KR20030096318A - 웨이퍼 반송용 로봇의 교시방법 및 교시용 플레이트 - Google Patents

웨이퍼 반송용 로봇의 교시방법 및 교시용 플레이트 Download PDF

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KR20030096318A KR10-2003-7013435A KR20037013435A KR20030096318A KR 20030096318 A KR20030096318 A KR 20030096318A KR 20037013435 A KR20037013435 A KR 20037013435A KR 20030096318 A KR20030096318 A KR 20030096318A
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가부시키가이샤 야스카와덴키
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Abstract

간단하고 저렴한 장치를 이용한 웨이퍼 반송용 로봇을 교시하는 방법으로서, 프런트 엔드 내부의 청결 상태를 유지하고, 또한 교시작업에 드는 노력을 줄인다.
웨이퍼 반송용 로봇(1)의 핸드(2) 상에 위치결정용 마크(3)를 설치하고, 위치결정용 마크(3)를 촬영하는 카메라(6)를 갖는 교시용 플레이트(5)를 소정의 위치에 배치한다. 카메라(6)가 위치결정용 마크(3)를 촬영하고, 카메라(6)의 화상 내에서 위치결정용 마크(3)가 소정의 위치를 차지하도록 오퍼레이터가 핸드(2)의 위치를 수정하여, 핸드(2)의 수평면 내에서의 위치를 결정한다.

Description

웨이퍼 반송용 로봇의 교시방법 및 교시용 플레이트{WAFER CARRYING ROBOT TEACHING METHOD AND TEACHING PLATE}
반도체 제조 과정에 있어서는 웨이퍼를 항상 고도로 청결한 환경에 두어야 할 필요가 있기 때문에, 웨이퍼를 FOUP(Front Opening Unified Pod)나 SMIF(Standard Mechanical Interface Pod)라고 불리는 밀봉된 웨이퍼 카세트에 격납하여 각 처리장치로 반송한다. 또한, 외부보다 청결한 프런트 엔드라고 불리는 구획을 통해 웨이퍼 카세트로부터 처리장치로 웨이퍼가 건네진다.
도 10은 프런트 엔드의 개념도이다. 도 10에서, 부호 1은 프런트 엔드(20) 내에 배치된 웨이퍼 반송용 로봇을 나타낸다. 프런트 엔드(20)는 처리장치(21)에 부속한 일종의 에어 로크(air lock)이고, 처리장치(21)가 외부와 연락할 수 있도록 하는 구획이다. 웨이퍼(22)는 웨이퍼 카세트(4)에 격납되어 프런트 엔드(20)의 프런트 측으로 반송된다. 웨이퍼 카세트(4)와 프런트 엔드(20) 사이에는 게이트(미도시)가 설치되어, 웨이퍼 카세트(4) 내부의 웨이퍼(22)를 웨이퍼 반송용 로봇(1)이 픽업하여 처리장치(21)로 반입하도록 개방된다.
그런데, 티칭플레이백(teachingplayback) 형 로봇을 교시하는 작업에서는, 오퍼레이터가 로봇 근처에서 움직임을 시각적으로 관찰하면서 교시하는 것이 일반적이다. 그러나, 프런트 엔드 장치의 폭이 협소하여 오퍼레이터가 프런트 엔드 장치를 출입하는 것이 곤란하고, 내부의 청결도를 유지하기 위하여 되도록이면 사람이 프런트 엔드로 출입하는 것을 방지하기 위해서 오퍼레이터가 프런트 엔드에 접근할 수 없도록 함으로써, 종래의 방법에 따라 로봇을 교시하는 작업이 곤란하였다.
상술한 문제점을 해결하기 위해서, 로봇의 핸드부에 거리센서와 카메라를 설치하고 작업 스테이지측에 마크를 설치하여, 거리센서의 거리정보와 카메라에 의해 픽업되는 이미지 내의 마크를 관찰하면서 로봇 위치를 교시하는 방법이 일본국 특개평 제08-071973호에 제안되어 있다.
그러나, 특개평 제08-071973호에 제안된 방법에 따르면, 거리센서와 카메라의 두 종류의 장치가 수직과 수평 방향 각각에 필요하게 되고, 이는 비용 상승의 문제를 초래한다.
이러한 장치는 로봇의 선단에 설치되어 있어서 로봇과 함께 이동하기 때문에, 로봇 주위에 신호선이 따라 다니는 문제가 발생할 수 있다.
교시를 하는 때 이외에는 이러한 종류의 장치가 불필요하기 때문에, 분리할 수 있어야 하지만, 장치를 제거할 때 발생하는 마모분이 프런트 엔드 내의 청결도를 낮출 수 있다는 문제가 있다.
본 발명은 웨이퍼 반송용 로봇, 특히 웨이퍼 카세트에 수용된 웨이퍼를 웨이퍼 카세트로부터 반출하는 웨이퍼 반송용 로봇을 교시하는 방법 및 본 방법에 이용하는 교시용 플레이트에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 반송 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 핸드의 평면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 교시용 플레이트의 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 흐름도이다.
도 5는 물체, 렌즈 및 상의 관계를 설명하는 설명도이다.
도 6은 위치결정을 수행하기 전의 위치결정용 마크의 화상을 나타내는 도면이다.
도 7은 위치결정을 수행한 후의 위치결정용 마크의 화상을 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 반송장치의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 흐름도이다.
도 10은 프런트 엔드의 개념도이다.
본 발명의 목적은, 간단하고 저렴한 장치를 채택하고 프런트 엔드 내부의 청결도를 유지하는 한편 교시 작업에 힘이 덜 드는 웨이퍼 반송용 로봇의 교시방법을 제공하는 것이다.
상술한 문제점을 해결하기 위해서, 소정의 장소에 탑재된 웨이퍼를 상기 장소로부터 반출하거나, 소정의 장소로 웨이퍼를 반입하는 웨이퍼 반송용 로봇의 교시방법은, 웨이퍼 반송용 로봇의 핸드에 위치결정용 마크를 설치하는 단계, 상기 위치결정용 마크를 촬상하는 카메라를 구비하는 교시용 플레이트를 상기 소정의 장소에 배치하는 단계, 상기 위치결정용 마크를 상기 카메라로 촬영하는 단계, 상기 위치결정용 마크가 상기 카메라에 의해 촬영된 화상 내의 소정의 위치를 차지하도록 상기 핸드의 위치를 오퍼레이터의 조작에 의해 수정하는 단계, 및 수평면 내에서 상기 핸드의 위치를 결정하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 카메라에 의해 촬영된 상기 위치결정용 마크 화상의 초점이 맞도록 상기 핸드의 높이방향에서의 위치를 오퍼레이터의 조작에 의해 조정하고, 상기 초점이 맞는 높이에 기초하여 상기 핸드의 수직방향 위치를 결정한다. 또한, 상기 카메라에 의해 촬영된 상기 위치결정용 마크의 화상에 있어서 상기 위치결정용 마크의 위치와, 상기 핸드를 적절하게 위치시킨 경우에 얻은 상기 화상에 있어서 상기 위치결정용 마크의 위치 사이의 차이를 측정한다. 그리고 상기 측정된 차이를 이용하여 상기 핸드의 위치를 자동으로 보정하여, 수평면 내에서 상기 핸드의 위치결정을 수행한다.
상기 핸드를 수직방향으로 움직이면서, 상기 카메라가 촬영한 상기 위치결정용 마크의 화상에 있어서 화소의 농담에 대한 미분값을 얻고, 상기 미분값이 소정의 문턱값을 초과하는 화소의 수가 최대가 되는 위치에서 상기 핸드를 정지하여, 상기 핸드의 높이를 기준으로 상기 핸드의 수직 방향 위치결정을 수행한다.
또한, 상기 카메라가 촬영한 상기 위치결정용 마크의 화상 크기를 얻어서 소정의 크기와 비교하고, 상기 화상의 크기가 상기 소정의 크기와 같아지도록 상기 핸드를 수직방향으로 이동시켜서, 상기 핸드의 수직 방향 위치결정을 수행한다.
상기 카메라가 촬영한 화상의 신호를 무선으로 송신하는 송신기를 구비하는 상기 교시용 플레이트를 이용하여 상기 웨이퍼 반송용 로봇을 교시한다.
교시용 플레이트는 실제의 웨이퍼의 위치결정을 수행할 수 있도록 한 형상과 치수, 및 웨이퍼 반송용 로봇의 핸드 위치를 결정하는 데 이용되는 마크를 촬영하는 카메라를 구비한다.
교시용 플레이트는 상기 카메라가 촬영한 화상의 신호를 무선으로 송신하는 송신기를 구비한다.
본 발명의 실시예에 대해 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 반송장치의 사시도이다. 도 1에서, 부호 1은 웨이퍼 반송용 로봇을 나타내고, 핸드(2)는 웨이퍼 반송용 로봇의 선단에 설치되어 웨이퍼를 실어 나르는 데 이용되며, 핸드(2) 상에는 위치결정용 마크(3)가 표시되어 있다. 부호 4는 웨이퍼를 수용하는 웨이퍼 카세트를 나타낸다. 부호 5는 실제 웨이퍼의 대용으로서 웨이퍼 카세트에 삽입된 교시용 플레이트를 나타낸다. 부호 6은 교시용 플레이트(5)의 아래쪽을 촬영하도록 설치된 카메라를 나타낸다.
웨이퍼 반송용 로봇(1)은 제어장치(7)에 의해 제어되고, 오퍼레이터는 제어장치(7)에 접속된 조작 박스(8)를 이용하여 핸드(2)를 수직축 주위로 회전시키거나 웨이퍼 카세트(4)에 대해 전후진과 수직으로 상승, 하강을 교시한다. 카메라(6)가 촬영한 영상은 TV 모니터(9)로 보내지고, 오퍼레이터는 TV 모니터(9)의 영상을 확인하면서 웨이퍼 반송용 로봇(1)을 움직여서 교시를 행할 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 핸드의 평면도이다. 핸드(2)는 웨이퍼를 탑재하여 유지하는 평판이고, 위치결정용 마크(3)가 핸드(2)의 상면에 표시되어 있다. 본 발명의 실시예에 따른 위치결정용 마크(3)는 십자 마크이지만, 핸드(2)의 위치와 방향을 특정할 수 있는 형태라면 어떠한 마크라도 좋다. 또한, 사용 조건에 따라 핸드(2)의 상면 뿐 아니라 양쪽에도 마크를 표시할 수 있다.
도 3은 본 발명의 실시예에 다른 교시용 플레이트의 평면도이다. 웨이퍼 반송용 로봇(1)을 교시하기 위해 실제의 웨이퍼 대신에 교시용 플레이트(5)를 삽입할 때, 교시용 플레이트(5)의 위치결정을 실제 웨이퍼와 마찬가지로 수행할 수 있도록, 교시용 플레이트(5)는 실제 웨이퍼와 거의 동일한 직경을 갖는 반원부를 갖는다. 점선은 실제 웨이퍼의 형상을 나타낸다. 참조 부호 6은 교시용 플레이트(5)에 설치된 카메라를 나타낸다. 카메라(6)는 되도록 작은 것이 바람직하다. 카메라(6)는, 핸드(2)가 교시용 플레이트(5) 상에 정확하게 위치한 경우에, 위치결정용 마크(3)가 TV 모니터(9)의 중앙에 나타나도록 배치된다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 흐름도이다.
흐름도를 수행하기 전에, 웨이퍼 카세트(4) 내에서 교시용 플레이트(5)를 정확하게 위치시킨다. 웨이퍼 카세트(4)는 25장의 웨이퍼를 반송하기 위해 동일한 피치로 수직으로 배열된 25단의 슬롯을 갖고, 25단의 슬롯 중 어느 단에 교시용 플레이트(5)를 삽입할지 여부는 미리 결정되어 있다.
단계 101에서, 우선 로봇(1)을 수평방향으로 움직여서 핸드(2)를 웨이퍼 카세트(4) 내의 교시용 플레이트(5)의 아래에 삽입한다. 이 경우에, 수평위치를 미리 계산하기 위해서 오프라인 시뮬레이터 등을 이용한다.
단계 102에서, 조작 박스(8)를 이용하여 로봇(1)을 수직방향으로 움직여서 핸드(2)가 교시용 플레이트(5)에 접근하도록 한다. 이 때, 오퍼레이터는 TV 모니터(9) 상의 카메라(6)가 촬영한 화상을 감시하다가, 위치결정용 마크(3)의 초점이 맞는 시점에서 로봇(1)의 수직 이동을 정지한다.
도 5에 나타난 바와 같이, 초점거리 f를 갖는 렌즈(11)를 이용하여 물체(12)의 상(13)이 촬상장치(미도시) 상에서 초점이 맞도록 한 경우에, 렌즈(11)부터 물체(12)가지의 거리 a와 렌즈(11)부터 상(13)까지의 거리 b 사이에는 다음의 관계가 성립한다.
1 / f = 1 / a + 1 / b (식 1)
즉, 식 1이 성립하는 상태가 초점이 맞는 상태이다. 본 발명의 실시예에 따라, 카메라(6) 렌즈(11)의 초점거리 f는 고정되고, 또한 렌즈(11)부터 촬상장치까지의 거리도 고정되기 때문에, 초점이 맞을 때의 렌즈(11)부터 물체(12)까지의 거리 a는 유일하게 결정된다. 따라서, 교시용 플레이트(5)에 대한 핸드(2)의 수직방향으로의 위치를 단계 102의 조작시에 항상 일정하게 동시에 확인할 수 있다.
또한 단계 103에서, 수평방향으로의 위치가 조정된다. 도 6은 단계 102가 종결된 시점에서 카메라(6)가 촬영한 위치결정용 마크(3)의 화상의 예로서 위치결정용 마크(3)의 위치가 소정의 위치로부터 어긋나 있는 상태를 나타낸다. TV 모니터(9)의 화면을 보면서, 오퍼레이터는, 로봇(1)의 수직축 주위의 회전동작 및 웨이퍼 카세트(4)에 대해 핸드(2)의 전후진동작에 의해 도 7에 나타난 바와 같이 위치결정용 마크(3)의 위치가 화면의 중앙에 위치하도록, 조작 박스(8)를 이용하여 핸드(2)의 수평 위치와 방향을 조정한다.
지금까지 수행된 조작에 의해, 어느 슬롯에 위치한 교시용 플레이트(5)에 대한 핸드(2)의 위치 및 방향을 유일하게 결정한다. 따라서, 단계 104에서, 다른 슬롯(: 교시용 플레이트(5)가 배치되지 않은 슬롯)에 대한 로봇(1)의 각 교시점을 이 상태에서의 핸드(2)의 위치에 근거하여 계산함으로써 얻는다. 즉, 어느 단에 대해 교시하는 데 이용한 위치 데이터를 높이 방향으로 시프트하여 다른 슬롯에 대한 위치 데이터를 얻는다.
따라서, 웨이퍼를 웨이퍼 카세트(4)에서 출입할 때의 로봇(1)의 교시점을 결정할 수 있다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 사시도이다. 본 발명의 본 실시예에 따른 구성은 기본적으로는 도 1에 나타난 것과 유사하지만, 카메라(6)가 촬영한 화상을 화상처리장치(10)가 분석하고, 분석된 결과를 제어장치(7)로 출력한다는 점에서 차이가 있다.
도 9는 본 발명의 이 다른 실시예에 따른 흐름도이다.
단계 201에서, 우선 로봇(1)을 수평방향으로 움직여서 핸드(2)를 웨이퍼 카세트(4)로 삽입한다. 이 경우에, 수평위치를 미리 계산하기 위해서 오프라인 시뮬레이터 등을 이용한다.
단계 202에서, 화상처리장치(10)를 이용하여 화상의 흐려짐 상태를 계측하고, 이 정보에 기초한 수직 동작 명령을 제어장치(7)로 출력한다. 화상의 흐려짐 상태는 화면 전체의 미분값을 계산하여 그 값의 크기를 구함으로써 알 수 있다.
상술한 미분값은, 화상의 명도(농담값)가 공간적으로 변하는 비를 나타내고, 구체적으로는 인접한 화소 사이의 농담값 차이를 나타낸다.
화상을 미분 처리할 때, 윤곽부를 추출한다. 화상의 초점이 맞는 경우에는, 윤곽부가 명확해지기 때문에 그 미분값이 커진다. 따라서, 그 미분값이 소정의 문턱값보다 큰 화소의 수가 최대가 되는 경우에, 화상의 초점이 맞았다고 한다. 그리고, 로봇(1)의 수직동작을 이 시점에서 정지한다.
단계 203에서, 화상처리장치(10)에 의해 위치결정용 마크(3)의 위치와 미리 결정된 위치와의 편차를 구하고, 이렇게 얻은 정보에 따라서 로봇(1)의 회전동작과 전후진동작 명령을 제어장치(7)로 출력한다. 카메라(6)에 의해 촬영된 화상으로부터 위치결정용 마크(3)의 위치와 방향을 얻는 방법은, 적절한 문턱값으로 화상을 이원화(binarize) 또는 무게중심을 계산하는 등의 공지의 화상처리방법 중에서 선택할 수 있다.
최종적으로, 도 7과 같이 위치결정용 마크(3)의 위치가 화면 중앙으로 위치한 때에 로봇(1)의 동작을 정지한다.
단계 204는, 어느 단의 슬롯에 대해 교시한 위치 데이터를 높이 방향으로 시프트하여 다른 각 단의 위치 데이터를 작성하는 단계이다.
핸드(2)의 높이 방향 위치 결정은, 상술한 초점 맞춤을 이용하는 방법 대신에, 카메라(6)로 촬영한 위치결정용 마크(3)의 화상 크기가 소정의 크기가 되는 것에 의해, 핸드(2)의 높이를 자동 조정하는 방법을 이용할 수 있다.
구체적으로는 다음의 (1) 내지 (3)의 순서를 이용할 수 있다.
(1) 핸드(2)가 웨이퍼에 대해 정확하게 위치결정한 때에 카메라(6)로 촬영한 위치결정용 마크(3)의 화상의 크기(예를 들어 위치결정용 마크(3)를 구성하는 선의 폭방향의 화소의 수 등)를 사전에 계산 또는 실험으로 구해 둔다.
(2) 다음으로, 실제 교시를 할 때 위치결정용 마크(3)의 크기를 화상처리장치(10)에서 구하여 미리 구한 값과 비교한다.
(3) 위치결정용 마크(3)의 화상이 크다면 핸드(2)를 하강시키는(교시용 플레이트(5)로부터 멀리하는) 명령을 화상처리장치(10)로부터 제어장치(7)에 출력한다. 위치결정용 마크(3)의 화상이 작으면 핸드(2)를 상승시키는 명령을 출력한다.
도 1 및 도 8은 카메라(6)가 TV 모니터(9) 또는 화상처리장치(10)와 케이블로 접속된 경우의 예를 나타낸다; 그러나, 카메라(6)의 화상신호로서 무선신호를 송신하는 무선 송신기를 교시용 플레이트(5)에 설치함으로써, 카메라(6)를 TV 모니터(9) 또는 화상처리장치(10)에 무선으로 접속할 수도 있다.
본 발명의 상술한 실시예에서는 처리장치(21) 내에서 웨이퍼를 반송하는 교시방법에 대해서 설명하였지만, 본 발명에 따른 방법은 웨이퍼 카세트(4)로부터 웨이퍼를 반출하는 교시에 한정되는 것은 아니다. 처리장치(21) 내 스테이지 상의웨이퍼 대신에 교시용 플레이트(5)를 배치하고 처리장치(21)로부터 웨이퍼를 반출하는 것에 대한 교시에도 물론 적용할 수 있다.
상술한 본 발명에 따르면 이하의 효과를 얻을 수 있다.
카메라가 촬영한 화상을 보면서 로봇의 위치를 교시할 수 있기 때문에, 오퍼레이터가 프런트 엔드로 들어갈 필요가 없다. 카메라가 교시용 플레이트 상에 설치되기 때문에, 로봇측에는 마크만 표시하면 되므로 로봇의 선단에 측정장치를 탑재할 필요가 없어서, 문제의 요인을 제거한다. 또한, 로봇에 장치를 착탈하는 단계가 없기 때문에, 프런트 엔드 내의 청결 상태가 유지될 수 있다.
교시점의 수직방향의 조정은 카메라의 초점 맞추기 또는 위치결정용 마크의 화상 크기를 이용하기 때문에, 거리 센서가 불필요하게 되어 제조 비용이 감소한다.
상술한 효과 이외에도, 화상처리 기술의 이용으로 로봇의 수평과 수직 방향의 자동 조정을 실현하게 되어, 실질적으로 교시 작업에 힘이 덜 드는 효과가 있다.
본 발명은 웨이퍼 반송용 로봇, 특히 웨이퍼 카세트에 수용된 웨이퍼를 웨이퍼 카세트로부터 반출하는 웨이퍼 반송용 로봇을 교시하는 방법 및 본 방법에 이용하는 교시용 플레이트로서 유용하다.

Claims (8)

  1. 소정의 장소에 탑재된 웨이퍼를 상기 장소로부터 반출하거나, 소정의 장소로 웨이퍼를 반입하는 웨이퍼 반송용 로봇의 교시방법으로서,
    상기 웨이퍼 반송용 로봇의 핸드에 위치결정용 마크를 설치하는 단계,
    상기 위치결정용 마크를 촬영하는 카메라를 구비하는 교시용 플레이트를 소정의 장소에 배치하는 단계,
    상기 위치결정용 마크를 상기 카메라로 촬영하는 단계,
    상기 위치결정용 마크가 상기 카메라에 의해 촬영된 화상 내의 소정의 위치를 차지하도록 상기 핸드의 위치를 오퍼레이터의 조작에 의해 수정하는 단계, 및
    수평면 내에서 상기 핸드의 위치를 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송용 로봇의 교시방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 카메라에 의해 촬영된 상기 위치결정용 마크 화상의 초점이 맞도록 상기 핸드의 높이방향에서의 위치를 오퍼레이터의 조작에 의해 조정하고,
    상기 위치결정용 마크의 초점이 맞는 높이에 기초하여 상기 핸드의 수직방향 위치결정을 행하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송용 로봇의 교시방법.
  3. 소정의 장소에 탑재된 웨이퍼를 상기 장소로부터 반출하거나, 소정의 장소로웨이퍼를 반입하는 웨이퍼 반송용 로봇의 교시방법으로서,
    상기 웨이퍼 반송용 로봇의 핸드에 위치결정용 마크를 설치하는 단계,
    상기 위치결정용 마크를 촬상하는 카메라를 구비하는 교시용 플레이트를 소정의 장소에 배치하는 단계,
    상기 위치결정용 마크를 상기 카메라로 촬영하는 단계,
    상기 카메라에 의해 촬영된 상기 위치결정용 마크의 화상에 있어서 상기 위치결정용 마크의 위치와, 상기 핸드를 적절하게 위치시킨 경우에 얻은 상기 화상에 있어서 상기 위치결정용 마크의 위치 사이의 차이를 측정하는 단계,
    상기 측정된 차이를 이용하여 상기 핸드의 위치를 자동으로 보정하는 단계, 및
    수평면 내에서 상기 핸드의 위치결정을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송용 로봇의 교시방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 핸드를 수직방향으로 움직이면서, 상기 카메라가 촬영한 상기 위치결정용 마크의 화상에 있어서 화소의 농담에 대한 미분값을 얻고,
    상기 미분값이 소정의 문턱값을 초과하는 화소의 수가 최대가 되는 위치에서 상기 핸드를 정지하며,
    상기 핸드를 정지한 높이를 기준으로 상기 핸드의 수직 방향 위치결정을 수행하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송용 로봇의 교시방법.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 카메라가 촬영한 상기 위치결정용 마크의 화상 크기를 얻어서 소정의 크기와 비교하고,
    상기 화상의 크기가 상기 소정의 크기와 같아지도록 상기 핸드를 수직방향으로 이동시켜서, 상기 핸드의 수직 방향 위치결정을 수행하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송용 로봇의 교시방법.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 카메라가 촬영한 화상의 신호를 무선으로 송신하는 송신기를 구비하는 상기 교시용 플레이트를 이용하여 상기 웨이퍼 반송용 로봇을 교시하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송용 로봇의 교시방법.
  7. 실제의 웨이퍼와 동일한 위치결정을 수행할 수 있는 형상과 치수, 및
    웨이퍼 반송용 로봇의 핸드 위치를 결정하는 마크를 촬영하는 카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 교시용 플레이트.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 카메라가 촬영한 화상의 신호를 무선으로 송신하는 송신기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 교시용 플레이트.
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