JP2003535692A - 振動式噴霧装置の液流制御を維持するための方法及び装置 - Google Patents

振動式噴霧装置の液流制御を維持するための方法及び装置

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JP2003535692A JP2002503454A JP2002503454A JP2003535692A JP 2003535692 A JP2003535692 A JP 2003535692A JP 2002503454 A JP2002503454 A JP 2002503454A JP 2002503454 A JP2002503454 A JP 2002503454A JP 2003535692 A JP2003535692 A JP 2003535692A
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サード マーティンズ、エドワード、ジェイ.、ザ
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エス.シー. ジョンソン アンド サン、インコーポレイテッド
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Abstract

(57)【要約】 噴霧されるべき液体は、ウィック(32)から振動型オリフィスプレート(14)の裏面に供給され、オリフィスプレートは、プレートの噴霧用オリフィス(20)を通して液体をポンプ作用によって引き上げて上側から液体を放出させる。プレートの高架領域のオリフィスを通してポンプ作用によって引き上げられた未放出の液体は、プレートの下方領域の大穴を介して下方に戻るように方向付けられる。また、液体は、再ポンプ作用及び放出のためにプレート裏面に沿って液体を噴霧用オリフィスと毛管式に連通せしめるウィックまで流れ戻る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、オリフィスプレート又は薄膜のような振動式の多孔性部材による液
体の噴霧に関する。更に詳細には、本発明は、安定した連続的な噴霧動作を確実
化するために其のようなオリフィスプレートを通して流れる液体を制御すること
に関する。
【0002】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】
例えば、米国特許第5,152,456号、第5,164,740号、第4,632,311号、第4,533,0
82号から理解されるように、振動式の噴霧装置が公知である。一般に、其のよう
な装置は、それを貫通する少なくとも1つの小オリフィスを有する薄いプレート
を内蔵しており、それは圧電作動要素に取付けられて振動する。圧電作動要素に
付加される交流電圧によってそれは膨張及び収縮し、この膨張及び収縮は、オリ
フィスプレートの上下方向の振動を生じさせる。ウィックのような液体サプライ
は、噴霧されるべき液体を容器からプレート一方側に運び、これによって液体は
、多孔の領域のプレートに接触する。プレートの上下方向の振動は、オリフィス
を通して液体をポンプ送りし、液体をエアゾール化した液体粒子として上面から
放出する。
【0003】 1つの特に効率的な圧電噴霧構造には、中心穴を有する環状の圧電作動要素と
、圧電要素の中心穴を覆うオリフィスプレートとが用いられている。プレートは
、圧電作動要素の中心穴を横断し且つ幾分越えて延びており、中心穴の周りの該
要素の領域と重なるところで該要素に固定されている。交流電圧が圧電作動要素
の上側及び下側に付加されるとき、該要素は半径方向に膨張及び収縮する。この
半径方向の膨張及び収縮は、中心穴の直径を増加及び減少させ、次いで、オリフ
ィスプレートを強制的に折り曲げさせ、これにより、1以上のオリフィスを含む
中心領域は、振動式に上下運動する。
【0004】 好ましくは、オリフィスは、プレートの中心領域に形成され、この領域は、僅
かにドーム形に形成される。
【0005】 オリフィスプレートの多孔を通してポンプ送りされる液体は、その総てがプレ
ート上面から放出されるわけではない、という点で、これらの圧電振動式噴霧装
置には、問題が生じる。放出されていない液体又は放出されたがプレートに退却
した液体は、プレートの上面に残存し、噴霧動作に干渉する。また、圧電要素の
裏面にオリフィスプレートが取付けられているような状態において、放出されな
い液体は、圧電作動要素の中心穴及びその下に横たわるプレートによって形成さ
れる窪みの中に溜まる。結局、この溜まる液体は、ポンピング動作を鈍らせ霧状
になった液体粒子の出力を低下させる程度まで蓄積する。米国特許第4,542,389
号及び第4,413,268号には、ノズルプレートから過剰インクを排出するための還
流チャネル及び排液開口を使用することが記載されている。しかしながら、これ
らのノズルプレートは、振動しないし、半径方向のアクチュエータ動作を多孔性
オリフィスプレートの上下振動に変換することもしない。更に、液体をこれらの
ノズルプレートに運ぶために、ウィックが使用されていない。
【0006】
【課題を解決するための手段】
一の形態において、本発明は、下方領域の近傍の高架領域を有する略水平に延
びるプレートを含む新奇な噴霧装置を含み、プレートは高架領域の少なくとも1
つの噴霧用オリフィスと下方領域の少なくとも1つの排液開口とを有して形成さ
れる。排液開口は、液体が自由に通り抜け得るように噴霧用オリフィスよりも実
質的に大きい。また、噴霧装置は、プレートを上下に振動させるように接続され
る振動アクチュエータと、容器からの液体をプレートの高架領域の裏面に案内す
るように構成される液体案内体とを含む。高架領域の噴霧用オリフィスから放出
されないか又はプレート上に落ちて戻る液体は、下方領域に流れて排液開口を通
して流れ落ちる。
【0007】 別の形態において、本発明は、噴霧用オリフィスから離れた領域、しかしなが
ら、ウィックや他の毛管式の液体案内手段の上端を越える領域で、振動プレート
に1個以上の穴を設けることによって、該穴を通って下方に通過する液体が、液
体案内手段の上端を飽和状態にして引き出し力を減少させ易い、ということの発
見に基づいている。その結果、液体案内手段は、容器から液体を更に引き出すこ
とを止め、代わりに、振動式オリフィスプレートの中心領域の噴霧用オリフィス
下で穴通過済み液体をバックアップとさせる。この再循環済み液体は、プレート
の連続した上下振動によって噴霧用オリフィスを通して再度ポンプ送りされ、プ
レート上面から放出される。
【0008】 再循環する液体が噴霧されるので、ウィックすなわち液体案内手段の上端は、
飽和状態に満たない状態となり、従って、容器から更なる液体を引き出すことが
可能になる。
【0009】 本発明のこの形態によれば、少なくとも1つの噴霧用オリフィスを有するプレ
ートは、振動せしめられ、その間に、液体容器から延びるウィックのような毛管
式液体案内要素を介して液体が供給される。液体は、液体案内要素の毛管作用に
よって容器から引き出されて、オリフィスの領域でプレートの下方側に供給され
る。プレートの振動によって、液体はオリフィスを通してポンプ送りされ、エア
ゾール化された液体粒子の形態でプレート他方側から放出される。
【0010】 噴霧用オリフィスからずれた領域において、プレートは、少なくとも1つの大
穴を具えて形成される。プレートから未放出であるか又はプレートに落ちて戻る
液体は、この大穴を通して自由に流れることができる。この大穴は、それを貫流
する液体が液体案内要素の上端に向けられて、そこでプレート裏面の噴霧用オリ
フィスと毛管式に連通するように、所定位置に配置されている。この非放出液体
又はプレートに退却した液体は、容器から液体を更に引き出す液体案内要素の能
力を減じるように液体案内要素上端を飽和状態にさせ易い。その結果、液体案内
要素は、容器から液体を僅かしか或いは全く引き出さない。その代わりに、穴通
過済みの液体は、毛管作用によって、振動式オリフィスプレートの噴霧用オリフ
ィスの下側に戻される。この再循環する液体は、プレートの振動によって噴霧用
オリフィスを通して再度ポンプ送りされて、微細に分離された液体粒子の形態で
プレート上面から放出される。
【0011】 液体案内要素によって方向付けられる帰還液体は、液体案内要素の飽和状態を
増大させ易く、従って、少なくとも帰還液体が再噴霧されるまで、容器から液体
を更に供給するための液体案内要素の能力は制限され易い。これによって、液体
案内要素における自動調整効果が得られる。
【0012】 本発明の別の形態に従い、液体を噴霧する新奇な方法が提供される。この新奇
な方法は、少なくとも1つの噴霧用オリフィスを有するオリフィスプレートを提
供するステップと、液体容器からプレート一方側の噴霧用オリフィス近傍の位置
まで延びる毛管式の液体案内要素を介して毛管作用によって液体を供給しつつ少
なくとも噴霧用オリフィスの領域でプレートを振動させるステップとを含む。液
体は、噴霧用オリフィスを通してポンプ送りせしめられ、プレートの振動によっ
てエアゾール化された液体粒子の形態でプレート他方側から放出せしめられる。
プレートから未放出であるか又はプレートに退却する液体は、噴霧用オリフィス
からずれた位置においてプレートの少なくとも1つの大穴を通して還流するよう
に方向付けられる。この非放出の液体は、更に噴霧するためにプレート一方側の
噴霧用オリフィスに毛管作用によって送り戻される。また、この非放出液体は、
オリフィスを介して再度ポンプ送りされてプレートから放出されるまで、容器か
ら液体を更に引き出す能力が制限されるような形式で液体案内要素に影響を及ぼ
す。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1の振動型の噴霧装置は、内径中心穴12を有する環状の圧電アクチュエー
タ要素10と、アクチュエータ裏面で内径中心穴12を越えて延び且つアクチュ
エータの内側領域15に僅かに重なるオリフィスプレート14とを含む。オリフ
ィスプレート14は、重なり領域15のアクチュエータ裏面に対して固定される
。圧電アクチュエータ要素10にオリフィスプレート14を固定するために適当
な接合手段を用いることができる。しかしながら、所定接合剤を軟化させ易いと
いう点で攻撃的であるか又は腐食性を有する液体を噴霧するために装置が使用さ
れ得る場合には、オリフィスプレートが圧電要素にハンダ付けされることが好ま
しい。また、オリフィスプレート14の外径は、アクチュエータ要素10の一方
側の全面に広がるように、アクチュエータ要素10の外径と同じ大きさにできる
。本発明は、アクチュエータ10の上側にオリフィスプレート14が取付けられ
るような構成を含む、ということに留意されたい。
【0014】 圧電アクチュエータ要素10は、適用される電界の方向に垂直な方向に寸法変
化し得るような圧電特性を有する任意の材料から形成され得る。従って、図示実
施態様において、圧電アクチュエータ要素10は、上面及び下面を越えて交番電
界が適用される場合には半径方向に収縮及び膨張する。圧電アクチュエータ要素
10は、例えば、鉛ジルコン酸塩チタン酸塩(PZT)や鉛metaniobate(PN)から
形成されるセラミック材料であり得る。図示実施態様において、圧電アクチュエ
ータ要素は、約0.382インチの外径と、約0.025インチの厚さを有する。中心穴の
内径の大きさは、約0.177インチである。これらの寸法は臨界ではなく、一例と
して与えられている。アクチュエータ要素10は、導線及びオリフィスプレート
のハンダ付けを可能にすると共に導線からの電界がアクチュエータ要素を横断す
るように適用されるのを可能にするために、銀、ニッケル又はアルミニウムのよ
うな導電性コーティングで被覆される。
【0015】 図示実施態様のオリフィスプレート14は、約0.250インチの直径と、約0.002
インチの厚さを有する。オリフィスプレート14は、僅かにドーム形の中心領域
16と、アクチュエータ10にオリフィスプレートが取付けられる領域とこのド
ーム形中心領域16との間に延びる周辺フランジ領域18とを有して形成される
。ドーム形中心領域16は、約0.103インチの直径を有し、オリフィスプレート
の面から外側に約0.0065インチだけ延びている。ドーム形中心領域は、約0.0002
36インチの直径を有し且つ互いに約0.005インチだけ離隔されている幾つか(例
えば、85)の小さなオリフィス20を含む。フランジ領域18には、直径方向に
正対する一対の大穴22が形成される。これらの穴は、約0.029インチの直径を
有し、液体が自由に貫流するのを可能にしている。再言すると、ここで与えられ
る寸法は臨界ではなく、特定の実施態様を示すためだけに機能する。ここでは、
ドーム形オリフィスプレートについて説明したが、他の構造のオリフィスプレー
ト、例えば、渦巻き形や波形のダイヤフラムに似ている形状を有するオリフィス
プレートも採用可能である、ということに留意されたい。
【0016】 オリフィス20を含む中心領域16のドーム形状は、オリフィスプレートのポ
ンピング及び噴霧動作を改善するようにこの領域の上下運動を増加させる。ドー
ム形中心領域は構造的に球形であるが、この領域において他の構造も使用可能で
ある。例えば、中心領域16は、放物線状又はアーチ状を有することができる。
中心領域16の強化のために、ドーム形状以外の手段も使用可能である。例えば
、米国特許第5,152,456号に示されているようなスペース肉厚化要素を具えたサ
ポートも使用可能である。
【0017】 オリフィスプレート14は、好ましくは、電鋳プロセスで形成される穴22及
びオリフィス20を具えて電鋳法によって形成される。しかしながら、圧延のよ
うな他のプロセスによっても形成可能である。オリフィス及び穴は別々に形成可
能である。製造の容易化のために、オリフィス20がオリフィスプレートに形成
された後で、中心領域16がドーム化される。
【0018】 オリフィスプレート14は、曲げ力にさらされながらオリフィスプレートの形
状を維持するために充分な強度及び可撓性を有するならば他の材料も使用可能で
あるが、好ましくはニッケルで形成される。ニッケル−コバルト及びパラジウム
合金も使用可能である。
【0019】 圧電アクチュエータ要素10は、所定位置に保持でき且つ振動を阻害しない適
当なやり方で支持され得る。従って、アクチュエータ要素は、はとめ式の取付け
方(図示せず)によって支持され得る。
【0020】 圧電アクチュエータ要素10は、銀、アルミニウム又はニッケルのような導電
性コーティングによって上面及び下面を被覆される。図2に示されるように、導
線26及び28は、アクチュエータ要素10の上面及び下面の導電性コーティン
グにハンダ付けされる。これらの導線は、交流電圧源(図示せず)から延びてい
る。
【0021】 噴霧されるべき液体31を包含する液体容器30は、アクチュエータ要素10
及びオリフィスプレート14の下側に取付けられる。ウィック32は、容器内で
上にオリフィスプレート14の裏面まで延び、その上端部(輪にされて容器上方
に突出する)は、オリフィス20の中心領域16でオリフィスプレートに軽く接
触する。ウィック32の上端部は側方に延びており、図3に示されるように、大
穴22の直下で直接に液体連通する。実際上、ウィックは、環状であり、ドーム
形中心領域16よりも大きな直径を有し、オリフィスプレートのフランジ領域1
8だけに接触する。
【0022】 ウィック32は、薄膜14の下側まで液体を引き上げさせるように、容器30
内の液体に良好な毛管作用を提供する多孔性の可撓性材料から形成され得る。同
時に、ウィックは、振動に干渉するようなオリフィスプレート14に対する圧力
を働かせないように充分な可撓性を有していなければならない。これらの条件を
前提として、ウィック32は、例えば、紙、ナイロン、綿、ポリプロピレン、繊
維ガラス等の任意の幾つかの材料から形成され得る。ウィック32の好適な形式
は、それ自体に折り返されてオリフィスプレートに接触するようなナイロン・シ
ェニール糸の素線である。これによって、極めて薄い繊維の素線がプレート面ま
で延出せしめられる。これらの極めて薄い繊維は、液体をオリフィスプレートま
で上昇させるように、毛管作用を発生可能である。しかしながら、これらの薄い
繊維は、振動に干渉するようなプレートに対するかなりの力を働かせない。
【0023】 大穴22及びオリフィス20の間のオリフィスプレート14下側に延びるウィ
ック32の上端の一部は、大穴及びオリフィスがプレート下側に沿って相互に毛
管式に連通するようにさせる。この構成の効果については後述する。
【0024】 ウィック以外の液体案内手段が採用可能であり、本文の用語『ウィック』の使
用は其のような他の毛管式の液体案内手段を含むように意図されている、という
ことに留意されたい。
【0025】 噴霧装置の作用において、ウィック32や他の液体案内手段は、毛管作用によ
って、容器30から液体31を引き上げて、噴霧用オリフィス20の領域のオリ
フィスプレート14に接触させる。
【0026】 同時に、外部電源からの交流電圧は、導線26及び28を介してアクチュエー
タ要素10の上面及び下面の導電性コーティングに付加される。これによってア
クチュエータ要素の材料に圧電効果が生じて、該材料が半径方向に膨張及び収縮
する。その結果、中心穴12の直径は、この交流電圧に応じて増加及び減少する
。直径におけるこの変化は、オリフィスプレート14に半径方向力として適用さ
れ、ドーム形中心領域16を上下に押圧する。これによって、ウィック32によ
ってプレート14の下側に引き上げられていた液体がポンピング動作を生じる。
ウィックの毛管作用は、オリフィスプレート14の下側に液体を保持させ、その
結果、液体31は、プレートの振動によってオリフィス20を介して上方に強制
され、エアゾール化された液体粒子が微細に大気中に分離するようにプレート上
面から放出される。
【0027】 オリフィス20を介してポンプ作用により汲上げられる液体は、その総てが放
出されるわけではなく、オリフィスプレートの上面には、僅かな量の液体が残る
。この非放出液体は、ドーム形中心領域16の側部に流れて、アクチュエータ中
心穴12によって囲まれる領域に落ちる。その結果、液体は、オリフィスプレー
ト14のフランジ領域18に蓄積して曲げ及びポンピング動作を阻害し易い。
【0028】 本発明では、この問題は、大穴22を介して下方に非放出液体をウィック32
の上端部に方向付けることによって克服される。先に記載したように、ウィック
32の上端部は、これらの大穴の下側で横方向に延出している。この非放出液体
は、次いで、ウィックによって、オリフィスプレート14の下側に沿って、噴霧
用オリフィス20と毛管式に連通するようにされる。その結果、この液体は、オ
リフィス20に引き戻され、微細分割された液体粒子の形態でプレート上側から
放出するためにオリフィスプレート14の振動によって、オリフィスを通してポ
ンプ作用により戻される。
【0029】 大穴22を通して下方に行く液体は、少なくとも該大穴からの液体が噴霧オリ
フィス20を通してポンプ作用により再度戻されるまで、ウィック32の上端の
飽和状態を増大させ、容器30から更なる液体を引き上げるためのウィックの能
力を制限し易い。この時点で、ウィックの上端部は、ウィックが容器から更なる
液体を引き上げできるように非飽和状態になる。
【0030】 上記構造は、容器30の上部領域における液氾濫を阻止する自己調整効果を提
供する、ということに留意されたい。このことは、噴霧装置からの液体の漏出及
び損失の阻止にとって重要である。また、容器30から液体が効率的に引き上げ
られるようにするため、容器は、その上部領域に通気口34を具備する。非放出
液体がオリフィスプレート14の下側に沿って方向付けられるので、通気口34
と接触することや通気口34を詰まらせることが回避される。
【0031】 産業上の利用可能性 本発明の噴霧装置は、噴霧用の構成要素に液体を蓄積させることなく、容器か
らの液体を連続的且つ効果的に噴霧することを可能にする。また、本発明は、噴
霧装置から放出された液体が溢れたり消耗することなく噴霧装置に循環復帰する
ことを可能にする。これを実行するための手段は簡易であり且つその実施が経済
的である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、本発明の一実施態様に係る振動式噴霧装置を示す平面図である。
【図2】 図2は、図1の2−2線に沿う断面図である。
【図3】 図3は、図2において、図3(Fig.3)と表示された領域の部分拡大図である
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,CY, DE,DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,I T,LU,MC,NL,PT,SE,TR),OA(BF ,BJ,CF,CG,CI,CM,GA,GN,GW, ML,MR,NE,SN,TD,TG),AP(GH,G M,KE,LS,MW,MZ,SD,SL,SZ,TZ ,UG,ZW),EA(AM,AZ,BY,KG,KZ, MD,RU,TJ,TM),AE,AG,AL,AM, AT,AU,AZ,BA,BB,BG,BR,BY,B Z,CA,CH,CN,CO,CR,CU,CZ,DE ,DK,DM,DZ,EE,ES,FI,GB,GD, GE,GH,GM,HR,HU,ID,IL,IN,I S,JP,KE,KG,KP,KR,KZ,LC,LK ,LR,LS,LT,LU,LV,MA,MD,MG, MK,MN,MW,MX,MZ,NO,NZ,PL,P T,RO,RU,SD,SE,SG,SI,SK,SL ,TJ,TM,TR,TT,TZ,UA,UG,UZ, VN,YU,ZA,ZW (72)発明者 シャラム、デイビッド、ジェイ. アメリカ合衆国 53185 ウィスコンシン 州 ウォーターフォード イースト メイ ン ストリート 641 (72)発明者 ジェイシンスキ、メリーアン アメリカ合衆国 53402 ウィスコンシン 州 ラシーン マシュー ドライブ 4424 (72)発明者 トムキンズ、デイビッド、エー. アメリカ合衆国 53402 ウィスコンシン 州 ラシーン エルドラド ドライブ 77 (72)発明者 マーティンズ、エドワード、ジェイ.、ザ サード アメリカ合衆国 53402 ウィスコンシン 州 ラシーン バークシャー レーン 6221 Fターム(参考) 4D074 AA02 BB02 DD02 DD09 DD14 DD35 DD43

Claims (24)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 下方領域の近傍の高架領域を有する略水平に延びるプレート
    であって、高架領域で貫通する少なくとも1つの噴霧用オリフィスと下方領域で
    貫通する少なくとも1つの排液開口とを有して形成され、該排液開口が液体が自
    由に通り抜け得るように噴霧用オリフィスよりも概略大きい、前記プレートと、 プレートを上下に振動させるように接続される振動アクチュエータと、 容器からの液体をプレートの高架領域の裏面に案内するように構成される液体
    案内体と、 を含む噴霧装置。
  2. 【請求項2】 噴霧用オリフィスは高架領域を複数貫通する、請求項1に係
    る噴霧装置。
  3. 【請求項3】 高架領域はドーム形に形成され、下方領域は高架領域を囲む
    、請求項2に係る噴霧装置。
  4. 【請求項4】 振動アクチュエータは、上側及び下側に付加される交流電圧
    に応じて半径方向に膨張及び収縮するように活性化される環状の圧電要素であり
    、プレートは、圧電要素の中心穴を越えて延びると共に、中心穴の周りの圧電要
    素に対して下方領域の周囲で固定され、圧電要素の半径方向膨張及び収縮は、高
    架領域を上下運動させる、請求項3に係る噴霧装置。
  5. 【請求項5】 噴霧用オリフィスを有するプレートと、 プレートを振動させるためにプレートに接続される振動アクチュエータと、 液体容器と、 容器内を延びている毛管式の液体案内要素であって、液体案内要素の一端がプ
    レート一方側で噴霧用オリフィスの近傍にあり、液体案内要素が容器から液体を
    引いて毛管作用によって噴霧用オリフィスに連通させ、液体がプレートの振動に
    よって噴霧用オリフィスを通して供給されてプレート反対側から微細に分離済み
    液体粒子の形態で放出される、前記液体案内要素と、 を含み、 プレートは、噴霧用オリフィスから外れた領域において、少なくとも1つの大
    穴を有して形成され、プレート反対側から未放出の液体は、該大穴を通して自由
    に流動でき、所定位置に配置される該大穴は、それを貫流する液体を液体案内要
    素の上端に方向付けると共に、前記プレート一方側に沿って噴霧用オリフィスと
    毛管式に連通させ、ポンプ作用によって噴霧オリフィスを通して戻させ、微細に
    分離した液体粒子の形態で前記プレート他方側から放出させる、噴霧装置。
  6. 【請求項6】 プレートは、略水平方向に延び、また、プレートは、噴霧用
    オリフィスを含む高架領域と、大穴を含む下方領域とを有して形成される、請求
    項5に係る噴霧装置。
  7. 【請求項7】 プレートは、複数個の噴霧用オリフィスを含む、請求項5に
    係る噴霧装置。
  8. 【請求項8】 プレートは、少なくとも2つの互いに離された大穴を含む、
    請求項5に係る噴霧装置。
  9. 【請求項9】 大穴は、相互に直径方向に配置される、請求項8に係る噴霧
    装置。
  10. 【請求項10】 毛管式の液体案内要素の上端は、噴霧用オリフィス及び大
    穴の双方の下側に延びる、請求項5に係る噴霧装置。
  11. 【請求項11】 毛管式の液体案内要素は、ウィックである、請求項5に係
    る噴霧装置。
  12. 【請求項12】 振動を生じさせるアクチュエータは、中心穴を有する環状
    の圧電作動要素であり、プレートは、中心穴を越えて延びる、請求項5に係る噴
    霧装置。
  13. 【請求項13】 プレートは、中心領域でドームを具えて形成され、噴霧用
    オリフィスは、該ドームに形成される、請求項5に係る噴霧装置。
  14. 【請求項14】 大穴は、ドーム近傍のプレートの領域に形成される、請求
    項13に係る噴霧装置。
  15. 【請求項15】 液体を噴霧するための方法において、 少なくとも1つの噴霧用オリフィスを有するオリフィスプレートを提供するス
    テップと、 液体容器からプレート一方側の噴霧用オリフィス近傍の位置まで延びる毛管式
    の液体案内要素を介して毛管作用によって液体を供給しつつ少なくとも噴霧用オ
    リフィスの領域でプレートを振動させるステップと、 液体が噴霧用オリフィスを通して送られるようにして、プレートの振動によっ
    て微細に分離済み粒子の形態でプレート他方側から放出させるステップと、 プレートから未放出の液体を噴霧用オリフィスから外れた位置でプレートの少
    なくとも1つの大穴を通して下方に流れ戻るように方向付けし、更なる噴霧のた
    めに前記プレート一方側の毛管作用によって噴霧用オリフィスに運び戻すように
    方向付けするステップと、 を含む方法。
  16. 【請求項16】 プレートは、略水平方向に延びるように保持され、プレー
    トから放出されていない液体は、大穴に向かって流れるようにされる、請求項1
    5に係る方法。
  17. 【請求項17】 噴霧用オリフィスは、プレートに複数設けられる、請求項
    15に係る方法。
  18. 【請求項18】 大穴は、プレートの互いに離された位置に少なくとも2つ
    設けられる、請求項15に係る方法。
  19. 【請求項19】 大穴は、直径方向に互いに正対するように配置される、請
    求項18に係る方法。
  20. 【請求項20】 毛管式の液体案内要素の上端は、噴霧用オリフィス及び大
    穴の双方の下側に延びる、請求項15に係る方法。
  21. 【請求項21】 毛管式の液体案内要素としてウィックが設けられる、請求
    項15に係る方法。
  22. 【請求項22】 プレートは、中心穴を有する環状の圧電作動要素によって
    振動せしめられ、また、プレートは、中心穴を越えて延びる、請求項15に係る
    方法。
  23. 【請求項23】 プレートは、中心領域でドームを具えて形成され、噴霧用
    オリフィスは、該ドームに形成される、請求項15に係る方法。
  24. 【請求項24】 大穴は、ドーム近傍のプレートの領域に形成される、請求
    項23に係る方法。
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