KR20050007664A - 반도체 소자의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- 소자분리막에 의해 한정된 실리콘 기판의 액티브 영역 상에 실리콘 재질의 게이트를 형성하는 단계;상기 게이트 및 기판 내에 산화 속도를 늦춰주는 N 이온주입을 수행하는 단계;상기 게이트 형성시의 식각 데미지를 제거해주기 위해 게이트 재산화 공정을 수행하여 기판 표면 및 게이트 표면에 제1두께로 산화막을 성장시킴과 동시에 상기 게이트 측벽에 상기 제1두께 보다 두꺼운 제2두께로 산화막을 성장시키는 단계;상기 기판 전면에 LDD 이온주입을 수행하는 단계;상기 기판 결과물 상에 질화막을 증착하는 단계;상기 질화막과 산화막을 블랭킷 식각하여 게이트의 양측벽에 스페이서를 형성하는 단계;상기 기판 전면에 소오스/드레인 이온주입을 수행하는 단계; 및상기 기판 결과물을 어닐링하여 게이트 양측의 기판 표면 내에 LDD 영역을 갖는 소오스/드레인 영역을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 N 이온주입은 소오스로서 N+ 또는 N2+를 이용하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조방법.
- 제 2 항에 있어서, 상기 N2+ 이온주입은 에너지를 100keV 이하로 하면서 도우즈량을 5E13∼3E15원자/㎤로 하여 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 LDD 이온주입을 수행하는 단계 후, 그리고, 상기 산화막 스페이서를 형성하는 단계 전, RTP(Rapid Thermal Process)를 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조방법.
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