KR20040063355A - 레티클 케이스 - Google Patents

Abstract

레티클 수용시 레티클 상면의 이동 범위를 한정시켜 케이스 내에서의 유동을 없애거나 제한할 수 있도록 레티클 천정면에 레티클 고정용 막대(bar)를 복수개 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 레티클 케이스가 개시된다.

따라서, 레티클 케이스 내의 레티클 유동 가능 공간을 레티클 고정용 막대가 점유하여 레티클의 케이스 내 유동을 방지하고, 파티클 발생, 부착, 레티클 패턴면의 스크래치 발생, 파손, 레티클 유동 및 탈락을 방지하여 레티클의 보존 기간을 늘릴 수 있다.

Description

레티클 케이스{Reticle case}

본 발명은 반도체 공정에 사용되는 레티클을 담는 레티클 케이스에 관한 것으로, 보다 상세하게는 수용된 레티클의 긁힘이나 파손을 방지할 수 있는 레티클 케이스에 관한 것이다.

레티클은 반도체 노광 공정에서 웨이퍼에 도포된 포토레지스트막에 패턴을전사하기 위한 건판의 역할을 한다. 반도체 장치의 고집적화와 정밀화에 따라 레티클의 패턴도 매우 정확하고 정밀하게 이루어져야 하며, 패턴이 외력에 의해 손상되지 않고 패턴 위에 파티클이나 기타 이물질이 부착되어 노광 작업을 방해하지 않도록 엄격하게 관리되어야 한다.

노광 장비에 레티클을 공급하거나 노광 장비 간에 레티클을 옮길 경우, 레티클은 보존, 유지를 위해 레티클 케이스에 수용되어 이송된다. 그런데, 레티클 케이스가 레티클 수용시 여유 공간이 많아 작업자의 실수로 레티클이 정위치에서 벗어나고, 케이스 내에서 진동하여 레티클이 파손되거나, 스크래치가 발생하거나, 케이스 내의 파티클 유동이 심해져 레티클 면에 파티클 등이 부착되는 등의 문제가 있었다.

도1은 레티클이 레티클 케이스에 수용된 상태를 개략적, 투시적으로 나타내는 사시도이며, 도2 및 도3은 레티클이 레티클 케이스에 담긴 상태에서의 문제점을 개념적으로 보여주는 정단면도 및 측단면도이다.

도1을 참조하면, 레티클 케이스(21)는 레티클(11)과 비슷한 형태의 직사각형 곽으로 이루어지며 레티클(11)과 레티클 케이스(21) 내벽과는 상당 간격이 존재한다.

도2는 도1의 AA'파선을 따라 레티클 케이스(21)를 절개한 정단면을 나타낸다. 도2에 따르면, 수용된 상태에서 레티클(11)은 레티클 케이스(21) 바닥면에 나란히 형성된 레티클 받침대(23)에 놓이게 된다. 레티클(11)의 크롬 인쇄면은 아래쪽을 향하며 레티클과 비슷한 두께의 얇은 합성수지막인 페리클(Pellicle:13)로 덮여 보호된다. 그런데 레티클(11)이 레티클 케이스(21)에 수용된 상태에서 레티클(11) 상부로 여유 공간이 상당히 커서 작업자가 레티클 케이스(21)를 옮길 때 부주의하면 가상선과 화살표로 표시한 것과 같이 레티클(11)이 받침대(23)에서 이격되어 레티클 케이스(21)의 천정면에 닿거나 받침대(23)와 천정면 사이에서 움직이는 점프(jump)가 발생할 수 있다. 또한, 페리클(13)과 받침대(23)에 의해 제한되나 케이스(21) 내에서 레티클(11)은 외부 충격에 의해 좌우로 움직이게 될 수 있다.

도3은 도1의 BB' 파선을 따라 레티클 게이스(21)를 절개한 측단면을 나타낸다. 도3에 따르면, 레티클(11)은 케이스(21)에 수용된 상태에서 바닥면에 형성되며 레티클 받침대(23) 외에 앞과 뒤를 막아 레티클의 전후 움직임을 제한하는 전,후 마감대(25)가 있다. 그러나 마감대(25)는 레티클(11) 하면 위로 조금 솟아있을 뿐이라서 전 후 방향의 큰 충격이 있으면 레티클(11)은 레티클 케이스(21)의 도어(DOOR:27)를 열고 튕겨져 나와 파손되거나 표면에 스크래치가 발생할 수 있다. 따라서, 설비 내에서 작업자가 레티클 케이스(21)를 투입할 때 무리한 힘을 가하면 레티클이 케이스(21)에서 도어(27)를 열고 탈락하여 파손되거나 긁히는 사고가 생길 수 있다.

본 발명은 상술한 종래의 레티클 케이스에서의 문제를 방지하기 위한 것으로, 레티클 케이스 내에서의 레티클의 요동과 이에 따른 파손이나 스크래치, 파티클 유동에 따른 문제를 해결할 수 있는 새로운 레티클 케리스를 제공하는 것을목적으로 한다.

도1은 레티클이 레티클 케이스에 수용된 상태를 개략적, 투시적으로 나타내는 사시도,

도2 및 도3은 레티클이 담긴 상태에서의 문제점을 개념적으로 보여주는 레티클 케이스의 정단면도 및 측단면도,

도4는 본 발명에 따라 내측 천정면 각 모서리 부분에 레티클 고정용 막대를 설치하고 레티클의 수용한 레티클 케이스의 일 실시예를 개략적으로 나타내는 투시적 사시도,

도5는 도4의 BB' 파선에 따라 절단한 상태에서의 단면을 나타내는 레티클 케이스의 측단면도이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 레티클 케이스는 레티클 수용시 레티클 상면의 이동 범위를 한정시켜 케이스 내에서의 유동을 없애거나 제한할 수 있도록 레티클 천정면에 레티클 고정용 막대(bar)를 복수개 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이하 도면을 참조하면서 실시예를 통해 본 발명을 좀 더 상세히 설명하기로 한다.

도4는 본 발명에 따라 내측 천정면 각 모서리 부분에 레티클 고정용 막대를 설치하고 레티클의 수용한 레티클 케이스의 일 실시예를 개략적으로 나타내는 투시사시도이며, 도5는 도4의 BB' 파선에 따라 절단한 상태에서의 단면을 나타내는 측단면도이다.

이들 도4 및 도5에 따르면 레티클(11)은 종래와 같이 케이스(21) 바닥면에 나란히 형성된 레티클 받침대(23)에 놓이게 된다. 도시되지 않으나, 레티클(11)의 크롬 인쇄면은 아래쪽을 향하며 페리클(Pellicle)로 덮여 보호된다. 또한, 케이스(21)에는 레티클(11)이 수용된 상태에서 레티클(11)의 앞과 뒤를 막아 레티클911)의 전후 움직임을 제한하도록 레티클 케이스(21) 바닥면에 부착 형성된 전,후 마감대(25)가 있다.

한편, 레티클(11)은 레티클 케이스(21)에 수용된 상태에서 종래와 달리 상면이 레티클 고정용 막대(29)들의 단부에 의해 고정되어 유동이 제한된다. 레티클 고정용 막대(29)는 레티클(11)을 도어(27)를 통해 레티클 케이스(21)에 투입할 때 레티클(11)의 진행을 방해하거나 레티클(11)과 접촉하여 스크래치를 발생시키지 않도록 케이스(21)의 천정면과의 접합부가 접히거나 구부러지도록 형성되는 것이 바람직하다. 이를 위해서 천정면과 레티클 고정용 막대(29)의 연결부는 스프링 장치로 형성될 수 있다.

또한, 레티클 고정용 막대(29)의 갯수는 특별히 한정할 필요는 없으나 실시예와 같이 위에서 볼 때 레티클 케이스(21)가 형성하는 직사각형의 각 모서리에 형성되어 레티클(11)이 수용될 때 레티클(11)의 각 모서리 부분과 접하거나 수 mm 정도의 짧은 거리 이격된 상태를 유지하도록 하는 것이 바람직하다. 이 경우, 레티클(11)과 접촉하는 부위는 노광시 필요한 레티클(11)이 패턴이 형성된 부분 외곽 부위가 되도록 하여 패턴면에 이물이 생기거나 스크래치가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

레티클 고정용 막대(29)는 레티클(11)과 접촉시에도 스크래치나 파손같은 문제가 없는 연질의 합성수지 재질이 적합하며 특히 레티클(11)과 닿아 레티클(11)의 유동을 방지하는 레티클 고정용 막대(29)의 단부는 부드러운 고무(rubber) 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 이 경우, 레티클 고정용 막대(29) 단부의 고무는 레티클(11) 상면과의 마찰에 의해 레티클(11)의 상하 유동뿐 아니라 레티클(11)의 좌우나 전후로의 움직임도 방지할 수 있다.

본 발명에 따르면, 레티클 케이스 내의 레티클 유동 가능 공간을 레티클 고정용 막대가 점유하여 레티클의 케이스 내 유동을 방지할 수 있다. 따라서, 레티클 유동에 따르는 파티클 발생, 부착, 레티클 패턴면의 스크래치 발생, 파손, 레티클 유동 및 탈락을 방지하여 레티클의 보존 유지를 용이하게 하고 레티클 제작 비용을 줄일 수 있다.

Claims (5)

1. 박스형으로 형성되며, 레티클 수용시 상기 레티클의 위치를 위쪽에서 한정하여 내부에서의 상기 레티클의 유동을 제한할 수 있도록 천정면에 레티클 고정용 막대(bar)를 복수개 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 레티클 케이스.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 레티클 고정용 막대는 천정면과의 접합부가 접히거나 구부러지도록 형성되는 것이 특징으로 하는 레티클 케이스.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 천정면과 상기 레티클 고정용 막대의 연결부는 스프링 장치로 형성되는 것을 특징으로 하는 레티클 케이스.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 레티클 고정용 막대는 위에서 볼 때 레티클 케이스가 형성하는 직사각형의 각 모서리에 형성되어 상기 레티클이 수용될 때 상기 레티클의 각 모서리 부분과 접하거나 수 mm 정도의 짧은 거리 이격된 상태를 유지하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 레티클 케이스.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 레티클 고정용 막대는 연질의 합성수지 재질로 이루어지고, 단부가 고무(rubber) 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레티클 케이스.