JP2005139546A - Blacking surface-treated copper foil, process for producing the blackening surface-treated copper foil and, using the blacking surface-treated copper foil, electromagnetic wave shielding conductive mesh - Google Patents

Blacking surface-treated copper foil, process for producing the blackening surface-treated copper foil and, using the blacking surface-treated copper foil, electromagnetic wave shielding conductive mesh Download PDF

Info

Publication number
JP2005139546A
JP2005139546A JP2004079942A JP2004079942A JP2005139546A JP 2005139546 A JP2005139546 A JP 2005139546A JP 2004079942 A JP2004079942 A JP 2004079942A JP 2004079942 A JP2004079942 A JP 2004079942A JP 2005139546 A JP2005139546 A JP 2005139546A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
copper foil
cobalt sulfate
treated copper
treatment
blackening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004079942A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tsutomu Higuchi
勉 樋口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Original Assignee
Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsui Mining and Smelting Co Ltd filed Critical Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Priority to JP2004079942A priority Critical patent/JP2005139546A/en
Publication of JP2005139546A publication Critical patent/JP2005139546A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface-treated copper foil exhibiting black color which can be worked by the customary copper etching process, and a conductive mesh for PDP produced from such a surface-treated copper foil. <P>SOLUTION: For the production of this surface-treated copper foil, there is employed, for example, a process comprising subjecting a surface of a copper foil to pulse electrolysis in a cobalt plating solution containing cobalt sulfate (heptahydrate) at a fixed current density so as to form a blacking-treated surface and to form a rustproof treated layer and thereafter carrying out water washing and drying. The surface-treated copper foil provided with the blacking-treated surface obtained by the production process is free from the falling of powder, and has extremely satisfactory blackness. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

黒色化表面処理銅箔及びその黒色化表面処理銅箔の製造方法並びにその黒色化表面処理銅箔を用いて得られる電磁波遮蔽金属メッシュに関する。   The present invention relates to a blackened surface-treated copper foil, a method for producing the blackened surface-treated copper foil, and an electromagnetic wave shielding metal mesh obtained using the blackened surface-treated copper foil.

プラズマディスプレイパネルのシールド用導電性メッシュは、進歩の過程において、金属化繊維織物から導電性メッシュへと変遷してきた。この導電性メッシュの製造には、いくつかの方法が確立されている。その一つは、表面処理銅箔をPETフィルムにラミネートして張り合わせ、フォトリソグラフエッチング法を用いて製造するものである。そして、もう一つは、表面処理銅箔を支持基材と共にフォトリソグラフエッチング法でエッチングして、その後、支持基材を剥がした表面処理銅箔単体の導電性メッシュである。   In the course of progress, the conductive mesh for shielding the plasma display panel has changed from a metalized fiber fabric to a conductive mesh. Several methods have been established for producing this conductive mesh. One of them is to manufacture by using a photolithographic etching method by laminating and bonding a surface-treated copper foil to a PET film. The other is a conductive mesh of a single surface-treated copper foil obtained by etching a surface-treated copper foil together with a supporting base material by a photolithographic etching method, and then peeling the supporting base material.

更に、近年の省電力化の要求から、プラズマ発生信号電圧を200Vから50Vレベルを目標として開発が行われており、当該電圧の低下に伴う輝度の減少を、導電性メッシュの回路幅を細線化し、導電性メッシュによる前面ガラスパネルの被覆率を減少させる試みがなされてきた。そのため、導電性メッシュの厚さを薄くして、エッチング加工を容易にすることが行われてきた。その一つが、PETフィルム上にスパッタリング蒸着法により、電気メッキの種となるシード層を形成し、その後電解銅メッキ等で薄い銅層を形成し、フォトリソグラフエッチング法で、メッシュ線幅を微細化した導電性メッシュの製造が行われてきた。   Furthermore, due to the recent demand for power saving, development has been carried out with the target plasma generation signal voltage set to 200V to 50V level, and the circuit width of the conductive mesh has been made thinner to reduce the brightness associated with the voltage drop. Attempts have been made to reduce the coverage of the front glass panel with conductive mesh. Therefore, the thickness of the conductive mesh has been reduced to facilitate the etching process. One of them is to form a seed layer, which is the seed of electroplating, on the PET film by sputtering vapor deposition, and then to form a thin copper layer by electrolytic copper plating, etc., and to refine the mesh line width by photolithographic etching Conductive meshes have been manufactured.

これらのいずれの方法で導電性メッシュが製造されるにせよ、導電性メッシュ自体は前面パネルの中に組み込まれ、前面ガラスを通して表面から視認できるものであるため、その導電性メッシュに加工される表面処理銅箔の片面は、黒色に処理され透過光の輝度を引き立たせるようにする。従来から、この処理には多層プリント配線板の、内層回路の樹脂層との接着性向上のために行う酸化銅層を形成する黒化処理等が転用されてきた。   Regardless of which method is used to produce the conductive mesh, the conductive mesh itself is built into the front panel and visible from the surface through the front glass, so the surface processed into the conductive mesh. One side of the treated copper foil is treated black to enhance the brightness of the transmitted light. Conventionally, a blackening treatment or the like for forming a copper oxide layer for improving the adhesion of the multilayer printed wiring board to the resin layer of the inner layer circuit has been diverted to this treatment.

PDP材料の技術動向 日立化成テクニカルレポート 第33号(1999−7)Technical Trends of PDP Materials Hitachi Chemical Technical Report No. 33 (1999-7) 特開平11−186785号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-186785

しかしながら、上述の黒化処理には、重大な問題があった。即ち、銅箔表面に銅の黒色酸化物を多く付けると、確かに黒色の強い良好な黒色化面が得られる。ところが、銅箔の表面に形成した銅の黒色酸化物は、付着量が多くなるほど、黒色化面から脱落しやすく、いわゆる粉落ち現象が起きやすいのである。   However, the above blackening process has a serious problem. That is, if a large amount of copper black oxide is applied to the surface of the copper foil, a good blackened surface with a strong black color can be obtained. However, the copper black oxide formed on the surface of the copper foil is more likely to fall off from the blackened surface as the amount of adhesion increases, and the so-called powder-off phenomenon tends to occur.

粉落ち現象が発生すると、脱落した黒色酸化物が無用な箇所に混入したり、前面パネルのガラスと一体化させるための透明化処理の時に、透明接着剤層に分散して透明度を劣化させる要因ともなり得るのである。   Factors that cause the falling black oxide to mix into the useless parts or to disperse in the transparent adhesive layer during the clearing process to integrate with the front panel glass. It can be a friend.

一方で、黒化処理のように粉落ちがなく、良好な黒色面を形成することの出来る黒色化処理として、一般的な黒色ニッケルメッキ、硫化ニッケルメッキ、コバルトメッキ等が検討されてきたが、通常の銅のエッチングプロセスで黒色化処理面側からのエッチング加工ができないという問題が生じていた。   On the other hand, as blackening treatment that does not fall off like blackening treatment and can form a good black surface, general black nickel plating, nickel sulfide plating, cobalt plating, etc. have been studied. There has been a problem that etching cannot be performed from the blackened surface side in a normal copper etching process.

そこで、ニッケルメッキに関しての問題点は、本件発明者等が特願2003−045669にて解決方法を提案してきた。ところが、依然としてコバルトメッキを用いた黒色化処理面を備える表面処理銅箔に関しての問題解決は図れていなかったのである。特に、現在市場に流通しているコバルトの黒色系メッキ被膜を備えた銅箔には、銅のエッチャントを用いてのコバルト層のエッチング加工が困難であるという問題が生じているのである。   Therefore, the present inventors have proposed a solution to the problem related to nickel plating in Japanese Patent Application No. 2003-045669. However, the problem relating to the surface-treated copper foil having a blackened surface using cobalt plating has not been solved. In particular, a copper foil provided with a black plating film of cobalt currently on the market has a problem that it is difficult to etch a cobalt layer using a copper etchant.

そのため、市場では、良好な黒色を持つ黒色化処理層を備え且つ通常の銅エッチングプロセスで容易にエッチング加工可能なコバルトメッキ被膜を備える表面処理銅箔、及び、そのような表面処理銅箔で製造された導電性メッシュが望まれてきたのである。   Therefore, in the market, a surface-treated copper foil having a blackening treatment layer having a good black color and having a cobalt plating film that can be easily etched by a normal copper etching process, and manufactured with such a surface-treated copper foil An improved conductive mesh has been desired.

そこで、本件発明者等は、鋭意研究の結果、以下に示すような製造方法で表面処理銅箔を製造すると従来にない程、良好な黒色化処理面を銅箔表面に形成できることに想到したのである。また、以下の製造方法で得られた黒色系のコバルトメッキ層を備える表面処理銅箔は、銅エッチャントで容易にエッチング加工可能で、高品質のプラズマディスプレイの前面パネル用の電磁波遮蔽導電性メッシュを得ることが可能であることに想到したのである。   Therefore, as a result of earnest research, the inventors of the present invention have come up with the idea that if a surface-treated copper foil is produced by the production method as shown below, a better blackened surface can be formed on the copper foil surface than ever before. is there. In addition, the surface-treated copper foil with a black cobalt plating layer obtained by the following manufacturing method can be easily etched with a copper etchant, and an electromagnetic shielding conductive mesh for the front panel of a high-quality plasma display. I realized that I could get it.

<本件発明に係る製造方法で得られる表面処理銅箔>
本件発明に係る黒色化処理面を備える表面処理銅箔は、基本的に「硫酸コバルト浴を用いたパルス電解メッキ法により形成された黒色化処理面を備える銅箔であって、当該黒色化処理面の硫酸コバルトメッキ層は重量厚さ200mg/m〜400mg/mであり、且つ、断面高さが200nm以下である黒色化表面処理銅箔。」と言える。ここでパルス電解メッキ法により形成された黒色化処理面としているように、後述するパルス電解メッキ法を採用することで、極めて安定した黒色化処理面の形成が可能となるのである。そして、防錆処理層を備えない場合(以下、「表面処理銅箔1」と称する。)、防錆処理層を備える場合(以下、「表面処理銅箔2」と称する。)とを含むものである。従って、防錆処理層は必須のものではないが、表面処理銅箔として長期保存性を確保するためには必要となるものである。以下、本件発明に係る表面処理銅箔に関して説明する。
<Surface-treated copper foil obtained by the production method according to the present invention>
The surface-treated copper foil provided with the blackening treatment surface according to the present invention is basically a copper foil provided with a blackening treatment surface formed by a pulse electrolytic plating method using a cobalt sulfate bath. cobalt sulfate plating layer surface are weight thickness 200mg / m 2 ~400mg / m 2 , and the cross section height is said to black surface treated copper foil. "it is 200nm or less. Here, as a blackening treatment surface formed by the pulse electrolytic plating method, a very stable blackening treatment surface can be formed by adopting the pulse electrolytic plating method described later. And the case where a rust prevention treatment layer is not provided (henceforth "surface treatment copper foil 1") and the case where a rust prevention treatment layer is provided (henceforth "surface treatment copper foil 2") are included. . Therefore, the antirust treatment layer is not essential, but is necessary for ensuring long-term storage as a surface-treated copper foil. Hereinafter, the surface-treated copper foil according to the present invention will be described.

(第1表面処理銅箔)
図1には、銅箔層2の片面に黒色化処理面として硫酸コバルトメッキ層3を設けた表面処理銅箔1aを模式的に示している。ここで言う硫酸コバルトメッキ層3とは、硫酸コバルト溶液を用いてメッキ法で形成した層を意味するものとして用いているのである。
(First surface-treated copper foil)
FIG. 1 schematically shows a surface-treated copper foil 1a in which a cobalt sulfate plating layer 3 is provided on one surface of the copper foil layer 2 as a blackening treatment surface. The cobalt sulfate plating layer 3 here is used to mean a layer formed by a plating method using a cobalt sulfate solution.

本件発明に係る表面処理銅箔の持つ第1の特色として、この硫酸コバルトメッキ層3は、重量厚さ200mg/m〜400mg/mのものとすることで、銅エッチング液に対する溶解性に優れ、且つ、十分な黒色化が可能となるのである。従来のコバルト層を用いた黒色系メッキ被膜を備えた銅箔のコバルト層は、その重量厚さが1000mg/m前後であり、非常に厚いものであった。その結果、厚さがあるが故に銅エッチング液による溶解速度が遅くなると共に、コバルトという元素自体が銅エッチング液に高濃度に蓄積してエッチング液の力価を低下させる要因となっていたのである。なお、本件発明における換算重量は、コバルト重量に換算しての物である。換算重量は、表面処理銅箔を酸溶液に溶解させ、プラズマ発光分光分析法等により単位面積あたりのコバルト量を求め、表面処理銅箔1mあたりの重量に換算したものである。 As a first feature with the surface treated copper foil according to the present invention, the cobalt sulfate plating layer 3, With a weight thickness of 200mg / m 2 ~400mg / m 2 , the solubility of the copper etchant Excellent and sufficient blackening becomes possible. The cobalt layer of the copper foil provided with the black plating film using the conventional cobalt layer had a weight thickness of about 1000 mg / m 2 and was very thick. As a result, because of the thickness, the dissolution rate by the copper etching solution slows down, and the element itself called cobalt accumulates in the copper etching solution at a high concentration, which causes the titer of the etching solution to decrease. . In addition, the conversion weight in this invention is a thing converted into a cobalt weight. The converted weight is obtained by dissolving the surface-treated copper foil in an acid solution, obtaining the amount of cobalt per unit area by plasma emission spectroscopy or the like, and converting it to the weight per 1 m 2 of the surface-treated copper foil.

また、コバルトメッキ層が銅エッチング液に溶解しやすいものとなるか否かは、コバルトメッキを行う際のメッキ条件によっても大きく影響を受けることも分かってきた。即ち、上述した本件発明に係る表面処理銅箔の製造方法を採用したときに得られるコバルトメッキ被膜が最もエッチング特性に優れるものとなるのである。   It has also been found that whether or not the cobalt plating layer is easily dissolved in the copper etching solution is greatly influenced by the plating conditions when performing cobalt plating. That is, the cobalt plating film obtained when the method for producing a surface-treated copper foil according to the present invention described above is adopted has the best etching characteristics.

そして、本件発明に係る表面処理銅箔の持つ第2の特色は、その黒色化処理面の表面形状が極めて粗いものではなく、当該黒色化処理面の持つ断面高さが200nm以下であることが第1の特徴である。即ち、極めて滑らかで光沢を持つ黒色化処理面ということができる。但し、誤解を招かないために明記しておくが、通常の製造工程の範囲内におけるバラツキが存在するのは当然であり、必ずしも全ての位置での断面高さが200nm以下である必要はなく、製造工程のバラツキを反映した程度で200nmを超える断面高さが存在する場合があるのは当然である。本件発明に係る表面処理銅箔1の黒色化処理面2の断面高さを測定するために、集束イオンビーム加工装置(FIB)を用いて調製した断面のSIM像を図2に示す。この図2には、電解銅箔の光沢面に黒色化処理面を形成したものを示している。なお、図2の観察像は、被観察面に対して60°の角度を持った方向から観察したものである。   The second feature of the surface-treated copper foil according to the present invention is that the surface shape of the blackened surface is not very rough, and the cross-sectional height of the blackened surface is 200 nm or less. This is the first feature. That is, it can be said to be a very smooth and glossy blackened surface. However, in order to avoid misunderstanding, it is natural that there is variation within the range of the normal manufacturing process, and the cross-sectional height at all positions is not necessarily 200 nm or less, Of course, there may be a cross-sectional height of more than 200 nm to reflect the variation in the manufacturing process. In order to measure the cross-sectional height of the blackened surface 2 of the surface-treated copper foil 1 according to the present invention, a SIM image of a cross-section prepared using a focused ion beam processing apparatus (FIB) is shown in FIG. FIG. 2 shows a blackened surface formed on the glossy surface of the electrolytic copper foil. 2 is an image observed from a direction having an angle of 60 ° with respect to the surface to be observed.

この図2から分かるように、黒色化処理面の断面は一定の凹凸が存在することが明らかであり、このような凹凸をモニターする場合、触針式の表面粗さ計を用いるのが一般的である。ところが、図2のスケールから分かるように、表面粗さ計では正確な粗さ測定が不可能なレベルの凹凸であると考えられる。そこで、本件発明では、表面粗さ計で測ったときのRmaxに対応する値として、SIM観察像の視野の中の山部と谷部との最大差を「断面高さ」としているのである。この図2の中に「d」で示す箇所が、図2の断面高さとなり、約80nmと判断できるのである。しかも、図2において、黒色化処理面2は、極めて均一な厚さで銅箔表面の形状に沿って形成されており、下地の銅箔表面と完全に密着した状態を維持しており、黒色化処理面2が浮き上がる等の不具合箇所は見あたらず、粉落ちを予感させる箇所は見られないのである。   As can be seen from FIG. 2, it is clear that the cross section of the blackened surface has certain irregularities. When monitoring such irregularities, it is common to use a stylus type surface roughness meter. It is. However, as can be seen from the scale of FIG. 2, it is considered that the surface roughness meter has irregularities at a level where accurate roughness measurement is impossible. Therefore, in the present invention, as a value corresponding to Rmax when measured with a surface roughness meter, the maximum difference between the peak portion and the valley portion in the field of view of the SIM observation image is set as the “section height”. The portion indicated by “d” in FIG. 2 is the sectional height of FIG. 2 and can be determined to be about 80 nm. Moreover, in FIG. 2, the blackening treatment surface 2 is formed with a very uniform thickness along the shape of the copper foil surface, and maintains a state of being completely in close contact with the underlying copper foil surface. There are no trouble spots such as the floatation surface 2 being lifted up, and there are no places where powder fall is predicted.

これに対し、従来の銅箔表面に形成した黒色化処理面を、上述したと同様に断面からSIM観察すると、図3及び図4に示すような結果となる。即ち、黒色化処理面を構成する形状が樹枝状に成長し、下地の銅箔からかなり突出した状態となっていることが分かるのである。従って、このときの断面高さ(d)を測定すると図3の場合が約480nm、図4の場合が約270nmとなり、かなり荒れた表面になっていることが理解できるのである。しかも、このような、樹枝形状を持つ黒色化処理面は、その樹枝状部が折れ易く損傷を受けやすい表面であると言え、しかも、折れた断片が脱落すれば粉落ちが発生するのも当然であり、黒色化処理表面を目視で見たとき色ムラを引き起こす原因となっていると考えられるのである。   On the other hand, when the blackened surface formed on the surface of the conventional copper foil is observed from the cross section in the same manner as described above, the results shown in FIGS. 3 and 4 are obtained. That is, it can be seen that the shape constituting the blackening treatment surface grows in a dendritic shape and is considerably protruded from the underlying copper foil. Therefore, when the cross-sectional height (d) at this time is measured, it can be understood that the surface in FIG. 3 is about 480 nm and the case in FIG. 4 is about 270 nm, which is a considerably rough surface. In addition, such a blackened surface having a dendritic shape can be said to be a surface where the dendritic part is easily broken and easily damaged, and it is natural that powder breakage occurs if the broken piece falls off. This is considered to be a cause of color unevenness when the blackened surface is visually observed.

以上に述べてきた本件発明に係る表面処理銅箔は、図2のSIM断面観察像から極めて滑らかな表面を持っていることが理解できる。ところが、光沢のある黒色化処理ではあるが、黒色化処理表面が受けた光を乱反射する程の光沢を有するわけではなく、電解銅箔及び圧延銅箔の光沢面に黒色化処理を施した場合でも、Lab表色系におけるL値が27以上となるのである。ここで、27以上と記載しているように、上限は特に限定していないが、経験的に41程度が上限となるようである。   It can be understood that the surface-treated copper foil according to the present invention described above has a very smooth surface from the SIM cross-sectional observation image of FIG. However, although it is a glossy blackening treatment, it does not have a gloss that diffusely reflects the light received by the blackening treatment surface, and the glossy surface of the electrolytic copper foil and the rolled copper foil is subjected to blackening treatment However, the L value in the Lab color system is 27 or more. Here, as described as 27 or more, the upper limit is not particularly limited, but it seems that about 41 is the upper limit empirically.

黒色化処理面の表面が艶消し状態であるか否かは、Lab表色系よりも光沢度を用いて表すことの方が好ましい。しかしながら、本件発明に係る黒色化処理面の光沢度は、黒色化処理面を形成する下地の種類に応じて分類すべきである。一つは、前記黒色化処理面は、電解銅箔の光沢面若しくは圧延銅箔の表面に当該黒色化処理面を形成したものである場合でも、光沢度[Gs(60°)]が30以下であることが好ましいのである。光沢度が30より大となると、所謂黒光りする状態となり金属光沢が目立つようになるのである。   Whether or not the surface of the blackened surface is in a matte state is preferably expressed using glossiness rather than the Lab color system. However, the glossiness of the blackened surface according to the present invention should be classified according to the type of base on which the blackened surface is formed. One is that even when the blackened surface is a glossy surface of an electrolytic copper foil or a surface of a rolled copper foil, the glossy [Gs (60 °)] is 30 or less. It is preferable that When the glossiness is higher than 30, a so-called black shining state occurs and the metallic luster becomes conspicuous.

また、前記黒色化処理面に防錆処理層を備えるものとすることも好ましい。本件発明に係る表面処理銅箔の長期保存性を確保できるからである。この防錆処理層には、黒色化処理層の変色を引き起こすことなく、しかも、銅エッチング液により容易に溶解可能なものであれば、亜鉛、真鍮等の無機防錆、ベンゾトリアゾール、イミダゾール等の有機防錆等のいずれをも用いることが可能である。   Moreover, it is also preferable to provide a rust prevention treatment layer on the blackening treatment surface. This is because the long-term storage stability of the surface-treated copper foil according to the present invention can be ensured. In this rust-proofing layer, if it does not cause discoloration of the blackening-treated layer and can be easily dissolved by a copper etching solution, inorganic rust-proofing such as zinc and brass, benzotriazole, imidazole, etc. Any of organic rust prevention and the like can be used.

(第2表面処理銅箔)
この表面処理銅箔は、上述の第1表面処理銅箔の表面に長期保存性を確保するための防錆処理層を形成したものである。図5の両面に防錆処理層4を備えた表面処理銅箔1bの断面層構成を模式的に例示した。銅箔としての防錆のみを目的とする限りにおいては、イミダゾール、ベンゾトリアゾール等の有機防錆、一般的に用いられている亜鉛又は真鍮等の亜鉛合金による無機防錆等を広く用いることが可能である。また、防錆処理層は、少なくとも本件発明に係る表面処理銅箔の硫酸コバルトメッキ層を設けた反対面に設けるべきものであるが、両面に設けても差し支えないものである。
(Second surface-treated copper foil)
This surface-treated copper foil is obtained by forming a rust-proofing layer for ensuring long-term storage on the surface of the first surface-treated copper foil. The cross-sectional layer structure of the surface-treated copper foil 1b provided with the antirust treatment layer 4 on both surfaces of FIG. 5 is schematically illustrated. As long as the purpose is to prevent rust as copper foil only, organic rust prevention such as imidazole and benzotriazole, inorganic rust prevention using zinc alloy such as zinc or brass, etc. that are generally used can be widely used. It is. Moreover, although a rust prevention process layer should be provided in the opposite surface which provided the cobalt sulfate plating layer of the surface treatment copper foil which concerns on this invention at least, it does not interfere even if it provides in both surfaces.

しかしながら、その両面に防錆処理層4を設けると、これらの防錆処理層は、黒色化処理を施していない面の外観を長期間に渡って維持する役割を果たすのである。この防錆処理層4には、亜鉛−ニッケル合金層若しくは亜鉛−コバルト層を設けることが特に好ましい。これらの防錆処理層4は、硫酸コバルトメッキ層3と組みあわせて用いることで、硫酸コバルトメッキ層3をエッチング溶解させる際の溶解プロモータとして機能しているように考えられる。即ち、硫酸コバルトメッキ層3が単独で存在する場合よりも、亜鉛−ニッケル合金層若しくは亜鉛−コバルト層を備える方が、硫酸コバルトメッキ層3の溶解が迅速に起こるのである。   However, when the antirust treatment layers 4 are provided on both sides, these antirust treatment layers play a role of maintaining the appearance of the surface not subjected to the blackening treatment for a long period of time. It is particularly preferable to provide the rust prevention treatment layer 4 with a zinc-nickel alloy layer or a zinc-cobalt layer. These rust prevention treatment layers 4 are considered to function as a dissolution promoter when the cobalt sulfate plating layer 3 is dissolved by etching when used in combination with the cobalt sulfate plating layer 3. That is, the dissolution of the cobalt sulfate plating layer 3 occurs more quickly when the zinc sulfate plating layer 3 is provided alone than when the zinc sulfate alloy layer or the zinc-cobalt layer is provided.

更に、図6に防錆処理層4とクロメート処理層5とを両面に備えた表面処理銅箔1cの断面層構成を模式的に示した。図5と図6とを対比することから分かるように、これらの防錆処理層4を備える表面処理銅箔との違いは、クロメート処理層5を備える点のみであり、その他の構成は同様である。     Furthermore, the cross-sectional layer structure of the surface treatment copper foil 1c provided with the antirust treatment layer 4 and the chromate treatment layer 5 on both surfaces is schematically shown in FIG. As can be seen from the comparison between FIG. 5 and FIG. 6, the difference from the surface-treated copper foil provided with these rust-proof treated layers 4 is only the point provided with the chromate treated layer 5, and other configurations are the same. is there.

このクロメート処理層5は、亜鉛−ニッケル合金又は亜鉛−コバルト合金等で構成した防錆処理層4を形成した後に、片面若しくは両面に形成するものである。そして、このクロメート処理層5が存在することで、表面処理銅箔の耐酸化性能を著しく向上させ、酸化変色などのコスメティックコロージョンを効果的に防止するのである。   The chromate treatment layer 5 is formed on one side or both sides after the rust prevention treatment layer 4 made of zinc-nickel alloy or zinc-cobalt alloy is formed. The presence of the chromate treatment layer 5 significantly improves the oxidation resistance of the surface-treated copper foil, and effectively prevents cosmetic corrosion such as oxidation discoloration.

以上の述べてきた黒色化処理表面を備える表面処理銅箔の黒色の程度を黒濃度として表すと1.0以上(測定条件:StatusT、Sampling aparture1.5×2mm、偏光フィルター無し)となる(経験的に上限は1.8程度である)。従来から、プラズマディスプレイパネルの電磁波遮蔽メッシュに用いられてきた表面処理銅箔の黒色化処理面の黒濃度は、黒色化処理面を直接観察したときの黒濃度は約1.0以上(本件発明者等の市場で入手可能な製品で測定すると1.30〜1.67)であり、十分な黒濃度であると言えるのである。なお、本件発明における黒濃度は、JIS B 9620、JIS B 9622に基づいて測定したものであり、上述の測定条件を採用している。   The blackness of the surface-treated copper foil provided with the blackened surface described above is expressed as 1.0 or more (measurement conditions: Status T, Sampling aperture 1.5 × 2 mm, no polarizing filter) (experience) The upper limit is about 1.8). Conventionally, the black density of the blackened surface of the surface-treated copper foil used for the electromagnetic wave shielding mesh of the plasma display panel is about 1.0 or more when the blackened surface is directly observed (this invention) It is 1.30 to 1.67) when measured with a product available on the market such as a consumer, and it can be said that the black density is sufficient. The black density in the present invention is measured based on JIS B 9620 and JIS B 9622, and the above-described measurement conditions are adopted.

<黒色化処理面を備える表面処理銅箔の製造方法>
(黒色化処理面を備える表面処理銅箔の基本的製造方法)
本件発明における黒色化処理面を備える表面処理銅箔の基本的製造方法は、「硫酸コバルトメッキにより形成した黒色化処理面を備える表面処理銅箔の製造方法であって、硫酸コバルトメッキにパルス電解法を用いることを特徴とした黒色化処理面を備える表面処理銅箔の製造方法。」である。
<Method for producing a surface-treated copper foil having a blackened surface>
(Basic manufacturing method of surface-treated copper foil with blackened surface)
The basic method for producing a surface-treated copper foil having a blackened surface in the present invention is “a method for producing a surface-treated copper foil having a blackened surface formed by cobalt sulfate plating, and pulse electrolysis is applied to cobalt sulfate plating. The manufacturing method of the surface treatment copper foil provided with the blackening process surface characterized by using a method. "

この製造方法は、銅箔の表面に硫酸コバルトメッキを用いて黒色化処理面を形成するのであるが、このときにパルス電解法を用いるのである。このようにパルス電解法を採用することで、硫酸コバルトメッキ条件が同じであれば、通常電解に比べ黒色度のより高い良好な黒色化処理面が得られるのである。ここでパルス電解とは、電解電流を一定時間間隔でON/OFFすることで行う電解操作のことである。以下、より詳細に本件発明に係る表面処理銅箔の製造方法に関して説明するが、防錆処理の有無により2種類の製造方法に大別することが出来るので、「表面処理銅箔の製造方法1」と「表面処理銅箔の製造方法2」とに分けて説明する。   In this manufacturing method, the blackened surface is formed on the surface of the copper foil by using cobalt sulfate plating, and at this time, the pulse electrolysis method is used. By adopting the pulse electrolysis method as described above, if the cobalt sulfate plating conditions are the same, a good blackened surface having a higher blackness than that obtained by normal electrolysis can be obtained. Here, the pulse electrolysis is an electrolysis operation performed by turning on / off the electrolysis current at regular time intervals. Hereinafter, although the manufacturing method of the surface treatment copper foil which concerns on this invention is demonstrated in detail, since it can divide roughly into two types of manufacturing methods by the presence or absence of a rust prevention process, it is "the manufacturing method 1 of a surface treatment copper foil. "And" Production method 2 of surface-treated copper foil "will be described separately.

(表面処理銅箔の製造方法1)
この表面処理銅箔の製造方法は、防錆処理工程を含まない点が、後述する表面処理銅箔の製造方法2と異なるものである。この製造方法では、以下のような工程を含む製造方法を採用することが望ましい。
(Method 1 for producing surface-treated copper foil)
The method for producing the surface-treated copper foil is different from the method 2 for producing the surface-treated copper foil described later in that it does not include a rust prevention treatment step. In this manufacturing method, it is desirable to employ a manufacturing method including the following steps.

この製造方法は、銅箔表面の粗化処理のない場合に好適な黒色化処理方法を採用した製造方法である。即ち、硫酸コバルトメッキにより形成した黒色化処理面を備える表面処理銅箔の製造方法であって、以下のa)及びb)の工程を備えることを特徴とした黒色化処理面を備える表面処理銅箔の製造方法である。   This production method is a production method employing a blackening treatment method that is suitable when there is no roughening treatment on the surface of the copper foil. A surface-treated copper foil having a blackened surface, characterized in that it is a method for producing a surface-treated copper foil having a blackened surface formed by cobalt sulfate plating, comprising the following steps a) and b): It is a manufacturing method of foil.

ここで、硫酸コバルトメッキの被メッキ対象となる銅箔は、粗化処理を行っていないものであり、この粗化処理とは張り合わせる基材等との良好な密着性を得るために施されるものであり、微細な銅粒を付着させるか、黒色に見える銅酸化物を付着させられる等の方法により意図的に粗化させたものを対象にしており、電解銅箔のバルク銅層の析出時に自然に形成される粗面は含まないものである。   Here, the copper foil to be plated with cobalt sulfate plating is not subjected to a roughening treatment, and this roughening treatment is applied in order to obtain good adhesion to the substrate to be bonded. It is intended for those that are intentionally roughened by a method such as attaching fine copper particles or attaching a copper oxide that appears black, and the bulk copper layer of the electrolytic copper foil It does not include rough surfaces that are naturally formed during deposition.

a)の工程では、上述した銅箔の表面上に、硫酸コバルトメッキ層を形成するのである。このときのa)の工程では、上述した銅箔の粗化処理を施していない表面に、硫酸コバルト(7水和物)を10g/l〜40g/l含み、pHを4.0以上、液温30℃以下とした硫酸コバルトメッキ液を攪拌浴として用い、4A/dm以下の電流密度でパルス電解して、黒色系の硫酸コバルトメッキ層を形成するのである。ここで特徴的なことは、硫酸コバルトメッキを行う際の前記硫酸コバルトメッキ液を攪拌しつつ電解する点にある。 In the step a), a cobalt sulfate plating layer is formed on the surface of the copper foil described above. In the step a) at this time, cobalt sulfate (septahydrate) is contained in an amount of 10 g / l to 40 g / l on the surface of the copper foil that has not been roughened, and the pH is 4.0 or more. Using a cobalt sulfate plating solution having a temperature of 30 ° C. or less as a stirring bath, pulse electrolysis is performed at a current density of 4 A / dm 2 or less to form a black cobalt sulfate plating layer. What is characteristic here is that the cobalt sulfate plating solution used for cobalt sulfate plating is electrolyzed while stirring.

この硫酸コバルト濃度は、硫酸コバルト濃度が低いほど、良好な黒色化状態を作り出すことが可能という傾向にある。しかしながら、硫酸コバルトメッキ液中の硫酸コバルト(7水和物)が10g/l未満となると、攪拌浴を採用して形成する硫酸コバルトメッキ層の電着速度が遅くなり、しかも、硫酸コバルト層の厚さが不均一となる傾向が強くなり工業的生産性に欠ける結果となるのである。これに対し、硫酸コバルト(7水和物)が40g/lを超えると、形成される硫酸コバルトメッキ層が緻密な凹凸を形成しにくくなり、結果として良好な黒色化状態では無くなるのである。   The cobalt sulfate concentration tends to create a better blackened state as the cobalt sulfate concentration is lower. However, when the cobalt sulfate (7 hydrate) in the cobalt sulfate plating solution is less than 10 g / l, the electrodeposition rate of the cobalt sulfate plating layer formed by using the stirring bath becomes slow, and the cobalt sulfate layer This tends to make the thickness non-uniform, resulting in a lack of industrial productivity. On the other hand, when cobalt sulfate (7 hydrate) exceeds 40 g / l, the formed cobalt sulfate plating layer is difficult to form dense irregularities, and as a result, it is not in a favorable blackened state.

このときのパルス電解条件は、通電時間(TON)と未通電時間(TOFF)とのパルス比(θ=TON/(TON+TOFF))が0.75以下とすることが好ましい。このパルス比を0.75を超えるものとすると、連続通電したときと同様の黒色度となりパルス電解法を採用する意味が没却されるのである。一方、このパルス比の下限に関して特に規定していないのは、下限に特に限定はなく、生産性が劣るだけとなる。従って、工業的に見て操業可能な生産性を考慮すれば、パルス比0.05が下限と考える。 The pulse electrolysis condition at this time is preferably such that the pulse ratio (θ = T ON / (T ON + T OFF )) between the energization time (T ON ) and the non-energization time (T OFF ) is 0.75 or less. If this pulse ratio exceeds 0.75, the blackness becomes the same as that when continuous energization is applied, and the meaning of adopting the pulse electrolysis method is lost. On the other hand, the lower limit of the pulse ratio is not particularly specified, and the lower limit is not particularly limited, and the productivity is only inferior. Therefore, considering the productivity that can be operated from an industrial viewpoint, a pulse ratio of 0.05 is considered to be the lower limit.

また、このときの硫酸コバルトメッキ液の溶液pHは4.0以上であり、4.5〜5.5の範囲を目標に調整するのが好ましいのである。この範囲において、歩留まり良く、良好な黒色のコバルトメッキ層を得ることが出来るのである。このpH調整には、コバルトメッキ層の黒色が金属色へと変質を防止するため、水酸化ナトリウム又は水酸化カリウム等の他の電解質を添加することは好ましくない。   In addition, the solution pH of the cobalt sulfate plating solution at this time is 4.0 or more, and it is preferable to adjust the pH in the range of 4.5 to 5.5. In this range, a good black cobalt plating layer can be obtained with a good yield. For this pH adjustment, it is not preferable to add another electrolyte such as sodium hydroxide or potassium hydroxide in order to prevent the black color of the cobalt plating layer from changing to a metallic color.

従って、溶液pHは、溶液中の金属イオン濃度を一定に維持することによって、結果として4.0以上の範囲で安定化させるのである。このように溶液中のコバルトイオン濃度を安定化させるためには、溶解性のコバルト電極を用い、電着したコバルトイオン分を溶解供給させるか、金属イオン濃度を連続的にモニターして水酸化コバルトを用いて適宜添加することで、コバルトイオン濃度を安定化する手法等を採用することが望ましい。   Therefore, the solution pH is stabilized in the range of 4.0 or more as a result by keeping the metal ion concentration in the solution constant. In order to stabilize the cobalt ion concentration in the solution in this way, a soluble cobalt electrode is used to dissolve and supply the electrodeposited cobalt ions, or the metal ion concentration is continuously monitored to obtain cobalt hydroxide. It is desirable to employ a technique for stabilizing the cobalt ion concentration by adding the material as appropriate.

そして、このときの硫酸コバルトメッキ液は、その液温を30℃以下として用いることが好ましいのである。このときの液温は、低い方が良好な黒色化処理面を得ることが出来る傾向にある。しかしながら、液温を30℃以下に設定すれば、上記第1表面処理銅箔の製造方法で、粗化処理のない銅箔表面に黒色化処理を施した以上に良好な黒色化処理面を得ることが可能となるのである。   The cobalt sulfate plating solution at this time is preferably used at a liquid temperature of 30 ° C. or lower. At this time, the lower the liquid temperature, the better the blackened surface tends to be obtained. However, if the liquid temperature is set to 30 ° C. or lower, the method for producing the first surface-treated copper foil obtains a better blackened surface than when the surface of the copper foil without the roughening treatment is subjected to the blackening treatment. It becomes possible.

そして、電解を行うときの電流密度には、4A/dm以下の電流を用いるのである。この範囲において、銅箔表面を粗化処理しなくても、有機剤等との密着性に優れた良好な微細凹凸の硫酸コバルトメッキ層が形成できるのである。通常、凹凸のある黒色系のメッキ表面を得ようとすると、過剰なヤケメッキ領域に入る電解電流を流す方法が採用される。しかしながら、ここでは電解に用いる電流密度が小さなものである程、安定的に良好な黒色化処理が可能となる傾向がある。従って、可能な限り小さな電流密度を採用すればよいのであるが、工業的な生産性を考慮して0.5A/dmが電流密度の下限値のように判断できる。一方、電流密度が4A/dmを超えると、上記第1表面処理銅箔の製造方法で、黒色化処理面の黒色化レベルが劣化しだすのである。上述した電流密度の範囲で形成した黒色化処理面は、そこから粉落ち現象が起こることもないのである。 A current of 4 A / dm 2 or less is used as the current density when electrolysis is performed. Within this range, even if the surface of the copper foil is not roughened, a good fine uneven cobalt sulfate plating layer having excellent adhesion to an organic agent or the like can be formed. Usually, in order to obtain an uneven black plating surface, a method of flowing an electrolytic current that enters an excessive burn plating region is employed. However, here, the smaller the current density used for electrolysis, the more stable blackening treatment tends to be possible. Therefore, a current density as small as possible should be adopted, but it can be determined that 0.5 A / dm 2 is the lower limit value of the current density in consideration of industrial productivity. On the other hand, when the current density exceeds 4 A / dm 2 , the blackening level of the blackened surface is deteriorated by the method for producing the first surface-treated copper foil. The blackening treatment surface formed in the above-described current density range does not cause the powder falling phenomenon.

b)の工程では、以上の工程を経た銅箔を、水洗し、乾燥することで硫酸コバルトメッキ層を黒色化処理面とする表面処理銅箔を得るのである。ここでの水洗方法、乾燥方法に特段の限定はなく、通常考えられる方式を採用することが可能である。   In the step b), the copper foil subjected to the above steps is washed with water and dried to obtain a surface-treated copper foil having a cobalt sulfate plating layer as a blackened surface. There is no particular limitation on the washing method and the drying method here, and it is possible to adopt a generally considered method.

(第2表面処理銅箔の製造方法)
第2表面処理銅箔の場合には、上述の第1表面処理銅箔の製造方法と同様に、硫酸コバルトメッキ層を黒色化処理面とする表面処理銅箔を製造し、その後、防錆処理層の形成を行うのである。従って、製造フローは「a)銅箔表面に黒色系の硫酸コバルトメッキ層を形成する。 b)黒色の硫酸コバルトメッキ層を表面に形成した銅箔の両面若しくは片面に防錆処理層を形成する。 c)その後、水洗し、乾燥する。」となる。即ち、第1表面処理銅箔の製造方法に防錆処理層の形成工程が増えたに過ぎないものである。
(Method for producing second surface-treated copper foil)
In the case of the second surface-treated copper foil, a surface-treated copper foil having a cobalt sulfate plating layer as a blackened surface is produced in the same manner as in the above-described method for producing the first surface-treated copper foil. Layer formation is performed. Therefore, the manufacturing flow is as follows: “a) A black cobalt sulfate plating layer is formed on the surface of the copper foil. B) A rust preventive treatment layer is formed on both sides or one side of the copper foil on which the black cobalt sulfate plating layer is formed. C) Then, it is washed with water and dried. " That is, only the formation process of the antirust process layer increased in the manufacturing method of the 1st surface treatment copper foil.

よって、ここでは防錆処理層の形成工程に関してのみ説明する。表面に黒色の硫酸コバルトメッキ層の形成が終了した銅箔の両面若しくは片面に、防錆処理層を形成するのである。従来知られたイミダゾール、ベンゾトリアゾール等の有機防錆、一般的に用いられている亜鉛又は真鍮等の亜鉛合金による無機防錆等を用いる場合に関しては、特に説明を要するものでは無く常法に従えばよいと考え、ここでの詳細な説明は省略する。   Therefore, only the formation process of the antirust treatment layer will be described here. A rust preventive layer is formed on both sides or one side of the copper foil on which the formation of the black cobalt sulfate plating layer has been completed. In the case of using conventionally known organic rust preventives such as imidazole and benzotriazole, and inorganic rust preventives such as commonly used zinc alloys such as zinc or brass, no special explanation is required and conventional methods are followed. Detailed explanation here is omitted.

以下、防錆処理層を亜鉛−ニッケル合金メッキ液又は亜鉛−コバルト合金メッキ液を用いてメッキ処理して形成する場合に関して述べることとする。最初に、亜鉛−ニッケル合金メッキに関して説明する。ここで用いる亜鉛−ニッケル合金メッキ液に特に限定はないが、一例を挙げれば、硫酸ニッケルを用いニッケル濃度が1〜2.5g/l、ピロリン酸亜鉛を用いて亜鉛濃度が0.1〜1g/l、ピロリン酸カリウム50〜500g/l、液温20〜50℃、pH8〜11、電流密度0.3〜10A/dmの条件等を採用するのである。 Hereinafter, the case where the antirust treatment layer is formed by plating using a zinc-nickel alloy plating solution or a zinc-cobalt alloy plating solution will be described. First, the zinc-nickel alloy plating will be described. The zinc-nickel alloy plating solution used here is not particularly limited. For example, nickel sulfate is used to have a nickel concentration of 1 to 2.5 g / l, and zinc pyrophosphate is used to have a zinc concentration of 0.1 to 1 g. / L, potassium pyrophosphate 50-500 g / l, liquid temperature 20-50 ° C., pH 8-11, current density 0.3-10 A / dm 2 , etc. are adopted.

次に、亜鉛−コバルト合金メッキに関して説明する。ここで用いる亜鉛−コバルト合金メッキ液に特に限定はないが、一例を挙げれば、硫酸コバルトを用いコバルト濃度が1〜2.5g/l、ピロリン酸亜鉛を用いて亜鉛濃度が0.1〜1g/l、ピロリン酸カリウム50〜500g/l、液温20〜50℃、pH8〜11、電流密度0.3〜10A/dmの条件等を採用するのである。この亜鉛−コバルト合金メッキと後述するクロメ−ト処理とを組み合わせた防錆処理層は、特に優れた耐蝕性能を示すのである。 Next, zinc-cobalt alloy plating will be described. The zinc-cobalt alloy plating solution used here is not particularly limited. For example, cobalt sulfate is used to have a cobalt concentration of 1 to 2.5 g / l, and zinc pyrophosphate is used to have a zinc concentration of 0.1 to 1 g. / L, potassium pyrophosphate 50-500 g / l, liquid temperature 20-50 ° C., pH 8-11, current density 0.3-10 A / dm 2 , etc. are adopted. The anticorrosion treatment layer combining this zinc-cobalt alloy plating and the chromate treatment described later exhibits particularly excellent corrosion resistance.

第2表面処理銅箔の場合には、銅箔の表面に亜鉛−ニッケル合金層又は亜鉛−コバルト合金層等を形成した後に、クロメート層を形成すれば、より優れた耐蝕性を得ることが可能となるのである。即ち、上述の防錆処理層の形成後に、クロメート処理工程を設ければよいのである。このクロメート処理工程では、クロメート溶液と当該銅箔表面とを接触させての置換処理でも、クロメート溶液中で電解してクロメート被膜を形成する電解クロメート処理のいずれの方法を採用しても構わないのである。また、ここで用いるクロメート溶液に関しても、常法で用いられる範囲のものを使用することが可能である。そして、その後、水洗し、乾燥することで黒色化処理面を備える表面処理銅箔を得るのである。   In the case of the second surface-treated copper foil, if a chromate layer is formed after forming a zinc-nickel alloy layer or a zinc-cobalt alloy layer on the surface of the copper foil, it is possible to obtain better corrosion resistance. It becomes. That is, a chromate treatment process may be provided after the formation of the above-mentioned rust prevention treatment layer. In this chromate treatment step, either a substitution treatment in which the chromate solution is brought into contact with the copper foil surface or an electrolytic chromate treatment in which a chromate film is formed by electrolysis in the chromate solution may be employed. is there. Also, the chromate solution used here can be in the range used in the usual method. And after that, the surface-treated copper foil provided with a blackening treatment surface is obtained by washing with water and drying.

以上に述べてきた本件発明に係る製造方法で得られる黒色化処理面を備えた表面処理銅箔は、黒色化処理面からの粉落ちがなく、しかも、極めて良好な黒色を持ちつつも、その黒色化処理層は通常の銅エッチングプロセスでエッチング除去が可能である。よって、プリント配線板を製造するプロセスを使用して、容易に任意の形状に加工することが可能である。これらのことを考えると、プラズマディスプレイパネルの前面パネルに組み込まれる電磁波遮蔽導電性メッシュの用途に最適なものと言えるのである。   The surface-treated copper foil provided with the blackening treatment surface obtained by the production method according to the present invention described above has no powder falling off from the blackening treatment surface, and while having a very good black color, The blackened layer can be removed by a normal copper etching process. Therefore, it can be easily processed into an arbitrary shape by using a process for manufacturing a printed wiring board. Considering these things, it can be said that the electromagnetic wave shielding conductive mesh incorporated in the front panel of the plasma display panel is most suitable for use.

以下に、上述してきた黒色化処理面を備えた表面処理銅箔を製造し、銅エッチング液を用いて電磁波遮蔽導電性メッシュを製造した結果を示すこととする。   Below, the surface-treated copper foil provided with the blackening process surface mentioned above is manufactured, and the result of having manufactured the electromagnetic wave shielding electroconductive mesh using the copper etching liquid is shown.

本実施例では、粗化処理を施していない銅箔を用いて黒色化処理を行い、図1に示す第1表面処理銅箔1aを製造し、電磁波遮蔽導電性メッシュ形状をエッチング法で試験的に製造しエッチング性能を確認した。   In this example, blackening treatment is performed using a copper foil that has not been subjected to roughening treatment to produce a first surface-treated copper foil 1a shown in FIG. 1, and an electromagnetic shielding conductive mesh shape is experimentally tested by an etching method. The etching performance was confirmed.

本実施例では、硫酸銅溶液を電解することにより得られた公称厚さ15μmの銅箔を用いた。そして、銅箔を、硫酸濃度150g/l、液温30℃の希硫酸溶液を用いて、この溶液に30秒浸漬して、表面の清浄化を行った。   In this example, a copper foil having a nominal thickness of 15 μm obtained by electrolyzing a copper sulfate solution was used. The copper foil was immersed in this solution for 30 seconds using a dilute sulfuric acid solution having a sulfuric acid concentration of 150 g / l and a liquid temperature of 30 ° C. to clean the surface.

そして、当該銅箔の片面に粗化処理を施すことなく、a)工程として、当該銅箔の粗面上に、硫酸コバルトメッキ層を形成した。硫酸コバルトメッキ層の形成は、硫酸コバルト(7水和物)を20g/l、pHを5.5に調整し、液温27℃とした硫酸コバルトメッキ液を攪拌浴として用い、1A/dmの電流密度でパルス比0.25でトータル通電時間15秒のパルス電解することにより、黒色の硫酸コバルトメッキ層として形成したのである。このとき溶液中のコバルトイオン濃度の調整は特に行っていない。短時間電解であるため金属イオン濃度の調整は不要と考えたためである。 And the cobalt sulfate plating layer was formed on the rough surface of the said copper foil as a) process, without giving a roughening process to the single side | surface of the said copper foil. The cobalt sulfate plating layer is formed by using a cobalt sulfate plating solution adjusted to 20 g / l of cobalt sulfate (7 hydrate), pH of 5.5, and a liquid temperature of 27 ° C. as a stirring bath, 1 A / dm 2 A black cobalt sulfate plating layer was formed by pulse electrolysis with a current density of 0.25 and a pulse ratio of 0.25 for a total energization time of 15 seconds. At this time, the adjustment of the cobalt ion concentration in the solution is not particularly performed. This is because it was considered that it was unnecessary to adjust the metal ion concentration because of the short-time electrolysis.

b)の工程として、十分に純水をシャワーリングして洗浄し、電熱器より雰囲気温度を150℃とした乾燥炉内に4秒間滞留させ、水分をとばし、非常に良好な色調の黒色化処理面を備えた表面処理銅箔1aを得た。図7に、ここで得られた黒色化処理面の走査型電子顕微鏡観察像を示している。なお、上述した各工程間には、原則、15秒間の純水による水洗工程を設け、前処理工程の溶液の持ち込みを防止している。   As a process of b), the pure water is sufficiently showered and washed, and is kept in a drying furnace with an atmospheric temperature of 150 ° C. for 4 seconds from an electric heater to remove moisture, and a blackening treatment with a very good color tone. A surface-treated copper foil 1a having a surface was obtained. FIG. 7 shows a scanning electron microscope observation image of the blackened surface obtained here. In addition, in principle, a water washing step with pure water for 15 seconds is provided between the steps described above to prevent the solution from being brought into the pretreatment step.

以上のようにして得られた黒色化処理面を備えた表面処理銅箔の硫酸コバルトメッキ層は重量厚さ340mg/mであり、断面高さが100nm、Lab表色系におけるL値が30、光沢度[Gs(60°)]が19、黒濃度が1.3であった。 The cobalt sulfate plating layer of the surface-treated copper foil provided with the blackened surface obtained as described above has a weight thickness of 340 mg / m 2 , a cross-sectional height of 100 nm, and an L value in the Lab color system of 30. The glossiness [Gs (60 °)] was 19, and the black density was 1.3.

更に、当該表面処理銅箔の両面にエッチングレジストとなるドライフィルムを張り合わせた。そして、黒色化処理面側のドライフィルムにのみ、電磁波遮蔽導電性メッシュを試作するための試験用のマスクフィルムを重ねて、メッシュピッチ200μm、メッシュ線幅10μm、メッシュバイアス角度45°であり、周囲にメッシュ電極部を備える導電性メッシュパターンを紫外線露光した。このとき、同時に反対面のエッチングレジスト層の全面にも、紫外線露光することにより、後の現像により除去できないものとした。その後、アルカリ溶液を用いて現像し、エッチングレジストパターンを形成した。   Furthermore, the dry film used as an etching resist was bonded together on both surfaces of the said surface treatment copper foil. Then, only the dry film on the blackened surface side is overlaid with a test mask film for producing an electromagnetic shielding conductive mesh, and the mesh pitch is 200 μm, the mesh line width is 10 μm, and the mesh bias angle is 45 °. A conductive mesh pattern having a mesh electrode portion was exposed to ultraviolet rays. At this time, the entire surface of the etching resist layer on the opposite side was also exposed to ultraviolet rays so that it could not be removed by subsequent development. Then, it developed using the alkaline solution and formed the etching resist pattern.

そして、銅エッチング液である塩化鉄エッチング液を用いて、黒色化処理面側から銅エッチングして、その後、エッチングレジスト層を剥離することにより、電磁波遮蔽導電性メッシュを製造した。その結果、エッチング残りもなく、非常に良好なエッチングが行われた。図8には、エッチング性を評価するためのテストパターン(13μm幅回路)のエッチング状態を示している。この図8から分かるように、エッチング残りもなく、極めてエッチングファクターに優れた美麗な回路が得られている。   Then, using an iron chloride etchant that is a copper etchant, copper etching was performed from the blackened surface side, and then the etching resist layer was peeled off to produce an electromagnetic wave shielding conductive mesh. As a result, there was no etching residue and very good etching was performed. FIG. 8 shows an etching state of a test pattern (13 μm width circuit) for evaluating the etching property. As can be seen from FIG. 8, there is no etching residue and a beautiful circuit having an extremely excellent etching factor is obtained.

本実施例は、図2に示すように防錆処理層として亜鉛−ニッケル合金層を備えた第2表面処理銅箔1bを製造し、電磁波遮蔽導電性メッシュ形状をエッチング法で試験的に製造しエッチング性能を確認した。従って、硫酸コバルトメッキ層による黒色化処理層を形成するまでは、実施例1と共通するため、防錆処理条件に関してのみ説明する。   In this embodiment, as shown in FIG. 2, a second surface-treated copper foil 1b having a zinc-nickel alloy layer as a rust-proofing layer is produced, and an electromagnetic shielding conductive mesh shape is produced experimentally by an etching method. The etching performance was confirmed. Therefore, since it is common with Example 1 until the blackening process layer by a cobalt sulfate plating layer is formed, only rust prevention process conditions are demonstrated.

ここでは実施例1の片面に黒色の硫酸コバルトメッキ層の形成が終了した銅箔の両面に、亜鉛−ニッケル合金メッキ液を用いてメッキ処理して、両面に亜鉛−ニッケル合金層を形成したのである。亜鉛−ニッケル合金層は、硫酸ニッケルを用いニッケル濃度が2.0g/l、ピロリン酸亜鉛を用いて亜鉛濃度が0.5g/l、ピロリン酸カリウム250g/l、液温35℃、pH10、電流密度5A/dmの条件で5秒間電解して、両面に均一且つ平滑に電析させた。 Here, since the plating treatment using the zinc-nickel alloy plating solution was performed on both surfaces of the copper foil on which the formation of the black cobalt sulfate plating layer was completed on one surface of Example 1, the zinc-nickel alloy layers were formed on both surfaces. is there. The zinc-nickel alloy layer uses nickel sulfate, nickel concentration is 2.0 g / l, zinc pyrophosphate is used, zinc concentration is 0.5 g / l, potassium pyrophosphate 250 g / l, liquid temperature 35 ° C., pH 10, current Electrolysis was performed for 5 seconds under conditions of a density of 5 A / dm 2 , and electrodeposited uniformly and smoothly on both surfaces.

そして、実施例1と同様に十分に純水をシャワーリングして洗浄し、電熱器より雰囲気温度を150℃とした乾燥炉内に4秒間滞留させ、水分をとばし、非常に良好な色調の黒色化処理面を備えた表面処理銅箔1bを得た。上述した各工程間には、原則、15秒間の純水による水洗工程を設け、前処理工程の溶液の持ち込みを防止している。なお、ここで得られた黒色化処理面の走査型電子顕微鏡観察像は、図7と同様の状態である。   Then, the pure water was sufficiently showered and washed in the same manner as in Example 1, and was retained in a drying furnace at an atmospheric temperature of 150 ° C. for 4 seconds from an electric heater to remove moisture, and a black with a very good color tone. The surface-treated copper foil 1b provided with the chemical treatment surface was obtained. In principle, a water washing step with pure water for 15 seconds is provided between the above-described steps to prevent the solution from being brought into the pretreatment step. In addition, the scanning electron microscope observation image of the blackening process surface obtained here is the same state as FIG.

以上のようにして得られた黒色化処理面を備えた表面処理銅箔の硫酸コバルトメッキ層は重量厚さ340mg/mであり、断面高さが95nm、Lab表色系におけるL値が32、光沢度[Gs(60°)]が18、黒濃度が1.31であった。 The cobalt sulfate plating layer of the surface-treated copper foil having the blackened surface obtained as described above has a weight thickness of 340 mg / m 2 , a cross-sectional height of 95 nm, and an L value in the Lab color system of 32. The glossiness [Gs (60 °)] was 18, and the black density was 1.31.

また、当該表面処理銅箔の両面にエッチングレジストとなるドライフィルムを張り合わせ、実施例1と同様の方法で導電性メッシュパターンを形成した。その結果、エッチング残りもなく、非常に良好なエッチングが行われた。   Moreover, the dry film used as an etching resist was bonded together on both surfaces of the said surface treatment copper foil, and the electroconductive mesh pattern was formed by the method similar to Example 1. FIG. As a result, there was no etching residue and very good etching was performed.

本実施例は、図3に示すように、防錆処理層として亜鉛−ニッケル合金層及びクロメート処理層を備えた第2表面処理銅箔1cを製造し、電磁波遮蔽導電性メッシュ形状をエッチング法で試験的に製造しエッチング性能を確認した。従って、硫酸コバルトメッキ層による黒色化処理層を形成するまでは、実施例1と共通するため、防錆処理条件に関してのみ説明する。   In this embodiment, as shown in FIG. 3, a second surface-treated copper foil 1c having a zinc-nickel alloy layer and a chromate-treated layer as a rust-proof treated layer is produced, and an electromagnetic shielding conductive mesh shape is formed by an etching method. Manufactured experimentally to confirm the etching performance. Therefore, since it is common with Example 1 until the blackening process layer by a cobalt sulfate plating layer is formed, only rust prevention process conditions are demonstrated.

防錆処理層の形成は、実施例2と同様にして、亜鉛−ニッケル合金メッキ液を用いて、両面に亜鉛−ニッケル合金層を形成した後に、両面に電解クロメート処理することにより、亜鉛−ニッケル合金層の上に、電解でクロメート層を形成したのである。このときの電解条件は、クロム酸5.0g/l、pH 11.5、液温35℃、電流密度8A/dm、電解時間5秒とした。 In the same manner as in Example 2, the rust-proofing layer was formed by forming a zinc-nickel alloy layer on both sides using a zinc-nickel alloy plating solution, followed by electrolytic chromate treatment on both sides. A chromate layer was formed on the alloy layer by electrolysis. The electrolysis conditions at this time were chromic acid 5.0 g / l, pH 11.5, liquid temperature 35 ° C., current density 8 A / dm 2 , and electrolysis time 5 seconds.

そして、クロメート層の形成が終了すると、十分に純水をシャワーリングして洗浄し、電熱器より雰囲気温度を150℃とした乾燥炉内に4秒間滞留させ、水分をとばし、非常に良好な色調の黒色化処理面を備えた表面処理銅箔を得た。なお、ここで得られた黒色化処理面の走査型電子顕微鏡観察像は、図7と同様の状態である。また、上述した各工程間には、原則、15秒間の純水による水洗工程を設け、前処理工程の溶液の持ち込みを防止している。   When the formation of the chromate layer is finished, the pure water is sufficiently showered and washed, and is kept in a drying furnace with an atmospheric temperature of 150 ° C. for 4 seconds from an electric heater to remove moisture, and a very good color tone. A surface-treated copper foil having a blackened surface was obtained. In addition, the scanning electron microscope observation image of the blackening process surface obtained here is the same state as FIG. Further, in principle, a water washing step with pure water for 15 seconds is provided between the above-described steps to prevent the solution from being brought into the pretreatment step.

以上のようにして得られた黒色化処理面を備えた表面処理銅箔の硫酸コバルトメッキ層は重量厚さ340mg/mであり、断面高さが100nm、Lab表色系におけるL値が31、光沢度[Gs(60°)]が18、黒濃度が1.29であった。 The cobalt sulfate plating layer of the surface-treated copper foil having the blackened surface obtained as described above has a weight thickness of 340 mg / m 2 , a cross-sectional height of 100 nm, and an L value in the Lab color system of 31. The glossiness [Gs (60 °)] was 18, and the black density was 1.29.

また、当該表面処理銅箔の両面にエッチングレジストとなるドライフィルムを張り合わせ、実施例1と同様の方法で導電性メッシュパターンを形成した。その結果、エッチング残りもなく、非常に良好なエッチングが行われた。   Moreover, the dry film used as an etching resist was bonded together on both surfaces of the said surface treatment copper foil, and the electroconductive mesh pattern was formed by the method similar to Example 1. FIG. As a result, there was no etching residue and very good etching was performed.

本実施例では、粗化処理を施していない銅箔を用いて黒色化処理を行い、第1表面処理銅箔1bを製造し、電磁波遮蔽導電性メッシュ形状をエッチング法で試験的に製造しエッチング性能を確認した。   In this example, blackening treatment is performed using a copper foil that has not been subjected to roughening treatment to produce a first surface-treated copper foil 1b, and an electromagnetic shielding conductive mesh shape is experimentally produced by an etching method and etched. The performance was confirmed.

本実施例では、硫酸銅溶液を電解することにより得られた公称厚さ15μmの銅箔を用いた。そして、銅箔を、硫酸濃度150g/l、液温30℃の希硫酸溶液を用いて、この溶液に30秒浸漬して、表面の清浄化を行った。   In this example, a copper foil having a nominal thickness of 15 μm obtained by electrolyzing a copper sulfate solution was used. The copper foil was immersed in this solution for 30 seconds using a dilute sulfuric acid solution having a sulfuric acid concentration of 150 g / l and a liquid temperature of 30 ° C. to clean the surface.

そして、当該銅箔の片面に粗化処理を施すことなく、a)工程として、当該銅箔の粗面上に、硫酸コバルトメッキ層を形成した。硫酸コバルトメッキ層の形成は、硫酸コバルト(7水和物)を20g/l、pHを5.5に調整し、液温27℃とした硫酸コバルトメッキ液を攪拌を加えて、2A/dmの電流密度でパルス比0.5でトータル通電時間7秒間電解することにより、黒色の硫酸コバルトメッキ層として形成したのである。このとき溶液中のコバルトイオン濃度の調整は特に行っていない。短時間電解であるため金属イオン濃度の調整は不要と考えたためである。 And the cobalt sulfate plating layer was formed on the rough surface of the said copper foil as a) process, without giving a roughening process to the single side | surface of the said copper foil. The cobalt sulfate plating layer was formed by adjusting cobalt sulfate (7 hydrate) to 20 g / l, adjusting the pH to 5.5, and stirring the cobalt sulfate plating solution at a liquid temperature of 27 ° C. 2 A / dm 2 A black cobalt sulfate plating layer was formed by electrolysis with a current density of 0.5 and a pulse ratio of 0.5 for a total energization time of 7 seconds. At this time, the adjustment of the cobalt ion concentration in the solution is not particularly performed. This is because it was considered that it was unnecessary to adjust the metal ion concentration because of the short-time electrolysis.

b)の工程として、十分に純水をシャワーリングして洗浄し、電熱器より雰囲気温度を150℃とした乾燥炉内に4秒間滞留させ、水分をとばし、非常に良好な色調の黒色化処理面を備えた表面処理銅箔1を得た。なお、ここで得られた黒色化処理面の走査型電子顕微鏡観察像は、図7と同様の状態であり、外観上の変化はない。なお、上述した各工程間には、原則、15秒間の純水による水洗工程を設け、前処理工程の溶液の持ち込みを防止している。   As a process of b), the pure water is sufficiently showered and washed, and is kept in a drying furnace with an atmospheric temperature of 150 ° C. for 4 seconds from an electric heater to remove moisture, and a blackening treatment with a very good color tone. A surface-treated copper foil 1 having a surface was obtained. In addition, the scanning electron microscope observation image of the blackening process surface obtained here is the same state as FIG. 7, and there is no change in an external appearance. In addition, in principle, a water washing step with pure water for 15 seconds is provided between the steps described above to prevent the solution from being brought into the pretreatment step.

以上のようにして得られた黒色化処理面を備えた表面処理銅箔の硫酸コバルトメッキ層は重量厚さ338mg/mであり、断面高さが105nm、Lab表色系におけるL値が105、光沢度[Gs(60°)]が19、黒濃度が1.30であった。 The cobalt sulfate plating layer of the surface-treated copper foil having the blackened surface obtained as described above has a weight thickness of 338 mg / m 2 , a cross-sectional height of 105 nm, and an L value in the Lab color system of 105 The glossiness [Gs (60 °)] was 19, and the black density was 1.30.

また、当該表面処理銅箔の両面にエッチングレジストとなるドライフィルムを張り合わせ、実施例1と同様の方法で導電性メッシュパターンを形成した。その結果、エッチング残りもなく、非常に良好なエッチングが行われた。   Moreover, the dry film used as an etching resist was bonded together on both surfaces of the said surface treatment copper foil, and the electroconductive mesh pattern was formed by the method similar to Example 1. FIG. As a result, there was no etching residue and very good etching was performed.

本件発明に係る黒色化処理面を備えた表面処理銅箔は、上述した製造方法を採用することで、従来の銅箔の表面処理プロセスを応用することが可能であり新たな製造設備を必要としない。従って、高品質の製品を歩留まり良く製造できるため、生産コストの低減が可能となる。そして、本件発明に係る製造方法で得られる黒色化処理面を備えた表面処理銅箔は、黒色化処理面からの粉落ちが無く、しかも、通常の銅エッチング液を用いてのエッチング加工が可能であり、プラズマディスプレイパネルの前面パネルの電磁波遮蔽導電性メッシュに用いることで、高品質のブラックマスクの形成が可能となる。また、黒色化処理面を備えた表面処理銅箔としての供給が出来るため、前面パネルの製造プロセスでの黒色化処理工程の省略が可能となる。   The surface-treated copper foil provided with the blackened surface according to the present invention can be applied to the surface treatment process of the conventional copper foil by adopting the above-described production method, and requires a new production facility. do not do. Accordingly, a high-quality product can be manufactured with a high yield, so that the production cost can be reduced. And, the surface-treated copper foil provided with the blackened surface obtained by the production method according to the present invention has no powder fall off from the blackened surface, and can be etched using a normal copper etching solution. Therefore, a high-quality black mask can be formed by using the electromagnetic wave shielding conductive mesh of the front panel of the plasma display panel. Moreover, since supply as a surface-treated copper foil provided with the blackening process surface can be performed, the blackening process process in the manufacturing process of a front panel can be abbreviate | omitted.

黒色化処理面を備える表面処理銅箔の断面層構成を模式的に示した図。The figure which showed typically the cross-sectional layer structure of the surface treatment copper foil provided with a blackening process surface. 本件発明に係る表面処理銅箔の断面をFIBで調製した試料のSIM像。The SIM image of the sample which prepared the cross section of the surface treatment copper foil which concerns on this invention with FIB. 従来の表面処理銅箔の断面をFIBで調製した試料のSIM像。The SIM image of the sample which prepared the cross section of the conventional surface treatment copper foil with FIB. 従来の表面処理銅箔の断面をFIBで調整した試料のSIM像。The SIM image of the sample which adjusted the cross section of the conventional surface treatment copper foil with FIB. 黒色化処理面を備える表面処理銅箔の断面層構成を模式的に示した図。The figure which showed typically the cross-sectional layer structure of the surface treatment copper foil provided with a blackening process surface. 黒色化処理面を備える表面処理銅箔の断面層構成を模式的に示した図。The figure which showed typically the cross-sectional layer structure of the surface treatment copper foil provided with a blackening process surface. 粗化処理を行うことなく、硫酸コバルトメッキ層を形成した銅箔表面の走査型電子顕微鏡像。A scanning electron microscope image of the surface of the copper foil on which the cobalt sulfate plating layer is formed without performing the roughening treatment. エッチングテストパターンの走査型電子顕微鏡像。Scanning electron microscope image of the etching test pattern.

符号の説明Explanation of symbols

1a,1b,1c 表面処理銅箔
2 銅箔層
3 硫酸コバルトメッキ層
4 防錆処理層(亜鉛−ニッケル合金層又は亜鉛−コバルト合金層)
5 クロメート処理層
1a, 1b, 1c Surface treatment copper foil 2 Copper foil layer 3 Cobalt sulfate plating layer 4 Rust prevention treatment layer (zinc-nickel alloy layer or zinc-cobalt alloy layer)
5 Chromate treatment layer

Claims (9)

硫酸コバルト浴を用いたパルス電解メッキ法により形成された黒色化処理面を備える銅箔であって、
当該黒色化処理面の硫酸コバルトメッキ層は重量厚さ200mg/m〜400mg/mであり、且つ、断面高さが200nm以下である黒色化表面処理銅箔。
A copper foil having a blackened surface formed by a pulse electrolytic plating method using a cobalt sulfate bath,
The cobalt sulfate plating layer of blackening treatment surface is the weight thickness 200mg / m 2 ~400mg / m 2 , and a black surface treated copper foil section height is 200nm or less.
前記黒色化処理面は、Lab表色系におけるL値が27以上である請求項1に記載の黒色化表面処理銅箔。 The blackened surface-treated copper foil according to claim 1, wherein the blackened surface has an L value in a Lab color system of 27 or more. 前記黒色化処理面は、光沢度[Gs(60°)]が30以下である請求項1又は請求項2のいずれかに記載の黒色化表面処理銅箔。 The blackened surface-treated copper foil according to claim 1, wherein the blackened surface has a gloss [Gs (60 °)] of 30 or less. 前記黒色化処理面に防錆処理層を備えるものである請求項1〜請求項3のいずれかに記載の黒色化表面処理銅箔。 The blackened surface-treated copper foil according to any one of claims 1 to 3, wherein the blackened surface is provided with a rust-proofing layer. 前記黒色化処理面は、黒濃度が1.0以上である請求項1〜請求項4のいずれかに記載の表面処理銅箔。 The surface-treated copper foil according to any one of claims 1 to 4, wherein the blackened surface has a black density of 1.0 or more. 請求項1〜請求項5のいずれかに記載の硫酸コバルトメッキにより形成した黒色化面を備える表面処理銅箔の製造方法であって、
硫酸コバルトメッキにパルス電解法を用いることを特徴とした黒色化表面処理銅箔の製造方法。
It is a manufacturing method of the surface treatment copper foil provided with the blackening surface formed by the cobalt sulfate plating in any one of Claims 1-5,
A method for producing a blackened surface-treated copper foil, characterized by using a pulse electrolysis method for cobalt sulfate plating.
請求項1〜請求項4のいずれかに記載の硫酸コバルトメッキにより形成した黒色化処理面を備える黒色化表面処理銅箔の製造方法であって、
以下のa)及びb)の工程を備えることを特徴とした黒色化処理面を備える請求項7に記載の黒色化表面処理銅箔の製造方法。
a) 粗化処理の施されていない銅箔の表面に、硫酸コバルト(7水和物)を10g/l〜40g/l含み、pHを4.0以上、液温30℃以下とした硫酸コバルトメッキ液を用いて、4A/dm以下の電流密度で前記硫酸コバルトメッキ液を攪拌浴として用い、パルス電解し黒色系の硫酸コバルトメッキ層を形成する。
b) その後、水洗し、乾燥する。
It is a manufacturing method of the blackening surface treatment copper foil provided with the blackening treatment surface formed by the cobalt sulfate plating in any one of Claims 1-4,
The manufacturing method of the blackening surface treatment copper foil of Claim 7 provided with the blackening treatment surface characterized by providing the process of the following a) and b).
a) Cobalt sulfate containing 10 g / l to 40 g / l of cobalt sulfate (septahydrate) on the surface of the copper foil not subjected to roughening treatment, having a pH of 4.0 or more and a liquid temperature of 30 ° C. or less. Using the plating solution, the cobalt sulfate plating solution is used as a stirring bath at a current density of 4 A / dm 2 or less, and pulse electrolysis is performed to form a black cobalt sulfate plating layer.
b) Thereafter, it is washed with water and dried.
請求項5に記載の硫酸コバルトメッキにより形成した黒色化処理面を備える黒色化表面処理銅箔の製造方法であって、
以下のa)〜c)の工程を備えることを特徴とした黒色化処理面を備える請求項7に記載の表面処理銅箔の製造方法。
a) 粗化処理の施されていない銅箔の表面に、硫酸コバルト(7水和物)を10g/l〜40g/l含み、pHを4.0以上、液温30℃以下とした硫酸コバルトメッキ液を攪拌浴として用い、4A/dm以下の電流密度でパルス電解し黒色系の硫酸コバルトメッキ層を形成する。
b) 黒色の硫酸コバルトメッキ層を表面に形成した銅箔の両面若しくは片面に、防錆処理層を形成する。
c) その後、水洗し、乾燥する。
It is a manufacturing method of the blackening surface treatment copper foil provided with the blackening treatment surface formed by the cobalt sulfate plating of Claim 5,
The manufacturing method of the surface-treated copper foil of Claim 7 provided with the blackening process surface characterized by providing the process of the following a) -c).
a) Cobalt sulfate containing 10 g / l to 40 g / l of cobalt sulfate (septahydrate) on the surface of the copper foil not subjected to roughening treatment, having a pH of 4.0 or more and a liquid temperature of 30 ° C. or less. Using a plating solution as a stirring bath, pulse electrolysis is performed at a current density of 4 A / dm 2 or less to form a black cobalt sulfate plating layer.
b) A rust prevention layer is formed on both sides or one side of a copper foil having a black cobalt sulfate plating layer formed on the surface.
c) Thereafter, it is washed with water and dried.
請求項1〜請求項5のいずれかに記載の黒色化表面処理銅箔を用いて得られるプラズマディスプレイの前面パネル用の電磁波遮蔽金属メッシュ。 An electromagnetic wave shielding metal mesh for a front panel of a plasma display obtained by using the blackened surface-treated copper foil according to any one of claims 1 to 5.
JP2004079942A 2003-10-14 2004-03-19 Blacking surface-treated copper foil, process for producing the blackening surface-treated copper foil and, using the blacking surface-treated copper foil, electromagnetic wave shielding conductive mesh Pending JP2005139546A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004079942A JP2005139546A (en) 2003-10-14 2004-03-19 Blacking surface-treated copper foil, process for producing the blackening surface-treated copper foil and, using the blacking surface-treated copper foil, electromagnetic wave shielding conductive mesh

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003353199 2003-10-14
JP2004079942A JP2005139546A (en) 2003-10-14 2004-03-19 Blacking surface-treated copper foil, process for producing the blackening surface-treated copper foil and, using the blacking surface-treated copper foil, electromagnetic wave shielding conductive mesh

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005139546A true JP2005139546A (en) 2005-06-02

Family

ID=34702800

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004079942A Pending JP2005139546A (en) 2003-10-14 2004-03-19 Blacking surface-treated copper foil, process for producing the blackening surface-treated copper foil and, using the blacking surface-treated copper foil, electromagnetic wave shielding conductive mesh

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005139546A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005163170A (en) * 2003-11-13 2005-06-23 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd Surface-treated copper foil provided with browning-treated face, method of producing the surface-treated copper foil, electromagnetic wave shielding electrically conductive mesh for front panel of plasma display using the surface-treated copper foil
KR100917610B1 (en) * 2008-11-14 2009-09-17 한국에너지기술연구원 Method for coating metallic interconnect of solid oxide fuel cell
WO2012140428A1 (en) 2011-04-14 2012-10-18 Conductive Inkjet Technology Limited Improvements in and relating to transparent components
CN114855227A (en) * 2022-05-26 2022-08-05 九江德福科技股份有限公司 Ashing method in electrolytic copper foil surface treatment process

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005163170A (en) * 2003-11-13 2005-06-23 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd Surface-treated copper foil provided with browning-treated face, method of producing the surface-treated copper foil, electromagnetic wave shielding electrically conductive mesh for front panel of plasma display using the surface-treated copper foil
JP4575719B2 (en) * 2003-11-13 2010-11-04 三井金属鉱業株式会社 Surface-treated copper foil having a browned surface, a method for producing the surface-treated copper foil, and an electromagnetic shielding conductive mesh for a front panel of a plasma display using the surface-treated copper foil
KR100917610B1 (en) * 2008-11-14 2009-09-17 한국에너지기술연구원 Method for coating metallic interconnect of solid oxide fuel cell
WO2012140428A1 (en) 2011-04-14 2012-10-18 Conductive Inkjet Technology Limited Improvements in and relating to transparent components
CN114855227A (en) * 2022-05-26 2022-08-05 九江德福科技股份有限公司 Ashing method in electrolytic copper foil surface treatment process

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100869196B1 (en) Surface-treated copper foil having grayed surface, process for producing the same and electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panel of plasma display wherein use is made of the surface-treated copper foil
JP4890546B2 (en) Rolled copper or copper alloy foil having a roughened surface and a roughening method for rolled copper or copper alloy foil
JP5684328B2 (en) Method for producing surface roughened copper plate and surface roughened copper plate
JP2005076091A (en) Method of producing ultrathin copper foil with carrier, and ultrathin copper foil with carrier produced by the production method
JPWO2007007870A1 (en) Blackened surface treated copper foil and electromagnetic shielding conductive mesh for front panel of plasma display using the blackened surface treated copper foil
JP3250994B2 (en) Electrolytic copper foil
JP4458519B2 (en) Surface-treated copper foil having a blackened surface, a method for producing the surface-treated copper foil, and an electromagnetic shielding conductive mesh for a front panel of a plasma display using the surface-treated copper foil
JP4202840B2 (en) Copper foil and method for producing the same
US20110284496A1 (en) Method of Forming Electronic Circuit
JP4354271B2 (en) Browned surface-treated copper foil, method for producing the same, and electromagnetic shielding conductive mesh for front panel of plasma display using the browned surface-treated copper foil
JP2004263296A (en) Copper foil for fine pattern printed circuit and manufacturing method therefor
JP2008166655A (en) Copper foil for electromagnetic shielding material
JP4316413B2 (en) Copper alloy foil with roughened surface and copper alloy foil roughening method
JP2004256832A (en) Surface treated copper foil provided with blackening treated face, and magnetic shielding conductive mesh for front panel of plasma display obtained by using the surface treated copper foil
JP2005139546A (en) Blacking surface-treated copper foil, process for producing the blackening surface-treated copper foil and, using the blacking surface-treated copper foil, electromagnetic wave shielding conductive mesh
JP2002161394A (en) Method for manufacturing copper foil for micro wiring
JP2007531820A (en) Method for producing blackened surface-treated copper foil for electromagnetic wave shielding
JP4575719B2 (en) Surface-treated copper foil having a browned surface, a method for producing the surface-treated copper foil, and an electromagnetic shielding conductive mesh for a front panel of a plasma display using the surface-treated copper foil
JP3869433B2 (en) Method for producing blackened surface-treated copper foil for electromagnetic wave shielding
Lee et al. Evaluating and monitoring nucleation and growth in copper foil
JP2005072290A (en) Copper foil for printed wiring board, method for manufacturing the same, and copper clad laminate using the same
JP2009052075A (en) Fe-Ni ALLOY ELECTROPLATING METHOD AND Fe-Ni ALLOY PLATED STRUCTURE
JP2007247007A (en) Copper electrolyte, method for manufacturing additive used for copper electrolyte, and electrodeposition copper film obtained by using the copper electrolyte