KR100480437B1 - 반도체 칩 패키지 적층 모듈 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 칩 패키지 적층 모듈(semiconductor chip package stacked module)에 관한 것으로, 상세하게는 회로 기판 상부면의 일측 영역에 반도체 칩이 부착되는 칩 실장부가 구성되고 타측 영역에는 본딩 패드(bonding pad)들과 전기적으로 접속되는 금속 배선층 및 그 금속 배선층에 연결되는 복수 개의 제 1 범프 패드(the 1st bump pad)를 포함하는 범프 부착부가 구성되는 것을 특징으로 하는 복수 개의 반도체 칩 패키지가 서로 적층되어 구성하는 반도체 칩 패키지 적층 모듈에 관한 것인데, 이러한 구성에 의하면, 반도체 칩 패키지 적층 모듈 내의 반도체 칩들의 위치가 동일 수직선 상에 위치하는 것을 방지할 수 있게 되므로 각 반도체 칩들은 각자로부터 발생되는 열에 의한 상호간의 영향을 감소시킬 수 있으며, 또한 반도체 칩들은 각각의 반도체 칩 패키지에 있어서 가장자리 부분에 위치하기 때문에 외부로의 방열 특성을 향상시킬 수 있고, 그 배치 구조 상의 특징으로 말미암아 입출력 단자의 구성 면적 감소로 인한 소형 경량화 및 고성능화의 한계를 극복할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
Description
본 발명은 반도체 칩 패키지 적층 모듈(semiconductor chip package stacked module)에 관한 것으로서, 상세하게는 적층된 각 반도체 칩 패키지의 회로 기판 상부면을 반도체 칩이 실장되는 칩 실장부와, 금속 범프(metal bump)가 부착되는 범프 부착부로 나누어 구성한 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 적층 모듈에 관한 것이다.
최근의 전자 기기들이 소형 경량화 및 고성능화 되어감에 따라 그에 사용되는 반도체 칩 패키지 또한 소형 경량화 및 고성능화의 추세를 보이고 있는데, 그러한 추세의 일환으로서 여러 개의 반도체 칩 패키지를 상하로 적층한 반도체 칩 패키지 적층 모듈이 개발되어 사용되고 있다.
종래의 일반적인 반도체 칩 패키지 적층 모듈은 활성면에 복수 개의 본딩 패드(bonding pad)가 형성된 반도체 칩과, 상부면에는 그 반도체 칩이 부착되고 본딩 패드들과 전기적으로 접속되는 금속 배선층 및 금속 배선층에 연결되는 복수 개의 제 1 범프 패드(the 1st bump pad)가 형성되며 하부면에는 금속 배선층과 비아 홀(via hole)을 통해 전기적으로 연결되는 복수 개의 제 2 범프 패드가 형성된 회로 기판과, 회로 기판에 부착된 반도체 칩을 봉지하는 봉지 재료와, 제 2 범프 패드들에 부착되는 복수 개의 금속 범프를 포함하는 복수 개의 반도체 칩 패키지가 서로 적층되어 구성되는데, 각 반도체 칩 패키지는 주로 반도체 칩이 회로 기판의 중앙부에 부착되고 제 1 범프 패드들과 제 2 범프 패드들은 각각 상부면과 하부면에 있어서 반도체 칩이 부착된 위치의 둘레 가장자리 부분에 형성된다.
이하 도면을 참조하여 종래의 일반적인 반도체 칩 패키지 적층 모듈에 대해 계속 설명한다.
도 1은 종래의 일반적인 반도체 칩 패키지 적층 모듈의 평면도이고, 도 2는 종래의 일반적인 반도체 칩 패키지 적층 모듈의 측단면도이다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 종래의 일반적인 반도체 칩 패키지 적층 모듈(100)은 3개의 개별 반도체 칩 패키지가 상하로 적층되어 구성되며 적층되는 반도체 칩 패키지의 수는 필요에 따라 증감이 가능하다. 적층된 각 반도체 칩 패키지는 회로 기판(140)의 중앙부에 에폭시(epoxy) 등의 접착 수단(150)을 통하여 반도체 칩(112)이 부착되고, 부착된 반도체 칩(112)의 본딩 패드(114)들은 대응하는 금속 배선층(143)과 본딩 와이어(bonding wire; 116)를 통하여 접속되며, 그러한 반도체 칩(112)과 본딩 와이어(116) 등은 이엠씨(EMC; Epoxy Molding Compound) 등의 봉지 재료(160)를 통해 봉지됨으로써 외부로부터 보호된다. 회로 기판(140) 상부면 중 봉지된 반도체 칩(112)의 주변에는 제 1 범프 패드(144)들이 형성되는데, 각 제 1 범프 패드(144)들은 대응하는 금속 배선층(143)과 일체화되어 형성된다. 제 1 범프 패드(144)들에는 반도체 칩 패키지 적층시 상부에 적층될 반도체 칩 패키지의 제 2 범프 패드(145)들에 부착된 금속 범프(170)가 부착된다. 제 1 범프 패드(144) 또는 금속 배선층(143)은 회로 기판(140)의 하부면에 형성된 제 2 범프 패드(145)들과 비아 홀(146)을 통해 전기적으로 연결되어 있어서 적층시 상하에 위치하는 각각의 반도체 칩 패키지들을 전기적으로 연결한다.
이러한 종래의 구조에서는 반도체 칩 패키지 적층 모듈 내의 반도체 칩들이 동일 수직선 상에 위치하게 되므로 각 반도체 칩들은 자신으로부터 발생된 열 뿐만 아니라 상부 또는 하부의 반도체 칩으로부터 발생된 열에 의한 영향까지도 받을 수 있었으며, 그 배치 구조 상 금속 범프와 같은 입출력 단자의 구성 면적이 줄어들게 되어 소형 경량화 및 고성능화의 한계로서 작용할 우려가 있었다.
따라서, 본 발명은 반도체 칩 패키지 적층 모듈에 사용되는 반도체 칩 패키지 내의 반도체 칩 배치 구조를 개선함으로써, 적층된 반도체 칩 패키지들의 발열에 의한 상호 영향을 억제하고, 또한 입출력 단자의 구성 면적 확보가 용이해지는 반도체 칩 패키지 적층 모듈의 제공을 그 목적으로 한다.
이러한 목적을 이루기 위하여, 본 발명은 활성면에 복수 개의 본딩 패드가 형성된 반도체 칩과, 상부면의 일측 영역에는 반도체 칩이 부착되는 칩 실장부가 구성되고 타측 영역에는 본딩 패드들과 전기적으로 접속되는 금속 배선층 및 금속 배선층에 연결되는 복수 개의 제 1 범프 패드가 형성되는 범프 부착부가 구성되며 하부면에는 금속 배선층과 비아 홀을 통해 전기적으로 연결되는 복수 개의 제 2 범프 패드가 형성되는 회로 기판과, 회로 기판의 칩 실장부에 부착된 반도체 칩을 봉지하는 봉지 재료와, 제 2 범프 패드들에 부착되는 복수 개의 금속 범프를 포함하는 복수 개의 반도체 칩 패키지가 서로 적층되어 구성되며, 상부에 적층된 반도체 칩 패키지의 금속 범프들은 하부의 반도체 칩 패키지의 범프 부착부 내의 제 1 범프 패드들에 부착되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 적층 모듈을 제공한다.
이하 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 칩 패키지 적층 모듈에 대해 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 적층 모듈의 평면도이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 적층 모듈의 측단면도이다.
도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 적층 모듈(200)은 3개의 반도체 칩 패키지가 상하로 적층되는데, 각 반도체 칩 패키지들은 회로 기판(240) 상부면의 일측 영역에 형성된 칩 실장부(241)에 복수 개의 본딩 패드(214)가 형성된 반도체 칩(212)이 에폭시 등의 접착 수단(250)을 통하여 부착되고 회로 기판(240)의 타측 영역에 형성된 범프 부착부(242)에는 반도체 칩(212) 상의 본딩 패드(214)들과 본딩 와이어(216)를 통하여 전기적으로 접속되는 금속 배선층(243) 및 금속 배선층(243)에 연결되는 복수 개의 제 1 범프 패드(244)가 형성되어 있다. 회로 기판(240)의 칩 실장부(241)에 부착된 반도체 칩(212)과 본딩 와이어(216) 등은 이엠씨 등의 봉지 재료(260)에 의해 봉지되어 외부로부터 보호된다. 회로 기판(240)의 하부면에는 복수 개의 제 2 범프 패드(245)가 형성되는데, 그러한 제 2 범프 패드(245)들은 회로 기판(240)의 상부면과 하부면을 관통하여 형성된 비아 홀(246)에 의해 금속 배선층(243)과 전기적으로 연결되며 금속 범프(270)가 부착되어 있다. 여기서, 최하부에 놓여지는 반도체 칩 패키지의 제 2 범프 패드(245)들은 회로 기판(240) 하부면의 전면에 걸쳐 형성되고 그 위로 적층되는 반도체 칩 패키지들의 제 2 범프 패드(245)들은 회로 기판(240) 하부면 중 칩 실장부(241) 배면의 위치에 형성된다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 적층 모듈의 측단면도이다.
도 5에 나타낸 바와 같이 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 적층 모듈(300)은 본 발명의 제 1 실시예를 통해 제시한 반도체 칩 패키지 적층 모듈에 있어서 최상부의 반도체 칩 패키지의 범프 부착부(342)에 예를 들어, 커패시터(capacitor), 인덕터(inductor), 저항 등과 같은 수동 소자를 비롯한 각종 전자 소자(380)를 부착하여 구성한다. 부착하는 전자 소자(380)의 수는 필요에 따라 증감하여 구성할 수 있으며, 그 부착은 범프 부착부(342) 상에 형성된 제 1 범프 패드(344)들 또는 금속 배선층(343)에 금속 범프(372) 등의 전기적 접속 수단을 통하여 수행한다.
도 6은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 적층 모듈의 측단면도이다.
도 6에 나타낸 바와 같이 본 발명의 제 3 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 적층 모듈(400)은 본 발명의 제 1 실시예 또는 제 2 실시예를 통해 제시한 반도체 칩 패키지 적층 모듈에 있어서 각 반도체 칩 패키지에 실장된 반도체 칩은 제 1 반도체 칩(412)과 제 2 반도체 칩(422)이 상하로 적층된 형태로 구성한다. 적층된 제 1 반도체 칩(412)과 제 2 반도체 칩(422)은 각각 제1 본딩 와이어(416)과 제 2 본딩 와이어(426)를 이용하여 상호간 및 금속 배선층과 전기적으로 연결되어 있다. 적층되는 반도체 칩의 수는 필요에 따라 증감하여 구성할 수 있으며, 이러한 구성은 하나의 반도체 칩 패키지 적층 모듈의 내부에 예를 들어, 메모리(memory), 중앙 처리 장치(central processing unit) 및 기타 전자 소자들을 포함하는 시스템 인 패키지(system in package) 구조에도 적용하여 사용될 수 있다.
본 발명은 앞서 기술한 소정의 실시예들로서 설명되었지만, 그것에만 한정되는 것은 아니며, 적층되는 반도체 칩 패키지의 수를 필요에 따라 증감하여 구성하는 등 본 발명의 의도에 부합하는 범위 내에서 다양하게 변형하여 구성할 수도 있음은 사뭇 자명한 일이 아닐 수 없다.
이렇듯, 본 발명에 따른 반도체 칩 패키지 적층 모듈의 구성에 의하면, 반도체 칩 패키지 적층 모듈 내의 반도체 칩들의 위치가 동일 수직선 상에 위치하는 것을 방지할 수 있게 되므로 각 반도체 칩들은 각자로부터 발생되는 열에 의한 상호간의 영향을 감소시킬 수 있으며, 또한 반도체 칩들은 각각의 반도체 칩 패키지에 있어서 가장자리 부분에 위치하기 때문에 외부로의 방열 특성을 향상시킬 수 있고, 최하부에 위치한 반도체 칩 패키지의 하부면 전면에 금속 범프 등의 입출력 단자를 배치하거나 최상부에 위치한 반도체 칩 패키지의 범프 부착부에 전자 소자를 구성하는 등의 배치 구조 상의 특징으로 말미암아 입출력 단자의 구성 면적 감소로 인한 소형 경량화 및 고성능화의 한계를 극복할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
도 1은 종래의 일반적인 반도체 칩 패키지 적층 모듈(semiconductor chip package stacked module)의 평면도,
도 2는 종래의 일반적인 반도체 칩 패키지 적층 모듈의 측단면도,
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 적층 모듈의 평면도,
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 적층 모듈의 측단면도,
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 적층 모듈의 측단면도, 및
도 6은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 적층 모듈의 측단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100, 200, 300, 400 : 반도체 칩 패키지 적층 모듈
112, 212, 312 : 반도체 칩
114, 214, 314 : 본딩 패드(bonding pad)
116, 216, 316 : 본딩 와이어(bonding wire)
170, 270, 370, 372, 470 : 금속 범프(metal bump)
144, 244, 344, 444 : 제 1 범프 패드(the 1st bump pad)
145, 245, 345, 445 : 제 2 범프 패드
146, 246, 346, 446 : 비아 홀(via hole)
380 : 전자 소자
416 : 제 1 본딩 와이어 426 : 제 2 본딩 와이어
412 : 제 1 반도체 칩 422 : 제 2 반도체 칩
414 : 제 1 본딩 패드 424 : 제 2 본딩 패드
140, 240, 340, 440 : 회로 기판 241, 341, 441 : 칩 실장부
242, 342, 442 : 범프 부착부 143, 243, 343, 443 : 금속 배선층
150, 250, 350, 450 : 접착 수단 160, 260, 360, 460 : 봉지 재료
Claims (6)
- 활성면에 복수 개의 본딩 패드(bonding pad)가 형성된 반도체 칩(semiconductor chip);상부면의 일측 영역에는 상기 반도체 칩이 부착되는 칩 실장부가 구성되고 타측 영역에는 상기 본딩 패드들과 전기적으로 접속되는 금속 배선층 및 상기 금속 배선층에 연결되는 복수 개의 제 1 범프 패드(the 1st bump pad)가 형성되는 범프 부착부가 구성되며 하부면에는 상기 금속 배선층과 비아 홀(via hole)을 통해 전기적으로 연결되는 복수 개의 제 2 범프 패드가 형성되는 회로 기판;상기 회로 기판의 상기 칩 실장부에 부착된 반도체 칩을 봉지하는 봉지 재료; 및상기 칩 실장부 아래의 상기 제 2 범프 패드들에 부착되는 복수 개의 금속 범프(metal bump);를포함하는 복수 개의 반도체 칩 패키지(semiconductor chip package)가 서로 적층되어 구성되며,상부에 적층된 상기 반도체 칩 패키지의 상기 금속 범프들은 하부의 반도체 칩 패키지의 상기 범프 부착부 내의 상기 제 1 범프 패드들에 부착되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 적층 모듈(semiconductor chip package stacked module).
- 제 1 항에 있어서, 최하부에 놓여진 상기 반도체 칩 패키지는 상기 회로 기판 하부면의 전면에 상기 제 2 범프 패드들이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 적층 모듈.
- 제 1 항에 있어서, 최하부에 놓여진 상기 반도체 칩 패키지 위에 적층되는 상기 반도체 칩 패키지들은 각각의 상기 회로 기판 하부면 중 상기 칩 실장부 배면의 위치에 상기 제 2 범프 패드들이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 적층 모듈.
- 제 1 항에 있어서, 최상부에 적층된 상기 반도체 칩 패키지는 상기 제 1 범프 패드들에 임의의 전자 소자가 전기적으로 부착 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 적층 모듈.
- 제 1 항에 있어서, 상기 반도체 칩은 복수 개가 다층으로 적층된 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 적층 모듈.
- 제 1 항에 있어서, 상기 반도체 칩 패키지 적층 모듈은 시스템 인 패키지(system in package)의 구조를 갖도록 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 적층 모듈.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101011746B1 (ko) | 2009-06-05 | 2011-02-07 | 왈톤 어드밴스드 엔지니어링 인크. | 집적회로 모듈들의 역 교번 적층구조체 |
KR102147766B1 (ko) | 2019-09-19 | 2020-08-25 | 강동관 | 체인 콘베어의 슬림형 체인 |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7601920B2 (en) * | 2003-11-18 | 2009-10-13 | Koa Corporation | Surface mount composite electronic component and method for manufacturing same |
US7265759B2 (en) | 2004-04-09 | 2007-09-04 | Nvidia Corporation | Field changeable rendering system for a computing device |
US7170757B2 (en) * | 2004-04-09 | 2007-01-30 | Nvidia Corporation | Field changeable graphics system for a computing device |
US7710741B1 (en) | 2005-05-03 | 2010-05-04 | Nvidia Corporation | Reconfigurable graphics processing system |
US7518224B2 (en) * | 2005-05-16 | 2009-04-14 | Stats Chippac Ltd. | Offset integrated circuit package-on-package stacking system |
US7746656B2 (en) * | 2005-05-16 | 2010-06-29 | Stats Chippac Ltd. | Offset integrated circuit package-on-package stacking system |
US8274792B2 (en) * | 2005-09-06 | 2012-09-25 | Beyond Blades Ltd. | 3-dimensional multi-layered modular computer architecture |
TWI320594B (en) * | 2006-05-04 | 2010-02-11 | Cyntec Co Ltd | Package structure |
US7638868B2 (en) * | 2006-08-16 | 2009-12-29 | Tessera, Inc. | Microelectronic package |
US20080054431A1 (en) * | 2006-08-31 | 2008-03-06 | Tingqing Wang | Embedded package in package |
US7635913B2 (en) * | 2006-12-09 | 2009-12-22 | Stats Chippac Ltd. | Stacked integrated circuit package-in-package system |
US8304874B2 (en) * | 2006-12-09 | 2012-11-06 | Stats Chippac Ltd. | Stackable integrated circuit package system |
US7772683B2 (en) * | 2006-12-09 | 2010-08-10 | Stats Chippac Ltd. | Stacked integrated circuit package-in-package system |
US8163600B2 (en) * | 2006-12-28 | 2012-04-24 | Stats Chippac Ltd. | Bridge stack integrated circuit package-on-package system |
JP4843515B2 (ja) * | 2007-02-01 | 2011-12-21 | パナソニック株式会社 | 半導体チップの積層構造 |
KR100909969B1 (ko) * | 2007-06-28 | 2009-07-29 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 및 그 제조 방법, 및 반도체 소자를 포함하는스택 모듈, 카드 및 시스템 |
US8299626B2 (en) | 2007-08-16 | 2012-10-30 | Tessera, Inc. | Microelectronic package |
US7812435B2 (en) * | 2007-08-31 | 2010-10-12 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit package-in-package system with side-by-side and offset stacking |
US7872340B2 (en) * | 2007-08-31 | 2011-01-18 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit package system employing an offset stacked configuration |
US8345444B2 (en) * | 2007-11-01 | 2013-01-01 | Panasonic Corporation | Structure with electronic component mounted therein and method for manufacturing such structure |
US8067828B2 (en) * | 2008-03-11 | 2011-11-29 | Stats Chippac Ltd. | System for solder ball inner stacking module connection |
US7812449B2 (en) * | 2008-09-09 | 2010-10-12 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit package system with redistribution layer |
US8130512B2 (en) * | 2008-11-18 | 2012-03-06 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit package system and method of package stacking |
US8110440B2 (en) * | 2009-05-18 | 2012-02-07 | Stats Chippac, Ltd. | Semiconductor device and method of forming overlapping semiconductor die with coplanar vertical interconnect structure |
US9230898B2 (en) * | 2009-08-17 | 2016-01-05 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit packaging system with package-on-package and method of manufacture thereof |
US8304880B2 (en) * | 2010-09-14 | 2012-11-06 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit packaging system with package-on-package and method of manufacture thereof |
US8872318B2 (en) | 2011-08-24 | 2014-10-28 | Tessera, Inc. | Through interposer wire bond using low CTE interposer with coarse slot apertures |
US9676611B2 (en) * | 2013-10-18 | 2017-06-13 | Nxp Usa, Inc. | Sensor device packages and related fabrication methods |
US10129979B2 (en) * | 2016-09-23 | 2018-11-13 | Apple Inc. | PCB assembly with molded matrix core |
US10455707B1 (en) | 2018-08-10 | 2019-10-22 | Apple Inc. | Connection pad for embedded components in PCB packaging |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6051878A (en) * | 1997-03-10 | 2000-04-18 | Micron Technology, Inc. | Method of constructing stacked packages |
KR20000069624A (ko) * | 1996-12-19 | 2000-11-25 | 클라스 노린, 쿨트 헬스트룀 | 집적회로용 패키징 구조물 |
KR20010034154A (ko) * | 1998-01-15 | 2001-04-25 | 인피니언 테크놀로지스 아게 | 다수의 기판층과 적어도 하나의 반도체 칩을 가진 반도체소자 및 그의 제조 방법 |
KR20010063032A (ko) * | 1999-12-21 | 2001-07-09 | 유-행 치아오 | 스택-업 패키지 프레임 |
KR20030001323A (ko) * | 2001-06-25 | 2003-01-06 | 가부시끼가이샤 도시바 | 반도체 장치 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5598033A (en) * | 1995-10-16 | 1997-01-28 | Advanced Micro Devices, Inc. | Micro BGA stacking scheme |
JP2000208698A (ja) * | 1999-01-18 | 2000-07-28 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
US6251695B1 (en) | 1999-09-01 | 2001-06-26 | S3 Graphics Co., Ltd. | Multichip module packaging process for known good die burn-in |
JP3798597B2 (ja) * | 1999-11-30 | 2006-07-19 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
JP2002237568A (ja) | 2000-12-28 | 2002-08-23 | Texas Instr Inc <Ti> | 基板上垂直組立体用の折り曲げた相互接続体上にスタックしたチップスケールパッケージ |
JP2003318361A (ja) * | 2002-04-19 | 2003-11-07 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2002
- 2002-10-24 KR KR10-2002-0065210A patent/KR100480437B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-10-02 US US10/678,412 patent/US7061087B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000069624A (ko) * | 1996-12-19 | 2000-11-25 | 클라스 노린, 쿨트 헬스트룀 | 집적회로용 패키징 구조물 |
US6051878A (en) * | 1997-03-10 | 2000-04-18 | Micron Technology, Inc. | Method of constructing stacked packages |
KR20010034154A (ko) * | 1998-01-15 | 2001-04-25 | 인피니언 테크놀로지스 아게 | 다수의 기판층과 적어도 하나의 반도체 칩을 가진 반도체소자 및 그의 제조 방법 |
KR20010063032A (ko) * | 1999-12-21 | 2001-07-09 | 유-행 치아오 | 스택-업 패키지 프레임 |
KR20030001323A (ko) * | 2001-06-25 | 2003-01-06 | 가부시끼가이샤 도시바 | 반도체 장치 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101011746B1 (ko) | 2009-06-05 | 2011-02-07 | 왈톤 어드밴스드 엔지니어링 인크. | 집적회로 모듈들의 역 교번 적층구조체 |
KR102147766B1 (ko) | 2019-09-19 | 2020-08-25 | 강동관 | 체인 콘베어의 슬림형 체인 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040090759A1 (en) | 2004-05-13 |
KR20040036252A (ko) | 2004-04-30 |
US7061087B2 (en) | 2006-06-13 |
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