KR20040101619A - 평판 표시 소자 제조 장치 - Google Patents

평판 표시 소자 제조 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판 표시 소자를 제조하기 위한 장치에 관한 것으로, 상기 장치는 기판을 제 1방향으로 이송하는 제 1이송부, 상기 기판을 제 2방향으로 이송하는 제 2이송부, 그리고 상기 제 1이송부로부터 상기 제 2이송부로 상기 기판의 이송방향을 전환하며 상기 기판에 대해 소정공정이 진행되는 처리부를 구비하며, 상기 처리부는 상기 제 1방향으로 나란히 배치되며 일정 각도 경사지도록 설치된 제 1이송축들, 상기 제 1이송축들로부터 기판을 인계받기 위해 상하로 이동되는, 그리고 상기 제 2방향으로 나란히 배치되는 제 2이송축들, 상기 경사진 기판에 동일한 분사거리로 유체를 분사하는 분사부, 그리고 상기 분사부의 경사를 조절하는 경사조절부를 구비한다.
본 발명에 따른 장치에 의하면, 기판이 제 1이송축에 위치될 때 뿐만 아니라 제 2이송축에 위치될 때에도, 분사부로부터 기판으로 분사되는 분사거리가 동일하므로, 기판을 전체적으로 균일하게 세정할 수 있는 효과가 있다.

Description

평판 표시 소자 제조 장치{APPARATUS FOR MANUFACTURING FLAT PANEL DISPLAY DEVICES}
본 발명은 평판 표시 소자를 제조하기 위한 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 기판에 대해 세정공정이 진행하면서 기판의 이송방향을 전환하는 평판 표시 소자 제조 장치에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 주로 디스플레이 장치로는 주로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 적고 저전압 구동형인 액정 표시 소자(liquid crystal display)가 널리 사용되고 있다.
이들 액정 표시 소자 제작을 위해서 기판(glass substrate) 상에는 패턴 형성을 위해 처리실에서 복수의 단위 공정들이 수행되며, 처리실의 일측에서는 식각과 세정공정이 진행되고, 타측에서는 세정 및 건조 공정이 진행될 수 있다. 즉, 기판은 처음에 처리실에 유입된 후 일방향으로 이송되면서 식각공정과 세정공정이 수행되고, 이후에 수직으로 이송방향이 전환되어 처리실의 일측에서 타측으로 이송되고, 다시 수직으로 이송방향이 전환된 후 타방향으로 이송되면서 세정 및 건조공정이 수행된다. 일반적으로 상술한 공정이 진행될 때, 기판은 진행방향과 수직한 방향으로 일정각도 경사진 채로 이송되나, 일측에서 타측으로 방향전환시에는 기판은 다시 평행을 유지하여야 한다.
그러나 일반적인 세정공정이 수행되는 장치를 보여주는 도 1을 참조하면, 장치는 일방향으로 나란히 배치되는 제 1이송축들(810)과, 제 1이송축들(810)에 수직한 방향으로 나란히 배치되며 상하로 이동되는 제 2이송축들(820)을 가진다. 이송축들(810, 820)의 상부와 하부에는 각각 세정을 위한 노즐들(830, 840)이 설치되며, 이들 노즐들(830, 840)은 기판의 상부와 하부에 각각 기판의 경사각도와 동일한 각도로 설치되는 공급관(832, 842)과 이들 공급관(832, 842)에 설치되어 세정액을 분사하는 동일한 길이를 가지는 노즐들(834, 844)을 가진다.
도 2는 일반적인 장치 사용시 문제점을 보여주기 위한 도면으로, 상부에 위치되는 노즐들(830)과 기판(10)만이 간략하게 도시되었다. 실선으로 된 기판(10)은 제 1이송축(810)에 놓여진 상태의 기판을 보여주고, 점선으로 된 기판(10′)은 상승하여 제 2이송축(820)에 놓여진 상태의 기판을 보여준다. 일반적으로 기판의 방향이 전환되는 동안에도 처리량 증가를 위해 세정공정이 진행된다. 도 2에서 보는바와 같이 제 1이송축(810)에 놓여진 상태에서 노즐들(830)로부터 기판까지의 분사거리(A)는 모두 동일하나, 기판이 방향 전환을 위해 제 2이송축(820)에 놓여지면 노즐들(830)로부터 기판(10′)까지의 분사거리(X1, ···, Xn)가 상이하게 되고, 이로 인해 기판(10)이 전체적으로 균일하게 세정되지 못한다. 이는 기판(10)의 하부면 세정시에도 동일한 문제를 유발한다.
또한, 제 2이송축들(820)이 상승시 기판(10)과 공급관(822)의 일단에 설치되는 노즐이 충돌되는 것을 방지하기 위해, 공급관(832)은 제 1이송축(810)과 충분한 거리를 두고 설치되어야 하며, 이로 인해 기판(10)과 상부에 위치되는 노즐(830)까지의 분사거리는 세정에 적합한 거리보다 매우 길어, 최적의 세정이 이루어지지 않는 문제가 있다.
또한, 제 2이송축들(820)이 상승됨에 따라 기판(10)의 하부에 위치되는 노즐(840)과 기판까지의 거리가 멀어지게 되며, 이로 인해 기판(10)의 하부와 노즐(840)까지의 거리는 세정에 적합한 거리보다 길어, 최적의 세정이 이루어지지 않는 문제가 있다.
상술한 세정의 불균일 및 분사거리의 부적합에 대한 문제들은 기판이 대형화됨에 따라 커지게 된다.
본 발명은 기판의 경사가 조절되면서 방향이 전환되는 동안에도, 기판을 전체적으로 균일하게 세정할 수 있는 액정 표시 소자 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 기판의 경사가 조절되면서 방향이 전환되는 동안에도, 노즐이 기판과 최적의 간격을 유지할 수 있는 액정 표시 소자 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 세정공정이 수행되는 일반적인 세정부를 개략적으로 보여주는 도면;
도 2는 도 1의 세정부를 사용시 문제점을 설명하기 위한 도면;
도 3은 도 3은 본 발명의 액정 표시 소자 제조 장치를 개략적으로 보여주는 평면도;
도 4와 도 5는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 세정부를 개략적으로 보여주는 평면도와 측면도;
도 6은 제 1이송축에 기판이 놓여진 상태에서, 기판과 분사부를 개략적으로 보여주는 도면;
도 7과 도 8은 각각 공급관이 수평을 유지한 상태와 공급관이 경사진 상태를 보여주는 도면;
도 9와 도 10은 각각 하부분사부에서 공급관들이 수평을 유지한 상태와 공급관들이 경사진 상태를 보여주는 도면; 그리고
도 11은 제 2이송축에 기판이 놓여진 상태에서, 기판과 분사부를 개략적으로 보여주는 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
220 : 제 1이송축 240 : 제 2이송축
420 : 상부분사부 422, 442 : 공급관
424, 444 : 노즐 440 : 하부분사부
500, 600 : 경사조절부 520, 620 : 노즐장착부
528, 628 : 탄성체 560, 660 : 스토퍼
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명인 평판 표시 소자 제조 장치는 기판을 제 1방향으로 이송하는 제 1이송부, 상기 기판을 제 2방향으로 이송하는 제 2이송부, 그리고 상기 제 1이송부로부터 상기 제 2이송부로 상기 기판의 이송방향을 전환하며 상기 기판에 대해 소정 공정이 진행되는 처리부를 가진다.
상기 처리부는 상기 제 1방향으로 나란히 배치되며 일정 각도 경사지도록 설치된 제 1이송축들과 상기 제 1이송축들로부터 기판을 인계 받기 위해 상하로 이동되며 상기 제 2방향으로 나란히 배치되는 제 2이송축들을 가진다. 상기 제 1이송축 또는 상기 제 2이송축의 상부 및 하부에는 상기 이송축 상에 놓여진 기판에 유체를 분사하는 분사부와 상기 기판의 이동 및 경사변환에 대응되도록 상기 분사부를 이동하고 및 분사부의 경사를 조절하는 경사조절부가 제공된다.
상기 분사부는 상기 기판의 상부면에 상기 유체를 분사하는 상부 분사부를 포함하고, 상기 상부 분사부는 공급관들과 상기 각각의 공급관에 길이방향으로 설치되며 상기 기판에 상기 유체를 분사하는 노즐들을 가진다. 상기 노즐들의 길이는 그 설치위치가 상기 공급관의 일방향에서 타방향으로 갈수록 그 길이가 점진적으로 변한다.
상기 경사조절부는 상기 공급관들이 장착되는 노즐장착부, 상기 노즐장착부의 하부에 설치되며 상기 제 2이송축들과 함께 상하로 이동되는 지지대, 그리고 상기 노즐장착부 일측 상부에 위치되어 상기 노즐장착부 일측의 이동을 제한하는 스토퍼를 가진다. 상기 노즐장착부는 하부 플레이트, 상기 하부 플레이트와 대향되도록 위치되는, 그리고 상기 하부 플레이트와 힌지 결합되는 상부 플레이트를 가지며, 상기 하부 플레이트와 상기 상부 플레이트 사이에 배치되는 탄성체가 설치된다.
상기 분사부는 상기 기판의 하부면에 상기 유체를 분사하는 하부 분사부를 더 포함하고, 상기 하부 분사부는 상기 제 1방향으로 나란히 배열되는 공급관들과 상기 각각의 공급관에 길이방향으로 설치되며, 상기 기판에 상기 유체를 분사하는 노즐들을 구비한다. 상기 노즐들의 길이는 그 설치위치가 상기 공급관의 일방향에서 타방향으로 갈수록 그 길이가 점진적으로 변한다. 바람직하게는 상기 하부 분사부는 상기 제 2이송축들과 함께 상승되며, 상승시 제 2이송축들과 동일한 경사를 가지도록 조절된다.
바람직하게는 상기 제 1방향과 상기 제 2방향은 서로 수직이고, 상기 제 2이송축은 그 길이방향이 수평을 이루도록 설치된다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 3 내지 도 11을 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
본 실시예에서는 기판의 경사를 조절하고, 기판의 이송방향을 전환하는 부분에서 세정공정이 진행되는 것을 예로 들어 설명한다. 그러나 이는 일예에 불과하며 이 부분에서 다양한 공정이 진행될 수 있다.
도 3은 본 발명의 액정 표시 소자 제조 장치를 개략적으로 보여주는 평면도이고, 도 4는 도 3의 기판의 이송방향을 전환하며, 기판에 대해 세정공정이 진행되는 챔버의 정면도이다.
도 3을 참조하면, 상기 장치는 기판에 식각, 세정공정, 건조공정 등과 같은 소정의 공정이 진행되는 식각부(110a, 110b, 110c), 세정부(120a, 120b, 120c), 건조부(130a, 130b), 그리고 컨베이어(140a, 140b) 등을 포함할 수 있다. 그러나 이와 달리 처리실(100) 내에서 다른 다양한 공정이 수행될 수 있다. 처리실(100)에서 식각부(110)는 일방향으로 배치되고, 식각부(110c)의 일측에는 식각부로 기판을 이송하는 컨베이어부(140a)가 배치되고, 타측에는 세정부(120a)가 배치될 수 있다. 식각부(110)와 마주보는 부분에는 건조부(130)가 배치된다. 건조부(130a)의 일측에는 세정부(120b, 120c)가 배치되고, 건조부(130b)의 타측에는 건조부로터 외부로 기판을 이송하는 컨베이어부(140b)가 배치될 수 있다. 즉, 처리실(100)은 도 3에서 보는 바와 같이 'ㄷ'자의 형상으로 형성되며, 이로 인해 설비의 설치면적이 감소될 수 있다. 도 3에서 화살표는 기판의 이송경로를 보여주며, 기판은 컨베이어부(140a), 식각부들(110), 세정부들(120), 건조부들(130), 그리고 컨베이어부(140b)을 순차적으로 지난다. 식각부(110), 세정부(120), 건조부(130)와 같은공정이 진행되는 부분에서 기판의 이송은 샤프트와 롤러들를 가지는 이송시스템(도시되지 않음)에 의해 이루어 질 수 있다. 식각부(110), 세정부(120c), 그리고 건조부(130)에서 공정 진행시 기판의 전체면이 균일한 식각이 이루어지도록 하고, 기판의 상부면에 약액이나 탈이온수 등이 잔존하는 것을 방지하기 위해 기판은 일정각도로 경사진 상태에서 이송된다. 기판은 세정부(120a, 120b)에서 탈이온수 등에 의해 세정이 이루어지고, 이와 동시에 기판의 이송방향이 전환되며, 처리량 증가를 위해 이송방향이 전환되는 동안에도 세정공정이 진행된다. 세정부(120a)에서 기판은 경사진 상태에서 수평으로 조절되어 세정부(120b)로 이송되며, 세정부(120b)에서 다시 수평에서 경사진 상태로 조절되어 세정부(120c)로 이송된다.
세정부(120a)와 세정부(120b)는 그 구조가 동일하며, 다만 작동만이 반대로 행해지므로, 세정부(120a)의 구조에 대해 설명한다.
도 4와 도 5는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 세정부를 개략적으로 보여주는 평면도와 측면도이다. 도 4는 이송축들(220, 240)과 분사부(420)의 배치를 개략적으로 보여주며, 도 4와 도 5에서는 경사 조절부는 도시되지 않았다. 도 4를 참조하면, 세정부는 제 1이송축들(220), 제 2이송축들(240), 분사부(420), 그리고 경사조절부를 가진다.
식각부(110a, 110b, 110c)에서 기판은 제 1이송부에 의해 제 1방향(22)으로 이송된다. 제 1이송축들(220)은 제 1이송부로부터 기판을 인계 받는 부분이다. 제 1이송부는 일방향으로 나란히 배치된 복수의 샤프트들을 가지며, 샤프트들은 각각 복수의 롤러(에 삽입될 수 있다. 샤프트와 롤러를 이용하여 기판을 이송하는 제 1이송부의 구조는 일반적인 사항으로 도시되지 않았다. 제 1이송축들(220)은 제 1이송부의 샤프트들과 동일한 방향으로 배치되며, 후술할 제 2이송축(240)의 상하이동을 위한 통로를 제공하기 위해 소정간격을 두고 양측의 지지로드(322, 324)에 각각 결합되는 좌측 샤프트(222)와 우측샤프트(224)로 이루어진다. 좌측 샤프트(222)와 우측샤프트(224)는 각각 복수의 롤러들에 삽입된다. 제 1이송부에서 샤프트들과 제 1이송축들(220)은 일정각도 경사진 상태로 설치된다.
제 2이송축들(240)은 제 1이송축들(220)로부터 기판(10)을 인계 받고, 기판(10)의 진행방향을 제 2방향(24)으로 전환하여 제 2이송부(도시되지 않음)로 이송하는 부분이다. 예컨대, 제 2이송부는 계속하여 세정공정을 수행하는 세정부이거나 건조공정을 수행하는 건조부로 기판을 이송하는 부분일 수 있다. 제 2이송부는 제 2이송축들(240)과 동일한 방향으로 배치되는 복수의 샤프트들을 가질 수 있다. 제 1방향(22)과 제 2방향(24)은 서로 수직이고, 따라서 제 1이송축(220)과 제 2이송축(240)은 서로 수직인 방향으로 배치될 수 있다. 제 2이송축(240)은 각각 복수의 롤러들에 삽입되며, 제 2이송축(240)을 회전시키는 회전모터와 연결될 수 있다. 제 2이송축들(240)은 제 1이송축들(220)의 아래에 배치되며, 더 상세하게는 좌측 샤프트(222)와 우측샤프트(224) 사이의 이격된 부분 아래에 배치된다. 제 2이송축들(240)은 제 1이송축들(220)과 달리 수평을 유지하도록 설치된다.
제 2이송축들(240)의 양단은 각각 지지로드(342, 344)에 결합되며, 지지로드(342, 344)는 지지판(720) 상에 설치되며, 지지판(720)은 그 아래에 설치된 유공압 실린더(760)와 같은 수직구동부에 의해 상하로 이동된다. 즉,지지판(720)이 승강됨에 따라 제 1이송축들(220) 상에 경사진 상태로 놓여진 기판(10)은 제 2이송축들(240)로 인계되어 수평을 유지하고, 제 2이송축들(240)이 회전됨에 따라 제 1방향(22)과 수직한 제 2방향(24)으로 이송된다.
도 6은 제 1이송축(220)에 기판(10)이 놓여진 상태에서, 기판(10)과 분사부(420, 440)를 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 6을 참조하면, 분사부(420, 440)는 기판(10)에 세정액을 분사하는 부분으로 기판의 상부면에 세정액을 분사하는 상부 분사부(420)와 기판의 하부면에 세정액을 분사하는 하부 분사부(440)를 가진다. 상부 분사부(420)는 제 1이송축들(220)의 상부에 위치되며, 하부 분사부(440)는 제 2이송축들(240)의 하부에 위치된다.
상부 분사부(420)는 각각 외부로부터 세정액을 공급받는 공급관들(422)과 각각의 공급관(422)의 아래에 설치되며 기판(10)의 상부면으로 세정액을 분사하는 노즐들(424)을 가진다. 공급관들(422)은 각각 그 길이방향이 제 1방향(22)과 수직(즉, 제 2이송축에 평행)하게 위치되도록 배치되고, 공급관들(422)은 수평을 이루도록 설치된다. 노즐(424)은 공급관(422)의 길이방향으로 복수개 설치되며 제 1이송축(220)에 경사진 상태로 놓여진 기판(10)의 상부면까지 세정액의 분사거리가 동일하도록 공급관(422)의 일단에서 타단으로 갈수록 길이가 점진적으로 길어진다. 공급관(422)의 길이는 최적의 분사거리를 제공하기 위해 실험 등에 의해 선택될 수 있다.
경사조절부(500)는 제 2이송축들(240)로 인계되는 기판(10)에 최적의 분사거리를 제공하고, 각각의 노즐(424)로부터 기판(10)까지 균일한 분사거리를 제공하기위해, 상부 분사부(420)의 경사를 조절하는 부분이다. 도 7과 도 8은 상부 분사부의 경사를 조절하는 경사조절부의 동작을 보여주는 도면으로, 각각 공급관(424)이 수평을 유지한 상태와 공급관(424)이 경사진 상태를 보여준다.
도 7과 도 8을 참조하면, 경사조절부(500)는 노즐장착부(520), 지지대(540), 그리고 스토퍼(560)를 가진다. 노즐장착부(520)는 상부 분사부(420)가 장착되는 부분으로, 상부 플레이트(522)와 하부 플레이트(524)를 가지며, 공급관(424)은 상부 플레이트(522)와 하부 플레이트(524) 사이에 위치되도록 상부 플레이트(522)에 장착될 수 있다. 그리고 노즐들(424)은 하부 플레이트(524)에 형성된 홀(525)을 통해 하부 플레이트(524)의 아래로 돌출될 수 있다. 상부 플레이트(522)와 하부 플레이트(524)는 일측에서 힌지(526) 결합되며, 상부 플레이트(522)와 하부 플레이트(524) 사이에는 탄성체(528)가 위치된다. 처음에 상부 플레이트(522)와 하부 플레이트(524) 간에는 탄성체(528)의 탄성력에 의해 일정간격이 유지되고, 이로 인해, 노즐들의 분사구(425)는 도 7에서 보는 바와 같이 기판(10)의 경사와 동일하게 경사진 높이를 가진다.
하부플레이트(524)의 하부에는 지지대(425)의 일단이 고정되고, 지지대(425)의 타단은 상술한 지지판(720)에 결합된다. 상부 플레이트(522)에서 길이가 짧은 노즐이 위치되는 부분의 상부에는 스토퍼(560)가 위치된다. 스토퍼(560)는 제 2이송축들(240)과 함께 노즐장착부(520)가 상승할 때 상부 플레이트(522)의 일부분을 눌러준다. 이로 인해 탄성체(528)가 압축됨으로써 상부 플레이트(522)와 공급관(422)은 일정각도 경사지게 되며, 각각의 노즐들의 분사구(425)의 위치는 도8에서 보는 바와 같이 서로 동일한 높이에 위치된다.
하부분사부(440)는 각각 외부로부터 세정액을 공급받는 공급관들(442)과 각각의 공급관(442)의 상부에 설치되며 기판(10)의 하부면으로 세정액을 분사하는 노즐들(444)을 가진다. 공급관들(442)은 수평을 이루도록 설치되며, 노즐(444)은 제 1이송축(220)에 경사진 상태로 놓여진 기판(10)의 하부면까지 세정액의 분사거리가 동일하도록 공급관(442)의 일단에서 타단으로 갈수록 길이가 점진적으로 짧아진다.
본 발명에 의하면, 하부분사부(440)는 제 2이송축(240)과 함께 상승되며, 상승되는 동안 공급관(442)의 경사가 조절된다. 도 9와 도 10은 하부분사부의 경사를 조절하는 경사조절부(600)의 동작을 보여주는 도면으로, 각각 하부분사부(440)에서 공급관들(442)이 수평을 유지한 상태와 공급관들(442)이 경사진 상태를 보여주는 도면이다. 도 9와 도 10을 참조하면, 하부분사부(440)의 경사를 조절하는 경사조절부(600)는 하부분사부(440)를 장착하는 노즐장착부(620)와 스토퍼(660)를 가진다. 노즐장착부(620)는 힌지(626) 결합되는 상부플레이트(622)와 하부플레이트(624)를 가지며, 하부플레이트(624)는 고정판(720) 상에 장착된다. 공급관들(442)은 상부플레이트(622)와 하부플레이트(624) 사이에 위치되도록 상부플레이트(622)에 설치된다. 상부플레이트(622)와 하부플레이트(624) 사이에는 탄성체(628)가 삽입되며 상부 플레이트(622)와 하부 플레이트(624)는 일정거리 이격된다. 스토퍼(660)는 상부 플레이트(622)로부터 일정거리 이격되도록 위치되며, 노즐장착부(660)가 지지판(720)과 함께 상승시 상부 플레이트(622) 중 길이가 가장 긴 노즐이 위치되는 부분을 눌러준다. 도 9에서 보는 바와 같이 기판이 제 1이송축들(220) 상에 놓여진 상태에서는 노즐의 분사구들(445)은 제 1이송축(220)의 경사높이에 대응되는 높이로 배치된다. 그러나 도 10에서 보는 바와 같이 제 2이송축(240)이 상승된 후에는 노즐의 분사구들(445)은 동일한 높이를 가진다.
도 6에서 보는 바와 같이, 기판(10)이 제 1이송축(220)에 경사지며 놓여진 상태에서 상부 분사부(420)와 하부 분사부(440)의 노즐들 각각의 분사구로부터 기판까지의 거리는 모두 동일하다. 제 2이송축들(240)이 상승되면서 기판(10)이 수평한 상태로 제 2이송부에 놓여지면, 도 11에서 보는 바와 같이 상부 분사부(420)와 하부 분사부(440)의 경사가 조절되어 노즐들 각각의 분사구는 동일높이에 위치되므로, 분사구로부터 기판까지의 분사거리가 모두 동일하다. 따라서 기판의 전체면에 대해 균일한 세정이 이루어질 수 있다.
본 발명에 의하면, 기판이 제 1이송축에 위치될 때 뿐만 아니라 제 2이송축에 위치될 때와 제 1이송축에서 제 2이송축으로 이송되는 도중에도, 분사부로부터 기판으로 분사되는 분사거리가 동일하므로, 기판을 전체적으로 균일하게 세정할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 분사부가 제 2이송축의 승강과 함께 이동되므로, 분사부로부터 기판까지의 최적의 분사거리가 유지될 수 있는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 평판 표시 소자를 제조하기 위한 장치에 있어서,
    기판을 제 1방향으로 이송하는 제 1이송부와;
    상기 기판을 제 2방향으로 이송하는 제 2이송부와; 그리고
    상기 제 1이송부로부터 상기 제 2이송부로 상기 기판의 이송방향을 전환하는, 그리고 상기 기판에 대해 소정공정이 진행되는 처리부를 구비하되,
    상기 처리부는,
    상기 제 1방향으로 나란히 배치되며 일정 각도 경사지도록 설치된 제 1이송축들과;
    상기 제 1이송축들로부터 기판을 인계 받기 위해 상하로 이동되는, 그리고 상기 제 2방향으로 나란히 배치되는 제 2이송축들과;
    상기 제 1이송축 또는 상기 제 2이송축 상에 놓여진 기판에 유체를 분사하는 분사부와; 그리고
    상기 기판의 이동 및 경사변환에 대응되도록 상기 분사부를 이동 및 경사 조절하는 경사조절부를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 분사부는,
    공급관들과;
    상기 각각의 공급관에 길이방향으로 설치되며, 상기 기판에 상기 유체를 분사하는 노즐들을 구비하되,
    상기 노즐들의 길이는 그 설치위치가 상기 공급관의 일방향에서 타방향으로 갈수록 그 길이가 점진적으로 변하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 분사부는 상기 기판의 상부면에 상기 유체를 분사하는 상부 분사부를 포함하고,
    상기 경사조절부는,
    상기 공급관들이 장착되는 노즐장착부와;
    상기 노즐장착부의 하부에 설치되며, 상기 제 2이송축들과 함께 상하로 이동되는 지지대와; 그리고
    상기 노즐장착부 일측의 이동을 제한하는 스토퍼를 가지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 스토퍼는 상기 노즐장착부의 일측 상부에 위치되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 노즐장착부는,
    하부 플레이트와;
    상기 하부 플레이트와 대향되도록 위치되는, 그리고 상기 하부 플레이트와 힌지 결합되는 상부 플레이트와; 그리고
    상기 하부 플레이트와 상기 상부 플레이트 사이에 배치되는 탄성체를 가지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 분사부는 상기 기판의 하부면에 상기 유체를 분사하는 하부 분사부를 더 포함하고,
    상기 하부 분사부는,
    상기 제 1방향으로 나란히 배열되는 공급관들과;
    상기 각각의 공급관에 길이방향으로 설치되며, 상기 기판에 상기 유체를 분사하는 노즐들을 구비하되,
    상기 노즐들의 길이는 그 설치위치가 상기 공급관의 일방향에서 타방향으로 갈수록 그 길이가 점진적으로 변하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 하부 분사부는 상기 제 2이송축들과 함께 상승되며, 상승시 제 2이송축들과 동일한 경사를 가지도록 조절되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1방향과 상기 제 2방향은 서로 수직이고,
    상기 제 2이송축은 그 길이방향이 수평을 이루도록 설치되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 처리부에서 상기 기판은 세정공정이 수행되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
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