KR20040060019A - Ｌｃｄ 모듈용 검사장치 - Google Patents

Ｌｃｄ 모듈용 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20040060019A
KR20040060019A KR1020020086531A KR20020086531A KR20040060019A KR 20040060019 A KR20040060019 A KR 20040060019A KR 1020020086531 A KR1020020086531 A KR 1020020086531A KR 20020086531 A KR20020086531 A KR 20020086531A KR 20040060019 A KR20040060019 A KR 20040060019A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lcd module
axis
image detection
detection device
inspection
Prior art date
Application number
KR1020020086531A
Other languages
English (en)
Inventor
심화섭
김준보
안형민
홍민
김재완
최호석
전형조
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020020086531A priority Critical patent/KR20040060019A/ko
Publication of KR20040060019A publication Critical patent/KR20040060019A/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
    • G02F2201/58—Arrangements comprising a monitoring photodetector
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2203/00—Function characteristic
    • G02F2203/69—Arrangements or methods for testing or calibrating a device

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

본 발명은, LCD 모듈용 검사장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 LCD 모듈용 검사장치는, LCD 모듈을 X축 방향과, Y축 방향으로 이동시키는 LCD 모듈 구동부와; LCD 모듈 구동부의 상측에 배치되어, LCD 모듈을 검사하는 영상검출장치와; 영상검출장치를 Z축 방향으로 이동시키며, 적어도 하나의 회전축에 대하여 회전시키는 영상검출장치 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 일관된 검사기준을 적용시킬 수 있고, 정밀한 위치제어를 보다 용이하게 할 수 있으며, LCD 모듈용 검사장치의 대형화를 방지하는 것이 가능하다.

Description

ＬＣＤ 모듈용 검사장치{Inspection Equipment for ＬＣＤ module}
본 발명은, LCD 모듈용 검사장치에 관한 것이다. 특히 LCD 모듈의 자동검사에 필요한 LCD 모듈 구동부 및 영상검출장치 구동부에 관한 것이다.
이하에서는 LCD 모듈의 생산공정을 간략히 살펴보고, 본 발명에 따른 LCD 모듈용 검사장치가 적용되는 검사공정에 관해 설명한다.
LCD란, Liquid Crystal Display의 약어로서, 액정표시소자를 말한다.
LCD의 생산 공정은, 패널 제조공정, 러빙공정, 합착공정, 액정공정, 검사공정 등으로 이루어진다.
패널 제조공정에서는, 화소단위를 이루는 액정 셀(Cell)의 형성공정을 동반하며, 패널의 상판 및 하판이 제조된다.
러빙공정(Rubbing) 공정에서는, 액정 배향을 위한 배향막이 형성되고, 또한 러빙된다.
합착공정에서는, 패널의 상판과 하판이 합착된다.
액정공정에서는, 합착된 패널의 상판 및 하판 사이에 액정이 주입되고, 봉지된다.
여기서 패널 하판의 제조공정에는, 기판 상에 전극물질, 반도체 층 및 절연막의 도포와 에칭작업을 통한 TFT(Thin Film Transistor : 박막 트랜지스터)부의 형성과 기타 전극부의 형성과정이 포함된다.
그리고 액정 주입 및 봉지작업을 마친 패널 상, 하판의 양쪽 면에 편광판이 부착되어 액정패널이 완성되면, 최종적인 검사공정이 이루어지게 된다.
Final Test(이하 'FT'라고 한다)공정이란, LCD 제품을 생산함에 있어서, 마지막 공정 부분에 해당하는 것으로서, LCD 모듈의 불량 여부를 최종적으로 검사하는 공정을 말한다. 즉 FT 공정에서 LCD 모듈의 불량 항목인 전기적 불량과 외관적 불량 등을 검사한다.
FT 공정의 검사방법으로는, 작업자에 의한 육안검사와 영상검출장치에 의한 자동검사 등이 있다.
여기서 자동검사용 영상검출장치로는, 일반적으로 CCD 카메라가 사용된다. CCD는 Charge Coupled Device의 약어로서, 전하결합소자 또는 고체촬상소자로 불린다. CCD는, 렌즈를 통해 들어온 빛 에너지를 전기적인 신호(0과 1의 디지털 데이터)로 변환하는 집적회로가 내장된 이미지 센서이다. 빛의 세기에 따라 전하의 양이 달라져 빛의 양을 검출할 수 있게 된다.
CCD는 빛의 강도의 비율에 따라 반응하는 트랜지스터가 일정하게 배열되어 있는 장치로서, 각각의 트랜지스터의 정보를 모두 모아 전체적인 하나의 이미지를 만든다. 화소란 이미지를 인식할 수 있는 CCD 내부의 최소 개체 단위(포토 다이오드)를 말하며, 그 수가 많을수록 더 정확하게 이미지를 인식할 수 있다
본 발명에 따른 LCD 모듈용 검사장치는, FT 공정에 있어서, LCD 모듈의 인치 대응, 고해상도 영상 검출 장치의 일정 속도로의 이동, 시야각 대응, 특정 포인트 이동을 통한 영상 검출, 센터링 등에 대응할 수 있는 장치이다.
종래에도 LCD 모듈용 검사장치가 있었다.
도 1은 종래의 육안검사에 관한 사시도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 작업자(1)는, LCD 모듈(2)이 동작을 하고 있는 상태 즉, 임의의 패턴이 디스플레이 되고 있는 상태에서, 수작업을 통해 LCD 모듈(2)의 상하좌우의 기울기 변화를 행한다. 또한 시각변화를 위해 LCD 모듈을 바라보는 각도를 변화시키는 등 반복적인 작업을 행한다.
그러나 이러한 종래의 육안검사는, 일정치 않은 시야각을 통한 LCD 모듈을 검사하는 등 작업자의 숙련도가 요구되며, 반복된 작업으로 피로도의 증가를 가져온다. 이로 인해, 검사기준의 일관성을 유지하기 어려운 문제점이 있다.
이에 LCD 모듈의 FT 공정을 자동으로 검사하기 위한 장치가 개발되었다.
LCD 모듈을 X축과 Y축 방향 즉 수평방향으로 위치이동 시키는 것이 가능한 LCD 모듈 구동부가 도입되었다. 그리고 작업자의 육안검사 방법이 아닌, CCD 카메라 등의 영상검출장치를 이용하여 LCD 모듈을 자동적으로 검사하는 방법이 도입되었다.
특허등록공고 제10-0187013(1998.12.30)은 LCD 모듈의 자동화질 검사장치 및 방법에 관한 것이다. 이에 의하면, LCD 모듈의 수평방향의 위치이동과 CCD 카메라의 수직방향의 위치이동이 가능하다.
그러나 이러한 종래 기술은 다음과 같은 문제점을 가진다.
첫째, 육안검사의 경우, 작업자의 감각에 의존함으로 인하여 작업자의 숙련도나 피로도에 영향을 받기 쉬워, 검사기준의 일관성이 유지될 수 없다는 문제점이 있다.
둘째, LCD 모듈을 수평 이동시키는 방법의 경우, 장치의 대형화가 우려된다. LCD 모듈의 수평이동 만으로 LCD 모듈을 검사하려면, 이론적으로 수평이동범위가 LCD 모듈 면적의 4배가 필요하다. 최근 LCD 모듈은 대형화 추세에 있는바, 이로 인해 검사장치의 대형화라는 문제점이 제기된다.
셋째, 영상검출장치를 이동시키는 방법의 경우, 상기 둘째의 문제점을 일부 해소할 수는 있으나, 여전히 일정한 이동범위가 요구되며, 또한 정밀한 위치제어를 하는 것이 복잡하고, 난이하다는 단점이 있다.
따라서 본 발명의 목적은, 일관된 검사기준을 적용시킬 수 있고, LCD 모듈용 검사장치를 대형화하지 않고서도, 정밀한 위치제어를 용이하게 할 수 있는 LCD 모듈용 검사장치를 제공하는 것이다.
도 1은 종래의 육안검사에 관한 사시도이고,
도 2는 본 발명에 따른 LCD 모듈용 검사장치의 작동에 관한 동작도이고,
도 3은 본 발명에 따른 영상검출장치 구동부가 θX축을 중심으로 영상검출장치를 회전시키는 동작도이고,
도 4는 본 발명에 따른 영상검출장치 구동부가 θY축을 중심으로 영상검출장치를 회전시키는 동작도이고,
도 5는 본 발명에 따른 영상검출장치 구동부가 θZ축을 중심으로 영상검출장치를 회전시키는 동작도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : LCD 모듈 20 : LCD 모듈 구동부
30 : 영상검출장치 40 : 영상검출장치 구동부
상기 목적은, LCD 모듈을 X축 방향과, Y축 방향으로 이동시키는 LCD 모듈 구동부와; LCD 모듈 구동부의 상측에 배치되어, LCD 모듈을 검사하는 영상검출장치와; 영상검출장치를 Z축 방향으로 이동시키며, 적어도 하나의 회전축에 대하여 회전시키는 영상검출장치 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 모듈용 검사장치에 의해 달성된다.
본 발명에 따른 LCD 모듈용 검사장치에 있어서, 회전축은, θX축, θY축 및 θZ축의 3개의 회전축인 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다.
이하에서는 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 LCD 모듈용 검사장치의 작동에 관한 동작도이다.
본 발명에 따른 LCD 모듈용 검사장치는, 도 2에 도시된 바와 같이, LCD 모듈(10), LCD 모듈 구동부(20), 영상검출장치(30) 및 영상검출장치 구동부(40)를포함하여 구성된다.
LCD 모듈(10)은, LCD 모듈 구동부(20) 상에 안착됨이 바람직하다. LCD 모듈(10)은 최근 와이드 스크린(wide screen)화 등을 통한 대형화의 추세에 있다. 이에 대응하여, LCD 모듈 구동부(20)는, LCD 모듈(10)을 견고하게 안착시켜 이동시킬 수 있는 구조를 가짐이 바람직하다.
본 발명에 따른 LCD 모듈용 검사장치의 LCD 모듈 구동부(20)의 동작을 설명함에 있어서, LCD 모듈(10)을 기준으로 X축, Y축 및 Z축을 가지는 기준 좌표계(Reference Coordinate Frame)를 도입함이 바람직하다.
LCD 모듈 구동부(20)는, 기준 좌표계의 X축 방향과, Y축 방향의 위치이동 즉 병진운동이 가능하다.
본 발명에 따른 LCD 모듈 구동부(20)는, X축 액튜에이터(미도시)와, Y축 액튜에이터(미도시)를 사용하여, 수평방향 중 X축과, Y축을 따라 수평방향으로 병진운동함이 바람직하다.
종래기술에 따르면, X축과 Y축방향의 병진운동의 벡터합을 이용하는 별도의 θ액튜에이터를 장착하여, 수평방향 중 θ방향 즉, X축과 Y축의 사이의 위치이동을 가능하게 할 수도 있다. 다만 이 경우, θ방향의 위치제어는, X방향 또는 Y방향에 비해 제어가 상당히 난이하다는 단점이 있다.
본 발명에 따른 LCD 모듈 구동부(20)에도, 별도의 θ액튜에이터를 장착하는 것이 가능하다.
그러나 본 발명에 따른 LCD 모듈용 검사장치는, 영상검출장치(30)가 3축을중심으로 회전운동이 가능하므로, LCD 모듈 구동부(20)는, X축과 Y축의 수평방향의 병진운동만으로도 보다 정밀한 위치제어가 가능하다.
영상검출장치(30)에는, 전술한 바와 같이 일반적으로 CCD 카메라가 이용된다.
영상검출장치 구동부(40)는, 장착된 영상검출장치(30)를 병진운동 뿐만 아니라 회전운동도 가능하게 한다.
본 발명에 따른 LCD 모듈용 검사장치의 영상검출장치 구동부(40)의 동작을 설명함에 있어서, 영상검출장치(30)를 기준으로 θX축, θY축 및 θZ축을 가지는 새로운 물체 좌표계(New Object Coordinate Frame)를 도입함이 바람직하다.
3개의 축을 중심으로 회전하는 동작은, 도 3 내지 도 5에 도시되어 있다.
영상검출장치 구동부(40)는, 영상검출장치(30)를 LCD 모듈(10)을 기준으로 하는 기준 좌표계의 Z축 방향을 따라 수직방향으로 병진운동이 가능하게 함이 바람직하다.
나아가 영상검출장치 구동부(40)는, 영상검출장치(30)를 기준으로 하는 새로운 물체 좌표계의 θX축, θY축 및 θZ축을 중심으로, 영상검출장치(30)의 회전운동이 가능하게 함이 바람직하다.
도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 영상검출장치 구동부(40)는, 영상검출장치(30)를 회전운동 시킬 수 있다. 영상검출장치(30)의 회전운동은, 병진운동에 비해, 보다 신속하고 용이하게 정밀한 위치제어를 하는 것을 가능하게 한다.
즉 영상검출장치(30)를 피검사대상인 LCD 모듈(10) 상의 소정의 지점에 계속 위치하게 하고서도, 영상검출장치(30)를 3축 방향으로 자유자재로 회전시킴에 의해, LCD 모듈(10)의 원하는 지점의 영상검출을 할 수 있는 것이다.
영상검출장치 구동부(40)는, 영상검출장치(30)를 병진운동 내지 회전운동 시킬 수 있는 구동장치로 구성됨이 바람직하다. 모터를 이용한 액튜에이터(미도시) 또는 링크구조의 로봇(미도시) 등이 적용가능하다.
한편, 영상검출장치 구동부를 이용한 영상검출장치의 이동 외에 갈바노 거울을 사용하여 유사한 효과를 내는 것도 가능하다.
갈바노 거울(Galvano mirror)이란, 레이저 광을 편향 주사하는 레이저 스캐너 등에 이용되는 것으로서, 갈바노 미터(Galvano meter)의 원리를 이용한 것이다.
갈바노 미터는, 자계 중에 배치된 가동 코일에 전류가 인가되면, 전자력 및 회전력(토크)이 발생되고, 가동코일이 회동하는데, 이 가동코일을 통하여 지침을 진동시켜, 전류의 유무와 대소를 검출하는 것이다.
갈바노 거울은, 갈바노 미터의 가동코일과 일체로 회전하는 축에 지침 대신에 반사경을 설치하여 구성된다.
이러한 구성에 의하여, 영상검출장치를 수직방향으로 병진운동 시킬 수 있을 뿐만 아니라, 3축을 중심으로 회전운동 시킬 수 있어, 정밀한 위치제어를 보다 용이하게 한다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과가 제공된다.
첫째, 일관된 검사기준을 적용시킬 수 있는 효과가 제공된다. 종래의 작업자에 의한 육안 검사에 비하여, 본 발명에 따른 LCD 모듈용 검사장치는 자동검사가 가능하므로, 작업자의 숙련도 및 피로도에 의한 영향을 받지 아니한다.
둘째, 영상검출장치를 3축을 중심으로 회전시킬 수 있어, 정밀한 위치제어가 보다 용이하게 가능한 효과가 제공된다. 종래에는 영상검출장치의 병진운동이 가능하였다. 반면에, 본 발명에 따른 LCD 모듈용 검사장치는, 회전운동까지 가능하므로, 보다 용이하게 정밀한 위치제어를 할 수 있다.
셋째, LCD 모듈용 검사장치의 대형화를 방지할 수 있다. 상기 둘째의 효과로 인하여, LCD 구동부의 수평방향의 병진운동의 거리가 단축될 수 있기 때문이다. 이로 인해, LCD 모듈의 대형화 추세에 불구하고, LCD 모듈용 검사장치의 대형화를 방지할 수 있는 효과가 제공된다.

Claims (2)

  1. LCD 모듈을 X축 방향과, Y축 방향으로 이동시키는 LCD 모듈 구동부와;
    상기 LCD 모듈 구동부의 상측에 배치되어, 상기 LCD 모듈을 검사하는 영상검출장치와;
    상기 영상검출장치를 Z축 방향으로 이동시키며, 적어도 하나의 회전축에 대하여 회전시키는 영상검출장치 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 모듈용 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 회전축은, θX축, θY축 및 θZ축의 3개의 회전축인 것을 특징으로 하는 LCD 모듈용 검사장치.
KR1020020086531A 2002-12-30 2002-12-30 Ｌｃｄ 모듈용 검사장치 KR20040060019A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020086531A KR20040060019A (ko) 2002-12-30 2002-12-30 Ｌｃｄ 모듈용 검사장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020086531A KR20040060019A (ko) 2002-12-30 2002-12-30 Ｌｃｄ 모듈용 검사장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20040060019A true KR20040060019A (ko) 2004-07-06

Family

ID=37351968

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020086531A KR20040060019A (ko) 2002-12-30 2002-12-30 Ｌｃｄ 모듈용 검사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20040060019A (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100805486B1 (ko) * 2005-12-09 2008-02-20 타이완 티에프티 엘씨디 오쏘시에이션 디스플레이의 다각도 계측 시스템 및 방법
KR20200012533A (ko) * 2018-07-27 2020-02-05 한양대학교 산학협력단 시편 검사 장치 및 시편 검사 방법

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100805486B1 (ko) * 2005-12-09 2008-02-20 타이완 티에프티 엘씨디 오쏘시에이션 디스플레이의 다각도 계측 시스템 및 방법
KR20200012533A (ko) * 2018-07-27 2020-02-05 한양대학교 산학협력단 시편 검사 장치 및 시편 검사 방법
US11486822B2 (en) 2018-07-27 2022-11-01 Iucf-Hyu (Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University) Specimen inspection device and specimen inspection method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5261540B2 (ja) 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
JP2006242821A (ja) 光学パネルの撮像方法、光学パネルの検査方法、光学パネルの撮像装置、光学パネルの検査装置
WO2020042421A1 (zh) 晶圆检测设备
WO2012120973A1 (ja) 欠陥検査方法、欠陥検査装置、及び基板の製造方法
WO2013145839A1 (ja) 欠陥検出装置
JP3378795B2 (ja) 表示装置の検査装置および検査方法
KR100785420B1 (ko) 압흔 검사기
KR100446080B1 (ko) 시트 부재들 사이의 정렬방법, 정렬방법, 기판조립방법,및 정렬장치
KR100879007B1 (ko) 기판의 광학검사기능을 구비한 리페어장치
KR20040060019A (ko) Ｌｃｄ 모듈용 검사장치
KR101067373B1 (ko) 평판표시패널용 연마장치와 그 구동방법 및 이를 구비하는 리페어 시스템
JP3053449B2 (ja) 表面検査装置
JP3501661B2 (ja) 液晶表示パネルの検査方法および検査装置
KR100714289B1 (ko) 엘씨디 검사용 광학장치
JP5319063B2 (ja) 線幅測定装置
JP2931505B2 (ja) マトリクス型表示装置に用いられるカラーフィルタの検査装置及び検査方法
KR20050114132A (ko) 오토 프로브 검사장비 및 이를 이용한 검사방법
KR101016750B1 (ko) 액정표시장치의 검사장치
KR20070118939A (ko) 압흔 검사기
KR101067370B1 (ko) 평판표시패널용 연마장치와 그 구동방법 및 이를 구비하는 리페어 시스템
KR100672166B1 (ko) 선폭 측정 장치
JP2683546B2 (ja) プローブ装置
JP4895356B2 (ja) 線幅測定装置
KR100312081B1 (ko) 프로그램가능한 영역 스캔 비전 검사 시스템
KR20170135525A (ko) 표시소자의 검사장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application