CN1609623A - 安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置及安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，即使对于因缺陷而可能产生断路的配线，也可以进行连续并且检查精度高的导通测试等的电气检查。安装电子元件用薄膜载带(12)具有强制折叠弯曲部(14)和电气检查部(16)。其中强制折叠弯曲部(14)包括，强制折叠弯曲的强制折叠弯曲装置(18)；电气检查部(16)设置在强制折叠弯曲部(14)的下游方向，以一对探针接触安装电子元件用薄膜载带(12)的配线图案，从而检查出配线图案导通状态。

Description

安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置及方法

技术领域

本发明涉及在TAB(Tape Automated Bonding：磁带自动连接)带、T-BGA(Tape Ball Grid Array：磁带球状网格阵列)带、COF(Chip OnFilm：覆晶薄膜)带、CSP(Chip Size Package：芯片尺寸封装)带、ASIC(Application Specific Integrated Circuit：专用集成电路)带、双金属(双面配线)带等(以下简称“安装电子元件用薄膜载带”)的电气检查中，为了检查出有可能发生断线等欠缺的配线图案而使用的安装电子元件用薄膜载带电气检查装置和方法。

背景技术

随着电子产业的发展，对安装IC(集成电路)、LSI(大型集成电路)等电子元件的印刷电路板的需求急剧增长，为实现电子设备的小型化、轻量化、高性能化，作为电子元件的安装方法，则采用COF薄膜、T-BGA带以及ASIC带、双金属(双面配线)带等安装电子元件用薄膜载带的安装方式。

特别是在个人计算机等需要使用高精细化、薄型化，液晶面板的间隔面积狭小化的液晶显示元件(LCD)的电子产业，具有更高的重要性。

而且，随着目前移动电话的显示器中彩色液晶的普及，安装电子元件用薄膜载带的需求开始大幅增长，并且在连接到个人计算机的打印机的打印控制领域中，薄膜载带的需求也开始显著增长。

安装电子元件用薄膜载带普遍采用如下制造工序生产。

即，在以聚乙烯亚胺带、聚酯带、聚酰胺带、液晶聚合物带等基材制成的绝缘载带上冲孔，在绝缘载带的长度方向上形成连续多个搬运用的定位孔，并以粘着剂为介质，将电解铜箔、压延铜箔等铜箔通过热压合方式粘着在绝缘载带的表面，形成导电层。

然后，将光刻胶涂抹在整个或部分前述导电层上，将光刻胶用具有所需图案形状的光掩膜为介质，在紫外线下曝光，曝光后的光刻胶部分用显影液溶解并清除。

然后，用酸性溶液的腐蚀液，将没有被光刻胶覆盖的导电层部分以化学方法溶解(腐蚀处理)并去除，然后，用碱性溶液溶解并清除光刻胶。通过如上所述步骤，在绝缘载带上留下的导电层就形成了所需的配线图案。

然后，为了防止在电子元件安装时，由于金属屑、金属须(whisker)、配线移动(migration)所导致的短路，并保护配线图案，保证配线图案间绝缘，用焊料保护层覆盖配线图案。

具体而言，配线图案上，在除与IC等电子元件连接的内部引脚部分和与外部端子连接的外部引脚部分以外的区域，形成绝缘树脂制焊料保护层，例如，以网格印刷法制成的焊料保护层。

如上所述，形成焊料保护层后，在裸露的各个引脚部分进行如镀锡、镀金、电镀锡铅共晶合金等处理，从而制成薄膜载带。而且，进行电镀处理是为了有效防止裸露的各个引脚部分氧化、变色的同时，也可以保证各个引脚部分的结合强度。

然后，使用焊接装置，在安装电子元件用薄膜载带的内部引脚上安装半导体元件，并用树脂封装。

然而，这种安装电子元件用薄膜载带制造的各工序及最后工序中，都要进行品质检查，例如，配线图案的品质检查等。作为与以前以人工目视检查(透光检查)方法相比，效率更高并且准确的检查方法，即，目前采用一对探针接触安装电子元件用薄膜载带上设置配线图案的一侧，从而检查出配线断路、短路和邻近配线间绝缘阻抗的电气检查的方法。

然而，使用如上所述检查方法，虽然可以确定的检查出配线断路，但是却不能检查出因缺口、配线过细等缺陷而可能形成断路的配线。

因此，例如使用液晶显示元件(LCD)的情况下，连接液晶面板时，在安装电子元件用薄膜载带狭缝处，在折叠弯曲使用的情况下，会发生配线断路等损坏。

而且，由于近年来随着安装电子元件用薄膜载带的薄型化的发展，配线图案的精密间距急速进步，安装电子元件用薄膜载带因折叠弯曲而产生的断路等损坏不断增加。

为此，在专利文献1(特开2003-7774号公报)中，提出能够防止安装电子元件用薄膜载带发生损坏的安装电子元件用薄膜载带的检查方法及检查装置。

即，所述专利文献1的安装电子元件用薄膜载带的检查装置，如图7所示，设置有：图案检查部100；检查载物台102和固定一对探针104、106的固定部件108。

在所述可以上下移动的检查载物台102和固定部件108之间挟持薄膜载带110，并确定其位置。

然后，用一对探针104、106接触薄膜载带110的配线图案112的外部引脚114、116的焊点部分114a、116a，从而进行导通测试。

然后，在固定部件108上，与配线图案112的电子元件相连接的内部引脚122的部分的相对区域，固定有为使与内部引脚122的配线组相连并导通的导通用端子124。

而且，检查载物台102上设置有向固定部件108的一侧突出的突出部126，并贯串薄膜载带110的宽度方向。一方面，固定部件108上设置有挟住所述突出部126的凹陷部128。

因此，专利文献1的检查装置中，通过所述具有突出部126的检查载物台102和具有凹陷部128的固定部件108之间挟持薄膜载带110，用一对探针104、106接触外部引脚114、116的焊点部分114a、116a，并使内部引脚122的部分与导通用端子124接触，对指定位置进行弯曲，而进行导通测试。

并且，如图7所示，144为绝缘层，180为焊料保护层。

通过如上所述强制折叠弯曲，可以使因缺陷而可能形成断路的配线图案强制断路，从而可以通过导通测试准确检查出不良品。

专利文献1：特开2003-7774号公报。

通过在如上所述专利文献1中所示现有检查装置，进行前述导通测试，对薄膜载带110进行连续检查。

但是，由于对薄膜载带110进行折叠弯曲，薄膜载带110处于不均匀的拉长状态，给导通测试带来了微妙的变化，翻覆测试的精度会下降。

即，如图8所示，以专利文献1的检查装置，在具有突出部126的检查载物台102和具有凹陷部128的固定部件108之间挟持薄膜载带110，对指定位置折叠弯曲的状态，薄膜载带110被不均匀的拉长，使探针104、106偏离接触位置，就会产生外部引脚114、116的焊点部114a、116b与探针104、106不能接触的问题。

因而，原本正常的薄膜载带110就会在导通测试上形成不良导通，被判断为不良品，使检查精度下降。

发明内容

鉴于前述现有技术，本发明目的是提供一种安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置以及安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，使对于因缺陷而可能形成断路的配线图案进行连续并且高精度检查的导通测试等的电气检查成为可能。

本发明正是为解决前述现有技术的问题及达到所述目的而产生。本发明的安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置，其特征在于，包括：

具有强制折叠弯曲装置的强制折叠弯曲部，在强制折叠弯曲装置中，强制折叠弯曲安装电子元件用薄膜载带配线图案；

在前述强制折叠弯曲部的下游方向，设置有一对探针，接触安装电子元件用薄膜载带，检查出配线图案导通状态的电气检查部。

而且，本发明的安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，其特征在于，包括：

以强制弯曲装置强制弯曲安装电子元件用薄膜载带的工序；

前述折叠强制弯曲工序后，用一对探针接触安装电子元件用薄膜载带的配线图案，检查出配线图案导通状态的电气检查工序。

通过如上所述结构，强制折叠弯曲部(折叠弯曲工序)中，通过强制折叠弯曲装置，强制折叠弯曲安装电子元件用薄膜载带的配线图案，特别是配线度过细，容易断路的输出端引脚部分(缠绕配线)，从而使因缺陷而可能形成断路的配线图案强制断路。

然后，如上所述折叠弯曲后，解除可能形成断路的配线图案断路的薄膜载带的强制折叠弯曲状态(恢复到初始状态)，并在电气检查部(电气检查工序)中，用一对探针接触薄膜载带的配线图案，从而检查出配线图案的导通状态。

因而，在电气检查时，解除了因折叠弯曲而产生不均匀拉长的薄膜载带所受到的折叠弯曲的状态，即，恢复到初始状态。因此，不会偏离探针的接触位置，配线图案，特别是外部引脚的焊点部分可以与探针准确接触。

因此，原本正常的薄膜载带不会在导通测试中产生不良导通，不会被判断为不良品，可以大幅提高检查精度。

并且，本发明中，前述强制折叠弯曲部的强制折叠弯曲装置，其特征在于，包括：

在前述安装电子元件用薄膜载带的上下方向的一侧，安装电子元件用薄膜载带的长度方向上间隔一定距离设置的一对第1突出部件；

在前述安装电子元件用薄膜载带的上下方向的另一侧，前述一对第1突出部件中间位置上，设置第2突出部件；

且，前述一对第1突出部件和第2突出部件，从上下方向上挟持安装电子元件用薄膜载带的配线图案，强制折叠弯曲配线图案。

基于上述结构，通过一对第1突出部件和第2突出部件，从上下两个方向挟持安装电子元件用薄膜载带的配线图案，强制折叠弯曲配线图案，可通过损坏等可以使将要断线的配线图案确实且强制地断线，通过导通试验确实地检查出不良。

本发明，其特征还在于：前述一对第1突出部件和第2突出部件中，至少有一面的突出部件为滚轮。

如上所述一对第1突出部件和第2突出部件中，因为至少有一面的突出部件为滚轮，因此不会发生在摩擦力作用下，薄膜载带过度牵引的现象，绝缘载带及构成配线图案的导电材料(铜)不发生塑性形变，不会降低成品率，并且，可以在恢复到初始状态后，进行正确的电气检查。

本发明的安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置，其特征还在于：在前述强制折叠弯曲部中进行强制折叠弯曲时，具有对安装电子元件用薄膜载带施加张力的牵引装置。

本发明的安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，其特征还在于：在前述强制折叠弯曲工序中，在牵引装置作用下，进行折叠弯曲时，对安装电子元件用薄膜载带施加张力。

如上所述结构，通过牵引装置，可以确定正确位置，并且，折叠弯曲时，由于对于安装电子元件用薄膜载带施加张力，可以使因缺陷而可能形成断路的配线图案强制断路，通过导通测试，准确检查出不良品。

本发明的安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置，其特征还在于：前述折叠弯曲部中，牵引装置是，对安装电子元件用薄膜载带施加张力的浮动滚轮。

本发明的安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，其特征还在于：前述折叠弯曲阶段中，牵引装置为，对安装电子元件用薄膜载带施加张力的浮动滚轮。

如上所述折叠弯曲部(折叠弯曲工序)中，牵引装置为浮动滚轮，因而可以通过调整浮动滚轮的重量，在折叠弯曲时对安装电子元件用薄膜载带施加一定的张力，从而可以强制使由于缺陷等而可能发生断路的配线图案形成断路，通过导通测试准确检查出不良品。

并且，通过调整浮动滚轮的重量，在折叠弯曲时，对安装电子元件用薄膜载带施加一定的张力，因此避免了过度牵引薄膜载带，绝缘载带以及构成配线图案的导电材料(铜)和与焊料保护层不会发生塑性形变，避免了成品率的下降，并且恢复初始状态后，可以进行准确的电气检查。

本发明的安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置，其特征还在于：具有在前述电气检查部中，进行电气检查时，对安装电子元件用薄膜载带施加张力的牵引装置。

本发明的安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，其特征还在于：前述电气检查阶段中，通过牵引装置，在电气检查时对安装电子元件用薄膜载带施加张力。

根据如上所述构造，电气检查时，可以对安装电子元件用薄膜载带施加一定的张力，因此电气检查时，在折叠弯曲部(折叠弯曲工序)中进行折叠弯曲后，形成的不均匀延长的薄膜载带，将恢复到初始的状态。

而且，电气检查时，对安装电子元件的薄膜载带施加一定的张力，因此，折叠弯曲部(折叠弯曲工序)中被强制断路的配线组，不会在电气检查中再次连接(接触)在一起，而维持牵引拉开的状态。

因此，不会偏离探针的接触位置，配线图案，特别是外部引脚的焊点部分，可以与探针准确接触，进行准确的电气检查。

并且，被强制断路的可能产生断路的配线，不会再次接触，因此，在电气检查时，不会发生将不良品错误判断为电气检查合格品的问题。

本发明的安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置，其特征还在于，前述电气检查部中的牵引装置，包括：

薄膜载带支撑装置；

对被前述薄膜载带支撑装置支撑的安装电子元件用薄膜载带施加张力的浮动滚轮。

本发明的安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，其特征还在于，前述电气检查部中的牵引装置，包括：

薄膜载带支撑装置；

对被前述薄膜载带支撑装置支撑的安装电子元件用薄膜载带施加张力的浮动滚轮。

通过如上所述的构造，就可以，以薄膜载带支撑装置支撑薄膜载带，并以浮动滚轮通过浮动滚轮的重量对安装电子元件用薄膜载带施加一定的张力。

如上所述，电气检查时，在折叠弯曲部(折叠弯曲工序)中进行折叠弯曲，被不均匀拉长的薄膜载带，将在正确的位置上恢复初始状态。因此，不会偏离探针的接触位置，配线图案，特别是外部引脚的焊点部分，可以与探针正确接触，从而进行正确的电气检查。

而且，在电气检查时，对安装电子元件用薄膜载带施加一定的张力，因此，折叠弯曲部(折叠弯曲工序)中，被强制断路的配线组，不会在电气检查中再次连接(接触)在一起，而维持牵引拉开的状态。

因而，可以防止，被强制断路的有可能发生短路的配线再次接触，因此，电气检查时，不会发生不良品被错误判断为电气检查合格品的问题。

而且，本发明，其特征在于：前述一对第1突出部件设置在，对应于安装电子元件用薄膜载带的狭缝部分两侧的位置；

并且前述第2突出部设置在，对应于安装电子元件用薄膜载带的狭缝部分的位置。

通过如上所述的结构，特别是使用液晶显示元件(LCD)时，在狭缝处于折叠弯曲的状态中使用。例如，TAB带、COF带等，可以对狭缝处的配线图案进行强制折叠弯曲。

因而，可以使在使用时被折叠弯曲的狭缝部分的配线图案中，因缺陷而可能发生断路的配线图案强制断路，可以在导通测试中准确检查出不良品，因此，可以防止在使用中折叠弯曲时，狭缝部分的配线图案出现断路。

而且，在电气检查时，上述导通测试以外，还要在例如邻近的焊点间附加电压，进行检查邻近配线间有无短路的短路测试。此时，也可以保证焊点和探针的接触位置不会偏离，因此可以准确的进行短路测试检查。

按照本发明，在强制折叠弯曲部(强制折叠弯曲工序)中，将安装电子元件用薄膜载带的引脚区域(内部引脚和外部引脚之间)的配线图案，通过强制折叠弯曲装置进行强制折叠弯曲，从而可以使因缺陷而可能发生断路配线图案强制断路。

接着，在通过折叠弯曲而使可能发生断路的配线强制断路后，解除施加在薄膜载带上的折叠弯曲的状态(恢复到初始状态)，在电气检查部(电气检查工序)中，对薄膜载带施加张力，强制已经断路的配线图案不能再次接触，再用一对探针接触配线图案，从而检查出配线图案的导通状态。

因而，电气检查时，将解除因折叠弯曲而被不均匀拉长的薄膜载带的折叠弯曲状态，即，恢复到初始状态。因此不会偏离探针的接触位置，可以用探针准确接触配线图案，特别是外部引脚的焊点部分。

因此，原本正常的薄膜载带，不会因在导通测试中发生导通不良，而被错误判断为不良品，可以大大提高了检查的精度。

附图说明

图1为本发明的安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置实施例示意图。

图2为图1的电气检查装置的强制折叠弯曲部14中，折叠弯曲状态示意图。

图3为图1的电气检查装置的强制折叠弯曲部14的另一实施例示意图。

图4为本发明所使用的安装电子元件用薄膜载带12的一个实施例的俯视图。

图5为图1的电气检查装置的电气检查部16中折叠弯曲状态示意图。

图6为图1的电气检查装置的强制折叠弯曲部14的另一实施例的折叠弯曲状态示意图。

图7为目前的电气检查装置示意图。

图8为目前的电气检查装置示意图。

附图中主要符号说明

10检查装置                      12安装电子元件用薄膜载带

14强制折叠弯曲部                16电气检查部

18强制折叠弯曲装置              20上方折叠弯曲部件

22下方折叠弯曲部件              24、26滚轮

28第1突出部件                   32滚轮

34第2突出部件                   36配线图案

40浮动滚轮                      42驱动滚轮

44绝缘载带                      46、48、50突出部

52外部引脚                      54狭缝部分

58内部引脚                      60测试焊点部分

62输片齿孔                      64导向滚轮

66浮动滚轮                      68导向滚轮

70牵引装置                      72检查载物台

74、76探针                      78固定部件

80焊料保护层                    84牵引装置

81导通端子                      86薄膜载带支撑装置

88锁止部件                      90导向滚轮

92浮动滚轮

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的具体实施例作详细的说明。

图1为本发明的安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置实施例示意图。

图1中，10为整体安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置(以下简称“检查装置”)。

如图1所示，检查装置10是由，从图中未表示的送出机构的卷带连续传送安装电子元件用薄膜载带12；通过强制折叠弯曲部14、电气检查部16，再由图中未表示的卷取机构的卷带收卷而构成。

而且，在如上所述机构中，安装电子元件用薄膜载带12的配线图案一面向上传送。

强制折叠弯曲部14中具有强制折叠弯曲装置18，所述强制折叠弯曲装置18由上下一对的上方折叠弯曲部件20和下方折叠弯曲部件22构成，并通过图中未表示的驱动机构可以上下运动并互相接近或分离。

上方折叠弯曲部件20的下部，具有由一对滚轮24、26构成的第1突出部件28、30，设置在沿安装电子元件用薄膜载带12的长度方向上并具有一定间隔的距离。

另外，下方折叠弯曲部件22的上部，具有滚轮32构成的第2突出部件34，设置在第一突出部件28、30的一对滚轮24、26中间的位置。

如上所述构成的强制折叠弯曲部14中，如图1所示，从设置在强制折叠弯曲部14内的浮动滚轮或反张力传动装置类似的拉紧装置40和驱动滚轮42之间通过时，暂时停止驱动滚轮42的驱动，从而暂时停止安装电子元件用薄膜载带12的给送，确定其位置。

然后，如图2所示，通过上方折叠弯曲部件20和下方折叠弯曲部件22向相互接近的方向移动，以第1突出部件28、30的一对滚轮24、26和第2突出部件34的滚轮32从上下方向挟持安装电子元件用薄膜载带12的配线图案36，从而强制折叠弯曲(38)配线图案36。

如上所述构造，在强制折叠弯曲部14中，通过强制折叠弯曲装置18强制折叠弯曲安装电子元件用薄膜载带12的配线图案36，特别是本来配线宽度很细，容易产生断路的输出端的内部引脚和外部引脚之间的配线图案，可以使因缺陷而可能产生断路的配线图案强制断路。

而且，此时，如上所述滚轮24、26、32的尺寸，虽然并不作特殊限定，但是如果考虑到前述强制断路效果，其直径优选在4～10毫米之间。

并且，本实施例中，第1突出部件28、30由一对滚轮24、26构成，第2突出部件34由滚轮32构成。

根据由滚轮构成的突出部件，不会因其摩擦力而过度拉伸薄膜载带12，构成安装电子元件用薄膜载带12的绝缘载带44以及构成配线图案36的导电材料(铜)，和焊料保护层80不发生塑性型变，因而不会降低成品率。恢复到初始状态后，可以进行准确的电气检查。

但是，如上所述，不会过度拉伸薄膜载带12，以构成安装电子元件用薄膜载带12的绝缘载带44以及构成配线图案36的导电材料(铜)不发生塑性形变为准，第1突出部件28、30，第2突出部件34的滚轮可以用例如图3所示的突出部46、48、50代替。而且，可以适当组合所述滚轮和突出部。

而且，本实施例中，在上方折叠弯曲部件20的一侧，设置有第1突出部件28、30，在下方折叠弯曲部件22的一侧，设置有第2突出部件34，相反，如图6所示，也可以在上方折叠弯曲部件20的一侧，设置有第2突出部件34，在下方折叠弯曲部件22的一侧，设置有第1突出部件28、30。

如图6所示的结构，可以很准确的使因缺陷而可能发生断路的配线图案形成断路。因而，此时，可以省去拉紧装置40。

而且，所述第1突出部件28、30的一对滚轮24、26和第2突出部件34的滚轮32所设置的位置，可以根据安装电子元件用薄膜载带12的种类，配线图案36，特别是内部引脚和外部引脚之间所定的位置设置，没有一定的限制。

而且，如上所述，第1突出部件28、30和第2突出部件34的组合，可以设计在多处位置。

例如，图4表示采用液晶显示元件(LCD)的安装电子元件用薄膜载带12在狭缝54处进行折叠弯曲状态中所使用的TAB带。并且，图4中，52为外部引脚，54为狭缝，56为设备安装孔，58为内部引脚，60为外部引脚52上形成的测试焊点，62为输片齿孔。

所述安装电子元件用薄膜载带12上，如图4的单点划线所示，一对第1突出部件28、30设置在对应于安装电子元件用薄膜载带12的狭缝部分54的两侧。然后，如图4双点划线所示，第2突出部件34设置在对应于安装电子元件用薄膜载带12的狭缝部分54的位置。

如上所述，分别设置在对应于安装电子元件用薄膜载带12的狭缝部分54两侧和狭缝54处的，第1突出部件28、30和第2突出部件34的组合，也可以在对应于安装电子元件用薄膜载带12的狭缝部分54的位置上设置多组如上所述组合。

如上所述构造，特别是在采用液晶显示元件(LCD)时，在狭缝部分发生折叠弯曲的例如，TAB带、COF带等，可以对狭缝54及其周围的配线图案36进行折叠弯曲。

因此，在使用时，在受到折叠弯曲的狭缝部分54及其周围的配线图案中，可以准确的使因缺陷而可能发生断路配线图案进行强制断路，在导通测试中准确检查出不良品，因此可以防止在使用时折叠弯曲过程中，狭缝部分54及其周围配线图案发生断路。

如上所述，强制折叠弯曲部14中，安装电子元件用薄膜载带12的配线图案36，即，以强制折叠弯曲装置18折叠弯曲缠绕配线图案，从而使因缺陷而可能发生断路的配线强制断路，强制断路后的安装电子元件用薄膜载带12，如图1所示，通过导向滚轮64后，经浮动滚轮66，导向滚轮68，传送入电气检查部16。

同时，在强制折叠弯曲部14中进行折叠弯曲时，前述浮动滚轮66对安装电子元件用薄膜载带12施加张力，实现牵引装置的功能。

即，在折叠弯曲时，可以通过牵引装置70对安装电子元件用薄膜载带12施加张力，因此，可以使因缺陷而可能发生断路的布线图案36强制断路，在导通测试中准确检查出不良品。

另外，安装电子元件用薄膜载带12，受到折叠弯曲，并使可能发生断路的布线图案强制断路，解除薄膜载带所受折叠弯曲的状态(恢复到初始状态)后，被传送至电气检查部16。在电气检查部16中，用一对探针接触安装电子元件用薄膜载带12的输入端和输出端的布线图案36，检查出布线图案36的导通状态。

并且，电气检查部16中进行电气检查时，以如下所述牵引装置84，对安装电子元件用薄膜载带12施加一定张力，因此强制折叠弯曲部14中，被强制断路的配线组在电气检查时不会再次接触，而维持拉伸状态。

因而，可以防止已经被强制断路的有可能发生断路的配线再次接触，因此电气检查部16中进行电气检查时，不会发生不良品被错误判断为合格的问题。

即，在电气检查部16中，所述电气检查部16，如图1及图5所示，设置有下检查载物台72和固定有一对探针74、76的上检查载物台78。

所述下检查载物台72和上检查载物台78可以上下移动，例如，上检查载物台78下降后，通过下检查载物台72略微上升，在下检查载物台72与上检查载物台78之间挟持薄膜载带12，使之固定。

然后，用一对探针74、76接触薄膜载带12的配线图案的外部引脚52的测试焊点60，通过两个探针74、76之间设置的测试器71、73，进行导通测试，检查是否有断路。并且，如上所述导通测试，一组一组的切换配线进行检查。

并且，当布线图案比较宽大时，例如：输入端的外部引脚部上，由于可以用探针74或76直接接触配线，因此可以省略测试焊点60。

而且，上检查载物台78上，对于配线图案与电子元件连接的内部引脚部分58的区域，固定有使内部引脚58的配线组连接并导通的导通端子81，例如导电橡胶棒。而且，所述导通端子81通过地线85接地。

因而，在电气检查部16中，以下检查载物台72与上检查载物台78之间挟持薄膜载带12，用一对探针74、76接触外部引脚52的测试焊点60，用导通端子81接触内部引脚58，进行导通测试。

而且，电气检查部16中进行电气检查时，具有对安装电子元件用薄膜载带12施加张力的牵引装置84。

所述牵引装置84包括，薄膜载带支撑装置86；对以支撑装置86支撑的安装电子元件用薄膜载带12施加张力的前述浮动滚轮66。

如上所述实施例，薄膜载带支撑装置86包括，可以通过图中未表示的驱动机构上下移动，且可以与安装电子元件用薄膜载带12的输片齿孔62配合的锁止部件88。并且，此时，锁止部件88，如图1所示，为了支撑安装电子元件用薄膜载带12，优选设计向安装电子元件用薄膜载带12的传送方向倾斜。

并且，薄膜载带支撑装置86，为了很好的支撑安装电子元件用薄膜载带12，可以设置一对支撑滚轮或驱动齿轮，不只局限于前述锁止部件88。

通过如上所述构造，暂时停止传送安装电子元件用薄膜载带12，用薄膜载带支撑装置86支撑安装电子元件用薄膜载带12，可以用浮动滚轮66的重量确定安装电子元件用薄膜载带12的位置，并可以通过浮动滚轮66对安装电子元件用薄膜载带12施加一定的张力。

如上所述，在电气检查时，在强制折叠弯曲部14中进行折叠弯曲，不均匀拉长的安装电子元件用薄膜载带12在正确的位置恢复到初始状态。并且电气检查时，对安装电子元件用薄膜载带12施加一定的张力，因此，在强制折叠弯曲部14中，强制使已经断路的配线组在电气检查时不再连接(接触)，并维持拉伸状态。

因此，不会偏离探针的接触位置(langing位置)，探针可以准确接触配线图案，特别是外部引脚的焊点部分，进行准确的电气检查。

此时，通过浮动滚轮66的重量具有，在前述张力下使不均匀拉长的薄膜载带12恢复初始状态的效果，并且具有使已经被强制断路的布线组在电气检查中不会再次连接(接触)的防止再连接的效果。考虑如上所述作用，浮动滚轮66的重量，最好设置在100～500克。如果轻于100克，就不会达到前述防止再连接的效果，如果超过500克，输片齿孔62就会发生变型，并过度拉伸安装电子元件用薄膜载带12，构成安装电子元件用薄膜载带12的绝缘载带44以及构成配线图案36的导电材料(铜)会发生塑性形变，降低成品率。

并且，本实施例中，折叠弯曲以及电气检查时，为了对安装电子元件用薄膜载带12施加张力，使用了浮动滚轮66，但是并不局限于此，例如，还可以使用两组成对的滚轮挟持安装电子元件用薄膜载带12，通过向相反的方向转动，从而对安装电子元件用薄膜载带12施加拉伸力。

如上所述，电气检查部16中进行导通测试后，如图1所示，安装电子元件用薄膜载带12，通过导向滚轮90、浮动滚轮92，收卷到图中未表示的卷取卷轴上。

实施例1，采用图1所示本发明的检查装置10，使用如图4所示LCD用宽35mm，厚75μm的聚酰亚胺制绝缘载带表面形成厚12μm的铜配线形成所述弹性TAB带12，使其配线图案向上进行电气检查。

并且，强制折叠弯曲部14的滚轮直径为6mm，浮动滚轮66、92重量为100克。

实施例2，如图6所示，使用具有如下所述强制折叠弯曲部14的本发明的检查装置10，对安装电子元件用薄膜载带12进行电气检查。即，上方折叠弯曲部20的一侧，设置第2突出部件34，下方折叠弯曲部22的一侧，设置第1突出部件28、30。

使用实施例1和2，与现有电气检查方法相比，产品不合格率减少了60％。即，本来是正常品，但是由于载带位置偏离，而被判断为不合格品的减少了60％，从而可以准确可靠的进行电气检查。而且，可以有效防止被强制断路的强制断路产品的配线再次连接，再向半导体芯片安装工序传送的不合格流出率也比目前产品的不良流出率减少约20％。

综上所述，对本发明的理想实施形态作了说明，本发明并不仅局限于此，例如，前述实施例中，对安装电子元件前的安装电子元件用薄膜载带12适用，但是可以在不偏离本发明目的的范围进行各种改动，从而适用于片状载带的FPC或者已安装半导体芯片的安装电子元件用薄膜载带的半导体装置。

Claims (16)

1、一种安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置，其特正在于，包括：

具有强制折叠弯曲装置的强制折叠弯曲部，用以强制折叠弯曲安装电子元件用薄膜载带配线图案；

在前述强制折叠弯曲部的下游方向，设置有电气检查部，用一对探针接触安装电子元件用薄膜载带配线图案，检查配线图案导通状态。

2、按照权利要求1所述安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置，其特征在于，前述强制折叠弯曲部的强制折叠弯曲装置，包括：

在前述安装电子元件用薄膜载带的上下方向中的一侧，沿安装电子元件用薄膜载带的长度方向上间隔一定距离设置的一对第1突出部件；

在前述安装电子元件用薄膜载带的上下方向中的另一侧，前述一对第1突出部件中间位置上设置的第2突出部件；

且，前述一对第1突出部件和第2突出部件，从上下方向上挟持安装电子元件用薄膜载带的配线图案，强制折叠弯曲配线图案。

3、按照权利要求2所述安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置，其特征在于：前述一对第1突出部件和第2突出部件中，至少有一方为滚轮。

4、按照权利要求1至3所述安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置，其特征在于：具有在前述强制折叠弯曲部中进行折叠弯曲时，对安装电子元件用薄膜载带施加张力的牵引装置。

5、按照权利要求4所述安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置，其特征在于：前述折叠弯曲部中，牵引装置是，对安装电子元件用薄膜载带施加张力的浮动滚轮。

6、按照权利要求1至权利要求5所述安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置，其特征在于：具有在前述电气检查部中进行电气检查时，对安装电子元件用薄膜载带施加张力的牵引装置。

7、按照权利要求6所述安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置，其特征在于，前述电气检查部中的牵引装置，包括：

薄膜载带支撑装置；

对被前述薄膜载带支撑装置支撑的安装电子元件用薄膜载带施加张力的浮动滚轮。

8、按照权利要求2至权利要求7所述安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置，其特征在于：前述一对第1突出部件设置在，对应于安装电子元件用薄膜载带的狭缝部分两侧的位置；

前述第2突出部件设置在，对应于安装电子元件用薄膜载带的狭缝部分的位置。

9、一种安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，其特征在于，包括：

通过强制折叠弯曲装置，强制折叠弯曲安装电子元件用薄膜载带的强制折叠弯曲工序；

前述强制折叠弯曲工序后，以一对探针接触安装电子元件用薄膜载带的配线图案，检查出布线图案导通状态的电气检查工序。

10、按照权利要求9所述安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，其特征在于，前述强制折叠弯曲工序的强制折叠弯曲装置，包括：

在前述安装电子元件用薄膜载带的上下方向中的一侧，沿安装电子元件用薄膜载带的长度方向上间隔一定距离设置的一对第1突出部件；

在前述安装电子元件用薄膜载带的上下方向中的另一侧，前述一对第1突出部件中间位置上设置的第2突出部件；

且，前述一对第1突出部件和第2突出部件，从上下方向上挟持安装电子元件用薄膜载带的配线图案，强制折叠弯曲配线图案。

11、按照权利要求10所述安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，其特征在于：前述一对第1突出部件和第2突出部件中，至少有一方为滚轮。

12、按照权利要求9至权利要求11所述安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，其特征在于：前述强制折叠弯曲工序中，通过牵引装置，在折叠弯曲时对安装电子元件用薄膜载带施加张力。

13、按照权利要求12所述安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，其特征在于：前述折叠弯曲工序中，牵引装置为，对安装电子元件用薄膜载带施加张力的浮动滚轮。

14、按照权利要求9至权利要求13所述安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，其特征在于：在前述电气检查工序中，通过牵引装置，在电气检查时对安装电子元件用薄膜载带施加张力。

15、按照权利要求14所述安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，其特征在于，前述电气检查部中的牵引装置，包括：

薄膜载带支撑装置；

对被前述薄膜载带支撑装置支撑的安装电子元件用薄膜载带施加张力的浮动滚轮。

16、按照权利要求10至15所述安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，其特征在于：前述一对第1突出部件设置在，对应于安装电子元件用薄膜载带的狭缝部分两侧的位置；

前述第2突出部件设置在，对应于安装电子元件用薄膜载带的狭缝部分的位置。

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