KR20050039619A - 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치 및전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법 - Google Patents

전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치 및전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법 Download PDF

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KR20050039619A
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코잔요시히로
후지노히사시
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미쓰이 긴조꾸 고교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴을 강제적으로 절곡하는 강제절곡장치를 구비한 강제절곡부와, 상기 강제절곡부의 하류측에 배치되며, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴에 한 쌍의 프로브핀을 접촉시켜서 배선 패턴의 도통상태를 검출하는 전기검사부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 그 결과, 결함 등에 의해 단선될 가능성이 있는 배선 패턴에 대해서도 연속적으로, 그리고 검사 정밀도가 우수하게 도통시험 등의 전기 검사를 실시할 수 있는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치 및 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법을 제공한다.

Description

전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치 및 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법{Apparatus and method for electrical inspecting film carrier tape for mounting electronic component}
본 발명은 TAB(Tape Automated Bonding) 테이프, T-BGA(Tape Ball Grid Array) 테이프, COF(Chip on Film) 테이프, CSP(Chip Size Package) 테이프, ASIC(Application Specific Integrated Circuit) 테이프, 2 메탈(양면배선) 테이프 등(이하, 간단히 "전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프"라 함)의 전기 검사에 있어서, 단선 등의 결함이 발생할 가능성이 있는 배선 패턴을 검출하기 위한 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치 및 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법에 관한 것이다.
전자 산업의 발달에 따라 IC(직접회로), LSI(대규모 집적회로) 등의 전자부품을 실장하는 프린트 배선판의 수요가 급격히 증가하고 있는데, 전자기기의 소형화, 경량화, 고기능화 등의 요구에 부합하는 이들 전자부품의 실장방법으로서, 최근에는 TAB 테이프, COF(Chip On Film) 필름, T-BGA 테이프 및 ASIC 테이프, 2 메탈(양면배선) 테이프 등의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프를 이용한 실장방식이 채용되고 있다.
특히, 퍼스널컴퓨터 등과 같이 고정밀화, 박형화, 액정화면의 외곽 프레임 면적의 협소화가 요구되고 있는 액정표시소자(LCD)를 사용하는 전자산업에 있어서 그 중요성은 높아지고 있다.
게다가, 최근에는 휴대전화 디스플레이의 컬러 액정화에 따라 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 수요가 큰 폭으로 증가하기 시작했을 뿐만 아니라, 퍼스널컴퓨터에 접속되는 프린터에 있어서의 인쇄 제어의 분야에 있어서의 필름 캐리어 테이프의 수요 증가도 현저히 증가하기 시작하고 있다.
이와 같은 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프는 예컨대, 다음과 같은 제조공정으로 제조되는 것이 일반적이다.
즉, 폴리이미드 필름, 폴리에스테르 필름, 폴리아미드 필름, 액정폴리머 필름 등과 같은 기재가 되는 절연필름을 펀칭 등에 의해 절연필름의 길이방향으로 연속해서 복수의 반송용 스프로켓홀을 형성하고, 이 절연필름의 표면에 예를 들어 접착제 등을 개재하여 전해동박이나 압연동박 등의 동박을 열압착에 의해 점착함으로써 도전층을 형성한다.
이어서, 이 도전층 상의 전면 또는 일부분에 포토레지스트를 도포하고, 이 포토레지스트를 소망하는 패턴 형상을 가지는 포토마스크를 통해 자외선 등에 의해 노광하고, 노광된 포토레지스트 부분을 현상액으로 용해 제거한다.
이어서, 포토레지스트로 덮여 있지 않은 도전층을 에칭액인 산성용액으로 화학적으로 용해(에칭 처리)해서 제거하고, 다시 포토레지스트를 알칼리액으로 용해 제거한다. 그 결과, 절연필름 상에 남겨진 도전층으로 이루어진 소망하는 배선 패턴이 형성된다.
그리고, 전자부품의 실장시 이물질이나 위스커(whisker), 마이그레이션에 의한 단락을 방지하고, 배선 패턴 사이의 보호 및 절연을 위해서, 배선 패턴을 솔더레지스트층으로 덮는다.
구체적으로는, 배선 패턴 중 IC 등의 전자부품에 접속되는 이너리드 부분과, 외부단자에 접속되는 아웃터리드 부분 등을 제외한 영역에, 절연수지인 솔더레지스트를 예컨대, 스크린 인쇄법에 의해 솔더레지스트층을 형성한다.
이와 같이 솔더레지스트층을 형성한 후에는, 노출된 각 리드 부분에 예를 들어 주석도금, 금도금, 주석-납의 공정합금 도금 등을 실시함으로써 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프가 된다. 여기서, 상기 도금은 노출된 각 리드 부분의 산화, 변색을 방지함과 동시에, 각 리드 부분에서의 접합 강도를 확보하기 위해 실시되고 있다.
이 후, 본딩장치를 이용해서 상기 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 이너리드 부분에 반도체가 실장되고, 수지 씰링된다.
그런데, 이와 같은 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프 제조의 각 공정 및 최종 공정에서는 품질검사, 예컨대 배선 패턴의 품질검사 등이 실시되고 있는데, 종래의 사람에 의한 육안검사(투과광 검사)와 비교해서 보다 효율적으로, 나아가 정확한 검사를 행할 수 있는 방법으로서, 최근에는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 일면에 마련된 배선 패턴에 한 쌍의 프로브핀을 접속시켜서, 배선의 단선, 단락 또는 인접하는 배선간의 절연저항을 전기적으로 검사하는 방법이 행해지고 있다.
그러나, 이와 같은 검사방법에서는 단선된 배선에 대해서는 확실히 검출할 수 있지만, 결락, 선폭 가늘어짐과 같은 결함 등에 의해 단선될 가능성이 있는 배선까지는 검출할 수 없다.
따라서, 예를 들어 액정표시소자(LCD)에 사용하는 경우와 같이, 액정 패널으로의 접속시에, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프를 슬릿 부분에서 절곡해서 사용할 때에, 배선이 단선 되는 등의 불량이 발생한다는 문제점이 있었다.
또한, 근래의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 박형화가 진행되고, 배선 패턴의 파인피치화가 급속히 진행됨으로 인해, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 절곡에 의한 단선 등의 불량이 증가하고 있다는 문제가 있다.
이에 따라, 일본 특개2003-7774호 공보에는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 불량 발생을 방지할 수 있는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 검사방법 및 검사장치가 제안되어 있다.
예컨대, 상기 특허 문헌의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 검사장치는 도 7에 도시한 바와 같이, 패턴검사부(100)에 검사스테이지(102)와, 한 쌍의 프로브핀(104, 106)이 고정되는 고정부재(108)가 마련되어 있다.
이들 상하이동 가능한 검사스테이지(102)와 고정부재(108)의 사이에, 필름 캐리어 테이프(110)가 협지(挾持)되어 위치 결정되도록 되어 있다.
그리고, 필름 캐리어 테이프(110)의 배선 패턴(112)의 아웃터리드(114, 116)의 패드 부분(114a, 116a)에 한 쌍의 프로브핀(122)을 접속시켜서 도통시험을 행하도록 되어 있다.
또한, 고정부재(108)에는 배선 패턴(112)의 전자부품이 접속되는 부분인 이너리드(122)의 부분에 대향하는 영역에, 이너리드(122)의 배선들을 접속해서 도통시키기 위한 도통용 단자(124)가 고정되어 있다.
또한, 검사스테이지(102)에는 고정부재(108) 측으로 돌출하는 돌출부(126)가 필름 캐리어 테이프(110)의 폭방향에 걸쳐서 마련되어 있다. 한편, 고정부재(108)에는 상기 돌출부(126)를 사이에 끼우기 위한 요홈부(128)가 마련되어 있다.
따라서, 상기 특허 문헌의 검사장치에서는 이러한 돌출부(126)를 가지는 검사스테이지(102)와 요홈부(128)를 가지는 고정부재(108)의 사이에서 필름 캐리어 테이프(110)를 협지함으로써, 아웃터리드(114, 116)의 패드부분(114a, 116a)에 한 쌍의 프로브핀(104, 106)을 접속시킴과 동시에, 이너리드(122)의 부분에 도통용 단자(124)를 접속시켜서(랜딩시켜서), 소정 위치에 절곡을 부여한 상태로 도통시험을 행하도록 되어 있다.
여기서, 도 7의 참조부호 144는 절연층을 나타내고 있으며, 참조부호 180은 솔더레지스트층을 나타내고 있다.
이와 같은 절곡을 강제적으로 부여함으로써, 결함 등에 의한 단선될 가능성이 있는 배선 패턴을 강제적으로 단선시킬 수 있으며, 도통시험에 의해 불량을 확실하게 검출 할 수 있도록 되어 있다.
상기의 특허 문헌에 개시되는 종래의 검사장치에서는, 상기와 같은 도통시험이 필름 캐리어 테이프(110)에 대해 연속적으로 행해진다.
그러나, 필름 캐리어 테이프(110)에 대해 절곡을 부여함으로써 필름 캐리어 테이프(110)가 불균등하게 늘어나는 상태는 도통시험의 측정마다 미묘하게 달라지는 것이기 때문에, 반복 측정시 정밀도가 떨어지게 된다.
예컨대, 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 특허 문헌의 검사장치에서는 돌출부(126)를 가지는 검사스테이지(102)와 요홈부(128)를 가지는 고정부재(108)의 사이에서 필름 캐리어 테이프(110)를 협지함으로써, 소정 위치에 절곡을 부여한 상태로 필름 캐리어 테이프(110)가 불균등하게 늘어나서, 프로브핀(104, 106)의 접촉위치(랜딩위치)가 어긋나 버리고, 아웃터리드(114, 116)의 패드부분(114a, 116a)에 프로브핀(104, 106)이 접촉하지 않는 경우가 발생해 버린다.
이로 인해, 본래 정상인 필름 캐리어 테이프(110)인데도 도통시험에 있어서 도통불량이 되고, 불량품으로 판단되게 되어 검사의 정밀도가 저하하게 된다.
본 발명은 이와 같은 현상에 착안하여 결함 등에 의해 단선될 가능성이 있는 배선 패턴에 대해서도 연속적으로 또한 검사 정밀도가 우수한 도통시험 등의 전기 검사를 실시할 수 있는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치 및 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래기술에 있어서의 과제 및 목적을 달성하기 위해 발명된 것으로서, 본 발명의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴을 강제적으로 절곡하는 강제절곡장치를 구비한 강제절곡부와, 상기 강제절곡부의 하류측에 배치되며, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴에 한 쌍의 프로브핀을 접촉시켜서 배선 패턴의 도통상태를 검출하는 전기검사부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법은 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴을 강제절곡장치에 의해 강제적으로 절곡하는 강제절곡공정과, 상기 강제절곡공정 후에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴에 한 쌍의 프로브핀을 접촉시켜서 배선 패턴의 도통상태를 검출하는 전기 검사공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 구성함으로써, 강제절곡부(절곡공정)에 있어서, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴, 특히 배선폭이 가늘어서 단선되기 쉬운 출력측의 리드부분( 인출 배선)을 강제절곡장치에 의해 강제적으로 절곡함으로써, 결함 등에 의해 단선될 가능성이 있는 배선 패턴을 강제적으로 단선시킬 수 있다.
그리고, 이 후, 상기와 같은 절곡이 부여되어 단선될 가능성이 있는 배선 패턴이 강제적으로 단선된 필름 캐리어 테이프의 절곡이 해제된 상태에서(원상태로 복귀된 상태에서), 전기검사부(전기검사공정)에 있어서, 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴에 한 쌍의 프로브핀을 접속시켜서 배선 패턴의 도통상태를 검출하도록 되어 있다.
따라서, 전기검사시에는, 절곡을 부여함으로써 불균등하게 늘어난 필름 캐리어 테이프가 절곡이 해제된 상태로, 즉 원상태로 복귀된 상태가 된다. 그 결과, 프로브핀의 접촉위치(랜딩장치)가 어긋나지 않고, 배선 패턴 특히, 아웃터리드의 패드부분에 프로브핀을 정확하게 접촉시킬 수 있다.
따라서, 본래 정상적인 필름 캐리어 테이프인데도 도통시험에 있어서 도통불량이 되고 불량품으로 판단되는 일이 없어 검사의 정밀도를 매우 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에서는 상기 강제절곡부의 강제절곡장치가, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 상하방향의 일방측에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 길이방향으로 일정 간격 이격해서 배치된 한 쌍의 제 1돌출부재와, 상기 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 상하방향의 타방측에 상기 한 쌍의 제 1돌출부재의 사이에 위치하도록 배치된 제 2돌출부재로 구성되고, 상기 한 쌍의 제 1돌출부재와 제 2돌출부재에 의해 상하방향에서 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴을 협지함으로써, 배선 패턴을 강제적으로 절곡하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 구성함으로써, 한 쌍의 제 1돌출부재와 제 2돌출부재에 의해 상하방향에서 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴을 협지함으로써, 배선 패턴을 강제적으로 절곡하게 되어, 결함 등에 의해 단선될 가능성이 있는 배선 패턴을 확실하게 강제적으로 단선시킬 수 있으며, 도통시험에 의해 불량을 정확하게 검출할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 상기 한 쌍의 제 1돌출부재와 제 2돌출부재의 적어도 일방이 룰러인 것을 특징으로 한다.
이와 같이 한 쌍의 제 1돌출부재와 제 2돌출부재의 적어도 일방이 롤러임으로써, 마찰저항에 의해 과도하게 필름 캐리어 테이프가 인장되지 않으며, 절연필름 및 배선 패턴을 구성하는 도전재료(동)에 소성 변형이 발생하지 않아서, 상품성이 저하하지 않을 뿐만 아니라, 원상태로 복귀해서 정확한 전기 검사를 실시할 수 있다.
또한, 본 발명의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치는 상기 강제절곡부에 있어서, 절곡시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부가하는 인장력부가장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법은 상기 강제절곡공정에 있어서, 인장력부가장치에 의해 절곡시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부가하는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 구성함으로써, 인장력부가장치에 의해 위치 결정이 정확하게 행해질 뿐만 아니라, 절곡시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 더욱 부가할 수 있기 때문에, 결함 등에 의해 단선될 가능성이 있는 배선 패턴을 확실하게 강제적으로 단선시킬 수 있으며, 도통시험에 의해 불량을 확실하게 검출할 수 있다.
또한, 본 발명의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치는 상기 절곡부에 있어서의 인장력부가장치가 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부여하는 댄서롤러인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법은 상기 절곡공정에 있어서의 인장력부가장치가 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부여하는 댄서롤러인 것을 특징으로 한다.
이와 같이 절곡부(절곡공정)에 있어서의 인장력부가장치가 댄서롤러이기 때문에, 댄서롤러의 무게를 조정함으로써, 절곡시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 소정의 인장력을 부가할 수 있으므로 결함 등에 의해 단선될 가능성이 있는 배선 패턴을 확실하게 강제적으로 단선시킬 수 있고, 도통시험에 의해 불량을 확실하게 검출할 수 있다.
나아가, 댄서롤러의 무게를 조정함으로써, 절곡시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 소정의 인장력을 부가할 수 있으므로 과도하게 필름 캐리어 테이프가 인장되지 않으며, 절연필름 및 배선 패턴을 구성하는 도전재료(동) 및 솔더레지스트층에 소성 변형이 발생하지 않아서, 상품성이 저하되지 않을 뿐만 아니라, 원상태로 복귀해서 정확한 전기검사를 실시할 수 있다.
또한, 본 발명의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치는 상기 전기검사부에 있어서, 전기검사시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부가하는 인장력부가장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법은 상기 전기검사공정에 있어서, 인장력부가장치에 의해, 전기검사시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부가하는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 구성함으로써, 전기검사시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 소정의 인장력을 부가할 수 있기 때문에, 전기검사시에는 절곡부(절곡공정)에 있어서 절곡을 부여함으로써 불균등하게 늘어난 필름 캐리어 테이프가 원래 상태로 복귀된 상태가 된다.
또한, 전기검사시에, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 소정의 인장력을 부가하기 때문에, 절곡부(절곡공정)에서 강제적으로 단선시킨 배선들이 전기검사시에 다시 접속(접촉)하지 않도록 인장한 상태가 유지된다.
따라서, 프로브핀의 접속위치(랜딩장치)가 어긋나지 않고, 배선 패턴 특히, 아웃터리드의 패드부분에 프로브핀을 정확하게 접촉할 수 있어 정확한 전기검사를 실시할 수 있다.
나아가, 강제적으로 단선시킨 단선될 가능성이 있는 배선이 재접촉하지 않기 때문에, 전기검사시에 불량품이 오인되어 전기검사에 합격할 우려가 없다.
또한, 본 발명의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치는 상기 전기검사부에 있어서의 인장력부가장치가, 필름 캐리어 테이프 지지장치와, 상기 필름 캐리어 테이프 지지장치에 지지된 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부여하는 댄서롤러인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법은 상기 전기검사공정에 있어서의 인장력부가장치가, 필름 캐리어 테이프 지지장치와, 상기 필름 캐리어 테이프 지지장치에 지지된 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부여하는 댄서롤러인 것을 특징으로 한다.
이와 같이 구성함으로써, 필름 캐리어 테이프 지지장치에 의해 필름 캐리어 테이프를 지지한 상태에서, 댄서롤러에 의해, 댄서롤러의 무게에 의해 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 소정의 인장력을 부가할 수 있다.
이로 인해, 전기검사시에는 절곡부(절곡공정)에 있어서 절곡을 부여함으로써 불균등하게 늘어난 필름 캐리어 테이프가, 정확한 위치에서 원상태로 복귀한 상태가 된다. 따라서, 프로브핀의 접촉위치(랜딩위치)가 어긋나지 않고, 배선패턴 특히 아웃터리드의 패드부분에 프로브핀을 정확하게 접촉할 수 있어, 정확한 전기검사를 실시할 수 있다.
또한, 전기검사시에, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 소정의 인장력을 부가하기 때문에, 절곡부(절곡공정)에서 강제적으로 단선시킨 배선들이 전기검사시에 다시 접속(접촉)하지 않도록 인장된 상태가 유지된다.
따라서, 강제적으로 단선시킨 단선될 가능성이 있는 배선이 재접촉하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 전기검사시에 불량품이 오인되어 전기검사에 합격할 우려도 없다.
또한, 본 발명에서는 상기 한 쌍의 제 1돌출부재가 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 슬릿부분을 사이에 둔 위치에 대응하는 위치에 배치됨과 동시에, 상기 제 2돌출부재가 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 슬릿부분에 대응하는 위치에 배치되는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 구성함으로써, 특히 액정표시장치(LCD)에 이용되며, 슬릿부분에서 절곡된 상태로 사용되는 예컨대, TAB 테이프, COF 등에 있어서 슬릿부분에 존재하는 배선 패턴을 강제적으로 절곡할 수 있다.
따라서, 사용시에 절곡되는 슬릿부분의 배선 패턴 중, 결함 등에 의해 단선될 가능성이 있는 배선 패턴을 확실하게 강제적으로 단선시킬 수 있으며, 도통시험에 의해 불량을 확실하게 검출할 수 있기 때문에, 사용시 절곡할 때, 슬릿부분의 배선 패턴이 단선되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 전기검사시에는 상기의 도통시험 외에 예를 들어 인접하는 패드간에 전위를 인가해서 인접하는 배선간 단락의 유무를 검사하는 쇼트체크도 행해지는데, 이때에도 패드와 프로브핀의 접촉위치(랜딩위치)가 어긋나지 않기 때문에 정확한 쇼트체크를 실시할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시 형태(실시예)를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프 실시예의 전기 검사장치의 개략도이다.
도 1에 있어서, 참조부호 10은 전체로서 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치(이하, 간단히 "검사장치"라 함)를 나타내고 있다.
도 1에 도시한 바와 같이, 검사장치(10)는 송출기구(미도시)의 릴로부터 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)가 연속적으로 반송되어 강제절곡부(14), 전기검사부(16)를 통과해서, 권취기구(미도시)의 릴에 권취되도록 구성되어 있다.
여기서, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 배선 패턴면을 위로 해서 반송되는 것으로 설명한다.
강제절곡부(14)에는 강제절곡장치(18)가 구비되어 있으며, 이 강제절곡장치(18)는 미도시의 구동기구에 의해 상하이동함으로써 상호 접근, 이반 가능한 상하 한 쌍의 상방절곡부재(20)와 하방절곡부재(22)로 구성되어 있다.
상방절곡부재(20)의 하단에는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 길이방향으로 일정 간격 이격해서 설치된 한 쌍의 롤러(24, 26)로 구성되는 제 1돌출부재(28, 30)가 구비되어 있다.
한편, 하방절곡부재(22)의 상단에는 제 1돌출부재(28, 30)의 한 쌍의 롤러(24, 26) 사이에 위치하도록 설치된 롤러(32)로 구성되는 제 2돌출부재(34)가 구비되어 있다.
이와 같이 구성되는 강제절곡부(14)에서는 도 1에 도시된 바와 같이, 강제절곡부(14) 내에 설치된 댄서롤러나 백텐션기어와 같은 텐션부여장치(40)와 드라이브롤러(42)의 사이를 통과할 때에, 드라이브롤러(42)의 구동이 일시 정지되어 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 송급이 일시 정지되어 위치 결정된다.
그리고, 도 2에 도시된 바와 같이 상방절곡부재(20)와 하방절곡부재(22)를 상호간에 근접하는 방향으로 이동함으로써, 제 1돌출부재(28, 30)의 한 쌍의 롤러(24, 26)와, 제 2돌출부재(34)의 롤러(32)에 의해 상하방향으로부터 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 배선 패턴(36)을 협지함으로써, 배선 패턴(36)을 강제적으로 절곡(38)하도록 구성되어 있다.
이와 같이 구성함으로써, 강제절곡부(14)에서, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 배선 패턴(36) 특히, 원래 배선폭이 가늘어서 단선되기 쉬운 출력측의 이너리드와 아웃터리드 사이의 배선 패턴을 강제절곡장치(18)에 의해 강제적으로 절곡함으로써, 결함 등에 의해 단선될 가능성이 있는 배선 패턴을 강제적으로 단선시키는 것이 가능하도록 되어 있다.
이 경우, 이들 롤러(24, 26, 32)의 치수는 특히 한정되는 것은 아니지만, 상기 강제단선 효과를 고려한다면 그 직경을 약 4 ~ 10mm로 하는 것이 바람직하다.
또한, 본 실시예의 경우에는 제 1돌출부재(28, 30)를 한 쌍의 롤러(24, 26)로 구성함과 동시에, 제 2돌출부재(34)를 롤러(32)로 구성하고 있다.
이것은, 롤러로 돌출부재를 구성함으로써, 마찰저항에 의해 과도하게 필름 캐리어 테이프(12)가 인장되지 않으며, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)를 구성하는 절연필름(44) 및 배선 패턴(36)을 구성하는 도전재료(동), 및 솔더레지스트층(80)에 소성 변형이 발생하지 않아서, 상품성이 저하하지 않을 뿐만 아니라, 원래의 상태로 복귀해서 정확한 전기검사를 실시할 수 있기 때문이다.
그러나, 이와 같이 과도하게 필름 캐리어 테이프(12)가 인장되지 않으며, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)를 구성하는 절연필름(44) 및 배선 패턴(36)을 구성하는 도전재료(동)에 소성 변형이 발생하지 않는 한은 이들 제 1돌출부재(28, 30), 제 2돌출부재(34)를 롤러 대신에, 예를 들어 도 3에 도시한 바와 같이 돌기부(46, 48, 50)로 구성하는 것도 가능하다. 또한, 이들 롤러, 돌기부를 적절히 조합해서 이용하는 것도 가능하다.
또한, 본 실시예에서는 상방절곡부재(20) 측에 제 1돌출부재(28, 30)를 마련하고, 하방절곡부재(22) 측에 제 2돌출부재(34)를 마련했지만, 반대로 도 6에 도시한 바와 같이 상방절곡부재(20) 측에 제 2돌출부재(34)를 마련하고, 하방절곡부재(22) 측에 제 1돌출부재(28, 30)를 마련하는 것도 가능하다.
상기 도 6에 도시한 바와 같이 구성함으로써, 결함 등에 의해 단선될 가능성이 있는 배선 패턴을 보다 확실하게 단선시킬 수 있다. 따라서, 이 경우에는 텐션부여장치(40)를 생략하는 것도 가능하다.
또한, 이들 제 1돌출부재(28 ,30)의 한 쌍의 롤러(24, 26)와, 제 2돌출부재(34)의 롤러(32)를 설치하는 위치로서는, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 종류에 따라 배선 패턴(36) 특히, 이너리드와 아웃터리드 사이의 소정 장소에 위치하도록 배치하면 되고, 특히 한정되는 것은 아니다.
또한, 이와 같은 제 1돌출부재(28, 30)와, 제 2돌출부재(34)의 조합을 복수개소에 마련해 두는 것도 가능하다.
예를 들어, 도 4는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)로서, 액정표시장치(LCD)에 이용되고, 슬릿부분(54)에서 절곡된 상태로 사용되는 TAB 테이프를 나타내고 있다. 여기서, 도 4의 참조부호 52는 아웃터리드, 54는 슬릿, 56은 디바이스홀, 58은 이너리드, 60은 아웃터리드(52)에 형성되는 테스트패드, 62는 스프로켓홀을 나타내고 있다.
이와 같은 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 경우에는 도 4의 일점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 제 1돌출부재(28, 30)가 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 슬릿부분(54)을 사이에 둔 위치에 대응하는 위치에 배치된다. 그리고, 도 4의 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 제 2돌출부재(34)가 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 슬릿부분(54)에 대응하는 위치에 배치되는 것이 바람직하다.
이와 같은 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 슬릿부분(54)을 사이에 둔 위치에 대응하는 위치에 배치된 한 쌍의 제 1돌출부재(28, 30)와, 슬릿부분(54)에 대응하는 위치에 배치된 제 2돌출부재(34)로 이루어지는 조합을, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 슬릿부분(54)의 배치위치에 대응해서 복수조 설치하는 것도 가능하다.
이와 같이 구성함으로써, 특히 액정표시장치(LCD)에 이용되고, 슬릿부분에 있어서 절곡된 상태로 사용되는 예컨대, TAB 테이프, COF 테이프 등에 있어서, 슬릿부분(54) 및 그 주변에 존재하는 배선 패턴(36)을 절곡할 수 있다.
따라서, 사용시에 절곡되는 슬릿부분(54) 및 그 주변의 배선 패턴 중, 결함 등에 의해 단선될 가능성이 있는 배선을 확실히 강제적으로 단선시킬 수 있으며, 도통시험에 의해 불량을 확실하게 검출할 수 있기 때문에, 사용시 절곡할 때 슬릿부분(54) 및 그 주변의 배선 패턴이 단선되는 것을 방지할 수 있도록 되어 있다.
이와 같이, 강제절곡부(14)에서, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 배선 패턴(36), 소위 인출 배선 패턴을 강제절곡장치(18)에 의해 강제적으로 절곡함으로써, 결함 등에 의해 단선될 가능성이 있는 배선을 강제적으로 단선시킨 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 안내롤러(64)를 통과한 후, 댄서롤러(66), 안내롤러(68)를 통과해서 전기검사부(16)로 반송되도록 되어 있다.
그런데, 상기 댄서롤러(66)는 강제절곡부(14)에 있어서, 절곡시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)에 대해 인장력을 부가하는 인장력부가장치(70)로서 기능시키는 것도 가능하다.
즉, 인장력부가장치(70)에 의해 절곡시 전자부품 실장용 캐리어 테이프(12)에 대해 인장력을 더욱 부가할 수 있기 때문에, 결함 등에 의해 단선될 가능성이 있는 배선 패턴(36)을 확실하게 단선시킬 수 있으며, 도통시험에 의해 불량을 확실하게 검출하는 것이 가능하도록 되어 있다.
한편, 전기검사부(16)로 반송된 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)는 절곡이 부여되어 단선될 가능성이 있는 배선 패턴이 강제적으로 단선된 필름 캐리어 테이프의 절곡이 해제된 상태에서(원상태로 복귀한 상태에서), 전기검사부(16)에 의해, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 입력측 및 출력측의 배선 패턴(36)에 한 쌍의 프로브핀을 접촉시켜서 배선 패턴(36)의 도통상태를 검출하도록 되어 있다.
또한, 전기검사부(16)에 있어서의 전기검사시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)에 대해서 후술하는 바와 같이 인장력부가장치(84)에 의해 소정의 인장력을 부가하기 때문에, 강제절곡부(14)에서 강제적으로 단선시킨 배선들이 전기검사시에 다시 접속(접촉)하지 않도록 인장된 상태가 유지된다.
따라서, 강제적으로 단선시킨 단선될 가능성이 있는 배선이 재접촉하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 전기검사부(16)에 있어서의 전기검사시에 불량품이 오인되어 전기검사에 합격할 우려가 없도록 되어 있다.
즉, 이 전기검사부(16)는 도 1 및 도 5에 도시한 바와 같이, 전기검사부(16)에 하방검사스테이지(72)와, 한 쌍의 프로브핀(74, 76)이 고정되는 상방검사스테이지(78)가 마련되어 있다.
이들 하방검사스테이지(72)와 상방검사스테이지(78)는 상하이동 가능해서, 예를 들어 상방검사스테이지(78)가 하강한 후 하방검사스테이지(72)가 약간 상승함으로써, 하방검사스테이지(72)와 상방검사스테이지(78)의 사이에, 필름 캐리어 테이프(12)가 협지되어 고정되도록 되어 있다.
그리고, 필름 캐리어 테이프(12)의 배선 패턴의 아웃터리드(52)의 테스트패드부분(60)에 한 쌍의 프로브핀(74, 76)을 접촉시켜서, 양방 프로브핀(74, 76)의 사이에 설치된 측정기(71, 73)에 의해 도통시험을 행하고, 단선의 유무를 체크하도록 되어 있다. 또한, 이와 같은 도통시험은 배선을 차례차례 바꿔서 행하도록 되어 있다.
이때, 배선폭이 두꺼운 경우에는 예를 들어, 입력측의 아웃터리드부에는 직접 배선에 프로브핀(74 또는 76)을 랜딩할 수 있기 때문에, 테스트패드부분(60)은 생략할 수 있다.
또한, 상방검사스테이지(78)에는 배선 패턴의 전자부품이 접속되는 부분인 이너리드(58)의 부분에 대향하는 영역에, 이너리드(58)의 배선들을 접속해서 도통시키기 위한 도통용 단자(84), 예컨대 도전 고무봉이 고정되어 있다. 이 도통용 단자(84)는 어스(85)에 의해 접지되어 있다.
따라서, 전기검사부(16)에서는 하방검사스테이지(72)와 상방검사스테이지(78) 사이에서 필름 캐리어 테이프(12)를 협지함으로써, 아웃터리드(52)의 테스트패드부분(60)에 한 쌍의 프로브핀(74, 76)을 접촉시킴과 동시에, 이너리드(58)의 부분에 도통용 단자(84)를 접촉시켜서(랜딩시켜서), 도통실험을 행하도록 되어 있다.
또한, 전기검사부(16)에는 전기검사시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)에 대해 인장력을 부가하는 인장력부가장치(84)가 구비되어 있다.
이 인장력부가장치(84)는 필름 캐리어 테이프 지지장치(86)와, 필름 캐리어 테이프 지지장치(86)에 지지된 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)에 대해 인장력을 부여하는 상기 댄서롤러(66)로 구성되어 있다.
이 실시예의 경우, 필름 캐리어 테이프 지지장치(86)는 구동장치(미도시)에 의해 상하이동 가능하며, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 스프로켓홀(62)에 대해 끼워 넣을 수 있는 계지부재(88)로 구성되어 있다. 이 경우, 계지부재(88)는 도 1에 도시한 바와 같이, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 반송방향으로 경사지게 마련되는 것이 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)를 지지하기 위해서는 바람직하다.
필름 캐리어 테이프 지지장치(86)는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)를 지지할 수 있는 것이면 되고, 한 쌍의 지지롤러나 드라이브기어 등으로 구성할 수도 있으며, 상기와 같은 계지부재(88)에 한정되는 것은 아니다.
이와 같이 구성함으로써, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 반송을 일시 정지해서 필름 캐리어 테이프 지지장치(86)에 의해, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)를 지지한 상태에서, 댄서롤러(66)에 의해, 댄서롤러(66)의 무게에 의해 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 위치를 결정할 수 있을 뿐만 아니라, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)에 대해 소정의 인장력을 부가할 수 있다.
이로 인해, 전기검사시에는 강제절곡부(14)에서 절곡을 부여함으로써 불균등하게 늘어난 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)가, 정확한 위치에서, 원상태로 복귀한 상태가 된다. 나아가, 전기검사시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)에 대해 소정의 인장력을 부가하기 때문에, 강제절곡부(14)에서 강제적으로 단선시킨 배선들이 전기검사시에 다시 접속(접촉)하지 않도록 인장된 상태가 유지된다.
따라서, 프로브핀의 접촉위치(랜딩위치)가 어긋나지 않으며, 배선 패턴 특히, 아웃터리드의 패드부분에 프로브핀을 정확하게 접촉할 수 있어서, 정확한 전기검사를 실시할 수 있다.
이 경우, 댄서롤러(66)의 무게에 따른, 이와 같은 인장에 의한 불균등하게 늘어난 필름 캐리어 테이프(12)를 원상태로 복귀시키는 효과, 및 강제적으로 단선시킨 배선들이 전기검사시에 다시 접속(접촉)하지 않도록 하는 재접속방지 효과를 고려한다면, 댄서롤러(66)의 무게는 바람직하게는 100 ~ 500g으로 하는 것이 바람직하다. 이것은, 100g 보다 가벼우면, 상기 재접속방지 효과를 기대할 수 없고, 500g을 초과하면 스프로켓홀(62)이 변형되거나, 과도하게 필름 캐리어 테이프(12)가 인장되어 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)를 구성하는 절연필름(44) 및 배선 패턴(36)을 구성하는 도전재료(동)에 소성 변형이 발생하여, 상품성이 저하하기 때문이다.
본 실시예에서는 절곡 및 전기검사시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)에 인장력을 부가하기 위해서 댄서롤러(66)를 이용했지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 2조 한 쌍의 롤러로, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)를 파지해서 상호간에 이격하는 방향으로 이동시킴으로써, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)에 인장력을 부가하는 것도 가능하다.
이와 같이, 전기검사부(16)에서 도통시험을 행한 후, 도 1에 도시한 바와 같이 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)는 안내롤러(90), 댄서롤러(92)를 거쳐 권취기구(미도시)의 릴에 감기도록 구성되어 있다.
[실시예 1]
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 검사장치(10)를 이용해서, 도 4에 도시한 바와 같이 LCD용으로서 사용되는 폭 35mm, 두께 75㎛의 폴리이미드제(製) 절연필름의 표면에 두께 12㎛의 동배선이 형성된 소위 플렉스 TAB 테이프(12)에 대해 배선 패턴면을 위로 해서 전기검사를 행했다.
이때, 강제절곡부(14)의 롤러 직경은 6mm이며, 댄서롤러(66, 92)는 모두 무게가 100g인 것을 사용했다.
[실시예 2]
도 6에 도시한 바와 같이, 상방절곡부재(20) 측에 제 2돌출부재(34)를 마련하고, 하방절곡부재(22) 측에 제 1돌출부재(28, 30)를 마련한 강제절곡부(14)를 가지는 본 발명의 검사장치(10)를 이용해서 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)의 전기검사를 행했다.
실시예 1, 2 모두 불량률은 종래 검사장치를 사용하는 전기 검사방법에 비교해서 60% 감소했다. 즉, 본래는 정상품인데 테이프 위치가 어긋나서 불량품으로 판단되었던 것이 60% 감소했고, 정확하며 신뢰 가능한 전기검사가 가능하게 되었다. 또한, 강제적으로 단선시킨 강제 단선품의 배선의 재접속을 확실하게 방지할 수 있으며, 반도체칩 실장 공정으로의 불량 유출율도 종래품의 불량 유출율과 비교해서 약 20% 감소했다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시 형태를 설명했지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 상기 실시예에서는 전자부품을 실장하기 전의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프(12)에 대해 적용했지만, 시트상 필름을 사용하는 FPC나 반도체칩 실장 후의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프를 이용한 반도체장치의 전기검사에도 사용할 수 있는 등 본 발명의 목적을 이탈하지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능하다.
본 발명에 의하면, 강제절곡부(절곡공정)에서, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 인출 영역(이너리드와 아웃터리드의 사이)의 배선 패턴을 강제절곡장치에 의해 강제적으로 절곡함으로써, 결함 등에 의해 단선될 가능성이 있는 배선을 강제적으로 단선시킬 수 있다.
그리고, 이 후 상기와 같은 절곡이 부여되어 단선될 가능성이 있는 배선이 강제적으로 단선된 필름 캐리어 테이프의 절곡이 해제된 상태에서(원상태로 복귀된 상태에서), 전기검사부(전기검사공정)에서, 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴에 일정한 인장력을 부가해서 강제적으로 단선된 배선이 재접속하지 않도록 하고, 배선 패턴에 한 쌍의 프로브핀을 접촉시켜서 배선의 도통상태를 검출하도록 되어 있다.
따라서, 전기검사시에는, 절곡을 부여함으로써 불균등하게 늘어난 필름 캐리어 테이프가 절곡이 해제된 상태로 즉, 원상태로 복귀한 상태가 된다. 따라서, 프로브핀의 접촉위치(랜딩위치)가 어긋나는 일이 없고, 배선 패턴 특히, 아웃터리드의 패드부분에 프로브핀을 정확하게 접촉할 수 있다.
따라서, 본래 정상인 필름 캐리어 테이프인데도 도통시험에 있어서 도통불량이 되어 불량품으로 판정되는 일이 없어, 검사의 정밀도를 크게 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프 실시예의 전기 검사장치의 개략도이다.
도 2는 도 1의 전기 검사장치의 강제절곡부에 있어서의 절곡 상태를 설명하는 개략도이다.
도 3은 도 1의 전기 검사장치의 강제절곡부의 다른 실시예를 나타내는 개략도이다.
도 4는 본 발명에서 사용하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 예를 도시한 상면도이다.
도 5는 도 1의 전기 검사장치의 전기검사부에 있어서의 절곡 상태를 설명하는 개략도이다.
도 6은 도 1의 전기 검사장치의 강제절곡부의 다른 실시예에 따른 절곡 상태를 설명하는 개략도이다.
도 7은 종래의 전기 검사장치를 설명하는 개략도이다.
도 8은 종래의 전기 검사장치를 설명하는 개략도이다.
<도면 주요 참조부호에 대한 간단한 설명>
10..검사장치 12..전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프
14..강제절곡부 16..전기검사부 18..장치
20..상방절곡부재 22..하방절곡부재 24,26..롤러
28..제 1돌출부재 32..롤러 34..제 2돌출부재
36..배선 패턴 40..댄서롤러 42..드라이브롤러
44..절연필름 46,48,50..돌기부 52..아웃터리드
54..슬릿부분 58..이너리드 60..테스트패드부분
62..스프로켓홀 64..안내롤러 66..댄서롤러
68..안내롤러 70..인장력부가장치 72..검사스테이지
74,76..프로브핀 78..고정부재 80..솔더레지스트층
84..도통용 단자 84..인장력부가장치
86..필름 캐리어 테이프 지지장치
88..계지부재 90..안내롤러 92..댄서롤러

Claims (16)

  1. 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴을 강제적으로 절곡하는 강제절곡장치를 구비한 강제절곡부; 및
    상기 강제절곡부의 하류측에 배치되며, 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴에 한 쌍의 프로브핀을 접촉시켜서 배선 패턴의 도통상태를 검출하는 전기검사부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 강제절곡부의 강제절곡장치는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프 상하방향의 일측에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 길이방향으로 일정 간격 이격해서 배치된 한 쌍의 제 1돌출부재와, 상기 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프 상하방향의 타측에 상기 한 쌍의 제 1돌출부재 사이에 위치하도록 배치된 제 2돌출부재로 구성되고,
    상기 한 쌍의 제 1돌출부재와 제 2돌출부재에 의해 상하방향에서 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴을 협지함으로써, 배선 패턴을 강제적으로 절곡하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제 1돌출부재와 제 2돌출부재의 적어도 일방은 룰러인 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 강제절곡부에 있어서, 절곡시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부가하는 인장력부가장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 절곡부에 있어서의 인장력부가장치는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부여하는 댄서롤러인 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치.
  6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전기검사부에 있어서, 전기검사시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부가하는 인장력부가장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 전기검사부에 있어서의 인장력부가장치는,
    필름 캐리어 테이프 지지장치와,
    상기 필름 캐리어 테이프 지지장치에 지지된 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부여하는 댄서롤러인 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치.
  8. 제 2항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제 1돌출부재가 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 슬릿부분을 사이에 둔 위치에 대응하는 위치에 배치됨과 동시에, 상기 제 2돌출부재가 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 슬릿부분에 대응하는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사장치.
  9. 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴을 강제절곡장치에 의해 강제적으로 절곡하는 강제절곡공정과,
    상기 강제절곡공정 후에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴에 한 쌍의 프로브핀을 접촉시켜서 배선 패턴의 도통상태를 검출하는 전기 검사공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 강제절곡공정의 강제절곡장치는 상기 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프 상하방향의 일방측에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 길이방향으로 일정 간격 이격해서 설치된 한 쌍의 제 1돌출부재와, 상기 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프 상하방향의 타방측에 상기 한 쌍의 제 1돌출부재 사이에 위치하도록 설치된 제 2돌출부재로 구성되고,
    상기 한 쌍의 제 1돌출부재와 제 2돌출부재에 의해 상하방향에서 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 배선 패턴을 협지함으로써, 배선 패턴을 강제적으로 절곡하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제 1돌출부재와 제 2돌출부재의 적어도 일방은 룰러인 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법.
  12. 제 9항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 강제절곡공정에 있어서, 인장력부가장치에 의해, 절곡시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부가하는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 절곡공정에 있어서의 인장력부가장치는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부여하는 댄서롤러인 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법.
  14. 제 9항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전기검사공정에 있어서, 인장력부가장치에 의해, 전기검사시에 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부가하는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 전기검사공정에 있어서의 인장력부가장치는,
    필름 캐리어 테이프 지지장치와,
    상기 필름 캐리어 테이프 지지장치에 지지된 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프에 대해 인장력을 부여하는 댄서롤러인 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법.
  16. 제 10항 내지 제 15항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제 1돌출부재가 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 슬릿부분을 사이에 둔 위치에 대응하는 위치에 배치됨과 동시에, 상기 제 2돌출부재가 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 슬릿부분에 대응하는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사방법.
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