surface 2 is No defects such as glass are found, and no powder is expected to fall.

이에 비해, 종래의 갈색화 처리면을 구비하는 동박의 갈색화 처리면을 상술한 것과 동일하게 단면에서 FIB관찰하면 도 2에 나타내는 바와 같은 결과가 된다. 즉, 갈색화 처리면을 구성하는 형상이 수지(樹枝)상으로 성장하고 하지의 동박으로부터 상당히 돌출된 상태가 되어 있음을 알 수 있다. 따라서, 이때의 단면 높이(d)를 측정하면 약 180㎚가 되어 상당히 거친 표면이 되어 있음을 알 수 있다. 게다가, 이와 같은 수지형상을 가진 갈색화 처리면은 그 수지상 부위가 부러지기 쉬워 손상을 받기 쉬운 표면이라고도 말할 수 있으며, 또한 부러진 단편이 탈락하면 가루 떨어짐이 발생하는 것도 당연하여 갈색화 처리 표면을 눈으로 봤을 때 색 얼룩을 일으키는 원인이 되고 있는 것으로 생각된다.On the other hand, when FIB observation is carried out from the cross section similarly to the above-mentioned browning process surface of the copper foil provided with the conventional browning process surface, it will result as shown in FIG. That is, it turns out that the shape which comprises the browning process surface grows in resin shape, and is in the state which protruded considerably from the copper foil of a base. Therefore, when the cross-sectional height d at this time is measured, it turns out that it is about 180 nm, and it becomes a very rough surface. In addition, the browning surface having such a dendritic shape may be said to be a surface that is susceptible to breakage of the dendritic region, and that the fall of powder may occur when the broken fragments fall off, and the browning surface may be viewed by eye. It is thought that it is causing color unevenness.

이상에 기술한 본 발명에 따른 표면처리 동박은 도 1의 FIB단면관찰상으로부터 매우 매끄러운 표면을 가지고 있음을 알 수 있다. 그러나 광택이 있는 갈색화 처리이기는 하나 갈색화 처리표면이 받은 빛을 난반사할 정도의 광택을 가지는 것은 아니어서, 전해동박의 광택면 및 압연동박의 표면에 갈색화 처리를 시행한 경우에도 Lab표색계에서의 a값이 4.0 이하가 되는 것이다. 여기서 4.0 이하로 기재하고 있는 바와 같이, 광택으로서 마이너스의 값을 나타내는 무광택 상태도 포함하는 것이다. 이와 같은 무광택 상태의 갈색화 처리면은 전해동박의 거친면에 갈색화 처리를 행한 경우에 형성되기 쉬운 것이다.It can be seen that the surface-treated copper foil according to the present invention described above has a very smooth surface from the FIB cross-sectional view of FIG. 1. However, although it is a glossy browning treatment, it does not have a gloss enough to diffusely reflect the light received by the browning surface. It will be 4.0 or less. As described here with 4.0 or less, it also includes the matte state which shows the negative value as glossiness. Such a matte-treated surface in a matte state is likely to be formed when the roughened surface of the electrolytic copper foil is subjected to a browning treatment.

갈색화 처리면의 표면이 무광택 상태인지 여부는 Lab표색계보다 광택도를 이용하여 나타내는 편이 바람직하다. 그러나 본 발명에 따른 갈색화 처리면의 광택도는 갈색화 처리면을 형성하는 하지의 종류에 따라 분류해야 한다. 하나는, 상기 갈색화 처리면은 전해동박의 광택면 또는 압연동박의 표면에 당해 갈색화 처리면을 형성시킨 경우에는 광택도[Gs(60°)]가 10 이하인 것이 바람직하다. 광택도가 10 이상이 되면 소위 흑광하는 상태가 되어 금속광택이 눈에 띄게 되기 때문이다. Whether the surface of the browning surface is in a matte state is more preferable to use glossiness than the Lab color system. However, the glossiness of the browned surface according to the present invention should be classified according to the type of the base forming the browned surface. First, when the said browning process surface forms the said browning process surface in the gloss surface of electrolytic copper foil or the surface of a rolled copper foil, it is preferable that glossiness [Gs (60 degrees)] is 10 or less. This is because when the glossiness is 10 or more, it becomes a so-called black light state and the metallic luster becomes noticeable.

그리고 전해동박의 거친면과 같이 요철이 있는 하지를 선택한 경우의 당해 갈색화 처리면은 광택도[Gs(60°)]가 3 이하인 것이 바람직하다. 광택도가 3 이상이 되면 갈색화 처리면을 구성하는 그을림 도금과의 관계로 인해 가루 떨어짐이 발생하기 쉬운 표면이 될 가능성이 높기 때문이다.And it is preferable that glossiness [Gs (60 degrees)] is 3 or less for the said browning process surface at the time of selecting the base material with an unevenness | corrugation like the rough surface of an electrolytic copper foil. This is because when the glossiness is 3 or more, it is highly likely to be a surface that is likely to cause powder fall due to the relationship with the burn-up plating constituting the browned surface.

또한, 상기 갈색화 처리면에 방청처리층을 구비하는 것으로 하는 것도 바람직하다. 본 발명에 따른 표면처리 동박의 장기 보존성을 확보할 수 있기 때문이다. 이 방청처리층에는, 갈색화 처리층의 변색을 일으키는 일이 없으며 또한 구리 에칭액에 의해 용이하게 용해가능한 것이면 아연, 황동 등의 무기방청, 벤조트리아졸(benzotriazole), 이미다졸(imidazole) 등의 유기방청 등 어느 것이든 이용할 수 있다.Moreover, it is also preferable to provide an antirust process layer in the said browning process surface. It is because long-term storage property of the surface-treated copper foil which concerns on this invention can be ensured. If the antirust process layer does not cause discoloration of the browning process layer and can be easily dissolved by a copper etching solution, inorganic antirust agents such as zinc and brass, organic antirust agents such as benzotriazole and imidazole, etc. Etc. can be used.

<갈색화 처리면을 구비하는 표면처리 동박의 제조방법><The manufacturing method of the surface-treated copper foil provided with the browning process surface>

(갈색화 처리면을 구비하는 표면처리 동박의 제조방법 1)(Manufacturing method 1 of the surface-treated copper foil provided with the browning process surface)

본 발명에 따른 갈색화 처리면을 구비하는 표면처리 동박의 기본적인 제조방법은 이하의 공정 a ~ 공정 e의 각 공정을 구비하는 것이다. 그리고 갈색화 처리면을 형성하는 구리 도금을 1회 도금 조작으로 형성하는 것이 아니라 복수회의 도금 공정으로 나누어 다단계로 구리 도금을 행하는 점에 특징을 가지는 것이다. 이하, 공정별로 설명한다.The basic manufacturing method of the surface-treated copper foil provided with the browning process surface which concerns on this invention is equipped with each process of the following process a-process e. The copper plating forming the browning surface is not formed by one plating operation but is divided into a plurality of plating processes, and the copper plating is performed in multiple steps. The process will be described below.

공정 a: 황산구리계 도금 용액을 그을림 도금 조건으로 이용하여 동박의 표면은 갈색으로 하기 위한 최초의 도금 처리(이하, ‘기초 도금 처리’라고 칭한다.)로 본 발명에서 기초 도금 처리 공정이라고 칭한다. Process a: The first plating treatment (hereinafter, referred to as "base plating treatment") for making the surface of copper foil brown using copper sulfate type plating solution as the burn-up plating condition is called a basic plating treatment process in this invention.

여기서, 기초 도금 공정에서 피도금 대상이 되는 동박은 거침 처리를 행한 것이든 행하지 않은 것이든 상관없다. 이 거침 처리란 접합시키는 기재 등과의 양호한 밀착성을 얻기 위해 행해지는 것으로, 미세한 구리 입자를 부착시키거나 흑색으로 보이는 구리 산화물을 부착시키는 등의 방법에 의해 의도적으로 거칠게 한 것이다.Here, the copper foil which is to be plated in the basic plating step may be subjected to rough treatment or not. This roughening process is performed in order to obtain favorable adhesiveness with the base material to be bonded, etc., and is roughened intentionally by a method such as attaching fine copper particles or attaching a copper oxide that appears black.

이 기초 도금 공정에서는 소위 구리의 그을림 도금 조건으로 도금 처리를 행하는 것이다. 단, 이 기초 도금 공정에서 행하는 그을림 도금은 어느 정도의 요철을 동박 표면에 형성하기 위한 핵을 형성하기 위한 것으로, 주사형 전자 현미경으로 기초 도금 공정 후의 동박 표면을 관찰하더라도 명확하게 거칠어진 상태로는 보이지 않는 것이다.In this basic plating process, plating process is performed on what is called the burn-in plating condition of copper. However, the burn-up plating performed in this basic plating process is for forming the nucleus for forming some unevenness | corrugation on the copper foil surface, and even if it observes the copper foil surface after a basic plating process with a scanning electron microscope clearly in a rough state, It is invisible.

따라서, 이 기초 도금 공정에서 전착하는 그을림 도금량은, 완전히 평활하고 평탄한 평면으로 도금 처리했을 때의 환산 두께(이하, 간단히 ‘환산 두께’라고 칭한다.)로서 300㎎/㎡ ~ 600㎎/㎡ 정도의 전착량으로 해야 한다. 300㎎/㎡ 미만의 경우에는 충분한 거침 처리를 하기 위한 핵이 형성되었다고 할 수 없어 후술하는 추가 도금 처리를 하더라도 양호한 갈색화 처리면을 형성할 수 없는 것이다. 한편, 600㎎/㎡을 초과한 경우에는 후술하는 추가 도금 처리를 행하면 거침 처리가 지나치게 진행되어 가루가 떨어지기 쉬운 갈색화 처리 표면이 형성되는 것이다.Accordingly, the amount of burnt plating electrodeposited in this basic plating step is about 300 mg / m 2 to 600 mg / m 2 as the converted thickness (hereinafter, simply referred to as “converted thickness”) when plating is performed on a completely smooth and flat plane. It should be electrodeposition amount. If it is less than 300 mg / m <2>, it cannot be said that the nucleus for sufficient roughening process was formed, and even if it performs the further plating process mentioned later, a favorable browning process surface cannot be formed. On the other hand, when it exceeds 600 mg / m <2>, when the further plating process mentioned later is performed, a roughening process will progress too much and the browning process surface which is easy to fall powder is formed.

여기에서의 그을림 도금의 조건은 특별히 한정되는 것은 아니며 생산 라인의 특질을 고려하여 정해지는 것이다. 예를 들어, 황산구리계 용액을 이용하는 것이면 농도가 구리 5 ~ 20g/l, 황산 50 ~ 200g/l, 그 외 필요에 따른 첨가제(α-나프토 퀴놀린, 덱스트린, 아교, 티오요소 등), 액온 15 ~ 40℃, 전류 밀도 10 ~ 50A/d㎡의 조건으로 하는 등이다.The conditions of the burn-in plating here are not specifically limited, It is decided in consideration of the characteristic of a production line. For example, if a copper sulfate-based solution is used, the concentration is 5 to 20 g / l copper, 50 to 200 g / l sulfuric acid, and other additives as necessary (α-naphthoquinoline, dextrin, glue, thiourea, etc.), liquid temperature 15 It is set as the conditions of -40 degreeC and the current density of 10-50 A / dm <2>.

공정 b: 이 공정은 기초 도금 처리된 동박의 표면에 황산구리계 도금 용액을 그을림 도금 조건으로 이용하여 1회 이상의 추가 도금 처리를 행하는 추가 도금 처리 공정이다. 이 추가 도금 처리 공정에 있어서의 그을림 도금 조건은 공정 a.와 동일한 조건을 채용해도 무방하나, 공정 a.에서 동박의 표면에 요철을 형성하게 되는 핵이 존재하고 있으므로 전류 밀도를 공정 a.의 경우의 반 이하로 함으로써 하지의 핵에 대한 전류 집중을 방지하여 불필요한 이상 석출을 방지하는 것이 바람직하다. 즉, 공정 a에 있어서 그을림 도금을 행할 때에 채용하는 전류 밀도(Ia)에 대하여, 공정 b에서 그을림 도금을 행할 때에 채용하는 전류 밀도(Ib)는 Ia의 50% 이하의 전류 밀도로 하는 것이다. Process b: This process is an additional plating process process which performs one or more additional plating processes using the copper sulfate type plating solution on the surface of the base-plated copper foil as burn-in plating conditions. The burn-in plating conditions in this additional plating process may employ the same conditions as in step a. However, since a nucleus is formed on the surface of the copper foil in step a. It is preferable to prevent the concentration of currents in the core of the lower surface by preventing the abnormality of unnecessary abnormality. That is, with respect to the current density Ia used when performing the burn-up plating in the step a, the current density Ib used when the burn-in plating in the step b is made to have a current density of 50% or less of Ia.

여기서, ‘1회 이상의 추가 도금 처리’라고 하는 바와 같이, 2회 이상의 복수회의 도금 처리를 행하는 것도 가능하다. 단, 이때의 기초 도금 처리와 추가 도금 처리에 의해 형성되는 도금 처리면은 눈에 보이는 거친 요철 상태를 형성하는 것이 아니라 피도금 처리 표면을 균일하게 피복하고 어느 정도 가벼운 거침 상태를 만들어 내는 것이 가능하면 된다. 따라서, 가벼운 정도의 거침 상태를 만들어 내기 위하여 기초 도금 공정과 추가 도금 공정의 전체 전류 및 전체 전해 시간을 제어하는 것이 필요하게 되는 점에 유의해야 한다.Here, it is also possible to perform 2 or more times of plating processes, as it says "one or more additional plating processes." However, at this time, the plated surface formed by the basic plating treatment and the additional plating treatment does not form a rough rough state visible, but can uniformly cover the surface to be plated and create a light roughness to some extent. do. Therefore, it should be noted that it is necessary to control the total current and the total electrolysis time of the basic plating process and the additional plating process to produce a light roughness state.

상술한 기초 도금 공정에서의 도금량을 기준으로 하여 추가 도금 공정에서의 적정한 전착량은 환산 두께로서 50㎎/㎡ ~ 300㎎/㎡ 정도의 전착량으로 해야 한다. 50㎎/㎡ 미만의 경우에는 공정 a.에서 핵 형성한 표면에 적정한 요철 형상을 부여할 수 없어 양호한 갈색화 처리면을 얻을 수 없다. 한편, 300㎎/㎡을 초과한 경우에는 공정 a에서 형성한 핵 성장이 지나치게 과잉되어 가루 떨어짐이 생기기 쉬운 갈색화 처리면이 형성되는 것이다.Based on the plating amount in the above-mentioned basic plating process, the appropriate electrodeposition amount in the additional plating process should be an electrodeposition amount of about 50 mg / m 2 to 300 mg / m 2 as converted thickness. In the case of less than 50 mg / m <2>, an appropriate uneven | corrugated shape cannot be provided to the surface nucleated in process a., And a favorable browning process surface cannot be obtained. On the other hand, when it exceeds 300 mg / m <2>, the browning process surface in which the nucleus growth formed in the process a is excessively excessive and powder falls easily is formed.

공정 c: 이 공정은 공정 a 및 공정 b에 의해 그을림 도금을 행한 동박면에 구리 도금 용액을 이용하여 평활 도금 조건으로 도금 처리를 행하는 피복 도금 처리 공정이다. 피복 도금 공정은 공정 a 및 공정 b에서 거침 처리한 표면을 매끄럽게 하기 위한 도금 처리이고, 그을림 도금한 표면을 피복하기 위해 구리를 균일석출시키기 위한 공정이다. 따라서, 여기에서는 구리의 평활 도금 가능한 모든 구리 전해액을 사용하는 것이 가능하다. 이 평활 도금 조건은 특별히 한정되는 것은 아니며 생산 라인의 특질을 고려하여 정해지는 것이다. 예를 들어, 황산구리계 용액을 이용하는 경우라면, 농도가 구리 50 ~ 80g/l, 황산 50 ~ 150g/l, 액온 40 ~ 50℃, 전류 밀도 10 ~ 50A/d㎡의 조건으로 하는 등이다. Process c: This process is a coating plating process process which performs a plating process on smooth plating conditions using a copper plating solution to the copper foil surface which baked-baked by process a and process b. The coating plating step is a plating treatment for smoothing the surface roughened in the steps a and b, and a step for uniformly depositing copper to cover the baked plated surface. Therefore, it is possible here to use all the copper electrolytes which can smoothly plate copper. This smooth plating condition is not specifically limited, It decides in consideration of the characteristic of a production line. For example, in the case of using a copper sulfate solution, the concentration is set to 50 to 80 g / l copper, 50 to 150 g / l sulfuric acid, 40 to 50 ° C liquid temperature, and 10 to 50 A / dm 2 current density.

단, 전해시간은 그을림 도금에 의해 거침 처리된 형상이 지나치게 매끄러워지지 않도록, 완전히 평활하고 평탄한 평면으로 도금 처리했을 때의 환산 두께로서, 5g/㎡ ~ 10g/㎡ 정도의 전착량으로 해야 한다. 5g/㎡ 미만의 경우에는 공정 a 및 공정 b에서 거침 처리한 표면을 매끄럽게 하는 효과를 얻을 수 없는 것이다. 한편, 10g/㎡을 초과한 경우에는 공정 a 및 공정 b에서 거침 처리한 표면이 지나치게 매끄러워져 갈색화 처리면의 색이 금속 광택을 증가시키는 것이다.However, the electrolytic time should be an electrodeposition amount of about 5 g / m 2 to about 10 g / m 2 as the converted thickness at the time of plating in a completely smooth and flat plane so that the shape roughened by the burn plating is not excessively smooth. If it is less than 5 g / m 2, the effect of smoothing the surface roughened in steps a and b cannot be obtained. On the other hand, when it exceeds 10 g / m <2>, the surface roughened by the process a and the process b becomes excessively smooth, and the color of a browning process surface increases metal gloss.

공정 d: 이 공정은 공정 c가 완료되고 평활 도금 처리가 행해진 표면에 구리 도금 용액을 그을림 도금 조건을 이용하여 동박 표면을 갈색으로 마무리하기 위한 도금 처리(이하, ‘마무리 도금 처리’라고 한다.)를 행하는 마무리 도금 처리 공정이다. 이 공정에 있어서의 그을림 도금과 전술한 기초 도금 공정 및 추가 도금 공정의 차이는 이 공정에서는 거침 처리를 매우 미세한 구리 입자(이하, ‘극미세 구리 입자’라고 칭한다.)를 이용하여 행하는 것이다. Process d: This process is a plating process for finishing copper foil surface brown using the plating conditions which burned the copper plating solution to the surface in which process c was completed and the smooth plating process was performed (henceforth "finish plating process.") It is the finish plating process process which performs. The difference between the burn-in plating in this step, the above-described basic plating step and the additional plating step is that the rough treatment is performed using very fine copper particles (hereinafter, referred to as 'micro copper particles') in this step.

이 극미세 구리 입자의 형성에는 일반적으로 비소를 함유한 구리전해액이 이용된다. 이와 같은 전해 조건의 일례를 들면, 황산구리계 용액으로서, 농도가 구리 10g/l, 황산 100g/l, 비소 1.5g/l, 액온 38℃, 전류 밀도 30A/d㎡의 조건으로 하는 등이었다. 그러나 본 발명에서는 근래의 환경 문제가 대두됨에 따라 인체에 영향을 미칠 가능성이 보다 낮은 첨가제로서 비소를 대신하여 9-페닐아크리딘을 첨가한 구리 전해액을 이용하기로 하였다. 9-페닐아크리딘은 구리 전해장에서 비소가 하는 역할과 동일한 역할을 하여 석출되는 미세 구리 입자의 정립(整粒) 효과와 균일 전착을 가능하게 하는 것이다. 즉, 9-페닐아크리딘을 첨가한 극미세 구리 입자를 형성하기 위한 구리 전해액으로서는 농도가 구리 5 ~ 15g/l, 자유 황산 40 ~ 100g/l, 9-페닐아크리딘 50 ~ 300㎎/l, 염소 농도 20ppm ~ 32ppm, 액온 30 ~ 40℃, 전류 밀도 20 ~ 40A/d㎡이 매우 안정된 전해 조업을 가능하게 하는 범위가 된다. 더욱 바람직하게는, 구리 10 ~ 15g/l, 자유 황산 40 ~ 70g/l, 9-페닐아크리딘 100 ~ 200㎎/l, 염소 농도 25ppm ~ 30ppm, 액온 30 ~ 40℃, 전류 밀도 20 ~ 40A/d㎡의 범위이다. 이 범위가 조업 안정성 및 도금액으로서 용액 안정성이 가장 뛰어나 본 발명에 따른 표면처리 동박의 생산 수율이 높아지는 것이다.In general, a copper electrolyte containing arsenic is used to form these ultrafine copper particles. As an example of such electrolytic conditions, as a copper sulfate solution, the concentration was set to conditions of copper 10 g / l, sulfuric acid 100 g / l, arsenic 1.5 g / l, liquid temperature 38 ° C., and current density of 30 A / dm 2. However, in the present invention, as an environmental problem arises recently, a copper electrolyte solution having 9-phenylacridin added in place of arsenic as an additive having a lower likelihood of affecting the human body will be used. 9-phenylacridine plays the same role as arsenic in the copper electrolytic field to enable the graining effect and uniform electrodeposition of the fine copper particles precipitated. That is, as a copper electrolyte for forming the ultrafine copper particles to which 9-phenylacridine is added, the concentration is 5 to 15 g / l copper, 40 to 100 g / l free sulfuric acid, and 50 to 300 mg / 9-phenylacridine. l, chlorine concentration 20ppm-32ppm, liquid temperature 30-40 degreeC, current density 20-40A / dm <2> become the range which enables very stable electrolytic operation. More preferably, copper 10-15 g / l, free sulfuric acid 40-70 g / l, 9-phenylacridine 100-200 mg / l, chlorine concentration 25 ppm-30 ppm, liquid temperature 30-40 degreeC, current density 20-40 A / dm 2 range. This range is most excellent in operational stability and solution stability as a plating liquid, and the production yield of the surface-treated copper foil which concerns on this invention becomes high.

공정 e: 이 공정은 상술한 각 공정의 완료 후, 수세·건조하여 갈색화 표면처리 동박으로 하는 세정·건조 공정이다. 수세 및 건조는 정해진 기법에 따라 행하면 되며 특수한 조건은 없다. 단, 여기에서 말하는 수세는 단순히 최종 수세를 의미하는 것이며, 각 공정 간에는 전(前)공정의 용액을 후공정으로 가져가지 않도록 상식적인 범위에서 생각할 수 있는 수세는 적절히 마련하고 있음을 명기하여 둔다. Process e: This process is a washing | cleaning and drying process which washes and dries after completion | finish of each process mentioned above, and sets it as a brownish surface-treated copper foil. Washing and drying may be carried out according to a predetermined technique, and there are no special conditions. It should be noted that washing with water here simply means final washing, and it is noted that water washing, which can be considered within a common sense, is appropriately prepared so as not to bring the solution of the pre-process to the post-process between each step.

(갈색화 처리면을 구비하는 표면처리 동박의 제조방법 2) (Manufacturing method 2 of the surface-treated copper foil provided with the browning process surface)

이 제조방법은 이하에 나타내는 공정 a ~ 공정 f의 각 공정을 구비한 갈색화 표면처리 동박의 제조방법이다.This manufacturing method is a manufacturing method of the browning surface-treated copper foil provided with each process of process a-process f shown below.

공정 a: 황산구리계 도금 용액을 그을림 도금 조건으로 이용하여 동박의 표면을 갈색으로 하기 위한 최초의 도금 처리(이하, ‘기초 도금 처리’라고 칭한다.)를 행하는 기초 도금 처리 공정. Process a: The basic plating process which performs the initial plating process (henceforth a "base plating process") to make the surface of copper foil brown using a copper sulfate type plating solution as a burn-in plating condition.

공정 b: 기초 도금 처리된 동박의 표면에 황산구리계 도금 용액을 그을림 도금 조건으로 이용하여 1회 이상의 추가 도금 처리를 행하는 추가 도금 처리 공정. Process b: The further plating process which performs one or more additional plating processes using the copper sulfate type plating solution on the surface of the copper foil which carried out the base plating process by the burning plating condition.

공정 c: 공정 a 및 공정 b에 의해 그을림 도금을 행한 동박면에 황산구리계 도금 용액을 이용하여 평활 도금 조건으로 도금 처리를 행하는 피복 도금 처리 공정. Process c: The coating plating process process of performing a plating process on smooth plating conditions using the copper sulfate type plating solution to the copper foil surface which baked-baked by the process a and the process b.

공정 d: 공정 c가 완료되고 평활 도금 처리가 행해진 표면에 황산구리계 도금 용액을 그을림 도금 조건으로 이용하여 동박 표면을 갈색으로 마무리하기 위한 도금 처리(이하, ‘마무리 도금 처리’라고 한다.)를 행하는 마무리 도금 처리 공정. Step d: A plating treatment (hereinafter referred to as a 'finishing plating treatment') for finishing the copper foil surface on a brown surface using a copper sulfate plating solution as a burning plating condition on the surface where the process c is completed and the smooth plating treatment was performed. Finishing plating treatment process.

공정 e: 이상의 공정에 의해 갈색화 처리가 완료된 동박의 표면에 방청처리를 행하는 방청 처리 공정. Process e: The antirust process which performs a rust prevention process on the surface of the copper foil with which browning process was completed by the above process.

공정 f: 상술한 각 공정의 완료 후, 수세·건조하여 갈색화 표면처리 동박으로 하는 세정·건조 공정. Process f: The washing | cleaning and drying process of washing and drying after completion | finish of each above-mentioned process, and using it as a brownish surface-treated copper foil.

이상의 공정으로부터 알 수 있는 바와 같이, 제조방법 1에 방청처리층이 더해진 공정이다. 따라서, 중복된 설명을 피하기 위하여 방청 처리 공정에 관해서만 설명한다.As can be seen from the above process, the antirust treatment layer is added to the manufacturing method 1. Therefore, only the antirust treatment process will be described in order to avoid duplicate explanation.

방청 처리 공정에서는 갈색화 처리면의 변색을 일으키지 않으며 구리 에칭액에서의 에칭 제거가 용이하고 동시에 표면처리 동박의 표면이 산화 부식되는 것을 방지하는 처리를 행하는 것이다. 이 방청처리에 이용하는 방법은 벤조트리아졸, 이미다졸 등을 이용하는 유기방청, 혹은 아연, 크로메이트, 아연합금 등을 이용하는 무기방청 중 어느 것을 채용해도 문제없다. 표면처리 동박의 사용 목적에 맞춘 방청을 선택하면 된다. 유기방청의 경우에는 유기방청제를 침지 도포, 샤워링 도포, 전착법 등의 기법을 채용하는 것이 가능해진다. 무기방청의 경우에는 전해로 방청 원소를 표면처리 동박의 표면상에 석출시키는 방법, 그 외 소위 치환 석출법 등을 이용하는 것이 가능하다. 예를 들어, 아연 방청 처리를 행한다면, 피로린산 아연 도금욕, 시안화 아연 도금욕, 황산 아연 도금욕 등을 이용하는 것이 가능하다. 예를 들어, 피로린산 아연 도금욕이면 농도가 아연이 5 ~ 30g/l, 피로린산 칼륨 50 ~ 500g/l, 액온 20 ~ 50℃, pH 9 ~ 12, 전류밀도 0.3 ~ 10A/d㎡의 조건 등을 채용하는 것이다.In the rust-preventing treatment step, a treatment is performed to prevent discoloration of the browning treatment surface, to facilitate etching removal in the copper etching solution, and to prevent oxidative corrosion of the surface of the surface-treated copper foil. The method used for the rust prevention treatment may be any organic rust preventive agent using benzotriazole, imidazole or the like, or inorganic rust preventive agent using zinc, chromate or zinc alloy. What is necessary is just to select the rust prevention according to the purpose of use of a surface-treated copper foil. In the case of organic rust prevention, it becomes possible to employ techniques such as dip coating, showering coating, and electrodeposition of the organic rust inhibitor. In the case of inorganic rust prevention, it is possible to use a method of depositing the rust-preventing element on the surface of the surface-treated copper foil by electrolysis, and other so-called substitutional precipitation. For example, if zinc antirust treatment is carried out, it is possible to use a zinc pyrophosphate plating bath, a zinc cyanide plating bath, a zinc sulfate plating bath and the like. For example, if the zinc pyrophosphate plating bath has a concentration of 5 to 30 g / l zinc, 50 to 500 g / l potassium pyrophosphate, 20 to 50 ° C liquid temperature, pH 9 to 12, and current density of 0.3 to 10 A / dm 2 And the like.

또한, 본 발명에 따른 표면처리 동박의 갈색화 처리면의 색조에 영향을 미치지 않는 무기방청으로서 아연-니켈 합금 도금액 또는 아연-코발트 합금 도금액을 이용하여 도금 처리하는 것이 바람직하다. 먼저, 아연-니켈 합금 도금에 관하여 설명한다. 여기에서 이용하는 아연-니켈 합금 도금액에 특별히 한정은 없으나 일례를 들면, 황산니켈을 이용하여 니켈 농도가 1 ~ 2.5g/l, 피로린산 아연을 이용하여 아연 농도가 0.1 ~ 1g/l, 피로린산 칼륨 50 ~ 500g/l, 액온 20 ~ 50℃, pH 8 ~ 11, 전류밀도 0.3 ~ 10A/d㎡의 조건 등을 채용하는 것이다.In addition, it is preferable to perform plating treatment using a zinc-nickel alloy plating solution or a zinc-cobalt alloy plating solution as the inorganic rust preventive effect on the color tone of the brown-treated surface of the surface-treated copper foil according to the present invention. First, zinc-nickel alloy plating will be described. The zinc-nickel alloy plating solution used herein is not particularly limited, but examples thereof include nickel concentrations of 1 to 2.5 g / l using nickel sulfate and zinc concentrations of 0.1 to 1 g / l using zinc pyrophosphate and potassium pyrophosphate. The conditions of 50-500 g / l, liquid temperature 20-50 degreeC, pH 8-11, and current density of 0.3-10 A / dm <2> are employ | adopted.

이어서, 아연-코발트 합금 도금에 관하여 설명한다. 여기에서 사용하는 아연-코발트 합금 도금액에 특별히 한정은 없으나 일례를 들면, 황산코발트를 이용하여 코발트 농도가 1 ~ 2.5g/l, 피로린산 아연을 이용하여 아연 농도가 0.1 ~ 1g/l, 피로린산 칼륨 50 ~ 500g/l, 액온 20 ~ 50℃, pH 8 ~ 11, 전류밀도 0.3 ~ 10A/d㎡의 조건 등을 채용하는 것이다. 이 아연-코발트 합금 도금과 후술하는 크로메이트 처리를 조합한 방청처리층은 특히 우수한 내식 성능을 나타내는 것이다.Next, zinc-cobalt alloy plating is demonstrated. The zinc-cobalt alloy plating solution used herein is not particularly limited, but for example, the cobalt concentration is 1 to 2.5 g / l using cobalt sulfate, the zinc concentration is 0.1 to 1 g / l using zinc pyrophosphate, and the pyroic acid. Potassium 50-500 g / l, liquid temperature 20-50 degreeC, pH 8-11, current density of 0.3-10 A / dm <2>, etc. are employ | adopted. The antirust process layer which combined this zinc-cobalt alloy plating and the chromate treatment mentioned later shows especially excellent corrosion resistance performance.

또한, 방청 효과를 높이기 위해서는 표면처리 동박의 표면에 아연-니켈 합금층 또는 아연-코발트 합금층 등을 형성한 후에, 크로메이트층을 형성하면 보다 우수한 내식성을 얻는 것이 가능해진다. 즉, 상술한 방청처리층의 형성 후에 크로메이트 처리를 행하면 되는 것이다. 이 크로메이트 처리 공정에서는 크로메이트 용액을 접촉시키는 치환 처리나 크로메이트 용액 중에서 전해하여 크로메이트 피막을 형성하는 전해 크로메이트 처리 중 어떠한 방법을 채용해도 상관없다. 또한, 여기서 이용하는 크로메이트 용액에 관해서도 통상의 방법에서 사용되는 범위의 것을 사용하는 것이 가능하다. 그리고 그 후 수세하고 건조함으로써 갈색화 처리면을 구비하는 표면처리 동박을 얻는 것이다.In order to enhance the rust prevention effect, after forming a zinc-nickel alloy layer, a zinc-cobalt alloy layer, or the like on the surface of the surface-treated copper foil, it is possible to obtain more excellent corrosion resistance. That is, what is necessary is just to perform a chromate process after formation of the above-mentioned antirust process layer. In this chromate treatment process, you may employ | adopt any method of the substitution process which contacts a chromate solution, or the electrolytic chromate process which electrolyzes in a chromate solution and forms a chromate film. Moreover, also about the chromate solution used here, it is possible to use the thing of the range used by a conventional method. And it washes and dries after that, and obtains the surface-treated copper foil provided with the browning process surface.

도 1은 갈색화 처리면을 구비하는 표면처리 동박의 단면층 구성을 모식적으 로 도시한 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows typically the cross-sectional layer structure of the surface-treated copper foil provided with the browning process surface.

도 2는 갈색화 처리면을 구비하는 표면처리 동박의 단면층 구성을 모식적으로 도시한 도면이다.It is a figure which shows typically the cross-sectional layer structure of the surface-treated copper foil provided with the browning process surface.

[부호의 설명][Description of the code]

1. 표면처리 동박1. Surface treatment copper foil

2. 갈색화 처리면2. Browned surface

이상에서 기술한 본 발명에 따른 갈색화 처리면을 구비한 표면처리 동박은 갈색화 처리면으로부터의 가루 떨어짐이 없으며, 또한 매우 균일하고 색 얼룩이 없는 양호한 갈색을 하고 있으며, 이 갈색화 처리층은 통상의 구리 에칭 프로세스로 에칭 제거가 가능하다. 따라서, 프린트 배선판을 제조하는 프로세스를 사용하여 용이하게 임의의 형상으로 가공하는 것이 가능하다. 이러한 점을 고려하면 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널에 삽입되는 전자파 차폐 도전성 메쉬의 용도로 최적이라고 말할 수 있는 것이다.The surface-treated copper foil with the browning surface according to the present invention described above has a good brown color with no powder falling off from the browning surface, and is very uniform and without color unevenness. The process allows etching removal. Therefore, it is possible to easily process to arbitrary shapes using the process of manufacturing a printed wiring board. Considering this point, it can be said that it is optimal for the use of the electromagnetic shielding conductive mesh inserted into the front panel of the plasma display panel.

또한, 본 발명에 따른 표면처리 동박의 제조방법은 종래에 없는 다단계의 구리 그을림 도금 방법을 채용함으로써, 동박의 표면에 높은 효율로 갈색화 처리면을 형성하는 것이 가능해져 갈색화 처리면을 구비한 표면처리 동박의 색조의 편차를 매우 작게 할 수 있는 것이다.Moreover, the manufacturing method of the surface-treated copper foil which concerns on this invention makes it possible to form a browning process surface at high efficiency on the surface of copper foil by employ | adopting the multi-step copper burn-up plating method which is not conventional, and the surface treatment provided with the browning process surface. Variation of the hue of copper foil can be made very small.

이하에, 상술한 갈색화 처리면을 구비하는 표면처리 동박을 제조하고 구리 에칭액을 이용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 제조한 결과를 나타낸다.Below, the result of having manufactured the surface-treated copper foil provided with the browning process surface mentioned above, and manufactured the electromagnetic wave shielding conductive mesh using a copper etching liquid.

실시예 1Example 1

본 실시형태에서는 거침 처리를 행하지 않은 전해동박을 이용하여 그 광택면에 갈색화 처리를 행하여 표면처리 동박을 제조하고 전자파 차폐 도전성 메쉬 형상을 에칭법으로 시험적으로 제조하여 에칭 성능을 확인하였다.In this embodiment, the electrolytic copper foil which has not been roughened was subjected to browning treatment on its glossy surface to prepare a surface treated copper foil, and to test the electromagnetic shielding conductive mesh shape by an etching method to confirm the etching performance.

본 실시형태에서는 황산구리 용액을 전해함으로써 얻은 공칭 두께 10㎛의 베리 로우(very low) 프로파일 동박을 이용했다. 그리고 이 전해동박을 황산 농도 150g/l, 액온 30℃의 묽은 황산 용액을 이용하여 이 용액에 30초간 침지하여 표면의 청정화를 행하였다. 이하, 공정별로 설명한다.In the present embodiment, a very low profile copper foil having a nominal thickness of 10 µm obtained by electrolyzing a copper sulfate solution was used. The electrolytic copper foil was immersed in this solution for 30 seconds using a sulfuric acid concentration of 150 g / l and a dilute sulfuric acid solution having a liquid temperature of 30 ° C. to clean the surface. The process will be described below.

<표면처리 동박의 제조><Manufacture of surface-treated copper foil>

공정 a: 여기에서는 거침 처리를 행하지 않은 상기 베리 로우 프로파일 동박의 광택면(Ra = 0.22㎛, Rz = 1.54㎛)에 대하여, 황산구리계 도금용액을 그을림 도금 조건으로 이용하여 동박의 표면을 갈색으로 하기 위한 기초 도금 처리를 행하였다. Step a: Here, the surface of the copper foil is browned using the copper sulfate-based plating solution under the burn-in plating condition with respect to the glossy surface (Ra = 0.22 µm, Rz = 1.54 µm) of the berry low profile copper foil which is not subjected to the roughening treatment. Basic plating treatment was performed.

이때 이용한 기초 도금 처리 조건은 황산구리 용액으로써 구리 농도 18g/l, 자유 황산 농도 100g/l, 액온 25℃, 전류 밀도(Ia) 10A/d㎡의 그을림 도금 조건으로 전해함으로써 행하였다. 그 결과, 이 기초 도금 공정에서 행한 그을림 도금은 어느 정도의 요철을 동박 표면에 형성하기 위한 핵을 형성했을 뿐으로 환산 두께 300㎎/㎡의 전착량이었다.The basic plating process conditions used at this time were performed by electrolyzing as copper sulfate solution on the copper plating condition of 18 g / l copper concentration, 100 g / l free sulfuric acid concentration, 25 degreeC of liquid temperature, and 10 A / dm <2> of current density (Ia). As a result, the burn-up plating performed in this basic plating process only formed the nucleus for forming some unevenness | corrugation on the copper foil surface, and was the electrodeposition amount of 300 mg / m <2> of conversion thickness.

공정 b: 이 추가 도금 처리 공정에서는 기초 도금 처리된 동박의 표면에 황산구리계 도금 용액을 그을림 도금 조건으로 이용하여 1회의 도금 처리를 행하였 다. 이때 추가 도금 처리 조건은 공정 a.와 동일한 농도 및 액온의 황산구리 용액을 이용하였으나, 그을림 도금을 행할 때에 채용하는 전류 밀도(Ib)를 Ia의 15%의 전류 밀도가 되는 1.5A/d㎡로 하고 공정 a.에서 동박의 표면에 형성한 핵에 대한 전류 집중을 방지하여 불필요한 이상 석출을 방지하였다. 이 추가 도금 공정에서의 전착량은 환산 두께로서 50㎎/㎡의 전착량으로 하였다. Process b: In this additional plating treatment step, one plating treatment was performed on the surface of the copper foil subjected to the basic plating treatment using a copper sulfate plating solution as the burn-in plating condition. At this time, the copper plating solution at the same concentration and liquid temperature as in step a. Was used, but the current density (Ib) employed in the burn-in plating was 1.5 A / dm 2, which was 15% of Ia. In step a., Current concentration on the nucleus formed on the surface of the copper foil was prevented to prevent unnecessary abnormal precipitation. The electrodeposition amount in this additional plating process was made into the electrodeposition amount of 50 mg / m <2> as conversion thickness.

공정 c: 이 피복 도금 처리 공정에서는 공정 a 및 공정 b에 의해 그을림 도금을 행한 동박면에 구리 도금 용액을 이용하여 평활 도금 조건으로 도금 처리를 행하였다. 이 피복 도금 공정에서는 황산구리 용액으로써 구리 농도 65g/l, 자유 황산 농도 150g/l, 액온 45℃, 전류 밀도 15A/d㎡의 평활 도금 조건으로 전해하였다. 이와 같이 하여 공정 a 및 공정 b에서 거침 처리한 표면을 매끄럽게 하였다. 이때의 평활 도금의 환산 두께는 4g/㎡였다. Process c: In this coating plating process, the plating process was performed on the smooth plating conditions using the copper plating solution to the copper foil surface which baked-baked by the process a and the process b. In this coating plating process, the copper sulfate solution was electrolyzed under a smooth plating condition of a copper concentration of 65 g / l, a free sulfuric acid concentration of 150 g / l, a liquid temperature of 45 ° C., and a current density of 15 A / dm 2. In this way, the surface roughened by the process a and the process b was smoothed. The conversion thickness of the smooth plating at this time was 4 g / m <2>.

공정 d: 이 마무리 도금 처리 공정에서는 공정 c가 완료되어 평활 도금 처리가 행해진 표면에 구리 도금 용액을 그을림 도금 조건으로 이용하여 동박 표면을 갈색으로 마무리하기 위한 도금 처리를 행하여 극미세 구리 입자를 부착형성한 것이다. Process d: In this finishing plating process, the process c is completed and the plating process for finishing the copper foil surface to brown color is performed by using the copper plating solution as the burning plating condition on the surface where the smooth plating process is performed, thereby adhering the ultrafine copper particles. It is.

이 극미세 구리 입자의 형성에는 9-페닐아크리딘을 첨가한 이하의 황산구리 용액을 이용한다. 이 구리 전해액 및 전해 조건으로서는 구리 농도가 13g/l, 자유 황산 50g/l, 9-페닐아크리딘 150㎎/l, 염소 농도 28ppm, 액온 35℃로 하고 전류 밀도 24A/d㎡를 이용하였다. 그리고 이 마무리 도금 공정에서의 전착량은 환산 두께로서 300㎎/㎡의 전착량으로 하였다.The following copper sulfate solution which added 9-phenylacridine for formation of this ultrafine copper particle is used. As this copper electrolyte solution and electrolytic conditions, copper concentration was 13 g / l, 50 g / l of free sulfuric acid, 150 mg / l of 9-phenylacridine, 28 ppm of chlorine concentration, and 35 degreeC of liquid temperature, and the current density of 24 A / dm <2> was used. In addition, the electrodeposition amount in this finishing plating process was made into the electrodeposition amount of 300 mg / m <2> as conversion thickness.

공정 e: 이 세정·건조 공정에서는 상술한 공정 d.의 완료 후, 순수를 충분히 샤워링하여 세정하고, 전열기로 분위기 온도를 150℃로 한 건조로 내에 4초간 대류시켜 수분을 날려 보내어 매우 양호한 색조의 갈색화 처리면을 구비한 표면처리 동박을 얻었다. 한편, 여기서 말하는 수세에 한정되지 않고, 각 공정 사이에는 전공정의 용액을 후공정으로 가져가지 않도록 공정간의 수세 공정을 적절히 마련하였다. Process e: In this washing and drying process, after completion of the above-mentioned step d., The pure water is sufficiently showered and washed, and condensed for 4 seconds in a drying furnace with an atmospheric temperature of 150 ° C. with an electric heater to blow out moisture, thereby producing a very good color tone. The surface-treated copper foil provided with the browning process surface of was obtained. On the other hand, it is not limited to the water washing here, and between each process, the washing process between processes was appropriately provided so that the solution of a previous process may not be carried to a post process.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 갈색화 처리면을 구비하는 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과, 도 1에 나타낸 것과 같은 단면을 얻을 수 있으며, 당해 갈색화 처리면의 단면 높이(d)가 80㎚이고, 당해 갈색화 처리면의 Lab표색계에서의 a값이 3.5, 광택도[Gs(60°)]가 2.8이었다. 또한, 갈색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐을 확인할 수 없었다.When the cross section of the surface-treated copper foil provided with the browning process surface obtained through the above process was observed with the FIB apparatus, the cross section as shown in FIG. 1 can be obtained, and the cross-sectional height (d) of the said browning process surface is 80 nm. The a value in the Lab colorimetric system of the browning treatment surface was 3.5 and the glossiness [Gs (60 °)] was 2.8. Moreover, it was not able to confirm powder fall-off in the tape test by sticking and peeling an adhesive tape on a browning process surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

상기와 같이 하여 얻어진 표면처리 동박의 양면에 에칭 레지스트로 되는 드라이 필름을 붙였다. 그리고 갈색화 처리면측의 드라이 필름에만 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하기 위한 시험용 마스크 필름을 겹쳐 메쉬 피치 200㎛, 메쉬선폭 10㎛, 메쉬 바이어스 각도 45℃이고 주위에 메쉬 전극부를 가지는 도전성 메쉬 패턴을 자외선 노광하였다. 이때 동시에 반대면의 에칭 레지스트층의 전면(全面)에도 자외선 노광함으로써 이후의 현상에 의해 제거할 수 없게 하였다. 그 후, 알카리 용액을 이용하여 현상하고 에칭 패턴을 형성하였다.The dry film which becomes an etching resist was stuck to both surfaces of the surface-treated copper foil obtained as mentioned above. The conductive mask pattern having a mesh pitch of 200 mu m, a mesh line width of 10 mu m, a mesh bias angle of 45 DEG C, and a mesh electrode portion around the superimposed mask film for starting the electromagnetic wave shielding conductive mesh was laminated only to the dry film on the browning side. . At this time, the entire surface of the etching resist layer on the opposite side was also exposed to ultraviolet rays to prevent removal by subsequent development. Thereafter, the solution was developed using an alkali solution to form an etching pattern.

그리고 구리에칭액인 염화철 에칭액을 이용하여 갈색화 처리면측에서 구리에칭한 후 에칭 레지스트층을 박리함으로써 전자파 차폐 도전성 메쉬를 제조하였다. 그 결과, 에칭 잔존물도 없이 매우 양호한 에칭이 행해졌다. Then, using the iron chloride etching solution, which is a copper etching solution, copper etching was performed on the side of the browning treatment surface, and then the etching resist layer was peeled off to prepare an electromagnetic shielding conductive mesh. As a result, very good etching was performed without etching residues.

실시예 2Example 2

이 실시예에서는 실시예 1의 공정 d.와 공정 e. 사이에 방청처리공정을 마련한 점이 실시예 1과 다를 뿐이다. 따라서, 공정 a, 공정 b, 공정 c, 공정 d까지는 실시예 1과 동일하므로 중복된 설명을 피하여 여기에서의 공정 e.의 방청 처리 공정만 상세하게 설명한다.In this example, step d. And step e. The point which provided the antirust process in between is only different from Example 1. Therefore, step a, step b, step c, and step d are the same as those in Example 1, and only the antirust treatment step of step e.

공정 e: 이 방청처리 공정에서는 아연-니켈 합금 도금액을 이용하여 도금 처리하여 양면에 아연-니켈 합금층을 형성시킨다. 아연-니켈 합금층은 황산니켈을 이용하여 니켈 농도가 2.0g/l, 피로린산 아연을 이용하여 아연 농도가 0.5g/l, 피로린산 칼륨 250g/l, 액온 35℃, pH 10, 전류밀도 5A/d㎡의 조건으로 5초간 전해하여 양면에 균일하고 평활하게 전석(電析)시켰다. Process e: In this antirust process, plating is performed using a zinc-nickel alloy plating solution to form a zinc-nickel alloy layer on both surfaces. The zinc-nickel alloy layer has nickel concentration of 2.0g / l using nickel sulfate, zinc concentration of 0.5g / l using zinc pyrophosphate, potassium pyrophosphate 250g / l, liquid temperature 35 ° C, pH 10, current density 5A Electrolysis was carried out for 5 seconds under the condition of / dm &lt; 2 &gt; to uniformly and smoothly deposit on both surfaces.

공정 f: 이 세정·건조 공정은 실시예 1의 공정 e.에 대응하는 것으로 상술한 공정 e.의 완료 후, 충분히 수세하고 가열건조하여 갈색화 처리면을 구비한 표면처리 동박으로 한 것으로 그 상세는 실시예 1과 동일하다. Step f: This washing and drying step corresponds to step e. Of Example 1, and after completion of step e. Described above, the resultant is sufficiently washed with heat and dried to obtain a surface-treated copper foil having a browning surface. Same as Example 1.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 갈색화 처리면을 구비하는 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과, 도 1에 나타낸 것과 같은 단면을 얻을 수 있으며 당해 갈색화 처리면의 단면 높이가 85㎚이고 당해 갈색화 처리면의 Lab표색계에서의 a값이 3.6, 광택도[Gs(60°)]가 2.6이었다. 또한, 갈색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐을 확인할 수 없었다.As a result of observing the cross section of the surface-treated copper foil provided with the browning process surface obtained through the above process with a FIB apparatus, the cross section as shown in FIG. 1 can be obtained, The cross-sectional height of the said browning process surface is 85 nm, The said browning process surface The a value in the Lab color system of was 3.6 and the glossiness [Gs (60 °)] was 2.6. Moreover, it was not able to confirm powder fall-off in the tape test by sticking and peeling an adhesive tape on a browning process surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

실시예 1과 마찬가지로, 얻어진 표면처리 동박을 이용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하였다. 그 결과, 방청처리층이 존재하고 있어도 에칭 조작에 지장이 없고 에칭 잔존물도 없어 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Similarly to Example 1, the electromagnetic wave shielding conductive mesh was started using the obtained surface-treated copper foil. As a result, even if the rust-prevented layer existed, there was no problem in the etching operation and there was no etching residue, and very good etching was performed.

실시예 3Example 3

실시예 1이 전해동박인 공칭 두께 10㎛의 베리 로우 프로파일 동박의 광택면에 갈색화 처리면을 형성한 데 대해, 본 실시형태에서는 거친면측에 갈색화 처리면을 형성한 표면처리 동박을 제조한 것이다. 먼저, 실시예 1과 마찬가지로 이 전해동박을 황산 농도 150g/l, 액온 30℃의 묽은 황산 용액을 이용하여 이 용액에 30초간 침지하여 표면의 청정화를 행하였다. 이하, 공정별로 설명한다.Although Example 1 formed the browning process surface at the gloss surface of the berry low profile copper foil of the nominal-thickness 10 micrometers of electrolytic copper foil, in this embodiment, the surface-treated copper foil which provided the browning process surface at the rough surface side was manufactured. First, similarly to Example 1, this electrolytic copper foil was immersed in this solution for 30 seconds using the sulfuric acid concentration 150g / l and the dilute sulfuric acid solution of 30 degreeC of liquid temperature, and the surface was cleaned. The process will be described below.

<표면처리 동박의 제조><Manufacture of surface-treated copper foil>

공정 a: 여기에서는 거침 처리를 행하지 않은 상기 베리 로우 프로파일 동박의 거친면(Ra = 0.35㎛, Rz = 2.32㎛)에 대하여, 황산구리계 도금 용액을 그을림 도금 조건으로 이용하여 동박의 표면을 갈색으로 하기 위한 기초 도금 처리를 행하였다. 이 베리 로우 프로파일 동박의 거친면의 표면 거칠기는 광택면이라고 해도 지장이 없을 정도로 낮은 프로파일의 표면이 되어 있었다. 이하, 실시예 1과 동일한 공정 a(기초 도금 처리 공정), 공정 b(추가 도금 처리 공정), 공정 c(피복 도금 처리 공정), 공정 d(마무리 도금 처리 공정), 공정 e(세정·건조 공정)를 거쳐 갈색화 처리면을 구비한 표면처리 동박을 얻었다. Step a : Herein, the surface of the copper foil is browned using the copper sulfate plating solution as the burn-in plating condition with respect to the rough surface (Ra = 0.35 µm, Rz = 2.32 µm) of the berry low profile copper foil which is not subjected to the rough treatment. Basic plating treatment was performed. The surface roughness of the rough surface of this berry low profile copper foil was made into the surface of the profile so low that even a gloss surface did not interfere. Hereinafter, the same process a (base plating process) as a Example 1, process b (additional plating process), process c (coating plating process), process d (finishing plating process), process e (washing and drying process) ) To obtain a surface-treated copper foil having a browning surface.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 갈색화 처리면을 구비하는 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과, 도 1에 나타낸 것과 같은 단면을 얻을 수 있으며, 당해 갈색화 처리면의 단면 높이가 75㎚이고 당해 갈색화 처리면의 Lab표색계에서의 a값이 3.6, 광택도[Gs(60°)]가 1.2였다. 또한, 갈색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐을 확인할 수 없었다.When the cross section of the surface-treated copper foil provided with the browning process surface obtained through the above process was observed with the FIB apparatus, the cross section as shown in FIG. 1 can be obtained, The cross-sectional height of the said browning process surface is 75 nm, The said browning process The a value in the Lab color system of cotton was 3.6, and glossiness [Gs (60 degrees)] was 1.2. Moreover, it was not able to confirm powder fall-off in the tape test by sticking and peeling an adhesive tape on a browning process surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

실시예 1과 마찬가지로, 얻어진 표면처리 동박을 이용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하였다. 그 결과, 동박의 거친면측에 갈색화 처리면이 형성되어도 에칭 조작에 지장이 없고 에칭 잔존물도 없어 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Similarly to Example 1, the electromagnetic wave shielding conductive mesh was started using the obtained surface-treated copper foil. As a result, even if the browning process surface was formed in the rough surface side of copper foil, etching operation was satisfactory and there was no etching residue, and very favorable etching was performed.

실시예 4Example 4

실시예 2가 전해동박인 공칭 두께 10㎛의 베리 로우 프로파일 동박의 광택면에 갈색화 처리면을 형성한 데 대해, 본 실시형태에서는 거친면측에 갈색화 처리면을 형성한 표면처리 동박을 제조한 것이다. 먼저, 실시예 2와 마찬가지로 실시예 1의 순서를 이용하여 그 전해동박의 표면의 청정화를 행하였다. 이하, 공정별로 설명한다.Although the browning process surface was formed in the gloss surface of the berry low profile copper foil of the nominal-thickness 10 micrometers whose Example 2 is electrolytic copper foil, in this embodiment, the surface-treated copper foil in which the browning process surface was formed in the rough surface side was manufactured. First, the surface of the electrolytic copper foil was cleaned using the procedure of Example 1 similarly to Example 2. The process will be described below.

<표면처리 동박의 제조><Manufacture of surface-treated copper foil>

여기에서는 실시예 3과 마찬가지로 거침 처리를 행하지 않은 상기 베리 로우 프로파일 동박의 거친면(Ra = 0.35㎛, Rz = 2.32㎛)에 대하여, 실시예 1과 동일한 방법으로 공정 a(기초 도금 처리 공정), 공정 b(추가 도금 처리 공정), 공정 c(피복 도금 처리 공정), 공정 d(마무리 도금 처리 공정)까지 행하였다. 그리고 실시예 3과 달리 공정 e(방청 처리 공정)을 부가하고 공정 f.(세정·건조 공정)를 거쳐 갈색화 처리면을 구비한 표면처리 동박을 얻은 것이다. 이때의 공정 e(방청 처리 공정)에서는 실시예 2와 동일한 순서로 아연-니켈 합금층을 형성한다. 따라서, 이상의 공정은 상기 실시예에서 설명하고 있으므로 중복된 설명은 생략한다.Here, in the same manner as in Example 1, for the rough surface (Ra = 0.35 µm, Rz = 2.32 µm) of the berry low profile copper foil which was not subjected to the rough treatment as in Example 3, step a (base plating treatment step), The process b (additional plating process process), the process c (coating plating process process), and the process d (finishing plating process process) were performed. And unlike Example 3, the surface-treated copper foil provided with the browning process surface was obtained through adding process e (rustproof process) and process f. (Cleaning and drying process). In the step e (antirust treatment step) at this time, a zinc-nickel alloy layer is formed in the same order as in Example 2. Therefore, since the above process is demonstrated in the said Example, overlapping description is abbreviate | omitted.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 갈색화 처리면을 구비하는 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과 도 1에 나타낸 것과 같은 단면을 얻을 수 있으며 당해 갈색화 처리면의 단면 높이가 74㎚이고 당해 갈색화 처리면의 Lab표색계에서의 a값이 3.8, 광택도[Gs(60°)]가 1.5였다. 또한, 갈색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐을 확인할 수 없었다.As a result of observing the cross section of the surface-treated copper foil provided with the browning process surface obtained by the above process with a FIB apparatus, the cross section as shown in FIG. 1 was obtained, The cross-sectional height of the said browning process surface is 74 nm, The a value in the Lab colorimeter was 3.8 and the glossiness [Gs (60 °)] was 1.5. Moreover, it was not able to confirm powder fall-off in the tape test by sticking and peeling an adhesive tape on a browning process surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

실시예 1과 마찬가지로, 얻어진 표면처리 동박을 이용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하였다. 그 결과, 방청처리층이 존재하고 있어도 에칭 조작에 지장이 없고 에칭 잔존물도 없어 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Similarly to Example 1, the electromagnetic wave shielding conductive mesh was started using the obtained surface-treated copper foil. As a result, even if the rust-prevented layer existed, there was no problem in the etching operation and there was no etching residue, and very good etching was performed.

비교예 1Comparative Example 1

이 비교예에서는 실시예 1의 공정 d.에서 이용한 황산구리 용액의 구리 농도를 낮게 함으로써 최적의 조건에서 벗어나게 하여 극미세 구리 입자의 부착형성을 행하였다. 따라서, 공정 d.에 관해서만 설명한다.In this comparative example, the copper concentration of the copper sulfate solution used in step d. Of Example 1 was lowered, thereby deviating from the optimum conditions, and adhesion formation of the ultra fine copper particles was performed. Therefore, only the process d. Will be described.

공정 d: 이 마무리 도금 처리 공정에서는 실시예 1에서 이용한 9-페닐아크리딘을 첨가한 황산구리 용액의 구리 농도를 8g/l으로 한 것이다. 그리고 이 마무리 도금 처리 공정에서의 전착량은 실시예 1과 마찬가지로 환산두께로서 300㎎/㎡의 전착량으로 하였다. Process d: In this finishing plating process, the copper concentration of the copper sulfate solution which added 9-phenylacridine used in Example 1 was 8 g / l. In addition, the electrodeposition amount in this finishing plating process was made into the electrodeposition amount of 300 mg / m <2> as conversion thickness similarly to Example 1.

<표면처리 동박의 물성><Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>

이상의 공정을 거쳐 얻어진 갈색화 처리면을 구비하는 표면처리 동박의 단면을 FIB장치로 관찰한 결과 도 2에 나타낸 것과 같은 단면을 얻을 수 있으며 당해 갈색화 처리면의 단면 높이(d)가 180㎚이고 당해 갈색화 처리면의 Lab표색계에서의 a값이 3.6, 광택도[Gs(60°)]가 2.6이었다. 상기 실시예와 비교했을 때 도 1과 도 2의 비교에서 알 수 있는 바와 같이, 마무리 도금 처리에 의해 처리 핵이 이상성장해 있어 가루 떨어짐을 일으키는 표면임을 알 수 있다. 게다가, 갈색화 처리면의 동일면 내에서의 색 얼룩이 눈에 띈다. 또한, 갈색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 가루 떨어짐이 확인되었다.As a result of observing the cross section of the surface-treated copper foil provided with the browning process surface obtained by the above process with a FIB apparatus, the cross section as shown in FIG. 2 was obtained, and the cross-sectional height (d) of the said browning process surface is 180 nm, and the said browning process is carried out. The a value in the Lab color system of the treated surface was 3.6 and the glossiness [Gs (60 °)] was 2.6. As can be seen from the comparison between Fig. 1 and Fig. 2 when compared with the above embodiment, it can be seen that the surface of the processing nucleus is abnormally grown by the finish plating treatment and the powder is dropped. In addition, color unevenness in the same plane of the browned surface is noticeable. In addition, it was confirmed that the powder was dropped in the tape test by attaching and detaching the adhesive tape to the browned surface.

<플라즈마 디스플레이용 전자파 차폐 메쉬의 제조><Production of electromagnetic shielding mesh for plasma display>

실시예 1과 마찬가지로, 얻어진 표면처리 동박을 이용하여 전자파 차폐 도전성 메쉬를 시작하였다. 그 결과, 에칭 조작에 지장은 없었으나, 이 비교예에서 얻어진 표면처리 동박의 갈색화 처리면은 핸들링 시에 마찰로 인한 흠집이 나기 쉬워 당초의 갈색화 처리면을 에칭 가공 완료시까지 유지하는 것이 곤란하였다.Similarly to Example 1, the electromagnetic wave shielding conductive mesh was started using the obtained surface-treated copper foil. As a result, although the etching operation did not interfere, the browning process surface of the surface-treated copper foil obtained by this comparative example was easy to be damaged by friction at the time of handling, and it was difficult to maintain the original browning process surface until completion of an etching process.

본 발명에 따른 갈색화 처리면을 구비한 표면처리 동박은 색 얼룩이 없는 내상성(耐傷性)이 우수한 갈색화 처리면을 구비하고, 흑색화 처리면에서의 가루 떨어짐이 없으며, 또한 통상의 구리 에칭액을 이용한 에칭가공이 가능하고, 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널의 전자파 차폐 도전성 메쉬에 이용하는 것으로 고품질의 블랙 마스크 형성이 가능하다. 또한, 갈색화 처리면을 구비한 표면처리 동박으로서 공급함으로써 전면 패널의 제조 프로세스에서의 흑색화 처리 공정의 생략이 가능하다.The surface-treated copper foil provided with the browning process surface which concerns on this invention is equipped with the browning process surface which is excellent in the flaw resistance without color unevenness, there is no fall of the powder in the blackening process surface, and it uses the normal copper etching liquid Etching is possible and a high quality black mask can be formed by using the electromagnetic shielding conductive mesh of the front panel of the plasma display panel. In addition, by supplying it as the surface-treated copper foil provided with the browning process surface, the blackening process process in a manufacturing process of a front panel can be omitted.

또한, 갈색화 처리면의 형성에 있어서 다단계의 구리 그을림 도금 방법을 채용하고 평활 도금과 마무리 그을림 도금을 행하는 제조방법을 채용함으로써 본 발명에 따른 표면처리 동박을 높은 수율로 제조할 수 있어 생산 비용의 삭감이 가능하다.In addition, by adopting a multi-step copper-plated plating method in the formation of the browning-treated surface and employing a manufacturing method of performing smooth plating and finish-baked plating, the surface-treated copper foil according to the present invention can be produced in high yield, thereby reducing production costs. This is possible.

Claims (16)

구리의 그을림 도금을 다단계로 행함으로써 형성된 갈색화 처리면을 구비하는 동박으로서, 당해 갈색화 처리면의 단면 높이가 150㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 갈색화 표면처리 동박.A copper foil provided with the browning process surface formed by performing the tanning plating of copper in multiple steps, The cross-sectional height of the said browning process surface is 150 nm or less, The browning surface-treated copper foil characterized by the above-mentioned. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 갈색화 처리면은 Lab표색계에서의 a값이 4.0 이하인 갈색화 표면처리 동박.The said browning process surface is the browning surface-treated copper foil whose a value is 4.0 or less in Lab color system. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 갈색화 처리면에 방청처리층을 구비하는 것인 갈색화 표면처리 동박.The brownish surface-treated copper foil provided with the antirust process layer in the said browning process surface. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 갈색화 처리면은 전해동박의 광택면 또는 압연동박의 표면에 당해 갈색화 처리면을 형성시킨 것으로, 광택도[Gs(60°)]가 10 이하인 갈색화 표면처리 동박.The said browning process surface formed the said browning process surface on the gloss surface of electrolytic copper foil or the surface of a rolled copper foil, and has a glossiness [Gs (60 degrees)] of 10 or less. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 갈색화 처리면은 전해동박의 거친면에 당해 갈색화 처리면을 형성시킨 것으로, 광택도[Gs(60°)]가 3 이하인 갈색화 표면처리 동박.The said browning process surface formed the said browning process surface in the rough surface of an electrolytic copper foil, The glossiness [Gs (60 degrees)] is 3 or less browning surface-treated copper foil. 갈색화 표면처리 동박의 제조방법으로서, 이하의 공정 a ~ 공정 e의 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 갈색화 표면처리 동박의 제조방법.A manufacturing method of browning surface-treated copper foil as a manufacturing method of browning surface-treated copper foil, Comprising: The process of the following process a-process e is provided. 공정 a: 황산구리계 도금 용액을 그을림 도금 조건으로 이용하여 동박의 표면을 갈색으로 하기 위한 최초의 도금 처리(이하, ‘기초 도금 처리’라고 칭한다.)를 행하는 기초 도금 처리 공정.Process a: The basic plating process which performs the initial plating process (henceforth a "basal plating process") to make the surface of copper foil brown using a copper sulfate type plating solution as a burning plating condition. 공정 b: 기초 도금 처리된 동박의 표면에 황산구리계 도금 용액을 그을림 도금 조건으로 이용하여 1회 이상의 추가 도금 처리를 행하는 추가 도금 처리 공정,Step b: an additional plating treatment step of performing one or more additional plating treatments on the surface of the copper foil subjected to the basic plating treatment using a copper sulfate plating solution as the burning plating condition; 공정 c: 공정 a 및 공정 b에 의해 그을림 도금을 행한 동박면에 황산구리계 도금 용액을 이용하여 평활 도금 조건으로 도금 처리를 행하는 피복 도금 처리 공정.Process c: The coating plating process process of performing a plating process on smooth plating conditions using the copper sulfate type plating solution to the copper foil surface which baked-baked by the process a and the process b. 공정 d: 공정 c가 완료되어 평활 도금 처리가 행해진 표면에 황산구리계 도금 용액을 그을림 도금 조건으로 이용하여 동박 표면을 갈색으로 마무리하기 위한 도금 처리(이하, ‘마무리 도금 처리’라고 칭한다.)를 행하는 마무리 도금 처리 공정.Process d: The plating process (henceforth a "finishing plating process") is performed to finish the copper foil surface brown using the copper sulfate type plating solution as the burn-in plating condition on the surface in which process c was completed and the smooth plating process was performed. Finishing plating treatment process. 공정 e: 상술한 각 공정의 완료 후, 수세하고 건조하여 갈색화 표면처리 동박으로 완성하는 세정·건조 공정.Process e: The washing | cleaning and drying process of washing and drying after completion | finish of each process mentioned above and washing with water and drying and finishing with browning surface treatment copper foil. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 공정 a에서 그을림 도금을 행할 때에 채용되는 전류 밀도(Ia)에 대하여 공정 b에서 그을림 도금을 행할 때에 채용되는 전류 밀도(Ib)는 Ia의 50% 이하의 전류밀도인 갈색화 표면처리 동박의 제조방법.A current density (Ib) employed when performing a baked plating in step b with respect to the current density (Ia) used when performing the burn plating in step a is a current density of 50% or less of Ia. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 공정 d에서 그을림 도금을 행할 때에 이용되는 구리 도금 용액은 구리 농도가 5 ~ 15g/l, 자유 황산 40g/l ~ 100g/l, 9-페닐아크리딘 50 ~ 300㎎/l, 염소 농도 20 ~ 32ppm인 갈색화 표면처리 동박의 제조방법.The copper plating solution used for the burn-up plating in step d has a copper concentration of 5 to 15 g / l, free sulfuric acid 40 g / l to 100 g / l, 9-phenylacridine 50 to 300 mg / l, and a chlorine concentration of 20 to A manufacturing method of 32 ppm brownish surface-treated copper foil. 갈색화 표면처리 동박의 제조방법으로서, 이하의 공정 a ~ 공정 f의 각 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 갈색화 표면처리 동박의 제조방법.A manufacturing method of browning surface-treated copper foil as a manufacturing method of browning surface-treated copper foil, Comprising: Each process of the following process a-process f is provided. 공정 a: 황산구리계 도금 용액을 그을림 도금 조건으로 이용하여 동박의 표면을 갈색으로 하기 위한 최초의 도금 처리(이하, ‘기초 도금 처리’라고 칭한다.)를 행하는 기초 도금 처리 공정.Process a: The basic plating process which performs the initial plating process (henceforth a "basal plating process") to make the surface of copper foil brown using a copper sulfate type plating solution as a burning plating condition. 공정 b: 기초 도금 처리된 동박의 표면에 황산구리계 도금 용액을 그을림 도금 조건으로 이용하여 1회 이상의 추가 도금 처리를 행하는 추가 도금 처리 공정,Step b: an additional plating treatment step of performing one or more additional plating treatments on the surface of the copper foil subjected to the basic plating treatment using a copper sulfate plating solution as the burning plating condition; 공정 c: 공정 a 및 공정 b에 의해 그을림 도금을 행한 동박면에 황산구리계 도금 용액을 이용하여 평활 도금 조건으로 도금 처리를 행하는 피복 도금 처리 공정.Process c: The coating plating process process of performing a plating process on smooth plating conditions using the copper sulfate type plating solution to the copper foil surface which baked-baked by the process a and the process b. 공정 d: 공정 c가 완료되어 평활 도금 처리가 행해진 표면에 황산구리계 도 금 용액을 그을림 도금 조건을 이용하여 동박 표면을 갈색으로 마무리하기 위한 도금 처리(이하, ‘마무리 도금 처리’라고 칭한다.)를 행하는 마무리 도금 처리 공정.Process d: The copper sulfate plating solution is burnt on the surface where the process c was completed and the smooth plating process was performed, and the plating process (hereinafter referred to as 'finishing plating process') for finishing the copper foil surface in brown using plating conditions. Finish plating treatment process. 공정 e: 이상의 공정에 의해 갈색화 처리가 완료된 동박의 표면에 방청처리를 행하는 방청 처리 공정.Process e: The antirust process which performs a rust prevention process on the surface of the copper foil with which browning process was completed by the above process. 공정 f: 상술한 각 공정의 완료 후, 수세하고 건조하여 갈색화 표면처리 동박으로 완성하는 세정·건조 공정.Process f: After completion | finish of each process mentioned above, the washing | cleaning and drying process of washing with water and drying and finishing with browning surface treatment copper foil. 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 공정 a에서 그을림 도금을 행할 때에 채용되는 전류 밀도(Ia)에 대하여 공정 b에서 그을림 도금을 행할 때에 채용되는 전류 밀도(Ib)는 Ia의 50% 이하의 전류밀도인 갈색화 표면처리 동박의 제조방법.A current density (Ib) employed when performing a baked plating in step b with respect to the current density (Ia) used when performing the burn plating in step a is a current density of 50% or less of Ia. 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 공정 d에서 그을림 도금을 행할 때에 이용되는 구리 도금 용액은 구리 농도가 5 ~ 15g/l, 자유 황산 40 ~ 100g/l, 9-페닐아크리딘 50 ~ 300㎎/l, 염소 농도 20 ~ 32ppm인 갈색화 표면처리 동박의 제조방법.The copper plating solution used for the burn-up plating in step d has a copper concentration of 5 to 15 g / l, free sulfuric acid 40 to 100 g / l, 9-phenylacridine 50 to 300 mg / l, and a chlorine concentration of 20 to 32 ppm. Manufacturing method of browning surface-treated copper foil. 청구항 1에 기재된 갈색화 표면처리 동박을 이용한 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메쉬.The electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panels of a plasma display using the brownish surface-treated copper foil of Claim 1. 청구항 2에 기재된 갈색화 표면처리 동박을 이용한 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메쉬.Electromagnetic shielding conductive mesh for a front panel of a plasma display using the brownish surface-treated copper foil of Claim 2. 청구항 3에 기재된 갈색화 표면처리 동박을 이용한 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메쉬.The electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panels of a plasma display using the brownish surface-treated copper foil of Claim 3. 청구항 4에 기재된 갈색화 표면처리 동박을 이용한 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메쉬.The electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panels of a plasma display using the brownish surface-treated copper foil of Claim 4. 청구항 5에 기재된 갈색화 표면처리 동박을 이용한 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메쉬.The electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panels of a plasma display using the brownish surface-treated copper foil of Claim 5.
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