KR20050001084A - Glass shifter for flat display panel - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A glass shifter for a flat display panel is provided to safely shift a panel even in case that the panel descends due to weakened flotage, thereby preventing a defect from occurring. CONSTITUTION: A glass shifter for a flat display panel includes a plurality of chambers(1) to which fluid is supplied, a plurality of fluid vent members(3) venting the supplied fluid to float the panel, and a plurality rolling members(5) provided at one side of the chambers or the fluid vent members. The panel is floated by the fluid vented through the fluid vent members. A part of the panel is slid in contact with the rolling members if the panel descends at a portion where flotage of the fluid is weakened, so that the panel continues to shift, thereby reducing scratch.

Description

평판 디스플레이용 기판 이송장치{Glass shifter for flat display panel}Substrate transfer device for flat panel display {Glass shifter for flat display panel}

본 발명은 평판 디스플레이용 기판 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이(flat display panel)의 제작 또는 세정 등의 과정에서 기판을 이송하는데 이용될 수 있으며, 기판의 불량을 줄일 수 있는 평판 디스플레이용 기판 이송장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus for a flat panel display. More particularly, the present invention may be used to transfer a substrate in a process of manufacturing or cleaning a flat display panel, and may reduce a defect of a substrate. It relates to a substrate transfer device for.

일반적으로 평판 디스플레이용 기판 이송장치는 평판 디스플레이의 제작 과정 등에서 기판을 이송하기 위한 것으로, 기판이 이송되는 과정에서 발생할 수 있는 긁힘 등으로 인한 불량을 줄이기 위하여 기판을 부양(浮揚)시켜 이송하는 기술이 개발되었다. 이와 같이 기판을 부양시켜 이송하는 기술은, 본 출원인이 출원하여 공개된 대한민국 공개특허공보 공개번호 제 특2001-0070780호에 개시되어 있다. 상기 공보에 개시된 기술은 공기 또는 순수(D.I water) 등의 유체를 이용하여 기판을 부양시켜 이동시키는 것으로, 마찰 저항에 의한 흠 발생, 세정액에 의한 처짐 방지 등 큰 효과를 거두고 있다.In general, a substrate transfer apparatus for a flat panel display is used to transfer a substrate in a manufacturing process of a flat panel display, and a technology for supporting and transferring a substrate in order to reduce defects caused by scratches, etc., which may occur during a substrate transfer process. Developed. Such a technique for supporting and transporting the substrate is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2001-0070780 filed by the present applicant. The technique disclosed in the above publication uses a fluid such as air or pure water (D.I water) to support and move the substrate, and has great effects such as occurrence of scratches caused by frictional resistance and sagging by a cleaning liquid.

이러한 선행기술은 소형의 기판을 이송하는 경우에는 매우 효과적이나, 차세대 평판 디스플레이에 적용되는 대형의 기판을 이송하는 경우, 특정 부분에서 압력의 변화 또는 다공판에 이물질 등이 유입될 수 있어 부양 유체에 의한 부양력이 감소할 수 있는데 이때 기판의 자중에 의하여 기판이 하강하고, 이로 인하여 기판에 스크래치 등이 발생되어 불량을 일으킬 수 있는 문제점 있다.This prior art is very effective when transferring a small substrate, but when transferring a large substrate to be applied to the next-generation flat panel display, a change in pressure or foreign matter may be introduced into the porous plate at a specific portion, so that The flotation force may be reduced, but the substrate is lowered due to the weight of the substrate, which may cause scratches and the like, which may cause defects.

따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 대형의 기판이 부양되어 이송될 때, 일부분에서 부양력이 약화되어 기판이 하강하는 경우에도 안전하게 이송되도록 하여 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있는 평판 디스플레이용 기판 이송장치를 제공하는데 있다.Therefore, the present invention has been proposed to solve the above problems, an object of the present invention is that when a large substrate is buoyed and transported, the buoyancy is weakened in a portion so that even if the substrate is lowered to be transported safely, the defect is generated An object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus for a flat panel display that can prevent the same.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판을 이송하는 평판 디스플레이용 기판 이송장치에 있어서, 유체가 공급되는 다수의 쳄버; 상기 쳄버에 설치되며, 공급된 유체가 배출되어 상기 기판을 부양하는 다수의 유체 배출부재; 상기 유체 배출부재 또는 상기 쳄버에 설치되며, 상기 기판이 부양되는 위치와 상기 유체배출부재의 사이에 배치되는 다수의 구름부재를 포함하는 평판 디스플레이용 기판 이송장치를 개시한다.In order to achieve the above object, the present invention, a flat panel display substrate transfer apparatus for transferring a substrate, a plurality of chambers to which fluid is supplied; A plurality of fluid discharge members installed in the chamber and configured to support the substrate by discharging the supplied fluid; Disclosed is a substrate transfer apparatus for a flat panel display, which is installed in the fluid discharge member or the chamber and includes a plurality of rolling members disposed between a position at which the substrate is supported and the fluid discharge member.

이와 같이 이루어지는 본 발명은 유체 배출부재를 통하여 배출되는 유체에 의하여 기판이 부양되고, 상기 기판이 부양되는 과정에서 유체의 부양력이 약화되는 부분에서 기판이 하강하는 경우 기판의 일면이 구름부재에 접촉되어 미끄럼 이동되면서 기판의 이송이 계속 이루어진다. 이때 기판은 구름부재에 의하여 미끄럼 이동되므로 스크래치 등이 발생되는 것을 줄여주어 대형의 기판 이송에 매우 효과적이다.According to the present invention, the substrate is supported by the fluid discharged through the fluid discharge member, and when the substrate is lowered at the portion where the buoyancy of the fluid is weakened in the process of supporting the substrate, one surface of the substrate contacts the rolling member. The transfer of the substrate is continued while sliding. At this time, since the substrate is slid by the rolling member to reduce the occurrence of scratches and the like is very effective for large substrate transfer.

도 1은 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 기판 이송장치의 일부를 도시한 평면도이다.1 is a plan view showing a part of a substrate transfer apparatus for explaining an embodiment according to the present invention.

도 2는 기판이 충분히 부양되어 이송되는 과정을 설명하기 위하여 도 1의 측면도이다.FIG. 2 is a side view of FIG. 1 to explain a process in which the substrate is sufficiently supported and transported.

도 3은 기판이 충분히 부양되지 못한 상태에서 이송되는 과정을 설명하기 위한 도 1의 측면도이다.FIG. 3 is a side view of FIG. 1 for explaining a process of transferring a substrate in a state in which the substrate is not sufficiently supported.

도 4는 본 발명에 따른 또 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.4 is a view for explaining another embodiment according to the present invention.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 평면도로, 유체가 공급되는 다수의 쳄버(1), 상기 쳄버(1)의 상면에 배치되는 다수의 유체 배출부재(3), 그리고 상기 쳄버(1) 또는 유체 배출부재(3)의 일측에 배치되는 다수의 구름부재(5)를 도시하고 있다.1 is a plan view illustrating an embodiment according to the present invention, a plurality of chambers 1 to which fluid is supplied, a plurality of fluid discharge members 3 disposed on an upper surface of the chamber 1, and the chambers ( 1) or a plurality of rolling members 5 arranged on one side of the fluid discharge member 3 is shown.

상기 쳄버(1)는 내부에 유체가 인입될 수 있는 공간이 구비되고, 상기 공간에 유체(1)가 일정한 압력으로 인입될 수 있도록 통상으로 이루어지는 별도의 유체 공급 장치(도시생략)가 연결된다.The chamber 1 is provided with a space into which the fluid can be drawn therein, and a separate fluid supply device (not shown), which is generally formed so that the fluid 1 can be drawn at a predetermined pressure, is connected to the space.

특히, 상기 쳄버(1)는 기판(G, 도2 및 도 3에 도시하고 있음)이 이송되는 구간에 연속해서 다수가 배치되는 것이 바람직하다.In particular, it is preferable that a plurality of the chambers 1 are arranged continuously in a section in which the substrate G (shown in FIGS. 2 and 3) is transferred.

상기 유체는 순수(D.I water) 등의 액체 또는 공기 등이 사용될 수 있으며, 이것은 기판(G)을 처리하는 과정에 따라 각각 선택될 수 있다.The fluid may be a liquid such as pure water (D.I water), air, or the like, which may be selected depending on the process of treating the substrate G.

상기 유체 배출부재(3)는 다공판(다공질의 플레이트)으로 이루어지는 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니며, 별도의 유체를 분사하는 장치로 이루어지는 것도 가능하다. 즉, 상기 기판(G)을 이송할 수 있도록 기체 또는 액체가 통과하여 부양(浮揚)하는 정도의 것이면 어느 것이나 가능하다.The fluid discharge member 3 is preferably made of a porous plate (porous plate), but is not limited thereto, and may be made of a device for injecting a separate fluid. That is, as long as a gas or a liquid passes and floats so that the said board | substrate G can be conveyed, it can be any.

상기 유체 배출부재(3)는 상기 쳄버(1)의 상부에 배치되는 것이 바람직하다.The fluid discharge member 3 is preferably disposed above the chamber 1.

상기 구름부재(5)는, 기판(G)이 이송되는 방향으로 쳄버(1) 또는 유체 배출부재(3)에 다수가 배치될 수 있으며, 베어링을 구비한 롤러 형태의 것으로 이루어질 수 있다. 즉, 상기 구름부재(5)는 자유 회전할 수 있는 것으로, 도 2에 도시하고 있는 바와 같이, 유체 배출부재(3)에서 분사되는 유체에 의하여 기판(G)이 부양하는 높이(T, 위치)와 상기 유체 배출부재(3)가 이루는 높이 사이(t)에 배치되는 것이 바람직하다. 상기 구름부재(5)는 상기 기판(G)이 부양하는 위치에서 대략 0.5㎜ ∼ 1.0㎜ 정도 낮은 위치에 그 윗부분이 배치되는 것이 더욱 바람직하다. 이것은 다공질로 이루어지는 유체 배출부재(3)의 다공질 부분이 파티클에 의하여 막히는 경우 일시적으로 막힌 부분에서 분사력이 감소되어 기판(G)이 하강할 때 롤러 등의 구름부재(5)에 의하여 기판(G)이 긁힘 등의 손상 없이 이동되도록 하기 위한 것이다.The rolling member 5 may be disposed in the chamber (1) or the fluid discharge member (3) in the direction in which the substrate (G) is conveyed, it may be made of a roller type having a bearing. That is, the rolling member 5 is free to rotate, as shown in Figure 2, the height (T, position) that the substrate (G) is supported by the fluid injected from the fluid discharge member (3) And a height t formed by the fluid discharge member 3. More preferably, the upper portion of the rolling member 5 is disposed at a position approximately 0.5 mm to 1.0 mm lower than the position at which the substrate G is supported. This is because when the porous portion of the fluid discharge member 3 made of porous is blocked by the particles, the spraying force is decreased at the temporarily blocked portion, and the substrate G is lowered by the rolling member 5 such as a roller when the substrate G is lowered. This is to be moved without damaging the scratches.

상기 구름부재(5)는 자유 회전이 가능한 롤러 형태의 것에 한정되는 것은 아니며, 기판(G)의 진행 방향 뿐 만 아니라 좌, 우 방향으로 구름이 가능한 볼(ball,도시생략) 형태의 것이 배치되어도 본 발명의 목적 및 효과를 달성할 수 있는 것이다. 이와 같이 구름부재(5)가 볼(ball) 형태의 것으로 이루어지는 것은 본 발명을 더욱 다양하게 실시 할 수 있음을 보여주는 것이다.The rolling member 5 is not limited to a roller-type that can be freely rotated, and the ball-shaped member (ball, not shown) capable of rolling in the left and right directions as well as the traveling direction of the substrate G is disposed. The objects and effects of the present invention can be achieved. Thus, the cloud member 5 is made of a ball (ball) form shows that the present invention can be carried out more variously.

이와 같이 이루어지는 본 발명에 따라 기판(G)이 이동하는 과정에서 유체에 의한 부양력이 약해질 때 작용하는 과정을 더욱 상세하게 설명한다.According to the present invention made in this way will be described in more detail the process that acts when the flotation force by the fluid weakens in the process of moving the substrate (G).

우선 별도의 유체 공급장치에서 상기 쳄버(1)로 액체 또는 기체인 유체가 일정한 압력으로 인입되면서 다공판으로 이루어질 수 있는 유체 배출부재(3)의 구멍을 통하여 위쪽으로 분사된다. 이때 기판(G)은 상기 유체의 부양력에 의하여 일정한 높이까지 부양된 상태를 유지한다. 그리고 도시하지 않은 별도의 기판 이송 장치(도시생략)에 의하여 기판(G)이 부양된 상태로 이송된다. 이 과정에서 유체 배출부재(3)의 특정 부분에서 배출되는 유체의 압력이 떨어지는 경우 기판(G)은 자중 등에 의하여 처짐이 발생한다. 이때 기판(G)이 처지는 부분은 구름부재(5)에 접촉되면서 구름부재(5)의 회전에 따라 진행 방향으로 계속 이동한다(도 3에 도시하고 있음). 따라서 기판(G)은 긁힘 등을 최소화시키면서 이송이 되는 것이다. 그러므로 이송 중에 유체의 부양력의 감소로 기판(G)이 일부에 처지는 경우에도 긁힘 없이 안전하게 이송할 수 있어 불량률을 현저하게 줄일 수 있다. 이러한 기판 이송장치는 대형의 기판(G)이 적용되는 경우에 그 효과가 매우 크다.First, in a separate fluid supply device, a fluid, which is a liquid or a gas, is injected upward through a hole of the fluid discharge member 3, which may be formed as a porous plate, while being introduced into the chamber 1 at a constant pressure. At this time, the substrate G is maintained in a suspended state to a certain height by the buoyancy force of the fluid. And the board | substrate G is conveyed in the suspended state by the other board | substrate conveying apparatus (not shown) which is not shown in figure. In this process, when the pressure of the fluid discharged from a specific portion of the fluid discharge member 3 drops, the substrate G sags due to its own weight or the like. At this time, the portion where the substrate G sag is in contact with the rolling member 5 and continues to move in the direction of travel according to the rotation of the rolling member 5 (shown in FIG. 3). Therefore, the substrate G is transferred while minimizing scratches. Therefore, even when the substrate G sags in part due to the reduction of the flotation force of the fluid, the defect rate can be remarkably reduced. Such a substrate transfer device has a great effect when a large substrate G is applied.

도 4는 본 발명에 따른 또 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면으로, 유체 배출부재(3)의 다른 실시 예를 도시하고 있다. 즉, 상기 도 1 내지 도 3에 도시하여 설명한 실시 예에서는 유체 배출부재(3)가 다공질로 이루어진 다공판으로 이루어진예를 설명하였으나, 본 실시 예에서는 기판(G)이 이동 방향으로 각도 a를 가지는 유체 배출구멍(3a)이 다수 제공되는 예를 나타내고 있다. 이러한 실시 예는 유체 배출부재(3)가 다양한 형태로 이루어질 수 있음을 보여주는 것이며, 또한, 유체 배출구멍(3a)이 기판(G)의 이동 방향으로 기울어져 유체가 분사되어 기판(G)이 더욱 원활하게 이동될 수 있는 또 다른 효과를 가질 수 있다. 따라서 본 발명에서는 유체 배출부재(3)가 다공질을 가지는 다공판에 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라 다양한 구성을 적용할 수 있는 것이다.4 is a view for explaining another embodiment according to the present invention, showing another embodiment of the fluid discharge member (3). That is, in the embodiment described with reference to FIGS. 1 to 3, an example in which the fluid discharge member 3 is formed of a porous plate made of porous material is described. In the present embodiment, the substrate G has an angle a in the moving direction. An example in which a plurality of fluid discharge holes 3a are provided is shown. This embodiment shows that the fluid discharge member (3) can be made in various forms, the fluid discharge hole (3a) is inclined in the moving direction of the substrate (G), the fluid is injected, so that the substrate (G) It may have another effect that can be moved smoothly. Therefore, in the present invention, the fluid discharge member 3 is not limited to the porous plate having a porous shape, and various configurations can be applied as necessary.

이와 같이 본 발명은 다공판 등의 유체 배출부재를 통하여 배출되어 부양되는 기판의 위치와 유체 배출부재 사이에 구름부재가 배치되는 기술을 제공하여, 대형의 기판 이송 중 기판이 하강하는 경우에도 상기 구름부재에 의하여 지속적인 이송이 가능하여 기판에 발생할 수 있는 긁힘 등을 방지하여 불량을 줄일 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention provides a technique in which a cloud member is disposed between a position of the substrate discharged and supported by a fluid discharge member such as a porous plate and the fluid discharge member, so that the cloud is lowered even when the substrate is transported during a large substrate transfer. Continuous transfer is possible by the member, thereby preventing scratches and the like that may occur on the substrate, thereby reducing the defects.

Claims (5)

기판을 이송하는 평판 디스플레이용 기판 이송장치에 있어서,In the substrate transfer apparatus for flat panel display for transferring a substrate, 유체가 공급되는 다수의 쳄버;A plurality of chambers to which fluid is supplied; 상기 쳄버에 설치되며, 공급된 유체가 배출되어 상기 기판을 부양하는 다수의 유체 배출부재;A plurality of fluid discharge members installed in the chamber and configured to support the substrate by discharging the supplied fluid; 상기 유체 배출부재 또는 상기 쳄버에 설치되며, 상기 기판이 부양되는 위치와 상기 유체 배출부재의 사이에 배치되는 다수의 구름부재;A plurality of rolling members disposed on the fluid discharge member or the chamber and disposed between the position at which the substrate is supported and the fluid discharge member; 를 포함하는 평판 디스플레이용 기판 이송장치.Substrate transfer device for a flat panel display comprising a. 제1항에 있어서, 상기 유체 배출부재는 다공판으로 이루어지는 평판 디스플레이용 기판 이송장치.The substrate transfer apparatus of claim 1, wherein the fluid discharge member comprises a porous plate. 제1항에 있어서, 상기 구름부재는 상기 기판이 이동하는 방향으로 회전하는 롤러로 이루어지는 평판 디스플레이용 기판 이송장치.The substrate transport apparatus of claim 1, wherein the rolling member comprises a roller which rotates in a direction in which the substrate moves. 제1항에 있어서, 상기 구름부재는 전, 후 좌, 우 방향으로 회전할 수 있는 볼로 이루어지는 평판 디스플레이용 기판 이송장치.The substrate transport apparatus of claim 1, wherein the rolling member is formed of a ball that can rotate in a front, rear, left, and right directions. 제1항에 있어서, 상기 유체 배출부재는 상기 기판이 이동하는 방향으로 기울어진 다수의 유체 배출구멍이 제공된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 기판 이송장치.The apparatus of claim 1, wherein the fluid discharge member is provided with a plurality of fluid discharge holes inclined in a direction in which the substrate moves.
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