KR20040014184A - 베어링 패드 구조를 갖는 디스크 헤드 슬라이더 - Google Patents

베어링 패드 구조를 갖는 디스크 헤드 슬라이더 Download PDF

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KR20040014184A
KR20040014184A KR1020030034271A KR20030034271A KR20040014184A KR 20040014184 A KR20040014184 A KR 20040014184A KR 1020030034271 A KR1020030034271 A KR 1020030034271A KR 20030034271 A KR20030034271 A KR 20030034271A KR 20040014184 A KR20040014184 A KR 20040014184A
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존로버트 펜드레이
진-에딘 보우타고우
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시게이트 테크놀로지 엘엘씨
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Abstract

리딩면, 트레일링면, 제1 및 제2 측면 에지, 후면 및 후면에 대향하는 디스크 대향면을 구비한 기판을 포함하는 헤드 슬라이더가 제공된다. 디스크 대향면은 베어링 플레인 및 베어링 플레인으로부터 함몰된 함몰부를 포함한다. 단부층은 기판의 트레일링면에 부착된다. 단부층은 통상적으로 베어링 플레인과 평행한 단부층에 실질적으로 단독으로 형성된 베어링 패드를 포함한다. 베어링 패드는 함몰부로부터 유체 흐름을 수용하기 위해 함몰부에 인접하게 뒤쪽으로 배치된다.

Description

베어링 패드 구조를 갖는 디스크 헤드 슬라이더{DISC HEAD SLIDER WITH BEARING PAD DESIGN}
본 발명은 John Pendray 및 Zine-Eddine Boutaghou가 발명하고 "MICRO-ALUMINA AND MICRO-TRANSDUCER PAD AIR BEARING DESIGN"이라는 제목으로 2002년 8월 6일 출원된 미국 가출원 60/401,360 및 Zine-Eddine Boutaghou가 발명하고 "EXTENDED ALUMINA BASECOAT ADVANCED AIR BEARING SLIDER"라는 제목으로 2001년 6월 19일에 출원된 미국 가출원 09/884,796으로부터 우선권을 주장한다.
본 발명은 데이터 저장 시스템에 관한 것이며, 보다 상세하게는 디스크 드라이브의 기록 매체와 통신하는 디스크 헤드 슬라이더에 관한 것이다.
디스크 드라이브는, 복수의 동심 원형 데이터 트랙에 디지털 정보를 저장하기 위한 자화가능 매체로 코팅된 고정 디스크를 사용한다. 디스크는 스핀들 모터에 장착되어 있으며, 스핀들 모터는 디스크가 회전하게 하고, 디스크의 표면이 각각의 유체 역학(예를 들어, 공기) 베어링 디스크 헤드 슬라이더 아래로 통과하게 한다. 슬라이더는 디스크 표면에 정보를 기록하거나 디스크 표면으로부터 정보를 판독하는 변환기를 운반한다.
액추에이터 메카니즘은 전자 회로의 제어에 의해 디스크의 표면을 따라 트랙들 간에 슬라이더를 이동시킨다. 액추에이터 메카니즘은 트랙 액세싱 암 및 각각의 헤드 짐벌 어셈블리용 서스펜센을 포함한다. 서스펜션은 로드빔 및 짐벌을 포함한다. 로드빔은 부하력을 제공하여 슬라이더가 디스크 표면을 향하게 한다. 짐벌은 슬라이더와 로드빔 사이에 위치하거나, 로드빔에 통합되어 유연한 접속을 제공함으로써, 슬라이더가 피치 및 롤을 가능하게 하고 디스크와 관련한 회전이 슬라이더를 지지하는 유체 역학적 힘을 균형잡히게 한다.
슬라이더는 디스크 표면과 마주하는 베어링 표면을 포함한다. 디스크가 회전함에 따라, 디스크는 대략적으로 디스크의 접선 속도에 평행한 방향으로 베어링 표면을 따라 슬라이더 아래로 공기를 끌어 당긴다. 공기가 베어링 표면 아래로 통과함에 따라, 공기 흐름 경로를 따른 공기 압축은 디스크와 베어링 표면 사이의 공기압을 증가시키고, 이는 부하력과 반대로 작용하는 유체역학적 양력을 발생시키며 슬라이더가 디스크 표면 위로 또는 근접하게 떠서 비행하게 한다.
디스크 상의 기록 밀도가 증가함에 따라, 기록 헤드는 인접한 데이터 트랙들 사이에서 해상도를 유지하기 위해 디스크 표면에 더 근접하게 비행한다. 따라서, 기록 헤드에서 슬라이더와 디스크 표면 사이의 물리적 간격은 디스크 드라이브 성능에 대한 중요한 파라미터이다. 종래의 슬라이더는 물리적 간격 또는 "비행 높이"의 변화를 최소화하기 위해 변환기 영역에 근접한 슬라이더 기판에 집중된 최대 압력을 제공한다. 다른 시스템은 변화를 최소화하기 위해 능동 또는 수동 비행 높이 제어 메카니즘을 사용한다. 그러나, 드라이브의 동작 동안, 슬라이더의 트레일링 에지 부근의 소자들은 디스크 드라이브의 전체 성능을 저하시키는 열적 또는 제조 영향에 대해 어느 정도 함몰부를 가질 수 있다. 이러한 소자는 베이스코트 층,오버코트 층, 변환기 폴 팁 및 기판 구조를 포함할 수 있다. 만일 베이스코트 층, 오버코트 층 및 폴 팁이 슬라이더의 공기 베어링 표면 구조에 대해 함몰될 경우, 폴 팁에서의 효율적인 비행 높이는 증가하여 판독/기록 성능의 저하를 초래할 것이다. 게다가, 슬라이더의 형상 및 베어링 표면의 기하 구조에서의 제조 변수는 비행 높이 및 비행 높이 조절에 영향을 미칠 것이다.
따라서, 디스크 헤드 슬라이더는 슬라이더 상의 소자의 제조 변수 및 함몰부에 대해 비행 높이 및 비행 높이 조절의 민감도를 감소시키도록 설계된다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 문제에 대한 해결안을 제시하며 종래기술에 비해 우수한 장점을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 리딩면, 트레일링면, 제1 및 제2 측면 에지, 후면 및 후면과 마주하는 디스크 대향면을 구비한 슬라이더 기판을 포함하는 헤드 슬라이더에 관한 것이다. 디스크 대향면은 베어링 플레이트 및 베어링 플레인으로부터 함몰된 함몰부를 포함한다. 단부층은 슬라이더 몸체부의 트레일링면에 부착된다. 단부층은 베어링 플레인에 통상적으로 평행한 단부층 상에 실질적으로 단독으로 형성된 베어링 패드를 포함한다. 베어링 패드는 함몰 영역으로부터의 유체 흐름을 수용하기 위해 함몰부에 인접한 후면에 배치된다.
다른 실시예에서, 헤드 슬라이더는 제1 재료를 포함하고 베어링 플레인을 구비한 전면부 및 베어링 플레인으로부터 함몰된 함몰부를 포함한다. 후면부는 전면부에 부착되고 제1 재료와는 상이한 제2 재료를 포함한다. 후면부는 또한 함몰부로부터의 기류를 수용하기 위해 함몰부로부터 인접하게 배치되어 돌출한 패드를 포함한다.
또한, 헤드 슬라이더는 리딩 에지, 트레일링 에지, 후면 및 후면에 마주하는 디스크 대향면을 포함하는 슬라이더 몸체부를 갖는다. 디스크 대향면은 베어링 플레인을 갖는다. 함몰된 수렴형 채널은 디스크 대향면에 배치되며 베어링 플레인으로부터 함몰된다. 수렴형 채널은 유체 흐름에 대한 단부 개구 및 베어링 플레인과 공면인 측벽을 포함한다. 베이스코트/변환기/오버코트 층은 트레일링 에지에서 슬라이더 몸체부와 접촉된다. 게다가, 패드가 베이스코트/변환기/오버코트 층 및 베어링 플레인과 공면 상에 실질적으로 단독으로 형성된다. 패드는 함몰된 수렴형 채널로부터의 유체 흐름에 대해 폐쇄된다. 본 발명의 실시예를 특징짓는 다른 특징 및 장점은 이하의 상세한 설명 및 관련된 도면을 통해 명백할 것이다.
도1은 본 발명이 사용하는 디스크 드라이브의 사시도이다.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 헤드 슬라이더의 평면도이다.
도3은 도2의 슬라이더의 사시도이다.
도4는 도2의 슬라이더의 부분 단면도이다.
도5는 본 발명의 택일적 실시예에 따른 헤드 슬라이더의 평면도이다.
도6은 도5의 슬라이더의 부분 단면도이다.
도7은 본 발명의 추가적인 택일적 실시예에 따른 헤드 슬라이더의 평면도이다.
도8은 본 발명의 추가적인 택일적 실시예에 따른 헤드 슬라이더의 평면도이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 설명 ※
100: 디스크 드라이브108: 디스크 클램프
109: 중심축 110: 슬라이더
116: 엑추에이터114: 트랙 액세싱 암
124: 디스크 내부 직경126: 디스크 외부 직경
120: 피봇 축130: 내부 회로
200: 슬라이더 기판252: 패드
도1은 본 발명이 사용하는 디스크 드라이브의 사시도이다. 디스크 드라이브(100)는 예를 들어, 통상의 자기 디스크 드라이브, 광자기 디스크 드라이브 또는 광 디스크 드라이브로 구성될 수 있다. 디스크 드라이브(100)는 베이스 및 상부 커버(미도시)를 구비한 하우징을 포함한다. 디스크 드라이브(100)는 디스크 클램프(108)에 의해 스핀들 모터(미도시) 상에 장착된 디스크 팩(106)을 더 포함한다. 디스크 팩(106)은 복수의 디스크(107)를 포함하며, 이들은 중심축(109)을 중심으로 함께 회전하도록 장착된다. 각각의 디스크 표면은 디스크 드라이브(100)에 장착되고 디스크 표면과 통신하기 위해 판독/기록 헤드를 운반하는 관련된 슬라이더(110)를 구비한다.
도1에 도시된 예에서, 슬라이더(110)는 엑추에이터(116)의 트랙 액세싱 암(114)에 차례로 부착된 서스펜션에 의해 지지된다. 도1에 도시된 액추에이터는 회전형 이동 코일 액추에이터로서 알려진 형태이며 도면부호(118)로 도시된 보이스 코일 모터(VCM)를 포함한다. 보이스 코일 모터(118)는 디스크 내부 직경(124)과 디스크 외부 직경(126) 사이의 경로(122)를 따르는 소정의 데이터 트랙 위로 슬라이더(110)를 위치시키기 위해 피봇 축(120)을 중심으로 부착된 슬라이더와 함께 액추에이터(116)를 회전시킨다. 보이스 코일 모터(118)는 내부 회로(130)의 제어에 따라 동작한다. 다른 타입의 액추에이터가 또한 선형 액추에이터로서 사용될 수 있다.
동작 동안, 디스크(107)가 회전함에 따라, 디스크는 각각의 슬라이더(110) 아래로 베어링 표면을 따라 디스크의 접속 속도에 대략 평행한 방향으로 공기를 끌어들인다. 공기가 베어링 표면 아래로 통과함에 따라, 공기 흐름 경로를 따르는 공기 압축은 디스크와 베어링 표면 사이의 공기압을 증가시키며, 이는 서스펜션(112)에 의해 제공되는 부하력에 반대로 작용하고 슬라이더(110)가 디스크 표면에 근접하거나 그 위로 떠서 비행하게 하는 유체 역학적 양력을 발생시킨다.
슬라이더는 통상적으로 리딩 에지 및 트레일링 에지, 제1 및 제2 측면, 후면 및 후면과 마주하는 디스크 대향면 구비한 기판 또는 전면부를 포함한다. 단부층 또는 후면부는 기판의 트레일링 표면에 부착된다. 단부층은 베이스코트층, 변환기층 및 기판에 부착된 오버코트층을 포함한다. 다양한 표면 구조가 슬라이더와 다양한 동작 조건하의 디스크 사이에서 소정의 압력 특성을 발생시키기 위해 슬라이더의 표면 상에 한정된다. 예를 들어, 슬라이더는 트레일링 단부가 리딩 단부보다 디스크 표면에 근접하게 비행하는 동작 피치를 갖도록 설계된다. 따라서, 판독/기록 변환기는 최대의 판독 및 기록 해상도를 얻기 위해 디스크 대향 표면의 트레일링 에지 근처나 그 위해 통상적으로 제조된다. 동작 피치로 인해, 변환기의 폴 팁을 포함하는 트레일링 에지 부근의 표면 특성은 온도 및 다른 영향으로 인해 시간에 대한 높이에서 함몰부를 가질 수 있다.
도2는 디스크(107)(도1)의 표면에서 바라본 슬라이더(110)의 평면도이며, 도3은 디스크의 표면으로부터 바라본 슬라이더(110)의 사시도이다. 수직방향의 치수는 명확화를 위해 도3에 과장되어 도시된다. 슬라이더(110)는 폴 팁 함몰부에 의해 발생한 반대 영향을 감소시키기 위한 베어링 표면 구조를 갖는다. 특히, 베어링 표면 구조는 슬라이더(110)을 들어올리기 위해 변환기 영역 자체에 압력을 집중시킨다. 비록 슬라이더(110)가 상대적으로 편평하게 도시되어 있지만, 통상의 디스크 헤드 슬라이더는 길이 방향 및/또는 폭 방향으로 다소의 만곡부를 포함하고 있음을 알아야 한다. 이러한 만곡부는 통상적으로 크라운 만곡 및 크로스 만곡으로 불려진다. 따라서, 베어링 플레인을 포함하는 본원 명세서에 설명된 표면 및 플레인은 완전한 평면 플레인에 배치되기보다는 슬라이더 크라운 및 크로스 만곡을 나타낼 수도 있다.
설명을 위해, 상대적인 깊이를 갖는 표면이 기준이 될 것이다. 설명된 깊이는 베어링 플레인으로부터 측정되는 것으로 가정한다. 따라서, 본 발명의 설명에서 사용된 용어인 "깊이"는 통상적으로 적어도 하나의 설명된 베어링 표면과 공면인 플레인으로부터 측정된다. 깊거나 큰 깊이를 갖는 표면은 얕거나 작은 깊이를 갖는 표면 보다 베어링 표면으로부터 추가로 배치될 것이다. 베어링 표면은 실례로 깊이가 영으로 설정될 것이다.
슬라이더(110)는 디스크 대향면(201)을 갖는 슬라이더 기판(200)을 갖는다. 기판(200)은 Al2O3-TiC, TiC, Si, SiC, ZiO2또는 다른 합성 재료 및/또는 이들의 화합물과 같은 전기적으로 도전성인 세라믹 기판 재료같은 소정의 적절한 재료로 형성될 수 있다. 슬라이더 기판(200)은 리딩 에지(202), 트레일링 에지(204) 및 측면 에지(206 및 208)를 포함한다. 리딩 에지(202)는 기판(200)의 리딩 표면을 따라 연장하고 트레일링 에지(204)는 기판(200)의 트레일링 표면을 따라 연장한다.
디스크 대향 표면(201)은 캐비티 댐(210), 융기부(211) 및 캐비티 댐(210)으로부터 트레일링 에지로 연장하는 이격된 중앙벽(212)을 포함한다. 캐비티 댐(210)은 측면으로 연장하는 벽(216 및 218)으로 형성된다. 실례로, 캐비티 댐(210) 및 중앙벽(212 및 214)은 영의 깊이를 갖는다.
융기부(211)는 리딩 에지(202) 부분에 위치된다. 트렌치(220)는 융기부(211) 내에 형성되고 실례로 1 내지 3 미크론의 깊이를 갖는다. 트렌치(220)는 측면 에지(206)로부터 측면 에지(208)로 연장하고 측면 에지(206 및 208)를 따라 리딩 에지(202)를 향해 연장하는 U형 부분(222)(도2)을 포함한다. 트렌치(220)는 또한 슬라이더(110)의 리딩 에지 부근에 배치된 L형 부분(224 및 226)을 포함한다. 다수의 스텝 영역(230, 232, 234 및 236)이 캐비티 댐(210) 내에 형성되며 실례로 0.1 내지 0.5 미크론의 "스텝" 깊이를 갖는다. 융기부(211)는 또한 베어링 패드(238 및 239)를 포함한다. 이러한 패드는 스텝 영역(230 및 236)을 포함하는데, 이는 L형 트렌치(224 및 226)로부터 수용된 주위의 공기를 압축하는 것을 돕는다. 디스크 대향면(201)은 캐비티 댐(210)을 트레일링하는 캐비티(240 및 241)를 더 포함하며, 실례로 1 내지 3 미크론의 깊이를 갖는다. 게다가, 측벽(242 및 244)이 캐비티(240 및 241) 내의 약한 주위 압력을 수용하기 위해 측면 에지를 따라 제공되며 실례로 0.1 내지 0.5 미크론의 스텝 깊이를 갖는다.
채널(246)은 트레일링 에지(204)를 향해 트렌치(220)로부터 연장하며 중앙벽(212 및 214) 사이에 배치된다. 캐비티 댐(210), 특히 측벽(216 및 216)은 융기부(211)로부터의 공기 흐름을 차단하고 채널(246)로의 공기 흐름을 강제한다. 채널(246)은 트렌치(220)와 유사한 깊이를 갖는다. 다른 깊이가 또한 사용될 수 있다. 스텝 영역(248)은 트레일링 에지(204) 부근의 중앙벽(212 및 214) 사이에 배치된다.
단부층(250)은 트레일링 에지(204)에 부착되며 실례로 기판(200)과는 상이한 재료로 구성된다. 단부층(250)은 이하에서 설명될 변환기층 및 오버코트층을 포함하는데, 이들은 변환기/오버코트층으로 언급된다. 통상적으로, 단부층(250)은 리딩 에지(250)로부터 트레일링 에지(204)를 향하는 방향으로 측정될 때 10-100 미크론의 길이를 갖는다. 베어링 패드(252)는 실질적으로 단부층(250) 상에 단독으로 형성되며 슬라이더(110)의 폭의 중심 부근의 스텝 영역(248)의 후면 부근에 배치된다. 결과적으로, 패드(252)는 채널(246) 및 스텝 영역(248)으로부터의 공기 흐름을 수용한다.
도2 및 도3에 도시된 실시예에서, 함몰된 수렴형 채널(253)은 트레일링 에지(204) 부근에 형성되는데, 스텝 영역(248)은 채널 평탄부이다. 통상적으로, 채널(253)은 채널(246)로부터의 유체 흐름에 대한 리딩 단부(254) 개구 및 유체 흐름에 근접한 트레일링 단부(256)를 갖는다. 명세서에서 중앙벽(212, 214)인 비분기 벽은 트레일링 단부(256)를 향하여 공기 흐름을 집중시키는 역할을 한다. 기류는 벽(212 및 214)에 의해 둘러싸이며 패드(252) 위로 탈출하도록 강요되고, 국부적인 양의 압력을 제공하며, 이는 단부층(250) 상에 실질적으로 단독으로 나타난다. 이러한 국부적인 압력은 슬라이더에 대한 양력을 제공한다. 채널(248) 및 수렴형 채널(253)은 공동으로 압력 패드(252)에 대해 충분한 공기 흐름을 제공한다.
도4는 패드(252)를 포함하는 슬라이더(110)의 중앙 라인을 따라 취해진 부분 단면도이다. 단부층(250)은 통상적으로 도면부호 257로 도시된 변환기를 구비한 다수의 소자를 포함한다. 단부층(250)은 슬라이더 기판(200)의 트레일링 표면 상에 증착 또는 고정된다. 일 실시예에서, 베이스코트층(258)은 기판(200) 상에 증착되며 기판(200)과 결합된다. 베이스코트층(258)은 알루미나 또는 Al2O3와 같은 전기적 절연 재료이다.
예를 들어, 철(Fe), 니켈(Ni) 또는 코발트(Co)의 합금으로부터 제조된 증착 금속 자기층은 하부 실드(260), 공유 폴(262), 상부 폴(264) 및 코어(266)를 형성한다. 코어(266)는 코일의 중앙 및 기록갭(270)을 통해 기록 자화 회로를 형성한다. 코일 절연체(272)는 코일(268)을 절연하는 역할을 한다.
추가로 증착된 절연층(274)은 하부 실드(260) 및 공유 폴(262) 주위의 공간을 채운다. 층(274)은 통상적으로 Al2O3로부터 제조되고 베이스코트층(258)에 대한 결합된다.
판독 센서(276)는 하부 실드(260)와 공유 폴(262) 사이의 매우 얇은 층에 형성된다. 판독 센서(276)는 실례로 자기 저항 또는 거대 자기 저항(GMR) 센서이다. 다른 타입의 판독 및 기록 변환기는 본 발명의 택일적 실시예에 사용될 수 있다. 명확화를 위해, 통상의 방식으로 Cu, Au 또는 다른 금속 또는 금속 합금으로부터 형성된 전기 리드 및 접촉은 도2에 도시되지 않는다.
절연 오버코트 또는 상부코트층(278)은 변환기(257)의 다양한 소자의 상부에 증착된다. 오버코트층(278)은 통상적으로 Al2O3로부터 제조된다. 추가로, 오버코트층(278)은 변환기(257)의 코일(268) 및 판독 센서(276)에 대한 전기적 접촉(미도시)을 노출시키기 위한 증착후, 평탄화된다. 기술분야의 당업자는 단부층(250)에 유용한 다른 다양한 응용을 알 것이다.
전술한 바와 같이, 패드(252)는 실질적으로 단부층(250)에 전적으로 형성된다. 채널(246)을 통한 패드(252) 위로의 공기 흐름 패턴은 통상적으로 화살표(270)로 도시된다. 디스크가 회전함에 따라, 공기는 채널(246)로 흐르고 수렴 채널(253)로 집중한다. 수렴 채널 내에서, 기류(270)는 채널 측벽 및 트레일링단부(256)에 의해 국한된다. 공기 흐름(280)은 트레일링 단부(256) 및 패드(252) 위로 강제된다. 패드(252)와 디스크 표면 사이의 공기 흐름의 압축은 양의 압력을 생성하며, 이는 서스펜션에 의해 제공된 사전 부하력과 반대로 작용하며, 변환기(257)의 폴 팁이 디스크 표면에 대해 비행하는 높이를 설정한다.
패드(252)가 실질적으로 단부층(250) 상에 단독으로 배치되기 때문에, 단부층(250) 상의 다양한 소자의 함몰부는 폴 팁 부분에서 측정할 때, 슬라이더(110)의 비행 높이에 실질적으로 적은 영향을 갖는다. 패드(252) 상에 발생된 양의 압력의 크기는 패드의 높이에 의해 결정되지 않지만, 패드의 표면 영역에 의해 결정된다. 패드(252)가 시간이 흐름에 따라 함몰됨에 따라 표면 영역이 일정해 지므로, 패드에 의해 발생한 압력 및 패드의 비행 높이는 일정하게 유지된다. 특히, 열적 폴 팁 함몰부로 인한 비행 높이 상의 폴 팁 함몰부 및 영향은 슬라이더 기판 재료 상에 형성된 트레일링 패드의 현저한 양을 갖는 슬라이더와 비교할 때, 각각 95% 및 70-80% 만큼 감소된 것으로 평가된다. 패드(252)가 전체 슬라이더와 비교하여 상대적으로 적은 표면 영역을 갖기 때문에, 적은 공기 흐름은 패드(252)를 가압하는데 필요하다. 결과적으로, 슬라이더(110)는 슬라이더(110)의 동작 피치가 감소되도록 설계되며, 이는 증가된 피치 및 롤 강성(stiffness)을 증가시키데 기여한다. 증가된 피치 및 롤 강성의 결과로서, 짐벌 토크는 전체 성능에 대한 적은 효과를 갖는다. 통상적으로, 토크는 슬라이더가 디스크의 내부 직경과 외부 직경 사이를 횡단하므로, 슬라이더에 대해 영향을 미친다. 일 실시예에서, 짐벌 토크로 인한 음의 영향은 2-4배의 팩터만큼 감소된다.
도5는 본 발명의 택일적 실시예에 따른 슬라이더(280)의 하부 평면도이다. 도2-4에 도시된 소자와 같이 유사한 번호가 도5에 사용된다. 일 실시예에서, 패드(290)는 단부층(250)으로부터 디스크 표면을 향해 돌출하며 변환기의 폴로 형성되며 실질적으로 단부층(250)에 형성된다. 패드(290)는 채널(253)로부터 유체 흐름을 수용하기 위해 채널(253)의 후면에 근접하게 배치된다. 패드(290)는 U형 모양이고 함몰된 스텝 영역(292)보다 뒤에 위치하며, 단부층(250)의 일부로부터 형성된다. 함몰된 스텝 영역(292)은 예를 들어 0.1 내지 0.5 미크론의 스텝 깊이 만큼 패드(290)로부터의 함몰부이며 스텝 영역(248)에 대한 깊이와 유사하다.
도6은 도5의 슬라이더의 중앙선을 따라 취한 부분 단면도이다. 패드(290)는 주로 변환기로 형성된다. 특히 패드(290)는 하부 실드(260), 공유 폴(262), 상부 폴(264), 절연체(272) 및 센서(276)로 형성된다. 베이스코트층(258)은 스텝 영역(248)으로부터 연장하는 스텝 영역(292)을 포함한다. 공기 흐름(294)은 공기 흐름이 수렴 채널(253) 및 스텝 영역(292)으로 강제되는 채널(246)로부터 이동한다. 공기 흐름(294)이 수렴 채널(253)의 트레일링 단부에 도달할 경우, 공기 흐름은 슬라이더(280)를 가압하고 양력을 제공하는 패드(290) 상에 강제된다.
슬라이더(280)의 실시예를 사용할 때, 열적 폴 팁 함몰부로 인한 비행 높이에 대한 폴 팁 함몰부 및 영향은 슬라이더 기판 재료에 대해 형성된 트레일링 패드의 현저한 양을 갖는 슬라이더와 비교할 경우, 모두 95%만큼 감소되는 것으로 평가된다. 설계된 동작 피치는 패드(290)의 표면 영역이 작기 때문에 감소될 수도 있으며, 이는 전술한 바와 같이 짐벌 토크로부터의 음의 영향을 유도한다. 결과로서, 슬라이더(280)는 능동 비행 높이 제어 메카니즘을 포함하지 않는 디스크 드라이브에 대해 사용될 수 있다. 통상적으로, 이러한 드라이브는 덜 고가이며 비행 높이는 단지 제조시에만 조정된다. 슬라이더(280)는 개선된 디스크 드라이브 성능을 위해 능동 비행 높이 제어 메카니즘에 사용될 수도 있다.
도7은 본 발명에 따른 슬라이더의 일 실시예를 도시한다. 슬라이더(300)는 도1과 관련하여 설명된 슬라이더(110)의 동작과 유사한 방식으로 동작하도록 설계된다. 슬라이더(300)는 디스크 대향 표면(301)을 구비한 기판(303)을 포함한다. 기판(303)은 Al2O3-TiC, AlTiC, TiC, Si, SiC, ZiO2또는 다른 합성 재료 및/또는 이들의 화합물과 같은 전기적으로 도전성인 세라믹 기판 재료같은 소정의 적절한 재료로 형성될 수 있다. 슬라이더 기판(303)은 리딩 에지(302), 트레일링 에지(304) 및 측면 에지(306 및 308)를 포함한다.
디스크 대향면(301)은 리딩 에지(302) 근처에 배치된 리딩 벽(310)을 포함한다. 트렌치(312)는 리딩 벽(310) 뒤에 배치되고 측면 에지(306)로부터 측면 에지(308)로 연장한다. 댐(314)은 트렌치를 트레일링하며 스텝 영역(316) 및 트렌치(318)를 포함한다. 실례로, 벽(310) 및 댐(314)은 영의 깊이를 갖는다. 트렌치(312 및 318)는 1 내지 3 미크론의 깊이인 반면, 단계 영역(316)은 약 0.1 내지 0.5 미크론의 깊이이다. 디스크 대향면(301)은 또한 측면 레일(320 및 322)을 포함한다. 1 내지 3 미크론의 깊이를 갖는 약한 주위 압력 캐비티(323)는 측면 슬라이더(320)와 슬라이더(322) 사이에 배치되며, 댐(314)을 트레일링한다.
측면 레일(320)은 채널(324)의 대향면 상에 배치된 함몰된 채널(324)과 측벽(326 및 328)을 구비한 U형 레일이다. 측벽(326)은 함몰된 리딩 스텝 부분(330)과 트레일링 부분(332)을 갖는다. 측벽(328)은 함몰된 리딩 스텝 부분(334)과 트레일링 부분(336)을 포함한다. 트레일링 부분(332 및 336)은 트레일링 패드(338)를 형성하기 위해 연결된다. 채널(324)은 약 1 내지 3 미크론의 깊이를 갖는다. 통상적으로, 리딩 스텝 부분(330 및 334)은 트레일링 부분(332 및 336)으로부터 함몰된다. 일 실시예에서, 스텝 부분(330 및 334)은 0.3 미크론의 깊이로 함몰되는 반면, 트레일링 부분(332 및 336)은 및 트레일링 패드(338)는 0.1 미크론의 깊이로 함몰된다. 다른 깊이가 사용될 수도 있다.
수렴 채널(340)은 레일(320)의 트레일링 단부에 형성된다. 수렴 채널(340)은 리딩 채널 단부(342), 채널 측벽(344 및 346), 트레일링 채널 단부(348) 및 채널 플로어(350)를 포함한다. 리딩 채널 단부(342)는 채널(324)로부터 유체 흐름으로 개방된다. 채널 측벽(344 및 346) 및 트레일링 채널 단부(348)는 유체 흐름에 대해 폐쇄됨으로써, 채널의 수렴 특성 및 트레일링 패드(338) 위로의 유체 흐름을 강제한다. 채널 플로어(350)는 비록 다른 깊이가 사용될 수도 있지만, 0.3 미크론의 깊이를 갖는다.
측면 레일(322)은 함몰된 채널(352) 및 측벽(354)을 포함하며 채널(352)의 대향 측면에 배치된다. 채널(352)은 약 1-3 미크론의 깊이를 갖는다. 측벽(356)은 함몰된 리딩 스텝 부분(362) 및 트레일링 부분(364)을 포함한다. 일 실시예에서, 스텝 부분(358 및 362)은 0.3미크론의 길이를 가지며, 트레일링 부분(360 및364)은 0.1미크론의 길이를 갖는다. 트레일링 부분(360 및 364)은 트레일링 패드(366)와 연결된다. 트레일링 패드(366)는 실질적으로 단부층(368) 상에 단독으로 형성된다. 단부층(368)은 트레일링 에지(304)에서 슬라이더 몸체부(303)에 부착되며 베이스코트층(369), 변환기층(370) 및 오버코트층을 포함한다. 트레일링 패드(366)는 대부분 변환기층에 형성되며 영의 깊이를 갖는다. 변환기층의 잔류 부분(374)은 캐비티(323)에 대해 유사한 깊이로 함몰되거나, 패드(366)와 관련하여 1 내지 3의 깊이로 함몰된다.
스텝 영역(376) 및 수렴 채널(378)은 레일(322) 내에 형성된다. 스텝 영역(376)은 채널(352)로부터의 유체 흐름 및 스텝 영역(376)으로부터 채널(378)로의 유체 흐름을 수용한다. 패드(366)는 채널(378)의 후면 부근에 배치된다. 채널(378)은 리딩 채널 단부(380), 측벽(352 및 384), 트레일링 채널 단부(366) 및 채널 플로어(388)를 포함한다. 리딩 채널 단부(380)는 스텝 영역(376) 및 채널(352)로부터의 유체 흐름에 대해 개방된다. 채널 측벽(382 및 384) 및 트레일링 채널 단부(386)는 유체 흐름에 대해 폐쇄적이어서, 채널의 수렴 특성을 형성하고 트레일링 패드(366) 위로의 유체 흐름을 강제한다. 따라서, 유체 흐름은 패드(366)를 가압하고 슬라이더에 양력을 제공한다. 채널 플로어(388)는 비록 다른 깊이가 사용될 수도 있지만 약 0.3 미크론의 깊이를 가진다. 부가적으로, 스텝 영역(376)은 스텝 채널 플로어(388)와 유사한 깊이이거나 상이할 수도 있다.
도8은 본 발명의 택일적 실시예에 따른 슬라이더(400)를 도시한다. 슬라이더(400)는 도1과 관련하여 설명된 슬라이더(110)의 동작과 유사한 방식으로 동작하도록 설계된다. 슬라이더(400)는 디스크 대향 표면(403)을 구비한 기판(402)을 포함한다. 기판(402)은 Al2O3-TiC, AlTiC, TiC, Si, SiC, ZiO2또는 다른 합성 재료 및/또는 이들의 화합물과 같은 전기적으로 도전성인 세라믹 기판 재료같은 소정의 적절한 재료로 형성될 수 있다. 기판(402)은 리딩 에지(404), 트레일링 에지(406) 및 측면 에지(408 및 410)를 포함한다.
디스크 대향면(403)은 리딩 에지(404) 부근에 배치된 리딩 벽(410)을 포함한다. 두 개의 리딩 패드(412 및 414)는 리딩 벽(410) 뒤에 배치된다. 리딩 패드(412 및 414)는 각각 스텝 표면(416 및 418)을 포함한다. 일 실시예에서, 리딩 벽(410) 및 리딩 패드(412 및 414)는 약 0.002 미크론만큼 베어링 플레인으로부터 돌출한다. 스텝 표면(416 및 418)은 약 0.148 미크론의 깊이를 갖는다. 패드(412 및 414)는 슬라이더(400)를 가압하고 슬라이더(400)에 동작 피치를 제공한다.
슬라이더(400)는 내부 측벽(420 및 422) 및 중앙 벽(424)을 더 포함한다. 수평벽(425)은 내부 측벽(420)으로부터 패드(412)의 트레일링 단부로 연장한다. 유사하게, 추가의 수평벽(426)은 내부 측벽(422)으로부터 패드(414)의 트레일링 단부로 연장한다. 내부 측벽(420)은 리딩 스텝 부분(427), 돌출 중앙 부분(428), 함몰된 중앙 부분(430) 및 트레일링 부분(432)을 포함한다. 내부 측벽(422)은 유사하게 구성되며 리딩 부분(440), 돌출 중앙 부분(442), 함몰된 중앙 부분(444) 및 트레일링 부분(446)을 포함한다. 중앙 벽(424)은 리딩 돌출 부분(444) 및 트레일링 부분(450)을 포함한다. 트레일링 부분(432, 446 및 450)은 트레일링 함몰된 표면 패드(452)를 형성하기 위해 부근의 트레일링 에지(406)에 연결된다. 트레일링 부분은 함몰된 표면 패드(452)를 향해 굽어져서 결합되기 전에 측벽(408 및 410)을 향해 각각 외부로 굽어진다. 일 실시예에서, 수평벽(425 및 426), 리딩 스텝 부분(427), 함몰된 중앙 부분(430), 리딩 스텝 부분(440) 및 함몰된 중앙 부분(444)은 모두 약 0.148 미크론의 유사한 깊이를 갖는다. 돌출 중앙 부분(428 및 442) 및 리딩 돌출 부분(448)은 약 0.002 미크론만큼 베어링 플레인 위로 돌출한다. 트레일링 부분(432, 446 및 450) 및 함몰된 패드(452)는 모두 0.016 미크론의 깊이를 갖는다. 다른 깊이는 다른 실시예에서 사용될 수 있다.
채널(454)은 내부 측벽(420)과 중앙 벽(424) 사이에 배치된다. 유사한 채널(456)이 내부 측벽(422)과 중앙 벽(424) 사이에 배치된다. 스텝 영역(458)은 내부 측벽(420)과 중앙 벽(424) 사이에 배치되며, 다른 스텝 영역(460)은 내부 측벽(422)과 중앙 벽(424) 사이에 배치된다. 스텝 영역(458 및 460)은 각각 채널(454 및 456)의 트레일링 단부에 위치된다. 스텝 영역(458 및 460)은 트레일링 부분(432 및 446)이 각각 측면 에지(408 및 410)를 향해 굽어지는 포인트에서 시작한다. 채널(454 및 456)은 실례로 각각 4 미크론의 깊이를 가지며, 스텝 영역(458 및 460)은 0.148 미크론의 깊이를 갖는다.
측면 레일(462)은 측면 에지(408) 부근에 위치되며, 추가의 측벽(464)이 측면 에지(410) 부근에 위치된다. 수평 벽(466)은 내부 측벽으로부터 레일(462)로 연장한다. 추가의 수평 벽(468)은 내부 측벽(422)으로부터 레일(464)로 연장한다.측면 레일(462)은 U형이며 함몰된 채널(470)을 포함한다. 채널(470)은 리딩 채널 단부(472), 채널 측벽(474 및 476) 및 트레일링 단부(478)를 포함한다. 리딩 채널 단부(472)는 유체 흐름에 대해 개방적이지만, 채널 측벽(474 및 476) 및 트레일링 단부(478)는 유체 흐름에 대해 폐쇄적이다. 측면 레일(464)은 U형이며 함몰된 채널(480)을 포함한다. 채널(480)은 리딩 채널 단부(482), 채널 측벽(484 및 486) 및 트레일링 단부(488)를 더 포함한다. 리딩 채널 단부(482)는 유체 흐름에 대해 개방적이며, 채널 측벽(484 및 486) 및 트레일링 채널 단부(488)는 유체 흐름에 대해 폐쇄적이다. 함몰 영역(490)은 측면 레일(462)과 내부 측면 레일(420) 사이에, 그리고 수평 벽(466) 뒤에 배치된다. 추가로, 함몰 영역(492)은 측면 레일(464)과 내부 측벽(422) 사이에, 그리고 수평 벽(408) 뒤에 배치된다. 비록 다른 깊이가 사용될 수도 있지만, 수평 벽(466 및 468)은 0.002 미크론만큼 베어링 플레인 위로 돌출한다. 레일(460 및 462)은 0.148 미크론의 깊이를 가지며 채널(470 및 480)은 4 미크론의 깊이를 갖는다. 함몰 영역(490 및 492)은 1.951 미크론의 유사한 깊이를 갖는다.
단부층(494)은 기판(402)에 부착되며 실질적으로 그 위에 단독으로 형성된 패드(496)를 포함한다. 단부층(494)은 도2-4의 단부층(250)과 구조상 유사하다. 패드(496)는 실례로 설명된 실시예에서 변환기 폴 팁으로 형성되지만, 다른 변경이 사용될 수도 있다. 패드(496)는 유체 흐름을 수용하기 위해 트레일링 함몰 패드(452)의 후면 부근에 배치된다. 추가로, 단부층(494)의 일부분(497)은 패드(496)의 함몰된 전방부이다. 수평 부분(498) 및 코너 부분(499)은 또한패드(496)와 관련하여 함몰된다. 패드(496)는 베어링 플레인과 공면이며, 함몰된 부분(497)은 함몰된 트레일링 패드(452)와 유사한 0.016 미크론의 깊이를 갖는다. 수평 부분(498)은 1.951 미크론의 깊이를 가지며, 코너 부분(499)은 4 미크론의 깊이를 갖는다.
전술한 실시예가 2배 내지 4배의 롤, 피치 및 사전 부하에 대한 감소된 민감도를 갖는 것은 무의미하다. 추가로, 슬라이더는 폴 팁 함몰부 및 온도 폴 팁 함몰부에 대해 약 2.5배의 적은 민감도를 갖는다.
요약하면, 리딩 표면, 트레일링 표면, 제1 및 제2 측면 에지(206 및 208, 306 및 308, 408 및 410), 후면 및 후면과 마주하는 디스크 대향 표면(201, 301, 403) 기판(200, 303, 402) 헤드 슬라이더(110, 280, 300, 400)가 제공된다. 디스크 대향 표면(201, 301, 403)은 베어링 플레인 및 베어링 플레인으로부터 함몰된 함몰 영역(248, 253, 292, 378, 388, 452, 497)을 포함한다. 단부층(250, 368, 494)은 기판(200, 303, 402)의 트레일링 표면에 부착된다. 단부층(250, 368, 494)은 통상적으로 베어링 플레인에 평행한 단부층(250, 354, 494) 상에 실질적으로 단독으로 형성된 베어링 패드(252, 290, 366, 494)를 포함한다. 베어링 패드(252, 290, 366, 496)는 함몰 영역(248, 253, 292, 378, 388, 452, 497)으로부터의 유체 흐름을 수용하기 위해 함몰 영역(248, 253, 292, 378, 388, 452, 497)의 후면 부근에 배치된다.
게다가, 헤드 슬라이더(110, 280, 300, 400)는 제1 재료를 포함하고 베어링 플레인으로부터 함몰?? 함몰 영역(248, 253, 378, 388, 452, 497) 및 베어링 플레인을 갖는 전면부(200, 303, 402)를 포함한다. 후면부(250, 368, 494)는 전면부(200, 303, 402)에 부착되고 제1 재료와는 상이한 제2 재료를 포함한다. 후면부(250, 368, 494)는 또한 함몰 영역(248, 253, 378, 388, 452, 497)으로부터의 기류를 수용하기 위해 함몰 영역 부근에 배치되고 그로부터 돌출된 패드(252, 290, 366, 494)를 포함한다.
또한, 헤드 슬라이더(110, 380, 300)는 리딩 에지(202, 302), 트레일링 에지(204, 304), 후면 및 후면과 마주하는 디스크 대향면(201, 301)을 포함하는 기판(200, 303)을 포함한다. 디스크 대향면(201, 301)은 베어링 플레인을 갖는다. 함몰된 수렴 채널(253, 378)은 디스크 대향면(201, 301)에 배치되고 베어링 플레인으로부터 함몰된다. 수렴 채널(253, 378)은 유체 흐름에 대해 개방된 단부 및 베어링 플레인과 공면인 측면 벽을 포함한다. 베이스코트/변환기/오버코트층(250, 368)은 트레일링 에지(204, 304)에서 기판(200, 303)에 부착된다. 추가로, 패드(252, 290, 366)는 베이스코트/변환기/오버코트층(250, 368)에 실질적으로 단독으로 형성되며, 베어링 플레인과 공면이다. 패드(252, 290,366)는 함몰된 수렴 채널(253, 378)로부터의 유체 흐름에 폐쇄적이다.
본 발명의 다양한 실시예의 특성 및 장점이 본 발명의 다양한 실시예의 구성 및 기능의 설명과 함께 전술되었지만, 이러한 설명은 단지 일례이며, 첨부된 청구항의 범위 내에서 다양한 변경이 가능함을 알아야 한다. 예를 들어, 특정 소자는 본 발명의 사상에서 벗어나지 않고, 디스크 드라이브 시스템에 대한 특정 응용에 의존할 수도 있다. 추가로, 비록 전술한 실시예가 셀프-로딩 타입의 슬라이더에관한 것이나, 본 발명의 기술이 본 발명의 기술 사상에서 벗어나지 않고 양의 압력 타입의 공기 베어링 슬라이더(PPABs)에 적용될 수 있다. 또한 각각의 실시예는 판독/기록 헤드를 구비한 판독/기록 슬라이더로 구성되거나, 예를 들어 하나 이상의 접촉-센싱 변환기를 구비한 글라이더 헤드 슬라이더로서 구성될 수 있다. 부가적으로, 표면은 다양한 상대적인 깊이를 가질 수 있으며 예를 들어 테이퍼와 같은 다양한 수직 구조를 가질 수 있다.
본 발명의 실시에 의해, 종래 기술에 비해 디스크 헤드 슬라이더의 비행 높이 및 비행 높이 조절의 민감도를 감소시키는 효과를 거둘 수 있다.

Claims (24)

  1. 헤드 슬라이드로서,
    리딩 표면, 트레일링 표면, 제1 및 제2 측면 에지, 후면, 및 상기 후면과 마주하는 디스크 대향면을 구비한 기판을 포함하는데, 상기 디스크 대향면은 상기 베어링 및 상기 베어링 플레인으로부터 함몰된 함몰 영역을 구비하며; 및
    상기 기판의 트레일링 표면에 부착된 단부층을 포함하며, 상기 단부층은 상기 단부층 상에 실질적으로 단독으로 형성되고 상기 베어링 플레인에 통상적으로 평행한 베어링 패드를 포함하며, 상기 베어링 패드는 상기 함몰 영역으로부터의 유체 흐름을 수용하기 위해 상기 함몰 영역의 후면 부근에 배치된 헤드 슬라이더.
  2. 제1항에 있어서, 리딩 단부, 측벽, 트레일링 단부 및 채널 플로어를 포함한 수렴 채널을 더 포함하며, 상기 채널 플로어는 함몰 영역을 형성하고, 상기 리딩 단부는 상기 유체 흐름에 개방적이고 상기 트레일링 단부는 상기 유체 흐름에 폐쇄적이며, 상기 베어링 패드는 상기 트레일링 단부의 후면 부근에 배치된 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  3. 제2항에 있어서, 상기 측벽은 상기 측벽이 상기 단부층을 향해 연장하면서 비수렴적인 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  4. 제3항에 있어서, 상기 비수렴 측벽은 상기 베어링 플레인과 공면인 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  5. 제1항에 있어서, 상기 단부층은 상기 베어링 패드의 일부를 형성하는 변환기층을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  6. 제1항에 있어서, 상기 베어링 패드의 일부는 알루미나 오버코트층을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  7. 제1항에 있어서, 상기 베어링 패드는 상기 단부층으로부터 돌출한 실드를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  8. 제6항에 있어서, 상기 단부층은 상기 실드를 향한 함몰 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  9. 제1항에 있어서, 상기 함몰 영역은 제1 깊이의 스텝 영역 및 상기 제1 깊이 보다 더 깊은 제2 깊이의 채널을 포함하며, 상기 채널은 상기 스텝 영역보다 상기 리딩 에지에 밀접하게 배치된 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  10. 제1항에 있어서, 상기 베어링 패드는 상기 슬라이더의 폭의 중앙 부근에 배치된 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  11. 제1항에 있어서, 상기 베어링 패드는 상기 제1 및 제2 측면 에지 중 하나 부근에 배치된 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  12. 제1항에 있어서, 상기 베어링 패드는 U형인 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  13. 제1항에 있어서, 상기 함몰 영역은 약 0.1 내지 0.5 미크론의 깊이인 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  14. 제1항에 있어서, 상기 베어링 패드는 상기 베어링 플레인과 공면인 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  15. 제1 재료를 포함하며, 베어링 플레인 및 상기 베어링 플레인으로부터 함몰된 함몰 영역을 갖는 전면부; 및
    상기 전면부에 부착되고 상기 제1 재료와는 상이한 제2 재료를 포함하며, 상기 함몰 영역으로부터의 기류를 수용하기 위해 상기 함몰 영역으로부터 돌출하고 인접하게 배치된 패드를 구비한 후면부를 포함하는 헤드 슬라이더.
  16. 제15항에 있어서, 상기 함몰 영역은 수렴형 채널이며, 상기 전면부에 형성된 비수렴형 측벽을 구비하고 상기 베어링 패드에 연결된 헤드 슬라이더.
  17. 제16항에 있어서, 상기 측벽은 상기 베어링 플레인과 공면인 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  18. 제15항에 있어서, 상기 함몰 영역은 제1 깊이의 스텝 영역 및 상기 제1 깊이 보다 더 깊은 제2 깊이의 채널을 포함하며, 상기 채널은 상기 스텝 영역보다 상기 리딩 에지에 밀접하게 배치된 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  19. 제15항에 있어서, 상기 함몰 영역은 베어링 플레인으로부터 약 0.1 내지 0.5 미크론만큼 함몰된 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  20. 제15항에 있어서, 상기 패드는 U형인 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  21. 제15항에 있어서, 상기 제1 재료는 Al2O3-TiC, AlTiC, TiC, Si, SiC, ZiO2중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  22. 제15항에 있어서, 상기 제2 재료는 적어도 부분적으로 알루미나를 포함하는것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  23. 리딩 에지, 트레일링 에지, 후면, 및 상기 후면과 마주하며 베어링 플레인을 갖는 디스크 대향면;
    상기 베어링 플레인으로부터 함몰되고 상기 디스크 대향면에 배치된 함몰된 수렴형 채널을 포함하는데, 상기 수렴형 채널은 유체 흐름에 개방적인 리딩 단부, 상기 베어링 플레인과 공면인 상기 측벽 및 상기 유체 흐름에 폐쇄적인 트레일링 단부를 포함하며;
    상기 트레일링 단부를 따라 상기 기판에 부착된 베이스코트/변환기/오버코트층; 및
    상기 베이스코트/변환기/오버코트층에 실질적으로 단독으로 형성되고, 상기 수렴형 채널의 트레일링 단부의 후면 부근에 배치된 패드를 포함하는 헤드 슬라이더.
  24. 제23항에 있어서, 상기 수렴형 채널보다 상기 리딩 에지에 더 근접한 디스크 대향 표면 상에 배치된 함몰 영역을 더 포함하며, 상기 수렴형 채널은 제1 깊이이며 상기 함몰 영역은 상기 제1 깊이보다 더 깊은 제2 깊이인 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
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