KR20050000770A - 분리가능한 액정토출펌프를 구비한 액정적하장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 액정적하장치는 액정이 충진된 용기; 분리가능하게 형성된 케이스와, 상기 케이스에 수납된 실린더와, 상기 실린더 내에 삽입되며, 하부의 일정 영역에 홈이 형성되어 회전 및 상하운동함에 따라 액정을 흡입하고 토출하는 피스톤과, 상기 피스톤이 운동함에 따라 액정이 흡입되고 토출되는 흡입구 및 토출구을 구비하는 토출펌프; 및 상기 토출펌프로부터 토출된 액정을 기판으로 적하하는 노즐로 구성된 액정적하장치. 케이스는 스테인레스강으로 이루어진 복수의 케이스로 이루어지며 하부에는 불소수지로 이루어진 밑면을 추가로 형성된다.

Description

분리가능한 액정토출펌프를 구비한 액정적하장치{LIQUID CRYSTAL DISPENSING APPARATUS HAVING A SEPARATABLE LIQUID CRYSTAL DISCHARGING PUMP}

본 발명은 액정적하장치에 관한 것으로, 특히 액정토출펌프의 케이스를 분리가능한 스테인레스강으로 형성함으로써 세정이 용이하고 변형을 방지할 수 있는 액정적하장치에 관한 것이다.

근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시소자(LCD)가 각광을 받고 있다.

LCD는 액정의 굴절률 이방성을 이용하여 화면에 정보를 표시하는 장치이다. 도 1에 도시된 바와 같이, LCD(1)는 하부기판(5)과 상부기판(3) 및 상기 하부기판(5)과 상부기판(3) 사이에 형성된 액정층(7)으로 구성되어 있다. 하부기판(5)은 구동소자 어레이(Array)기판이다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 하부기판(5)에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor;이하, TFT라 한다)와 같은 구동소자가 형성되어 있다. 상부기판(3)은 컬러필터(Color Filter)기판으로서, 실제 컬러를 구현하기 위한 컬러필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)에는 각각 화소전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정층(7)의 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다.

상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)은 실링재(Sealing Material)(9)에 의해 합착되어 있으며, 그 사이에 액정층(7)이 형성되어 상기 하부기판(5)에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다.

액정표시소자의 제조공정은 크게 하부기판(5)에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이기판공정과 상부기판(3)에 컬러필터를 형성하는 컬러필터기판공정 및셀(Cell)공정으로 구분될 수 있는데, 이러한 액정표시소자의 공정을 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

우선, 구동소자 어레이공정에 의해 하부기판(5)상에 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인(Gate Line) 및 데이터라인(Date Line)을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막트랜지스터를 형성한다(S101). 또한, 상기 구동소자 어레이공정을 통해 상기 박막트랜지스터에 접속되어 박막트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다.

또한, 상부기판(3)에는 컬러필터공정에 의해 컬러를 구현하는 R,G,B의 컬러필터층과 공통전극을 형성한다(S104).

이어서, 상기 상부기판(3) 및 하부기판(5)에 각각 배향막을 도포한 후 상부기판(3)과 하부기판(5) 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트각(Pretilt Angel)과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향막을 러빙(Rubbing)한다(S102,S105). 그 후, 하부기판(5)에 셀갭(Cell Gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(Spacer)를 산포하고 상부기판(3)의 외곽부에 실링재(9)를 도포한 후 상기 하부기판(5)과 상부기판(3)에 압력을 가하여 합착한다(S103,S106,S107).

한편, 상기 하부기판(5)과 상부기판(3)은 대면적의 유리기판으로 이루어져 있다. 다시 말해서, 대면적의 유리기판에 복수의 패널(Panel)영역이 형성되고, 상기 패널영역 각각에 구동소자인 TFT 및 컬러필터층이 형성되기 때문에 낱개의 액정패널을 제작하기 위해서는 상기 유리기판을 절단, 가공해야만 한다(S108). 이후, 상기와 같이 가공된 개개의 액정패널에 액정주입구를 통해 액정을 주입하고 상기 액정주입구를 봉지하여 액정층을 형성한 후 각 액정패널을 검사함으로써 액정표시소자를 제작하게 된다(S109,S110).

액정은 패널에 형성된 액정주입구를 통해 주입된다. 이때, 액정의 주입은 압력차에 의해 이루어진다. 도 3에 액정패널에 액정을 주입하는 장치가 도시되어 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 진공챔버(Vacuum Chamber;10)내에는 액정이 충진된 용기(12)가 구비되어 있으며, 그 상부에 액정패널(1)이 위치하고 있다. 상기 진공챔버(10)는 진공펌프와 연결되어 설정된 진공상태를 유지하고 있다. 또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 진공챔버(10) 내에는 액정패널 이동용 장치가 설치되어 상기 액정패널(1)을 용기(12) 상부로부터 용기까지 이동시켜 액정패널(1)에 형성된 주입구(16)를 액정(14)에 접촉시킨다(이러한 방식을 액정딥핑(Dipping) 주입방식이라 한다).

상기와 같이 액정패널(1)의 주입구(16)를 액정(14)에 접촉시킨 상태에서 진공챔버(10)내에 질소(N₂)가스를 공급하여 챔버(10)의 진공정도를 저하시키면, 상기 액정패널(1) 내부의 압력과 진공챔버(10)의 압력차에 의해 액정(14)이 상기 주입구(16)를 통해 패널(1)로 주입되며 액정이 패널(1)내에 완전히 충진된 후에 상기 주입구(16)를 봉지재에 의해 봉지함으로써 액정층이 형성된다(이러한 방식을 액정의 진공주입방식이라 한다).

그런데, 상기와 같이 진공챔버(10)내에서 액정패널(1)의 주입구(16)를 통해 액정을 주입하여 액정층을 형성하는 방법에는 다음과 같은 문제가 있었다.

첫째, 패널(1)로의 액정주입시간이 길어진다는 것이다. 일반적으로 액정패널의 구동소자 어레이기판과 컬러필터기판 사이의 간격은 수μm 정도로 매우 좁기 때문에, 단위 시간당 매우 작은 양의 액정만이 액정패널 내부로 주입된다. 예를 들어, 약 15인치의 액정패널을 제작하는 경우 액정을 완전히 주입하는데 에는 대략 8시간이 소요되는데, 이러한 장시간의 액정주입에 의해 액정패널 제조공정이 길어지게 되어 제조효율이 저하된다.

둘째, 상기와 같은 액정주입방식에서는 액정소모율이 높게 된다. 용기(12)에 충진되어 있는 액정(14)중에서 실제 액정패널(1)에 주입되는 양은 매우 작은 양이다. 한편, 액정은 대기나 특정 가스에 노출되면 가스와 반응하여 열화될 뿐만 아니라 액정패널(1)과의 접촉시 유입되는 불순물에 의해 열화된다. 따라서, 용기(12)에 충진된 액정(14)이 복수매의 액정패널(1)에 주입되는 경우에도 주입후 남게 되는 액정(14)을 폐기해야만 하는데, 고가의 액정을 폐기하는 것은 결국 액정패널 제조비용의 증가를 초래하게 된다.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 적어도 하나의 액정패널을 포함하는 대면적의 유리기판상에 직접 액정을 적하하는 액정적하장치 및 액정적하방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은 액정토출펌프의 케이스를 분리가능하게 형성하여 세정을 용이하게 할 수 있는 액정적하장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 액정토출펌프의 케이스를 스테인레스강으로 형성하여 충격에 의한 변형을 방지함으로써 케이스가 오정렬되는 것을 방지할 수 있는 액정적하장치를 제공하는 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 액정적하장치는 액정이 충진된 용기; 분리가능하게 형성된 케이스와, 상기 케이스에 수납된 실린더와, 상기 실린더 내에 삽입되며, 하부의 일정 영역에 홈이 형성되어 회전 및 상하운동함에 따라 액정을 흡입하고 토출하는 피스톤과, 상기 피스톤이 운동함에 따라 액정이 흡입되고 토출되는 흡입구 및 토출구을 구비하는 토출펌프; 및 상기 토출펌프로부터 토출된 액정을 기판으로 적하하는 노즐로 구성된 액정적하장치.

상기 케이스는 스테인레스강으로 이루어진 제1케이스 및 제2케이스로 이루어지며, 하부에는 불소수지로 이루어진 밑면을 추가로 형성될 수도 있다. 또한, 상기 케이스내부에는 불소수지로 이루어진 실링수단이 포함될 수도 있다.

또한, 본 발명에 따른 토출펌프는 분리가능하게 형성된 케이스; 상기 케이스에 수납된 실린더; 상기 실린더 내에 삽입되며, 하부의 일정 영역에 홈이 형성되어 회전 및 상하운동함에 따라 유체를 흡입하고 토출하는 피스톤; 상기 피스톤이 운동함에 따라 유체가 흡입되고 토출되는 흡입구 및 토출구; 및 상기 피스톤이 고정되어 회전함에 따라 상기 피스톤을 회전 운동 및 상하운동시키는 회전부재로 구성된 구성된다.

도 1은 일반적인 액정표시소자의 단면도.

도 2는 액정표시소자를 제조하는 종래의 방법을 나타내는 흐름도.

도 3은 종래 액정표시소자의 액정주입을 나타내는 도면.

도 4는 본 발명에 따른 액정적하방식에 의해 제작된 액정표시소자를 나타내는 도면.

도 5는 액정적하방식에 의해 액정표시소자를 제작하는 방법을 나타내는 흐름도.

도 6은 액정적하방식의 기본적인 개념을 나타내는 도면.

도 7은 본 발명에 따른 액정적하기의 구조를 나타내는 사시도.

도 8은 본 발명에 따른 액정적하기의 구조를 나타내는 분해사시도.

도 9(a)는 본 발명에 따른 액정적하기의 액정토출펌프의 구조를 나타내는 사시도.

도 9(b)는 액정토출펌프의 구조를 나타내는 분해사시도.

도 10은 액정토출펌프가 고정부에 고정된 상태를 나타내는 도면.

도 11(a)∼도 11(d)는 액정토출펌프의 동작을 나타내는 도면.

도 12는 고정각도가 증가한 액정토출펌프의 구조를 나타내는 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

120 : 액정적하기 122 : 액정용기

123 : 케이스 128 : 핀

131,133 : 모터 134 : 액정용적량 조절부재

136 : 회전축 140 : 액정토출펌프

141 : 케이스 142 : 실린더

145 : 피스톤 145a : 홈

147 : 액정흡입구 148 : 액정토출구

149 : 고정부 150 : 노즐

154, 162 : 센서 160 : 연결관

액정딥핑방식 또는 액정진공 주입방식과 같은 종래의 액정주입방식의 단점들을 극복하기 위해, 근래 제안되고 있는 방법이 액정적하방식(Liquid Crystal Dropping Method)에 의한 액정층 형성방법이다. 상기 액정적하방식은 패널 내부와 외부의 압력차에 의해 액정을 주입하는 것이 아니라 액정을 직접 기판에 적하(Dropping) 및 분배(Dispensing)하고 패널의 합착 압력에 의해 적하된 액정을 패널 전체에 걸쳐 균일하게 분포시킴으로써 액정층을 형성하는 것이다. 이러한 액정적하방식은 짧은 시간 동안에 직접 기판상에 액정을 적하하기 때문에 대면적의 액정표시소자의 액정층 형성도 매우 신속하게 진행할 수 있게 될 뿐만 아니라 필요한 양의 액정만을 직접 기판상에 적하하기 때문에 액정의 소모를 최소화할 수 있게 되므로 액정표시소자의 제조비용을 대폭 절감할 수 있다는 장점을 가진다.

도 4는 액정적하방식의 기본적인 개념을 나타내는 도면이다. 도면에 도시된 바와 같이, 상기 액정적하방식에서는 구동소자와 컬러필터가 각각 형성된 하부기판(105)과 상부기판(103)을 합착하기 전에 하부기판(105)상에 방울형상으로 액정(107)을 적하한다. 상기 액정(107)은 컬러필터가 형성된 기판(103)상에 적하될 수도 있다. 다시 말해서, 액정적하방식에서 액정적하의 대상이 되는 기판은 TFT기판과 CF기판 어느 기판도 가능하다. 그러나, 기판의 합착시 액정이 적하된 기판은 하부에 놓여져야만 한다.

이때, 상부기판(103)의 외곽영역에는 실링재(109)가 도포되어 상기 상부기판(103)과 하부기판(105)에 압력을 가함에 따라 상기 상부기판(103) 및 하부기판(105)이 합착되며, 이와 동시에 상기 압력에 의해 액정(107) 방울이 외부로 퍼져 상기 상부기판(103)과 하부기판(105) 사이에 균일한 두께의 액정층이 형성된다. 다시 말해서, 상기 액정적하방식의 가장 큰 특징은 패널(101)을 합착하기 전에 하부기판상에 미리 액정(107)을 적하한 후 실링재(109)에 의해 패널을 합착하는 것이다.

상기와 같은 액정적하방식이 적용된 액정표시소자 제조방법이 도 5에 도시되어 있다. 도면에 도시된 바와 같이, TFT어레이공정과 컬러필터공정을 통해 하부기판(150) 및 상부기판(103)에 각각 구동소자인 TFT와 컬러필터층을 형성한다(S201,S202). 상기 TFT어레이공정과 컬러필터공정은 도 2에 도시된 종래의 제조방법과 동일한 공정으로서 복수의 패널영역이 형성되는 대면적의 유리기판에 일괄적으로 진행된다. 특히, 상기 제조방법에서는 액정적하방식이 적용되기 때문에, 종래의 제조방법에 비해 더 넓은 유리기판, 예를 들면 1000×1200mm²이상의 면적을 갖는 대면적 유리기판에 유용하게 사용될 수 있다.

이어서, 상기 TFT가 형성된 하부기판(105)과 컬러필터층이 형성된 상부기판(103)에 각각 배향막을 도포한 후 러빙을 실행한 후(S202,S205), 하부기판(105)의 액정패널 영역에는 액정(107)을 적하하고 상부기판의 액정패널 외곽부 영역에는 실링재(109)를 도포한다(S203,S206).

그 후, 상기 상부기판(103)과 하부기판(105)을 정렬한 상태에서 압력을 가하여 실링재(109)에 의해 상기 상부기판(105)과 하부기판(103)을 합착함과 동시에 압력의 인가에 의해 적하된 액정(107)을 패널 전체에 걸쳐 균일하게 퍼지게한다(S207). 이와 같은 공정에 의해 대면적의 유리기판(하부기판 및 상부기판)에는 액정층이 형성된 복수의 액정패널이 형성되며, 이 유리기판을 가공, 절단하여 복수의 액정패널로 분리하고 각각의 액정패널을 검사함으로써 액정표시소자를 제작하게 된다(S208,S209).

도 5에 도시된 액정적하방식이 적용된 액정표시소자의 제조방법과 도 2에 도시된 종래의 액정주입방식이 적용된 액정표시소자 제조방법의 차이점을 비교하면, 액정의 진공주입과 액정적하의 차이 및 대면적 유리기판의 가공시기의 차이 이외에도 다른 차이점을 있음을 알 수 있다. 즉, 도 2에 도시된 액정주입방식이 적용된 액정표시소자 제조방법에서는 주입구를 통해 액정을 주입한 후에 상기 주입구를 봉지재에 의해 봉지해야만 하지만 액정적하방식이 적용된 제조방법에서는 액정이 직접 기판에 적하되기 때문에 이러한 주입구의 봉지공정이 필요없게 된다. 또한, 도 2에는 도시하지 않았지만, 액정주입방식이 적용된 제조방법에서는 액정주입시 기판이 액정에 접촉하기 때문에 패널의 외부면이 액정에 의해 오염되므로 오염된 기판을 세정하기 위한 공정이 필요하게 되지만, 액정적하방식이 적용된 제조방법에서는 액정이 직접 기판에 적하되기 때문에 패널이 액정에 의해 오염되지 않으며, 그 결과 세정공정이 필요없게 된다. 이와 같이, 액정적하방식에 의한 액정표시소자의 제조방법은 액정주입방식에 의한 제조방법에 의해 간단한 공정으로 이루어져 있기 때문에 제조효율이 향상될 뿐만 아니라 수율을 향상시킬 수 있게 된다.

상기와 같이 액정적하방식이 도입된 액정표시소자의 제조방법에서 액정층을 원하는 두께로 정확하게 형성하기 위한 가장 중요한 요인은 적하되는 액정의 위치및 액정의 적하량이다. 특히, 액정층의 두께는 액정패널의 셀갭과 밀접한 관계를 가지기 때문에, 정확한 액정의 적하위치 및 적하량은 액정패널의 불량을 방지하기 위한 매우 중요한 요소이다. 따라서, 정확한 위치에 정확한 양의 액정을 적하하는 장치가 필요하게 되는데, 본 발명에서는 이러한 액정적하기를 제공한다.

도 6은 본 발명에 따른 액정적하기를 이용하여 기판(대면적의 유리기판;105)상에 액정(107)을 적하하는 기본적인 개념을 나타내는 도면이다. 도면에 도시된 바와 같이, 액정적하기(120)는 기판(105)의 상부에 설치되어 있다. 도면에는 도시하지 않았지만 상기 액정적하기(120)의 내부에는 액정이 충진되어 기판상에 일정량을 충진한다.

통상적으로 액정은 방울형태로 기판상에 적하된다. 기판(105)은 x,y방향으로 설정된 속도로 이동하고 액정적하기는 설정된 시간 간격으로 액정을 배출하기 때문에, 기판(105)상에 적하되는 액정(107)은 x,y방향으로 일정한 간격으로 배치된다. 물론 액정적하시 기판(105)이 고정되어 있고 액정적하기(120)가 x,y방향으로 이동하여 액정을 일정간격으로 적하할 수도 있다. 그러나, 이 경우 액정적하기(120)의 움직임에 의해 방울형상의 액정이 흔들리기 때문에 액정의 적하위치 및 적하량에 오차가 발생할 수 있으므로 액정적하기(120)를 고정시키고 기판(105)을 이동하는 것이 바람직하다.

도 7은 본 발명에 따른 액정적하기(120)의 구조를 나타내는 사시도이고 도 8은 액정적하기(120)의 사시분해도이다. 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 액정적하기(120)에서는 원통형의 액정용기(122)가 케이스(123)에 수납되어 있다. 상기 액정용기(122)는 폴리에틸렌(Polyethylene)으로 이루어져 있으며 그 내부에 액정(107)이 충진되어 있다. 케이스(123)는 스테인리스강(Stainless Steel)으로 형성되어 그 내부에 상기 액정용기(122)가 수납된다. 통상적으로 폴리에틸렌은 성형성이 훌륭하기 때문에 원하는 형상의 용기를 용이하게 형성할 수 있을 뿐만 아니라 액정(107)이 충진되었을 때 액정과 반응하지 않기 때문에 액정용기(122)로서 주로 사용된다. 그러나, 상기 폴리에틸렌은 강도가 약하기 때문에 외부의 약한 충격에 의해서도 변형되기 쉽게 되는데, 특히 액정용기(122)로 폴리에틸렌을 사용하는 경우 용기(122)가 변형되어 정확한 위치에 액정(107)을 적하시킬 수 없기 때문에 강도가 큰 스테인리스강으로 이루어진 케이스(123)에 수납하여 사용하는 것이다.

한편, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 액정용기(122)의 상부에는 가스공급관이 연결되어 외부로부터 질소와 같은 가스가 공급된다. 이러한 가스 공급에 의해 액정의 적하시 액정용기(122)의 액정이 충진되지 않은 영역이 압력이 저하되어 액정적하를 방해하는 것을 방지할 수 있게 된다.

상기 액정용기(122)는 스테인리스강과 같은 금속으로 형성될 수도 있다. 이 경우 외부의 충격에 의해 액정용기(122)가 변형되지 않기 때문에 외부 케이스(123)가 필요없게 된다. 따라서, 액정적하기(120)의 제조비용을 절감할 수 있게 된다. 이와 같이, 액정용기(122)를 금속으로 형성하는 경우 충진된 액정(107)이 금속과 화학적인 반응을 일으키는 것을 방지하기 위해 내부에 불소수지막을 도포하는 것이 바람직하다.

상기 액정용기(122)의 하부에는 액정토출펌프(140)가 배치되어 있다. 상기액정토출펌프(140)는 액정용기(122)의 액정을 일정량 토출하여 액정패널상에 적하하기 위한 것으로, 상기 액정용기(122)와 연결되어 액정토출펌프(140)가 작동함에 따라 액정이 흡입되는 액정흡입구(147)와 상기 액정흡입구(147)의 반대편에 형성되어 액정토출펌프(140)가 작동함에 따라 액정이 토출되는 액정토출구(148)를 구비하고 있다.

도 8에 도시된 바와 같이, 액정흡입구(147)에는 제1연결관(126)이 결합되어 있다. 도면에는 상기 액정흡입구(147)가 제1연결관(126)에 삽입되어 결합되어 있지만, 나사와 같은 결합수단에 의해 액정흡입구(147)와 제1연결관(126)이 결합될 수도 있다. 상기 제1연결관(126)의 일측에는 주사바늘과 같이 내부가 통공된 핀(128)이 형성되어 있으며, 상기 제1연결관(126)으로 액정을 유출하는 액정용기(122)의 하부에는 실리콘이나 부틸고무계열과 같이 수축성과 밀폐성이 강한 재질의 패드(도면표시하지 않음)가 설치되어 있다. 상기 핀(128)은 패드를 통해 액정용기(122)로 삽입되어 액정용기(122)의 액정(107)을 액정흡입구(147)로 유입한다. 핀(128)의 삽입시 패드가 핀(128)으로 강하게 수축되므로 핀(128)의 삽입영역으로 액정(107)이 누설되는 것을 방지할 수 있게 된다. 이와 같이, 핀과 패드에 의해 액정흡입구(147)와 액정용기(122)를 체결하므로 체결구조가 간단하게 되고 그 결과 체결 및 탈착이 용이하게 이루어질 수 있게 된다.

상기 액정흡입구(147)와 제1연결관(126)은 일체로 형성될 수도 있다. 이 경우, 핀(128)이 액정흡입구(147)에 형성되어 패드를 통해 액정용기(122)에 직접 삽입되어 액정용기(122)의 액정을 유출하므로, 구조를 간단하게 할 수 있게 된다.

상기 액정토출펌프(140)의 하부에는 노즐(150)이 설치되어 있다. 상기 노즐(150)은 제2연결관(160)을 통해 액정토출펌프(140)의 액정토출구(148)에 연결되어 상기 액정토출펌프(150)로부터 토출되는 액정(107)을 액정패널상에 적하한다.

상기 제2연결관(160)은 불투명한 물질로 형성하는 것도 가능하지만 투명한 물질로 형성할 수도 있다. 상기와 같이, 제2연결관(160)을 투명한 물질로 형성하는 이유는 다음과 같다.

일반적으로 액정의 적하시 액정(107)속에 기포가 포함되어 있으면, 액정패널에 적하되는 액정(107)의 적하량을 정확하게 제어할 수 없게 된다. 따라서, 액정(107)의 적하시 반드시 기포를 제거해야만 한다. 한편, 기포는 액정용기(122)에 충진되는 액정(107) 속에 이미 포함되어 있다. 비록 기포제거장치에 의해 액정(107)속의 기포를 제거할 수는 있지만, 이 경우에도 모든 기포를 제거하기란 사실상 불가능하다. 또한, 액정용기(122)로부터 액정토출펌프(140)로의 액정(107) 유입시 기포가 발생할 수 있다. 결국, 적하되는 액정(107)으로부터 기포를 완전히 제거하기란 거의 불가능하게 된다. 따라서, 기포가 발생했을 경우 액정적하기의 작동을 중단하여 기포를 제거하는 것이 불량을 방지하기 위한 가장 좋을 방법일 것이다.

제2연결관(160)을 투명한 물질로 형성하는 것은 액정용기(122)에 포함된 기포 또는 액정용기(122)에서 발생한 기포를 용이하게 발견하여 불량을 방지하기 위한 것이다. 이때, 기포의 발견은 작업자의 육안에 의해 이루어질 수도 있지만, 상기 제2연결관(160)의 양측에 포토커플러(photo coupler)와 같은 제1센서(162)를 설치하여 자동으로 기포를 발견하는 것이 더 확실하게 불량을 방지할 수 있을 것이다.

상기 제2연결관(160)을 통해 토출된 액정이 유입되는 노즐(150)의 양 측면에는 외력 등으로부터 노즐(150)이 파손되는 것을 방지하기 위한 보호부(152)가 설치되어 있으며, 노즐(150)의 하부의 보호부(152)에는 노즐(150)로부터 적하되는 액정에 기포가 포함되어 있는지 또는 노즐(150) 표면에 액정이 뭉쳐 있는지를 감지하기 위한 제2센서(154)가 설치되어 있다.

노즐(150)의 표면에 액정이 뭉치는 현상은 액정(107)의 정확한 적하를 방해한다. 노즐(150)을 통해 액정이 적하될 때, 설정된 양의 액정이 액정토출펌프(140)로부터 토출되어도 일부의 액정이 노즐(150) 표면으로 퍼지기 때문에 액정패널상에는 설정된 양 보다 적은 액정이 적하된다. 또한, 노즐(150) 표면에서 뭉친 액정이 액정패널에 적하되는 경우에는 액정표시소자의 치명적인 불량의 원인이 될 수도 있다. 이와 같이, 노즐(150) 표면에 액정이 뭉치는 것을 방지하기 위해, 노즐(150)의 표면에는 불소수지와 같은 액정에 대한 접촉각(Contact Angle)이 높은 물질(즉, 소수성 물질)이 딥핑(dipping)이나 스프레이(spray)방법에 의해 도포될 수도 있다. 불소수지의 도포에 의해 적하되는 액정이 노즐(150)의 표면으로 퍼지지 않고 완전한 방울형태로 노즐(150)을 통해 액정패널에 적하되는 것이다.

한편, 상기 액정토출펌프(140)는 회전부재(157)에 삽입되어 있으며, 상기 회전부재(157)는 고정부(155)에 고정된다. 상기 회전부재(157)는 제1모터(131)와 연결되어 있다. 상기 제1모터(131)가 작동함에 따라 상기 회전부재(157)가 회전하게되며, 상기 회전부재(157)에 고정된 액정토출펌프(140)가 작동하게 된다.

상기 액정토출펌프(140)는 바(bar)와 같은 형태로 이루어진 액정용적량 조절부재(134)의 일측에 접촉되어 있다. 상기 액정용적량 조절부재(134)의 타측에는 구멍이 형성되어 있으며, 회전축(136)이 상기 구멍에 삽입된다. 상기 액정용적량 조절부재(134)의 구멍과 회전축(136)의 둘레에는 나사가 형성되어, 서로 나사결합된다. 또한, 상기 회전축(136)은 일단은 제2모터(133)에 연결되어 있으며, 타단은 조절레버(137)에 연결되어 있다.

액정토출펌프(140)를 통해 액정용기(122)로부터 토출되는 액정의 양은 회전부재(157)에 고정되는 각도에 따라 달라진다. 즉, 회전부재(157)에 고정되는 고정각도에 따라 액정토출펌프(140)의 액정용적량이 달라지는 것이다. 상기 회전축(136)에 연결된 제2모터(133)가 구동(자동조절)하거나 조절레버(137)를 작동(수동조절)하면 회전축(136)이 회전하게 되며, 이에 따라 상기 회전축(136)과 나사결합된 액정용적량 조절부재(134)의 일단이 회전축(136)을 따라 전후로(직선으로) 움직이게 된다. 이와 같이, 상기 액정용적량 조절부재(134)의 일단이 움직임에 따라 상기 액정토출펌프(140)에 인가되는 힘이 달라지게 되고, 그 결과 상기 액정토출펌프(140)의 고정각도가 달라지게 된다.

상기한 바와 같이, 제1모터(131)는 액정토출펌프(140)을 작동시켜 액정용기(122)의 액정을 토출하여 액정패널로 적하하며, 제2모터(133)는 회전부재(157)에 고정되는 액정토출펌프(140)의 고정각도를 조절하여 액정토출펌프(140)로부터 토출되는 액정의 양을 제어한다.

한편, 액정토출펌프(140)를 통해 액정패널에 적하되는 액정의 1회 적하량은 매우 미세한 양이며, 따라서 제2모터(133)에 의해 조절되는 액정토출펌프(140)의 변화량 역시 미세한 양이다. 이것은 액정토출펌프(140)의 토출량을 제어하기 위해서는 액정토출펌프(140)의 경사각도를 매우 미세하게 조정해야한다는 것을 의미한다. 이러한 미세 조정을 위해 상기 제2모터(133)로는 펄스입력값에 의해 작동하는 서보모터(servo motor), 바람직하게는 스텝모터(step motor)를 사용한다.

도 9(a) 및 도 9(b)는 액정토출펌프(140)의 구조를 나타내는 도면으로, 도 9(a)는 사시도이고 도 9(b)는 분해사시도이다.

도 9(a) 및 도 9(b)에 도시된 바와 같이, 상기 액정토출펌프(140)는 액정흡입구(147) 및 액정토출구(148)가 형성된 케이스(141a,141b)와, 상기 케이스(141a,141b) 내부에 삽입되어 액정이 흡입되는 실린더(142)와, 상기 실린더(142) 내부에 삽입되어 상하 및 회전운동함에 따라 액정흡입구(147) 및 액정토출구(148)를 통해 액정(107)을 흡입 및 토출하는 피스톤(145)으로 구성된다. 케이스는 분리가능한 제1케이스(141a) 및 제2케이스(141b)로 구성되며, 충격과 변형에 강한 스테인레스강으로 이루어진다. 액정흡입구(147) 및 액정토출구(148)는 상기 제1케이스(141a) 또는 제2케이스(141b)에 형성된다. 그러나, 실질적으로는 실린더(142) 내부로 액정을 흡입하고 토출하기 위해서는 하부에 위치하는 제1케이스(141a)에 액정흡입구(147) 및 액정토출구(148)가 형성되는 것이 바람직할 것이다. 또한, 상기 상기 제1케이스(141a)의 하부에는 불소수지(teflon)로 이루어진 2개의 밑면(149a,149b)이 형성되어 있다. 밑면(149a,149b)을 상기와 같이 불소수지로 형성하는 것은 밑면을 완전하게 실링(sealing)하기 위한 것으로, 2개가 아닌 1개 또는 3개 이상으로 이루어질 수도 있다. 또한, 상기 밑면(149a,149b)은 또 다른 케이스로 간주할 수도 있을 것이다. 이러한 과점에서 액정토출펌프(140)의 케이스는 3개의 분리가능한 케이스로 이루어진으로 판단할 수도 있을 것이다.

상기 케이스는 일체형으로 제작할 수도 있다. 그러나, 이 경우 액정토출펌프(140)을 세정하는데 많이 어려움이 발생한다. 일반적으로 액정적하장치에서 기판으로 적하되는 양은 매우 미세한 양이다. 따라서, 액정의 적하시(또는 토출시) 액정토출펌프에 액정이 잔류하는 경우 적하되는 액정에 지대한 영향을 끼치게 되어 액정표시소자에 불량이 발생하게 된다. 또한, 잔류 액정은 액정을 오염시키는 원인이 되기도 한다. 따라서, 설정된 횟수의 액정적하(설정된 매수의 기판 또는 액정패널의 액정적하)가 종료된 후에는 액정토출펌프(140)를 세정하여 잔류 액정을 제거해야만 하지만, 일체로 형성된 케이스의 경우에는 액정토출펌프(140)를 완전하게 세정하기란 대단히 어려웠다. 그러나, 본 발명에서와 같이, 케이스를 분리가능하게 제작하므로써, 세정시 케이스를 분리하여 세정이 용이하게 되는 것이다.

한편, 상기 제1케이스(141a) 및 제2케이스(141b)에는 상기 제1케이스(141a) 및 제2케이스(141b)를 결합하기 위한 결합공(182)이 형성되어 있다. 상기 결합공(182)에는 나사가 삽입되어 나사결합됨으로써 상기 제1케이스(141a)와 제2케이스(141b)를 단단하게 결합시킨다. 또한, 케이스(141a,141b) 하부의 밑면(149a,149b)에도 결합공(182)이 형성되어 상기 밑면(149a,149)을 상기 제1케이스(141a) 및 제2케이스(141b)에 단단하게 결합된다.

상기 케이스(141b)의 상부에는 캡(144)이 결합된다. 상기 캡(144)의 상부에는 개구가 형성되어 피스톤(145)이 상기 개구를 통해 실린더(142) 내부로 삽입된다. 또한, 상기 실린더(142)와 캡(144) 사이에는 실린더(142)를 실링하기 위한 제1실링수단(143a) 및 불소수지로 이루어진 제2실링수단(143b)이 형성된다. 이때, 도면에 도시된 바와 같이, 상기 제1실링수단(143a)은 복수개로 이루어지지만 하나로만 이루어질 수도 있다. 또한, 상기 제2실링수단(143b)은 실링효과를 향상시키기 위해 부가적으로 구성된 것으로, 2개 이상으로 형성할 수도 있고 생략할 수도 있을 것이다. 상기 캡(144)의 상부에는 오링(o-ring;144a)이 위치하여 액정(107)이 누설되는 것을 방지한다.

상기와 같이 액정토출펌프의 케이스를 스테인레스강으로 형성하고 3개(밑면 포함)의 분리가능한 케이스로 형성하는 경우, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 첫째, 액정토출펌프의 세정이 용이해진다. 따라서, 잔류하는 액정에 의한 부정확한 액정의 적하나 액정의 오염을 방지할 수 있게 된다. 둘째, 케이스의 변형이 방지된다. 액정토출펌프는 기판상에 액정을 적하하기 위해 지속적으로 작동해야만 한다. 따라서, 액정토출펌프에는 지속적인 충격이 가해는데, 케이스가 분리형으로 제작되므로 케이스의 변형에 의해 케이스가 오정렬되어 결합된다. 그러나, 본 발명에서는 케이스가 스테인레스강으로 형성되므로 충격에 의한 변형을 방지할 수 있게 된다. 따라서, 변형에 의한 케이스의 오정렬을 방지할 수 있게 되며, 그 결과 부정확한 액정의 적하에 의한 불량을 방지할 수 있게 된다. 셋째, 결합공의 나사에 의해 제1및 제2케이스(141a,141b)와 밑면(149a,149b)이 단단하게 결합되므로 내부에 배치되는 실린더(142), 실링수단(143a,143b), 캡(144) 등의 밀착성이 향상되어 더욱 정밀한 적하가 가능하게 된다.

피스톤(145)의 상부에는 회전부재(157)에 고정되는 헤드(146a)가 설치되어 있으며, 상기 헤드(146a)에는 바(146b)가 설치되어 있다. 상기 바(146b)는 회전부재(157)에 형성된 홀(도면표시하지 않음)에 삽입, 고정되어 제1모터(131)의 힘에 의해 상기 회전부재(157)가 회전운동할 때 상기 피스톤(145)이 회전운동하도록한다.

한편, 도 9(b)에 도시된 바와 같이, 피스톤(145)의 단부에는 홈(145a)이 형성되어 있다. 이 홈(145a)은 피스톤(145)의 단면 원형상의 약 1/4 면적(또는 그 이하의 면적)으로 형성되어, 피스톤(145)이 회전운동시(즉, 상하운동시) 액정흡입구(147) 및 액정토출구(148)를 열고 닫아 상기 액정흡입구(147) 및 액정토출구(148)를 통해 액정을 흡입하고 토출하도록 한다.

이러한 액정토출펌프(140)의 작동을 자세히 설명하면 다음과 같다.

도 10은 액정토출펌프(140)가 회전부재(157)에 고정된 상태를 나타내는 도면이다. 도면에 도시된 바와 같이, 피스톤(145)은 회전부재(157)에 일정 각도(α)로 고정되어 있으며, 피스톤헤드(146a)에 형성된 바(146b)는 회전부재(157)의 내면에 형성된 홀(159)에 삽입되어 피스톤(145)과 회전부재(157)가 결합된다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 홀(159) 내부에는 베어링이 구비되어 있기 때문에, 홀(159) 내부에 삽입된 피스톤(145)의 바(146b)는 전후 좌우로 움직일 수 있게 된다. 제1펌프(131)가 작동하게 되면 상기 회전부재(157)가 회전하게 되며, 그 결과 상기 회전부재(157)와 결합된(즉, 고정된) 피스톤(145)이 회전하게 된다.

이때, 회전부재(157)에 대한 액정토출펌프의 고정각도(α), 즉 회전부재(157)에 대한 피스톤(145)의 고정각도(α)가 0이라고 가정하면 상기 피스톤(145)은 단지 회전부재(157)를 따라 회전운동만 하게 된다. 그러나, 실질적으로 상기 고정각도(α)가 0이 아니기 때문에(즉, 일정한 각도로 고정되기 때문에), 상기 피스톤(145)은 회전부재(157)의 회전운동을 따라 회전함과 동시에 상하운동을 하게 되는 것이다.

이와 같은 피스톤(145)의 운동시, 피스톤(145)이 일정 각도 회전하여 상부방향으로 움직이면 실린더(142) 내부에 빈 공간이 생기게 되어 이 공간으로 액정흡입구(147)을 통해 액정이 흡입되며, 이후 피스톤(145)이 더 회전함에 따라 상기 피스톤(145)이 하부방향으로 움직이게 되어 실린더(142)에 흡입된 액정이 액정토출구(148)를 통해 토출된다. 이때, 피스톤(145)에 형성된 홈(145a)은 피스톤(145)의 회전에 의해 액정의 흡입 및 토출시 액정흡입구(147)와 액정토출구(148)을 개폐하는 역할을 한다.

이하에서는 도 11(a)∼도 11(d)를 참조하여 상기와 같은 액정토출펌프(140)의 작동을 더욱 자세히 설명한다.

도 11(a)∼도 11(d)에 도시된 바와 같이, 액정토출펌프(140)는 4행정을 통해 액정용기(122)의 액정(107)을 노즐(150)로 토출한다. 도면에서, 도 11(a) 및 도 11(c)는 교차행정이며. 도 11(b)는 액정흡입구(147)를 통한 흡입행정이고 도 11(d)는 액정토출구(148)를 통한 액정토출행정이다.

도 11(a)에 도시된 바와 같이, 회전부재(157)에 일정 각도(α)로 고정된 피스톤(145)은 회전부재(157)가 회전함에 따라 회전하게 된다. 이때, 액정흡입구(147) 및 액정토출구(148)는 피스톤(145)에 의해 닫혀있다.

상기 회전부재(157)가 약 45˚회전함에 따라 피스톤(145)도 회전하여, 도 11(b)에 도시된 바와 같이 액정흡입구(147)가 피스톤(145)의 홈(145a)에 의해 열리게 된다. 한편, 회전부재(157)의 홀(159)에는 피스톤(145)의 바(146b)가 삽입되어, 상기 회전부재(157)와 피스톤(145)을 결합한다. 따라서, 회전부재(157)가 회전함에 따라 피스톤(145)이 회전하게 되는데, 이때 상기 바(146b)는 회전면을 따라 회전하게 된다.

피스톤(145)이 회전부재(157)와 일정 각도로 고정되어 있고 바(146b)는 회전면을 따라 회전하므로, 상기 회전부재(145)가 회전함에 따라 피스톤(145)이 상승하게 된다. 또한, 실린더(141)가 고정되어 있으므로, 상기 회전부재(145)가 회전함에 따라 피스톤(145) 하부의 실린더(141)에 공간이 생기게 된다. 따라서, 홈(145a)에 의해 열린 액정흡입구(147)를 통해 상기 공간으로 액정이 흡입된다.

이러한 액정의 흡입은 흡입행정이 시작된 후(즉, 액정흡입구(147)가 열린 후), 회전부재(157)가 약 45˚회전하여 도 11(c)에 도시된 바와 같은 흡입행정이 시작될 때까지(액정흡입구(147)가 닫힐 때까지) 계속된다.

이후, 도 11(d)에 도시된 바와 같이, 상기 회전부재(157)가 더 회전함에 따라 액정토출구(148)가 열림과 동시에 상기 피스톤(145)이 하강하기 시작하여, 실린더(141)내의 공간에 흡입된 액정이 상기 액정토출구(148)를 통해 토출된다(토출행정).

상기한 바와 같이, 액정토출펌프(140)는 제1교차행정, 흡입행정, 제2교차행정 및 토출행정으로 이루어진 4행정을 반복함으로써 액정용기(122)에 충진된 액정(107)을 노즐(150)로 토출하게 된다.

이때, 액정의 토출양은 피스톤(145)의 상하운동범위에 따라 달라진다. 그런데, 피스톤(145)의 상하운동범위는 회전부재(157)에 고정되는 액정토출펌프(140)의 각도에 따라 달라진다.

도 12는 액정토출펌프(140)가 회전부재(157)에 β의 각도로 고정된 것을 나타내는 도면이다. 액정토출펌프(140)가 α(〈β)의 각도로 회전부재(157)에 고정된 도 10에 비해서 도 12의 액정토출펌프(140)는 피스톤(145)이 상부방향으로 더 높이 움직일 수 있게 된다. 이것은 회전부재(157)에 고정되는 각도가 증가할수록 피스톤(145)의 운동시 실린더(142) 내부로 흡입되는 액정(107)의 양이 증가한다는 것을 의미하는 것으로, 결국 회전부재(157)에 고정되는 각도를 조정함으로써 액정의 토출량을 제어할 수 있다는 것을 의미한다.

한편, 회전부재(157)에 고정되는 액정토출펌프(140)의 각도는 도 7에 도시된 바와 같이, 액정용적량 조절부재(134)에 의해 제어되며, 상기 액정용적량 조절부재(134)는 제2펌프(133)을 구동함에 따라 움직이게 된다. 다시 말해서, 액정토출펌프(140)의 각도는 제2펌프(133)를 제어함으로써 조절할 수 있는 것이다.

물론 상기 액정토출펌프(140)의 고정각도를 각도조절레버(137)에 의해 작업자가 수동으로 할 수도 있지만, 이 경우 정확한 조정이 불가능하고 시간이 많이 소모될 뿐만 아니라 작업중에 액정토출펌프를 중단해야만 한다는 단점도 발생하게 된다. 따라서, 제2펌프(133)에 의해 액정토출펌프(140)의 고정각도를 조절하는 것이 바람직하다.

이때, 액정토출펌프(140)의 고정각도는 변위측정 자기센서(Linear Variable Differential Transformer)와 같은 센서(139)에 의해 측정되어, 고정각도가 설정된 각도를 초과하는 경우 경보를 발하여 액정토출펌프(140)가 파손되는 것을 방지한다.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 액정토출펌프의 케이스를 분리가능하게 형성하고 스테인레스강을 사용함으로써 다음과 같은 효과를 얻을 수 있게 된다.

첫째, 액정토출펌프의 세정이 용이해진다. 따라서, 잔류하는 액정에 의한 부정확한 액정의 적하나 액정의 오염을 방지할 수 있게 된다.

둘째, 케이스의 변형이 방지된다. 따라서,변형에 의한 케이스의 오정렬을 방지할 수 있게 되어 액정적하의 정확성을 향상시킬 수 있게 된다.

셋째, 결합공의 나사에 의해 케이스와 밑면이 단단하게 결합되므로 내부에 배치되는 실린더, 실링수단, 캡 등의 밀착성이 향상되어 더욱 정밀한 적하가 가능하게 된다.

Claims (26)

1. 액정이 충진된 용기;

   분리가능하게 형성된 케이스와, 상기 케이스에 수납된 실린더와, 상기 실린더 내에 삽입되며, 하부의 일정 영역에 홈이 형성되어 회전 및 상하운동함에 따라 액정을 흡입하고 토출하는 피스톤과, 상기 피스톤이 운동함에 따라 액정이 흡입되고 토출되는 흡입구 및 토출구을 구비하는 토출펌프; 및

   상기 토출펌프로부터 토출된 액정을 기판으로 적하하는 노즐로 구성된 액정적하장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 피스톤이 고정되며 회전함에 따라 상기 피스톤을 회전 운동 및 상하운동시키는 회전부재를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 피스톤에는 바가 형성되고 회전부재에는 홀이 형성되어 상기 바가 홀에 회동가능하게 삽입되어 피스톤이 회전부재에 고정되는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 토출펌프의 액정용적량은 피스톤이 회전부재에 고정되는 각도에 따라 달라지는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 토출펌프와 접촉하여 토출펌프의 고정각도를 변화시켜 액정의 토출량을 조절하는 액정용적량 조절부재를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
6. 제5항에 있어서,

   상기 액정용적량 조절부재를 구동하는 모터; 및

   상기 액정용적량 조절부재와 나사결합되어 모터가 구동함에 따라 회전하여 상기 액정용적량 조절부재를 직선운동시키는 회전축을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 모터는 스텝모터인 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
8. 제1항에 있어서,

   상기 용기와 토출펌프를 연결하는 제1연결관; 및

   상기 제1연결관 단부에 설치되어 용기에 형성된 패드에 삽입되며, 내부가 통공되어 용기의 액정이 유입되는 핀을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
9. 제1항에 있어서, 상기 토출펌프와 노즐을 연결하는 제2연결관을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 제2연결관은 투명한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
11. 제10항에 있어서, 상기 제2연결관 근처에 설치되어 토출펌프로부터 토출되는 액정에 기포가 포함되는지를 감지하는 제1감지부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
12. 제1항에 있어서, 상기 노즐근처에 형성되어 노즐표면에 액정이 뭉친 것을 감지하는 제2감지부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
13. 제1항에 있어서, 상기 케이스는 스테인레스강으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
14. 제1항에 있어서, 상기 케이스는,

    제1케이스; 및

    상기 제1케이스와 결합되는 제2케이스로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
15. 제14항에 있어서, 상기 제1케이스 및 제2케이스를 결합하는 결합공을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
16. 제14항에 있어서, 상기 액정흡입구 및 액정토출구는 제1케이스 또는 제2케이스에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
17. 제14항에 있어서, 불소수지로 이루어진 적어도 하나의 밑면을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
18. 제17항에 있어서, 상기 밑면에는 결합공이 형성되어 상기 밑면을 제1케이스 및 제2케이스에 결합시키는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
19. 제1항에 있어서, 상기 케이스내에 삽입되어 상기 케이스를 실링하는 제1실링수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
20. 제1항에 있어서, 불소수지로 이루어져 상기 케이스를 실링하는 제2실링수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.
21. 분리가능하게 형성된 케이스;

    상기 케이스에 수납된 실린더;

    상기 실린더 내에 삽입되며, 하부의 일정 영역에 홈이 형성되어 회전 및 상하운동함에 따라 유체를 흡입하고 토출하는 피스톤;

    상기 피스톤이 운동함에 따라 유체가 흡입되고 토출되는 흡입구 및 토출구; 및

    상기 피스톤이 고정되어 회전함에 따라 상기 피스톤을 회전 운동 및 상하운동시키는 회전부재로 구성된 구성된 토출펌프.
22. 제21항에 있어서, 상기 토출펌프의 토출량은 피스톤이 회전부재에 고정되는 각도에 따라 달라지는 것을 특징으로 하는 토출펌프.
23. 제22항에 있어서, 상기 케이스는 스테인레스강으로 이루어진 것을 특징으로 하는 토출펌프.
24. 제22항에 있어서, 상기 케이스는,

    제1케이스; 및

    상기 제1케이스와 결합되는 제2케이스로 이루어진 것을 특징으로 하는 토출펌프.
25. 제24항에 있어서, 불소수지로 이루어진 밑면을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 토출펌프.
26. 액정이 충진된 용기;

    분리가능하게 형성된 케이스와 상기 케이스에 삽입되어 상하운동에 의해 액정을 흡입 및 토출하는 피스톤을 구비한 토출펌프; 및

    상기 토출펌프로부터 토출된 액정을 기판으로 적하하는 노즐로 구성된 액정적하장치.