JP2893597B2 - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

磁気ヘッドの製造方法

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    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion

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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、負圧スライダを有する磁気ヘッドの製造方
法に関する。
〈従来の技術〉 従来より、コンピュータ用磁気ディスク装置には、磁
気ディスクとスライダとの間に空気ベアリングを発生さ
せて、相対的に高速移動させながら、読み書きを行なう
浮動型の磁気ヘッドが用いられている。この種の磁気ヘ
ッドにおいて、磁気ディスクとの間の磁気的インターフ
ェースを確保する手段として、バネ荷重システムを用い
たものと、スライダに発生する負圧を利用する負圧型の
ものとが知られている。本発明は、これらの２種類のタ
イプのうち、負圧型磁気ヘッドを開示するものである。
負圧型磁気ヘッドは、スライダに発生する負圧を利用
した自己装荷型磁気ヘッドであり、バネ荷重機構が不要
であること、低負荷動作をすること等の利点がある。そ
の従来技術としては、例えば特開昭58-35765号公報に開
示されたものが知られている。第８図は上記公開公報に
開示された磁気ヘッドを示し、１はスライダ、21、22は
磁気変換素子である。スライダ１はセラミック構造体で
なり、その一面側に、２本のレール部101、102を間隔を
隔てて設けると共に、レール部101、102の端部に磁気変
換素子21、22を設けてある。
更に、レール部101、102の相互間には、負圧発生部と
なる凹部103が設けられている。凹部103は、その一端側
において、底面104がスライダ端部105に連なり、他端側
では、表面に向かってほぼ90度の角度で急激に立ち上る
垂直な壁面106となっている。
上述の負圧型磁気ヘッドは、第９図に示すように、磁
気ディスク３との組合せにおいて、矢印ａで示す空気の
流れ方向に対して、磁気変換素子21、22のある側が空気
流出側となり、反対側が空気流入側となる。この時、凹
部103に発生する負圧Flにより、スライダ１が磁気ディ
スク３の方向に引付けらて、微小な空気ベアリングが形
成される。
〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、特開昭58-35765号公報に開示された磁
気ヘッドは、負圧発生部となる凹部103が、空気流入側
で表面に向かってほぼ90度の角度で急激に立ち上る垂直
な壁面106となっているため、凹部103を、イオンミリン
グ等の手段によって形成せざるを得ず、ワイヤーソーや
回転砥石等による切断加工手段を採用することができな
い。スライダ１は難加工性のセラミック構造体で構成さ
れており、かかるスライダ１に対して、イオンミリング
によって凹部103を加工しなければならない従来の磁気
ヘッドでは、凹部103の加工に長時間を要し、能率が悪
く、量産性に欠けるという問凝点を回避することができ
ない。
そこで、本発明の課題は上述する従来の問題点を解決
し、負圧発生用の凹部の加工が容易で量産他の高い磁気
ヘッドの製造方法を提供することである。
〈課題を解決するための手段〉 上述する課題解決のため、本発明に係る製造方法は、
磁気ヘッドを製造するに当たり、前記凹部を、ワイヤー
ソーを用いて形成する工程を含む。
前記ワイヤーソーは、刃先が直線状になっていて、前
記ワイヤーソーの直線状刃先を、前記スライダの前記一
表面に対して、空気流出端側から空気流入側に向うにつ
れて上昇する一定の勾配で傾斜させて配置する。そし
て、この状態で、前記ワイヤーソーを空気流出側から空
気流入側に向かう方向、または、その逆方向に移動さ
せ、前記スライダの前記表面に、前記負圧発生用の凹部
を形成するためのワイヤーソー加工を行う。
〈作用〉 上記製造方法によれば、負圧発生用の凹部の加工形成
に要する時間が短縮され、作業性が向上し、量産性が高
くなる。
しかも、上述した加工法を用いると、凹部の底面と、
正圧発生用レール部の側面とを、常に、直角に交差させ
ることができるので、一定の負圧特性を有する磁気ヘッ
ドを再現性よく製造することができる。
本発明に係る製造方法は、磁性体でなるスライダに、
コイルを有するＵ状コアを装着したウエンチェスタ型磁
気ヘッド、非磁怯セラミック構造体でなるスライダの溝
内に磁気変換素子を挿着したコンポジット型磁気ヘッ
ド、スライダの上に半導体製造テクノロジーと同様のプ
ロセスにしたがって薄膜磁気変換素子を形成した薄膜磁
気ヘッド、及び、メタル．イン．ギャップ型（以下MIG
型と称する）磁気ヘッド等に広く適用できる。
また、フロッピーディスク等のフレキシブル磁気ディ
スクとの組合せで使用される接触型のもの、及び、ハー
ド磁気ディスクとの組合せで使用される浮上型の何れの
タイプにも適用できる。
更に、テーパ面の有無、レール部の本数等による制限
を受けることなく、幅広く適用できる。
〈実施例〉 第１図は本発明に係る製造方法によって得られる磁気
ヘッドの斜視図である。図において、第８図と同一の参
照符号は同一性ある構成部分を示している。
負圧発生用の凹部103の底面104は、空気流出側ではス
ライダ端部105に達しており、空気流入側では表面に向
かって緩い勾配をもって立ち上がる傾斜面となってい
る。実施例に示す磁気ヘッドは、凹郡103の底面104の全
体が、空気流入側に向う程に浅くなる一定の勾配で傾斜
する傾斜面となっている。
凹部103の両側部には、空気の流れ方向に沿う２つの
レール部101、102が設けられており、レール部101、102
の空気流出側には磁気変換素子21、22が設けられてお
り、空気流入側にはテーパ面107が設けられている。レ
ール部101、102の表面は平坦面となっているが、第８図
の従来例と同様のクラウン状であってもよい。
磁気変換素子21、22は、薄膜磁気変換素子で構成され
ている。
第２図は磁気ディスクとの組合せた状態での断面図で
ある。第２図に示すように、磁気ディスク３との組合せ
においては、空気の流れ方向（ａ）に対して、テーパ面
107のある側が空気流入側となり、磁気変換素子21、22
のある側が空気流出側となるように組合される。この
時、凹部103に発生する負圧Flにより、スライダ１が磁
気ディスク３の方向に引付けらて、微小な空気ベアリン
グが形成される。
図３は上述した磁気ヘッドを製造する方法を示してい
る。図示するように、ワイヤーソー４を使用して切削加
工を施すことにより、凹部103を形成する。ワイヤーソ
ー４は、図３に示すように、刃先が直線状になってい
る。このワイヤーソー４の直線状刃先を、スライダ１の
一表面に対して、空気流出端側から空気流入側に向うに
つれて上昇する一定の勾配で傾斜させて配置する。この
状態で、ワイヤーソー４を空気流出側から空気流入側に
向かう矢印blの方向、または、その逆方向の矢印b2の方
向に移動させ、スライダ１の表面に、負圧発生用の凹部
を形成するためのワイヤーソー加工を行う。
上記製造方法によれば、凹部103の底面104は、所定の
勾配をもって傾斜する傾斜面となる。しかも、ワイヤー
ソーを用いると、凹部103の底面104と、正圧発生用レー
ル部101、102の側面とを、常に、直角に交差させること
ができるので、一定の負圧特性を有する磁気ヘッドを再
現性よく製造することができる。
次に本発明の適用によって得られる他の磁気ヘッドの
例を、第４図〜第７図を参照して説明する。まず、第４
図に示す磁気ヘッドは、空気流入側の稜角部109を弧状
に形成し、テーパ面を省略した点で、第１図及び第４図
の実施例と異なる。本実施例は、テーパ面の有無による
制限を受けないことを示唆している。
第５図は複数の凹部103、103を設けた例を示してい
る。101、102及び109はレール部、２は磁気変換素子で
ある。本実施例は、凹部103が複数でもよいことを示唆
している。
第６図はレール部101、102に凹部103を設けた例を示
している。
第７図は、コンポジット型磁気ヘッドに本発明を適用
した例を示し、２はMIG型等の磁気変換素子である。
図示は省略したが、ウエンチェスタ型磁気ヘッドにも
本発明は適用できるし、面内記録再生用磁気ヘッド、垂
直記録再生用磁気ヘッドまたは非接触型磁気ヘッドもし
くは接触型磁気ヘッドの何れにも適用できる。
〈発明の効果〉 以上述べたように、本発明によれば、次のような効果
を得ることができる。
（ａ）負圧発生用凹部を容易に形成でき、量産性に富む
負圧型磁気ヘッドの製造方法を提供できる。
（ｂ）負圧発生用凹部の底面と、正圧発生用レール部の
側面とを、常に、直角に交差させ、一定の負圧特性を有
する磁気ヘッドを再現性よく製造する方法を提供するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係る製造方法の適用によって得られる
磁気ヘッドを媒体対向面側から見た斜視図、第２図は磁
気ディスク装置として使用した場合の作用を説明する部
分断面図、第３図は第１図に示した磁気ヘッドの凹部加
工工程を示す図、第４図〜第７図は本発明に係る本発明
の適用によって得られる磁気ヘッドの更に別々の例を示
す斜視図、第８図は従来の磁気ヘッドの斜視図、第９図
は従来の磁気ヘッドを磁気ディスク装置として使用した
場合の作用を示す図である。 １……スライダ ２、21、22……磁気変換素子 103……凹部 104……底面

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】負圧スライダを有する磁気ヘッドを製造す
    る方法であって、 前記スライダは、一表面側に負圧発生用の凹部を有して
    おり、 前記凹部の底面は、その全体が、空気流出端側から空気
    流入側に向う程に浅くなる一定の勾配で傾斜する傾斜面
    となっており、 前記磁気ヘッドを製造するに当たり、前記負圧発生用の
    凹部を、ワイヤーソーを用いて形成する工程を含み、 前記ワイヤーソーは、刃先が直線状になっていて、前記
    ワイヤーソーの直線状刃先を、前記スライダの前記一表
    面に対して、空気流出側から空気流入側に向うにつれて
    上昇する一定の勾配で傾斜させて配置し、 この状態で、前記ワイヤーソーを空気流出側から空気流
    入側に向かう方向、または、その逆方向に移動させ、前
    記スライダの前記一表面に、前記負圧発生用の凹部を形
    成するためのワイヤーソー加工を行う 磁気ヘッドの製造方法。
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