KR20030024698A - 진동 분무장치내 액체흐름 제어 유지방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

분무될 액체는 심지(32)에서 액체를 분무 판내 분무 오리피스(20)를 통해서 펌프로 퍼올려 그의 상부면에서 액체를 분출하는 진동 오리피스판(14)의 밑면으로 공급되고, 판의 고가영역내 오리피스를 통해서 펌프로 퍼올려지나, 분출되지 않은 액체는 판의 하부 영역내 더 큰 개구부(22)를 통해서 다시 아래로 향하게 된다. 액체는 또한 재펌프되어 분출되기 위해 분무 오리피스와 판의 밑면을 따라 액체를 모세관과 통하게 두는 심지 위를 다시 흐른다.

Description

진동 분무장치내 액체흐름 제어 유지방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR MAINTAINING CONTROL OF LIQUID FLOW IN A VIBRATORY ATOMIZING DEVICE}

진동 분무 장치는 예를 들어, 미국특허 제5,152,456호, 제5,164,740호, 제4,632,311호 및 제4,533,082호에 개시되어 있는 바와 같이 잘 알려져 있다. 일반적으로, 그러한 장치는 얇은 판을 지나서 연장된 적어도 하나의 작은 오리피스를 갖는 얇은 판과 결합되고 압전 동작 요소에 부착되고 그것에 의해서 진동된다. 압전 동작 요소에 적용된 교류 전압은 그것을 팽창 및 수축하게 하고, 이러한 팽창 및 수축은 오리피스판의 상하 진동 운동을 생기게 한다. 심지와 같은, 액체 공급은 액체를 저장고에서 판의 일면으로 분무되게 전달하여 액체는 관통 영역에서 판과 접촉하게 된다. 판의 상하 진동 운동은 액체를 오리피스를 통해서 펌프로 퍼올리고 그것의 상부면에서 에어로졸 액체 입자로서 액체를 방출한다.

특별히 효과적인 압전 분무 배열은 중앙의 개구부를 갖는 환상의 압전 동작요소와 압전 요소위의 중앙 개구부를 덮는 오리피스판를 이용한다. 판은 압전 동작요소의 중앙 개구부를 가로질러 다소 위로 연장되고, 중앙 개구부 주위 요소의 영역을 오버랩하는 요소에 고정된다. 교류 전압이 압전 동작 요소의 상하면에 적용될 때, 요소는 방사상 방향으로 팽창하고 수축한다. 이러한 방사상 팽창 및 수축은 중앙의 개구부의 직경을 증가시키고 감소시키고, 그것은 교대로 오리피스판에 수축하고 구부러지게 힘을 가하여 하나 이상의 오리피스를 포함하는 그것의 중앙 영역이 진동 방식으로 상하로 움직이게 한다.

바람직하게, 오리피스는 판의 중앙 영역에 형성되고 이러한 영역은 약간 돔형이다.

오리피스판내 천공을 통해서 펌프로 퍼올려지는 액체가 전부 판의 상부면에서 분출되는 것은 아니라는 점에서 이러한 압전 진동 분무 장치에 문제가 생긴다. 분출되지 않은 액체 또는 판 위로 다시 떨어지는 분출된 액체는 판의 상부면에 남아서 분무 동작을 방해한다. 또한, 오리피스판이 압전 요소의 밑면에 부착되어 있는 상황에서, 분출되지 않은 액체는 압전 동작 요소의 중앙 개구부와 아래에 놓인 판에 의해서 형성된 웰(well)에 축적된다. 결국, 이러한 축적된 액체는 일정한 정도로 쌓여서 펌프 작용을 약하게 하고 분무된 액체 입자의 산출을 감소시킨다. 노즐 판에서 과도한 잉크를 배출하기 위해 배수 구멍과 역류관을 이용하는 것은 미국특허 제4,542,389호 및 제4,413,268호에 개시되어 있다. 그러나, 이러한 노즐 판은 진동하지도 않고 방사상 액추에이터 운동을 천공된 오리피스판의 상하 진동 운동으로 전환시키지도 않는다. 또한, 액체를 이러한 노즐 판으로 전달하는데 심지를 이용하지도 않는다.

본 발명은 막 또는 오리피스판과 같은, 진동하는 관통된 부재에 의한 액체의 분무에 관한 것이다. 보다 상세하게, 본 발명은 안정되고 연속적인 분무 동작을 보장하기 위해서 그러한 오리피스판를 통한 액체 흐름을 제어하는 것에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진동 분무 장치를 나타낸 평면도이다.

도 2는 도 1의 선 2-2에 따른 단면도이다.

도 3은 도 2에서 도 3으로 식별된 영역의 확대된 단편도이다.

일 측면에서, 본 발명은 하부 영역에 인접한 고가영역(elevated region)을 갖고 고가영역내 적어도 하나의 분무 오리피스 및 하부영역내 적어도 하나의 배수 개구부로 형성된 일반적으로 수평으로 연장되어 있는 판을 포함하는 신규한 분무 장치를 포함한다. 배수 개구부는 분무 오리피스보다 대체로 더 커서 액체가 그것을 통해서 자유롭게 흐르도록 한다. 분무 장치는 또한 판을 상하로 진동하도록 연결되어 있는 진동 액추에이터(actuator) 뿐만 아니라 액체를 저장고에서 판의 고가영역 밑면으로 전달하도록 배열된 액체 도체를 포함한다. 고가영역의 분무 오리피스에서 분출되지 않거나 판 위로 다시 떨어진 액체는 하부영역으로 배수 개구부를 통해서 아래로 떨어진다.

다른 측면에서, 본 발명은 분무 오리피스에서 떨어져 있는 영역이나, 심지 또는 그밖의 모세관 타입 액체 도체 수단의 상부 말단 위 영역의 진동 판에 하나 이상의 개구부를 제공하여, 개구부를 통해 아래로 통과하는 액체가 액체 도체 수단의 상부 말단을 포화시켜 그것의 끌어내는 힘을 감소시킬 것이라는 발견에 기초한다. 결과적으로, 액체 도체 수단은 저장고에서 추가적으로 액체를 끌어내지 않는 대신에 진동 오리피스판의 중앙 영역의 분무 오리피스 아래에서 개구부를 통해서 다시 위로 통과한 액체를 이끌 것이다. 이렇게 재순환된 액체는 판의 계속적인 상하 진동에 의해서 분무 오리피스를 통해서 재펌프되고 판의 상부면에서 분출된다.

재순환된 액체가 분무됨에 따라서, 심지 또는 액체 도체 수단의 상부말단은 덜 포화되고 그에 따라서 저장고에서 추가적으로 액체를 끌어올릴 수 있다.

본 발명의 이러한 측면에 따라서, 액체 저장고에서 연장되어 있는, 심지와 같은 모세관 타입 액체 도체 요소를 통해서 액체가 공급됨과 동시에 적어도 하나의 분무 오리피스를 갖는 판은 진동을 일으키게 된다. 액체 도체 요소의 모세관 작용은 액체가 저장고에서 끌어당겨져 오리피스 영역내 판의 하부면으로 공급되게 한다. 판의 진동은 액체가 오리피스를 통해서 펌프로 퍼올려지게 하여 판의 다른 면에서 에어로졸 액체 입자 형태로 분출되게 한다.

판은 또한 분무 오리피스에서 변위된 영역에, 판에서 분출되지 않거나 판 위로 다시 떨어진 액체가 자유롭게 흐를 수 있는 적어도 하나의 더 큰 개구부로 형성된다. 이러한 더 큰 개구부는 개구부를 통해서 흐르는 액체를 판의 하부면의 분무 오리피스와 모세관 소통하게 되는 액체 도체 요소의 상부 말단으로 이끄는 위치에 놓인다. 이러한 분출되지 않은 액체 또는 판 위로 다시 떨어진 액체는 액체 도체 요소의 상부 말단을 포화시켜서 저장고에서 추가적으로 액체를 끌어당기는 요소의 능력을 감소시키게 된다. 결과적으로, 액체 도체 요소는 저장고에서 액체를 거의 끌어내지 않거나 전혀 끌어내지 않는 대신에, 모세관 작용에 의해서, 개구부를 통과한 액체를 다시 진동 오리피스판내 분무 오리피스 아래로 이끈다. 이렇게 재순환된 액체는 판의 진동에 의해서 분무 오리피스를 통해서 재펌프되고 판의 상부면에서 미세하게 분열된 액체 입자 형태로 분출된다.

액체 도체 요소에 의해서 이끌어진 복귀된 액체는 적어도 복귀된 액체가 재분무될 때까지, 요소의 포화를 증가시켜서 저장고에서 추가적으로 액체를 공급하는 요소의 능력을 제한하는 경향이 있다. 이는 액체 도체 요소에 자동 조절 효과를 공급하며, 그것은 분무되는 액체의 범람 및 낭비를 막는다.

본 발명의 또 다른 측면에 따라서, 액체를 분무하는 신규한 방법이 제공된다. 이러한 신규한 방법은 적어도 하나의 분무 오리피스를 갖는 오리피스판를 제공하는 단계, 적어도 분무 오리피스의 영역에서 판를 진동시키면서 액체를 모세관 작용에 의해서 액체 저장고에서 판의 일면 위의 분무 오리피스에 인접한 위치까지 연장된 모세관 타입 액체 도체 요소를 통해서 전달하는 단계를 포함한다. 액체는 분무 오리피스를 통해서 펌프로 퍼올려지게 되고 판의 진동에 의해서 판의 다른 면에서 에어로졸 액체 입자 형태로 분출된다. 판에서 분출되지 않거나 판 위로 다시 떨어진 액체는 분무 오리피스에서 변위된 위치의 판내 적어도 하나의 더 큰 개구부를 통해서 다시 아래로 흐르게 인도된다. 이러한 분출되지 않은 액체는 추가적인 분무를 위해서 모세관 작용에 의해서 판의 일면 위의 분무 오리피스로 다시 전달된다. 또한, 이러한 분출되지 않은 액체는 오리피스를 통해서 다시 펌프로 퍼올려져 판에서 분출될 때까지 저장고에서 추가적으로 액체를 퍼올리는 능력을 제한하는 방식으로 액체 도체 요소에 작용한다.

도 1의 진동 분무 장치는 내부 직경 중앙 홀(12) 및 액추에이터 밑면에 내부직경 홀(12)을 가로질러 연장되고 액추에이터의 내부영역(15)을 약간 오버랩하는 오리피스판(14)을 갖는 환상의 압전 액추에이터 요소(10)를 포함한다. 오리피스판(14)은 오버랩 영역(15)에서 액추에이터(10)의 밑면에 고정된다. 적합한 접합 수단이 오리피스판(14)을 압전 액추에이터 요소(10)에 고정하는데 이용될 수 있으나, 일정한 시멘트를 약하게 하는 경향이 있다는 점에서 부식성, 또는 공격성이 있는 액체를 분무하는데 장치가 이용될 수 있는 경우에, 오리피스판은 압전 요소에 납땜으로 결합되는 것이 바람직하다. 또한, 오리피스판(14)의 외부 직경은 액추에이터(10)의 외부 직경만큼 커서 액추에이터 요소 일면의 전체 표면 위로 연장된다. 본 발명은 또한 오리피스판(14)이 액추에이터(10)의 상부면에 부착되는 구조를 포함한다는 것을 이해하여야 한다.

압전 액추에이터 요소(10)는 적용된 전기장 방향에 대해서 수직 방향으로 크기를 변하게 하는 압전 성질을 갖는 물질로 제조될 수 있다. 따라서, 예시된 실시예에서, 압전 액추에이터 요소(10)는 교류 전기장이 그것의 상하부 표면 위를 가로질러 적용될 때 방사상 방향으로 팽창하고 수축하여야 한다. 압전 액추에이터 요소(10)는 예를 들어, 납 지르콘산염 티탄산염(PZT) 또는 납 메타니오베이트(PN)로 제조된 세라믹 물질일 수 있다. 여기서 설명하는 실시예에서, 압전 액추에이터 요소는 약 0.382인치의 직경과 약 0.025인치의 두께를 갖는다. 중앙 홀 내부 직경의 크기는 약 0.177인치이다. 이러한 크기는 중요하지 않으며 단지 예로서 제시된 것이다. 액추에이터 요소(10)는 오리피스판과 전기적 리드의 납땜을 허용하고 리드에서 전기장을 액추에이터 요소를 가로질러 교차되도록 하기 위해서, 은, 니켈 또는 알루미늄과 같은 전기 전도성 코팅으로 코팅되어 있다.

예시된 실시예에서 오리피스판(14)은 직경 약 0.250인치와 두께 약 0.002인치를 갖는다. 오리피스판(14)은 약간 돔형의 중앙 영역(16) 및 중앙 영역(16)과 오리피스판이 액추에이터(10)에 부착된 영역 사이에 연장되어 있는 주위의 플랜지 영역(18)으로 형성된다. 돔형 중앙 영역(16)은 약 0.103인치의 직경을 갖고 오리피스 판의 평면에서 약 0.0065인치 연장되어 있다. 돔형 중앙 영역은 약 0.000236인치의 직경을 갖고 서로 약 0.005인치 떨어져 있는 여러 개(예를 들어 85)의 작은 오리피스(20)를 포함한다. 한 쌍의 직경방향으로 마주보는 더 큰 홀(22)이 플랜지 영역(18)에 형성되어 있다. 이러한 홀은 약 0.029인치의 직경을 갖고 액체가 그것을 통해서 자유롭게 흐르도록 한다. 다시, 본 발명에서 주어진 크기는 중요하지 않으며 특정의 실시예를 설명하기 위해서만 제시된 것이다. 본 발명에는 돔형 오리피스판이 설명되었으나, 다른 형상의 오리피스판, 예를 들어, 나선형 또는 골진 격막과 유사한 형태의 오리피스판도 이용될 수 있다는 것을 주목하여야 한다.

오리피스(20)를 포함하는 중앙 영역(16)의 돔화는 이러한 영역의 상하 운동을 증가시켜서 오리피스판의 펌프 작용과 미립화 작용을 개선한다는 것에 주목할 것이다. 돔형 중앙 영역은 형태가 구형이나, 이러한 영역에 다른 형태가 이용될 수 있다. 예를 들어, 중앙 영역(16)은 포물선형 또는 아치형일 수 있다. 중앙 영역(16)을 강화하는데 돔형이외의 방법이 이용될 수 있다. 예를 들어, 미국특허 제5,152,456호에 개시된 것과 같이 일정한 간격의 두꺼운 요소를 갖는 지지대가 이용될 수 있다.

오리피스판(14)은 바람직하게 오리피스(20)로 전기주조하여 제조되고 전기주조 과정에서 형성되는 홀(22)로 제조될 수 있다. 그러나, 오리피스판은 롤링과 같은 다른 과정에 의해서 제조될 수 있으며, 오리피스와 홀은 별도로 형성될 수 있다. 제조를 용이하게 하기 위해서, 중앙 영역(16)은 오리피스(20)가 오리피스판에 형성된 후에 돔형으로 된다.

오리피스판(14)은 바람직하게 니켈로 제조되나, 수축힘을 받는 동안 오리피스판의 형태를 유지할 수 있도록 충분한 강도와 유연성을 갖는다면, 다른 물질들도 이용될 수 있다. 니켈-코발트 및 니켈-팔라듐 합금도 이용될 수 있다.

압전 액추에이터 요소(10)는 그것을 주어진 위치에 보유하나 아직 그것의 진동을 방해하지 않는 적합한 방식으로 지탱될 수 있다. 따라서, 액추에이터 요소는 그로밋(grommet) 타입 마운팅(미도시)에 지탱될 수 있다.

압전 액추에이터 요소(10)는 그것의 상하부 표면에 은, 알루미늄 또는 니켈과 같은 전기 전도성 코팅으로 코팅된다. 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 전기적 리드(26 및 28)는 액추에이터 요소(10)의 상하부 표면의 전기 전도성 코팅에 납땜된다. 이러한 리드는 교류 전압원(미도시)에서 연장된다.

분무될 액체(31)를 포함하고 있는 액체 저장고(30)는 액추에이터 요소(10)와 오리피스판(14)의 아래에 놓여있다. 심지(32)는 저장고 내부에서 오리피스판(14)의 밑면까지 위로 연장되어 그것의 상부말단(위로 고리모양이고 저장고에서 돌출되어 있는)은 오리피스(20)에서 중앙 영역(16)의 오리피스판과 약간 접촉한다. 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 심지(32)의 상부말단은 또한 측면으로 연장되어 더 큰홀(22)과 직접 액체 소통하게 된다. 실제로, 심지는 환상이고 돔형 중앙 영역(16)보다 직경이 커서 오리피스판의 플랜지 영역(18)과만 접촉할 수 있다.

심지(32)는 저장고(30)내 액체에 우수한 모세관 작용을 제공하는 다공성의 유연한 물질로 제조되어 액체가 막(14)의 밑면에까지 끌어 올려지게 할 수 있다. 동시에, 심지는 진동 운동을 방해하는 오리피스판(14)에 대해서 압력을 발휘하지 않게 충분히 유연하여야 한다. 이러한 조건을 전제로 하여, 심지(32)는 예를 들어, 종이, 나일론, 면, 폴리프로필렌, 섬유유리 등의 몇 가지 물질 중 하나로 제조될 수 있다. 바람직한 형태의 심지는 오리피스판과 접촉하는 경우에 그 자체 위로 되감겨 있는 나일론 셔닐실의 스트랜드(strand)이다. 이는 스트랜드의 매우 얇은 섬유가 판 표면까지 연장되게 한다. 이러한 매우 얇은 섬유는 액체를 오리피스판까지 가져오기 위해서 모세관 작용을 생성할 수 있으나, 이러한 얇은 섬유는 진동 운동을 방해하는 판에 상당한 힘을 발휘하지 않는다.

더 큰 홀(22)과 오리피스(20) 사이의 오리피스판(14) 아래로 연장된 심지(32)의 상부말단 부분은 홀과 오리피스를 서로 판의 밑면을 따라서 통하는 모세관에 둔다. 이러한 배열의 효과는 하기에 설명될 것이다.

심지외의 액체 전도 수단이 채택될 수 있으며 본 발명에서 "심지"라는 용어를 사용하는 것은 그러한 다른 모세관 타입 액체 전도 수단을 포함할 의도임을 이해할 것이다.

분무기 작동에서, 심지(32) 또는 모세관 작용에 의한 다른 액체 전도 수단은 액체(31)를 저장고(30)에서 끌어올려 분무 오리피스(20) 영역내 오리피스판(14)과접촉하게 한다.

동시에, 외부원의 교류전압이 리드(26 및 28)를 통해서 액추에이터 요소(10)의 상하부 표면의 전기 전도성 코팅에 적용된다. 이는 액추에이터 요소의 물질에 압전 효과를 가져오고 그에 따라 물질은 방사상 방향으로 팽창되고 수축한다. 결과적으로, 중앙 홀(12)의 직경은 이러한 교류 전압에 따라서 증가하고 감소한다. 이러한 직경의 변화는 오리피스판(14)에 방사형 힘으로서 적용되고 그것의 돔형 중앙 영역(16)을 상하로 민다. 이는 심지(32)에 의해서 밑면 판(14)에 대해서 끌어올려지는 액체에 펌프 작용을 생성한다. 심지의 모세관 작용은 액체를 오리피스판(14)의 밑면에 유지하고, 결과적으로, 액체(31)는 판의 진동에 의해서 오리피스(20)를 통해서 위쪽으로 힘을 받아서 판의 상부면에서 미세하게 분열된 분무 액체로서 대기로 분출된다.

오리피스(20)를 통해서 펌프되는 액체가 전부 분출되는 것은 아니며, 소량의 액체가 오리피스판의 상부면에 남아있는다. 이렇게 분출되지 않은 액체는 돔형의 중앙 영역(16)의 측면 아래로 흘러서 액추에이터 중앙 홀(12)에 의해서 둘러싸여있는 영역내로 흐른다. 결과적으로, 액체는 오리피스판(14)의 플랜지 영역(18)에 축적되어 그것의 수축 및 펌프 작용을 방해하는 경향이 있다.

본 발명은 분출되지 않은 액체를 더 큰 홀(22)을 통해서 상기한 바와 같이, 더 큰 홀 아래의 측방향으로 연장된 심지(32)의 상부말단 위로 아래로 흐르게 하여 이러한 문제를 극복한다. 심지는 이러한 분출되지 않은 액체를 분무 오리피스(20)와 오리피스판(14)의 아래 면을 따라서, 모세관 소통에 둔다. 결과적으로, 이러한액체는 오리피스(20)로 다시 끌어올려지고 판의 상부면에서 미세하게 분열된 액체 입자 형태로 분출되도록 오리피스판(14)의 진동 운동에 의해서 다시 펌프된다.

더 큰 홀(22)을 통해서 아래로 지나가는 액체는 심지(32)의 상부말단의 포화를 증가시키고 적어도 더 큰 홀의 액체가 분무 오리피스(20)를 통해서 다시 재펌프될 때까지, 심지가 저장고(30)에서 추가적으로 액체를 끌어올리는 능력을 제한하는 경향이 있다. 이 점에서 심지의 상부말단은 심지가 저장고에서 추가적으로 액체를 끌어올릴 수 있도록 비포화되게 된다.

상기한 배열은 저장고(30) 상부영역에서 범람을 막는 자기 조정 효과를 제공하는 것으로 이해될 것이다. 이는 분무기 장치에서 액체가 누출되고 손실되는 것을 막는데 중요하다. 또한, 액체가 저장고(30)에서 효과적으로 끌어올려지기 위해서, 저장고의 상부 영역에 배기 개구부(34)가 제공된다. 분출되지 않은 액체는 오리피스판(14)의 밑면을 따라서 인도되기 때문에, 그것은 배기 개구부(34)와 접촉하게 되는 것을 막아서 배기 개구부(34)의 플러깅이 생기지 않게 한다.

본 발명의 분무기 장치는 분무 요소 위에 액체가 축적되지 않으면서 저장고의 액체가 효과적이면서 지속적으로 분무되게 한다. 본 발명은 또한 분무기에서 분출되지 않은 액체가 흘러나오거나 낭비되지 않으면서 분무기 장치를 통해서 다시 재순환되도록 한다. 본 발명에 의해서 달성되는 수단은 간단하고 실시하기에 경제적이다.

Claims (24)

1. 하부영역과 인접한 고가영역을 갖는 일반적으로 수평으로 연장된 판으로, 상기 판은 상기 고가영역에 그것을 통해서 연장되어 있는 적어도 하나의 분무 오리피스와 상기 하부영역에 그것을 통해서 연장되어 있는 적어도 하나의 배수 개구부로 형성되어 있고, 상기 배수 개구부는 액체가 그것을 통해서 자유롭게 흐르도록 하기 위해서 상기 분무 오리피스보다 대체로 더 큰 판;

   상기 판를 상하로 진동하도록 하기 위해 연결된 진동 액추에이터; 및

   액체를 저장고에서 상기 판의 고가영역의 밑면으로 전달하도록 배열된 액체 도체를 포함하는 것을 특징으로 하는 분무 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 다수의 분무 오리피스가 상기 고가영역을 통해서 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 분무 장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 고가영역은 돔형이고 상기 하부영역은 상기 고가영역을 둘러싸고 있는 것을 특징으로 하는 분무 장치.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 진동 액추에이터는 그의 상하부면에 적용되는 교류전압에 대해서 방사형 방향으로 팽창하고 수축하도록 전압이 가해지는 환상의 압전 요소이고, 상기 판은 상기 압전 요소내 중앙 개구부를 가로질러 연장되고 상기 하부영역 주변으로 중앙 개구부 주위의 상기 압전 요소에 고정되고, 그에 따라 상기 압전 요소의 방사형 팽창 및 수축은 상기 고가영역이 상하로 운동하게 하는 것을 특징으로 하는 분무 장치.
5. 분무 오리피스를 갖는 판;

   상기 판가 진동하도록 상기 판에 연결된 진동 액추에이터;

   액체 저장고;

   상기 저장고내에서 연장된 모세관 타입의 액체 도체 요소를 포함하고, 상기 액체 도체 요소의 일 말단은 상기 판의 일면 위의 상기 분무 오리피스에 인접해서 상기 액체 도체 요소는 모세관 작용에 의해서 상기 저장고에서 상기 분무 오리피스와 통하게 액체를 끌어올려서 액체는 상기 판의 진동에 의해서 상기 분무 오리피를 통해서 펌프로 퍼올려지고 상기 판의 반대편에서 미세하게 분열된 액체 입자 형태로 분출되고;

   상기 판은 그의 반대편에서 끌어올려지지 않은 액체가 통과해서 자유롭게 흐를 수 있는 적어도 하나의 더 큰 개구부로, 분무 오리피스에서 변위된 영역에 형성되어 있고, 상기 더 큰 개구부는 그것을 통과해서 흐르는 액체를 상기 분무 오리피스를 통해서 다시 펌프되도록 하기 위해 액체 도체 요소의 상부 말단 위 및 분무 오리피스와 상기 판의 일면을 따라서 통하는 모세관으로 이끄는 위치에 놓여있는 것을 특징으로 하는 분무 장치.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 판은 일반적으로 수평 방향으로 연장되어 있고 상기 판은 상기 분무 오리피스를 포함하는 고가영역과 상기 더 큰 개구부를 포함하는 하부영역으로 형성되는 것을 특징으로 하는 분무 장치.
7. 제 5 항에 있어서, 상기 판은 다수의 분무 오리피스를 포함하는 것을 특징으로 하는 분무 장치.
8. 제 5 항에 있어서, 상기 판은 서로 변위된 상기 더 큰 개구부를 적어도 두 개 포함하는 것을 특징으로 하는 분무 장치.
9. 제 8 항에 있어서, 상기 개구부는 서로 직경방향으로 변위되어 있는 것을 특징으로 하는 분무 장치.
10. 제 5 항에 있어서, 상기 모세관 타입 액체 도체 요소의 상부 말단은 상기 분무 오리피스와 상기 더 큰 개구부 양자의 아래로 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 분무 장치.
11. 제 5 항에 있어서, 상기 모세관 타입 액체 도체 요소는 심지인 것을 특징으로 하는 분무 장치.
12. 제 5 항에 있어서, 상기 진동 유도 액추에이터는 중앙 홀을 갖는 환상의 압전 액추에이팅 요소이고 상기 판은 상기 중앙 홀을 가로질러 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 분무 장치.
13. 제 5 항에 있어서, 상기 판은 그의 중앙 영역에 돔으로 형성되고 상기 분무 오리피스는 상기 돔에 형성되는 것을 특징으로 하는 분무 장치.
14. 제 13 항에 있어서, 상기 더 큰 개구부는 상기 돔에 인접한 상기 판의 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 분무 장치.
15. 적어도 하나의 분무 오리피스를 갖는 오리피스판을 제공하는 단계;

    적어도 분무 오리피스의 영역에서 판를 진동시키면서, 액체를 모세관 작용에 의해서 액체 저장고에서 판의 일면 위의 분무 오리피스에 인접한 위치로 연장되어 있는 모세관 타입 액체 도체 요소를 통해서 전달하는 단계;

    액체를 분무 오리피스를 통해서 펌프로 퍼올려지고 판의 진동에 의해서 미세하게 분열된 입자 형태로 판의 다른 면에서 분출되도록 하는 단계;

    판에서 분출되지 않은 액체를 분무 오리피스에서 변위된 위치의 판내 적어도 하나의 더 큰 개구부를 통해서 아래로 되돌아 흐르게 이끌어 추가적인 분무화를 위해 상기 판의 상기 일면에 주어지는 모세관 작용에 의해서 분무 오리피스로 다시 전달하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 분무 방법.
16. 제 15 항에 있어서, 상기 판은 일반적으로 수평 방향으로 연장되게 유지되고상기 판에서 분출되지 않은 액체는 상기 더 큰 개구부를 향해서 흐르게 되는 것을 특징으로 하는 방법.
17. 제 15 항에 있어서, 다수의 분무 오리피스가 상기 판에 제공되는 것을 특징으로 하는 방법.
18. 제 15 항에 있어서, 적어도 두 개의 상기 더 큰 개구부가 서로 변위된 위치에 상기 판에 제공되는 것을 특징으로 하는 방법.
19. 제 18 항에 있어서, 상기 개구부는 서로 직경방향으로 변위되는 것을 특징으로 하는 방법.
20. 제 15 항에 있어서, 상기 모세관 타입 액체 도체 요소의 상부 말단은 상기 분무 오리피스와 상기 더 큰 개구부 양자의 아래로 연장되게 제공되는 것을 특징으로 하는 방법.
21. 제 15 항에 있어서, 상기 모세관 타입 액체 도체 요소로서 심지가 제공되는 것을 특징으로 하는 방법.
22. 제 15 항에 있어서, 상기 판은 중앙 홀을 갖는 환상의 압전 액추에이팅 요소에 의해서 진동되고 상기 판은 상기 중앙 홀을 가로질러 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 방법.
23. 제 15 항에 있어서, 상기 판은 그의 중앙 영역에 돔으로 형성되고 상기 분무 오리피스는 상기 돔에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 방법.
24. 제 23 항에 있어서, 상기 더 큰 개구부누는 상기 돔에 인접한 상기 판의 영역에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 분무 장치.