KR20070036398A - 기판세정장치 - Google Patents

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KR20070036398A
KR20070036398A KR1020050091370A KR20050091370A KR20070036398A KR 20070036398 A KR20070036398 A KR 20070036398A KR 1020050091370 A KR1020050091370 A KR 1020050091370A KR 20050091370 A KR20050091370 A KR 20050091370A KR 20070036398 A KR20070036398 A KR 20070036398A
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Abstract

본 발명은 디스플레이용 기판을 세정액으로 세정하는 세정장치에 관한 것이다.
본 발명은, 경사진 기판에 세정액을 분사하는 기판세정장치에 있어서, 세정액을 공급하는 세정액공급관; 상기 세정액공급관에 축방향을 따라 설치되어, 이 세정액공급관의 세정액을 경사진 상기 기판에 분사하는 복수개의 노즐; 및 상기 노즐들에서 제각기 분사되는 세정액이 상기 기판의 경사도에 따라 상이한 강도의 타격력을 제공하도록, 상기 노즐들을 상기 기판에 대해 제각각의 거리로 이격시키는 노즐이격수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명은, 복수개의 노즐 및 기판의 이격거리를 인접하게 구성할 수 있으므로, 이격거리를 통해 세정액의 타격력이 강화시켜서 기판의 하측을 세정액으로 확실하게 세정할 수 있다.
기판, 세정, 노즐, 각도, 길이

Description

기판세정장치{CLEANING APPARATUS FOR GLASS SUBSTRATES}
도 1은 일반적인 기판세정장치를 도시한 측면도,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 의한 기판세정장치를 도시한 측면도,
도 3은 본 발명의 제2실시예에 의한 기판세정장치를 도시한 측면도,
도 4는 본 발명의 제3실시예에 의한 기판세정장치를 도시한 측면도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
52 : 세정액공급관 54 : 노즐
C : 세정액층 G : 간격
L : 이격거리 l : 길이
S : 기판
본 발명은 평판 디스플레이용 기판을 세정하는 세정장치에 관한 것으로서, 노즐을 통해 분사되는 세정액을 이용하여 기판을 세정하는 세정장치에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 적고 저전압 구동형인 액정 디스플레이(liquid crystal display)가 널리 사용되고 있다.
이러한 액정 디스플레이를 제조하기 위해 다양한 공정들이 수행되며, 이들 중 세정공정은 기판 상에 붙어 있는 먼지나 유기물 등을 제거하기 위해 수행된다. 이러한 세정 공정은 탈이온수나 약액 등의 세정액을 이용하여 기판을 수세(水洗)하는 수세공정과, 공기를 분사하여 기판에 부착된 탈이온수를 제거하는 건조공정을 포함한다.
여기서, 수세공정을 좀더 자세히 설명하면, 도 1에 확대 도시된 바와 같이 기판(S)은 세정액공급관(10)의 노즐(12)을 통해 세정액이 분사됨에 따라 세정된다. 이때, 기판(S)은 도시된 바와 같이 기판반송장치의 실린더(22)에 의해 가이드봉(24)을 따라 승강하는 승강판(26)이, 힌지(H)고정된 롤러축(R)의 일단부를 상승시킴에 따라 약 5°정도의 경사각도(α)를 형성한다.
한편, 세정액공급관(10)은 도시된 바와 같이 경사진 기판(S)과 평행을 유지하는 상태로 기판(S)의 상부에 설치된다. 즉, 세정액공급관(10)은 기판(S)의 경사각도와 동일한 약 5°의 경사각도(β)를 갖는다. 이러한, 세정액공급관(10)은 미도 시된 세정액탱크(미도시)의 세정액을 펌핑하는 펌프(미도시)에 의해 세정액을 공급한다.
그러나, 이와 같은 일반적인 기판세정장치는, 도 1에 확대 도시된 바와 같이 세정액공급관(10) 및 경사진 기판(S)이 평행을 유지하므로, 기판(S)의 하부측에 위치한 노즐(12)의 세정액이 기판(S)을 세정하지 못하는 문제가 있다.
이렇게, 기판(S)의 노즐(12)의 세정액이 기판(S)을 세정하지 못하는 이유는, 도시된 바와 같이 기판(S)의 상부에서 하부로 드레인되는 세정액이 기판(S)의 하부에 과밀되기 때문이다. 즉, 드레인되는 세정액의 단면두께가 기판(S)의 하부에서 두꺼워지기 때문이다. 따라서, 기판(S)의 하부측 노즐(12)에서 분사되는 세정액은 드레인되는 세정액층(C)을 관통하지 못하므로, 기판(S)의 표면을 세정하지 못한다. 다시 말하면, 기판(S)의 하부측 노즐(12)에서 분사되는 세정액은 기판(S)의 표면에 직접적으로 접촉하지 못한다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제를 해결하기 위해 창출된 것으로서, 기판에 대한 세정액의 분사거리나 분사량을 조절하여 기판에 분사되는 세정액의 타격력강도를 향상시킬 수 있는 기판세정장치를 제공하기 위함이 그 목적이다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판세정장치는, 경사진 기판에 세정액을 분사하는 기판세정장치에 있어서, 세정액을 공급하는 세정액공급관; 상기 세정액공급관에 축방향을 따라 설치되어, 이 세정액공급관의 세정액을 경사진 상기 기판에 분사하는 복수개의 노즐; 및 상기 노즐들에서 제각기 분사되는 세정액이 상기 기판의 경사도에 따라 상이한 강도의 타격력을 제공하도록, 상기 노즐들을 상기 기판에 대해 제각각의 거리로 이격시키는 노즐이격수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 참고하여 설명하면 다음과 같으며, 첨부된 도 2는 본 발명의 제1실시예에 의한 기판세정장치를 도시한 측면도이다.
도시된 바와 같이 본 발명의 제1실시예에 의한 기판세정장치는, 경사진 기판(S)을 세정하는 세정액을 공급하는 세정액공급관(52)과 이 세정액공급관(52)에 설치된 복수개의 노즐(54) 및 이 노즐(54)들을 전술한 기판(S)에 대해 제각각의 거리로 이격시키는 노즐이격수단을 포함한다.
여기서, 전술한 세정액공급관(52)은 미도시된 세정액탱크의 세정액을 펌핑하는 미도시된 펌프로부터 세정액을 공급받는다. 즉, 세정액공급관(52)은 펌프의 펌핑에 의해 고압의 세정액을 공급한다. 이러한, 펌프 및 세정액탱크는 통상적으로 알 수 있는 내용이므로 그 자세한 설명을 생략한다.
그리고, 전술한 복수개의 노즐(54)들은 도시된 바와 같이 동일한 길이로 형성되어, 세정액공급관(52)에 축방향을 따라 등간격으로 설치된다. 따라서, 노즐(54)은 세정액공급관(52)에서 공급되는 세정액을 경사진 기판(S)에 분사한다.
이때, 기판(S)은 미도시된 기판이송장치에 의해 약 5°의 경사각도(α)를 갖는다. 이러한, 기판이송장치는 종래기술에서 설명된 도 1의 일반적인 기판이송장치이므로 자세한설명을 생략한다.
이와 같은, 기판(S) 및 노즐(54)은 전술한 노즐이격수단에 의해 서로 이격된다. 이러한, 노즐이격수단은 예컨대, 도시된 바와 같이 기판(S)에 대한 세정액공급관(52)의 설치각도(β)를 기판(S)의 경사각도(α)와 상이하게 형성하여, 세정액공급관(52) 및 기판(S)의 평행을 방지함으로써, 전술한 노즐(54)들이 기판(S)에 대해 제각각의 이격거리(L)를 갖도록 구성할 수 있다.
이때, 노즐(54)들은 도시된 바와 같이 세정액공급관(52)이 기판(S)과 평행하지 않으므로, 기판(S)에 대해 제각각의 이격거리(L)를 갖는다. 물론, 복수개의 노즐(54)에서 제각기 분사되는 세정액은 기판(S)에 대해 노즐(54)들의 이격거리(L)와 동일한 제각각의 분사거리를 갖는다. 따라서, 각각의 노즐(54)에서 분사되는 세정액들의 분사압력, 즉 타격력은 서로 상이하다. 즉, 기판(S)과 멀리 떨어진 노즐(54)에서 분사되는 세정액은 타격력이 약하고, 기판(S)과 인접한 노즐(54)은 타격력이 강하다.
이러한, 세정액공급관(52)의 설치각도(β)는 예컨대, 도시된 바와 같이 기판(S)의 경사각도(α) 보다 큰 각도로 형성하되, 기판(S)의 경사방향과 동일한 경사방향으로 형성하여, 전술한 노즐(54)들이 경사도가 큰 기판(S)의 상측에부터 경사도가 작은 하측으로 갈수록 기판(S)에 대해 점점 작은 폭의 이격거리(L)를 갖도록 구성하는 것이 바람직하다.
다시 말하면, 세정액공급관(52)의 설치각도(β)를 기판(S)의 경사각도(α)와 상이하게 형성하되, 도면상 파선으로 도시된 바와 같이 형성하지 않고, 실선으로 도시된 바와 같이 형성하는 것이 바람직하다.
이렇게, 세정액공급관(52)을 실선으로 도시된 바와 같이 설치하게 되면, 노즐(54)들은 전술한 바와 같이 경사도가 큰 기판(S)의 상측에부터 경사도가 작은 하측으로 갈수록 기판(S)에 대해 점점 작은 폭의 이격거리(L)를 갖는다. 따라서, 노즐(54)에서 분사되는 세정액은 기판(S)의 경사도에 따라 상이한 강도의 타격력을 제공한다. 즉, 세정액은 경사도가 큰 기판(S)의 상측 보다 경사도가 작은 하측에 위치한 노즐(54)이 기판(S)과 인접하므로, 기판(S)의 하측에 보다 강한 타격력을 제공한다.
여기서, 전술한 세정액공급관(52)의 설치각도(β)는 예컨대, 도시된 바와 같이 기판(S)의 경사각도(α) 보다 크고 예각 보다 작은 각도로 형성하는 것이 바람직하고, 기판(S)의 경사각도(α)에 대하여 1.2배 내지 9배의 각도를 갖는 것이 보다 바람직하며, 기판(S)의 경사각도(α)에 대하여 2배의 각도를 갖는 것이 가장 바람직하다.
이에 대해 좀더 자세히 설명하면, 세정액공급관(52)의 설치각도(β)가 예각보다 클 경우, 세정액공급관(54)이 거의 수직에 가까운 상태로 설치되므로, 세정액을 기판(S)에 분사할 수 없다. 따라서, 세정액공급관(52)의 설치각도(β)는 예각 이내의 각도를 적용한다.
하지만, 통상적으로 기판(S)의 경사각도(α)가 전술한 바와 같이 5°이므로, 이 경사각도(α)에 대해 1.2배 내지 9배에 해당하는 6° 내지 45°를 적용하는 것이 바람직하다. 이때, 설치각도(β)를 전술한 45°로 적용할 경우 세정액공급관(54)은 기판(S)에 대해 40°의 경사각을 갖는다. 왜냐하면, 기판(S)의 경사각도( α)인 5°가 설치각도(β)에서 제외되기 때문이다. 따라서, 기판(S)의 상측에 위치한 노즐(54)들은 기판(S)과 너무 멀리 떨어지므로, 타격력이 충분하지 못하다. 그러므로, 기판(S)의 경사각도(α)가 전술한 바와 같이 5°일 경우에는 경사각도(α)의 2배에 해당하는 10°를 설치각도(β)로 적용하는 것이 가장 바람직하다. 즉, 기판(S)의 경사각도(α)가 5°일 경우, 설치각도(β)는 10°가 적합하다.
이렇게, 설치각도(β)를 경사각도(α)의 2배로 설정하는 것이 가장 바람직한 이유는, 기판(S)의 하측에서 상측까지 배치된 노즐(54)들의 이격거리(L)가 세정액의 타격력을 고려했을 때 가장 이상적이기 때문이다. 즉, 설치각도(β)를 경사각도(α)의 2배로 설정할 경우, 하측 및 상측의 노즐(54)들이 기판(S)과 적당히 인접되거나 이격되기 때문이다.
하지만, 전술한 설치각도(β)는 기판(S)의 경사각도(α)에 따라 결정되므로, 기판(S)의 경사각도(α)에 따라 적절히 적용하는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성된 본 발명의 제1실시예에 의한 기판세정장치는, 도면에 실선으로 도시된 바와 같이 노즐(54)들이 세정액공급관(52)의 설치각도(β)에 의해 기판(S)의 하부로 갈수록 기판(S)과 점점 인접한다.
이러한, 노즐(54)들은 세정액공급관(52)에 세정액이 고압으로 공급되므로, 세정액의 공급압력에 의해 세정액을 분사한다. 이때, 노즐(54)에서 분사되는 세정액은 기판(S)의 하측으로 갈수록 노즐(54)들의 이격거리(L)가 인접하므로, 기판(S)의 하측을 보다 강하게 타격한다.
따라서, 기판(S)의 하측에서 분사되는 세정액은, 기판(S)의 경사에 의해 기 판(S)의 하부측에 과밀된 세정액층(C)을 관통한 후 기판(S)과 접촉하면서 기판(S)의 표면을 세정한다.
한편, 도 3은 본 발명의 제2실시예에 의한 기판세정장치를 도시한 측면도로서, 도시된 바와 같이 제2실시예에 의한 기판세정장치는 전술한 노즐이격수단을 전술한 제실시예와 달리 구성한 것이 특징이다.
이러한, 제2실시예의 노즐이격수단은 예컨대, 도시된 바와 같이 노즐(54)들을 제각기 상이한 길이(l)로 형성하여, 이 노즐(54)들이 기판(S)에 대해 제각각의 상이한 이격거리(L)를 갖도록 구성할 수 있다.
이때, 세정액공급관(52)의 설치각도(β)는 도시된 바와 같이 기판(S)의 경사각도(α)와 동일하다. 따라서, 세정액공급관(52) 및 기판(S)은 평행을 이룬다.
이렇게, 세정액공급관(52) 및 기판(S)이 평행을 유지함에 따라, 제각기 상이한 길이(l)로 형성된 노즐(54)들은 기판(S)에 대해 제각각의 상이한 이격거리(L)를 갖는다.
여기서, 전술한 노즐(54)들의 길이(l)는 예컨대, 도시된 바와 같이 기판(S)의 상측에서 하측을 향해 점증적으로 연장되어, 노즐(54)들이 기판(S)의 하측으로 갈수록 기판(S)과 인접하도록 구성하는 것이 바람직하다.
이에 따라, 기판(S)의 하측에 위치한 노즐(54)에서 분사되는 세정액은 기판(S)과 인접함에 따라, 상측의 노즐(54)에서 분사되는 세정액 보다 강한 타격력을 기판(S)에 제공한다.
그러므로, 하측의 노즐(54)에서 분사되는 세정액은 드레인되면서 기판(S)의 하부에 과밀되는 세정액층(C)을 관통한 후 기판(S)의 표면과 접촉하면서 기판(S)을 세정한다.
또 한편, 도 4는 본 발명의 제3실시예에 의한 기판세정장치를 도시한 측면도로서, 도시된 바와 같이 제3실시예에 의한 기판세정장치는 경사진 기판(S)을 세정하기 위한 세정액을 공급하는 세정액공급관(54)과 이 세정액공급관(54)의 세정액을 기판(S)에 분사하는 복수개의 노즐(54) 및 전술한 세정액공급관(54)의 축방향을 따라서 세정액공급관(54)의 분사유량을 제어하는 유량제어수단을 포함한다.
여기서, 전술한 세정액공급관(54)은 도시된 바와 같이 기판(S)의 경사각도(α)와 동일한 크기의 설치각도(β)를 갖는다. 그리고, 전술한 복수개의 노즐(54)은 도시된 바와 같이 동일한 길이(l)로 형성되어 세정액공급관(52)에 축방향을 따라 설치된다. 따라서, 도시된 바와 같이 세정액공급관(54) 및 기판(S)은 평행을 이루고, 복수개의 노즐(54)은 기판(S)에 대해 동일한 이격거리(L)를 갖는다.
이때, 전술한 유량제어수단은 예컨대, 도시된 바와 같이 기판(S)의 경사도가 큰 상측에서 경사도가 작은 하측을 향해 노즐(54)들 간의 간격(G)을 점점 조밀하게 형성하여, 이 노즐(54)들에서 분사되는 세정액들이 기판(S)의 상측에서부터 하측으로 갈수록 분사유량이 증량되면서 타격력강도가 강화되도록 구성할 수 있다.
즉, 기판(S)의 상부측에 위치한 노즐(54)들은 서로의 간격(G)이 넓고, 기판(S)의 하부측에 위치한 노즐(54)들은 서로의 간격(G)이 좁다. 이에 따라, 세정액공급관(52)은 도시된 바와 같이 경사가 시작되는 하단부에 많은 수량의 노즐(54)이 설치된다. 따라서, 세정액은 세정액공급관(52)의 상단부 보다 하단부에서 많이 분 사된다. 다시 말하면, 세정액공급관(52)은 하단부의 분사유량이 상단부 보다 크다.
이렇게, 세정액공급관(52)의 하단부 분사유량이 크므로, 세정액공급관(52)의 하단부에서 분사되는 세정액은 상단부 보다 증량된 분사유량으로 인해 타격력이 강화된다. 즉, 세정액공급관(52)의 하단부에 설치된 노즐(54)들에서 분사되는 세정액들은, 노즐(54)들의 간격(G)에 의해 서로 혼합되면서 타격력이 강화된다.
따라서, 서로 혼합된 세정액은 타격력이 강화됨에 따라 기판(S)의 하부측에 과밀되면서 형성되는 세정액층(C)을 관통한 후, 기판(S)의 표면과 접촉하면서 기판(S)을 세정한다.
이와 같은 제3실시예에 의한 기판세정장치는, 복수개의 노즐(54)이 세정액공급관(52)의 상단에서 하단을 따라가면서 점점 조밀하게 설치되므로, 노즐(54)에서 분사되는 세정액이 기판(S)의 경사도에 따라 상이한 강도의 타격력을 제공한다. 즉, 세정액의 타격력은 기판(S)의 경사도에 반비례하는 크기로 제공된다.
다른 한편, 전술한 유량제어수단은 전술한 제1 및 제2실시예에 적용할 수 있다. 즉, 전술한 제1 및 제2실시예의 세정액공급관(52)에 설치된 노즐(54)들의 간격(G)을 서로 상이하게 구성할 수 있다. 또한, 전술한 제2실시예의 노즐이격수단은 전술한 제1 및 제3실시예에 적용할 수 있다. 즉, 세정액공급관(52)에 서치된 노즐(54)들의 길이(l)를 서로 상이하게 구성할 수 있다.
상기한 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하므로, 본 발명의 적용 범위는 이와 같은 것에 한정되지 않으며, 동일 사상의 범주내에서 적절한 변경이 가능하다. 따라서, 본 발명의 실시예에 나타난 각 구성 요소의 형상 및 구조는 변형하여 실시할 수 있으므로, 이러한 형상 및 구조의 변형은 첨부된 본 발명의 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
상술한 바와 같은 본 발명에 의한 기판세정장치는, 세정액공급관의 설치각도를 기판의 경사각도와 상이하게 형성하거나 노즐들의 길이를 서로 상이하게 형성할 경우, 복수개의 노즐 및 기판의 이격거리를 인접하게 구성할 수 있으므로, 이격거리를 통해 세정액의 타격력이 강화시켜서 기판의 하측을 세정액으로 확실하게 세정할 수 있는 효과가 있다.
이와 달리, 세정액공급관의 분사유량이 축방향을 따라 상이하게 제어되도록 구성하여도, 분사유량의 크기를 이용하여 세정액의 타격력을 강화시킬 수 있으므로, 기판의 하측을 세정액으로 확실하게 세정할수 있다.

Claims (10)

  1. 경사진 기판에 세정액을 분사하는 기판세정장치에 있어서,
    세정액을 공급하는 세정액공급관;
    상기 세정액공급관에 축방향을 따라 설치되어, 이 세정액공급관의 세정액을 경사진 상기 기판에 분사하는 복수개의 노즐; 및
    상기 노즐들에서 제각기 분사되는 세정액이 상기 기판의 경사도에 따라 상이한 강도의 타격력을 제공하도록, 상기 노즐들을 상기 기판에 대해 제각각의 거리로 이격시키는 노즐이격수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 노즐이격수단은,
    상기 기판에 대한 상기 세정액공급관의 설치각도를 상기 기판의 경사각도와 상이하게 형성하여, 상기 세정액공급관 및 기판의 평행을 방지함으로써, 상기 노즐들이 상기 기판에 대해 제각각의 이격거리를 갖도록 구성한 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 세정액공급관의 설치각도는,
    상기 기판의 경사각도 보다 큰 각도로 형성하되, 기판의 경사방향과 동일한 경사방향으로 형성하여, 상기 노즐들이 경사도가 큰 상기 기판의 상측에부터 경사도가 작은 하측으로 갈수록 기판에 대해 점점 작은 폭의 이격거리를 갖도록 구성한 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 세정액공급관의 설치각도는,
    상기 기판의 경사각도 보다 크고 예각 보다 작은 각도로 형성한 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 세정액공급관의 설치각도는,
    상기 기판의 경사각도에 대하여 1.2배 내지 9배의 각도를 갖는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 세정액공급관의 설치각도는,
    상기 기판의 경사각도에 대하여 2배의 각도를 갖는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 노즐이격수단은,
    상기 노즐들을 제각기 상이한 길이로 형성하여, 상기 노즐들이 상기 기판에 대해 제각각의 상이한 이격거리를 갖도록 구성한 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 노즐들의 길이는,
    상기 기판의 상측에서 하측을 향해 점증적으로 연장되어, 상기 노즐들이 상기 기판의 하측으로 갈수록 기판과 인접하도록 구성한 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  9. 경사진 기판에 세정액을 분사하는 기판세정장치에 있어서,
    상기 기판의 경사와 평행한 상태로 세정액을 공급하는 세정액공급관
    상기 세정액공급관에 축방향을 따라 설치되어, 이 세정액공급관의 세정액을 상기 기판에 분사하는 복수 개의 노즐 및
    상기 노즐들에서 제각기 분사되는 세정액이 상기 기판의 경사도에 따라 상이한 강도의 타격력을 제공하도록, 상기 세정액공급관의 축방향을 따라서 세정액공급관의 분사유량을 제어하는 유량제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 유량제어수단은,
    상기 기판의 경사도가 큰 상측에서 경사도가 작은 하측을 향해 상기 노즐들 간의 간격을 점점 조밀하게 형성하여, 상기 노즐들에서 분사되는 세정액들이 상기 기판의 상측에서부터 하측으로 갈수록 분사유량이 증량되면서 타격력강도가 강화되도록 구성한 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR200454514Y1 (ko) * 2009-12-17 2011-07-08 주식회사 케이씨텍 기판세정모듈
KR200469191Y1 (ko) * 2008-12-30 2013-09-26 주식회사 케이씨텍 대면적 기판 세정용 퍼들나이프
KR20140059585A (ko) * 2012-11-08 2014-05-16 엘지디스플레이 주식회사 기판 세정장치
US20150129000A1 (en) * 2013-11-13 2015-05-14 Samsung Display Co., Ltd. Apparatus for cleaning a substrate

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