KR101067370B1 - 평판표시패널용 연마장치와 그 구동방법 및 이를 구비하는 리페어 시스템 - Google Patents

평판표시패널용 연마장치와 그 구동방법 및 이를 구비하는 리페어 시스템 Download PDF

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Abstract

평판표시패널용 연마장치와 그 구동방법 및 이를 구비하는 리페어 시스템이 개시된다. 본 발명에 따른 평판표시패널용 연마장치는 평판표시패널(600)이 안착 되는 스테이지가 상부에 위치하는 리페어 테이블(100); 리페어 테이블(100) 상에 위치하는 X축 이동부(210); X축 이동부(210) 상에 위치하는 Y축 이동부(220); Y축 이동부(220)에 위치하며 평판표시패널(600)에 형성된 돌기를 검출하는 영상측정부(400); 및 Y축 이동부(220)에 위치하며 접촉렌즈(340)로 연마테이프(310)를 가압하여 돌기를 연마하고, 접촉렌즈(340)를 통해 영상정보를 생성하는 카메라를 구비하는 연마부(300)를 포함하며, 연마테이프(310)는 다수개의 불투명영역(311)과 투명영역(312)이 반복되는 것을 특징으로 한다. 따라서, 연마장치의 정렬 정확도와 연마공정 중의 돌기 상태를 시각적으로 확인할 수 있어 공정시간을 단축시키면서도 양호한 연마도를 얻을 수 있다.
평판표시패널, 돌기, 리페어, 연마테이프

Description

평판표시패널용 연마장치와 그 구동방법 및 이를 구비하는 리페어 시스템 {Polishing Device For Flat Panel Display And Driving Method Thereof And Repair System Having The Same}
본 발명은 평판표시패널용 연마장치와 그 구동방법 및 이를 구비하는 리페어 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판표시패널의 돌기 불량을 제거할 수 있는 평판표시패널용 연마장치 및 구동방법과, 상기 연마장치를 구비하며 구동불량화소도 수리할 수 있는 리페어 시스템에 관한 것이다.
최근에는 핸드폰, 노트북, PDA(Personal Digital Assistants) 및 대형 TV와 같은 디스플레이의 수요가 증가함에 따라 두께가 얇고 가벼운 평판 디스플레이 (Flat Panel Display) 분야의 발전이 진행되고 있다.
이러한, 평판 디스플레이에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD), 유기 전계 발광 표시장치(Organic Light Emitting Diode display; OLED) 등이 있는데, 상기 평판 디스플레이의 핵심은 투명한 기판 사이에 매트릭스 형태로 배열되는 다수개의 화소를 박막형태로 증착하여 평판표시패널을 형성하는데 있다. 이때, 상기 화소는 전기배선인 다수개의 데이터라인과 게이트라인에서 인가되는 전기신호에 의해 구동된다.
하지만, 상기 박막을 형성하는 제조공정에서는 박막의 불균일성과 이물 등의 유입에 의한 돌기 형태의 불량이 발생되는 경우가 있는데, 이와 같은 돌기 불량은 기판 사이의 높이편차를 발생시키게 되어, 특히 대면적 패널에서는 빛의 투과율을 방해하고 전기적인 단락 또는 단선을 초래할 수도 있다.
또한, 상기 다수개의 화소 중에서 배선의 일부가 단선될 경우에는 해당 화소는 전기적으로 오프(off)되어 구동되지 않는 구동불량화소를 초래할 수도 있다.
먼저, 이와 같은 돌기불량을 해결하기 위하여 종래에는 연마수단을 이용하여 일정 높이만큼 제거하는 연마공정을 진행하였다. 하지만, 이러한 종래기술에 의한 연마장치의 경우에는 돌기와 연마장치의 정렬상태를 알 수 없으며, 연마공정이 진행되는 동안에도 돌기의 상태를 볼 수가 없다. 따라서, 별도의 측정기로 돌기의 높이를 측정한 후 돌기를 일정 깊이만큼 연마하고, 다시 측정기로 돌기 높이를 측정하는 과정을 반복하여야만 했다. 따라서, 연마 정확도가 저하되며 반복과정으로 인해 공정시간이 증가하는 문제점이 있다.
다음으로, 이와 같은 구동불량화소를 해결하기 위하여 종래에는 불량화소를 프로브를 이용하여 검출한 후 전도성물질을 증착하여 단선된 배선을 연결함으로써 리페어공정을 수행하였으나, 상기 프로브를 이용하는 방법은 평판 표시 패널과 직접 접촉함으로써 간섭에 의한 2차 불량이 발생될 수 있는 문제점이 있다.
더욱이, 상기 연마공정과 구동불량화소의 리페어공정은 각각의 분리된 장치에서 나누어 진행됨으로써 공정시간과 설비비용이 증가하는 문제점도 있었다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로, 연마장치의 정렬 정확도와 돌기의 연마상태를 시각적으로 확인할 수 있으며, 평판표시패널과 직접 접촉하지 않아도 되는 평판표시패널용 연마장치와 그 구동방법 및 이를 구비하는 리페어 시스템을 제공하는데 목적이 있다.
본 발명의 상기 목적은 평판표시패널이 안착되는 스테이지가 상부에 위치하는 리페어 테이블; 상기 리페어 테이블 상에 위치하는 X축 이동부; 상기 X축 이동부 상에 위치하는 Y축 이동부; 상기 Y축 이동부에 위치하며 상기 평판표시패널에 형성된 돌기를 검출하는 영상측정부; 및 상기 Y축 이동부에 위치하며 접촉렌즈로 연마테이프를 가압하여 상기 돌기를 연마하고, 상기 접촉렌즈를 통해 영상정보를 생성하는 카메라를 구비하는 연마부를 포함하며, 상기 연마테이프는 다수개의 불투명영역과 투명영역이 반복되는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 연마장치에 의해 달성된다.
또한, (a) 평판표시패널에서 영상정보를 생성하는 단계; (b) 상기 영상정보를 분석하여 평판표시패널에 형성된 돌기를 검출하는 단계; (c) 상기 돌기 상에 연마테이프가 정위치 되는지 여부를 시각적으로 확인하는 단계; 및 (d) 상기 돌기를 연마하면서 시각적으로 상기 돌기의 상태를 확인하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 연마장치의 구동방법에 의해서도 달성된다.
또한, 평판표시패널이 안착되는 스테이지가 상부에 위치하는 리페어 테이블; 상기 리페어 테이블 상에 위치하는 X축 이동부; 상기 X축 이동부 상에 위치하는 Y축 이동부; 상기 Y축 이동부에 위치하며 상기 평판표시패널의 구동불량화소 및 테스트 패드에 대하여 리페어 작업을 수행하는 화학기상 증착부; 상기 화학기상 증착부에 결합되며 상기 평판표시패널에 형성된 돌기와 구동불량화소를 검출하는 영상측정부; 및 상기 화학기상 증착부에 결합되며 접촉렌즈로 연마테이프를 가압하여 상기 돌기를 연마하고, 상기 접촉렌즈를 통해 영상정보를 생성하는 카메라를 구비하는 연마부를 포함하며, 상기 연마테이프는 다수개의 불투명영역과 투명영역이 반복되어 형성된 것을 특징으로 하는 리페어 시스템에 의해서도 달성된다.
본 발명에 따르면, 연마장치의 정렬 정확도와 연마공정 중의 돌기 상태를 시각적으로 확인할 수 있어 공정시간을 단축시키면서도 양호한 연마도를 얻을 수 있다.
또한, 평판표시패널과 직접 접촉 없이도 돌기불량과 구동불량화소를 검출할 수 있으며, 연마공정과 구동불량화소의 리페어공정을 하나의 장치에서 진행할 수 있어 공정 및 설비비용을 절약할 수 있는 효과도 얻을 수 있다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시 예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해보다 명확하게 이해될 것이다.
도 1은 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 연마부(300)의 확대도이다.
도 3a는 본 발명에 의한 연마테이프(310)의 평면도이다.
도 3b는 본 발명에 의한 연마테이프(310)의 단면도이다.
도 4a는 도 1의 영상측정부(400)의 결합도이다.
도 4b는 도 1의 영상측정부(400)의 측면도이다.
먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치는 리페어 테이블(100), 테이블 이동부(200), 연마부(300), 영상측정부(400), 스테이지(500)을 포함하며 구성된다.
일명 갠트리(Gantry)라고 하는 리페어 테이블(100)은 지면에 대하여 견고하게 설치되어 외부의 진동이나 충격을 방지할 수 있는 금속 재질의 프레임 구조물이다. 이때, 리페어 테이블(100)은 보다 신뢰성 있는 리페어공정을 진행하기 위해 정확한 수평을 형성한다.
다음으로, 테이블 이동부(200)는 리페어 테이블(100) 상을 X축, Y축 방향으로 이동할 수 있는 이동수단으로 X축 이동부(210)와 Y축 이동부(220)로 구성된다. 리페어 테이블(100)의 상부 장변에 한 쌍의 레일(110)이 서로 마주보며 설치되고, 레일(110) 상에는 레일(110)과 수직하며 직선 형태로 형성된 X축 이동부(210)가 결합된다. 따라서, X축 이동부(210)는 레일(110) 상을 X축 방향으로 용이하게 이동할 수 있다.
또한, X축 이동부(210) 상에는 상기 X축 이동부(210) 보다 크기가 작은 Y축 이동부(220)가 결합되어 X축 이동부(210) 상을 Y축 방향으로 이동할 수 있게 된다. 결국, Y축 이동부(220)는 리페어 테이블(100) 상의 임의의 X, Y 좌표에 용이하게 이동할 수 있게 된다. 이때, X축 이동부(210)와 Y축 이동부(220)는 미도시된 모터의 구동력에 의해 동작하게 된다.
다음으로, 연마부(300)는 Y축 이동부(220)에 설치되는데 도 2를 참조하면, 연마테이프(310), 연마테이프(310)를 회전시키는 테이프 회전부(320), 연마테이프(310)의 회전방향을 가이드하는 다수개의 보조롤러(330), 연마테이프(310)를 가압하며 영상을 결상하는 접촉렌즈(340)와, 접촉렌즈(340)에서 결상된 영상에서 영상정보를 생성하는 카메라(360)를 포함하며 구성된다.
보다 자세하게, 연마테이프(310)는 평판표시패널(600)의 돌기를 연마할 수 있는 연마수단으로 도 3a 및 도 3b를 참조하면, 투명한 베이스필름(312) 상에 불투명한 연마층(311)이 일정간격으로 반복되어 형성된 구조이다. 불투명한 연마층(311)은 연마제(미도시)와 수지를 혼합하여 베이스 필름(312) 상에 일정 간격으로 도포하여 형성할 수 있다. 이러한, 베이스필름(312)은 공지된 투명한 재질을 제한 없이 사용할 수 있는데, 일 예로 폴리에틸렌 테레프탈라이트(PET)을 사용할 수 있다.
이어서, 베이스필름(312) 상에는 연마층(311)을 형성하기 위하여 수지(resin)에 연마제(미도시)를 혼합하여 베이스필름(312) 상에 형성한 후 건조하여 만들 수 있는데, 이러한, 연마층(311) 형성방법은 공지된 기술이므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. 다만, 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치에 구비되는 연마테이프(310)는 정면을 기준으로 다수개의 불투명영역과 투명영역이 반복되어 형성된다. 즉, 투명영역인 베이스필름(312)과 베이스필름(312) 상에 연마 층(311)이 형성된 불투명영역이 반복된다.
이와 같이, 연마층(311)을 패턴으로 형성하는 이유는 연마테이프(310) 회전시 투명영역을 통해 하부에 위치되는 평판표시패널(600)의 돌기 상태를 확인하며 연마하기 위함이다. 따라서, 상기 불투명영역과 투명영역은 서로 동일한 면적으로 형성하면 연마성을 얻으면서도 돌기 상태의 시인성을 동시에 얻을 수 있다.
테이프 회전부(320)는 연마테이프(310)를 회전시켜 돌기를 연마시키기 위한 회전장치이다. 따라서, 테이프 회전부(320)는 연마테이프(310)를 공급하는 제1 테이프 회전부(321)와 연마테이프(310)를 감는 제2 테이프 회전부(322)로 구성되어 쌍을 이루게 된다.
보조롤러(330)는 연마테이프(310)의 회전방향을 가이드하는 보조회전장치로 테이프 회전부(320)의 사이에 다수개가 위치한다. 따라서, 제1 테이프 회전부(321)에서 공급된 연마테이프(310)를 접촉렌즈(340)를 거쳐 제2 테이프 회전부(322)로 용이하게 회전하게 한다.
접촉렌즈(340)는 연마테이프(310)를 가압하며, 평판표시패널(600) 돌기의 영상을 결상하는 광학소자이다. 이러한, 접촉렌즈(340)는 렌즈 브라켓(350)에 구비되는데, 이때 렌즈 브라켓(350)은 렌즈이동부(351)를 더욱 구비하여 접촉렌즈(340)는 X축, Y축, Z축으로 보다 정밀한 이동이 가능할 수 있다.
카메라(360)는 접촉렌즈(340)에서 결상된 영상으로부터 영상정보를 생성하는 영상취득수단으로, 이러한, 카메라(360)는 영상을 전기신호로 변환시켜 디지털 영상데이터를 얻는 디지털처리 방식의 디지털 카메라일 수 있는데, 바람직하게는 노 이즈가 적고 화질이 양호한 CCD(charge coupled device)를 이용한 디지털 카메라일 수 있다. 또한, 카메라(360)에는 빛을 조절할 수 있는 조명수단이 더욱 구비되어 보다 양호한 영상을 얻을 수 있다.
이와 같은 연마부(300)는 Z축 방향으로 이동할 수 있는 연마이동부(370)를 구비하여 렌즈이동부(351) 보다는 큰 이동단위로 Z축 방향으로 이동하여 평판표시패널(600)의 돌기에 용이하게 근접할 수 있다.
즉, 렌즈이동부(351)는 Z축 방향으로 정밀한 이동을 할 수 있는 반면에, 연마이동부(370) 큰 이동단위로 용이한 이동을 할 수 있다.
다음으로, 영상측정부(400)는 Y축 이동부(220)에 설치되는데, 도 4a 및 도4b를 참조하면, 영상을 분석하여 공간상의 삼차원 위치값(X, Y, Z)을 얻는 3차원 장치일 수 있으며, 상기 위치값의 검출은 고해상도 카메라에서 영상획득 및 분석(image processing)과정을 진행하여 이루어진다. 따라서, 실제 피측정물인 평판표시패널(600)과 접촉하지 않고 측정하기 때문에 평판표시패널(600)에 물리적 손상을 주기 않고도 돌기불량의 위치를 검출할 수 있다.
이와 같은 영상측정부(400)는 Z축 방향으로 이동할 수 있는 영상측정이동부(410)를 구비하여 Z축 방향으로 이동을 할 수 있다. 이때, 상기 영상측정부(400)는 영상측정이동부(410)와 하나 또는 다수개의 고정대(420)에 의해 용이하게 결합될 수 있다.
다음으로, 스테이지(500)는 평판표시패널(600)이 안착되어 정렬수단으로, 리페어 테이블(100) 상에 수평상태로 고정된다.
이상의 상세한 설명에서는 설명의 편의를 위해 평판표시패널(600)를 하나의 패널로 설명하였지만, 실제로 평판표시패널(600)은 대면적의 마더 기판에 다수개의 단위패널들이 형성된 구조(도 1에서는 8개로 도시됨)이며, 이후의 커팅공정에서 단위패널로 절단되며 데드 영역은 제거된다. 또한, 평판표시패널(600)은 칼라필터기판일 수도 있다.
본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치는 동작을 설명하고 있는 도 5를 참조한 이하의 상세한 설명에 의해 보다 명확해질 것이다.
도 5는 본 발명의 평판표시패널용 연마장치의 구동방법이다.
도 5를 참조하면, 먼저, 평판표시패널(600)에서 영상정보를 생성하는 단계를 진행한다(S10). 이어서, 상기 영상을 분석하여 평판표시패널(600)에 형성된 돌기를 검출하는 단계를 진행한다(S20). 이어서, 상기 돌기 상에 연마테이프(310)가 정위치 되는지 여부를 시각적으로 확인하는 단계를 진행한다(S30). 이어서, 상기 돌기를 연마하면서 시각적으로 돌기의 상태를 확인하는 단계를 진행한다(S40). 이때, 평판표시패널(600)에서 영상정보를 생성하는 단계(S10)는 평판표시패널(600)을 촬영하여 영상정보를 수집하는 단계로서, 카메라(360)는 접촉렌즈(340)에 결상된 평판표시패널(600)의 영상으로부터 영상정보를 취득할 수 있다. 영상정보를 분석하여 평판표시패널(600)에 형성된 돌기를 검출하는 단계(S20)는 수집된 평판표시패널(600)의 영상에서 돌기의 높이 편차를 검사하는 단계로서, 명암대비에 의해 돌기의 높이 편차를 확인할 수 있는 컴퓨터 프로그램에 의해 평판표시패널(600)에 대한 돌기 불량의 위치와 상태를 검출할 수 있다.
연마테이프(310)는 접촉렌즈에 의해 가압되어 돌기를 연마하는 것이며, 상기 정위치와 상기 돌기의 상태는 카메라(360)를 통해 확인된다. 따라서, 이러한 순서로 평판표시패널용 연마장치를 구동하면 돌기와 연마테이프(310)의 정렬상태를 시각적으로 확인할 수 있고, 돌기의 연마공정 중에도 돌기 상태를 확인할 수 있어서 보다 양호한 연마도를 얻을 수 있다. 또한, 영상정보를 이용함으로 평판표시패널(600)과 직접 접촉 없이도 돌기불량을 검출할 수 있다.
도 6은 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치를 구비하는 리페어 시스템 의 사시도이다.
도 7은 도 6의 연마부(300)의 확대도이다.
도 8은 도 6의 영상측정부(400)의 결합도이다.
도 6을 참조하면, 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치를 구비하는 리페어 시스템은 리페어 테이블(100), 테이블 이동부(200), 연마부(300), 영상측정부(400), 스테이지(500) 및 화학기상 증착부(700)를 포함하며 구성된다.
이러한, 리페어 시스템은 평판표시패널용 연마장치에 화학기상 증착부(700)가 추가된 것이며, 화학기상 증착부(700)에 연마부(300)와 영상측정부(400)가 결합되는 것 이외의 구성은 도 1를 중심으로 설명된 평판표시패널용 연마장치와 동일함으로 중복을 피하기 위해 설명을 생략한다.
화학기상 증착부(700)는 Y축 이동부(220)에 설치되는데 평판표시패널(600)의 구동불량화소를 찾아 전도성 물질을 증착하여 배선을 연결함으로써 리페어공정을 수행하는 장치이다.
이러한, 화학기상 증착부(700)는 도면상에 도시되지는 않았지만, 평판표시패널(600)의 구동불량화소 상에 리페어 작업을 위한 화학기상 증착공간을 제공하는 챔버와, 상기 챔버에 의해 제공되는 공간으로 레이저를 조사하는 레이저부 및 상기 레이저부에서 조사된 레이저의 광로와 초점을 조절하는 광학부를 포함하여, 평판표시패널(600)의 구동불량화소 및 평판표시패널(600)의 데드영역에 위치하는 테스트 패드에 대하여 리페어 작업을 수행할 수 있다.
따라서, 상기 평판표시패널에 형성된 돌기와 구동불량화소를 영상측정 부(300)를 통해 검출하여 평판 표시 패널과 직접 접촉을 피할 수 있으며, 연마공정과 구동불량화소의 리페어공정을 하나의 장치에서 진행할 수 있어 공정 및 설비비용을 절약할 수 있는 효과도 얻을 수 있다.
다음으로, 도 6 및 도 7을 참조하면, 연마부(300)와 영상측정부(400)는 화학기상 증착부(700)에 결합되어 Y축 이동부(220)에 설치되는데, 이때, 화학기상 증착부(700)와 용이하게 결합하기 위하여 연마부(300)에는 제1 고정 브라켓(380)이 구비되고, 영상측정부(400)에는 제2 고정 브라켓(430)을 더욱 구비되는 것 이외의 구성은 평판표시패널용 연마장치와 동일하다.
본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시 예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.
도 1은 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 연마부(300)의 확대도이다.
도 3a는 본 발명에 의한 연마테이프(310)의 평면도이다.
도 3b는 본 발명에 의한 연마테이프(310)의 단면도이다.
도 4a는 도 1의 영상측정부(400)의 결합도이다.
도 4b는 도 1의 영상측정부(400)의 측면도이다.
도 5는 본 발명의 평판표시패널용 연마장치의 구동방법이다.
도 6은 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치를 구비하는 리페어 시스템의 사시도이다.
도 7은 도 6의 연마부(300)의 확대도이다.
도 8은 도 6의 영상측정부(400)의 결합도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100: 리페어 테이블(갠트리)
200: 테이블 이동부
210: X축 이동부
220: Y축 이동부
300: 연마부
310: 연마테이프
320: 테이프 회전부
330: 보조롤러
340: 접촉렌즈
360: 카메라
400: 영상측정부
500: 스테이지
600: 평판표시패널
700: 화학기상 증착부

Claims (16)

  1. 평판표시패널이 안착되는 스테이지가 상부에 위치하는 리페어 테이블;
    상기 리페어 테이블 상에 위치하는 X축 이동부;
    상기 X축 이동부 상에 위치하는 Y축 이동부;
    상기 Y축 이동부 위치하며 상기 평판표시패널에 형성된 돌기를 검출하는 영상측정부; 및
    상기 Y축 이동부에 위치하는 연마부를 포함하며,
    상기 연마부는 돌기를 연마하기 위한 연마제가 투명한 베이스 필름 상에 일정 간격으로 도포되어 불투명 영역과 투명영역이 반복적으로 일렬로 배치되는 연마 테이프, 상기 연마 테이프를 돌기 측으로 가압하고 돌기 측에 대한 시야가 확보되는 접촉렌즈, 및 상기 접촉렌즈의 상방에 설치되며 상기 접촉렌즈를 통해 돌기에 대한 영상을 수집하는 카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 연마장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 접촉렌즈에는 X축, Y축, Z축 방향으로 이동하는 렌즈이동부가 더욱 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 연마장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 불투명영역과 투명영역은 서로 동일한 면적으로 반복 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 연마장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 연마부에는 Z축 방향으로 이동하는 연마이동부가 더욱 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 연마장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 영상측정부에는 Z축 방향으로 이동하는 영상측정이동부가 더욱 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 연마장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 카메라는 CCD(charge coupled device)인 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 연마장치.
  7. (a) 평판표시패널을 촬영하여 영상정보를 수집하는 단계;
    (b) 수집한 평판표시패널의 상기 영상정보를 분석하여 영상에서 돌기의 높이 편차를 검사하는 단계;
    (c) 상기 돌기 상에 연마테이프가 정위치 되는지 여부를 시각적으로 확인하는 단계; 및
    (d) 상기 돌기를 연마하면서 시각적으로 상기 돌기의 상태를 확인하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 연마장치의 구동방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 연마테이프는 접촉렌즈에 의해 가압되어 돌기를 연마하는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 연마장치의 구동방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 (c)에서 상기 정위치는 카메라를 통해 확인되는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 연마장치의 구동방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 (d)에서 상기 돌기의 상태는 카메라를 통해 확인되는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 연마장치의 구동방법.
  11. 평판표시패널이 안착되는 스테이지가 상부에 위치하는 리페어 테이블;
    상기 리페어 테이블 상에 위치하는 X축 이동부;
    상기 X축 이동부 상에 위치하는 Y축 이동부;
    상기 Y축 이동부에 위치하며 상기 평판표시패널의 구동불량화소 및 테스트 패드에 대하여 리페어 작업을 수행하는 화학기상 증착부;
    상기 화학기상 증착부에 결합되며 상기 평판표시패널에 형성된 돌기와 구동불량화소를 검출하는 영상측정부; 및
    상기 화학기상 증착부에 결합되며 접촉렌즈로 연마테이프를 가압하여 상기 돌기를 연마하고, 상기 접촉렌즈를 통해 영상정보를 생성하는 카메라를 구비하는 연마부를 포함하며,
    상기 연마테이프는 다수개의 불투명영역과 투명영역이 반복되어 형성된 것을 특징으로 하는 리페어 시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 접촉렌즈에는 X축, Y축, Z축 방향으로 이동하는 렌즈이동부가 구비되는 것을 특징으로 하는 리페어 시스템.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 연마테이프의 불투명영역과 투명영역은 서로 동일한 면적으로 반복 형성되는 것을 특징으로 하는 리페어 시스템.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 연마부에는 Z축 방향으로 이동하는 연마이동부가 더욱 구비되는 것을 특징으로 하는 리페어 시스템.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 영상측정부에는 Z축 방향으로 이동하는 영상측정이동부가 더욱 구비되 는 것을 특징으로 하는 리페어 시스템.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 카메라는 CCD(charge coupled device)인 것을 특징으로 하는 리페어 시스템.
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