KR20030082557A - 집적 회로 기술을 이용한 감광 센서 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 감광 센서에 관한 것으로, 특히 CMOS 집적 회로 기술을 사용하여 제조된 전자식 이미지 센서에 관한 것이다. 그 센서 (40) 는 광선들 (r1, r2, r3, r4, r5, r6) 을 수신하는 감광면을 형성하는 화소 (44) 들의 어레이를 가지는 기판 (42), 및 그 광선들의 경로에서, 공인된 홀로그램을 가지며 감광면의 법선에 더 근접하도록 공간 분산 기능의 역기능에 대응하는 광학 기능을 가지는 홀로그래픽층 (48) 을 구비하며, 그 광선들은 분산되는 경사입사 강도로 홀로그래픽층에 도달한다. 본 발명은 저가의 카메라, 광학 센서들에 적용할 수 있다.
Description
전자식 카메라에 있어서, 전자식 이미지 센서는 종래의 카메라의 감광막을 대신하고 있다. 이러한 타입의 센서들은 저가의 영상 장치에서 예를 들어, 디지털 카메라에 있어서 대량생산된 디지털 사진 장치 또는 광학 센서에 사용되는 감광면을 구비한다. 포토그래픽 카메라에 대한 실시예들에 있어서, 센서의 감광면은 예를 들어, 라인 당 640 개의 감광 화소를 가지는 480 개의 라인 배열로 이루어져 있다. 각 화소는 그 화소가 수신하는 광 강도 레벨의 함수인 전기 신호를 공급한다. 신호들을 처리하는 전자장치는 센서의 감광면에 투영되는 실제 광 이미지에 대응하는 전자 신호를 생성한다.
도 1 은 16 개의 화소로 이루어진 감광면 (14) 을 구비하며, CMOS 타입의 이미지 센서 (12) 를 이용하는 전자식 카메라 (10) 의 간략화된 실시예를 나타낸다.
전자식 카메라는, 카메라에 의해 조준되는 이미지들로부터의 광을 전자식 센서 (12) 의 감광면에 집중시키는 렌즈 (18) 및 조리개 (20) 를 가지는, 조밀함 때문에 텔리센트릭(telecentric)이 아닌 시스템을 구비한다. 광학 시스템의 광학 축 (ZZ') 에 근접하는 광선 (r1) 은, 센서의 감광면 (14) 에 실질적으로 수직하는 입사 각도를 가지는 반면에, 상기 광학축 (ZZ') 으로부터 떨어져 있는 광선 (r2, r3) 은, 이러한 감광면 (14) 의 법선에 대하여 어떤 경사 각도로 센서의 에지들에 도달한다.
이미지 센서를 생성하는데 기판의 다층이 요구되는 것은, 이미지 센서 (12) 의 화소 (16) 들이 광에 대한 웰 (well) 로서 기능한다는 것을 의미한다. 화소의 감광성 존 (22) 은 이러한 웰들 각각의 하부에 위치한다. 한편으로 높은 화소 효율을 얻기 위하여, 다른 한편으로는 화소들 주위에 도달하는 비사용광을 부분적으로 복구시키기 위하여, 화소의 감광성 존상에 정확하게 광을 집중시키는 것이 필요하다. 이를 위하여, 현재의 이미지 센서들은, 화소 그리고 화소 주위의 입사광을 화소의 감광성 존 (22) 에 집중시켜, 각각이 각각의 화소와 연관되는 마이크로렌즈 어레이를 구비한다.
도 2 는 화소 당 하나의 마이크로렌즈 (32) 를 가지는 마이크로렌즈 어레이 (30) 를 구비하는 도 1 의 이미지 센서 (12) 의 상세도를 나타낸다. 마이크로렌즈 (32) 의 목적은 화소 (16) 에 도달하는 광을 그 화소의 하부에 위치하는 감광성 존 (22) 상에 집중시키는 것이다. 일반적으로, 화소의 유사 깊이 (H) 에 대하여 약 5 내지 10 마이크로미터의 폭 (L) 을 가진 최소 화소들의 크기는, 생성될 수 있는 마이크로렌즈들의 크기의 치수를 제한한다.
본 발명은 감광 센서에 관한 것으로, 더 상세하게는 작은 감광 화소를 구비하며, CMOS 집적 회로 기술을 이용하여 제조되는 전자식 이미지 센서에 관한 것이다.
본 발명은 첨부된 도면들을 참조하는 본 발명에 따르는 감광 센서들의 예시적인 실시예들에 의해 더 잘 이해할 수 있다.
- 도 1 및 도 2 는, 상술한 종래 기술의 이미지 센서를 나타낸다.
- 도 3 은 센서에 홀로그래픽층을 구비하는 본 발명에 따른 이미지 센서를 나타낸다.
- 도 4a 는 홀로그래픽층의 두께에서의 홀로그래픽 기록을 나타낸다.
- 도 4b 는 홀로그래픽층에서의 홀로그래픽 양각 기록을 나타낸다.
- 도 5 는 도 3 의 이미지 센서의 제 1 변형예를 나타낸다.
- 도 6 은 본 발명에 따른 이미지 센서의 또 다른 실시예를 나타낸다.
이러한 마이크로렌즈 어레이 (30) 는 광학축 (ZZ') 에 근접하는 센서의 영역에서 더 좋은 이미지 센서 효율을 얻을 수 있지만, 이러한 효율은 이러한 광학 축에서 멀어져 센서의 주변부쪽으로 이동하는 경우에 감소한다. 실제로 (도 2 를 참조), 광학축 (ZZ') 에 근접하며 이러한 광학축에 실질적으로 평행한 광선 (r1) 들은, 화소의 감광성부 (22) 에 적절하게 집중되는 반면에 센서 (12) 의 중심으로부터 멀어지는 광선 (r2, r3) 은 센서 표면의 법선에 대하여 경사각도를 가진다. 해당 화소들이 광학축 (ZZ') 으로부터 더 멀리 떨어져 있으면 광선들의 경사 각도는 모두 더욱 커지고, 광선들 (r2, r3) 의 포커싱 존은 점차적으로 화소들의 에지쪽으로 이동한다. 센서의 주변부에서, 광선들은 화소들의 감광성 존 (22) 에 더 이상 집중되지 않지만, 화소 웰의 에지들에서, 광선들은 화소에 의해 수신되는 동일한 광 강도에 대해서는 더 적은 전하들을 제공한다.
종래 기술의 센서들의 또 다른 현저한 결점은, 광학축으로부터 멀어져 감광면에 경사지게 도달하는 광선 (r2, r3) 은, 인접하는 화소에, 광선에 의해 그 광선이 의도하지 않은 기생 변조 또는 누화를 발생시키면서 인접하는 화소의 감광성 존에 도달한다. 실제로, 광학 센서들의 화소들은 불투명한 광학 측면 분리를 갖지 않으므로, 측벽들은 비교적 투명하고, 경사 광선들은 인접하는 화소들을 스위프 (sweep) 할 수 있다.
종래 기술의 감광 센서들의 결점들을 완화시키기 위하여, 본 발명은 광선들을 수신하는 감광면을 형성하는 화소들의 어레이를 가지는 기판을 구비하며, 특히CMOS 기술을 이용하여 제조되는 감광 센서를 제공하며, 그 감광 센서는, 감광면의 법선에 근접하는 분산된 경사 입사 각도들로 홀로그래픽층에 도달하는 광선을 생성하도록, 광선의 경로에서, 기록된 홀로그램을 가지며 공간 분산의 역기능에 대응하는 광학 기능을 가지는 홀로그래픽층을 구비하는 것을 특징으로 한다.
더욱 복잡한 버전에서, 감광면의 법선에 근접하는 화소를 둘러싸는 면에 도달하는 입사광들을 발생시키는 기능은, 그 입사광들을 화소에 집중시킨다.
또한, 본 발명은 특히 CMOS 기술을 이용하여 제조되며, 광선들을 수신하는 감광면을 형성하는 화소들의 어레이를 가지는 기판을 구비하는 감광 센서의 제조 방법에 관한 것으로, 기록된 홀로그램을 가지는 홀로그래픽층은 광선들의 경로에 있는 센서의 표면에 증착되며, 상기 홀로그래픽층은 감광면의 법선에 근접하는 분산된 경사 입사 각도들로 홀로그래픽층에 도달하는 광선들을 생성하도록, 공간 분산 기능의 역기능에 대응하는 광학 기능을 가지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 이미지 센서의 제 1 실시예에서, 홀로그램을 지원하는 홀로그래픽층은 센서의 표면에 생성되며, 홀로그램은 센서의 필수 홀로그래픽층에 기록된다.
본 발명의 이미지 센서의 또 다른 실시예에서, 홀로그래픽층은, 개별적으로 이루어진 홀로그램을 구비하며, 감광 센서의 기판에 부착된다.
예를 들어 광을 투과하는 기판에 의해 지원되는 홀로그래픽층은, 그 볼륨 (volume) 에 기록되는 홀로그래픽패턴을 구비한다. 기록된 패턴은 소망의 광학 기능을 생성한다. 홀로그래픽층은 유리판 또는 투과 모드에서 동작하는 임의의다른 홀로그래픽 지원부상에 폴리카보네이트 또는 폴리에스테르 막으로 형성될 수도 있다.
도 3 은 예를 들어 전자식 카메라에 사용되는 본 발명에 따른 전자식 이미지 센서 (40) 의 제 1 실시예를 나타낸다. 대개, 이미지 센서는 CMOS 기술을 이용하여 제조되어 감광면을 형성하는 화소 어레이 (44) 를 가지는 기판 (42), 및 소망의 광학 기능을 생성하면서 기판 (42) 에 증착되는 홀로그래픽층 (48) 을 구비한다.
본 발명에 따른 이미지 센서의 제조 방법은,
- CMOS 기술을 이용하여 제조되어 기판 (42) 상에 감광면을 형성하는 화소어레이 (44) 를 생성하는 단계;
- 상기 기판상에 홀로그래픽층 (48) 을 증착하는 단계; 및
- 상기 홀로그래픽층 (48) 에, 홀로그래픽층 표면의 법선에 근접하는 분산된 입사경사 각도로 홀로그래픽층의 표면에 도달하는 광선들을 용이하게 생성하는 광학 기능을 가지는 홀로그램을 기록하는 단계를 포함한다.
홀로그래픽층 (48) 은 소망의 광학 기능을 생성하는 홀로그래픽 간섭 패턴을 구비한다. 홀로그래픽층 (48) 표면의 법선에 근접하는 분산된 입사경사 각도들로 홀로그래픽층에 도달하는 광선들 (r1, r2, r3) 을 용이하게 생성하는 광학 기능을 가지는 이러한 홀로그램을, 예를 들어 2 개의 가간섭광파 (coherent light wave) 사이의 일련의 간섭들에 의해 이루어진 홀로그래픽층의 두께로 홀로그래픽 패턴들을 생성함으로써 획득할 수도 있으며, 그 간섭들 각각은 예를 들어 이러한 홀로그래픽층에 대하여 소정의 각도로 상기 층의 한 측으로부터 도달하는 제 1 파와 각각의 간섭에 대하여 변경되는 층의 표면에 대하여 간섭 각도로 상기 층의 다른 측으로부터 도달하는 제 2 파와의 간섭에 의해 생성되며, 이러한 간섭 각도의 변경은 홀로그래픽층 표면의 법선에 근접하게 되도록 분산된 경사 입사파들의 입체각 (solid angle) 을 스위프 아웃 (sweep out) 시킨다.
도 3 의 실시예에서, 카메라의 광학 시스템으로부터 들어오는 광선들 (r1, r2, r3) 은, 센서의 감광면에 도달하는 광선들의 위치의 함수로서 변화하면서, 이미지 센서 표면의 법선에 대하여 입사경사 각도로 도달한다. 홀로그래픽층의 통과시에, 광선들 (r1, r2, r3) 은 센서의 감광면의 법선에 근접하게 된다. 특히, 센서의 법선에 대하여 최대 경사각도를 가지며 센서의 에지들에 근접하게 위치되는 화소들에 도달하는 광선들은, 홀로그래픽층 (48) 의 광학 동작에 의해 이러한 법선에 근접하게 된다.
센서의 법선에 근접하는 광선들 (r1, r2, r3) 의 생성에 의해, 센서의 에지들에 근접하게 위치되는 화소들의 조도가 현저하게 증가하고, 센서의 효율이 개선된다. 센서의 법선에 근접하는 광선들을 생성하는 이점들은,
- 센서의 감광면의 소정의 위치 어디에서나, 센서의 감광도가 균일하게 되며;
- 내부화소 누화가 감소되며, 특히 센서의 에지들에서, 인접하는 화소들에 사용되는 광선들에 의한 기생 조도 (parasitic illumination) 가 실질적으로 감소된다는 것이다.
홀로그램은 감광성 홀로그래픽 층의 볼륨내에 기록될 수 있다. 도 4a 는 본 발명에 따른 도 3 의 이미지 센서의 홀로그래픽층 (48) 의 두께로 홀로그래픽 패턴이 기록됨을 나타낸다. 이를 위하여, 감광층 (54) 은 포토레지스트 (54) 에 간섭 패턴 (58) 을 생성하는 2 개의 가간섭광파 (V1, V2) 에 노출된다. 홀로그래픽 패턴 (58) 은 소망의 광학 기능을 생성한다.
홀로그램은 다른 공지의 방법들 즉,
- 열가소성 층에 홀로그래픽 양각 패턴을 인쇄함으로써 홀로그래픽 층에 기록될 수 있다. 도 4b 는 홀로그래픽 양각 (relief) 패턴 (60) 이 인쇄될 패턴의 상보적인 양각 패턴을 구비하고, 단단한 재료로 이루어진 다이에 의해 지지부(56) 에 고정된 열가소성 층 (62) 의 표면을 압축시킴에 의해 스템프화되는 이러한 종류의 기록을 나타낸다. 또한, 지지부 (56) 는, 전자식 이미지 센서의 기판 (42) 일 수도 있다. 또는, 홀로그램은 다른 공지의 방법들 즉, 포토레지스트 층을 방사선에 노출시켜, 홀로그래픽 간섭 패턴을 생성함으로써 홀로그래픽층에 기록될 수 있다. 그 후에, 홀로그래픽 층의 표면에서 양각 패턴을 획득하기 위하여 포토레지스트 층을 현상한다.
본 발명에 따른 도 3 의 이미지 센서의 실시예는, 화소들의 감광성 존들쪽으로 광선들을 채널화하는 효과를 이용하여 종래 기술의 센서들에 대하여 명확하게 성능을 향상시키고, 특히 그 센서에 의해 생성되는 전자 신호의 신호대 잡음비를 향상시킨다.
도 5 는 화소 효율에 있어서 부가적인 향상을 제공하는 도 3 의 이미지 센서의 변형예를 나타낸다. 이러한 변형예에 있어서, 화소들의 감광 영역쪽으로 센서의 법선에 더 근접하는 광선들을 생성하는 효과 이외에, 홀로그래픽층은, 화소들의 감광 영역 (22) 쪽으로 광선들을 집중시키는 또 다른 부가적인 효과를 구비한다. 이는, 도 3 의 실시예에서, 광선들 (r4, r5, r6) 이 이미지를 나타내는 전기 신호를 생성하는데 유용한 전하를 생성하지 않는 화소들의 감광성 존들을 둘러싸는 부분들을 조명하기 때문이다.
이러한 변형예에서, 이미지 센서 (70) 는 CMOS 기술을 이용하여 제조되어 감광면을 형성하는 화소 어레이 (44) 를 가진 기판 (42), 및 그 기판 (42) 위에 있는 홀로그래픽층 (74) 을 구비하며, 홀로그래픽층의 광학 집중 기능은 화소를 둘러싸는 면에 도달하는 입사광선을 화소쪽으로 집중시킨다.
도 6 은 전술한 실시예들의 홀로그래픽층들의 홀로그래픽 패턴의 기록을 가지는 홀로그래픽 층 (82) 을 구비하는 본 발명에 따른 감광 센서 (80) 의 또 다른 실시예를 나타낸다. 도 6 의 이러한 서로 다른 실시예에서, 홀로그램을 구비하는 홀로그래픽층은 개별적으로 제조되어, 감광 센서의 기판 (42) 에 부착된다.
도 6 의 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 감광 센서 (80) 는,
- CMOS 기술을 이용하여 제조되어 기판 (42) 에 감광면을 형성하는 화소 어레이 (44) 를 생성하는 단계;
- 광을 투과시키는 지지부 (86) 에 홀로그래픽층 (82) 을 생성하는 단계;
- 공지의 기술들 즉, 열성형 또는 포토그래픽 레벌레이션 (photographic revelation) 중 어느 하나에 의해 홀로그램을 지원하는 층에 홀로그램을 기록하는 단계; 및
- 상기 광선들의 경로에, 기판의 표면에 홀로그래픽층을 구비하는 지지부 (86) 를 증착하는 단계를 적어도 포함한다.
도 3 및 도 5 의 센서들의 실시예들에 대하여, 화소를 둘러싸는 면에 도달하는 광선 (r4, r5, r6) 이, 도 6 의 변형예에서는, 화소의 감광성 존쪽으로 홀로그래픽층에 의해 집중될 수도 있다.
홀로그래픽 간섭 패턴은, 감광성 층에 2 개의 가간섭광파 즉, 가간섭 광원으로부터 직접 들어오는 제 1 입사파와 동일한 광원으로부터 들어오지만 소망의 광학 기능에 대응하는 홀로그램을 기록하기 위한 물체를 조명하는 제 2 입사파를 결합시킨 결과이다. 이것이 자연적 수단에 의한 기록이다.
홀로그램은 합성 타입일 수도 있다. 이 경우에, 홀로그래픽 간섭 패턴은, 컴퓨터 계산에 의해 형성될 수 있으며, 이러한 패턴은 자연적 수단에 의한 기록을 이용하여 획득할 수 없는 광학 기능들에 대응하는 홀로그래픽 패턴들을 생성할 수 있는 이점을 가진다. 합성 홀로그램들은, 주파의 광학 기능들 또는 디스플레이 필터링을 생성하기 위하여, 또는 광학 소자들을 생성하기 위하여 사용된다. 또한, 홀로그래픽 패턴은 자연적 홀로그램들과 합성 홀로그램들을 결합으로써 기록될 수 있다.
본 발명에 따른 이미지 센서의 홀로그래픽층에 기록되는 홀로그램은, 광학 센서들에 필요한 다양한 광학 기능들을 융통성있고 용이하게 획득할 수 있다. 그러나, 컬러 카메라용 컬러 필터링과 같은 홀로그램에 의해 다른 가능성들도 제안된다. 이를 위하여, 전술한 실시예들의 광학 기능들 이외에, 홀로그래픽 층은 삼원색 즉, 적색, 녹색, 청색을 광학적으로 필터링하는 기능들을 구비한다.
포토그래픽 또는 비디오 주파수 카메라용 이미지 센서들에서는, 디스플레이되는 물체로부터 들어오는 가시광에 대응하는 전기 신호를 생성해야 한다. 따라서, 비가시광에 의해 센서의 화소들을 조명하는 것은 바람직하지 않다. 이를 위하여, 본 발명에 따른 이미지 센서의 제 3 실시예에서, 홀로그래픽층은 카메라에 유용하지 않은 적외선을 필터링하는 광학 기능을 생성하는 홀로그램을 구비한다.
본 발명에 따른 센서의 애플리케이션은 카메라들의 이미지 센서들로 한정되지 않는다. 몇몇 타입들의 광학 센서들에서, 광은 광섬유를 통하여 감광성 화소로 투과되며, 이것의 출력단은 이러한 화소의 반대편에 위치되어 있다. 광은 광섬유의 벽들에 반사되어 광섬유내에서 이동한다. 광섬유의 끝에서 방사되는 광은 화소의 감광성 존의 법선에 대하여 영이 아닌 각도를 가진다. 본 발명에서 설명된 바와 같이 홀로그래픽 층은, 상술한 이점을 가지며, 화소의 감광성 존의 법선에 근접하는 광섬유로부터 나오는 광을 생성한다.
Claims (16)
- 광선들 (r1, r2, r3, r4, r5, r6) 을 수신하는 감광면을 형성하는 화소들 (16, 44) 의 어레이를 가지는 기판을 구비하며, 특히 CMOS 기술을 이용하여 제조되는 감광 센서에 있어서,상기 광선들의 경로에서, 기록된 홀로그램을 가지며, 감광면의 법선에 근접하는 분산된 경사 입사 각도들로 홀로그래픽층에 도달하는 광선들을 생성시키도록 공간 분산 기능의 역기능에 대응하는 광학 기능을 가지는 홀로그래픽 층 (48, 74, 82) 을 구비하는 것을 특징으로 하는 감광 센서.
- 제 1 항에 있어서,상기 감광면의 법선에 근접하는 화소를 둘러싸는 표면에 도달하는 입사광선들을 생성하는 기능은 그 광선들을 화소 (44) 쪽으로 집중시키는 것을 특징으로 하는 감광 센서.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 홀로그래픽 층은 컬러 카메라들의 삼원색 즉, 적색, 녹색, 청색을 광학적으로 필터링하는 기능들을 가지는 것을 특징으로 하는 감광 센서.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 홀로그래픽층은 적외선들을 필터링하는 광학 기능을 생성하는 홀로그램을 구비하는 것을 특징으로 하는 감광 센서.
- 광선들 (r1, r2, r3, r4, r5, r6) 을 수신하는 감광면을 형성하는 화소 (44) 들의 어레이를 가지는 기판 (42) 을 구비하며, 특히 CMOS 기술을 이용하여 이루어지는 감광 센서의 제조 방법에 있어서,기록된 홀로그램을 가지는 홀로그래픽층 (48, 74, 82) 은 상기 광선들의 경로에서 상기 센서의 표면에 증착되며,상기 홀로그래픽 층은, 상기 감광면의 법선에 근접하는 분산된 경사입사 각도로 상기 홀로그래픽층에 도달하는 광선들을 생성하도록, 공간 분산 기능의 역기능에 대응하는 광학 기능을 가지는 것을 특징으로 하는 감광 센서의 제조 방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 기록된 홀로그램은, 2 개의 가간섭광파들 사이의 일련의 간섭에 의해 이루어진 홀로그래픽층 (48, 74, 82) 의 두께로 홀로그래픽 패턴들을 생성함으로써 획득되며, 상기 간섭들 각각은 이러한 홀로그래픽층에 대하여 소정의 각도로 상기 층의 일 측으로부터 도달하는 제 1 파와, 각각의 간섭에 대하여 변경되는 상기 층의 표면에 대하여 간섭 각도로 상기 층의 다른 측으로부터 도달하는 제 2 파와의 간섭에 의해 생성되며, 이러한 간섭 각도의 변경은 상기 층의 표면의 법선에 근접시키도록 분산된 경사 입사파들의 입체각을 스위프 아웃 (sweep out) 시키는 것을특징으로 하는 감광 센서의 제조 방법.
- 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 홀로그래픽층 (82) 은, 개별적으로 제조되는 홀로그램을 구비하며, 상기 감광 센서의 기판 (42) 에 부착되는 것을 특징으로 하는 감광 센서의 제조 방법.
- 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 홀로그래픽층 (48, 74) 은, 유리판 또는 투과 모드로 동작하는 어떤 다른 홀로그래픽 지지부상에 폴리카보네이트 또는 폴리에스테스 막으로 제조되는 것을 특징으로 하는 감광 센서의 제조 방법.
- 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 홀로그램을 지원하는 홀로그래픽층 (48) 은, 이미지 센서의 표면에 증착되고, 상기 홀로그램은 상기 센서의 필수 홀로그래픽층상에 형성되는 것을 특징으로 하는 감광 센서의 제조 방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 홀로그램을 지원하는 홀로그래픽층 (48) 은, 복수의 감광 센서들을 구비하는 실리콘 웨이퍼들이 제조되는 경우에, 상기 센서의 기판 (42) 에 증착되는것을 특징으로 하는 감광 센서의 제조 방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 홀로그래픽층 (62, 82) 은 열가소성 층이며, 상기 홀로그램은 열성형에 의해 기록되는 것을 특징으로 하는 감광 센서의 제조 방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 홀로그래픽층은 감광성 젤라틴으로 이루어진 층이며, 상기 홀로그램은 포토그래픽 레벌레이션 (photographic revelation) 에 의해 기록되는 것을 특징으로 하는 감광 센서의 제조 방법.
- 제 5 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 홀로그램은 인쇄될 패턴의 상보형 양각 패턴을 구비하고 단단한 재료로 이루어진 다이에 의해 지지부 (50, 56) 에 고정되는 열가소성층에 홀로그래픽 양각 패턴을 인쇄함으로써, 상기 홀로그래픽층 (48, 74, 82) 에 기록되는 것을 특징으로 하는 감광 센서의 제조 방법.
- 제 5 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 홀로그램은 상기 홀로그래픽 간섭 패턴을 생성하는 방사선에 포토레지스트 층을 노출시킴으로써 상기 홀로그래픽층 (62, 82) 에 기록되며, 상기 포토레지스트층은 상기 홀로그래픽층의 표면에 양각 패턴 (60) 을 획득하기 위하여 현상되는 것을 특징으로 하는 감광 센서의 제조 방법.
- 제 5 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 홀로그래픽 간섭 패턴은, 홀로그래픽층 (48, 58, 74, 82) 의 가간섭 광파들 (V1, V2) 즉, 상기 가간섭 광원으로부터 직접 들어오는 제 1 입사파와 동일한 광원으로부터 들어오지만 소망의 광학 기능에 대응하는 홀로그램을 기록하기 위한 물체를 조명하는 제 2 파와의 결합 결과인 것을 특징으로 하는 감광 센서의 제조 방법.
- 제 5 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 홀로그램은 합성타입이며, 상기 홀로그래픽 간섭 패턴은 컴퓨터 계산에 의해 생성되는 것을 특징으로 하는 감광 센서의 제조 방법.
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