KR20030018207A - 반도체 칩 실장 밀도를 향상시킨 멀티 칩 패키지 및씨오비 패키지 - Google Patents

반도체 칩 실장 밀도를 향상시킨 멀티 칩 패키지 및씨오비 패키지 Download PDF

Info

Publication number
KR20030018207A
KR20030018207A KR1020010051805A KR20010051805A KR20030018207A KR 20030018207 A KR20030018207 A KR 20030018207A KR 1020010051805 A KR1020010051805 A KR 1020010051805A KR 20010051805 A KR20010051805 A KR 20010051805A KR 20030018207 A KR20030018207 A KR 20030018207A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
semiconductor chip
package
space
chip
active surface
Prior art date
Application number
KR1020010051805A
Other languages
English (en)
Inventor
변형직
이규진
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020010051805A priority Critical patent/KR20030018207A/ko
Publication of KR20030018207A publication Critical patent/KR20030018207A/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/16Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32135Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/32145Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32245Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/4826Connecting between the body and an opposite side of the item with respect to the body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73201Location after the connecting process on the same surface
    • H01L2224/73215Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1015Shape
    • H01L2924/10155Shape being other than a cuboid
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 칩 패키지(semiconductor chip package)에 관한 것으로, 상세하게는 반도체 칩의 비활성면측에 비활성면으로부터 내부를 향하여 공간을 형성하고 그 공간에 다른 반도체 칩이 실장될 수 있게 함으로써 반도체 칩 패키지 내의 반도체 칩 실장 밀도를 향상시킨 멀티 칩 패키지(multi chip package) 및 씨오비 패키지(COB package)에 관한 것이다.

Description

반도체 칩 실장 밀도를 향상시킨 멀티 칩 패키지 및 씨오비 패키지{Multi chip package and COB package improved mounting density of semiconductor chip}
본 발명은 반도체 칩 패키지에 관한 것으로, 상세하게는 반도체 칩의 비활성면측에 비활성면으로부터 내부를 향하여 공간을 형성하고 그 공간에 다른 반도체 칩이 실장될 수 있게 함으로써 반도체 칩 패키지 내의 반도체 칩 실장 밀도를 향상시킨 멀티 칩 패키지 및 씨오비 패키지에 관한 것이다.
최근의 전자 기기는 종래에 비하여 더욱 소형 경량화 되어가고 있으며, 이를 위해 더욱 소형이며 고성능인 반도체 칩 패키지가 요구되고 있다. 이러한 추세에 따라 반도체 칩 패키지는 주로 패키지 내에 복수개의 반도체 칩을 상하로 적층하거나 또는 평면상에 배열된 형태로 내장하는 멀티 칩 패키지 혹은 기판에 직접 반도체 칩을 부착하고 봉지하여 크기를 감소시킨 씨오비 패키지 등이 사용되고 있다.
이하 도면을 참조하여 종래의 멀티 칩 패키지와 씨오비 패키지에 대해 계속 설명한다.
도 1은 종래 기술에 따른 멀티 칩 패키지의 일례를 보여주는 도이고, 도 2는 종래 기술에 따른 씨오비 패키지의 일례를 보여주는 도이다.
도 1에 나타낸 종래의 멀티 칩 패키지는 제 1 반도체 칩(10)과 제 2 반도체 칩(20)의 비활성면을 접착 수단(70)을 사용하여 부착시키고, 제 2 반도체 칩(20)의 활성면 중 일부를 접착 수단(70)을 사용하여 리드 프레임(30)에 부착시킨 후, 각각의 활성면에 형성된 본딩 패드들(50)과 그에 대응하는 리드들을 본딩 와이어(130)를 통해 전기적으로 연결하고, 그런 다음 그 전체를 몰딩 재료(90)로서 봉지한 구조를 가지고 있다. 그리고, 도 2에 나타낸 종래의 씨오비 패키지는 인쇄 회로 기판(150)에 제 1 반도체 칩(10)의 비활성면을 접착 수단(70)을 이용하여 부착시키고 활성면에 형성된 본딩 패드들(50)과 회로 패턴들(170)을 본딩 와이어(130)를 통해 전기적으로 연결한 다음, 인쇄 회로 기판(150) 위에 직접 몰딩 재료(90)로서 봉지한 구조를 가지고 있다.
종래의 멀티 칩 패키지의 대부분은 도 1에 나타낸 것과 같이 반도체 칩이 상하로 적층되는 구조를 갖는데, 이처럼 반도체 칩을 적층하다 보면 동일한 면적 내에서의 반도체 칩 실장 밀도를 어느 정도 높일 수는 있지만 반도체 칩 패키지의 체고(體高)가 높아지는 등 반도체 칩 패키지 자체의 크기가 증가하기 때문에 반도체 칩 패키지의 소형 경량화에 한계가 존재하게 된다. 종래의 씨오비 패키지 또한 대부분 도 2에 나타낸 것과 같은 구조를 하고 있는데, 인쇄 회로 기판에 반도체 칩을 직접 부착 시키기 때문에 그 자체만으로도 반도체 칩 패키지의 크기를 어느 정도 감소시킬 수 있으며, 멀티 칩 패키지와 같이 복수개의 반도체 칩을 적층하거나 평면상 배열하는 구조를 적용하면 반도체 칩의 실장 밀도를 더욱 높게 할 수 있지만, 그럴 경우 역시 반도체 칩 패키지의 체고가 높아지는 등 소형 경량화에는 한계가존재하게 된다.
따라서, 본 발명의 목적은 반도체 칩 패키지 크기의 큰 증가없이 반도체 칩 패키지 내의 반도체 칩 실장 밀도를 향상시킬 수 있는 멀티 칩 패키지, 씨오비 패키지 등의 반도체 칩 패키지를 제공함으로써 반도체 칩 패키지의 소형 경량화를 구현하는데 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 멀티 칩 패키지(multi chip package)의 일례를 보여주는 도,
도 2는 종래 기술에 따른 씨오비 패키지(COB package)의 일례를 보여주는 도,
도 3a는 본 발명에 따른 멀티 칩 패키지의 일례를 보여주는 도,
도 3b는 본 발명에 따른 멀티 칩 패키지의 다른 예를 보여주는 도,
도 4a는 본 발명에 따른 씨오비 패키지의 일례를 보여주는 도,
도 4b는 본 발명에 따른 씨오비 패키지의 다른 예를 보여주는 도,
도 5a는 본 발명에 따른 제 1 반도체 칩 형태의 일례를 보여주는 도,
도 5b는 본 발명에 따른 제 1 반도체 칩 형태의 다른 예를 보여주는 도,
도 6a는 본 발명에 따른 스페이서(spacer) 형태의 일례를 보여주는 도,
도 6b는 본 발명에 따른 스페이서 형태의 다른 예를 보여주는 도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10, 100 : 제 1 반도체 칩 20, 200 : 제 2 반도체 칩
30 : 리드 프레임(lead frame) 50 : 본딩 패드(bonding pad)
70 : 접착 수단 90 : 몰딩 재료(molding material)
110 : 솔더볼(solder ball) 130 : 본딩 와이어(bonding wire)
150 : 인쇄 회로 기판 170 : 회로 패턴(circuit pattern)
190 : 스페이서 210 : 공간
이러한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 반도체 칩 패키지 내에 복수개의 반도체 칩이 실장되는 멀티 칩 패키지에 있어서, 비활성면이 리드 프레임에 부착되고 활성면에 형성된 복수개의 본딩 패드들이 각각 대응하는 리드에 전기적으로 연결되는 제 1 반도체 칩의 비활성면에는 비활성면으로부터 내부를 향하여 소정의 깊이를 갖는 공간이 형성되며 그 공간에는 적어도 한 개 이상의 다른 반도체 칩이 배치되어 그 다른 반도체 칩의 비활성면이 리드 프레임에 부착되고 그 다른 반도체 칩의 활성면에 형성된 복수개의 본딩 패드들이 각각 대응하는 리드에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 멀티 칩 패키지와, 이러한 멀티 칩 패키지에 있어서 제 1 반도체 칩의 비활성면의 가장자리에 스페이서를 부착하여 제 1 반도체 칩의 하부에 제 1 반도체 칩의 비활성면과 스페이서에 의한 공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 멀티 칩 패키지와, 또한 제 1 반도체 칩과 다른 반도체 칩 사이의 공간이 몰딩 재료로 채워진 것을 특징으로 하는 멀티 칩 패키지를 제공한다. 또한, 반도체 칩의 비활성면이 인쇄 회로 기판에 직접 부착되고 활성면에 형성된 복수개의본딩 패드들이 각각 대응하는 회로 패턴에 전기적으로 연결되는 씨오비 패키지에 있어서, 비활성면이 인쇄 회로 기판에 부착되고 활성면에 형성된 복수개의 본딩 패드들이 각각 대응하는 회로 패턴에 전기적으로 연결되는 제 1 반도체 칩의 비활성면에는 그 비활성면으로부터 내부를 향하여 소정의 깊이를 갖는 공간이 형성되며, 그 공간에는 적어도 한 개 이상의 다른 반도체 칩이 배치되어 그 다른 반도체 칩의 비활성면이 인쇄 회로 기판에 부착되고 그 다른 반도체 칩의 활성면에 형성된 복수개의 본딩 패드들이 각각 대응하는 회로 패턴에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 씨오비 패키지와, 이러한 씨오비 패키지에 있어서 제 1 반도체 칩의 비활성면의 가장자리에 스페이서를 부착하여 제 1 반도체 칩의 하부에 제 1 반도체 칩의 비활성면과 스페이서에 의한 공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 씨오비 패키지와, 또한 제 1 반도체 칩과 다른 반도체 칩 사이의 공간이 몰딩 재료로 채워진 것을 특징으로 하는 씨오비 패키지를 제공한다.
이하 도면을 참조하여 본 발명에 따른 멀티 칩 패키지 및 씨오비 패키지를 상세히 설명한다.
도 3a는 본 발명에 따른 멀티 칩 패키지의 일례를 보여주는 도이며, 도 3b는 본 발명에 따른 멀티 칩 패키지의 다른 예를 보여주는 도이다.
도 3a에 나타낸 것처럼 본 발명에 따른 멀티 칩 패키지는 리드 프레임(30)에 비활성면측에 비활성면으로부터 내부를 향하여 예를 들어, 식각 등의 방법에 의해 공간(210)이 형성된 제 1 반도체 칩(100)이 부착되고 그 제 1 반도체 칩(100)의 공간(210)에는 제 2 반도체 칩(200)이 리드 프레임(30)에 부착되어 있다. 제 1 반도체 칩(100)과 제 2 반도체 칩(200) 사이의 공간(210)은 비워둘 수 있지만, 제 2 반도체 칩(200)의 방열과 보호를 위해서는 몰딩 재료 또는 반도체 칩을 접착하기 위한 접착 수단 등을 이용하여 채울 수도 있다. 도 3b에 나타낸 본 발명에 따른 멀티 칩 패키지는 제 1 반도체 칩의 비활성면측에 공간을 형성함에 있어서, 제 1 반도체 칩 자체에 공간을 형성하는 대신에 스페이서(190)를 제 1 반도체 칩의 비활성면에 부착시켜 비활성면측 하부에 공간을 형성하고 있다. 스페이서는 제 1 반도체 칩과 제 2 반도체 칩 사이에 충분한 간격을 제공하여 제 2 반도체 칩의 리드 프레임에의 부착 및 전기적 연결에 제 1 반도체 칩이 영향을 미치지 않도록 한다.
도 4a는 본 발명에 따른 씨오비 패키지의 일례를 보여주는 도이며, 도 4b는 본 발명에 따른 씨오비 패키지의 다른 예를 보여주는 도이다.
도 4a에 나타낸 것처럼 인쇄 회로 기판(1700)에 비활성면측에 비활성면으로부터 내부를 향하여 예를 들어, 식각 등의 방법에 의해 공간(210)이 형성된 제 1 반도체 칩(100)이 부착되고 그 제 1 반도체 칩(100)의 공간(210)에는 제 2 반도체 칩(200)이 인쇄 회로 기판(170)에 부착되어 있다. 제 1 반도체 칩(100)과 제 2 반도체 칩(200) 사이의 공간(210)은 비워둘 수 있지만, 이 역시 멀티 칩 패키지에서와 마찬가지로 제 2 반도체 칩(200)의 방열 및 보호를 위해서는 몰딩 재료(90) 또는 반도체 칩을 접착하기 위한 접착 수단(70) 등을 이용하여 채울 수도 있다. 도 4b에 나타낸 본 발명에 따른 씨오비 패키지는 제 1 반도체 칩의 비활성면측에 공간을 형성함에 있어서, 제 1 반도체 칩 자체에 공간을 형성하는 대신에 스페이서 (190)를 제 1 반도체 칩의 비활성면에 부착시켜 비활성면측에 공간을 형성하고 있다. 스페이서는 제 1 반도체 칩과 제 2 반도체 칩 사이에 충분한 간격을 제공하여 제 2 반도체 칩의 리드 프레임에의 부착 및 전기적 연결에 제 1 반도체 칩이 영향을 미치지 않도록 한다.
도 5a는 본 발명에 따른 제 1 반도체 칩의 형태의 일례를 보여주는 도이며, 도 5b는 본 발명에 따른 제 1 반도체 칩의 형태의 다른 예를 보여주는 도이고, 도 6a는 본 발명에 따른 스페이서의 형태의 일례를 보여주는 도이며, 도 6b는 본 발명에 따른 스페이서의 형태의 다른 예를 보여주는 도이다.
도 5a 및 도 5b에는 도 3a 및 도 4a에 나타낸 본 발명에 따른 멀티 칩 패키지 및 씨오비 패키지에 사용되는 제 1 반도체 칩(100)의 형태를 보여주는데, 제 1 반도체 칩(100)의 비활성면측에 비활성면으로부터 내부를 향하여 공간이 형성된 모습을 보여준다. 공간이 형성된 제 1 반도체 칩(100)의 형태는 도 5a 및 도 5b에 나타낸 형태에 한정되지 않고, 공간을 형성할 수 있으면 어떠한 형태라도 적용될 수 있다. 그리고, 도 6a 및 도 6b에는 도 3b 및 도 4b에 나타낸 멀티 칩 패키지 및 씨오비 패키지에 사용된 스페이서의 형태를 보여주고 있는데, 제 1 반도체 칩의 비활성면측에 공간을 형성함에 있어서, 제 1 반도체 칩의 비활성면에 예를 들어, 식각 등을 이용하여 직접 공간을 형성하는 대신에, 제 1 반도체 칩의 비활성면에 도 6a 및 도 6b에 나타낸 것과 같은 스페이서를 부착시켜 공간을 형성할 수 있다. 스페이서 역시 도 6a 및 도 6b에 나타낸 것과 같은 형태에 한정되지 않고, 제 1 반도체 칩과 리드 프레임 또는 인쇄 회로 기판과의 사이에 제 2 반도체 칩이 위치할 수 있는 공간을 확보할 수 있으면 어떠한 형태라도 적용될 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 따른 멀티 칩 패키지 및 씨오비 패키지의 구조에 의하면, 반도체 칩의 하부에 공간을 형성하여 그곳에 다른 반도체 칩을 실장하기 때문에 한 개의 반도체 칩이 차지하는 영역의 범위 내에 복수개의 다른 반도체 칩을 실장할 수 있어서 반도체 칩 패키지 크기의 큰 증가 없이도 반도체 칩 패키지 내의 반도체 칩 실장 밀도를 향상시키는 효과를 기대할 수 있다.

Claims (6)

  1. 반도체 칩 패키지(semiconductor chip package) 내에 복수개의 반도체 칩이 실장되는 멀티 칩 패키지(multi chip package)에 있어서, 비활성면이 리드 프레임에 부착되고 활성면에 형성된 복수개의 본딩 패드들이 각각 대응하는 리드에 전기적으로 연결되는 제 1 반도체 칩의 비활성면에는 상기 비활성면으로부터 내부를 향하여 소정의 깊이를 갖는 공간이 형성되며, 상기 공간에는 적어도 한 개 이상의 다른 반도체 칩이 배치되어 상기 반도체 칩의 비활성면이 리드 프레임에 부착되고 상기 반도체 칩의 활성면에 형성된 복수개의 본딩 패드들이 각각 대응하는 리드에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 멀티 칩 패키지.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 반도체 칩의 비활성면의 가장자리에 스페이서 (spacer)를 부착하여 제 1 반도체 칩의 하부에 제 1 반도체 칩의 비활성면과 스페이서에 의한 공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 멀티 칩 패키지.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 반도체 칩과 다른 반도체 칩 사이의 공간이 몰딩 재료(molding material)로 채워진 것을 특징으로 하는 멀티 칩 패키지.
  4. 반도체 칩의 비활성면이 인쇄 회로 기판에 직접 부착되고 활성면에 형성된 복수개의 본딩 패드들이 각각 대응하는 회로 패턴(circuit pattern)에 전기적으로연결되는 씨오비 패키지(COB package)에 있어서, 비활성면이 인쇄 회로 기판에 부착되고 활성면에 형성된 복수개의 본딩 패드들이 각각 대응하는 회로 패턴에 전기적으로 연결되는 제 1 반도체 칩의 비활성면에는 상기 비활성면으로부터 내부를 향하여 소정의 깊이를 갖는 공간이 형성되며, 상기 공간에는 적어도 한 개 이상의 다른 반도체 칩이 배치되어 상기 반도체 칩의 비활성면이 인쇄 회로 기판에 부착되고 상기 반도체 칩의 활성면에 형성된 복수개의 본딩 패드들이 각각 대응하는 회로 패턴에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 씨오비 패키지.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 제 1 반도체 칩의 비활성면의 가장자리에 스페이서를 부착하여 제 1 반도체 칩의 하부에 제 1 반도체 칩의 비활성면과 스페이서에 의한 공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 씨오비 패키지.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 제 1 반도체 칩과 다른 반도체 칩 사이의 공간이 몰딩 재료로 채워진 것을 특징으로 하는 씨오비 패키지.
KR1020010051805A 2001-08-27 2001-08-27 반도체 칩 실장 밀도를 향상시킨 멀티 칩 패키지 및씨오비 패키지 KR20030018207A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020010051805A KR20030018207A (ko) 2001-08-27 2001-08-27 반도체 칩 실장 밀도를 향상시킨 멀티 칩 패키지 및씨오비 패키지

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020010051805A KR20030018207A (ko) 2001-08-27 2001-08-27 반도체 칩 실장 밀도를 향상시킨 멀티 칩 패키지 및씨오비 패키지

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20030018207A true KR20030018207A (ko) 2003-03-06

Family

ID=27721019

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020010051805A KR20030018207A (ko) 2001-08-27 2001-08-27 반도체 칩 실장 밀도를 향상시킨 멀티 칩 패키지 및씨오비 패키지

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20030018207A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100651125B1 (ko) * 2005-03-21 2006-12-01 삼성전자주식회사 이중 성형된 멀티 칩 패키지 및 그 제조 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990026232U (ko) * 1997-12-19 1999-07-15 김영환 멀티 칩 세라믹 패키지
JP2000269408A (ja) * 1999-03-15 2000-09-29 Shinko Electric Ind Co Ltd 半導体装置及びその製造方法
KR20010073344A (ko) * 2000-01-14 2001-08-01 윤종용 멀티 칩 패키지
JP2002222889A (ja) * 2001-01-24 2002-08-09 Nec Kyushu Ltd 半導体装置及びその製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990026232U (ko) * 1997-12-19 1999-07-15 김영환 멀티 칩 세라믹 패키지
JP2000269408A (ja) * 1999-03-15 2000-09-29 Shinko Electric Ind Co Ltd 半導体装置及びその製造方法
KR20010073344A (ko) * 2000-01-14 2001-08-01 윤종용 멀티 칩 패키지
JP2002222889A (ja) * 2001-01-24 2002-08-09 Nec Kyushu Ltd 半導体装置及びその製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100651125B1 (ko) * 2005-03-21 2006-12-01 삼성전자주식회사 이중 성형된 멀티 칩 패키지 및 그 제조 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101037246B1 (ko) 멀티 칩 리드 프레임 패키지
KR100477020B1 (ko) 멀티 칩 패키지
US7446408B2 (en) Semiconductor package with heat sink
USRE42653E1 (en) Semiconductor package with heat dissipating structure
US6798049B1 (en) Semiconductor package and method for fabricating the same
KR100480437B1 (ko) 반도체 칩 패키지 적층 모듈
KR20030018204A (ko) 스페이서를 갖는 멀티 칩 패키지
KR100825784B1 (ko) 휨 및 와이어 단선을 억제하는 반도체 패키지 및 그제조방법
KR20030018642A (ko) 스택 칩 모듈
US7135760B2 (en) Moisture resistant integrated circuit leadframe package
KR100631403B1 (ko) 방열판을 장착한 반도체 패키지 및 그 제조 방법
KR20030045950A (ko) 방열판을 구비한 멀티 칩 패키지
KR100379089B1 (ko) 리드프레임 및 이를 이용한 반도체패키지
US20080042277A1 (en) BGA package with leads on chip field of the invention
KR100393099B1 (ko) 반도체패키지
KR20030018207A (ko) 반도체 칩 실장 밀도를 향상시킨 멀티 칩 패키지 및씨오비 패키지
KR19980083733A (ko) 열방출 능력이 향상된 박막 볼 그리드 어레이 패키지
KR100646474B1 (ko) 반도체패키지 및 그 제조방법
KR100712499B1 (ko) 열 배출 효율이 증대된 멀티 칩 패키지 및 그 제조방법
KR100763966B1 (ko) 반도체 패키지 및 이의 제조에 사용되는 리드프레임
KR20060000729A (ko) 반도체 칩 패키지
KR20060133800A (ko) 칩 스택 패키지
KR100708050B1 (ko) 반도체패키지
KR100256304B1 (ko) 적층형 패키지
KR940010541B1 (ko) 모듈 패키지

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application